DE1920555U - DEVICE EXAMINATION OF SAMPLES WHILE HEATING IN A VACUUM, CONSISTS OF A FURNACE AND A MICROSCOPE, INSIDE A PRE-VACUUM CONTAINER. - Google Patents

DEVICE EXAMINATION OF SAMPLES WHILE HEATING IN A VACUUM, CONSISTS OF A FURNACE AND A MICROSCOPE, INSIDE A PRE-VACUUM CONTAINER.

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DE1920555U
DE1920555U DE1963C0010155 DEC0010155U DE1920555U DE 1920555 U DE1920555 U DE 1920555U DE 1963C0010155 DE1963C0010155 DE 1963C0010155 DE C0010155 U DEC0010155 U DE C0010155U DE 1920555 U DE1920555 U DE 1920555U
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Description

PATENTANWÄLTE "· " ' " ' ^ » I * 1 5. 4. 65PATENT LAWYERS "·"'"' ^» I * 1 5. 4. 65

DR. W. P. RADT
DIPL.ING. E. E. FINKENER
DR. WP RADT
DIPL.ING. EE FINKENER

Bochum DiPl--Ing. W. Ernes tiBochum Di Pl - Ing. W. Ernes ti

Heinrich-König-Straße 12
Fernsprecher: 4 15 50, 4 23 27
Heinrich-Koenig-Strasse 12
Telephone: 4 15 50, 4 23 27

109109

üki...IdS^HI-il' ^. L 1EaG-EEGrIE viiOkl-^lJEüki ... IdS ^ HI-il '^. L 1 EaG-EEGrIE viiOkl- ^ lJE

-inl^ge zur laiki-oskopischen oder anderen Beobachtung von in einer dichten Kammer befindlichen Gegenständen-inl ^ ge to the laiki-oskopischen or other observation of in objects located in a sealed chamber

irici-it^t: Frankreich, vom 2. Februar 1962irici-it ^ t: France, February 2, 1962

Die Erfindung betrifft die Anlagen zurThe invention relates to the systems for

^ii:ro3l£opisci"ien oder anderen Beobachtung von in einer dichten Iwi'uuar befindlichen Gegenständen, insbesondere stark oxydierbaren iiet^llen und Legierungen, im besonderen von. Proben von r^uio-^ctiven Letcllen, wobei diese Beobachtungen bei verschiedenen ie;::peraturen erfolgen, so d^i, infolge der Oxydierb^riieit dieser KeteilIe im Vakuum gearbeitet werden muß.^ ii: ro3l £ opisci "ien or other observation of objects located in a dense environment, in particular strongly oxidizable oils and alloys, in particular of ; :: temperatures take place, so that because of the ability of these parts to oxidize, work must be carried out in a vacuum.

Die Erfindung bezweckt insbesondere, die Schwieri^keixen zu umgehen, auf welche man bei den bekanntenThe aim of the invention is in particular to circumvent the difficulties encountered in the known

.uis führungen gestoisen w^r, um an einem Objekttisch eines jc-s eine beheizte Kammer anzubringen, in welcher ein.uis guides w ^ r to find a jc-s to install a heated chamber in which a

hierfür werden erfindungsgemäis Dei derartigen iailw.._ön Proben una die sie enthaltende Vakuumkammer innerhalb eii-ur ^ndji-en dichten Kammer angeordnet, insbesondere eines ri^iidsuhuhkcistiiis, und wenigstens der größte l'eil des iaikrosiioi-'ij oaer β±ΔΘί> anderen Beobachtungsgerätes wird außerhalb ae.3 U^iIdSChUiIkU-Stens angebracht, wobei Einrichtungen vorgebe^or. sinu, weiche eine Verstellung, insbesondere eine Trans-I^xiüi;ab3v,eoui-g, aes Objektivs des Beobachtungsgeräts gegenüber G.UX1 uuroli die Vcdcuuiakdinner und ihre proben gebildeten festen .uj-Oi-diiung eriiiüglichen.For this purpose, according to the invention, such iailw .._ ön samples and the vacuum chamber containing them are arranged within a tight chamber, in particular a ri ^ iidsuhuhkcistiiis, and at least the largest part of the iaikrosiioi-'ij oaer β ± ΔΘί> other observation device is attached outside ae.3 U ^ iIdSChUiIkU-Stens, with facilities vorgebe ^ or. sinu, soft an adjustment, in particular a trans-I ^ xiüi; ab3v, e o ui-g, aes lens of the observation device towards G.UX 1 uuroli the Vcdcuuiakdinner and their specimens-formed solid uu-di-diation eriiiüung.

jjie jjirxindung ist nachstehend unter Bezug-Uwih:.i3 -uf c.±a Zeichnung beispielsha,lber erläutert.jjie jjirxigung is explained below with reference-Uwih: .i3 -uf c. ± a drawing as an example.

i'ig, 1 ist eine teilweise geschnittenei'ig, 1 is a partially cut

oeit^i-^nsioht einer erfiiidungsgemäßen einlage 2ur mikrosko— j^ioGJieii Beobachtung von Proben von radioaktiven Metallen, welche in einer dichten Kammer einer arwärmung unterworfen v;eraen.oeit ^ i- ^ nsioht an insert according to the invention 2 for microscopy j ^ ioGJieii observation of samples of radioactive metals, which are subjected to warming in a sealed chamber v; eraen.

