DE1774482C - Capacitive word-oriented memory using field effect transistors - Google Patents

Capacitive word-oriented memory using field effect transistors

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DE1774482C
DE1774482C DE19681774482 DE1774482A DE1774482C DE 1774482 C DE1774482 C DE 1774482C DE 19681774482 DE19681774482 DE 19681774482 DE 1774482 A DE1774482 A DE 1774482A DE 1774482 C DE1774482 C DE 1774482C
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memory
effect transistor
line
voltage
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Robert Heath Croton-on-Hudson N.Y. Dennard (V.StA.)
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Description

Lesevorgang als Abfiagelcitung dient. 15 Trägerschicht der integrierten Schaltung, Diese Kon-Reading process serves as a Abfiagelcitung. 15 carrier layer of the integrated circuit, this con-

2, Kapazitiver wortorientierter Speicher unter struktionsart begrenzt deshalb die Anzahl der auf2, capacitive word-oriented memory under struktionsart therefore limits the number of

Verwendung von Feldeffekt-Transistoren nach einer Trägerschicht aufbaubaren Speicher/eilen umlUse of field effect transistors after a carrier layer buildable memory / rush uml

Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß als erfordert außerdem die Verwendung längerer IYci-Claim I, characterized in that, as required, the use of longer IYci-

Speidierkondensator die Kapazität zwischen Tor- ber- und Abfrageleitungen auf Kosten der Arbeits-Storage capacitor increases the capacitance between torber and interrogation lines at the expense of working

Senkcnanscliluß (50 D) an die Bitleitung (26) und mum an Elementen bei hoher Arbeitsgeschv/indigke dessen Trügcrschichlanschluß (50 W) an die Bc- zu erstellen.Senkcnanscliluß (50 D) to the bit line (26) and to create its false circuit connection (50 W) to the Bc- on elements at high work speeds.

zugsquelle (40) angeschlossen sind. 25 Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß jedeZugsquelle (40) are connected. 25 This object is achieved in that each

3. Kapazitiver wortorientierter Speicher unter Speicherzelle aus einem Feldeffekt-Transistor und Verwendung von Feldeffekt-Transistoren, nach einem Kondensator besteht, der mit dem Senken Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zum anschluß des Feldeffekt-Transistors verbunden ist. Abfragen die Wortleitung (24) mit einem Signal daß die Torelektrode mit der Wortleitung, der beaufschlagt wird, welches die dem Einspeichcr- 30 Quellenanschluß mit der Bitlcitung und der Trägerimpuls entgegengesetzte Polarität hat. Schichtanschluß mit einer Bezugsspannungsquellc3. Capacitive word-oriented memory under memory cell made of a field effect transistor and Use of field effect transistors, after a capacitor that consists of sinking Claim 2, characterized in that it is connected to the connection of the field effect transistor. Query the word line (24) with a signal that the gate electrode with the word line, the is acted upon, which is the input source connection with the Bitlcitung and the carrier pulse has opposite polarity. Layer connection with a reference voltage source c

4. Kapazitiver wortorientierter Speicher unter verbunden sind und daß die Bitlcitung beim Lese-Verwenduiig von Feldeffekt-Transistoren nach Vorgang als Abfrageleitung dient.4. Capacitive word-oriented memory are connected and that the bit allocation when reading is used of field effect transistors after the process serves as a query line.

Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Damit werden die Vorteile erzielt, daß in inte-Claim 2, characterized in that the advantages are thus achieved that inte-

Qucllenanschluß {59 S) des weiteren Feldeffekt- 35 grierter Schaltungsbauweise der Platzbedarf für die Transistors (50) an eine zusätzliche Lesewort- nur zwei Elemente einer Speicherzelle auf der Träleitung (24 L) und der Senkenanschluß (50 D) gerschicht sehr gering ist und bereits ein größerer desselben Feldeffekt-Transistors an eine zusatz- Speicher als vielen Speicherzellen auf einer einzelnen liehe Bit-Abfrageleitung (26L) angeschlossen Trägerschicht aufgebaut werden und bei sehr hoher sind, denen beim Lesevorgang der Leseimpuls 40 Geschwindigkeit betrieben werden kann. Trotz notzugeführt bzw, der Abfrageimpuls entnommen wendiger Regenerierung des Speicherinhalts wegen wird. abnehmender Kondensatorladung sind Lese-Schreib-Source connection {59 S) of the further field effect 35 grated circuit design the space requirement for the transistor (50) to an additional read word- only two elements of a memory cell on the carrier line (24 L) and the sink connection (50 D) gerschicht is very small and already a larger of the same field effect transistor connected to an additional memory than many memory cells on a single borrowed bit interrogation line (26L) can be constructed and at very high speeds, which can be operated during the reading process of the read pulse 40 speed. Despite the emergency supply or the interrogation pulse is taken because of agile regeneration of the memory content. decreasing capacitor charge are read-write

5. Kapazitiver wortorientierter Speicher unter zyklon im Bereich von 120 ns erreichbar.
Verwendung von Feldeffekt-Transistoren nach Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung dient Anspruch 2, gekennzeichnet durch einen weiteren 45 als Speicherkondensator die Kapazität zwischen Tor-Feldeffekt-Transistor (52), dessen Quellen-, Sen- elektrode und Trägerschicht eines weiteren Feldken- und Trägerschichtanschluß (52 S, SlD und effckt-Transistors, dessen Ouellenanschluß an die 52 W) den entsprechenden Anschlüssen des Feld- Wortleitung, dessen Senkenanschluß an die Bitleitung effekt-Transistors (12) parallel geschaltet sind und dessen Trägerschichtanschluß an die Bezugsund dessen Torelektrode (52 Cf) mit seinem 50 quelle angeschlossen sind.
5. Capacitive word-oriented memory under zyklon achievable in the range of 120 ns.
Use of field effect transistors according to a further development of the invention, claim 2, characterized by a further 45 as a storage capacitor, the capacitance between the gate field effect transistor (52), its source, sense electrode and carrier layer of a further field and carrier layer connection ( 52 S, SlD and effckt transistor, whose source connection is connected to the 52 W) the corresponding connections of the field word line, whose drain connection is connected in parallel to the bit line effect transistor (12) and whose carrier layer connection is connected to the reference and its gate electrode (52 Cf) with his 50 source connected.

Senkenanschluß (52D) verbunden ist. Damit wird erreicht, daß die Speicherzelle nicht-Sink terminal (52D) is connected. This ensures that the memory cell is not

löschend abgefragt werden kann.can be queried for deletion.

