DE1912817C3

DE1912817C3 - Corpuscular beam device for surface imaging with a vacuum vapor deposition device

Info

Publication number: DE1912817C3
Application number: DE19691912817
Authority: DE
Inventors: Hans 1000 Berlin Helwig
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1969-03-10
Filing date: 1969-03-10
Publication date: 1974-02-07
Also published as: DE1912817A1; DE1912817B2

Description

Die Erfindung betrifft ein Korpuskularstrahlgora:The invention relates to a corpuscular beam gora:

i.ur Abbildung tier Oberfläche eines Präparats um¹ einem schwenkbar gelagerten Präpariithalter, w.iiv: das Präparat durch die Schwenkung zwischen zv.ei Teilgeräten bewegbar ist, von denen das ein^ Teiij\- rät die zur Abbildung dienenden Einrichtungen e.i;-i.ur illustration of the surface of a specimen around ¹ a swiveling mounted specimen holder, w.iiv: the specimen can be moved by pivoting between two sub-devices, of which one part advises the devices used for imaging; -

ao hält und das andere Teilgerät eine Vakuum-B^- dampfungseinrichtung für das Präparat ist, sowie- mit einer den Außenraum mit dem Innenraum des Cies ates verbindenden Präparatschieuse. Ein Korpuskuluistrahlgerät dieser Art in Form eines Emissions-i ;ek-ao holds and the other subdevice a vacuum B ^ - steaming device for the preparation is, as well as- with one the outside space with the inside of the Cies ates connecting specimen slide. A body blasting machine of this kind in the form of an emission i; ek-

a5 tronenmikroskops ist in der schweizerischen Patentschrift 455 959 beschrieben. Hier ist außer dem schwenkbaren Präparathalter eine besondere Prapa ratschleuse vorgesehen.a5 electron microscope is in the Swiss patent specification 455 959. Here's besides that swiveling specimen holder a special Prapa ratschleuse provided.

Korpuskularstrahlgeräte, auf die sich die Frfindung bezieht, sind insbesondere Raster- oder Scanning-Mikroskope zur Herstellung plastischer Bilder unter Verwendung eines Korpuskularstrahls, insbesondere eines Elektronenstrahls, die zunehmend an Bedeutung gewinnen. In vielen Fällen unterwirft man hierbei das abzubildende Präparat zunächst einer Bedampfung mit einer Kohlenstoff- oder Metallschicht. Corpuscular beam devices on which the discovery refers, are in particular raster or scanning microscopes for the production of plastic Images using a corpuscular beam, particularly an electron beam, are increasingly gain in importance. In many cases, the preparation to be imaged is first subjected to this vapor deposition with a carbon or metal layer.

Die Erfindung befaßt sich mit der Aufgabe, Korpuskularstrahlgeräte der eingangs genannten Art zuThe invention is concerned with the task of particle beam devices of the type mentioned at the beginning

vereinfachen. Dies wird gemäß der Erfindung dadurch erreicht, daß die Präparatschleuse als zwischen den beiden Teilgeräten liegende Stabschleuse ausgebildet ist und daß der Präparathalter in das stab- oder rohrförmige Innenteil der Stabschleuse eingesetzt ist, das zur Schwenkung zwischen den zwei Teilgeräten und zur Kippung des Präparates gegen die Achse des Abbildungs-Teilgerätes um seine Längsachse drehbar ist. Hierbei isi die Präparatschleuse mit der Schwenkvorrichtung für den Präpa-simplify. This is achieved according to the invention in that the specimen lock as between the two sub-devices lying sluice is formed and that the specimen holder in the rod or tubular inner part of the rod lock is inserted, which is for pivoting between the two Subdevices and for tilting the preparation against the axis of the imaging subdevice around its Is rotatable longitudinal axis. This is where the specimen sluice is with the swivel device for the

jo rathalter identisch, so daß eine besondere Schleuse wegfällt. Vorzugsweise wird man das Innenteil der Stabschleuse um 180° drehbar machen, da man dann die beiden Teügeräte einander gegenüberliegend bezüglich der Stabschleuse anordnen kann. Es ist aber auch möglich, den Winkel zwischen den beiden Teilgeräten anders zu wählen, wenn dies beispielsweise hinsichtlich der Raumausnutzung günstiger ist. jo rathalter identical, so that a special lock is omitted. The inner part of the rod lock will preferably be made rotatable by 180 °, since the two parts can then be arranged opposite one another with respect to the rod lock. However, it is also possible to choose the angle between the two sub-devices differently if this is more favorable, for example, with regard to the utilization of space.

