DE1879025U

DE1879025U - ROLLING DIAPHRAGM FOR VACUUM VALVE.

Info

Publication number: DE1879025U
Application number: DEL34867U
Authority: DE
Original assignee: E Leybolds Nachfolger AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1963-06-29
Filing date: 1963-06-29
Publication date: 1963-09-05

Description

RA. 417 778*29. G.F3"RA. 417 778 * 29. G.F3 "

Akte 48q8File 48q8

E. LEYBOLD'S NACHFOLGER Köln-BayenthalE. LEYBOLD'S SUCCESSOR Cologne-Bayenthal

Rollmembran für VakuumventilRolling membrane for vacuum valve

Die Neuerung betrifft eine Rollmembran für ein Vakuumventil.The innovation concerns a rolling diaphragm for a vacuum valve.

Für die Bedienung der mechanisch betätigten Ventile wird eine Dreh- oder Schubdurchführung benötigt,, mit deren Hilfe die bewegbaren Ventilelemente in der Apparatur von außen bedient werden können. Diese Durchführung so auszubilden, daß sie sich nicht nur leicht bewegen läßt, sondern auch weitg'ehend gasdicht ist, stellt eine wichtige Aufgabe der Vakuumtechnik dar. Nach den bekannten Durchführungskonstruktionen lassen sich zwei Haupttypen von Ventilen unterscheiden: Die eine Gruppe wird gebildet durch die Ventile, bei denen die Durchführungen mit Hilfe von Dichtungsringen, Rundschnurringen oder Lippendichtungen abgedichtet werden. Sie haben den Nachteil, daß sich eine geringfügige Verschleppung von Gasen grundsätzlich nicht vermeiden läßt, und da die Dichtungen mechanischem Verschleiß unterworfen sind, nimmt die Undichtigkeit im Gebrauch zu. Die zweite Gruppe bilden die Ventile, bei denen die Durchführungen mit Hilfe verformbarer Membranen oder federnder Bälge abgedichtet werden. Die Membranen und Bälge werden entweder aus elastischen Metallen oder aus gummiartig verformbaren Kunststoffen hergestellt. Bei diesen Ventilen ist zwar die Gefahr der Undichtigkeit beseitigt, jedoch bedingt der erforderliche Ventilbetätigungsweg im allgemeinen große Membrandurchmesser oder lange Bälge und führt infolgedessen zu unerwünscht großen Abmessungen. Auch muß man bei der Betätigung derartiger Ventile mit zusätzlichen, durch elastische Verformung hervorgerufenen Kräften rechnen.To operate the mechanically operated valves, a rotary or push-through leadthrough is required, with the help of which the movable ones Valve elements in the apparatus can be operated from the outside. To train this implementation so that it can can not only be moved easily, but is also largely gas-tight, is an important task of vacuum technology With the known bushing designs, two main types of valves can be distinguished: One group is formed through the valves, in which the bushings are sealed with the help of sealing rings, O-rings or lip seals will. They have the disadvantage that a slight carryover of gases cannot be avoided in principle leaves, and since the seals are subject to mechanical wear, the leakage increases in use. The second group form the valves in which the bushings are sealed with the help of deformable membranes or resilient bellows. the Diaphragms and bellows are made either from elastic metals or from rubber-like, deformable plastics. at Although these valves eliminate the risk of leakage, the valve actuation path required generally dictates this large diaphragm diameters or long bellows and consequently leads to undesirably large dimensions. You also have to When actuating such valves, expect additional forces caused by elastic deformation.

Man hat deshalb schon eine platzsparende gut zu betätigende und sicher abdichtende Konstruktion einer Ventildurchführung vorgeschlagen, bei welcher zur Abdichtung des Ventilschaftes gegen denA space-saving, easy-to-operate and securely sealing construction of a valve leadthrough has therefore already been proposed, in which to seal the valve stem against the

Vakuumraum eine an sich bekannte Rollmembran vorgesehen ist, welche zweckmäßigerweise ausschließlich aus gummielastischen Materialien besteht, z. B. aus Butadienacrylnitril (Handelsname: Perbunan), Silicongummi oder organischen Fluorverbindungen (Handelsname: z. B. Viton). Die Verwendung von wärmefesten Materialien für diese Rollmembranen kann für Vakuumventile in manchen Anlagen von besonderem Vorteil sein. Das mit einer Rollmembran ausgestattete Ventil wird als Vakuumventil dadurch besonders geeignet, daß die Rollmembran gegen eine mit dem Ventilteller fest verbundene Zylinderhülse abgestützt ist; dadurch wird nicht nur das Abrollen der Membran erleichtert, sondern auch die verhältnismäßig dünnwandige Membran weitgehend vor dem Druckwechsel geschützt. Für manche Konstruktionen kann es ferner zweckmäßig sein, daß die die Rollmembran abstützende Zylinderhülse den Hub des bewegbaren Ventilelementes begrenzt.A known rolling membrane is provided in the vacuum space, which expediently consists exclusively of rubber-elastic materials, eg. B. made of butadiene acrylonitrile (trade name: Perbunan), silicone rubber or organic fluorine compounds (trade name: e.g. Viton). The use of heat-resistant materials for these rolling diaphragms it can be of particular advantage for vacuum valves in some systems. The one with a rolling membrane equipped valve is particularly suitable as a vacuum valve that the rolling diaphragm against one with the valve plate firmly connected cylinder sleeve is supported; this not only facilitates the unwinding of the membrane, but also makes it easier the relatively thin-walled membrane is largely protected from the pressure change. It can also be useful for some constructions be that the cylinder sleeve supporting the rolling diaphragm limits the stroke of the movable valve element.