Weiterhin wird gemäß einer Weiterbildung derFurthermore, according to a development of the

Erfindung zum Abfragen die Wortleitung mit einemInvention for querying the word line with one

Die Erfindung bezieht sich auf einen kapazitiven 55 Signa! beaufschlagt, welches die dem Einspeicherwortorientierten Speicher unter Verwendung von impuls entgegengesetzte Polarität hat.
Feldeffekt-Transistoren für binär codierte Daten, Damit wird ein Löschen der gespeicherten Infor-
The invention relates to a capacitive 55 Signa! applied which has the storage word-oriented memory using impuls opposite polarity.
Field effect transistors for binary coded data, so that the stored information is deleted

Es sind bereits Speicher mit FeldefTekt-Transisto- mation beim Abfragen vermieden,
ren aus folgenden Veröffentlichungen bekannt: Dann werden gemäß einer Weiterbildung der Er-
There are already memories with field effect transistor avoided when querying,
ren known from the following publications: Then according to a further training of the

1. IBM Technical Disclosure Bulletin VoI 8 6o findung der Quellenanschluß des weiteren Feldeffekt-No. 3, August 1965, Seiten 461 und 462 Transistors an eine zusätzliche Wortleitung und der A. S. Faber »Integrated High-Speed Read- Senkenanschluß desselben Feldeffekt-Transistors an Only Memory with Slow Electronic Write«. eine zusätzliche Bitabfrageleitung angeschlossen,1. IBM Technical Disclosure Bulletin VoI 8 6o finding the source connection of the further field effect no. 3, August 1965, pages 461 and 462 transistors to an additional word line and the AS Faber "Integrated High-Speed Read-Senkenanschluss the same field effect transistor to Only Memory with Slow Electronic Write". an additional bit interrogation line connected,

denen beim Lesevorgang der Leseimpuls zugeführtto which the reading pulse is supplied during the reading process

2. IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 8, 65 bzw. der Abfrageimpuls entnommen wird.2. IBM Technical Disclosure Bulletin, Vol. 8, 65 or the interrogation pulse is taken.

No. 8, Januar 1966, Seiten 1142 und 1143, Damit wird erreicht, daß die bei Anlegen bipolarerNo. January 8, 1966, pages 1142 and 1143, This ensures that the bipolar when applied

P. Pleshko, »Nondestructive Readout Memory Signale auf dieselbe Leitung vorliegenden Kcnsinik-CeH ÜE!S£ MOS Transistors ^:μι f\f An^ iP. Pleshko, "Nondestructive Readout Memory Signals on the Same Line Present Kcnsinik-CeH ÜE! S £ MOS Transistors ^: μι f \ f An ^ i

V* ·/ Ji V * · / Ji ' f ' f

lft"'durch die«« Ausflihrungsforn» die duklrifsehen Para- Priickc zwischen dem Oiiellenberelch und demlft "'by the" "execution form" the clear para- priickc between the Oiielleberelch and the

^Y Äcr der Schaltung weniger kritisch, wodurch so- Senkenbereich normalerweise njchtleiltnrt M un«The circuit is less critical, which means that the sink area does not normally affect M and

^ ^i Ei die FehlermÖBlichkeil im Betrieb auf ein durch Anlegen eines positiven, Signales an dw ι or ^ ^ i Ei the FehlerÖBlichkeil in operation on a by applying a positive signal to dw ι or

ClCIlVr'*"'''' ""' VlIlWfK 1 MlIlVlIbM WllUIVIitWU KIIUiClCIlVr '* "' '' '" "' VlIlWfK 1 MlIlVlIbM WllUIVIitWU KIIUi

Schließlich ist gcrn'ilü der BrOndunji ein weitererFinally, gcrn'ilü the BrOndunji is another

f, se üß verbunden ist, können auch ™*'?^Μ*^^™£»ί f, se üß is connected, can also ™ * '? ^ Μ * ^^ ™ £ »ί

*fi wird erreicht, daß die elektrischen Para- werden, Es können )«" ^gK ·" meter der Schaltung weniger kritisch gemacht wer- nutzt werden, in denen dicBuJt. JWIJ £ welches ein wesentlicher Gesichtspunkt bei der »5 und Senke normalerwe.se leitet ^2SkL de au S;5ung von Speichern in integrierter Schaltung- die Torelektrode gesperrt wird, ^i »doch ditj * '· tcchi il ist, wo eine große Anzahl von aktiven die Schaltung au Steuerawecken gegebenen agnaic unten gleichzeitig auf einer Trägerschicht her- entsprechend gelindert werden nta* fi is achieved that the electrical para-, It can) «" ^ gK · "Meter of the circuit can be made less critical, in which dicBuJt. JWIJ £ which leads an essential point of view in the "5 and sink normally" ^ 2SkL de au S; 5ung of memories in integrated circuit - the gate electrode is blocked, ^ i »but ditj * '· Tcchi il is where a large number of active agnaic the circuit given for control purposes below at the same time on a carrier layer can be alleviated accordingly nta

F . .1 ,,i«n .1.1M '.»iif» inn..rii!.iii iii.p «nriii'.Kfihrii'.hfi- DWi Arbeitsweise des in Mg- 1 gt/ciM1-" ·»»' ' F. .1 ,, i «n .1.1M '.» Iif »inn..rii! .Iii iii.p« nriii'.Kfihrii'.hfi- DWi working method of the in Mg- 1 gt / ciM 1 - "·» » ''

(iben von Informationen in den(iben of information in the

' Pi, Ilriindung wird an Hanu der Zeichnung im dargestellt m™™™^*^'^gestellt durch den ^■„ω,α, Verbindungen in einom ernndunppmU! « fOr ,ede ^^^ί ^1. jcdeP„,„i1;onu,le ..., fc™n«M«»cls cine, SiKicter.clle für db in Spciclia ist wortorgamsjcr ndI «*c** « .'Pi, Ilri connection is shown in Hanu in the drawing in m ™habenerin ^ * ^' ^ by the ^ ■ „ω, α, connections in einom ernndunppmU! «FOr, ede ^^^ ί ^ 1 . j c de P "," i 1; onu, le ..., fc ™ n «M« »cls cine, SiKicter.clle for db in Spciclia is wortorgamsjcr ndI« * c ** «.

Audiiru^beispids' eine, SpeichC™lle fü, die in Spcicl,,, ist -™£·-; %£%£, wäi„endAudiiru ^ beispids' a, Save C ™ lle, which is in Spcicl ,,, - ™ £ · -; % £% £, while "end

PF ig. 4 a, 4 b zwei verschiedene Arten der Signal- 35 .te"^"ggiSeSHrter SebS. Während des anlegung an die Wort- und Bitleitungen des in F. g. auf ehe Α""^^',^,,^^^ wird gezeigten Speichers zur Ausführung von Lese- und zwe.cn r«b un« jeden n jn diesc]be P fig. 4 a, 4 b two different types of signal 35 .te "^" ggiSeSHrter SebS. During the application to the word and bit lines of the in F. g. on before "" ^^ ', ^ ,, ^^^ is shown memory for the execution of read and two cn r «b un« each n jn diesc] be

Schreiboperationen in diesem Speicner und W1n^iAngeschrieben indem über die Biltreiber-Write operations in this memory and W 1n ^ i written by using the bit driver

F i Ά- 5, 6, 7 elektrische Schaltbilder dreier anderer Wortpos.t.on ge^""eoen, inuu BitlcitUngF i Ά- 5, 6, 7 electrical circuit diagrams of three other word positions t.on ge ^ "" eoen, inuu bit l citU ng

AusfüUgsbeispicle von erfindungsgemäß berge- 4o Le,|JJ^gJende ^nf4e a;f erscnicdcnc , stellten Speicherzellen. , "„ufnWn sind in den Fig. 4a und 4b dargestellt.AusfüUgsbeispicle of the invention mountains 4 o Le, | JJ ^ gJende ^ nf4 e a ; f erscnicdcnc , provided memory cells. , "" UfnWn are shown in FIGS. 4a and 4b.

