DE1934937C3

DE1934937C3 - Changing device for test glasses for measuring optical properties of the layers vapor-deposited on the test glasses

Info

Publication number: DE1934937C3
Application number: DE19691934937
Authority: DE
Inventors: Rudolf Balzers Jenne (Liechtenstein)
Original assignee: Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
Current assignee: Balzers Hochvakuum 6000 Frankfurt GmbH
Priority date: 1968-09-04
Filing date: 1969-07-10
Publication date: 1975-05-07
Also published as: NL6816043A; DE1934937A1; CH488027A; DE1934937B2

Description

nommenea &0gh»e*(2) vorgesehen ist und auf der Gruridpjafe{l,> %5)Φ teitkörper (26) angeordnet &J der di von der Zunge angehobene Testglas am seitlichen Ausweichen hindert.nommenea & 0gh »e * (2) is provided and arranged on the Gruridpjaf e {1,>% 5) Φ teitkörper (26) & J which prevents the test tube raised by the tongue from sideways evasion.

2 Testglaswechsler nach Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Einrichtung zum x₅ Anheben des Test-lases die Zunge (9, 17) gelenkig mit dem Sammelbehälter (6.13) verbunden i>t und in der Nut (10, 21) eine die Zunge beim Darübergleiten anhebende Nocke (27) vorgesehen ist.2 Test glass changer according to claim 1, characterized in that as means for x ₅ lifting of the test lases the tongue (9, 17) hingedly connected to the tank (6.13) i> t, and in the groove (10, 21) has a tongue when sliding over a lifting cam (27) is provided.

3. Testglaswechsler nach Patentanspruch 1, da- » durch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Anheben des Testglases als ein vom Boden einer Nut (10, 21) herausragender beweglicher Stift ausgebildet ist3. test glass changer according to claim 1, characterized in that the device for Lifting the test glass as a movable pin protruding from the bottom of a groove (10, 21) is trained

4. Testglaswechsler nach Patentanspruch 3, da- a₅ durch gekernzeichnet, daß der Stift federnd ausgebildet ist.4. Test glass changer according to claim 3, characterized by a ₅ core that the pin is resilient.

3030th

Das Hauptpatent 1 696 099 betrifft — die eingeklammerten Bezugszeichen gelten auch für die anliegenden Zeichnungen — eine Wechselvorrichtung für Testgläser zur Messung optischer Eigenschaften von auf den Testgläsern aufgedampften Schichten in einer Vakuumaufdampfanlage mit einem evakuierbaren Rezipienten, in welchem eine Verdampfungsquelle und eine Haltevorrichtung für zu bedampfende Gegenstände angeordnet sind, wobei die Wechselvorrichtung eine Grundplatte (1, 15) mit einer als Meßposition für ein Testglas (2) ausgebildeten Öffnung (3, 19) und auf der der Grundplatte zugewandten Seite offene Vorrats- (4, 12) und Sammelbehälter (6, 13) zur geordneten Stapelung (5) der Testgläser vor und nach der Messung aufweist und wobei der Vorrats- (4, 12) und der Sammelbehälter (6, 13) auf der Grundplatte (1, IS) mittels einer Betätigungsvorrichrung (14) derart verschiebbar angeordnet sind, daß abwechselnd die Öffnung des Vorrats- und des Sammelbehälters mit der Öffnung (3, 19) in der Grundplatte zur Deckung gebracht werden kann und an der der Grundplatte zugewandten Öffnung des Sammelbehälters eine Zunge (9. 17) befestigt ist, welche beim Verschieben des Behälters in einer über die Öffnung in der Grundplatte hinweglaufenden Nut (10, 21) gleitet, so daß sie beim Zur-Deckung-Bringen des Sammelbehälters mit der genannten Öffnung unter das in der Öffnung liegende Testglas(2) greift und dieses beim Weiterbewegen des Sammelbehälters in diesen hochhebt. Vorzugsweise werden der Vorrats- (12) und Sammelbehälter (13) auf einer Kreisbahn beweglich über einer kreisförmig ausgebildeten Nut (21) in der Grundplatte (15) angeordnet.The main patent 1 696 099 concerns - the bracketed reference numerals also apply to the attached ones Drawings - a changing device for test glasses for measuring optical properties of on the test glasses vapor-deposited layers in a vacuum vapor deposition system with an evacuable Recipient, in which a source of evaporation and a holding device for to be vaporized Objects are arranged, the changing device having a base plate (1, 15) an opening (3, 19) designed as a measuring position for a test tube (2) and on the opening facing the base plate Side open storage (4, 12) and collecting container (6, 13) for orderly stacking (5) of the Has test glasses before and after the measurement and wherein the storage (4, 12) and the collecting container (6, 13) on the base plate (1, IS) by means of an actuating device (14) are arranged displaceably in such a way that the opening of the storage container and the collecting container alternate with the opening (3, 19) can be brought into congruence in the base plate and on the one facing the base plate Opening of the collecting container a tongue (9. 17) is attached, which when moving the container in a groove (10, 21) running over the opening in the base plate so that it slides when Bringing the collecting container into alignment with said opening under the one lying in the opening Test glass (2) grabs and lifts it up when moving the collecting container into it. Preferably the storage (12) and collecting container (13) are movable on a circular path over a circular path formed groove (21) arranged in the base plate (15).