Stabschleusen sind an sich bereits bekannt, beispielsweise aus der deutschen Patentschrift 865 169. Der wesentliche Bestandteil der hier beschriebenen Stabschleuse ist ein rohrförmiges Teil, das zum Ein- und Ausschleusen eines Präparates zur Aufnahme der Präparaihalterung sowie von Mitteln dient, dieRod locks are already known per se, for example from German patent specification 865 169. The essential part of the rod lock described here is a tubular part that and discharging a preparation for receiving the preparation holder and means that

Sj nach Art eines Gestänges das Präparat in Richtung der Achse des Korpuskularstrahls zu verstellen gestatten. Weiterhin kann durch Drehung des rohrförmigen Teiles das Präparat gekippt werden.Sj in the manner of a linkage the preparation in the direction allow the axis of the corpuscular beam to be adjusted. Furthermore, the specimen can be tilted by rotating the tubular part.

Dem FräparathalU'r können ferner Mittel zur Drehung des unu-T dem abbildenden Korpuskularstrahl cnU-T im Wirkungsbereich der Vakuum-Be-.v'mpfungsemriditung liegenden Präparates zu- f L'oidiiei sein. jThe FräparathalU'r may further comprise means for rotating the UNU-T the imaging particle beam CNU T in the area of influence of the vacuum-Be-.v'mpfungsemriditung be lying preparation to-f L'oidiiei. j

Viel dem vorliegenden Korpuskuiarstnihlgerät ist ι lerner möglich, durch Unterbringung weiterer An-■ ,el·.:' in dem Innenteii der Stabschleuse weitere Be-■■.'ungsmögiicriki.'iten für das Fräparat zu schaffen. ,'.J zwar sowohl während des Bedampfungsvorgan- to Much of the present body assembly device is learner able to create further possibilities of operation for the preparation by accommodating further devices in the inner part of the rod lock. , '. J both during the steaming process

als auch während der Abbildung. So zeichnet >■!-. eine zweckmäßige Au!.führungsform der Erfinüig dadurch aus, daß der Präparathalter eine längs ...·5 Duichmessers des Innenteils der Präparatnkiise verlaufend in das Innentei! eingesetzte Ge-■fidespinde! aufweist, die derart schwergängig in ■; ^. er Gu>.> indehülse gehalten ist, daß-die Gewin.dei.-.tl·;-¹ bsi Drehungen der Gewindehübe mitgenom-■n wird, die durch Betätigung aus dem Innentei! r Fiäparaibchleuse stirnseuig in. den Außenraurr: freiender Antriebsmittel hervorgerufen v/erden. .;hei wird man zwetkmäßigcrweise die Gewinde-• :L;e und die Antriebsmittel über ein Reibradge-'ebe in Verbindung stehen lasser., wodurch, in vor- - ;ihafter Weise fin Spiel vermieden ist. s5as well as during the illustration. This is how> ■! -. an expedient embodiment of the invention in that the specimen holder has a longitudinal ... · 5 diameter of the inner part of the specimen into the inner part! used fide lockers! has that so stiff in ■; ^. it is held> indehülse Gu> that-the · Gewin.dei .- tl; -. ¹ is bsi rotations of Gewindehübe mitgenom- ■ n, by operation of the Innentei.! r Fiäparaibchleuse forehead in. the outer room: free drive means caused v / earth. .; hot the thread- •: L; e and the drive means are temporarily connected via a friction wheel., whereby, in an exemplary manner, fin play is avoided. s5