Der in Fig. 1 dargestellte Speicher ist eine An- H^^.^ab sind in diesen Figuren mit einer Ordnung von 3 X 3 - 9 Speicherzellen 10, von denen Dk Abfwgeeyiale^sina lewesentHch grr,ßcren jede aus einem Feldeffekt-Transistor 12 und einem f*^ld"eZ\\t als diese in der Praxis aufKondensator 14 besteht. In diesem Ausfuhrang^ 45 ^phtu^The memory shown in Fig. 1 is an array in these figures with an order of 3 X 3 - 9 memory cells 10, of which Dk Abfwgeeyiale ^ sina le " substantially larger , each derive from a field effect -Transistor 12 and a f * ^ ld "eZ \\ t as this in practice consists of capacitor 14. In this embodiment ^ 45 ^ phtu ^

beispiel sind nur 9 Speicherzellen gezeigt, da djes zur treten. Der Betneb dena^ BesJhreibu der Ar-Darstellung des Erfindungspnnzips genügt, !n der ^J^J^" ^n oberen Teil der in Fig. 1 Praxis lassen sich natürlich weit gröBcr? Anontaiji- ^^^ZtzdL· 10 hervor, gen derartiger Speicherzellen durchführen Jeder ^^"^Pspeicheizelle gespeicherte Informa-Feldeffekt-Transistor 12 in jeder Speicher« le IO ent- 5o Die^n^dieser sgi π * /Μ grc Null, wird For example, only 9 memory cells are shown, as each one has to kick. The Betneb dena ^ Bes J hreibu the Ar representation of Erfindungspnnzips enough! N the ^ J ^ J ^ '^ n upper part in FIG. 1 practice can naturally be far gröBcr? Anontaiji- ^^^ ZtzdL · 10 indicates gen such memory cells perform everyone ^^ "^ Pspeicheizelle stored Informa field effect transistor 12 in each memory" le IO corresponds 5o The ^ n ^ this sgi π * / Μ grc zero,

hält eine Torelektrode 12 G, auf welche Signale zur ^^^^gutvnnoto 30 anliegendenholds a gate electrode 12 G, on which signals to ^^^^ gutvnnoto 30 are present

Steuerung des Stromflusses zwischen einem Quellen- durch' *e an F Einspeichern einer b.na-Control of the current flow between a source by '* e at F storing a b.na-

anschluß 125 und einem Senkenanschluß 12D ge- Spannung angege niedri und der Konden.connection 125 and a drain connection 12D- voltage indicated low and the condensers .

geben werden. Eine weitere Verbindung besteht zur en Nun u*d,ese P ^m nichl ,aden. Be,mwill give. Another connection exists to the en Nun u * d, ese P ^ m nichl , aden . B e, m

Trägerschicht oder dem Plättchen, auf welchem dw 55 sator^14 w rd m Ejns ^ ^ g an Support layer or the plate on which dw 55 sator ^ 14 w rd m Ejns ^ ^ g an

Feldeffekt-Transistoren gebildet werden die bei 12 W EinsPJg?"1 emer hheren iti Field effect transistors are formed in the 12 W EinsPJg? "1 emer h" heren iti

dargestellt sind. Jeder dieser Transistoren ist enmjo- ^^J^l£5eneator 14 wird geladen Somitare shown. Each of these transistors is enmjo- ^^ J ^ l £ 5eneator 14 is thus charged

Herter Feldeffekt-Transistor. Derartige FeIdeffekt- Wert unα ^J j t in der Speicherzelle derHerter field effect transistor. Such field effect value un α ^ J j t in the memory cell of the

Transistoren sind als Metalloxyd-Halbleiter-Tran- is: das'^™nd eine binäre Eins oder eine binareAs metal-oxide-semiconductor-transistors are: the '^ ™ nd a binary one or a binary one

sistoren bekannt. Alle Feldeffekt-Transistoren wer- 60 Konden££«££«peicherZelle abhängig von dersistors known. All field effect transistors advertising 60 condensate ££ "££" he peich Z elle depending on the

den auf einer P-leitenden Tragerschicht oder einem Null.mtaim H gespeichert. Im Ruhc-stored on a P-type carrier layer or a zero .mta in the H. At rest

Plättchen aus Silicium aufgebaut. Die Quellen- und Ladung des ^ B zwischen LcSe- undPlatelets made of silicon. The source and charge of the ^ B between LcS e- and

Senkenbereiche sind N-dotiert und weisen eine |™optationen wird eine im Kondensator 14 gc-Sink areas are N-doped and have a | ™ op tations a in capacitor 14 gc-

■ planare Oberfläche auf. Diese beiden Bereiche sind Schreiboperatw Fe,deffekt-Trans.stor■ planar surface. These two areas are Schreiboperatw Fe , deff ekt-Trans.stor

durch eine Brücke an der Oberfläche des Trager- 65 sc^te Lad™ß .. des Kondcnsators an-through a bridge on the surface of the support 65 s P « c ^ te Lad ™ ß .. of the condenser .

plättchens verbunden, die unmittelbar neben der ^alt^' ^rpeideiiekt-Transistor ist normalerweiseThe platelet connected immediately next to the ^ old ^ '^ r p e i dei iekt transistor is normally

torelektrode UG liegt Die Feldeffekt-Transistoren »'fieser Fddeffe^ ^ ^ ^^ fuf ^gate electrode UG lies The field effect transistors »'fieser Fddeffe ^ ^ ^ ^^ fuf ^

haben Verstärkerwirkung, was besagen soll, daß die gesperri uhave reinforcing effect, which is to say that the gesperri u

Schaltung dar. Somit kann trotz des Vcrlusls über den Senkenanschluß 12 D über den Trägcrschichlkorper zum Trägerschichtanschluß 12 if im Kondensator 14 eine Ladung für eine .Zeit gespeichert werden, die Fang ist im Vergleich zu der für eine Lcsc-Schreiboperation erforderlichen Zeit.Thus, in spite of the loss via the sink connection 12 D via the carrier layer to the carrier layer connection 12 if in the capacitor 14 a charge can be stored for a time, the capture is in comparison to the time required for an Lcsc write operation.

Während einer in der ersten Wortpositiori im Speicher durchgeführten Lese-Schreiboperation wird die entsprechende Wortleitung 24 mit einem positiven impuls erregt, wie in Fig. 4a dargestellt ist. Diese Spannung wird auf die Torelektrode 12 G für jeden Transistor in der ersten Spalte gegeben. Die an die Torelektrode angelegte Spannung führt dazu, daß die Brücke den Quellen- und Senkenbereich im Transistor leitend verbindet. Wenn angenommen wird, daß eine binäre Eins in der betrachteten >. Speicherzelle gespeichert werden soll, so wird der Kondensator 14 aufgeladen und wenn der Feldeffekt-Transistor 12 leitend ist, entlädt sich der Kondensator 14 darüber und gibt ein Signal auf die BH-Icitung26, die mit dem Quellenanschluß 125 des Transistors verbunden ist. Dieses Signal wird über die Leitung 26 auf einen Abfrageverstärkcr für die erste Bitposition gegeben und kann von diesem abgcfühlt und auf andere Teile des Datenverarbeitungsgerales übertragen werden, in welchem der Speicher verwendet wird. Wenn das Wortleitungssignal auf die Leitung 24 gegeben wird und eine binäre Null in der Speicherzelle gespeichert wird, hat der Kondensator 14 keine oder nur eine geringe Ladung und die Speiclicranode 30 hat niedriges Potential. Dann wird kein Signal über den leitenden Feldeffekt-Transistor 12 auf die Bitlcitung gegeben, welches eine binäre Null in der Speicherzelle anzeigt. Beim Lesen sind nur Speicherzellen des gewählten Wortes mit der Bitleitung verbunden und die Wortleitung der anderen Speicherzellen sind stromlos und können also weder einen Strom auf die Woriieiiung geben noch ihn von dieser abnehmen.During a read-write operation carried out in the first word position in the memory, the corresponding word line 24 is excited with a positive pulse, as shown in FIG. 4a. This voltage is applied to the gate electrode 12 G for each transistor in the first column. The voltage applied to the gate electrode causes the bridge to conductively connect the source and drain areas in the transistor. If it is assumed that a binary one in the considered >. If the memory cell is to be stored, the capacitor 14 is charged and when the field effect transistor 12 is conductive, the capacitor 14 discharges through it and sends a signal to the BH-Icitung26, which is connected to the source terminal 125 of the transistor. This signal is sent via line 26 to an interrogation amplifier for the first bit position and can be sensed by this and transmitted to other parts of the data processing device in which the memory is used. If the word line signal is applied to the line 24 and a binary zero is stored in the memory cell, the capacitor 14 has little or no charge and the memory cranode 30 has a low potential. Then no signal is given via the conductive field effect transistor 12 on the bit line, which indicates a binary zero in the memory cell. During reading, only memory cells of the selected word are connected to the bit line and the word lines of the other memory cells are de-energized and can therefore neither apply a current to the word nor take it from it.

