DE1847679U - ENLARGEMENT DEVICE WITH EXPOSURE MEASURING DEVICE. - Google Patents

ENLARGEMENT DEVICE WITH EXPOSURE MEASURING DEVICE.

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DE1847679U DEA13584U DEA0013584U DE1847679U DE 1847679 U DE1847679 U DE 1847679U DE A13584 U DEA13584 U DE A13584U DE A0013584 U DEA0013584 U DE A0013584U DE 1847679 U DE1847679 U DE 1847679U
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Lenses (AREA)

Description

Vergrößerungsgerät mit Belichtungsmeßvorrichtung Bei Vergrößerungsgeräten mit festem Vergrößerungsmaßstab hat sich besonders das Verfahren bewährt, mittels eines dem Objektiv vorgeschalteten teildurchlässigen Spiegels das Negativ in einer Hilfsebene abzubilden, welche vom Objektiv die gleiche (oder entsprechende) Entfernung hat wie die Positivebene, alle Strahlen dort mittels einer Feldlinse zu sammeln und ein stark verkleinertes Bild des Negatives auf einer Streuscheibe unmittelbar vor der die Belichtung steuernden Fotozelle zu erzeugen.Magnifying device with exposure metering device For magnifying devices with a fixed magnification, the method has particularly proven itself, by means of a partially transparent mirror upstream of the lens converts the negative into one Auxiliary plane to map which is the same (or corresponding) distance from the lens like the positive plane, has to collect all rays there by means of a field lens and a greatly reduced image of the negative on a diffusing screen immediately in front of the photocell controlling the exposure.

In der Hilfsebene kann der zur Messung bestimmte Teil des Negatives herausgeblendet werden.The part of the negative intended for measurement can be used in the auxiliary level be faded out.

Dieses Verfahren erscheint, sofern Fotozellen u. ä. in erwünschter Weise still stehen sollen, nicht anwendbar für Geräte, bei welchen Positivebene und Objektiv zwecks Änderung des Vergrößerungsmaßstabes verschiebbar sind, denn die Hilfsebene wandert entsprechend der Bewegung von Positivebene und Objektiv ; überdies ändert sich auch der Vergrößerungsmaßstab, mit dem das Negativ in der Hilfsebene abgebildet wird. Es wäre also notwendig, die Hilfsebene und die folgenden Feldlinse und Fotozellen usw. längs der optischen Achse zu verschieben und außerdem auch die Blende vor der Feldlinse veränderbar zu machen, so daß bei allen Vergrößerungen immer der gleiche Negativteil gemessen wird. Alle Bewegungen müssen genau in Abhängigkeit vor der Bewegung der Positivebene gesteuert werden.This procedure appears if photocells etc. are desired Shall stand still, not applicable for devices with which positive level and lens can be moved for the purpose of changing the magnification, because the auxiliary plane moves according to the movement of the positive plane and lens; In addition, the magnification with which the negative in the auxiliary plane also changes is mapped. So it would be necessary to have the auxiliary plane and the following field lens and to move photocells, etc. along the optical axis and also the Make diaphragm changeable in front of the field lens, so that at all magnifications always the same negative part is measured. All movements must be precisely dependent can be controlled before moving the positive plane.

Eine solche Bauweise wäre verwickelt und im allgemeinen nicht mehr lohnend. Erfindungsgemäß wird deshalb ein neuartiger Aufbau vorgeschlagen, welcher die wesentlichen Vorteile der eingangs geschilderten Anordnung besitzt, aber ohne bewegte Teile auskommt.Such a construction would be intricate and generally no more rewarding. According to the invention, therefore, a novel structure is proposed which has the essential advantages of the arrangement described above, but without moving parts.