im Hinblick darauf, daß sowohl während der Abiidung als auch während des Bedampfungsvorganj-s das Präparat in bestimmten Abständen von den jeweiligen »StrahlqueHen* liegen muC, wird man eiern Präparathalter weiterhin Mittel zur Verstellung .vs Präparates in Richtung des abbildenden Korpuskularstrahles und in Richtung auf die VakuunvBeliampfungseinrichtung zu zuordnen. A-ich die Mittel zu dieser Höhenverstellung brauchen für den Betrieb der beiden Teilgeräte nur einmal vorhanden zu «ein.In view of the fact that both during deposition and during the vaporization process the specimen must lie at certain distances from the respective "beam corners", a specimen holder will continue to have means for adjusting the specimen in the direction of the imaging corpuscular beam and in the direction towards to assign the vacuum exposure device. A-I the means for this height adjustment only need to be available once for the operation of the two sub-devices.

Sieht man zur Präparatdrehung die oben beschriebenen Mitte! Tiit einer Gewindespindel und einer diese schwergängig aufnehmenden Gewindehülse vor, so kann man die Mittel zur Höhenve.stellung «0 weitgehend mit denen zur Drehung konstruktiv vereinigen: Man kann dann nämlich den Mitteln zur Höhenverstellung eine Klemmvorrichtung zuordnen, die bei ihrer Betätigung trotz der Schwergängigkeit in den Gewinden von Gewindehülse und Gewindespin- 4J del die Mitnahme der Gewindespindel bei Drehung der Gewindehülse unterbindet. Dabei ist aber durch geeignete Ausbildung des Antriebes für diese Klemmvorrichtung dafür zu sorgen, daß die Klemmvorrichtung Bewegungen der Gewindespindel in Richtung der Spindelachse zuläßt. In diesem Falle dient also der Antrieb zur Ausführung der Drehbewegung zugleich zur Ausführung der Höhenverstellung; welche Bewegung die Betätigung dieses Antriebes auslöst, wird durch Betätigen bzw. Nichtbetätigen der Klemmvorrichtung entschieden.If you can see the middle described above when rotating the specimen! With a threaded spindle and a threaded sleeve that is difficult to accommodate, the means for adjusting the height can largely be combined structurally with those for rotating prevents the threads of the threaded sleeve and threaded spindle from being entrained when the threaded sleeve is rotated. In this case, however, a suitable design of the drive for this clamping device must ensure that the clamping device allows movements of the threaded spindle in the direction of the spindle axis. In this case, the drive for executing the rotary movement is used at the same time for executing the height adjustment; which movement triggers the actuation of this drive is decided by actuating or not actuating the clamping device.

Im einzelnen kann die Klemmvorrichtung so ausgebildet sein, daß sie zwei auf gegenüberliegenden Seiten der Gewindespindel angeordnete zweiarmige Hebel enthält, die mit ihren einen Armen'die Gewin- βο despindel einklemmen, wenn zwischen ihre anderen Arme ein keilförmiges Teil mittels eines Antriebs gedrückt wird, der bus dem Innenteii der Präparatschleuse stirnseitig in din Außenraum austritt.In detail, the clamping device can be designed in this way be that they have two two-armed ones arranged on opposite sides of the threaded spindle Contains lever, which with one of its arms' die Gewin- βο pinch the spindle when a wedge-shaped part is pressed between its other arms by means of a drive the bus to the inner part of the specimen sluice Exits into the outside space at the front.

