DE1817298C

DE1817298C - Optical device for depth measurement

Info

Publication number: DE1817298C
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Schukar, Rudi, 5800 Hagen
Publication date: 1972-10-12

Description

bar gelagerten Schlitten mit einem Mikroskop, Bei einem bekannten optischen Gerät dieser Art ist einem Objekttisch und oiner Meßuhr mit einem an einem, den Objekttisch tragenden Gestell über parallel zur optischen Achse des Mikroskops dem Objekttisch ein Schlitten höhenverstellbar und verstellbaren Meßfühler, dadurch gekenn- io feststellbar angeordnet. Der Schlitten trägt ein ebenzeichnet, daß die Meßuhr (28) am höhenver- falU höhenverstellbar befestigtes Mikroskop mit einer stellbaren und feststellbaren Mikroskop-Schlitten Schärfentiefe nahe Null. Zudem ist am Gestell über (3) befestigt ist und der Meßfühler (27) unmittel- den Schlitten eine Meßuhr starr befestigt, deren bar an dem am Schlitten (3) höhenverstellbar an- Meßfühler mit dem Schlitten korrespondiert,
geordneten Tubus (4) des Mikroskops angreift. 15 Hierbei besteht aber der Nachteil, daß beim Grob-bar mounted slide with a microscope, in a known optical device of this type, an object table and a dial gauge with a frame carrying the object table via a slide parallel to the optical axis of the microscope is height-adjustable and adjustable measuring sensor, thereby identifiable arranged. The slide shows that the dial gauge (28) is attached to the vertically adjustable microscope with an adjustable and lockable microscope slide, depth of field close to zero. In addition, a dial gauge is attached to the frame via (3) and the sensor (27) is rigidly attached to the slide, the bar of which corresponds to the height-adjustable sensor on the slide (3).
orderly tube (4) of the microscope attacks. 15 Here, however, there is the disadvantage that with the coarse

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch ge- einstellen des Mikroskops durch axiales Verstellen kennzeichnet, daß zur Höhenverstellung des Mi- des letzteren gegenüber dem Schlitten der maximale kroskoptubus (4) gegenüber dem Schlitten (3) Meßbereich der Meßuhr nur nach langwierigen Maein Schraubentrieb angeordnet ist. nipulationen erreicht werden kann. Es ist hierbei so2. Device according to claim 1, thereby adjusting the microscope by axial adjustment indicates that to adjust the height of the middle of the latter relative to the slide, the maximum microscope tube (4) opposite the slide (3) measuring range of the dial gauge only after lengthy measurement Screw drive is arranged. manipulations can be achieved. It is so here

3 Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, da- ao gar möglich, daß beim Grobeinstellen des Mikroskops durch gekennzeichnet, daß in einem Lager- der Meßbereich der Meßuhr überhaupt nicht eräuge (14) des Schlittens (3) eine Buchse (15) reicht wird, wenn de>- Schlitten, der das Mikroskop angeordnet ist, an welcher ein Stellring (17) trägt, beim Grobeinstellen des Mikroskops in einer verdreh- und axial unverstellbar gelagert ist, seiner Endstellungen steht.3 Device according to claim 1 and 2, there- ao even possible that when roughly adjusting the microscope characterized in that in a bearing the measuring range of the dial gauge does not look at all (14) of the slide (3) a socket (15) is enough when the> - slide that holds the microscope is arranged, on which an adjusting ring (17) carries, when coarse setting the microscope in a is rotatably and axially immovable, its end positions is.

der Stellring (17) über einen Schraubentrieb 25 Mit den gleichen Nachteilen ist ein ferner bekann-the adjusting ring (17) via a screw drive 25 With the same disadvantages, a further known

(19/20), vorzug v.-eise mit geringer Steigung tes optisches Meßgerät behaftet, bei welchem das Mi-(19/20), preferably with a slight slope tes optical measuring device, in which the mi

auf einen unverdrehbar und axial verschiebbar in kroskop in Richtung seiner optischen Achse starr amon a non-rotatable and axially displaceable in the microscope in the direction of its optical axis rigidly on

der Buchse ;i5) geführten Trägerring (22) wirk- Gestell angeordnet ist, der Objekttisch jedoch aiiithe socket; i5) guided carrier ring (22) is arranged in an effective frame, but the object table aiii

sam ist, in welchem der lulius (4) gehaltert ist Gestell höhenverstellbar angeordnet ist, und am Ge-sam is in which the lulius (4) is held, the height-adjustable frame is arranged, and the

und auf dem Trägerring (22) der Meßfühler (27) 30 stell noch die Meßuhr angebracht ist, deren Fühlerand on the support ring (22) of the measuring sensor (27) 30 alternate the dial gauge is attached, the sensor of which

der am Tubusträger (3) gehalterten Meßuhr (28) einer gleichachsig im Objekttisch verschraubbar an-the dial gauge (28) held on the tube carrier (3) and screwed coaxially in the object table.