Nachdem der erste Teil des Lese-Schreibzyklus beendet ist, wird eine neue Information in die Speicherzellen der ersten Spalte geschrieben, indem entsprechende Signale auf die Bitleitungen 26 unier Steuerung der im Block 22 dargestellten Bittrcibcr gegeben werden. Die auf die Bitleitungen 26 gegebenen Signale können dieselbe Information darstellen, die ursprünglich in öl' ersten Spalte des Speichers gespeichert war, es kann «tdoch auch eine neue Information eingeschrieben werden. Die Arbeitsweise der Abfrageverstärker und die Bitleitungs-Trcibc-r beim Anleger! von Informafionssignalen an die Billeitung 26 ist dieselbe wie bei herkömmlichen Speichern und wird deshalb nicht genauer beschrieben. Wenn eine binare Hins während des zweiten Teils des Lesc-Schreibzyklus geschrieben werden soll, wird ein positives Signal auf die entsprechende Bitleitung 26 gegeben. Wenn eine binäre Null geschrieben werden soli, bleibt die Biticitung 26 im wesentlichen auf Ne/Hpolenlial. Während des zweiten Teils der Lcse-Sdirciboperalion wird die Spannung der Schrciblcifung aufrechterhalten, wie in Fig. 4a dargestellt, und i\cr Feldeffekt-Transistor 12 bleibt zwischen Oiicllc und Senke leitend. Somit lädt das auf die Bitlcilung 26 gegebene Signal den Kondensator 14 entweder auf Nullpotcnlial oder auf die höhere positive Spannung, wodurch einsprechend der auf die Bhltiiiinu 26 gegebenen Spannung eine binäre Hins darj!eMi-lil wird. Das Schrcibsignal auf der Woriieiiung 24 wird solange aufrechterhalten, bis der Kondensator 14 ganz geladen ist. Zu diesem Zeiipunkt fällt die Spannung auf der Wortleitung ab und dadurch wird das Signal von der Torelektrode 12(7 genommen. Der Feldeffekt-Transistor 12 schaltet dann ab und stellt jetzt eine hohe Impedanz im Ladckrcis dar. Nach dem Wortleilungssignal endet auch das Bitleitungssignal und so wird sichergestellt, daß der Kondensator 14 ungefähr auf die Spannung aufgeladen wird, die an der Bitlcitung zu dem Zeitpunkt lag, als der Feldeffekt-Transistor 12 sperrte.After the first part of the read-write cycle has ended, new information is written into the memory cells in the first column by applying appropriate signals to the bit lines 26 under control of the bit drive shown in block 22. The signals given to the bit lines 26 can represent the same information that was originally stored in the first column of the memory, but new information can also be written. The operation of the interrogation amplifier and the bit line Trcibc-r at the investor! of information signals to the image line 26 is the same as in conventional memories and is therefore not described in detail. If a binary Hins is to be written during the second part of the read / write cycle, a positive signal is given on the corresponding bit line 26. When a binary zero is to be written, the bit specification 26 remains essentially Ne / Hpolenlial. During the second part of the Lcse-Sdirciboperalion maintaining the voltage of the Schrciblcifung, as shown in Fig. 4a, and i \ cr field effect transistor 12 remains conductive between Oiicllc and sink. Thus, the signal given to the bit line 26 charges the capacitor 14 either to zero potential or to the higher positive voltage, whereby the voltage given to the line line 26 becomes a binary aspect. The writing signal on the word 24 is maintained until the capacitor 14 is fully charged. At this point the voltage on the word line drops and this takes the signal from the gate electrode 12 (7. The field effect transistor 12 then switches off and now represents a high impedance in the charging circuit. After the word line signal, the bit line signal also ends and so on it is ensured that the capacitor 14 is charged approximately to the voltage that was on the bit line at the time when the field effect transistor 12 blocked.

Nach Abschluß des zweiten Teils des Lesc-Schreibzyklus ist somit eine binäre Null oder Hins in jeden Kondensator 14 der ersten Speicherspaltc eingespeichert und die Spannung an den Speicheranoden 30 zeigt an, ob eine binäre Eins oder Null in der Speicherzeile gespeichert ist.After completing the second part of the read-write cycle is thus a binary zero or Hins in each capacitor 14 stored in the first storage gap and the voltage at the storage anodes 30 indicates whether a binary one or zero is stored in the memory line.

Ein in F i g. 4 b wiedergegebenes anderes Lcse-Schreibschcma unterscheidet sich von dem in Fi g. 4 a dargestellten insofern, als die Spannung der Bitleitung normalerweise auf einem positiven Wert gehalten wird und ein negativer Impuls auf die Bitleitung gegeben wird, um die Spannung auf Null zu reduzieren, wenn eine binäre Null in eine durch diese Bitlcitung gesteuerte Speicherzelle geschrieben werden soll. Wenn in der Praxis Impulse der in F i g. 4 b gezeigten Art verwendet werden, zeigt ein bei der Entladung des Kondensators 14 während des Auslesens abgegebenes großes Signal eine binäre Null an, und ein kleines Signal eine binäre Eins. Während des Schreibteils eines Ixse-Schrcibzyklus wird kein Signal oberhalb der Bezugsspannung der Bitleitung zum Schreiben einer binären Eins ppgeben, sondern nur ein negatives Signal zum Schreiben einer binären Null.One shown in FIG. The other Lcse notation shown in FIG. 4b differs from that in FIG. 4 a, insofar as the voltage of the bit line is normally kept at a positive value and a negative pulse is given to the bit line in order to reduce the voltage to zero when a binary zero is to be written into a memory cell controlled by this bit line. If in practice the impulses shown in FIG. 4b are used, a large signal emitted when the capacitor 14 is discharged during readout indicates a binary zero, and a small signal indicates a binary one. During the write part of an Ixse write cycle, there is no signal above the reference voltage of the bit line for writing a binary one, but only a negative signal for writing a binary zero.