Dies wird bei einem Vergrößerungsgerät, bei dem unter Verwendung eines teildurchlässigen Spiegels die Strahlen bei einer meß BelichtungstVorrichtung aus dem Beleuchtungsstrahlengang für den zu belichtenden Schichtträger abgezweigt werden, in erster Linie dadurch erreicht, daß das Objektiv, der teildurchlässige Spiegel, eine im. Meßstrahlengang angeordnete Linse oder Linsengruppe, welche mit dem Objektiv ein brechkraftloses System bildet, und ein parallel zum teildurchlässigen Spiegel vorgesehener Umlenkspiegel an einem gemeinsamen, in der Richtung des Hauptstrahlenganges bewegbaren Träger angeordnet werden, während die Belichtungsmeßvorrichtung mit unveränderlichem Abstand von der Negativebene angeordnet ist. In diesem Fall wird das Negativ immer in einer gleichbleibenden Schärfenebene mit unveränderlicher Größe abgebildet, und die Belichtungsregelvorrichtung kann fest mit der Negativebene und damit auch mit einem Lampengehäuse verbunden sein, so daß umständliche Verbindungen und Korrektursteuerungen nicht erforderlich sind. Der Strahlenweg zwischen Negativ und Belichtungsmeßvorrichtung bleibt bei jeder Stellung des Objektivs konstant.This is done in an enlarger, in which, using a partially transparent mirror, the rays at a measure Exposure device from the illumination beam path for the substrate to be exposed are branched off, primarily achieved by the fact that the objective, the partially transparent mirror, is an im. The lens or lens group arranged in the measuring beam path, which forms a system without refractive power with the objective, and a deflecting mirror provided parallel to the partially transparent mirror are arranged on a common carrier movable in the direction of the main beam path, while the exposure metering device is arranged at an unchangeable distance from the negative plane. In this case, the negative is always imaged in a constant plane of focus with invariable size, and the exposure control device can be firmly connected to the negative plane and thus also to a lamp housing, so that cumbersome connections and correction controls are not required. The beam path between the negative and the exposure metering device remains constant in every position of the objective.

Nach einer besonderen Ausführungsform der Erfindung wird hinter dem teildurchlässigen Spiegel und dem Umlenkspiegel je eine Linse positiver Brechkraft angeordnet, die mit dem Objektiv das vorerwähnte brechkraftlose System bilden. Vorzugsweise sind der teildurchlässige Spiegel, der Umlenkspiegel und ggf. ein wei- terer, mit der Belichtungsmeßvorrichtung fest verbundener Um- I lenkspiegel je unter 450 zur Richtung des Hauptstrahlenganges geneigtangeordnet. According to a particular embodiment of the invention, a lens with positive refractive power is arranged behind the partially transparent mirror and the deflecting mirror, which together with the objective form the aforementioned system without refractive power. The partially transparent mirror, the deflecting mirror and, if necessary, a wide terer, firmly connected to the exposure metering device I. steering mirror each under 450 to the direction of the main beam path inclined.

Nach einem weiteren Erfindungsmerkmal wird der Belichtungsmeßvorrichtung eine Linse positiver Brechkraft vorgeordnet, in deren Abbildungsebene sich eine auf einen Meßabschnitt des Negativformates eingestellte Blende befindet. Da sich bei einer Verstellung des Objektivs der Negativausschnitt in der Schärfenebene und damit die Meßwerte der Belichtungsmeßvorrichtung nicht ändern, wird weiterhin eine mit dem Vergrößerungsmaßstab veränderbare optische oder elektrische Steuervorrichtung für die Belichtungsregelvorrichtung verwendet. Hierbei ist es vorteilhaft, wenn ein Verstellorgan dieser Steuervorrichtung mit dem Objektivträger verbunden ist, da dann ggf. keine oder nur wenige Steuerglieder erforderlich sind. Beispielsweise kann ein vorgeschalteter Widerstand oder ein Potentiometer unmittelbar durch das Objektiv verstellt werden.According to a further feature of the invention, the exposure metering device a lens of positive refractive power is arranged in front of it, in the image plane of which there is a aperture set on a measuring section of the negative format. That I when adjusting the lens, the negative section in the focal plane and so that the measured values of the exposure metering device do not change, a optical or electrical control device changeable with the magnification used for the exposure control device. It is advantageous if an adjusting element of this control device is connected to the lens carrier, since then no or only a few control elements may be required. For example an upstream resistor or a potentiometer can be connected directly to the Lens can be adjusted.

Reicht der Verstellweg des Objektivs nicht aus, so kann man ein Zahnstangenübersetzungsgetriebe zwischen dem Objektivträger und dem Verstellorgan der Steuervorrichtung einschalten. Dies ist besonders von Vorteil, wenn im Bereich der im Meßstrahlengang angeordneten Blende, wie schließlich erfindungsgemäß noch vorgeschlagen wird, ein mit dem Objektivträger bewegbarer Graukeil vorgesehen ist.If the adjustment path of the lens is not sufficient, a rack and pinion transmission can be used switch on between the lens carrier and the adjusting element of the control device. This is particularly advantageous when arranged in the area of the measuring beam path Aperture, as is finally still proposed according to the invention, with the lens carrier movable gray wedge is provided.