wirksam ist. geordneten Stellschraube gegenübersteht.is effective. opposed to an orderly adjusting screw.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 und 3, da- Darüber hinaus ergibt sich bei diesem Gerät durch durch gekennzeichnet, daß zwischen der Buchse die Stellschraube eine Quelle möglicher Fehlmessun-(15) und dem Trägerring (22) achsparallel wirk- 35 gen, die aus dem erforderlichen Spiel zwischen den same, mit Vorspannung angeordnete Federele- Gliedern des Schraubentriebes resultiert. Der Erfinmente vorgesehen sind. dung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorstehend ge-4. Apparatus according to claim 2 and 3, that also results from this device characterized in that between the bushing, the adjusting screw is a source of possible incorrect measurements (15) and the support ring (22) act axially parallel, which result from the required play between the the same spring elements of the screw drive arranged with pretensioning result. The invention are provided. application is based on the task of

5. Vorrichtung nach einem oder mehreren der schilderten Fehlerquellen bei einem Gerät der einvorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- gangs genannten Gattung auszuschalten.5. Device according to one or more of the described sources of error in a device of the preceding Claims to thereby exclude the aforementioned genus.

zeichnet, daß in der der Buchse (15) zugewandten 40 Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch geStirnseite des Trägerringes (22) mehrere, auf den löst, daß die Meßuhr am höhenverstellbaren und Umfang gleichmäßig verteilt angeordnete, achs- feststellbaren Mikroskop-Schlitten befestigt ist und parallel verlaufende Sacklöcher (33) vorgesehen der Meßfühler unmittelbar an dem am Schlitten hösind, in welchen mindestens je eine an der Buchse henverstellbar angeordneten Tubus des Mikroskops (*5) sich federnd abstützende Schraubendruckfe- 45 angreift,
der (34) angeordnet ist. Durch diese Maßnahme bleibt der maximale Meß-Characterized that in the socket (15) facing 40. According to the invention, the end face of the carrier ring (22) solves several, on which the dial gauge is attached to the height-adjustable and circumferentially evenly distributed, axially lockable microscope slide and parallel running blind holes (33) are provided, the measuring sensor is provided directly on the one on the slide, in which at least one tube of the microscope (* 5) arranged on the socket, which is adjustable in height, engages a spring-loaded screw compression spring 45,
which (34) is arranged. With this measure, the maximum measurement

6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der bereich der Meßuhr immer erhalten, gleichgültig welvorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- chen Abstand das Objektiv des Mikroskops nach zeichnet, daß die Schraubendruckfedern (34) mit der Grobeinstellung vom Objekttisch hat.6. Always keep the device according to one or more of the range of the dial gauge, regardless of the previous one Claims, characterized in that the distance the objective of the microscope is characterized by the fact that the helical compression springs (34) have the coarse adjustment from the specimen stage.

der Buchse (15) korrespondierende Gleitelemente se Dabei hat es sich als besonders vorteilhaft erwie-the bushing (15) corresponding sliding elements. It has proven to be particularly advantageous.

(35) aufweisen. sen, wenn beim vorbeschriebenen Gegenstand zur(35) have. sen, if for the above-described subject

7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Höhenverstellung des Mikroskoptubus gegenüber vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- dem Schlitten ein Schraubentrieb angeordnet ist.
zeichnet, daß der Tubus (4) vorzugsweise mittels Hierzu kennzeichnet sich eine bevorzugte und ereiner Schraubverbindung auswechselbar angeord- 55 finderische Ausgestaltung dadurch, daß in einem Lanet ist. gerauge des Schlittens eine Buchse angeordnet ist, an7. The device according to one or more of the height adjustment of the microscope tube with respect to the preceding claims, characterized in that a screw drive is arranged on the slide.
It is characterized that the tube (4) is preferably used by means of this. A preferred and interchangeable screw connection is characterized by the fact that it is in a lane. Right of the carriage a bushing is arranged on