Pig. 2 zeigt einzeln in einem lotrechtenPig. 2 shows individually in a perpendicular

dohi-itt den in dieser Kammer angeordneten Ofen zur iärwäriaung u y l" j." X' O \j ü οdohi-itt the furnace arranged in this chamber for heating uyl "j." X 'O \ j ü ο

Ii1Ig. -j und 4 sind zwei fc>cu.alfbiläer der erj-iiidUi-^sgemuisen Äege!einrichtungen.Ii 1 Ig. -j and 4 are two fc> cu.alfbiläer of the erj-iiidUi- ^ sgemuisen Äege! institutions.

!'ig. 5 ist eine Temperaturu.nstiegskurve.! 'ig. 5 is a temperature rise curve.

Die Erfindung ist nachstehend in ihrerThe invention is hereinafter in its

..-jiv/enauiig auf aie mikroskopische Untersuchung von einer Er— Wo.rm.un.-; unterworfenen Proben von rcxdioaktiven Metallen er-..- jiv / accurate on aie microscopic examination of an er- Wo.rm.un.-; subjected samples of rcxdioactive metals to

läutert.purifies.

Es sei zunächst bemerkt, daß derartigeIt should first be noted that such

Metalle im allgemeinen stark oxydierbar sind, so daß diese Erwärmung im Vakuum und mit einem möglichst geringen Restdruck vorgenommen werden muß.Metals are generally highly oxidizable, so that these Heating in a vacuum and with the lowest possible residual pressure must be made.

Da ferner die sieh etwa bildenden Oxyde.There are also the oxides that are formed.

häufig pulverförmig sind, muß in einem"Handschuhkasten gearbeitet werden, um die Bedienungsperson gegen den radioaktiven Staub zu schützen:are often in powder form, must be worked in a "glove box to protect the operator against radioactive dust:

Diese besonderen Bedingungen führen daherThese special conditions therefore lead

normalerweise dazu, aas Mikroskop in dem Handschuhkasten anzuordnen und die heizbare Vakuumkammer an dem Objekttisch oder dem Stativ des Mikroskops anzubringen, was zu großen Schwierigkeiten führt, da der Objekttisch und somit auch die Vakuumkammer zur Erforschung des Gesichtsfelds gegenüber dem Objektiv verstellbar sein müssen.usually to place a microscope in the glove box and attaching the heatable vacuum chamber to the stage or the stand of the microscope, resulting in large Difficulties, because the stage and thus also the Vacuum chamber for exploring the field of view must be adjustable in relation to the lens.

TJm diesen H'achteilen abzuhelfen, wird erfindun,_sgemäß so vorgegangen, daß die dichte Kammer ortsfest in dem Handschuhkasten angeordnet wird, während das Mikroskop außerhalb dieses Kastens angebracht wird, wobei Einrichtungen vorgesehen sind, mittels welcher sein (z.B. den Kasten dicht durchdringendes) Objektiv gegenüber der Kammer und der Probe zur Untersuchung verschoben werden kann.In order to remedy these disadvantages, the invention is in accordance with the invention proceeded so that the tight chamber is fixedly arranged in the glove box, while the Microscope is attached outside this box, whereby Means are provided, by means of which his (e.g. the box tightly penetrating) lens opposite the Chamber and the sample can be moved for examination.

Hierfür wird das Mikroskop z.B. von einer Platte getragen, welche nach Belieben an einem außerhalb des Handschuhkastens liegenden Hal'ifer verstellt werden kann, wodurch die mikrometrischen Querverschiebungen des- üht'ersu-· '""" chungsliclitbündels hergestellt werden.". Wenn ferner mit--polari-For this purpose, the microscope is carried by a plate, for example, which can be attached to an outside at will the glove box lying Hal'ifer can be adjusted, whereby the micrometric transverse displacements des- üht'ersu- · '"" " chungsliclitbündels are produced. "If further with - polar-

siertem Licht gearbeitet werden soll', wird das Mikroskop-mit einer drehbaren Beleuchtungsvorrichtung versehen, welche mit einem entsprechenden licol oder Polarisator zusammenwirken kann, wobei diese Einrichtungen ebenfalls außerhalb des Handschuhkastens liegen, so daß schließlich alle Handhabungen an dem Mikroskop außerhalb des Handschuhkastens vorgenommen werden.The microscope is supposed to be used with controlled light a rotatable lighting device which interacts with a corresponding licol or polarizer can, these facilities are also outside of the glove box, so that ultimately all manipulations made on the microscope outside the glove box will.

