Substratwechselvorrichtung Die Erfindung betrifft eine Substratechselvorrichtung,
insbesondere für Vakuumbeschichtungsanlagen, in denen mehrere ebene Subs-trate nacheinander
mit dünnen Schichten bedampft oder bestäubt werden0 Es ist bekannt, mehrere Substrate
gleichzeitig in eine Vakuumbeschichtungsanordnung einzubringen und sie dann nacheinander
zu beschichten Hierdurch vermeidet man das häufige Öffnen und Evakuieren der VakuumkammerO
Eine Substratwechselvorrichtung sorgt dann dafür, daß jedes einzelne Substrat von
einem ersten Vorratsstapel in Arbeitsposition gebracht und anschließend auf einem
zweiten Stapel abgelegt wird Bekannte Ausführungsformen von solchen Wechselvorrichtungen
benötigen jedoch komplizierte mechanische Einrichtungen, die dadurch viel Platz
benötigen und auch störanfällig sind0 Es ist auch bekannt, die einzelnen Substrate
auf einer tellerartigen Vorrichtung zu befestigen0 Durch Drehen dieses Substratwechseltellers
werden dann nacheinander sämtliche Substrate in die Arbeitsposition gebracht, Es
ist auch bekannt, die Substrate an der Wand eines zylinderförmigen7 drehbaren Käfigs
zu befestigen und auf diese Art den Wechsel der Substrate in der Vakuumkarnmer zu
ermöglichen0 Es sind auch schon Anlagen bekannt, bei denen die Substrate auf endlose
Transportbänder oder -ketten aufgelegt werden
und so die einzelnen
Bearbeitungestellen passieren, Diese Art von Substratwechselvorrichtungen sind vor
allem bei kontinuierlich arbeitenden Durchlaufanlagen gebräuchlich und vorteilhaft,
Aufgabe der Erfindung ist es, eine einfache, wenig Platz benötigende und betriebssichere
Substratwechselvorrichtung anzugeben, Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß Substrathalterahmen
zur Aufnahme der zu beschichtenden Substrate vorgesehen sind, daß die Substrathalterahmen
an zwei entgegengesetzten Seiten abgeschrägt sind, so daß sie sich untereinanderschieben
lassen, daß ein-magazinartiger Behälter vorgesehen ist, in dem die Substrathalterahmen
übereinandergestapelt werden, daß der Behälter auf seiner Bodenfläche wenigstens
eine Öffnung in der Größe der Substrate besitzt, durch die das abzuscheidende Material
auf die Substrate gelangt, und daß wenigstens ein schieberartiger Transportmechanismus
vorhanden ist, der die Rahmen mit den beschichteten Substraten vom unbearbeiteten
Vorratsstapel unter den bearbeiteten Stapel schiebt, Damit ergeben sich die Vorteile,
daß auf engstem Raum viele Substrate untergebracht werden können, daß die Substrate
und die aufgebrachten Schichten gegen mechanische Einwirkungen geschützt sind, daß
der Ein- und Ausbau staubfrei erfolgen kann, wenn der Stapelbehälter entsprechend
aufgebaut ist, indem der ganze Behälter von der übrigen Anlage getrennt und in einer
Laminarbox be- und entladen wird 0 Vorteilhaft sind an der erfindungsgemäßen Substrätwechselvorrichtung
zwei Transportschieber vorhanden, Der eine Schieber befördert das unterste Substrat
samt Substrathalterahmen
nach der Beschichtung vom Vorratsstapel
unter den bearbeiteten Stapel, während der zweite Schieber das oberste Substrat
vom bearbeiteten Stapel wieder auf den Vorratsstapel zurückbefördertO Dieser zweite
Schieber ermöglicht somit einen Kreislauf der Substrate in der Wechselvorrichtung,
so daß die Substrate nacheinander mehrfach beschichtet werden können0 Eine andere
Möglichkeit zum Aufbringen von Mehrfachschichten besteht darin7 daß nicht nur unter
dem Vorratsstapel, sondern auch unter dem bearbeiteten Stapel eine Öffnung im Boden
des magazinartigen Behälters vorgesehen ist, durch die weiteres Material auf die
bereits beschichteten Substrate aufgebracht wird0 Vonzugsweise ist der magazinartige
Behälter heizbar, indem z.Bt eine Strahlungsheizung um den Behälter herum angeordnet
isto Dadurch können die Substrate entgast, ausgeheizt und auf die nötige Substrattemperatur
gebracht werden0 Sollen die Substrate nicht ganzflächig beschichtet werden, sondern
sollen die Schichten in bestimmten Konfigurationen durch Masken aufgebracht werden,
z,B, zum Herstellen von Widerständen, Leitungsbahnen, Kontaktflächen usw, für elektrische
und elektronische Baugruppen in Dünnschicht-Dechnikv so ist es unerläßlich, daß
die Substrate eine genau bestimmte Stellung zu den Masken besitzen, Dies erreicht
man bei der erfindungsgemäßen Substratwechselvorrichtung vorteilhaft dadurch, daß
Stifte und Federn zum maßgenauen Positionieren der Substrathalterahmen über den
Beschichtungemasken vorhanden sind0 Anhand der Zeichnung soll die erfindungsgemäße
Substratwechselvorrichtung in Form eines Ausführungsbeispieles erläutert werden
Man
erkennt einen magazinartigen Behälter 1 mit einem abnehmbaren Deckel 6 Im Boden
des Behälters 1 befindet sich eine Öffnung 3, durch die das von einer Verdampferquelle
9 abdaminde Material auf die Substrate gelangt, Die Substrate belinden sich in Substrathalterahmen
2 mit abgeschrägten Seit-enflächenO Über der Beschichtungsöffnung 3. Substrate changing device The invention relates to a substrate changing device,
especially for vacuum coating systems in which several level subs-stepped one after the other
be vaporized or dusted with thin layers0 It is known to use several substrates
to be introduced into a vacuum deposition assembly at the same time and then sequentially
to be coated This avoids the frequent opening and evacuation of the vacuum chamberO
A substrate changing device then ensures that each individual substrate of
brought a first supply stack into working position and then on one
second stack is deposited Known embodiments of such changing devices
however, they require complicated mechanical equipment, which creates a lot of space
need and are also prone to failure0 It is also known that the individual substrates
to be attached to a plate-like device by turning this substrate changing plate