8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der welcher ein Stellring verdreh- und axial unverstellbar vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- gelagert ist, de^r Stellring über einen Schraubentrieb, zeichnet, daß die Meßuhr (28) am Schlitten (3) vorzugsweise mit geringer Steigung auf einen unverauswechselbar gehaltert ist. 60 drehbar und axial verschiebbar in der Buchse geführ-8. The device according to one or more of which an adjusting ring rotatable and axially unadjustable preceding claims, characterized marked, de ^r adjusting ring via a screw drive, characterized in that the dial gauge (28) on the carriage (3) preferably with a low pitch one is unmistakably held. 60 rotatable and axially displaceable in the bushing

9. Vorrichtung nach einem oder mehreren der ten Trägerring wirksam ist, in welchem der Tubus vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekenn- gehaltert ist und auf dem Trägerring der Meßfühler zeichnet, daß vom Schlitten (3) eine das Meß- der am Tubusträger gehalterten Meßuhr wirksam ist. f ühlerlager (30) lösbar umgreifende Schelle (33) Zur Verminderung des Gewindespieles auf ein optiabstrebt. 65 males Minimum im Schraubentrieb des Mikroskops9. Device according to one or more of the th carrier ring is effective, in which the tube preceding claims, characterized thereby, and on the support ring of the measuring sensor shows that a dial gauge on the slide (3) is active. sensor bearing (30) releasably encompassing clamp (33) to reduce the thread play on an optiabstrebt. 65 times the minimum in the screw drive of the microscope

kennzeichnet sich ein vorteilhaftes und erfinderisches Merkmal dadurch, daß zwischen der Buchse und dem Trägerring achsparallel wirksame, mit Vor-An advantageous and inventive feature is characterized in that between the socket and the carrier ring, effective axially parallel, with

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spannung angeordnete Federate vorgesehen J^^^^TI^ tension arranged Federate provided J ^^^^ TI ^

Eine bevorzugte und erfinderische Ausführungs- eher der Tubusträger 3 auf!derFührung Htonj-A preferred and inventive embodiment, rather the tube carrier 3 on! The guide Htonj-

form der vorbeschriebenen Einzelheit besteht darin, retiert werden kann. Der ^träger 3 besnzt^nochform of the above-described detail is that it can be saved. The carrier 3 is still sponsored

daß in der der Buchse zugewandten Stirnseite des 5 ein rechtwinklig zum ° J^ek^J'*SWtethat in the face of the 5 facing the socket, a right angle to the ° J ^ek ^ J '* SWte

Trägerringes mehrere, auf den Umfang gleichmäßig gerauge 14. In diesem ist ^^JSTJCarrier ring several, on the circumference evenly straight 14. In this one is ^^ JSTJ

tilt dt Jhlll lfd Skli£ eingesetzt Auf einem ange^{ο™*^εη f^U™f™nd 16tilt dt Jhlll lfd Skli £ used on an attached ^{ο ™ * ^εη f ^U ™ f ™ nd 16

Trägerringes mehrere, auf den Umfang gleichmäßig geraug ^Carrier ring several, evenly roughened on the circumference ^

verteilt angeordnete, Jchsparallel verlaufende Sackli£ eingesetzt. Auf einem ange^{ο™*^εη Distributed sackcloths running parallel to the axis are inserted. On an ange ^{ο ™ * ^εη

eher vorgesehen sind, in weichen mindestens je eine ist ein Stellring 17 drehbar gelagertrather, an adjusting ring 17 is rotatably mounted in soft at least one each

an der Buchse sich federnd abstützende Schrauben- einerseits am ^Tubu^^Γag^er.^_R ^uni_r O^hS₆fg _ab d d i i i f i angeformten Manscη io u^Cl on the socket resiliently supporting screws on the one hand on the ^Tubu ^ ^Γa g ^er . ^ _R ^un i _r O ^ hS ₆ fg _from ddiiifi molded Manscη io u ^Cl

an aer nucnse sicn isaerna aosiuizenae acnrauucu- wn"*¹» — hi« Her Buchse 15 ab-an aer nucnse sicn isaerna aosiuizenae acnrauucu- wn "* ¹ » - hi «Her socket 15 ab-

druckfeder angeordnet ist, wobei vorzugsweise ferner 10 einem angeformten Manisen ι au^Cl - , ,„compression spring is arranged, preferably also 10 a molded Manisen ι au ^Cl -,, "

die Schraubendruckfedem mit der Buchse korrespon- stützt. Der Stellring 17 besitzt em *™Wg"£f f dierende Gleitelemente aufweisen. von 0,5 mm Steigung In dieses ^«^J^the helical compression springs correspond to the socket. The adjusting ring 17 has em * ™ Wg "£ f ding sliding elements. With a pitch of 0.5 mm in this ^« ^ J ^