Bei modernen Korpn'kularstrahlgeräten ist es er- 6$ wünscht, Präparatbewegungen in einet möglichst großen Anzahl von Richtungen zu ermöglichen. Auch dies läßt sich bei der Kombination eines Oberflächen-Mikroskops mit einer Vakuumbedampfungseinrithtuni konstruktiv durchführen. So zeichnet sich eine Weiterbildung der Erfindung dadurch aus, düß das Präparat in zvei zueinander senkrechten Richtungen quervtirschiebbar gehalten ist, von denen die eine Richtung die mit der Achsrichtung des Innenteilcs der Präparatschleuse zusammenfallende Scliieusrichtunü i-.t, während zur Bewegung in der anderen Richtung Innen- und Außenteil .der Präparaischleuse gemeinsam gegenüber dem die Einrichtungen zur Abbildung enthaltenden Teilgerät verschiebbar sind. Damit enthält das Korpuskuiarstrahlgerat eine Präparathalterung mit Antricbsmitlcln zur Präparatbewegung in fünf verschiedenen Richtungen.In modern Korpn'kularstrahlgeräten it is ER- 6 $ wishes to allow preparation movements in Ainet largest possible number of directions. This can also be carried out constructively when a surface microscope is combined with a vacuum vapor deposition device. A further development of the invention is characterized by the fact that the preparation is held transversely displaceable in two mutually perpendicular directions, one of which is the direction of closure coinciding with the axial direction of the inner part of the preparation sluice, while movement in the other is inward - and outer part of the preparation sluice can be moved together with respect to the sub-device containing the devices for imaging. The body jet device thus contains a specimen holder with drives for moving the specimen in five different directions.

Zwar ist aus der deutschen Patentschrift I 226 228, 21 g 37 10, bereits ein bewegbarer Präparatlisch für Korpu5kularstrah!appa^rate bekannt, der ebenfalls fünf verschiedene Bewegungen des Präparates ermöglicht. Bei diesem unter Verwendung einer kardanischen Aufhängung konstruierten Präparattisch ist jedoch nicht daran gedacht, ihn im Rahmen eines aus einem Mikroskop und einer ßedampiunuseinrichtung kombinierten Gerätes einzusetzer.' demgemäß ist bei der bekannten Konstruktion dither Gu sichtspunkt nicht berücksichtigt.Although already a movable Präparatlisch for Korpu5kularstrah! Appa ^r ate known, which is also five different movements of the preparation is known from German patent I 226228, 21 g 37 10, possible. With this preparation table, which is constructed using a cardanic suspension, it is not intended to use it in the context of a device combined from a microscope and a vaporiser. ' accordingly, in the known construction, dither Gu is not taken into account.

Fig. I zeigt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung von der Seite im Schnitt;Fig. I shows an embodiment of the invention cut from the side;

Fig. 2 zeigt in Aufsicht die Klemmvorrichtung zur Erzeugung der Höhenverstellung.Fig. 2 shows a plan view of the clamping device for Generation of the height adjustment.

Das Korpuskularstrahlgerät setzt sich aus zwei Teilgeräten zusammen, nämlich dem zur Abbildung von Oberflächen von Präparaten dienenden Elektronenmikroskop 1 und der Vakuum-Bedampfungseinrichtung2. Diese beiden nur schematisch dargestellten, an sich im grundsätzlichen Aufbau als Einzelgeräte wohlbekannten Teilgeräte stoßen im Bereich der gemeinsamen Präparatschleuse 3 zusamuen.The corpuscular beam device consists of two sub-devices, namely the one for imaging of surfaces of specimens serving electron microscope 1 and the vacuum evaporation device 2. These two are shown only schematically, in their basic structure as individual devices Well-known sub-devices collide in the area of the common specimen sluice 3.

Es sei an dieser Stelle eingefügt, daß Fig. 1 zumindest hinsichtlich der Teilgeräte 1 und 2 nicht nur lediglich eine schematische Darstellung ist, sondern daß aus Gründen der Übersichtlichkeit der Zeichnung auch die Maßstäbe willkürlich gewählt sind. Selbstverständlich ist die Säule des Elektronenmikroskops 1 (das auch ein anderes Korpuskularstrahlmikroskop, beispielsweise ein Ionenmikroskop, sein könnte) in Wirklichkeit gegenüber der Stabschleuse 3 erheblich größer zu denken, da natürlich die Stabschleuse nur einen relativ kleinen Bestandteil des gesamten Mikroskops darstellt. Die gewählten Maßstäbe finden aber dadurch ihre Berechtigung, daß der Aufbau der bei dem Gerät kombinierten Teilgerätv; 1 und 2 für sich jeweils bekannt ist und daher nicht im einzelnen erläutert zu werden braucht, während sich wesentliche konstruktive Gesichtspunkte in der Ausbildung der Stabschleuse 3 niederschlagen.It should be added at this point that Fig. 1 at least with regard to the sub-devices 1 and 2 is not only a schematic representation, but that for the sake of clarity of the drawing, the scales are also chosen arbitrarily. Of course, the column of the electron microscope 1 (which is also another particle beam microscope, for example an ion microscope) in reality opposite the rod lock 3 To think much bigger, since of course the rod lock only a relatively small part of the whole Microscope represents. The criteria chosen are justified by the fact that the Structure of the sub-devices combined in the device; 1 and 2 is known per se and therefore not in the individual needs to be explained, while essential constructive aspects are in the training knock down the lock 3.

