DE1811501A1 - Device for the production of a gaseous plasma - Google Patents

Device for the production of a gaseous plasma

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    • H05H1/24—Generating plasma
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Description

Dipl. Ing. F. »tonarm,Dipl. Ing. F. »tonearm,

DKI. I..U- F.A.lVi.*.r^r.-.?nn, Dipl. Gham. B.HuberDKI. I..U- F.A.lVi. *. R ^ r .-.? Nn, Dipl. Gham. B.Huber

' ö München 27, Miililoir. 22-'ö Munich 27, Miililoir. 22-

Case Kr.Case Kr.

BRIIISH ΪΙΤΑ1Γ PRODUCTS CO^AlTY IIMI2ED Billinghaia, 2eesside / EnglandBRIIISH ΪΙΤΑ1Γ PRODUCTS CO ^ AlTY IIMI2ED Billinghaia, 2eesside / England

Vorrichtung zur Herstellung eines gasförmigen PlasmasDevice for producing a gaseous plasma

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung eines gasförmigen Plasmas.The present invention relates to a device for producing a gaseous plasma.

Die erfindungsgemäöe Vorrichtung zur Herstellung eines gasförmigen Plasma3 besteht aus einem Gasabsperrohr, einer Hülle, die das Rohr umschließt und eine geschlossene Kammer bildet, die das Rohr umgibt, Verschließein-The inventive device for producing a gaseous plasma3 consists of a gas shut-off pipe, a shell that encloses the pipe and a closed one Forms chamber that surrounds the tube, closing device

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richtungen, um das Rohr innerhalb der Hülle flüssigkeitadieht au verschließen, Böfes-cigungselariehtuagen, um das Rohr innerhalb der Hülle zu halten, und elastischen JVd er einrichtungen svriochen dem iohr uaö den Befestigungseinrichtung©^ um eine Expansion und Kontraktion des Rohres in Längsrichtung innerhalb der HUlIe zu erlauben, während das Rohr innerhalb der Hülle flüssigkeitsdicht verschlossen gehalten wird.directions to fluid adhere to the tube within the envelope close au, Böfes-cigungselarietuagen, to keep the tube inside the sheath, and elastic JVd he facilities svriochen dem iohr uaö the fastening facility © ^ in order to expand and contract the tube in the longitudinal direction within the envelope allow, while the tube is kept liquid-tight closed within the envelope.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung v/ird sur Herstellung φ eines gasförmigen Plasmas innerhalb des Gasabsperrohree mittels eines schwingenden elektrischen Stromes von geeigneter Frequenz verwendete Die Voirriehtung umfaßt susätzlioh Einrichtungen sur Durchführung einer elektrischen Entladung innerhalb des Rohres und diese Einrichtungen bestehen aus einem elektrisch leitfähigen Material, das rundherum um das Rohr befestigt ist unä iait. einer Quelle eines schwingenden elektrischen Stromes verbunden v/erden kann. Derartige Einrichtungen lcönnen beispielsweise aus einem Kupferrohr mit beispielsweise 3 bis 10 Windungen rund um einen Teil des Gasabsperrohres, z.B. mit 4 bis 9 V/indungens bestehen.The device according to the invention is used to produce a gaseous plasma within the gas barrier by means of an oscillating electric current of a suitable frequency the tube is attached unä iait. connected to a source of an oscillating electrical current. Such devices lcönnen example, of a copper pipe with for example, 3 to 10 turns around a part of the Gasabsperrohres, for example with 4 to 9 V / s indungen exist.

™ Im Betrieb wird das Gasabsperrohr durch das.Plasma erhitzt und dadurch wird axiale Ausdehnung hervorgerufen» Es ist erwünscht» das Rohr su kühlen, und um dies au erreichen, bildet die das Rohr umgebende Hülle mit dem Rohr eine Kammer oder einen Mantel* durch die eine Kühlflüssigkeit geleitet v/erden kann. Bei einem derartigen Aufbau ist wesentlich, daß das Rohr innerhalb der Hülle flüssigkeitsdicht verschlossen ist, um die Kühlkammer oder den Kühlmantel zu bilden, und daß geeignete Einrichtungen vorgesehen sind,, um die Längsausdehnung des™ During operation, the gas shut-off pipe is heated by the plasma and this causes axial expansion. »It is desirable» to cool the pipe, and in order to achieve this, the casing surrounding the pipe and the pipe form a chamber or jacket * through the a cooling liquid can be conducted. With such a construction it is essential that the tube is closed in a liquid-tight manner within the envelope in order to form the cooling chamber or the cooling jacket, and that suitable means are provided to prevent the longitudinal extent of the