Die Zeichnung gibt ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wieder. Es zeigen Figo 1 ein erfindungsgemäß ausgebildetes Vergrößerungsgerät bei einer Einstellung auf den kleinsten Vergrößerungsmaßstab, Fig. 2 eine abgewandelte Ausführung dieses Gerätes mit einer Einstellung auf den größten Vergrößerungsmaßstab, während Fig. 3 in schaubildlicher Darstellung ein Schaltbild der verwendeten Belichtungsregelvorrichtung wiedergibt.The drawing shows an embodiment of the invention. It demonstrate 1 shows an enlarging device designed according to the invention when setting to the smallest magnification, FIG. 2 shows a modified one Execution of this device with a setting on the largest enlargement scale, while FIG. 3 is a schematic representation of a circuit diagram of the exposure control device used reproduces.

In der Zeichnung ist mit 1 der Arbeitstisch eines erfindungsgemäß ausgebildeten Vergrößerungsgerätes bezeichnete der auch die Negativbühne 2 aufnimmt. Unter dem Tisch ist fest mit diesem verbunden ein Beleuchtungskopf 3 angeordnet, der beispielsweise drei hier nicht dargestellte Lampen für rotes, grünes und blaues Licht enthält. Auch das übrige Gerätegehäuse 4 ist fest mit dem Tisch 1 verbunden. Das Objektiv 5 sitzt in einem Objektivträger 6, der in bekannter Weise verschiebbar in dem Gerätegehäuse geführt ist und über einen Handgriff 7, der durch einen Schlitz 8 in einer Gehäusewand hindurchragt, verstellt wird. Weiterhin ist der Objektivträger 6 in ebenfalls bekannter und daher nicht dargestellter Weise über ein Scharfeinstellgetriebe mit der Positivebene 9 gekuppelt.In the drawing, 1 is the work table according to the invention designed enlarger which also takes the negative stage 2. A lighting head 3 is firmly connected to the table under the table, for example three lamps (not shown here) for red, green and blue Contains light. The rest of the device housing 4 is also firmly connected to the table 1. The objective 5 is seated in an objective carrier 6 which is displaceable in a known manner is guided in the device housing and a handle 7, which is through a slot 8 protrudes in a housing wall, is adjusted. Furthermore, the lens carrier is 6 in a manner also known and therefore not shown via a focusing gear coupled with the positive plane 9.

Die vom Beleuchtungskopf 3 ausgesandten Lichtstrahlen gelangen zum größeren Teil (Hauptstrahlengang 43) hinter dem Oojektiv 5 durch einen teildurchlässigen Spiegel 10 auf die Positivebene, während ein kleiner Teil der Lichtstrahlen vom Spiegel 10 über eine Positivlinse 11 zu einem Spiegel 12 und von dort durch eine weitere Positivlinse 13 nach einem Spiegel 14 hin gelenkt werden, der fest im Gehäuse 4 sitzt. Der teildurchlässige Spiegel 10 und der Spiegel 12 sind unter 450 zur Hauptstrahlenrichtung geneigt und mit den beiden Linsen 11 und 13 fest, ggf. justierbar im Objektivträger angeordnet, so daß der Strahlenweg zwischen Negativebene 2 und Spiegel 14 sich bei der Objektivverstellung nicht ändert. Außerdem sind die Luftabstände und die Abmessungen der Linsen 11,13 so bemessen, daß sich mit dem Objektiv 5 ein brechkraftloses System ergibt.The light rays emitted by the lighting head 3 reach the larger part (main beam path 43) behind the lens 5 through a partially transparent one Mirror 10 on the positive plane, while a small part of the light rays from Mirror 10 via a positive lens 11 to a mirror 12 and from there through a further positive lens 13 can be directed towards a mirror 14 which is fixed in the housing 4 sits. The partially transparent mirror 10 and the mirror 12 are inclined at 450 to the main ray direction and with the two lenses 11 and 13 fixed, possibly adjustable in the lens carrier, so that the beam path between Negative plane 2 and mirror 14 do not change when the lens is adjusted. aside from that are the air gaps and the dimensions of the lenses 11,13 such that with the lens 5 results in a system without refractive power.