Bezüglich des Konstruktionsprinzips des Elektronenmikroskops ί sei lediglich erwähnt, daß es einen Strahlerzeuger 4 zur Erzeugung des die Achse S aufweisenden Elektronenstrahies sowie zwei Kondensorlinsen 6 und 7 zur Herstellung einer Strahlscnde aufweist, die unter dem Einfluß des von eiern Ablenksystem 8 erzeugten Ablenkfeldes, gegebenenfalls nach Durchsetzen weiterer elektronenoptischer Linsen 9, das Präparat 10 zellenförmig abtastet. Die von der Oberfläche des Präparates 10 ausgehende Strahlung wird mittels eines Elektronenauffängers 11 aufgefangen. Regarding the construction principle of the electron microscope ί it should only be mentioned that there is a Beam generator 4 for generating the electron beam having the axis S and two condenser lenses 6 and 7 for the production of a beam scanner which, under the influence of the deflection system of eggs 8 generated deflection field, if necessary after passing through further electron-optical lenses 9, the specimen 10 scans in the form of cells. The radiation emanating from the surface of the preparation 10 is collected by means of an electron collector 11.

Bei der Darstellung der BedampfungseinrichtungIn the representation of the steaming device

lsi unbenommen, dull das Präparat, das. dann durch Drehen der Schleuse um ihre Achse um IHO in den Wirkungsbereich der Hcdampfungseinrichtung2 gebracht ist. mit einer Kohlenstoffschicht bedampft werden soll. Demgemäß sind zwei Kohlestäbc 12 und 13 angedeutet, die an ihren Spitzen unter dem Hinlluß eines Stromes verdampfen. Zum Schutz der Wandungen dieses Tcilgerätes vor einem Niederschlag des Dampfes dient das etwa trichterförmig ausgebildete Schutzrohr 14, dessen konische Form den Dampfstrahl in den Bereich des Präparates 10 in seiner Bcdampfungsstellung lenkt.lsi unaffected, dull the preparation, that. then through Rotate the lock around its axis to IHO in the Brought effective range of the Hcdampfungseinrichtung2 is. is to be vaporized with a carbon layer. Accordingly, there are two carbon rods 12 and 12 13 indicated, at their tips under the Hinlluß vaporize a stream. To protect the walls of this Tcilgerätes from precipitation the approximately funnel-shaped protective tube 14, its conical shape, serves for the steam directs the steam jet into the area of the preparation 10 in its steaming position.