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GasabsperrohreB zu ex'lauben, auch wenn Kühlung des Eoh-.verwendet wird. Demzufolge umfaßt die erfindungsge-Gas shut-off pipes are to be ex'used, even if cooling of the Eoh-. Is used will. Accordingly, the inventive

.Vorrichtung elastische Federeinrichtungen, die zwischen dem Rohr und einem Befestigungsteil angeordnet sind, damit die axiale Ausdehnung des Rohres stattfinden kann, während das Gasabsperrohr in flüssigkeitsdichtem Eingriff mit der Hülle gehalten wird. Ausserdem kann durch geeignete Konstruktion der Vorrichtung radiale Ausdehnung des Rohres a\ifgenommen werden, ohne daß die Abdichtung versagt, wobei jedoch in diesem Fall die radiale Ausdehnung aufgenommen wird, indem sichergestellt wird, daß die Vorrichtung mit solchen Toleranzen gebaut wird, daß dies ö^r Fall ist..Device elastic spring devices between the pipe and a fastening part are arranged so that the axial expansion of the pipe can take place while the gas shut-off pipe is in fluid-tight engagement is held with the sheath. In addition, suitable Construction of the device radial expansion of the pipe can be taken without affecting the seal fails, but in this case radial expansion is taken up by ensuring that the device is built with such tolerances that this is the case.

Die elastischen Federeinrichtungen können eine Anzahl von Spiralfedern umfassen, die so befestigt sind, daß sie rund um dsn Umfang des Rohres zwischen dem Rohr und oinem Eefestigungoteil wirken, das geeignetermaßen ein Ring ist, der durch geeignete Sicherungsbolzen oder -muttern so montiert ist, deß er in Richtung auf das Ende der Hülle zu und davon weg beweglich ist.The elastic spring devices can be a number comprised of coil springs attached so that they extend around the circumference of the tube between the tube and oinem Eefestigungsoteil act that suitable a Ring is mounted by suitable locking bolts or nuts so that it faces towards the The end of the sheath is movable to and away from it.

Auoserdem umfaßt die Vorrichtung gewöhnlich einen Gasverteilungskopf, der mit mindestens einem Einlaß versehen werden kann, durch den ein Gas, in dem das Plasma aufrechterhalten werden soll, in das Gasabsperrohr eingeführt werden ι-α-ηη. normalerweise ist in dem Gasver-In addition, the device usually includes a gas distribution head, which can be provided with at least one inlet through which a gas in which the plasma is to be maintained, ι-α-ηη are introduced into the gas shut-off pipe. normally in the gas supply

, ' teilungskopf eine Vielzahl von Einläßen radial angeord-■ net, UiD innerhalb des Gasabsperrohres einen spiralförmigen Fluß des gasförmigen Mediums zu erzeugen, in .dem das, 'dividing head a multitude of inlets arranged radially net, UiD a spiral-shaped inside the gas shut-off pipe To generate the flow of the gaseous medium, in the

\ Plasma aufrechterhalten werden soll» Der Gasverteilungskopf kann aus3erdem eine zentrale Bohrung besitzen, durch die zusätzliches Gas oder Reaktionsteilnehmer \ Plasma should be maintained »The gas distribution head can also have a central bore through which additional gas or reactants

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(fest oder gasförmig) eingeführt werden können»(solid or gaseous) can be introduced »

Der Gasvertoilungskopf kann gewünsehtenfalls schraub« bar innerhalb eines weiteren Ringes an eines) End θ am Und© des Gasabsperrohros lokalisiert sein, dar mit UmfangaaMichtmigseinrichtungen, beispielsweise einem 0-Ring aus geeignetem Material, versehen ist» um mit der ' Innenwand der Hülle in Eingriff au gelangen» Dieser wei . tere Ring kann befestigt v/erden, um mit den elastischen Pedereinrichtungen zusammenzuwirken5 die zwischen dienern Ring und dem Befestigungsteil angeordnet sind, und um dadurch eine Lokalisierung und Halterung des Gasabsperrohres innerhalb der Hülle zu bewirken·The gas distribution head can, if desired, be located screwable within a further ring at an end θ on the gas shut-off pipe, which is provided with circumferential sealing devices, for example an O-ring made of a suitable material, in order to engage with the inner wall of the envelope get »This white. The tere ring can be attached in order to cooperate with the elastic pedestal devices 5 which are arranged between the ring and the fastening part, and to thereby effect a localization and retention of the gas shut-off tube within the envelope.