Die obigen Bedingungen können auf verschiedene Weise verwirklicht vier den.The above conditions can be realized in various ways.

Bei der in 21Ig. 1 und 2 dargestellten Ausführung besteht die dichte Kammer zur Aufnahme der zu untersuchenden 1-robe 1 (S!ig. 2) z.B. aus einem zylindrischen Körper 2, welcher _*n seinen beiden Enden unter Zwischenschaltung von Dichtungen 5 durch zwei Böden 5 und 4 dicht abgeschlossen ist, wobei der Boaen 3 für die mikroskopisch© untersuchung eine öffnung enthält, welche durch eine planparallele Quarzplatte 6 abgeschlossen ist.In the case of the in 2 1 Ig. Embodiments 1 and 2, there is a tight chamber for receiving the robe 1 to be inspected 1 (S! Ig. 2) for example, of a cylindrical body 2, which _ * n its two ends with the interposition of seals 5 through two floors 5 and 4 is tightly closed, with the boaen 3 for the microscopic examination containing an opening which is closed by a plane-parallel quartz plate 6.

Diese Platte ist.an'dem entsprechenden Boden durch Kleben oder Schweißen befestigt.This plate is on the appropriate floor attached by gluing or welding.

Die Kammer 2 ist du.reh eine Leitung 7 mitChamber 2 is a line 7 with you

einem Motorpumpenaggregat 8 zur Erzeugung eines Hochvakuums verbunden. Ferner ist bei 9 eine Falle mit flüssigem Stickstoff dargestellt. Bei einer derartigen Vorrichtung tritt keine 'Verseuchung des Strömungskreises für den flüssigen Stickstoff auf.a motor pump unit 8 for generating a high vacuum connected. Also at 9 is a trap with liquid nitrogen shown. With such a device there is no contamination of the flow circuit for the liquid nitrogen on.

Bei 10 und 11 sind ein© Ionisierungsmanometer bzw. ein bei gewissen 'Vo rgänge-n_ zu benutzender Hilfstiegel dargestellt. Wenn insbesondere die Struktur des untersuchten Metalls sichtbar gemacht werden soll, Ermöglicht dieser HilfstAt 10 and 11 there is an © ionization manometer or an auxiliary crucible to be used for certain processes shown. If, in particular, the structure of the metal being examined is to be made visible, this helps

tiegel den Angriff durch eine durch Verflüchtigung eines Salzes hergestellte gasförmige Phase.crucible the attack by a volatilization of a salt produced gaseous phase.

Die Kammer 2 ist zweckmäßig doppelwandig und wird durch einen Wasserumlauf gekühlt.The chamber 2 is expediently double-walled and is cooled by a water circulation.

In diese dichte Kammer wird die zu untersuchende probe 1 gebracht, welche a.B. , wie in Pig. 2 dargestellt, von einem Halter 2 getragen wird, welcher in Klemmbacken 13 auslauft, v?elche die Probe mit ihren Enden erfassen. Diese Befestigungsart gewährleistet eine reproduzierbare Einstellung der Probe in Bezug auf die optische Achse des Systems, welche während der Erwärmung aufrechterhalten bleibt, lerner kann sich die Probe frei dehnen, ohne daß Wärmebeanspruchungen entstehen. als Heizquelle, welche die Probe auf die" gewünschten Temperaturen bringt, wird z. B., wie in Pig. 2 dargestellt, ein Ofen mit einem schraubenförmigen Heizwiderstand 14 benutzt, welcher zwischen reflektierenden Metallschirmen 15 angeordnet ist» Dieser Heizwiderstand wird vorzugsweise durch einen Chromniekelleiter gebildet und besitzt eine Isolierhülle aus ■ Magnes!^.pulver sowie eine äußere Hülle aus einem Metall der unter dem I ame η "Iconel" bekannten Art"· .. - "The sample 1 to be examined, which a.B. as in Pig. 2 illustrated by a holder 2 is carried, which runs out in clamping jaws 13, v? elche grasp the sample with its ends. This type of attachment ensures a reproducible setting of the sample in relation to the optical axis of the system, which is maintained while heating, the sample can learn to expand freely without causing thermal stresses. as a heat source, which the sample to the "desired temperatures." brings, z. B., as in Pig. Shown in 2 is an oven used with a helical heating resistor 14, which is arranged between reflective metal screens 15 » This heating resistor is preferably made by a chrome-plated ladder formed and has an insulating sleeve made of ■ Magnes! ^. powder and an outer sleeve made of a metal of the under the I ame η "Iconel" known type "· .. -"

Ferner kann auch bei hohen Temperaturen, umIt can also be used at high temperatures

3ede Störmetallisierung zu vermeiden, ein Wolframwiderstand benutzt werden, da, dieses Metall in warmem Zustand sehr gute mechanische j?estigkeitseigenschaf ten behält.To avoid any interfering metallization, a tungsten resistor should be used, as this metal retains very good mechanical resistance properties when it is warm.