Dnse beiden Teilgeratc stoßen also im Hereich der stabiörmigcn Präparatschlcusc 3 aneinander. Die Schleuse 3 zerfällt im wesentlichen in zwei Teile, lämlich das stabförmige Innenteil 15 und das gchiiusciirliuc Außenleil 16. Von besonderem Interesse ist zunächst die Ausbildung des Innenteiles 15 Hs ist durch Vaktiumdichtiingcn 17 bis *9 — wobei Zahl und Anordnung dieser Dichtungen vom jeweiligen Anwendungsfall abhängen und dem Fachmann iibcrliisstMi bleiben — derart vakuumdicht in dem Gehäuse 16 geführt, daß auch nach Uewcgcn des Inncniciles 15 in F i g. I nach links, so daß die Ausnehmung 20 für das Präparat 10 sich außerhalb des Gehäuses Ift befindet, die Abdichtung des Vakuumraiimcs der beiden Teilgcräte 1 und 2 gegen die Außcnluft noch gewährleistet.Both of these sub-devices come into contact with the Stable specimen closure 3 to one another. The lock 3 is essentially divided into two parts, lämlich the rod-shaped inner part 15 and the gchiiusciirliuc Outer part 16. First of all, the design of the inner part 15 Hs is of particular interest by Vaktiumdichtiingcn 17 to * 9 - where number and the arrangement of these seals depend on the particular application and should be read by a person skilled in the art remain - so vacuum-tight in the housing 16 that even after Uewcgcn the Inncniciles 15 in FIG. I to the left so that the recess 20 for the specimen 10 is outside the housing Ift is located, sealing the vacuumraiimcs of the two partial units 1 and 2 against the outside air still guaranteed.

Das Präparat 10 befindet sich auf dem Präparathalter 21, der in diesem Ausführungsbeispiel als wc sentlichen Bestandteil die Gewindespindel 22 enthält, die schwergängig in der Gcwindehüise 23 geführt ist. Diese Gewindehülsc ist ihrerseits in der aus der figur ersichtlichen Weise drehbar, aber gegen Bewegungen senkrecht zur Achse 24 des Schleuseninnenteiles 15 gesichert gehalten. Sie steht über das Reibradgetriebe 25. 2ft in Verbindung mit dem Antrieb 27 für die Diehbewegung des Präparates 10.The specimen 10 is located on the specimen holder 21, which in this embodiment is called wc the main component of the threaded spindle 22, which is sluggishly guided in the Gcwindehüise 23. This threaded sleeve is in turn rotatable in the manner shown in the figure, but against movements perpendicular to the axis 24 of the lock inner part 15 kept secure. It is via the friction gear 25.2ft in connection with the drive 27 for the The movement of the specimen 10.

Dieser Antrieb 27 dient zugleich zur Durchführung der Höhenverstellung des Präparates 20 in Richtung der Achse der Spindel 22, sofern der Antricb 29 betätigt ist. Der Antrieb 29 trag¹ nämlich d.is keilförmige Teil 30. dessen Form in F i g 2 bcssei erkennbar ist. Das keilförmige Teil 30 wirkt zusammen mit der eigentlichen Klemmvorrichtung, be-Mehend aus den beiden zweiarmigen Hebeln 31 und 32. Diese beiden Hebel schließen z.wischcn ihren einen Armen — den in F ig. 2 links von den Sdnwrikpunkten 33 und 34 liegenden — die Gewindespindel 22 ein. Soicrn der Keil 30 zwischen die beiden anderen Arme dieser Hebel diese auseinanderdrückend bewegt ist, klemmen die Hebel 31 und 32 die Gewindespindel 22 zwischen sich ein, so daß sie bei Betätigung des Antriebes 27 keine Drehbewegungen ausführen kann und demgemäß eine Höhenverstellung des Präparates vornimmt.This drive 27 also serves to adjust the height of the preparation 20 in the direction of the axis of the spindle 22, provided that the drive 29 is actuated. The drive 29 support ¹ namely d.is wedge-shaped part 30, the shape of which can be seen in FIG. 2. The wedge-shaped part 30 works together with the actual clamping device, consisting of the two two-armed levers 31 and 32. These two levers close between one of their arms - the one in FIG. 2 lying to the left of the Sdnwrikpunkte 33 and 34 - the threaded spindle 22 a. If the wedge 30 is moved between the two other arms of these levers so as to push them apart, the levers 31 and 32 clamp the threaded spindle 22 between them so that they cannot rotate when the drive 27 is actuated and accordingly adjusts the height of the preparation.