Um geeigneten Verschluß der Vorrichtung gegen Flüssigkeit sver Iu st zu erlauben, ist es erwünscht, daß die ve3?schiedenen zusammenwirkenden Teile untereinander mit Dichtungseinrichtungen versehen sind.In order to allow the device to be properly sealed against liquids, it is desirable that the different interacting parts with each other Sealing devices are provided.

Die Hülle kann an ihrem unteren Ende mit einem Ring versehen werden, der ein Gegenlager bildet, gegen das das von dem Gasverteilungskopf entfernte Ende des Gasabsperrohres in flüssigkeitBdlöhtem Eingriff über geeignete Abdichtungseinrichtungen, wie einen O-Bing, anliegt. Die Hülle kann mit einer* oder mehreren Einlaß- und Auslaßöffnungen vorsehen sein,, durch die ein flüssiges Kühlmedium der Kühlkammer zwischen der Hülle und dem Gasabsperrohr zugeführt und daraus abgeführt werden kann, und es können zusätzlich Anschlüsse vorgesehen αein, um das elektrisch leitfähige Material, aas rund um das Rohr montiert ist, mit einer geeigneten Quelle für schwingenden elektrischen Strom su verbinden,,The sheath can be fitted with a ring at its lower end which forms a counter bearing against which the end of the gas shut-off pipe remote from the gas distribution head in liquid-soldered engagement via suitable sealing devices, such as an O-bing. The cover can be equipped with one * or more inlet and provide outlet openings through which a liquid Cooling medium can be supplied to the cooling chamber between the shell and the gas shut-off tube and discharged therefrom can, and there can also be connections provided αein to the electrically conductive material, aas around mounted around the pipe, connect it to a suitable source of oscillating electric current su ,,

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φ φ φ φ. Φ· φφφ φ φ φ. Φ · φφ

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Die Hülle kann aus jedem geeigneten Material gebildet sein, das gewöhnlich ein elektrischer Isolator ist,, wie festem Kunststoffraaterial, beispiel8weiso Nylon oder Polytetrafluorethylen, vorausgesetzt, daß es einen Erweichungspunkt oberhalb der Temperatur besitzt, auf die die Kühlflüssigkeit während des Gebrauchs der· Vorrichtung erhitzt v/ird.The sheath can be formed from any suitable material its usually an electrical insulator, like solid plastic material, for example nylon or Polytetrafluoroethylene, provided that it has a softening point above the temperature to which the cooling liquid is heated during use of the device.

!Das Gasabsperrohr ist gewöhnlich aus einem elektrisch nicht leitfähigen Material gebildet, das bei hohen Temperaturen beständig ist, wie Silieiumdioxyd, oder ist möglicherweise aus einem leitfähigen Material mit isolierenden Streifen eines nicht-leitfähigen Materials hergestellt und der Gasverteilungskopf kann aus jedem geeigneten Metall hergestellt werden.! The gas shut-off pipe is usually made of an electrical one formed non-conductive material that is resistant to high temperatures, such as silicon dioxide, or may be made of a conductive material with insulating strips of a non-conductive material and the gas distribution head can be made of any suitable metal.

Nachfolgend v/erden unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung zwei Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben, um die Erfindung beispielhaft au veranschaulichen. Dabei seigernIn the following, referring to the attached Drawing two embodiments of the invention Device described to exemplify the invention au illustrate. Seigern in the process

Figur 1 einen Schnitt durch eine Ausführungsform der Vorrichtung,Figure 1 shows a section through an embodiment of the device,

Figur 2 einen Schnitt durch einen Teil einer anderen Ausführungsfora der Vorrichtung undFIG. 2 shows a section through part of another embodiment of the device and

Figur 3 einen Schnitt durch eine Hülle, die einen Kühlmantel für die Vorrichtung gemäß Figur 2 bildet. FIG. 3 shows a section through a casing which forms a cooling jacket for the device according to FIG.