Die Wendel kann dann mi-t Hilfe von platiiidrkhten an einem Stab aus -ilumiriiumoxyd "befestigt werden.The helix can then be twisted with the help of platinum attached to a rod made of -iluminium oxide ".

!Ferner ist zu bemerken, daß das "Metall" der Probe 1 zweckmäßig von den Klennifbäekeir an dem Teil 13 durch! It should also be noted that the "metal" of the Sample 1 by the Klennifbäekeir on part 13

eine sehr dünne !Folie aus einem geeigneten Metall isoliert wird.a very thin! foil made of a suitable metal is insulated will.

Die obige dichte Kammer ist an einem HalterThe above sealed chamber is on a holder

16 angebracht, welcher an Säulen 17 befestigt ist, welche in Bälgen 18 durch einen Handschuhkasten 19 treten, welcher die Kammer und die mit dieser verbundenen Teile umgibt.16 attached, which is attached to columns 17 which pass in bellows 18 through a glove box 19, which the Chamber and the parts connected to it.

Bei 20 sieht man die Durchführung der zu der !Falle 9 gehenden Leitung mit Abdichtungsbälgen 21.At 20 one sees the implementation of the line going to the trap 9 with sealing bellows 21.

Das Mikroskop zur Beobachtung durch das 4uarzienster 6 ist folgendermassen ausgebildet:The microscope for observation by the 4uarzienster 6 is designed as follows:

Es wird von einer Platte 22 getragen, welche an einem Tisch 23 ausserhalb des Handschuhkastens 19 angeordnet ist, und sein Objektiv 24- kann so durch eine entsprechende öffnung 25 der Wand des Kastens treten, dass es dem Fenster 6 gegenüberkommt. Dichtungsbälge halten die Dichtigkeit des Handschuhkastens an der Durchtrittsstelle des Mikroskops aufrecht.It is carried by a plate 22 which is arranged on a table 23 outside the glove box 19 is, and its lens 24- can pass through a corresponding opening 25 in the wall of the box that it is the Window 6 opposite. Sealing bellows keep the glove box tight at the point where the microscope passes through upright.

Bei der dargestellten Ausführung ist derIn the embodiment shown, the

Körper oder Tubus 26 des Mikroskops mit der Platte 22 durch einen Mikrometerblock 27 verbunden, und die Abdichtung des Handschuhkastens wird durch Bälge 28, 29 hergestellt, welche den Körper 26 mit dem Eand der Öffnung 25 sowie mit dem optischen System verbinden.The body or tube 26 of the microscope is connected to the plate 22 by a micrometer block 27, and the seal of the Glove box is made by bellows 28, 29, which the body 26 with the Eand of the opening 25 as well as with the connect optical system.

Zur Ermöglichung der Verschiebung des Se-To enable the postponement of the se-

siclitsfelds und somit der Erforschung der gesamten Oberfläche der Probe sind einrichtungen vorgesehen, welche die Platte mikrometrisch verschieben, z.B. mittels der ivlikrometerschraube 30, wobei die Platte auf dem Tisch 23 über Klötze 31 aufliegt, von denen z. B. drei vorhanden sein können.siclitsfelds and thus the exploration of the entire surface Devices are provided for the sample which move the plate micrometrically, e.g. by means of the ivicrometer screw 30, whereby the plate rests on the table 23 via blocks 31, of which z. B. may be three.

r) _- r ) _

ferner kann., insbesondere wenn mit polarisiertem Licht gearbeitet werden soll, eine drehbare Beleuchtungs vorrichtung in Kombination mit einem oder mehreren Polarisatoren oder Nicols vorgesehen werden.can also., especially if with polarized Light should be worked, a rotating lighting device can be provided in combination with one or more polarizers or Nicols.

Bei der dargestellten Ausführung sieht manIn the embodiment shown, you can see

bei 32 das Okular, bei 34- einen Polarisator und bei 33 ein Polarisationsinterferometer. Der Polarisator 34- wirkt mit dem Polarisator 35 zusammen, welcher in4ine Beleuchtungsvorrichtung 36 eingebaut ist und mit einem Prisma $7 zusammenwirkt, wobei die gesamte Anordnung um die Achse des Tubus mit Hilfe von Kugellagern 38 drehbar ist, während der Tubus 24·, 26 selbst nicht drehbar ist.at 32 the eyepiece, at 34 a polarizer and at 33 a Polarization interferometer. The polarizer 34 cooperates with the polarizer 35, which in FIG. 4 is a lighting device 36 is installed and cooperates with a prism $ 7, where the entire arrangement can be rotated around the axis of the tube with the aid of ball bearings 38, while the tube 24, 26 itself is not rotatable.