Die bisher bekannten Rollmembranen sind für den Einsatz bei Überdruck auf einer Seite ausgelegt. Da die Vakuumventile auch oft bei Gleichdruck betätigt werden, tritt besonders bei der Verwendung langer Rollmembranen als Nachteil eine frühzeitige Abnutzung auf, welche dadurch zustande kommt, daß diese Ausführungen nicht glatt über ihre ganze Länge abrollen, sondern zu Beginn die Wände gegeneinanderreiben und die Membran klemmt.The previously known rolling diaphragms are for use with overpressure laid out on one side. Since the vacuum valves are also often operated at constant pressure, this occurs particularly when they are used Long rolling diaphragms have the disadvantage of premature wear, which is due to the fact that these designs are not roll smoothly over its entire length, but at the beginning rub the walls against each other and the membrane gets stuck.

Die Neuerung geht daher von der Aufgabenstellung aus, eine Form für eine lange Rollmembran anzugeben, die über ihre gesamte wirksame Lange auch bei Druckgleichheit gleichmäßig abrollt. Das Kennzeichnende wird darin gesehen, daß die Rollmembran im Bereich des vorzugsweise zwei fünftel seiner Gesamtlänge umfassenden ersten Teilabschnittes hohlzylinderförmig, im Bereich des vorzugsweise ebenfalls zwei fünftel umfassenden zweiten Teiles hohlkegelstumpfförmig und im Bereich des dritten vorzugsweise ein fünftel umfassenden Teiles ebenfalls hohlkegelstumpfförmig ausgebildet ist, wobei der Kegelwinkel des zweiten Teiles kleiner als der Kegelwinkel des dritten Teiles ist. Der hohlzylinderformige Teil der Rollmembran ist gegen eine mit dem Ventilteller fest verbundene Zylinderhülse abgestützt, welche den Hub des bewegbarenThe innovation is therefore based on the task of specifying a shape for a long rolling membrane that extends over its entire effective length even when the pressure is equal. The characteristic is seen in the fact that the rolling membrane in the area of the first partial section, preferably comprising two fifths of its total length, in the shape of a hollow cylinder, in the area of the preferably also two fifths of the second part are hollow and frustoconical and in the area of the third part, preferably comprising a fifth, likewise embodied in the shape of a hollow truncated cone is, wherein the cone angle of the second part is smaller than the cone angle of the third part. The hollow cylindrical part the rolling diaphragm is supported against a cylinder sleeve which is firmly connected to the valve disk and which increases the stroke of the movable

Ventilelementes begrenzt. Der dritte hohlkegelsturapfforraige Teil ist mit der Betätigungsvorrichtung verbunden. Beim Betätigen des Ventiles rollt - bedingt durch diese neuartige Ausgestaltung - die Rollmembran derartig ab, daß eine Berührung der Wandungen vermieden wird und ein Verschleiß des Materials und Knicken der Wand nicht mehr auftritt.Valve element limited. The third hollow cone shaped part is connected to the actuating device. When pressing of the valve rolls - due to this new design - the rolling diaphragm in such a way that a contact the walls is avoided and wear of the material and buckling of the wall no longer occurs.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel des Gegenstandes der Erfindung schematisch dargestellt.In the drawing, an embodiment of the subject matter of the invention is shown schematically.

Man erkennt eine Rollmembran 6_} welche an ihrem unteren Teil eine wulstartige Verdickung 64 aufweist. Der untere Teil 63 der Rollmembran 6 ist hohlzylinderförmig ausgebildet, mittels des Wulstes 64 zwischen der nicht gezeigten Ventilplatte und der Zylinderhüle eingeklemmt und durch einen Sprengring gesichert. Der obere hohlkegelförmige Teil 62 der Rollmembran 6 ist mit einem Haltering 65 an der nicht gezeigten Durchführung befestigt. Der Kegelwinkel des mittleren hohlkegelförmigen Teiles 61 der Rollmembran 6 beträgt vorzugsweise 2° und ist gegenüber dem Kegelwinkel von 6,5 des oberen Teiles 62 soviel kleiner, daß beim Abrollen eine Berührung der Membranwände mit Sicherheit vermieden wird.One recognizes a rolling diaphragm 6 _} which has a bead-like thickening 64 on its lower part. The lower part 63 of the rolling diaphragm 6 is designed as a hollow cylinder, clamped between the valve plate (not shown) and the cylinder sleeve by means of the bead 64 and secured by a snap ring. The upper hollow cone-shaped part 62 of the rolling diaphragm 6 is fastened to the bushing (not shown) with a retaining ring 65. The cone angle of the central hollow cone-shaped part 61 of the rolling diaphragm 6 is preferably 2 ° and is so much smaller than the cone angle of 6.5 of the upper part 62 that contact with the diaphragm walls is definitely avoided when rolling.

Claims

V 778-29.6.63 claims

1. Rolling membrane for vacuum valve, marked thereby t that the rolling membrane in the region of the preferably two fifths of its total length comprising the first Partial section hollow cylinder, preferably in the area also two fifths of the second part are hollow and frustoconical and preferably in the area of the third a fifth comprehensive part is designed in the shape of a hollow truncated cone, the cone angle of the second part being smaller than is the cone angle of the third part.

2t rolling membrane according to claim 1, characterized in that that the rolling diaphragm is supported against a cylinder sleeve firmly connected to the valve disk, which limits the stroke of the movable valve element.