In der in Fig. 1 dargestellten Scaalfung benötigt jede Speicherzelle nur einen Feldeffekt-Transistor und einen Kondensator. Da die gesamte Schaltung bei Benutzung der bekannten integrierten SchaJfungsiechnik auf einer einzigen Trägerschicht hergestellt werden kann, benötigt jede Speicherzelle nur einen sehr kleinen Bereich der Trägerschicht, wodurch sich eine hohe Packungsdichte erreichen läßt. Der Speicher selbst ist ein destruktiver Speicher, dasIn the scaling shown in FIG. 1, each memory cell only requires one field effect transistor and one capacitor. Since the entire circuit can be produced on a single carrier layer when using the known integrated technology, each memory cell requires only a very small area of the carrier layer, whereby a high packing density can be achieved. The memory itself is destructive memory that

heißt, bei jedem Auslesen wird die ausgclesene Information gelöscht und muß neu geschrieben werden, wenn sie im Speicher stehenbleiben soll. Außerdem muß die gespeicherte Information periodisch regeneriert werden, da sie durch die Ladung des Kondcn-This means that the information is read out every time it is read out deleted and must be rewritten if it is to remain in memory. Besides that the stored information must be regenerated periodically, as it is due to the charge of the condenser

So sators 14 gespeichert wird und diese Art der Speicherung nicht permanent ist. Für die Regenerierung gibt es verschiedene Möglichkeiten. So kann bei jedem zehnten Zyklus eine Wortposition im Speicher regeneriert werden, während die anderen Zyklen für So sators 14 is stored and this type of storage is not permanent. There are various options for regeneration. In this way, a word position in the memory can be regenerated every tenth cycle, while the other cycles for

normale Speicheroperationen benutzt werden. In einem solchen Fall durchläuft der Regencralionszyklus der Reihe nach alle Wortpositionen. Die Regenerierung kann außerdem durch periodisches Auslesen und Neuschreiben aller Wortpositionen er-normal memory operations can be used. In such a case the Regencralions cycle goes through all word positions one after the other. The regeneration can also be carried out periodically Reading out and rewriting of all word positions

folgen. Die Rcgcncrationsfrcqucnz hängt in großem Maße von der Größe des Kondensators 14 und den für die Entladung des Kondensators verantwortlichen Kricchslrccken ab, wenn der Feldeffekt-Transistor 12 sperrt. Die Ableitung erfolgt vorwiegend über eineFollow. The return frequency depends to a large extent on the size of the capacitor 14 and the for the discharge of the capacitor responsible crawling back when the field effect transistor 12 locks. The derivation takes place mainly via a

rückwärts vorgespannte Halblcitcrvcrbindung und isl als solche sehr von der Temperatur an der Verbindungsstelle abhängig. Betriebstemperaturen von clwa 100" C sind möglich, bei niedrigeren Temperaturenbackwardly biased half-bond and, as such, is very dependent on the temperature at the point of connection dependent. Operating temperatures of clwa 100 "C are possible at lower temperatures

1774 432 (q 1774 432 (q

7 87 8

lassen sich jedoch wesentlich größere Speicherzeiten Fläche 38 gebildet, die sowohl den Senkenanschluß erreichen. Da der Stromverlust in der Speicherzelle 12D des Feldeffekt-Transistors 12 als auch den Belag im statischen Zustand der Größenordnung von Nano- 14 C des Kondensators 14 enthält. In der in F i g. 3 watt oder noch weniger liegt, läßt sich der Speicher gezeichneten Ausführung, in der dieselben Bezugsauf einer niedrigeren Temperatur halten. 5 zeichen soweit wie möglich verwendet werden, läuftHowever, significantly longer storage times can be formed area 38 which both reach the drain connection. Since the current loss in the memory cell 12D of the field effect transistor 12 and includes the coating in the static state of the order of 14 nano-C of the capacitor fourteenth In the in F i g. 3 watts or even less, the memory can be kept in the version shown, in which the same reference at a lower temperature. 5 characters are used as far as possible

Der gesamte Speicher der Fig. 1 kann als inte- der Senkenanschluß 12D nicht durch und bildet keigrierte Schaltung auf einer eamgen Silicium-Träger- ncn Belag des Kondensators 14, sondern es wird eineThe entire memory of FIG. 1 can not pass through as an internal sink connection 12 D and forms a networked circuit on a large silicon carrier ncn coating of the capacitor 14, but it becomes a

schicht hergestellt werden. Ein günstiges Ausfüh- metallisierte Verbindung zum Senkenanschluß 12 D rungsbeispiel einer Speicherzelle ist in den Vig. 2 bei 42 hergestellt, die mit dem oberen Belag 14Λ deslayer can be produced. A favorable embodiment, metallized connection to the drain connection 12 D approximately example of a memory cell is in the Vig. 2 manufactured at 42, which is connected to the upper lining 14Λ of the

und 2 a gezeigt. Die mit 32 bezeichnete Trägerschicht to Kondensators 14 verbunden ist. Wie vorher trenntand 2a. The carrier layer designated by 32 is connected to the capacitor 14. As before separates

ist an der ganzen Oberfläche mit einer dicken Schicht eine dünne Oxydschicht 14 B den Belag 14 4 vonis on the entire surface with a thick layer of a thin oxide layer 14 B the covering 14 4 of

Siliciumdioxyd 34 bedeckt, ausgenommen die Stellen einem diffundierten N+-leitenden Belag 14 C, derSilicon dioxide 34 covers, with the exception of the locations of a diffused N + -conducting coating 14 C, which

auf der Trägerschicht, an denen Anschlüsse herzu- den anderen Belag des Kondensators 14 bildet. Dieon the carrier layer on which connections to the other covering of the capacitor 14 are formed. the

stellen oder Einzelteile aufzubauen sind. Die Träger- Erdverbindung für den Kondensator 14 erfolgt durchplaces or individual parts are to be assembled. The carrier-to- ground connection for the capacitor 14 is made through

schicht 32 ist P-dotiert und der Quellen- und Senken- 15 einen metallisierten Leiter 44, der den diffundiertenlayer 32 is P-doped and the source and drain 15 a metallized conductor 44, the diffused

bereich für die Speicherzelle (12 D und 12S) wird Belag 14 C berührt.area for the storage cell (12 D and 12 S) , lining 14 C is touched.