Ein weiteres vorteilhaftes und erfinderisches Merk- an entsprechender Außengewmdeteil ^ ^eines ™ mal des vorbeschriebenen Gegenstandes ist da- einem angeformten Stutzen 21 in der Buchse 15 gedurch gekennzeichnet, daß der Tubus vorzugsweise 15 führten Trägerringes 22 eingeschraubt "mms"^{5 u}. mittels einer Schraubverbindung auswechselbar an- sitzt wiederum ein Innengewinde ίΛ, in wen.ι _ . geordnet ist. Schraubring 24 lösbar einge-, -nraubt ist I" ^teu™ Another advantageous and inventive ^{feature of a corresponding Außengewmdeteil ^ a} ™ times of the above-described object is a molded connector 21 in the socket 15 characterized by that the tube preferably 15 guided carrier ring 22 is screwed in "mms" ^{5 u} . In turn, an internal thread ίΛ, in wen.ι _, is replaceable by means of a screw connection. is ordered. Is -nraubt threaded einge- solved 24 I "^ teu ™

Dies hat den Vorteil, daß das Mikroskop einfach ist der Tubus 4 verdrehbar Eeha.iert. Damit neiun.. und schnell gegen ein anderes, z. B. größerer Vergrö- Verdrehung des Stellringes der Tubus 4 niai ■ ßerung ausgetauscht werden kann. *° schoben wird, strebt von der Buchse .5i eine M πThis has the advantage that the microscope is simply Eeha.iert the tube 4 rotatable. So no .. and quickly against another, e.g. B. larger Vergrö- twisting the collar of the tube 4 niai ■ can be exchanged. * ° is pushed, a M π strives from the socket .5i

Weitere vorteilhafte und erfinderische Merkmale schraube 25 ab, die in ein achsparallel «^rl«™^e?J; des vorbeschriebenen Gegenstandes bestehen darin, Langloch 26 des Trägernnges 22 eingreift AUi ieudaß die Meßuhr am Tubusträger auswechselbar ge- terem ist noch ein seitlich ausladender, m y. halte« ist, wozu in bevorzugter Weise vom Tubusträ- Meßbolzen 27 einer Meßuhr 28 zu^samme^nw'^r^ ^ü; ger eine das Meßbolzenlager lösbar umgreifende *₅ Anschlag 29 befestigt. Die Meßuhr 28 ist miitc Schelle abstrebt, so daß auch die Meßahr bequem einer vom Tubusträger 3 abstrebenden das MeBDOi- und schnell gegen eine andere mit anderem MeSbe- zenlager 30 lösbar umfassenden bcheiie Ji BfnaiuMi. reich ausgetauscht werden kann. Zudem ist Jim Tubusträger noch eine «ektns.h^Further advantageous and inventive features unscrew 25, which in an axially parallel " ^rl " ™ ^e ? J; of the above-described subject matter consists in the elongated hole 26 of the support 22 engaging. hold "is, for which purpose in a preferred manner from the Tubusträ- measuring pin 27 of a dial gauge 28 to ^collect e ^nw ' ^r ^ ^ü ; ger a detachably encompassing the measuring pin bearing * ₅ stop 29 attached. The dial gauge 28 is braced with a clamp, so that the measuring device comfortably encompasses the MeBDOi and quickly detachably with another measuring bearing 30 with another measuring bearing 30. can be exchanged richly. In addition, Jim Tubusträger is still an «ektns.h ^

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Leuchte. 32 verstellbar angeordnet. Der Iragernnt. Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher 30 22 hat noch sechs auf den Umfang verteilt angeorabeschrieben. · . nete Sacklöcher 33, in welchen je eine Schrauben-One embodiment of the invention is in the light fixture. 32 adjustable. The Iragernnt. Drawing shown and will be described in more detail below. 22 has anora described six more distributed over the circumference. ·. nete blind holes 33, in each of which a screw