Bei einer derartigen Anordnung erfolgt dieWith such an arrangement, the

Handhabung des Mikroskops offenbar vollständig ausserhalb des Handschuhkastens, wobei alle üblichen Beobachtungsfcechniken benutzt werden können, insbesondere durch Drehung der Beleuchtungsvorrichtung und Beleuchtung mit polarisiertem Licht.Handling of the microscope apparently completely outside the Glove box, with all the usual observation techniques can be used, in particular by rotating the lighting device and lighting with polarized light.

Diese Handhabung hat ferner keinen. Einfluss auf die Dichtigkeitsbedingungen des Handschuhkastens 19 und der dichten Kammer 2.Furthermore, this handling has no. Influence on the tightness conditions of the glove box 19 and the tight chamber 2.

Es ist zu bemerken, dass die Benutzung der Apparatur eine vorherige Entgasung der Heizkammer 2, ihres Ofens 14-, 15 und der !Falle 9 erforderlich macht.It should be noted that the use of the apparatus requires prior degassing of the heating chamber 2, yours Oven 14, 15 and the trap 9 makes it necessary.

Hierfür werden entfernbare nicht dargestellte Heizelemente benutzt.Removable heating elements, not shown, are used for this.

Die Säulein 1? ruhen auf dem Boden. Da sieColumn 1? rest on the ground. Since they

mit dem Handschuhkasten nicht unmittelbar sondern über Bälge 18 oder andere Zwischenteile verbunden sind, werden infolgeare not connected directly to the glove box but via bellows 18 or other intermediate parts, as a result

des Fehlens starrer Verbindungen Schwingungen nicht übertragen, welche für die Mikrophotographie störend sein könnten.the lack of rigid connections does not transmit vibrations, which could be disturbing for the photomicrograph.

Der Handschuhkasten selbst ruht auf Missen 39.The glove box itself rests on Missen 39.

Die Heizvorrichtungen können übrigens vonIncidentally, the heating devices can be from

den dargestellten verschieden sein. So kann z.B. die Induktionsheizung oder die Heizung durch Elektronenbeschuss benutzt werden.be different from those shown. For example, induction heating or the heating by electron bombardment can be used.

Mit der obigen Anordnung wird zweckmässigWith the above arrangement it becomes expedient

ein System zur selbsttätigen Regelung zur Aufrechterhaltung der Temperatur auf gewünschten einstellbaren Werten kombiniert. Dieses System enthält Thermoelemente, welche mit entsprechenden Steuerrelais zusammenwirken.a system for self-regulation to maintain the temperature combined to the desired adjustable values. This system contains thermocouples, which with corresponding Control relays interact.

Es kann im besonderen interessant sein, einen Temperaturanstieg gemass einer bestimmten Eurve zu erhalten, insbesondere einen linearen Anstieg der Temperatur T in Punktion der Zeit t, z.B. gemäss der Eurve C der B'ig. 5 derart, dass Abschnitte P konstanter Temperatur auftreten, welche einer Umwandlung der zu untersuchenden Metalle oder Legierungen entsprechen.It can be particularly interesting to obtain a temperature rise according to a certain Eurve, in particular a linear increase in temperature T in puncture time t, e.g. according to Eurve C of B'ig. 5 such, that sections P of constant temperature occur, which cause a transformation of the metals or alloys to be examined correspond.

Zur Herstellung des Eegelsystems kann z.B.For the production of the Eegel system e.g.

eine erfindungsgemässe Anordnung benutzt werden, bei welcher zwei Spannungen gegeneinander geschaltet werden, nämlich eine Vergleichsspannung, welche z.B. von einem Eegelwiderstand kommt, v/elcher mittels seines Schiebers die insbesondere lineare Änderung dieser Spannung erzeugt, während die andere Spannung einem Thermoelement entnommen wird, welches der Temperatur des Ofens ausgesetzt ist, welcher elektrisch durch einen Heizkreis beheizt wird, welcher durch einen zweitenan inventive arrangement can be used in which two voltages can be switched against each other, namely a comparison voltage, which e.g. from a level resistor comes, v / which by means of its slide generates the particular linear change in this voltage, while the other Voltage is taken from a thermocouple, which is exposed to the temperature of the furnace, which electrically through a heating circuit is heated, which by a second

Regelwiderstand gesteuert wird, wobei Antriebseinrichtungen vorgesehen sind, welche durch die durch den Vergleich der beiden obigen Spannungen entstandene 'Fehlerspannung gesteuert werden und insbesondere den aveiten Regelwiderstand so betätigen, dass die gewünschte Heiztemperatur Jederzeit hergestellt wird.Variable resistor is controlled, with drive devices are provided which are controlled by the 'error voltage resulting from the comparison of the two above voltages and in particular operate the aveiten rheostat in such a way that that the desired heating temperature is established at any time will.

Diese letzteren Einrichtungen enthalten z.B. ein antrieb syst ein, welches in der einen oder der anderen Richtung durch ein durch diese Fehlerspannung beeinflusstes Spannungsrelais in Tätigkeit gesetzt wird und die Steuerung des zweiten Eegelwiderstands bewirkt," insbesondere in Form von aufeinanderfolgenden Impulsen.These latter devices contain e.g. a drive system which is in one or the other Direction by one influenced by this error voltage Voltage relay is activated and the controller of the second level resistor, "in particular in the form of successive pulses.