Die in der Zeichnung dargestellte Vorrichtung besteht aus einem aus Siliciumdioxyd hergestellten Gasabsperr-The device shown in the drawing consists from a gas shut-off made of silicon dioxide

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rohr 1, das Innerhalb einer Hülle 2 aus Uylon angeordnet ist, wobei so swischen Rohr 1 und Hülle 2 eine Kühlkam~ laer oder ein Kühlmantel 3 gebildet wird, durch den ein© Kühlflüssigkeit geleitet werden kann, um das Gasabsperr-3?ohr 1 au kühlen» Das untere Ende des Rohres 1 ist mit einem ringförmigen G-egenlager 4 versehen, das über einen O-Eing 5 auf einem Ring 6 aufliegt, der mit der Hülle 2 durch Schrauben 7 verbunden ist.tube 1, which is arranged within a shell 2 made of Uylon, whereby a cooling chamber or a cooling jacket 3 is formed between tube 1 and shell 2 , through which a cooling liquid can be passed to the gas shut-off tube 1 cool »The lower end of the tube 1 is provided with an annular counter-bearing 4 which rests via an O-inlet 5 on a ring 6 which is connected to the casing 2 by screws 7.

An seinem oberen Ende ist das Rohr 1 cäureb ein Einstellteil 8 mit drei Einstellanschlägen 9 lokalisiert, wobei das Einstellteil 8 die Form eines Hinges mit einer TJm-' i.'&ngsaussparung 10 hat, in der ein O-Eing 11 angeordnet ist, um eine Dichtung zwischen dem Einstellteil und einem zylindrischen Einsatz 11a zu bilden^ der von dem ringförmigen Teil 11b am oberen Ende der Hülle 2 ge» " halten wird.At its upper end, the tube 1 is an adjustment part 8 localized with three adjustment stops 9, the adjustment part 8 having the shape of a Hinges with a TJm- ' i. 'has recess 10 in which an O-inlet 11 is arranged is to form a seal between the adjustment member and a cylindrical insert 11a ^ that of the ring-shaped part 11b at the upper end of the sheath 2 ge »" will hold.

•Der aus den beiden suoammenwirlcenclea Seile» 13 und 14 gebildete Gasverteiltmgekopf ist schraubbar innerhalb des Einstellteiles 8 befestigt» wobei der Gasverteilungskopf 12 mit einer zentralen Bohrung 15 und ausserdem mit einer Zuführungsleitung 16 versehen ist, die über die Aussparung 18 mit acht am Umfang verteilten Einlaßöffnungen 17 in Verbindung steht»• The one from the two suoammenwirlcenclea ropes »13 and 14 formed gas distribution head can be screwed inside of the adjustment part 8 »with the gas distribution head 12 having a central bore 15 and also is provided with a supply line 16, which via the recess 18 with eight circumferentially distributed inlet openings 17 is related »

Das obere Ende der Hülle 2 ist mit einem ringförmigen Befestigungsteil 19 versehen, das mit einem DruckteilThe upper end of the sheath 2 is ring-shaped Fastening part 19 provided with a pressure part

20 zusammenwirkt, das sechs am Umfang verteilte Federn20 cooperates, the six springs distributed around the circumference

21 aufweist, die swischen dem Druckteil und dein Einstellteil 8 angeordnet sind. Das ringförmige Befestigungsteil 19 ist auf sechs verteilten Schraubenstäben 22 befestigt? die durch Fangmuttern 23 mit der Hülle 2 verbunden sind,21, which are arranged between the pressure part and the setting part 8. The annular fastening part 19 is attached to six distributed screw rods 22? which are connected to the shell 2 by locking nuts 23,

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und das Befestigungsteil 19 kann axial entlang den Stäben 22 mittels der Elügclschrauben 24 bewegt werden, um auf das DruokteiJ 20 und darait auf das Einatellteil 8 Druck auszuüben·and the fastening part 19 can be axially along the rods 22 are moved by means of the Elügclscrews 24 to on the printing unit 20 and then on the assembly part 8 To apply pressure

Eine Kupferwicklung 25 mit vier Y/indungen ist rund um .den unteren Seil des Gasabsperrohres 1 befestigt und ist durch Endteile 26 mit dem Äußeren der Hülle 2 verbunden. Die Hülle 2 ist mit einer Einlaßöffnung 27 und einem Einlaßteil 28 versehen, das mit einer Quelle für Kühlflüssigkeit verbunden werden kann« Die Hülle 2 hat in ihr? . Yfand zusätzlich eine Auslaßöffnung 29, die mit einem uslaßteil 30 verbunden werden kann, das oberhalb der Lage des Einlaßteiles 28 angeordnet ist.A copper winding 25 with four Y / indings is around . The lower rope of the gas shut-off pipe 1 is attached and is connected to the exterior of the envelope 2 by end portions 26. The sheath 2 is provided with an inlet port 27 and one Inlet part 28 is provided which can be connected to a source of cooling liquid «The shell 2 has in your? . Yfand also an outlet opening 29, which with an outlet part 30 can be connected, the above the position of the inlet part 28 is arranged.