Das Teil 30 kann entweder schienenartig so ausgebildet sein, daß die mit ihm zusammenwirkenden ,Arme der Hebel 31 und 32 diese Höhenverstellung ungehindert mitmachen können; im Prinzip ist es aber auch denkbar, das Teil 30 über eine biegsame Achse mit dem Antrieb 29 zu verbinden, die sich durchbiegend den llöhcnverstellungen von Spindel 22 und Klemmvorrichtung 31, 22 folgt.The part 30 can either be designed like a rail so that the interact with it , Arms of levers 31 and 32 this height adjustment can participate unhindered; In principle, however, it is also conceivable for the part 30 to be a flexible one To connect the axis to the drive 29, which is deflecting the llöhcnverstellung of the spindle 22 and clamping device 31, 22 follows.

Sowohl zur Durchführung von während der mikroskopischen Abbildung oder während des Hedampfungsvorgangcs erforderlichen Kippungcn des Präparates 10 als auch zum Obergang von der Bedainpfungsstellting in die Abbildiingsstcllung ist das Innenteil 15 der Schleuse mittels des Knopfes 35 um seine Achse 24 drehbar. Zur Ablesung der jeweils eingestellten Präparntkippung kann dieser Knopf mit einer Skale 36 versehen sein, die mit einem Zeiger 37 (oder einer anderen Markierung) an dem Gehäuse 16 zusammenwirkt.Both for carrying out during microscopic imaging or during the steaming process required tilting of the preparation 10 as well as the transition from the Bedainpfungsstellunging The inner part 15 of the lock is in the imaging position by means of the button 35 its axis 24 rotatable. This button can be used to read off the currently set specimen tilt a scale 36, which is provided with a pointer 37 (or other marking) on the housing 16 cooperates.

Zur Ouerbewcgting des Präparates 10 in RichtungTo Ouerbewcgting the preparation 10 in the direction

»0 der Achse 24 des Innenteiles 15 dient die zur Schleusung ohnehin vorhandene Bewegungsmöglichkcit des Innenleiles 15 in dieser Richtung. Hierzu wird man einen an sich bekannten, nicht dargestellten !''eintrieb verwenden.»0 of the axis 24 of the inner part 15 is used for the lock already existing movement possibilities of the Inner liner 15 in this direction. For this purpose, a known per se, not shown! '' Is driven in use.

»S Zur Bewegung in der dazu senkrechten Richtung ist bei dem gezeigten Ausfiihrungsbcispiel die vakuumdichte Verbindung zwischen dem Mikroskop 1 und dem Gehäuse 16 so ausgebildet, daß die Schleuse 3 zusammen mit dem an sie fest angeflanschten Bedampiungsgerät 2 in der in F i g. 1 senkrecht zur Zcichenehenc verlaufenden Richtung verschoben werden kann. Die entsprechende Verbindung und der zugehörige Antrieb ist in Fig. 1 um <i() versetzt so dargestellt, als wenn er in Richtung der Achse 24 wirken würde; in Wirklichkeit arbeitet er in der hierzu senkrechten Richtung. Das Prinzip dieser Verstelleinrichtung ist an sich beispielsweise aus der deutschen Patentschrift 760 949, 21 g 37/10. speziell für den Fall der Kathodenzcntrierung bei HIe¹ 'roncnmikroskopen bekannt. In geeigneter Weise, hier mittels Ringen, ist eine vakuumdichte Manschette 38 sowohl am Mikroskop 1 als auch um Gehäuse 16 eingespannt, die so viel Hlastizität bzw. Material besitzt, daß sie die erforderlichen Verscliicbebewcgungen zuläßt. Das Gehäuse 16 greift mit einem Flansch in eine unter Verwendung eines zusätzlichen Flanschlciles gebildete ringförmige Aufnahme 39 im Gehäuse des Mikroskops 1 ein iiik' isi dort mittels Kugeln 40 od. dgl. unter der WirkungFor movement in the direction perpendicular to it, the vacuum-tight connection between the microscope 1 and the housing 16 in the embodiment shown is designed in such a way that the lock 3 together with the steaming device 2 firmly flanged to it in the position shown in FIG. 1 can be shifted perpendicular to the Zcichenehenc direction. The corresponding connection and the associated drive is shown in FIG. 1, offset by <i (), as if it were acting in the direction of the axis 24; in reality it works in the direction perpendicular to it. The principle of this adjusting device is per se, for example, from German patent specification 760 949, 21 g 37/10. specifically for the case of Kathodenzcntrierung at IIIe ¹ 'roncnmikroskopen known. In a suitable manner, here by means of rings, a vacuum-tight sleeve 38 is clamped both on the microscope 1 and around the housing 16, which sleeve has so much elasticity or material that it allows the necessary locking movements. The housing 16 engages with a flange in an annular receptacle 39 in the housing of the microscope 1, which is formed using an additional Flanschlciles