durch Diffusion von N-Ieitenden Störstellen über die Bei den in den Fig. 2, 2a und 3 gezeigten AusOberfläche der Trägerschicht gebildet, so daß sich führungsbeispielen ist der Kondensator 14 so kon-2wei stark mit N-Störstellen dotierte N+-Bereiche struicrt, daß eine Reihenschaltung des Kondensators bilden. Die beiden N+-Bereiche, die als Quelle «o mit der Kapazität vermieden wird, die normalerweise und Senke dienen, sind durch eine Brücke an der an der rückwärts vorgespannten Verbindung einer Oberfläche der Trägerschicht miteinander verbunden. Feldcffekf-Einrichtung vorhanden ist. Die weiteren Die in Fig. 2 dargestellte Wortleitung24 verläuft Verbindungen sind direkt mit beiden Anschlüssen des horizontal und nicht vertikal wie bei der Darstellung Kondensators gemacht und nicht üoer die SiliciuminFig. 1 und von dieser in Aluminium auf der Ober- *5 Trägerschicht 32. Der Anschluß für den Kondenfiäche der Trägerschicht niedergeschlagenen Wort- sator, der einen Teil der Silicium-Trägcrschicht ist, leitung erstreckt sich ein Vorsprung über den Be- ist stark N-dotiert. Diese Art der Konstruktion soll reich, der den Quellcnanschluß 12S und den Sen- sicherstellen, daß alle zwangläufig in der Schaltung kcnanschluß i2D trennt und die Torelektrode 12G vorhandenen kleineren Kapazitäten nicht in Reihe mit bildet. Die Torelektrode 12 G ist durch eine relativ 30 dem Kondensator 14 liegen und daher nicht den dünne Oxydschicht 36 von den Oberflächen des Aufbau einer großen Ladung dieses Kondensators Plättchen:; getrennt. begrenzen. Dia.e Struktur erwies sich ab vorteilhaftformed by diffusion of N-conductive impurities over the surface of the carrier layer shown in FIGS. 2, 2a and 3, so that the capacitor 14 is structured in such a way that form a series connection of the capacitor. The two N + regions, which are avoided as the source «o with the capacitance, which are normally used and the sink, are connected to one another by a bridge at the backwardly prestressed connection of a surface of the carrier layer. Feldcffekf facility is available. The further connections shown in FIG. 2 are made directly to both connections of the capacitor horizontally and not vertically as in the illustration, and not over the silicon figure. 1 and from this in aluminum on the upper carrier layer 32. The connection for the condenser surface of the carrier layer, which is a part of the silicon carrier layer, a projection extends over the conduction is heavily N-doped . This type of construction is to rich, and the secure the Quellcnanschluß 12S and the transmitter, that all positively separated into the circuit kcnanschluß I2D and the gate electrode 12 does not form G existing smaller capacity in series with. The gate electrode 12 G is located by a relatively 30 to the capacitor 14 and therefore does not have the thin oxide layer 36 from the surfaces of the build-up of a large charge of this capacitor platelet :; separated. limit. Dia.e structure turned out to be advantageous

Der Quellenanschluß 125 ist in Wirklichkeit ein gcgcgcnüber denen, in welchen 7. B. der Kondcn-The source connection 125 is actually a counterpart to those in which 7. B. the condenser

Tcil einer vertikal verlaufenden Fläche, wie in Fig. 2 sator direkt zwischen einem Aluminiumanschluß undPart of a vertically extending surface, as in Fig. 2 sator directly between an aluminum connection and

zu sehen ist, die sowohl die Quelle für jeden Feld- 35 der P-doticrten Trägerschicht mit einer dünrcnit can be seen that both the source for each field 35 of the p-dotted carrier layer with a thin

effckt-Transistor in einer Reihe als auch die Bit- Oxyd-Zwischenschicht gebildet wird. Bc! diesereffckt transistor is formed in a row as well as the bit-oxide intermediate layer. Bc! this

leitung 26 für diese Reihe im Speicher bildet. Der Konsiruktionsart erschwert die normale Sperrschichtline 26 forms for this row in the memory. The type of construction complicates the normal barrier layer

Senkenanschluß 12 D ist ein Teil einer größeren an der Oberfläche der P-dotierten Trägerschicht denDrain connection 12 D is part of a larger on the surface of the P-doped carrier layer

Fläche mit der allgemeinen Bezeichnung 38 in den Aufbau einer großen Ladung des Kondensators, dieArea with the general designation 38 in the build-up of a large charge of the capacitor that

Fig. 2 und 2a. Diese Fläche schließt einen anderen 4° nicht schnell abfließt.Figures 2 and 2a. This area closes another 4 ° does not drain quickly.

rechtwinkligen Abschnitt gemäß Fig. 2 ein, der mit Drei weitere Ausführungsbcispiele der Erfindung 14C bezeichnet ist und einer! der Beläge des Kon- sind in den Fig. 5, 6, und 7 dargestellt. Jedes dieser dcnsafors 14 bildet. Unmittelbar über dem durch Beispiele unterscheidet sich von dem in F ί g. 7 geDiffusion gebildeten Belag 14 C befindet sich eine ycigten Beispiel hauptsächlich dadurch, daß die dünne Oxydschicht i4B, die das Dielektrikum des 45 Kapazität, die zum Speichern der Information in Kondensators bildet. Der zweite Belag 14 Λ ist das jeder Speicherzelle aufgeladen wird, die Kapazität niedergeschlagene Aluminium. Dieser obere Belag zwischen Tor- und Trägerschicht eines anderen 14 A ist mit dem metallisierten Leiter 14 D auf der Fddcffckt-Transistors ist. Die in diesen Figuren dar-Obcrfläche der Trägerschicht verbunden. Dieser Lei- gestellten Ausfülirungsbeispiclc sind insofern von ter ist außerdem an die entsprechenden Anschlüsse 50 Vorteil, als integrierte Speicherzellen hergestellt werdcr anderen Kondensatoren 14 im Speicher angc- den, die ein Minimum an Einzelheiten erfordern und schlossen und endet am Erdanschluß gemäß der Dar- nichllöschcnd abgefragt werden können. Trotzdem ist .stellung in Fig. 1. Die Trägerschicht selbst ist über die Kapazität des als Spcichcrmcdium verwendeten eine Bczugsspannungsqucllc 40 mit Erde verbunden. Fcldcffekt-Transistors in jeder dieser Ausführungen Die ganze Trägerschicht, auf der der Speicher gebildet 55 normalerweise nicht so groß wie die Kapazität des wird, sollte an eine Bezugsspannung angeschlossen einzelnen in Fig, 1 dargestellten Kondensators, noch sein.' Wo eine P-doticrtc Trägerschicht verwendet hält sie die Ladung für cine solch lange Zeit. Die wird, wie in diesem Falle, legt man zu diesem Zweck Kapazität des Fcldcffekt-Transistors kann natürlich üblicherweise eine negative Vorspannung an. Bei durch Vergrößerung der Abmessungen des Tor-Verwendung einer N-dotierlen Trägerschicht kann 6° clektrodcn-Bcreichs gesteigert werden, In jedem der diese direkt an Erde angeschlossen werden. in Fig. 6, 5 und 7 gezeigten Ausfülirungsbeispiclcright-angled section according to FIG. 2, which is designated with three further exemplary embodiments of the invention 14 C and one! the linings of the con are shown in FIGS. Each of these dcnsafors 14 forms. Immediately above that by examples differs from that in F ί g. 7 geDiffusion formed coating 14 C is a ycierter example mainly in that the thin oxide layer i4B, which forms the dielectric of the 45 capacitance, which is used to store the information in the capacitor. The second coating 14 Λ is that each storage cell is charged, the capacity of deposited aluminum. This top layer between the gate and support layer of another 14 A is connected to the metallized conductor 14 D on the Fddcffckt transistor. The surface of the carrier layer in these figures is connected. This exemplary embodiment is also advantageous to the corresponding connections 50, as integrated memory cells are produced in the memory with other capacitors 14 which require a minimum of details and are connected and ended at the ground connection in accordance with the query can be. Nevertheless, the position in FIG. 1. The carrier layer itself is connected to earth via the capacitance of a reference voltage source 40 used as a storage medium. Fcldcffekt-Transistor in each of these designs. The entire carrier layer on which the memory is formed 55 normally not as large as the capacitance of the individual capacitor shown in Fig. 1 should be connected to a reference voltage. Where a P-doticrtc backing is used it will hold the charge for such a long time. As in this case, the capacitance of the Fcldcffekt transistor is applied for this purpose can of course usually a negative bias voltage. By increasing the dimensions of the gate using an N-doped carrier layer, 6 ° clektrodcn areas can be increased, in each of which these can be connected directly to earth. Ausfülirungsbeispiclc shown in Fig. 6, 5 and 7