Im Betrieb wird ein geeignetes Gas, in dem das Plasma erzeugt und aufrechterhalten werden soll, dem*liinlaß 16 zugeführt, um von 17 eine wirbelnde Strömung zu ergeben. Zusätzliche Gase können durch 15 zugeführt werden. Eine Quelle für schwingenden elektrischen Strom wird mit der Kupferwicklung 25 verbunden, die das Gasabsperrohr 1 umgibt und os wird ein Plasma in dem Rohr initiiert lind aufrechterhalten. Eine Kühlflüssigkeit, geeignetermaßen Wasser, wird in die Kammer 3 über das Einlaßteil 28 eingeführt, durch dio I0Gran.er 3 zirkuliert und durch üen Anschluß 30 ausgeführt, um die Oberfläche des Gasab-Eiporrohres 1 su kühlen. Ein typischer schwingender Strom hat eine Spamiung von 3 KV bia 15 KV, eine Stromstärke von 40 bis 300 Ampere und eine Frequenz von 1 Megahertz/ Sekunde bis 10 Megaherts/Selcunde.In operation, a suitable gas in which the plasma should be generated and maintained, the * liinlaß 16 fed to give a swirling flow of 17. Additional gases can be supplied through 15. One The source of oscillating electric current is connected to the copper winding 25, which is the gas shut-off pipe 1 surrounds and os a plasma is initiated in the tube lind upheld. A coolant, suitable Water, is introduced into the chamber 3 via the inlet part 28, circulated through the I0Gran.er 3 and through üen connection 30 carried out to the surface of the Gasab-Eiporrohres 1 su cool. A typical oscillating current has a voltage of 3 KV to 15 KV, a current strength from 40 to 300 amps and a frequency from 1 megahertz / second to 10 megaherts / selcunde.

Das zur Aufrechterhaltung des Plasmas innerhalb des Rohres in das Rohr eingeführte Gas kann beispielsweise einThat to maintain the plasma inside the pipe Gas introduced into the pipe may, for example, be a

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einatomiges Gas, wie Argon oder Helium, ein zweiatomigen Gas, wie Stickstoff, Sauerstoff oder Chlor, oder eine gasförmige vielatomige 'Verbindung sein, wie Titantetrachlorid oder Silieiumtetrachlorid.monatomic gas such as argon or helium, diatomic Gas, such as nitrogen, oxygen or chlorine, or a be gaseous polyatomic 'compound, such as titanium tetrachloride or silicon tetrachloride.

Der Gasverteilungskopfs der das gasförmige Medium liefert » worin das Plasma aufrecht erhalt on wird,, kann auch dazu verwendet werden, um Material in das Gasabsperrrohr einsuführen, das durch ögb Plasma erhitzt werden soll ο Beispielsweise können gasförmige Zusätze, wie flüchtig© Metalltetrahalogenide» wie iDitantetrachlorid oder ein Silielumtetrahalogenid, in das Rohr durch die zentrale Bohrung 15 eingeführt vier den. Alternativ kann festes teilehenförmiges Material mittels einer Sonde durch die zentrale Bohrung 15 in das Rohr eingeführt werden, wobei ein fein verteiltes titanhaltiges Erz, wie Ilmenitj, ein typisches Material ist»The gas distribution head that supplies the gaseous medium »In which the plasma is maintained, can also can be used to introduce material into the gas shut-off tube that is heated by ögb plasma should ο For example, gaseous additives such as volatile © metal tetrahalides »such as titanium tetrachloride or a silicon tetrahalide introduced into the tube through the central bore 15 four den. Alternatively can solid particulate material by means of a probe be introduced through the central bore 15 in the pipe, wherein a finely divided titanium-bearing ore, such as Ilmenitj, a typical material is »