«Die in der Vorderansicht dargestellte Vorrichtung druckfeder 34 mit einer an der Buchse 15 sich aostutzur optischen Tiefenmessung, zum Beispiel zur Be- zenden Kugel als Gleitstem 35 angeordnet ««· Stimmung der Tiefe von Druckplatten-Ätznäpfen, be- Soll nun die Napftiefe einer auf dem Objekttisch 1«The device shown in the front view compression spring 34 with a on the socket 15 aostutzur optical depth measurement, for example arranged as a sliding star 35 to the Bezende ball «« · Adjustment of the depth of printing plate etching cups, should now be the cup depth on the object table 1

steht im wesentlichen aus einem Objekttisch 1, von 35 ruhenden geätzten Druckplatte gemessen weraen welchem eine Säule 2 abstrebt, an der ein Träger 3 wird zunächst der Stellring 17 so lange nach rechts für einen Mikroskoptubus 4 mit einem Objektiv 5 oder links gedreht, bis der oder die Zeiger der MeB- und einem einstellbaren Okular 6 150facher Vergrö- uhr 28 auf Null stehen. Sodann wird das OkuIa _ 6 ßerung und einer Schärfentiefe von etwa 0,001 mm so lange verdreht, bis die im Okular 6 bet ndiicne gehaltert ist. Der Objekttisch 1 besteht aus zwei mit- 40 Meßskala scharf erkennbar ist. Dann wird mittels des einander verstrebten Rohren 7, in welchen ein die Handrades 13 das Mikroskop zunächst scharf auf die Säule 2 tragender Schlitten 8 gelagert ist. Rasterstege der Druckplatte eingestellt und der 11 u-consists essentially of an object table 1, measured by 35 stationary etched printing plates which struts a column 2 on which a carrier 3 is initially the adjusting ring 17 so long to the right for a microscope tube 4 with an objective 5 or turned to the left until the pointer (s) of the measuring and an adjustable eyepiece 6 150x magnification clock 28 are set to zero. Then the OkuIa _ 6 and a depth of field of about 0.001 mm until the eyepiece 6 bet ndiicne is held. The object table 1 consists of two with a measuring scale that is clearly recognizable. Then the braced tubes 7, in which a handwheel 13 the microscope initially sharp on the Column 2 supporting carriage 8 is mounted. Set the grid bars of the pressure plate and the 11 u

An letzteren greift eine Verstellschraube 9 an, die busträger 3 mit der nichtgezeichneten Feststellan einer die Rohre 7 miteinander verbindenden Tra- schraube arretiert. Sollte sich dabei die Scharte ein verse 10 gehaltert ist 45 wenig verstellt haben, wird nut dem₍ Stellring 17 er-The latter is engaged by an adjusting screw 9, which locks the bus carrier 3 with the not shown locking on a transverse screw connecting the tubes 7 to one another. If the notch a verse 10 is held 45 is slightly misaligned, use the ₍ adjusting ring 17)

An der Säule 2 ist gleichlaufend zu dieser eine neut fokussiert und die Meßuhr 28 nachjustiert Da-Schwalbenschwanzführung U und eine Zahnstange nach wird durch Drehen der ^Ve™^J^™"2'rJ 12 befestigt. Die Führung 11 korrespondiert mit Schlitten 8 seitlich verschoben, bis der Napfboden einer entsprechenden Nut im Tubusträger 3. Mit dem Objektiv S gegenüberstund alsdann auf den der Zahnstange 12 kämmt ein im Tubustrkger 3 50 Napfboden scharf eingestellt. Die Differenz dieser gelagertes Zahnrad, das mit einem Handrad 13 be- beiden Einstellungen ergibt die Napfüefe, wüche an tätigbar ist. ^der Meßuhr 28 abgelesen werden kann.On the column 2, parallel to this one is re-focused and the dial gauge 28 readjusts the Da dovetail guide U and a rack is ^{attached by turning the Ve} ™ ^ J ^ ™ "2'rJ 12. The guide 11 corresponds to the slide 8 shifted laterally until the bottom of the cup is in focus with a corresponding groove in the tube carrier 3. With the lens S and then meshing with the rack 12, a cup base in the tube frame 3 50 is in focus which can be operated on ^the dial gauge 28 can be read.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

The invention relates to an optical device for measuring the level of pressure, consisting of one of the claims on a frame. height-adjustable slide with a microscope Mi, an object table and a dial gauge with

1. Optical device for depth measurement, best one parallel to the optical axis of the microscope starting from a measuring sensor that is height-adjustable on a frame.