Die obige Ausbildung wird gemäss einer ersten in Fig. 3 dargestellten Ausführung folgendermassen verwirk- " licht.The above training is based on a first Implementation shown in Fig. 3 as follows " light.

Der erste Regelwiderstand 41 wird durch eineThe first variable resistor 41 is through a

Spannungsquelle 42 gespeist. Sein Schieber wird z.B. von einem Synchronmotor IL angetrieben, dessen Drehzahl entsprechend der gewünschten Temperaturanstiegskurve gewählt wird. Die Spannung an den Klemmen des Widerstands bei a-c- ist somit die obige Vergleichs spannung.Voltage source 42 fed. Its slide is e.g. Synchronous motor IL driven, the speed of which is selected according to the desired temperature rise curve. The voltage at the terminals of the resistor at a-c- is the above comparison voltage.

Diese Spannung wird bei b gegen die Spannung geschaltet, Vielehe von einem Thermoelement erzeugt wird, welches der Temperatur des Ofens ausgesetzt und insbesondere an den iieizwiderstand 14 desselben angeschweisst ist.This voltage is switched at b against the voltage, many being generated by a thermocouple, which is exposed to the temperature of the furnace and in particular welded to the heating resistor 14 of the same.

Die in dem Stromkreis a-b-c; auftretendeThose in the circuit a-b-c; occurring

Fehlerspannung betätigt dann das Spannungsrelais 46, welches ge nach ihrem Sinn einen unabhängigen Stromkreis 47 öffnet oder schließt, welcher ein oder mehrere JJinsch.altre.lais ent-Error voltage then actuates the voltage relay 46, which ge opens an independent electric circuit 47 according to its purpose or closes which one or more JJinsch.altre.lais

hält, deren Spule "bei 4-8 sichtbar ist.holds whose coil "is visible at 4-8.

Dieses letztere Relais setzt z.B. in derThis latter relay is set e.g. in the

weiter unten angegebenen leise in dem einen oder· dem anderen Sinn das Antriebssystem zur Betätigung des Schiebers des zweiten Regelwiderstands 4-9 in Betrieb, welcher die Spannung des z.B. aus dem Hetz S gespeisten Heizkreises 14- beeinflusst.specified below quietly in one or the other Sense the drive system for actuating the slide of the second variable resistor 4-9 in operation, which the voltage of the heating circuit 14- fed e.g. from the Hetz S.

Das Antriebssystem enthalt einen Motor Mp mitThe drive system includes a motor Mp with

zwei Wicklungen 50 und 50' für die beiden Drehrichtungen. Dieser Motor treibt den Schieber des Hegelwiderstands 4-9 an und wird durch einen Schalter I von dem Relais 4-8 aus gesteuert, wobei er jedoch auch unter der Abhängigkeit von Unterbrecherkontakten steht, welche durch die weiter unten erwähnten Motoren gesteuert werden.two windings 50 and 50 'for the two directions of rotation. This The motor drives the slide of the Hegel resistor 4-9 and is controlled by a switch I from the relay 4-8, whereby however, he also depends on breaker contacts which are controlled by the motors mentioned below.

Es sind noch zwei weitere Motoren m^ und aipThere are two more motors m ^ and aip

vorhanden, welche von einem zweiten Schalter i durch das Relais gesteuert werden und durch Hocken C^, Op Kontaktsätze 52, 53 und 52', 53' steuern, wobei der erste Motor itu für einen bestimmten Drehsinn des Motors IL (Wicklung 50) und der zweite Motor nip für den anderen Drehsinn (Wicklung 50') wirksam wird.present, which are controlled by a second switch i through the relay and by crouching C ^, Op contact sets 52, 53 and 52 ', 53' control, the first motor itu for one specific direction of rotation of the motor IL (winding 50) and the second motor nip effective for the other direction of rotation (winding 50 ') will.

Es sind zwei Nocken G* vorhanden, welcheThere are two cams G * which

gleichzeitig einen Kontakt 52 öffnen und einen anderen Kontakt 53 schliessen. Das Gleiche gilt für zwei Stocken Gp hinsichtlich der Kontakte 52', 55'· Die Nocken haben in jedem Paar eine entsprechende Winkelstellung.at the same time open a contact 52 and another contact 53 close. The same goes for two floors as regards Gp of contacts 52 ', 55' · The cams have in each pair a corresponding angular position.