Wenn das Plasma aufrechterhalten wird, nimmt die femperatur des Gasabsperrohres zu und die sich ergebende Ausdehnung des Rohres in axialer Richtung kann stattfinden, wobei die elastischen'Pedern 21 zusammengepreßt werden, die zwischen dem Bruckteil 20 und einem Befestigimgsteil 8 angeordnet sind» Der flüssigkeitsdichte Abschluß des Rohres wird so innerhalb der Hülle durchgehend aufrechterhalten, nnä bei der Abkühlung dehnen sich die Federn aus, ran öas Zurückziehen des Rohres zu erlauben7 wobei der flüssigkeitsäichte Abschluß aufrechterhalten wirdo If the plasma is maintained, the temperature of the gas shut-off tube increases and the resulting expansion of the tube in the axial direction can take place, whereby the elastic springs 21, which are arranged between the bridge part 20 and a fastening part 8, are compressed The pipe is thus continuously maintained within the envelope, nnä when it cools down, the springs expand, allowing the pipe to be withdrawn 7 while the liquid-tight seal is maintained o

Me Vorrichtung hat den zusätzlichen Vorteil» daß das Gasabsperrohr, wenn notwendig, leicht ausgewechselt werden kann und daß verschieden geformte Gasverteilungsköpfe leicht eingesetzt werden können, ohne daß dieMe device has the additional advantage that the Gas shut-off pipe, if necessary, can be easily replaced and that differently shaped gas distribution heads can easily be used without the

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Stellung des Gasabsperrohres innerhalb der Hülle geßtört xtfird. Ausserdem kann die Vorrichtung mit verschieden großen Gasabsperrohren verwendet v/erden.Position of the gas shut-off pipe within the envelope geoseed xtfird. In addition, the device can with different large gas shut-off pipes are used.

In Fig. 2 und 3 ist eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung gezeigt, die der in Pig. gezeigten sehr ähnlich ist. In der in 3?ig. 2 gezeigten Vorrichtung ist das Einstellteil 8 flüssigkeitsdicht abgedichtet mit einem Abdeekungsteil 40, das ein zylindrisches Teil 41 besitzt, d&3 eng an der inneren Oberfläche der Hülle anliegt, wie in Pig. 2 gezeigt ist. Die mit Gewinde versehenen Stäbe 22 sind in die Hülle eingeschraubt und sind in dem Abdeekungsteil und der Hülle durch Gegenmuttern 42 und 43 gehalten.In Figs. 2 and 3, an alternative embodiment of the Device according to the invention shown, which in Pig. shown is very similar. In the in 3? Ig. 2 shown The device is the setting part 8 liquid-tight sealed with a cover part 40 having a cylindrical part 41, d & 3 close to the inner one Surface of the shell rests, as in Pig. 2 is shown. The threaded rods 22 are in the sheath and are held in the cover and the shell by lock nuts 42 and 43.

Die in Pigur 1 gezeigten einzelnen elastischen Pedern sind durch ein Paar von Spiralfedern 44 und 45 ersetzt, die dirrch ein ringförmiges Drucktsil 46 getrennt sind.The individual elastic pedals shown in Pigur 1 are replaced by a pair of coil springs 44 and 45 which are separated by an annular printing element 46 are.

Die in Pig. 3 gezeigte Hülle bests"ht aus einem ETylonzylinder 47, der mit ©iaeia Aualaß 48 und einem Einlaß für-Kühlflüssigkeit versehen ist. 'Ea sind Anschlüsse und 51 für den Anschluß einer nicht gezeigten Kupfer-•wicklung vorgesehen, um den schwingenden Strom irlngs um das nicht gezeigte Gasabsperrohr zuzuführen„ Die Hülle hat eine Ausnehmung 52 und ein zylindrisches Sail 53 aus Polytetrafluorätliylen ist in die Ausnehmung ein-· gesetzt? um als Wärmeschutz für das Uylonrohr 47 zu wirken. Die Ausnehmung 52 und der Wärmeschirm 53 sind so. angeordnet» daß sie angrenzend an die Kupferwicklung liegen, die das Gasabsperrohr umgibt«The one in Pig. Case shown 3 bests "ht of a ETylonzylinder 47, which is provided with © iaeia Aualaß 48 and an inlet for cooling liquid. 'Ea connections and 51 for the connection of a copper not shown • winding are provided to the vibrating flow irlngs to to feed the gas shut-off pipe (not shown) "The casing has a recess 52 and a cylindrical sail 53 made of polytetrafluoroethylene is inserted into the recess - to act as thermal protection for the Uylon pipe 47. The recess 52 and the heat shield 53 are arranged in this way." that they are adjacent to the copper winding that surrounds the gas shut-off pipe «

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• ••Ο ·· ··· Ο·· AS β·• •• Ο ·· ··· Ο ·· AS β ·