des Antriebsstößels 41 und der Gegenfeder 42 verschiebbar gelagert.of the drive plunger 41 and the counter spring 42 are slidably mounted.

Verständlicherweise könnte man eine weitere derartige Antriebseinrichtung 41, 42 auch zur Bewegung in der hierzu senkrechten Richtung vorsehen. DannUnderstandably, a further such drive device 41, 42 could also be used for movement in the direction perpendicular to this. then

brauchte die Stabschleuse 3 an sich nur zur Durch führung der relativ groben Schleusbewegung des Innenteiles 15 eingerichtet zu sein.Needed the rod lock 3 per se only to carry out the relatively coarse lock movement of the inner part 15 to be set up.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

Patent claims:

1. KorpuäkuicrstruhigL-rai for mapping the surface of a specimen with a pivotably mounted specimen holder, whereby the specimen can be moved by pivoting between two Tiügeräien, one of which is part of the device; contains the devices used for imaging and the other sub-device is a vacuum operating device for the specimen, as well as a specimen sluice connecting the exterior with the interior of the device, characterized in that the specimen sluice is a rod sluice located between the two sub-devices (1,2) (3) is formed and that the specimen holder (21) is inserted into the rod-shaped or tubular inner part (15) of the rod lock, which is used to pivot between the two sub-devices and to tilt the specimen (10j against the axis (S) of the imaging Part of the device (1) is rotatable about its longitudinal axis (24).

2. Corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that the specimen holder (21) also means (23, 25, 26, 27) for rotating the corpuscular beam below the imaging beam or in the area of action of the vacuum evaporation device (2) lying preparations «are assigned.

3. corpuscular beam device according to claim 1, characterized in that uera specimen holder (21) further means (22, 2b, 25, '6, 27, 29, 30, 31, 32) for adjusting the specimen (10) in the direction of a diameter of the Inner part (15) are assigned (height adjustment).

4. Korpuskularstrahlgetät according to claim 2 and 3, characterized in that the specimen holder (21) has a along a diameter of the inner part (15) extending threaded spindle (22) which is held so tightly in a threaded sleeve (23) that the threaded spindle at Rotations of the threaded sleeve is carried along, which are caused by actuation of the drive means (27) emerging from the inner part on the end face into the outer space.

In that the threaded sleeve (23) and the drive means (27) are 5. Charged particle beam device according to claim 4, characterized in that via a friction gear (25, 26) in connection.

6. Korpuisularstrahlgerät according to claim 4, characterized in that the means for height adjustment of a clamping device (31, 32), which prevents the entrainment of the threaded spindle (22) upon rotation of the threaded sleeve (23) when activated, but movement of the threaded spindle in the direction the spindle axis.

7. corpuscular beam device according to claim 6, characterized in that the clamping device contains two on opposite sides of the threaded spindle (22) arranged two-armed levers (31, 32) which with their one arms di? Clamp the threaded spindle when a wedge-shaped part (30) is pressed between its other arms by means of a drive (29) which extends from the inner part (15) into the outer space at the end.

H. Korpuskulnrstrahlgerüt according to claim 1, thereby Rekc ,, n? cich: iei, dall the preparation (lii; in two more perpendicular to each other. Directions can be shifted is ticked, of which iie one Direction that with the axis (24) of the Inncnuiis (15) zuianimeni'nlkncie lock direction is, v .- :. iiirend to move in the other direction du-, outerifil (16) of the specimen sluice against üi.vi the Abbild-Teügenli (I) verschiebbV.