Ein anderes Ausführungsbeispiel einer integrierten , ist nur die Struktur für eine Speicherzelle dargestellt,Another embodiment of an integrated, only the structure for one memory cell is shown,

Spcichcrzcllcnstruküir ist in der Schnittansicht der die ja ein Teil eines größeren in Fig. 1 dargestelltenThe storage structure is shown in the sectional view of the yes part of a larger one in FIG

Fig. 3 dargestellt. Diese Struktur unterscheidet sich Speichers bildet. Da viele Leitungen und EinzelteileFig. 3 shown. This structure is different from memory forms. As a lot of cables and individual parts

von dem Ausführungsbcispicl der Fig. 2 und 2a in 65 in allen Ausführungsbcispiclcn hier dieselben Funk-of the embodiment of FIGS. 2 and 2a in 65 in all embodiments here the same functions

dcr Art des Scjikcnanschlusscs 12 D an den Kondcn- tionen übernehmen und dieselbe Struktur haben, cnt-take over the type of connector 12 D on the condc- tions and have the same structure, cnt-

satorl4 Bei der in Fig. 2 gezeigten Ausführung sprechen die Bezugsnummern der Fig. 5. 6 und 7satorl4 In the embodiment shown in FIG. 2, the reference numbers in FIGS. 5, 6 and 7 speak

wird diese Verbindung durch die kontinuierliche soweit wie möglich den in F i g. 1 Verwendeten.this connection is carried out as far as possible by the continuous process shown in FIG. 1 used.

Die in F i g. 5 gezeigte Speicherzelle erfordert nur andere Amplitude hat. Das auf die Torelektrode 12GT J • zwei Feldeffekt-Transistoren, von denen der eine der gegebene negative Lesesignal hat die falsche Polarij-j| Eingangstransistor (Feldeffekt-Transistor 12) und der tat, um den Feldeffekt-Transistor 12 leitend züij andere der Ausgangstransistor (Feldeffekt-Transistor machen und hat somit keinen Einfluß auf den Feld- ^ 50) ist. Die Torelektrode 12 G des Eingangstransistors S effekt-Transistor, löscht also infolgedessen auch nicHt:*| ist mit der entsprechenden Wofiici'mg 24 verbunden, die zn der Speicheranode 3· gespeicherte Infonaar ^ sein Quellcnanschluß 125 mit der entsprechenden tion. Das auf den mit der Wortleitung verbundenen f Bitleitung. Der Senkenanschluß 12 D des Feldeffekt- Quellenanschluß 50 5 gegebene negative Signal er- φ, Transistors 12 ist an die Torelektrode 50 G des Feld- möglicht jedoch eine Leitung über den Feldeffefit-^|| Affekt-Transistors 50 angeschlossen, dessen Quellen- io Transistor 50, wenn zu dieser Zeit eine binäre Eins ^ §§ [anschluß 505 mit der Wortleitung 24 und dessen an der Speichcranode 30 gespeichert ist und daher | ψ Senkenanschluß 50 D mit der Bitleitung verbunden eine positive Spannung an der Torelektrode Si G ii ist. liegt. Das Signal auf der Wortleitung läuft dann über | ψ Wenn eine binäre Eins in die Speicherzelle ge- den Feldeffekt-Transistor 50 auf die Bitabfragelcitung f Ü schrieben werden soll, wird darstellungsgemäß eine 15 und zeigt an, daß eine Eins in der Speicherzelle ge- \ ji, positive Spannung auf die Wortleitung 24 gegeben. speichert ist. Wenn eine Null gespeichert ist, ist die <$ H Diese Spannung wird sowohl auf die Torelektrode Torelektrode 50 G in bezug auf den Quellenanschluß f? W 12 G des Feldeffekt-Transistors 12 als auch auf den 505 nicht ausreichend genug positiv, um den Feld- ·ύ M Quellenanschluß 505 des Feldeffekt-Transistors 50 effekt-Transistor 50 leitend zu machen, und es wird ψ feg gegeben. Wenn eine binäre Eins in die Speicherzelle ao kein Impuls auf der Bitleitung 26 erzeugt. Um einen ^| 1J geschrieben werden soll, wird ein positiver Impuls optimalen Betrieb der in F i g. 5 dargestellten Spei- |ξ S auf die Bitleitung 26 gegeben und wenn eine binäre chcrzelle zu erreichen, sollte die Schwellenspannung I* r " Null geschrieben werden soll, wird diese Leitung des Feldeffekt-Transistors 50 in der Größe mit der > darstellungsgemäß auf Nullpotential gehalten. An- im Einerzustand an der Speicheranode 30 liegenden ^ genommen, eine binäre Eins soll geschrieben werden 35 Spannung und mit dem Leseimpuls auf der Wort- ";,, und wenn infolgedessen ein positives Signal auf die leitung vergleichbar sein. B<;i einer solchen Konstruk- * Bitleitung 26 gegeben wird, so gelangt dieses Signal tiou ist der Feldeffekt-Transistor 50 nur leitend, an den Quellenanschluß 12 5 des Feldeffekt-Transi- wenn der Leseimpuls auf der Wortleitung angelegt siors 12 und den Senkenanschluß 50 D des Feld- wird und die Einerspannung an der Speicheranode effekt-Transistors 50. Zu diesem Zeitpunkt macht 30 30 liegt. Andernfalls könnten Speicherzellen, die das positive Signal auf der Wortleilung 24 den Feld- nicht ausgelesen werden, die Bitleitung »abladen« effekt-Transistor 12 leitend, so daß das Signal auf der und einen Teil des Abfragesignals während der Lese-Bitleitung 26 über diesen Feldeffekt-Transistor auf operation ableiten. Die Trägerschichtanschlüsse 12 W die Torelektrode 5OG des Feldeffekt-Transistors 50 und 50 W, die mit der Trägerschicht verbunden sind, gegeben wird. Da zu diesem Zeitpunkt der Quellen- 35 auf der der Feldeffekt-Transistor gebildet wird, sollanschluß 50 5 die hohe positive Spannung der Wort- ten ebenfalls so negativ vorgespannt werden, wie der leitung 24 hat und der Senkenanschluß 50 D die auf die Wortleitung 24 gegebene Leseimpuls ist. Dapositive Spannung der Bitleitung, macht das über den durch wird verhindert, daß beim Auslesen die Ver-Feldeffekt-Transistor 12 auf die Torelektrode 50 G bindungen im Feldeffekt-Transistor 50 vorwärts vordes Feldeffekt-Transistors 50 übertragene Signal die- 40 gespannt werden.The in F i g. 5 only requires a different amplitude. The on the gate electrode 12GT J • two field effect transistors, one of which the given negative read signal has the wrong Polarij-j | Input transistor (field effect transistor 12) and the fact to make the field effect transistor 12 conductive züij other the output transistor (field effect transistor and thus has no effect on the field ^ 50). The gate electrode 12 G of the input transistor S effect transistor, so consequently does not delete: * | is connected to the corresponding function 24, the information stored in the memory anode 3 is its source connection 125 with the corresponding function. The one on the f bit line connected to the word line. The sink connection 12 D of the field effect source connection 50 5 given negative signal er φ, transistor 12 is to the gate electrode 50 G of the field possible but a line via the field effect ^ || Affect transistor 50 connected, the source io transistor 50, if at this time a binary one ^ §§ [connection 505 with the word line 24 and its stored on the memory cranode 30 and therefore | ψ Sink terminal 50 D connected to the bit line is a positive voltage at the gate electrode Si G ii . located. The signal on the word line then overflows | ψ If a binary one in the memory cell overall the field effect transistor 50 to the Bitabfragelcitung f Ü is to be written, is illustration in accordance with a 15 and indicates that a one in the memory cell overall \ ji, positive voltage applied to the word line 24 . stores is. If a zero is stored, the <$ H This voltage is applied to both the gate electrode gate electrode 50 G with respect to the source connection f ? W 12 G of the field effect transistor 12 as well as on the 505 not sufficiently positive to make the field · ύ M source terminal 505 of the field effect transistor 50 effect transistor 50, and it is given ψ feg. When a binary one in memory cell ao does not generate a pulse on bit line 26. To get a ^ | 1 J is to be written, a positive pulse will optimal operation of the one shown in FIG. 5 is given to the bit line 26 and when a binary chcr cell is to be achieved, the threshold voltage I * r "should be written to zero, this line of the field effect transistor 50 is kept in the size with the> as shown at zero potential A binary one is to be written on the memory anode 30 in the one state. 35 Voltage and with the read pulse on the word ";" and if as a result a positive signal on the line should be comparable. B <i such a constructive * bit line 26 is added, so passes this signal Tiou is the field effect transistor 50 conductive only of the field effect transis- when the read pulse is applied to the source terminal 12 5 on the word line siors 12 and the sink terminal 50 D of the field is and the voltage at the storage anode effect transistor 50. At this point, 30 makes 30 is. Otherwise, memory cells that do not read the positive signal on word line 24 of the field could make the bit line "discharge" effect transistor 12 conductive, so that the signal on and part of the interrogation signal during read bit line 26 has this field effect - Derive transistor on operation. The carrier layer connections 12 W, the gate electrode 5OG of the field effect transistor 50 and 50 W, which are connected to the carrier layer, is given. Since the source 35 on which the field effect transistor is formed at this point in time, the high positive voltage of the words should also be biased as negatively as the line 24 has and the sink connection 50 D is biased on the word line 24 Reading pulse is. Dapositive voltage of the bit line, which prevents the ver field effect transistor 12 on the gate electrode 50 G connections in the field effect transistor 50 forward before the field effect transistor 50 from being tensioned during reading.