Wenn 100 L tr. Sauerstoff pro Minute durch die in oder Pig ο 2 xvaä 3 geaeigton Vorrichtungen geschickt worden, wobei durch die Wicklung 25 ein schwingender Strom aus einem Oscillator mit einer Anodenleistung von 76,6,,.. Kilowatt s©l©it©t. wird, bo v;ird f©atgoat©llts daß die Gesamtleistung des erzeugten Plasmas 32 Kilowatt beträgt O When 100 liters of tr. Oxygen per minute have been sent through the in or Pig ο 2 xvaä 3 geaeigton devices, whereby an oscillating current from an oscillator with an anode output of 76.6 ,, .. Kilowatts s © l © it © t. is, bo v; ird f © atgoat © llt s that the total output of the generated plasma is 32 kilowatts O

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Claims (1)

Patentansprüche ιClaims ι 1. Vorrichtung zur Herstellung einea gasförmigen Plasmas, gekennzeichnet durch ein Gasabsperrohr, eine Hülle, die das Rohr einschließt und eine das Rohr umgebende geschlossene Kammer bildet, Verschlußeinrichtungen zum flüssigkeitsdichten Abschluß des Rohres innerhalb der Hülle, Befestigungseinrichtungen zum Befestigen des Roto;iviP innerhalb der Hülle und elastische Pedereinrichtungeii zwischen dem Rohr und den Befestigungseinriehtungen, um Ausdehnung und Zusammenziehung des Rohres in Längsrichtung innerhalb der Hülle zu erlauben, während das Rohr innerhalb der Hülle flüssigkeitsdicht abgeschlossen gehalten wird.1. Apparatus for producing a gaseous Plasmas, characterized by a gas shut-off tube, a shell that encloses the tube and one surrounding the tube forms closed chamber, closure devices for the liquid-tight closure of the pipe within the casing, fastening devices for fastening the roto; iviP inside the casing and elastic pedestal deviceseii between the pipe and the fastening devices, to allow longitudinal expansion and contraction of the tube within the envelope while the tube is kept sealed in a liquid-tight manner within the envelope. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1» dadurch gekennzeichnet, daß die elastischen Pedereinrichtungen aus einer Anzahl von Spiralfedern bestehen, deren Achse jeweils zu der Längsachse aso Rohres pax-allel ist und die an der Peripherie verteilt zv/ischen einem Ende des Rohres und einem Befestigungeteil angeordnet sind.2. Device according to claim 1 »characterized in that that the elastic Pedereinrichtungen from consist of a number of coil springs, the axis of which is pax-allele to the longitudinal axis aso Rohres and which distributed on the periphery zv / ischen one end of the tube and a fastening part are arranged. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1» dadurch gekennzeichnet, daß das Befestigungsteil ein Ring ist, der so befestigt ist, daß er in Richtung auf das benachbarte Ende der Hülle zu trad davon v/eg beweglich ist.3. Device according to claim 1 »characterized in that that the fastening part is a ring which is fastened so that it is towards the adjacent End of the shell to trad of which v / eg is movable. 4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden An-4. Device according to one of the preceding ~ 11 -~ 11 - 909831/083» bad909831/083 »bathroom ·· βΟΘ ··· 09 ·· βΟΘ ··· 09 ···· Spruch©, dadurch gekennseielinetj daß die elastischen Feel ereinrichtungen jeweils aus einesa Paar von Spiralfedern bestehen, wobei jedes Paar axial mit der Längsachse dea Rohres ausgerichtet ist? wobei eine der Federn jedes Paares sich in Kontakt unit dem Befest igungst'eil befindet -und die andere auf das benachbarte Ende des Eohres einwirkt und wobei die ein Paar bildenden Federn durch ein ringförmiges Brücktoil getrennt sind,Spruch ©, thereby gekennseielinetj that the elastic Feel ereinrichtungen each made up of a pair of coil springs exist, each pair being axially aligned with the longitudinal axis dea Pipe is aligned? with one of the springs each The pair is in contact with the fastening part -and the other to the adjacent end of the ear acts and wherein the springs forming a pair through a ring-shaped bridge are separated, 5. Vorrichtung nach oinem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das von den elastischen Federeinrichtungen entfernte Ende des Rohres mit einem ringförmigen G-egenlager auf der Hülle flüssigkeitsdicht abgeschlossen ist-5. Device according to one of the preceding Claims, characterized in that the end of the tube remote from the elastic spring devices with an annular counter-bearing on the cover, liquid-tight is