Die abgezweigten Strahlen werden durch eine weitere Positivlinse 15, die ebenfalls fest im Gehäuse 4 sitzt, gebündelt und ergeben in der Ebene einer Formatblende 16 ein Bild des Negativs. Die optische Wirkung des Systems 5,11,13 ist unabhängig davon, an welcher Stelle zwischen Negativbühne 2 und Linse 15 es liegt. Der Bildausschnitt kann sich ebenfalls bei einer Verstellung des Objektivs nicht ändern. Zur Berücksichtigung verschiedener Bildausschnitte sind mehrere Formatblenden 16 auswechselbar vorgesehen, die z. B. aus Kleinbildnegativen einen Kreis von 20 mm , aus 4 x 4-Negativen einen solchen von 30 mm und aus 6 x 6-Negativen einen Kreis von 40 mm herausblenden.The branched off rays are through a further positive lens 15, which is also firmly seated in the housing 4, bundled and result in a plane Format diaphragm 16 an image of the negative. The optical effect of the system 5,11,13 is independent of the point between negative stage 2 and lens 15 it lies. The image section can also change when the lens is adjusted do not change. There are several format panels to allow for different sections of the image 16 provided interchangeably, the z. B. from 35mm negatives a circle of 20 mm, from 4 x 4 negatives one of 30 mm and from 6 x 6 negatives a circle fade out by 40 mm.

Der Formatblende sind zwei Linsen 17 und eine Belichtungsmeßvorrichtung 18 nachgeschaltet, die im wesentlichen aus einem System von Interferenzspiegeln 19, streuscheibe 42 und drei Sekundärelektronenvervielfachern 209 21, 22 besteht, von welchen beispielsweise der Teil 20 nur rotes Licht, der Teil 21 grünes und der Teil 22 blaues Licht erhält.The format diaphragm are two lenses 17 and an exposure meter 18 downstream, which essentially consists of a system of interference mirrors 19, diffuser 42 and three secondary electron multipliers 209 21, 22, of which, for example, the part 20 only red light, the part 21 green and the Part 22 receives blue light.

Zur Berücksichtigung des jeweils eingestellten Vergrößerungsmaßstabes ist dicht vor der Fbrmatblende 16 ein verschiebbarer Graukeil 23 vorgesehen, der in folgender Weise mit dem Objektivträger 6 verbunden ist. Am Objektivträger sind über einen Ausleger 24 mittels eines Bolzens 25 ein Zahnrad 26 und ein Ritzel 27 gelagert, die fest miteinander verbunden sind. Das Ritzel 27 greift in eine am Gehäuse 4 angebrachte Zahnstange 28 und das Rad 26 in eine Zahnstange 29, die mittels zweier Schlitze 30 an gehäusefesten Stiften 31 geführt und fest mit dem Graukeil 23 verbunden ist, so daß die Verstellbewegung des Objektivs vergrößert auf den Graukeil übertragen wird.To take into account the magnification scale set in each case a sliding gray wedge 23 is provided just in front of the Fbrmatblende 16 with the lens carrier in the following way 6 is connected. On the lens carrier are via an arm 24 by means of a bolt 25, a gear 26 and a pinion 27 stored, which are firmly connected to each other. The pinion 27 engages in an on Housing 4 attached rack 28 and the wheel 26 in a rack 29, which means two slots 30 guided on pins 31 fixed to the housing and fixed with the gray wedge 23 is connected, so that the adjustment movement of the lens is enlarged on the gray wedge is transmitted.

Zum Unterschied von der Ausführungsform nach Fig. 1 ist gemäß Fig. 2 am Objektivträger 6 ein isolierter Kontaktstreifen 32 vorgesehen, der bei der Objektivverstellung über eine Kontaktschiene 33 und einen Potentiometerwiderstand 34 gleitet, so daß über die Leitungen 35 und 36 dem Stromversorgungsgerät 37 für diePhotoelektronenvervielfältiger 20, 21 und 22 je nach der Stellung des Objektivs unterschiedlicher Spannungen zugeführt werden. Mit 38 ist ein Belichtungsregelgerät bezeichnet, das gemäß der Steuerung durch die Photoelektronenvervielfältiger 20,21 und 22 die Einschaltdauer der im Projektorkopf 3 vorgesehenen Lampen 39 für rotes, 40 für grünes und 41 für blaues Licht steuert.In contrast to the embodiment according to FIG. 1, according to FIG. 2 on the lens carrier 6, an insulated contact strip 32 is provided, which in the Lens adjustment via a contact rail 33 and a potentiometer resistor 34 slides, so that on the lines 35 and 36 the power supply unit 37 for the photo-electron multipliers 20, 21 and 22 depending on the position of the lens different voltages are supplied. At 38 there is an exposure control device denotes that according to the control of the photoelectron multiplier 20,21 and 22 the duty cycle of the lamps 39 provided in the projector head 3 for red, 40 for green and 41 for blue light controls.