Die obige Anordnung arbeitet z.B. folgendermassen: The above arrangement works as follows, for example:

Wenn sich s.B. das Umschaltrelais I-i zu-If s.B. the switchover relay I-i

— 1 Ί —- 1 Ί -

nächst in der Stellung 0-1 befindet, wie in Pig. 3 dargestellt, laufen folgende Vorgänge beim Vorbeigang der Nocken C1 vor ihren Mikrokontakten 52, 53 ab:next is in the 0-1 position, as in Pig. 3, the following processes take place when the cams C 1 pass in front of their microcontacts 52, 53:

Die Masche A-B-G: öffnet sich bei 52, aberThe stitch A-B-G: opens at 52, but

der sich drehende Motor nu dreht sich weiter, da er durch die masche A-C gespeist wird.the rotating motor now continues to rotate because it is driven by the mesh A-C is fed.

Die Masche Ε-ϊ-Φ schliesst sich jedoch beiThe mesh Ε-ϊ-Φ closes, however

53, so dass der Motor M 2 durch seine Wicklung 50 gespeist wird und während der Schliessungszeit des Kontakts 53 den beweglichen Arm des Regelwiderstands 4-9 antreibt.53, so that the motor M 2 is fed through its winding 50 and during the closing time of the contact 53 the moving arm of rheostat 4-9 drives.

Die gleichen Vorgänge spielen sich beiThe same processes play a role

jeder Umdrehung des Motors nu ab, woraus sich eine impulsweise, d.h. sprungweise Änderung der Spannung an den 'Klemmen des Ofens bed 14 ergibt. Dies dauert an, bis der Strom in der Masche a-b~c- seine Richtung wechselt", so dass die Umschalter I-i nach 0-2 kommen.every revolution of the motor, from which a pulsed, i.e. a sudden change in the voltage at the terminals of the oven bed 14 results. This continues until the electricity is in Stitch a-b ~ c- changes direction "so that the switches I-i come to 0-2.

Der Motor m- bleibt dann stehen, währendThe motor m- then stops while

sich der Motor mo in Betrieb setzt, um mit der Wicklung 50' des Motors M2 und mit den Kontakten 52,' 52' und 53, 53' ein entsprechendes Arbeiten zu erzeugen.the motor m o goes into operation in order to generate a corresponding operation with the winding 50 'of the motor M 2 and with the contacts 52,' 52 'and 53, 53'.

Bs ist zu bemerken, dass der Motor nu nurIt should be noted that the engine is only

beim Vorbeigang des Nockens CL stehen bleibt, welcher die Masche A-B-C öffnet und die Masche E-F-G schliesst. In dieser Stellung ist die Anordnung betriebsbereit, um sofort einen Impuls zu übertragen, wenn das Umschaltrelais die Kontakte I-i wieder auf 0-1 schaltet. Ss ist also keine Totzeit vorhanden, was einer der Vorteile der obigen Vorrichtung mit „ mehreren Motoren ist.when the cam CL passes, which the Stitch A-B-C opens and stitch E-F-G closes. In this Position, the arrangement is ready to immediately transmit a pulse when the changeover relay makes contacts I-i switches back to 0-1. So there is no dead time, which is one of the advantages of the "multiple motor device" above.

Scliliesslich führt im GleichgewichtszustandUltimately leads in a state of equilibrium

der Arm des Regelwiderstands 49 eine hin und her gehende Bewegung um eine Gleichgewichtsstellung aus. Sine Neigung des Ofens zur Abkühlung oder zur Erwärmung hat eine Veränderung der Periode dieser Bewegung zur Folge.the arm of the rheostat 49 has a reciprocating motion about a position of equilibrium. Sine inclination of the Oven for cooling or heating has a change the period of this movement.

Bei einer derartigen-Vorrichtung sind z.B. zwei Änderungsgeschwindigkeiten der Temperatur vorhanden, von denen die eine 100° C/h und die andere 200° G/h beträgt. Die Drehzahl der die Nocken antreibenden Motoren beträgt z.B. eine Umdrehung in 6 Sekunden. Die Nocken haben einen Arbeitswinkel von etwa 15°· Diese Angaben stellen jedoch keine Beschränkung dar.In such a device e.g. there are two rates of change of temperature, one of which is 100 ° C / h and the other is 200 ° G / h. The speed of the motors driving the cams is e.g. one revolution in 6 seconds. The cams have a working angle of around 15 ° represent.

Aufzeichnungen der Temperatur als FunktionRecords the temperature as a function

der Zeit bei einem Ofen der obigen Art zeigen eine Temperaturschwankung in der Grössenordnung eines Grades, wobei die Trift der Kurve null ist.over time in a furnace of the above type show a temperature fluctuation of the order of magnitude, with the drift of the curve being zero.

Bei der Vorrichtung der Fig. 3, bei welcher die Regelwirkung unverzögert auftritt, kann man eine Unterbrechungsperiode in der Grössenordnung von 30 Sekunden erhalten. Diese Periode ist gross genug, um eine geringe Verzögerung bei der Eegelwirkung zuzulassen, was die Vereinfachung der Vorrichtung z.B. geraass folgender Ausführung gestattet.In the device of FIG. 3, in which If the control effect occurs without delay, an interruption period can be used on the order of 30 seconds. This period is large enough to cause a slight delay to allow the control effect, which simplifies the device E.g. the following design is permitted.