completed- 6β Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche · gekennzeichnet durch Einrichtungen zur Jfeeh·™ führung eines? elektrischen Entladung innerhalb des Eohres, die aus einem elektrisch leitfähigen Ifeterial bestehenj flas rraiä um dae Bohr befestigt ist trad an das eine Quelle für-schwingenden elektrischen Strom angeschlossen werden kann,- 6 β Device according to one of the preceding claims · characterized by devices for Jfeeh · ™ guiding a? electric discharge within the Eohres, which consists of an electrically conductive Ifeterialj flas rraiä around dae Bohr is attached trad to which a source for-oscillating electric current can be connected, - 7 ο Vorrichtung nach Anspruch 6S ä&änxüh g&kemizeichnet, daß die Einrichtungen sur Durchführung einer elelcteiselaen Entladung innerhalb das Hohres. aus ©inem in Form eiaer Wicklung bestellen9 die einen7 o Device according to claim 6 S ä & änxüh g & kemizeichnet that the devices sur implementation of an electrical discharge within the Hohres. from © inem in the form of a winding order 9 the one Vorrichtung nach Anspruch I5 dadurch daß äas Bohr drei bis zehn Windungen aufweistDevice according to claim I 5, characterized in that the drill has three to ten turns BAD ORIGINALBATH ORIGINAL 09831/08Ii09831 / 08Ii .. .... .. ** •• - <- < 11 » · «»·« *.*. * ·.* ·. ...... ιι 5050 .... * . .*. .
.... ...... .. ...... 8181 11 11
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet., daß das Rohr Tier bis neun Windungen aufweist.9. Apparatus according to claim 8, characterized., that the pipe animal has up to nine turns. 10. Vorrichtung nach «inem de?? vorhergehenden An-3prUohc, gekennzeichnet du3?oh einen Gaoverteilungskopf mit mindestens einem Einlaß für ein Gas,10. Device according to «inem de ?? previous An-3prUohc, marked du3? oh a Gao distribution head with at least one inlet for a gas, 11 ο Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasve:?teilungskopf schraubbar innerhalb eines Hinges angeordnet ist, der gegenüber dem Ende am des Rohres flüssigkeitsdicht abgeschlossen und zwischen diesem Ende des Rohres und den elastischen Federeinricbtungen befestigt ist.11 ο device according to claim 10, characterized in that the Gasve: dividing head is arranged within a screw Hinges which is opposite the end of the tube at the closed liquid-tight and fixed between this end of the tube and the elastic Federeinricbtungen?. 12. Vorrichtung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasverteilungskopf mit einem oder mehreren Einlassen versehen ist, die radial angeordnet sind, um die radiale Einführung eines Gases in das Rohr au erlauben.12. The apparatus of claim 10 or 11, characterized in that the gas distribution head with a or several inlets are provided, which are arranged radially are to allow the radial introduction of a gas into the pipe au. 13 η Vorrichtung nach einem d«r vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Hülle mit M einer oder mehreren Einlaß- und Auslaßöffnungen für die !Durchführung eines flüssigen Kühlnjediuias durch die Kammer zwischen der Hülle und dem Hohr ausgebildet ist.1 3 η device according to one d "r preceding claims, characterized in that the case with M one or more inlet and outlet ports for the! Implementation of a liquid Kühlnjediuias is formed through the chamber between the shell and the Hohr. 14ο Vorrichtung nach Anspruch 13* dadurch gekennzeiohnet, daß die Hülle mit einem oder mehreren An-Schlüssen versehen ist, um das elektrisch leitfähige Material, das das Rohr umgibt, mit einer Quelle für schv/ingenden elektrischen Strom zu verbinden.14ο Device according to claim 13 * characterized in that that the shell is provided with one or more connections to the electrically conductive Material surrounding the pipe with a source of to connect varying electrical currents. - 13 -.- 13 -. BAD ORiGv: AL 909831 /0839 BAD ORiGv: AL 909831/0839 ceo ee • · β « « · · cceo ee • · β « «· · C 15, Vorrichtung -nach einera dsr TorliergohGnclQn An-15, device -according to a dsr TorliergohGnclQn an sprücliQ, dadurch g©3cennseichnet9 ä&ß öas Gasab sperr ohr weiß, die Hülle jeweils ans elnem elektrisch isoliorenden Material hergestellt sind«,sprücliQ, thus g © 3cennseichnet 9 ä & ß öas gas shut-off ear white, the cover is made of one electrically insulating material «, BAD ORIGINALBATH ORIGINAL 909831/083»909831/083 »
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