Die Wechselvorrichtung nach DT-AS i 696 099 funktioniert bei gewöhnlicher Raumtemperatur und den müssen, wird ein 1 estgiaswecnsier Denotigt, der auch bei diesen Temperaturen verläßlich zu geb.T,uchen ist. Die Kondensationsbed.ngungen auf d_em Testglas müssen naml.ch d e gleichen sein wie auf den zu bedampfenden Substraten Da eine Kühlung des Mechanismus des Testglaswechslers be, gleichzeitiger Heizung des Testglases m MeßposiUon schwierig zu verwirklichen ware, muß der Testglaswechsler als ganzes auf die gewünschten Temperaturen gebracht werden können.The changing device according to DT-AS i 696 099 works at normal room temperature and the must, a 1 estgiaswecnsier is required, which is also reliable at these temperatures. The Kondensationsbed.ngungen on th _e test vessel must naml.ch de same be like to be vapor-deposited substrates since cooling of the mechanism be of the test glass changer, m simultaneous heating of the test glass MeßposiUon would be difficult to realize, the test glass changer as a whole to the desired temperatures must can be brought.

Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, den Testglaswechsler nach Hauptpatent 1 696 099 so zu verbessern, daß dieses Ziel erreicht wird.The invention has set itself the task of To improve test glass changer according to main patent 1,696,099 so that this goal is achieved.

Die erfindungsgemaße Wechselvorrichtung für Testgläser ist dadurch gekennzeichnet daß .η der Nut eine Einrichtung zum Anheben des von der Zunge aufgenommenen Testglases vorgesehen ist und auf der Grundplatte ein Leitkörper angeordnet ist. der das von der Zunge angehobene Testglas am seitliehen Ausweichen hindert. __The inventive changing device for Test glasses is characterized in that .η the groove has a device for lifting the of the Tongue recorded test glass is provided and a guide body is arranged on the base plate. which prevents the test glass raised by the tongue from dodging sideways. __

Die Erfindung kann an den beiden beschriebenen Beispielen und Vorrichtungen nach Hauptpatent 1 696 099 in einfacher Weise dadurch verwirklicht werden, daß die Zunge 9 bzw. 17 zum Anheben des Testglases 2 gelenkig mit dem Sammelbehälter6 bzw. 13 verbunden wird und in der Nut 10 bzw. 21 eine die Zunge beim Darübergleiten anhebende Nocke 27 vorgesehen und ferner auf der Grundplatte 1 bzw. 15 mittels der Schraube 28 ein Leitkörper 26 beweglich angebracht wird. Die gelenkige Verbindung kann erzielt werden, indem die Zunge 9 bzw. 17 mit dem Sammelbehälter 6 bzw. dem Bügel 16 mittels einer Sacklochschraube 11 bzw. 18 verbunden wird, derart. daß auch bei vollständigem Anziehen der Schraube keine starre Verbindung zwischen den genannten Teilen zustande kommt. Natürlich kann eine gelenkige Verbindung auch auf andere Weise erzielt werden, doch hat sich die beschriebene einfache Schraubenverbindung bewährt.The invention can be based on the two examples and devices described according to the main patent 1 696 099 can be realized in a simple manner that the tongue 9 or 17 for lifting the Test glass 2 is hinged to the collecting container 6 or 13 and in the groove 10 or 21 a The cam 27 which lifts the tongue when it slides over is provided and furthermore on the base plate 1 or 15 a guide body 26 is movably attached by means of the screw 28. The articulated connection can be achieved are by the tongue 9 or 17 with the collecting container 6 or the bracket 16 by means of a Blind screw 11 or 18 is connected in such a way. that even with full tightening of the Screw no rigid connection is made between the parts mentioned. Of course one can articulated connection can also be achieved in other ways, but the described simple Proven screw connection.

Die Nocke 27 kann, wie aus F i g. 1 ersichtlich, ebenfalls als Schraube am Boden der Nut 10 bzw. 21 verstellbar ausgebildet werden. Der Vorrats- (4, 12) und der Sammelbehälter6 bzw. 13 sind durch einen Steg 8 bzw. einen Bügel 16 starr miteinander verbunden, so daß sie gemeinsam bewegt werden können.The cam 27 can, as shown in FIG. 1 can be seen, also be designed as a screw at the bottom of the groove 10 or 21 adjustable. The stock (4, 12) and the collecting container 6 or 13 are rigidly connected to one another by a web 8 or a bracket 16, so that they can be moved together.