then, one after the other, all substrates are brought into the working position, Es
It is also known to mount the substrates on the wall of a cylindrical7 rotatable cage
to attach and in this way to change the substrates in the vacuum chamber
enable0 There are already systems known in which the substrates on endless
Conveyor belts or chains are placed
and so the individual
Processing stations happen, These types of substrate changing devices are in front
especially common and advantageous in continuously operating systems,
The object of the invention is to provide a simple, space-saving and reliable
Specify substrate changing device, This object is achieved in that the substrate holding frame
for receiving the substrates to be coated are provided that the substrate holding frame
are bevelled on two opposite sides so that they slide under each other
let that a magazine-like container is provided in which the substrate holding frame
are stacked so that the container on its bottom surface at least
has an opening the size of the substrate through which the material to be deposited
reaches the substrates, and that at least one slide-like transport mechanism
is available, the frame with the coated substrates from the unprocessed
Pushes the stock pile under the processed pile, this results in the advantages
that many substrates can be accommodated in a very small space, that the substrates
and the applied layers are protected against mechanical effects, that
the installation and removal can be done dust-free, if the stacking container accordingly
is constructed by separating the entire container from the rest of the system and in one
Laminar box is loaded and unloaded 0 Advantages of the substrate changing device according to the invention
two transport slides available, one slider conveys the bottom substrate
including substrate holder frame
after coating from the stock pile
under the processed stack, while the second pusher is the top substrate
conveyed back from the processed stack to the supply stackO This second one
Slide thus enables the substrates to be circulated in the changing device,
so that the substrates can be coated several times one after the other0 Another
The possibility of applying multiple layers is that not only under
the stock pile, but also under the processed pile an opening in the floor
of the magazine-like container is provided through the further material on the
already coated substrates is applied0 Preferably, the magazine-like
The container can be heated, e.g. by arranging a radiant heater around the container
isto This allows the substrates to be degassed, baked out and brought to the required substrate temperature
0 Should the substrates not be coated over the entire surface, but rather
should the layers be applied in certain configurations through masks,
z, B, for the production of resistors, conductor tracks, contact surfaces, etc., for electrical
and electronic assemblies in thin-film Dechnikv so it is essential that
the substrates have a precisely defined position in relation to the masks, this is achieved
one advantageous in the substrate changing device according to the invention in that
Pins and springs for precise positioning of the substrate holding frame over the
Coating masks are available. Based on the drawing, the inventive
Substrate changing device are explained in the form of an exemplary embodiment
Man
recognizes a magazine-like container 1 with a removable cover 6 in the bottom
of the container 1 is an opening 3 through which the from an evaporator source
9 from this material gets onto the substrates, the substrates are held in the substrate holding frame
2 with bevelled side surfaces O over the coating opening 3.
befindet sich der Vorratsstapel mit den unbeschichteten Platten, links
davon der Stapel mit den beschichteten Platten Mit Hilfe des Schiebers 4 wird der
unterste Rahmen nach der Beschichtung nach links unter den zweiten Stapel geschoben
Mit Hilfe eines zweiten Schiebers 5 werden die Rahmen 2 vom linken Stapel auf den
rechten Vorratsstapel zurückgeschobenv so daß ein Kreislauf der Rahmen 2 innerhalb
des Behälters 1,6 stattfindet Der Antrieb der Schieber 4,5 erfolgt z,B, durch eine
(nicht dargestellte) Zahnstange oder einen Exzenter, der an den Gelenkpunkten 7
mit den Schiebern 4,5 verbunden ist Am Boden des Behälters 1 ist außerdem ein Stift
8 beweglich befestigt, der als Anschlag beim maßgenauen Positionieren der Substrathalterahmen
2 über einer in die Beschichtungsölnung 3 eingesetzten9 in der Zeichnung nicht dargestellten
lylaske dient Beim Weitertransport des untersten Rahmens 2 wird der Stift 8 nach
unten weggedrückt Die seitliche genaue Führung des Rahmens 2 an einer Längsseite
des Behälters 1 kann durch eine an der gegenüberliegenden Längsseite angebrachte
weiche Blattfeder erfolgen, 5 Patentansprüche 1 Figurthe stock stack with the uncoated panels is on the left
of which the stack with the coated plates. With the help of the slide 4, the
The bottom frame is pushed to the left under the second stack after coating
With the help of a second slide 5, the frame 2 from the left stack on the
right supply stack pushed back so that a circuit of the frame 2 within
of the container 1.6 takes place The slide 4.5 is driven, for example, by a
Toothed rack (not shown) or an eccentric attached to the hinge points 7
is connected to the slides 4, 5 At the bottom of the container 1 is also a pin
8 movably attached, which acts as a stop when accurately positioning the substrate holding frame
2 above a 9 inserted into the coating oil 3, not shown in the drawing
lylaske is used When the bottom frame 2 is transported further, the pin 8 is moved to
pushed away at the bottom The exact lateral guidance of the frame 2 on one long side
of the container 1 can be attached by a on the opposite longitudinal side
soft leaf spring done, 5 claims 1 figure