Claims (8)

Patentansprüche 1. Vergrößerungsgerät, bei dem unter Verwendung eines teildurchlässigen Spiegels die Strahlen für eine Belichtungsmeßvorrichtung aus dem Beleuchtungsstrahlengang für den zu belichtenden Schichtträger abgezweigt werden, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv (5), der teildurchlässige Spiegel (10 ;, eine im Meßstrahlengang angeordnete Linse oder Linse,. gruppe (11,13), welche mit dem Objektiv ein brechkraftloses System bilden, und ein parallel zum teildurchlässigen Spiegel vorgesehener erster Umlenkspiegel (12) an einem gemeinsamen, in der Richtung des Hauptstrahlenganges bewegbaren Träger (6) angeordnet sind, während die Belichtungsmeßvorrichtung (18) mit unveränderlichem Abstand von der Negativebene gehalten ist.Claims 1. enlarger, in which using a partially transparent mirror, the rays for a light metering device from the The illumination beam path for the substrate to be exposed is branched off, characterized in that the objective (5), the partially transparent mirror (10; a lens or lens arranged in the measuring beam path ,. group (11,13), which with the lens form a system without refractive power, and one parallel to the partially transparent system Mirror provided first deflection mirror (12) on a common, in the direction of the main beam path movable carrier (6) are arranged, while the exposure metering device (18) is kept at an unchangeable distance from the negative plane. 2. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß hinter dem teildurchlässigen Spiegel und dem Umlenkspiegel je eine Linse (11,13) positiver Brechkraft angeordnet ist.
2. Magnifying device according to claim 1, characterized in that a lens (11, 13) of positive refractive power is arranged behind the partially transparent mirror and the deflecting mirror is.
3. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der teildurchlässige Spiegel und der Umlenkspiegel und ggf. ein zweiter, mit der Belichtungsmeßvorrichtung fest verbundener Umlenkspiegel (14) je unter 450 zur Richtung des Hauptstrahlenganges geneigt angeordnet sind.3. Magnifying device according to claim 1 or 2, characterized in that that the partially transparent mirror and the deflecting mirror and possibly a second, with the light measuring device firmly connected deflecting mirror (14) each under 450 for Are arranged inclined in the direction of the main beam path. 4. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 1,2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Belichtungsmeßvorrichtung eine Linse (15) positiver Brechkraft vorgeordnet ist, in deren Abbildungsebene sich eine auf einen Meßausschnitt des Negativformates eingestellte, insbesondere auswechselbare Blende (16) befindet.4. Magnifying device according to claim 1, 2 or 3, characterized in that that a lens (15) of positive refractive power is arranged upstream of the exposure metering device, in the image plane of which there is a set on a measurement section of the negative format, in particular exchangeable panel (16) is located. 5. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 1, 2 3 oder 4, gekennzeichnet durch eine mit dem Vergrößerungsmaßstab veränderbare optische (23) oder elektrische (34) Steuervorrichtung für die Belichtungsmeßvorrichtung.5. enlarger according to claim 1, 2 3 or 4, characterized by an optical (23) or electrical one that can be changed with the magnification (34) Control device for the light metering device. 6. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Verstellorgan (25,32) der Steuervorrichtung mit dem Objektivträger (10) verbunden ist.6. Magnifying device according to claim 5, characterized in that an adjusting element (25, 32) of the control device is connected to the lens mount (10) is. 7. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch ein Zahnstangen-Übersetzungsgetriebe (26,27,28) zwischen dem Objektivträger (6) und dem Verstellorgan (29) der Steuervorrichtung (23).7. enlarger according to claim 6, characterized by a rack and pinion transmission (26,27,28) between the lens carrier (6) and the adjusting element (29) of the control device (23). 8. Vergrößerungsgerät nach Anspruch 5, 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der im Meßstrahlengang angeordneten Blende (16) ein mit dem Obj'ektivträger bewegbarer Graukeil (23) vorgesehen isto8. enlarger according to claim 5, 6 or 7, characterized in that that in the area of the diaphragm (16) arranged in the measuring beam path there is a contact with the lens carrier movable gray wedge (23) is provided
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