Bei den beiden Ausführungsbeispielen ist ferner auf der Grundplatte als Leitkörper eine um eine Achse 28 drehbare Sperrklinke 26 angebracht, welche bewirkt, daß das Testglas, nachdem es durch die aus der beweglichen Zunge und Nocke stehenden Einrichtung aus der Meßöffnung hochgehoben ist, nicht seitlich ausweichen kann, sondern in den SammelbehäUer einrücken muß.In the two exemplary embodiments, one by one is also on the base plate as a guide body Axle 28 attached rotatable pawl 26 which causes the test glass after it has passed through the device consisting of the movable tongue and cam is lifted out of the measuring opening, can not move sideways, but must move into the collecting container.

An Stelle der Nocke 27 zum Anheben des Testglases kann natürlich auch eine andere Vorrichtung, z.B. ein aus dem Boden der Nut herausragender Stift, vorzugsweise als federnder Stift, vorgesehen werden und an Stelle einer Sperrklinke kann als Leitkörper auch ein an der Grundplatte befestigter Federkörper 25 angebracht werden, der das hochgehobene Testglas am seitlichen Ausweichen hindert.Instead of the cam 27 for lifting the test glass, another device can of course also be used, e.g. a pin protruding from the bottom of the groove, preferably as a resilient pin, is provided and instead of a pawl, a guide element attached to the base plate can be used as a guide body Spring body 25 are attached, which prevents the raised test glass from dodging sideways.

Während der Messung ruht jeweils ein TestglasDuring the measurement, a test tube is at rest

auf der Schulter 7 bzw. 20 der öffnung 3 bzw. 19 der Grundplatte in Meßposition.on the shoulder 7 or 20 of the opening 3 or 19 of the Base plate in measuring position.

Bei der in der Fig.2 in Originalgröße dargesteüten Ausführungsform werden die miteinander verbundenen Vorrats- und Sammelbehälter 12 bzw. 13 mittels der Welle 14 über der kreisförmigen Nut 21 der Grundplatte 15 bewegt In jedem der beiden Behälter können etwa 100 Testgläser der Dicke 0,5 mm gestapelt werden, wie dies in F i g. 1 für einen Stapel S im Vorratsbehälter 4 gezeigt ist. Damit kann man ohne öffnen der Auf dampf anlage 100 verschiedene Aufdampfungen überwachen. Der Testglaswechsler wird mittels der Bohrungen 22 in der Grundplatte und der Säulen 23 an der Wand 24 der Aufdampfanlage befestigt, derart, daß die Bedampfung durch die öffnung 19 hindurch, in welcher auf einer Schulter 20 ruhend sich ein Teitglas in Meßposition befindet, erfolgen kann. Auf der von den beiden Behältern abgewandten Unterseite der Grundplatte sind dann keinerlei die Ausbreitung der Dfunpfstrahlen störende Teile vorhanden. Zweckmäßigerweise wird die beschnebene Einrichtung in der Achse der Aufdampfanlage in gleicher Höhe über den Dampfquellen wie die die zu bedampfenden Gegenstände tragende, übliche Kalotte in einer zentralen Bohrung derselben angeordnet.When shown in Fig.2 in original size Embodiment are the interconnected Storage and collection container 12 and 13 by means of the shaft 14 above the circular groove 21 the base plate 15 moved. About 100 test glasses with a thickness of 0.5 mm can be used in each of the two containers are stacked as shown in FIG. 1 is shown for a stack S in the storage container 4. So can 100 different evaporation can be monitored without opening the evaporation system. The test tube changer is by means of the bores 22 in the base plate and the columns 23 on the wall 24 of the Attached vapor deposition in such a way that the vapor deposition through the opening 19, in which on a shoulder 20 is a tide glass in the measuring position, can be done. On the one of the two Containers facing away from the bottom of the base plate are then no spread of the Parts interfering with radio waves are present. Appropriately the snow-covered device is in the axis of the evaporation system at the same height above the steam sources such as the usual dome carrying the objects to be steamed in a central one Bore the same arranged.

Die Meßeinrichtungen, mit Hilfe deren man einen Lichtstrahl auf das Testglas in Meßposition fallen lassen kann, um das reflektierte und durchgehende Licht zu messen, sind bekannt.The measuring devices with the help of which a light beam falls on the test glass in the measuring position can let to measure the reflected and transmitted light are known.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Patent claims
entitlement to rent.

within a limited range of higher

Temperatures perfect. However, it has

r ^ _ß s ^^^^ ,, occur at temperatu-

vapor-deposited layers according to main patent 1 606nOQ characterized that in the groove ilO 21) line device (27