Bei dieser Ausführungsform, bei v/elcher ebenfalls bei 50 und 50' die beiden Wicklungen des den Regelwiderstand bS antreibenden Motors M2 dargestellt sind, erfolgt die aufeinanderfolgende Einschaltung der beiden Wicklungen mittels eines einzigen Nockens C, welcher zwei-"Kontakte 535 53'""betätigt und ständig von einem Motor m angetrieben wird.In this embodiment, at v / elcher also at 50 and 50 'the two windings of the motor M 2 driving the variable resistor b S are shown, the two windings are switched on one after the other by means of a single cam C, which has two "contacts 53 5 53 '"" operated and constantly driven by a motor m.

Je nach der Stellung des Umschaltrelais wird
die entsprechende Wicklung während der Vorbeigangßdauer des Nockens erregt. In dem ungünstigsten Fall erfolgt die Eegelwirkung mit einer Verzögerung, welche gleich der Zeit ist,
welche der den Nocken antreibende Motor zur Ausführung einer Umdrehung braucht (dies ist der Fall, in welchem das umschaltrelais sä.ine Stellung in dem Augenblick wechselt, in welchem die Wirkung des Nockens auf den entsprechenden Schalter aufhört) .
Depending on the position of the changeover relay
the corresponding winding is energized during the passage time of the cam. In the worst case, the control action takes place with a delay which is equal to the time
which the motor driving the cam needs to perform one revolution (this is the case in which the changeover relay changes a position at the moment in which the action of the cam on the corresponding switch ceases).

Obwohl dieses System weniger genau ist, ist
es doch für zahlreiche i?äl,le geeignet.
Although this system is less accurate it is
it is suitable for numerous i? äl, le.

Die obige Anlage besitzt gegenüber den bekannten Anlagen dieser Art zahlreiche Vorteile, insbesondere folgende:The above system has numerous advantages over the known systems of this type, in particular the following:

Sie ermöglicht eine bequeme Handhabung vonIt enables convenient handling of

ausserhalb des Handschuhkastens, sie erleichtert die Montage, insbesondere der dichten Kammer und ihres Ofens, und stellt günstige Bedingungen für die "Regelung "desOfens her.outside the glove box, it facilitates assembly, especially the sealed chamber and its furnace, and provides favorable conditions for the "regulation" of the furnace.

Claims (2)

Γ. H, 3 £ I TO 3 w £ J/©VlKr Amtl. Aktζ.: G 10 155/4-2h Gbm Unser Aktz.: 63 109 IPR/'DB (Neue) SchutzansprücheΓ. H, 3 £ I TO 3 w £ J / © VlKr Amtl. Aktζ .: G 10 155 / 4-2h Gbm Our Aktz .: 63 109 IPR / 'DB (new) protection claims 1. Gerät zur Untersuchung von Proben unter Erhitzung im Vakuum, bestehend aus einem innerhalb eines Vorvakuumbehälters angeordneten Ofen und einem Mikroskop, dadurch gekennzeichnet, daß der mit einem Beobachtungsfenster (6) versehene Ofen (14, 15) innerhalb des mittels laltenbälgen (18, 21, 28, 29) abgeschlossenen, unter einem Vorvakuum stehenden Behälters (19) angeordnet ist und daß das Objektiv (24) des zur Beobachtung der Probe (1) dienenden, im übrigen außerhalb des Behälters (19) befindlichen Mikroskops mittels einer Dichtungsmembrane (29) die Wandung des Behälters (19) durchsetzt.1. Device for examining samples with heating in a vacuum, consisting of one inside a fore-vacuum container arranged furnace and a microscope, characterized in that the furnace provided with an observation window (6) (14, 15) inside the container, which is closed by means of elongated bellows (18, 21, 28, 29) and is under a preliminary vacuum (19) is arranged and that the objective (24) for observing the sample (1) is used, otherwise outside the container (19) located microscope by means of a sealing membrane (29) the wall of the Container (19) penetrated. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadureh gekennzeichnet, daß Tragsäulen (17) vorgesehen sind, auf denen sowohl das Mikroskop als auch der unter Vakuum stehende Ofen ruhen und die durch den unter Vorvakuum stehenden Behälter (19) hindurchgehen, wobei die Durehtrittsstellen der Behälterwände (19) mittels geeigneter Membrandichtungen (18) abgeschlossen sind.2. Apparatus according to claim 1, characterized in that support columns (17) are provided on which both the Both the microscope and the vacuum oven are at rest and the containers (19) under a preliminary vacuum go through, the passage points of the container walls (19) by means of suitable membrane seals (18) Are completed.
DE1963C0010155 1962-02-02 1963-01-26 DEVICE EXAMINATION OF SAMPLES WHILE HEATING IN A VACUUM, CONSISTS OF A FURNACE AND A MICROSCOPE, INSIDE A PRE-VACUUM CONTAINER. Expired DE1920555U (en)

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