sen nicht leitend. Um diesen NPN-Transistor leitend Das in Fig. 6 gezeigte Ausführungsbeispie! un!erzu machen, muß die Torspannung positiver sein als scheidet sich von dem in Fig. 5 gezeigten nur durch die Quellenspannung, und zwar um einen Betrag, einen dritten zusätzlichen in die Schaltung eingebauder gleich der Schwellenspannung des Feldeffekt- ten Feldeffekt-Transistor 52, dessen Torelektrode Transistors ist. Wenn der Feldeffekt-Transistor 12 45 52 G und dessen Senkenanschluß 32 D beide direkt leitet, lädt sich jedoch die Torkapazität des Feld- mit der Speicheranode 30 verbunden sind, tieren effekt-Transistors 50 über den Feldeffekt-Transistor Spannung anzeigt, ob eine Eins oder eine Null in • 2 bis zum Spannungswert der Bitleitung 26 auf. Der der Speicherzelle gespeichert ist. Der Quellen-Wortimpuls auf der Wortleitung ist vor dem Bit- anschluß 525 des Feldeffekt-Transistors 52, der |eitungsimpu*s beendet, so daß die Ladung im Feld- 50 sicherstellen soll, daß die Spannung an der Speicher- ; effekt-Transistor 50 gespeichert wird. Wenn während anode 30 nicht zu hoch wird, ist mit der Bitleitung 26 einer Schreiboperation eine Null geschrieben werden verbunden. Wenn die Spannung an der Speicher- j soll und die Bitleitung 26 auf Nullpotential gehalten anode 30 einen vorgegebenen Wert übersteigt, ge- I wird, wird natürlich keine Ladung an der Torelek- langt diese auf die Torelektrode 52 G, wodurch der I trode 50 G des Feldeffekt-Transistors 50 gespeichert. 55 Feldeffekt-Transistor leitet, bis die Spannung an der ?sen not conductive. In order to conduct this NPN transistor The embodiment shown in Fig. 6! To do this, the gate voltage must be more positive than it differs from the one shown in FIG. whose gate electrode is a transistor. If the field effect transistor 12 45 52 G and its sink terminal 32 D both conducts directly, but the gate capacitance of the field is connected to the storage anode 30, animal effect transistor 50 via the field effect transistor indicates voltage, whether a one or a zero in • 2 up to the voltage value of the bit line 26. Which is stored in the memory cell. The source word pulse on the word line is terminated before the bit connection 525 of the field effect transistor 52, the line pulse, so that the charge in the field 50 should ensure that the voltage at the memory ; Effect transistor 50 is stored. If during anode 30 does not get too high, a zero is connected to bit line 26 of a write operation. If the voltage at the memory j should and the bit line 26 is held at zero potential anode 30 exceeds a predetermined value, no charge will of course be applied to the gate electrode 52 G, whereby the I electrode 50 G of the field effect transistor 50 is stored. 55 Field effect transistor conducts until the voltage at the?

Der Informationsgehalt der in F i g. 5 dargestellten Speicheranode 30 auf den entsprechenden Wert ab-The information content of the in F i g. 5 shown storage anode 30 to the corresponding value

Speicherzclle wird durch die Spannung an der Spei- gefallen ist. Der zusätzliche Einbau des Feldeffekt- .Storage cell is caused by the voltage on the storage unit. The additional installation of the field effect.

cheranode 30 wiedergegeben. Die Spannung an die- Transistors 52 in die Schaltung macht deren elek- i cheranode 30 reproduced. The voltage on the transistor 52 in the circuit makes its elec- i

scm Punkt ist hoch, wenn eine Ladung in der Kapa- irische Parameter weniger kritisch, was natürlich ein jscm point is high when a charge is less critical in the capa- ric parameter, which of course is a j

zität des Feldeffekt-Transistors 50 gespeichert ist, 60 wichtige! Gesichtspunkt bei der Herstellung von % city of the field effect transistor 50 is stored, 60 important! Point of view in the production of %

welches eine binäre Eins anzeigt. Die Spannung an Speichern in integrierter Schaltung ist, wo eine großewhich indicates a binary one. The voltage across memories in integrated circuit where is a big one

der Speicheranode 30 liegt ungefähr bei Erdpoten- Anzahl von aktiven Elementen gleichzeitig auf einer '?the storage anode 30 is approximately at earth potential number of active elements at the same time on one '?

tial, wenn eine Null gespeichert ist. Die gespeicherte Trägerschicht hergestellt werden und alle innerhalbtial if a zero is stored. The stored carrier layer can be made and all within

Information wird ausgelesen, indem man die Span- der Konstruktionsparameter der Schaltung arbeitenInformation is read out by working the circuit's design parameters

nung auf der Bitleitung ungefähr bei Nullpotential 65 müssen, wenn das Tableau verwendet werden soll,voltage on the bit line at around zero potential 65 if the panel is to be used,

g g g p , as Tableau verwendet werden soll,g g g p, as Tableau is to be used,

hält und auf die Wortleitung 24 ein negatives Signal ohne daß Reservezellen angeschlossen oder Pro- - *,holds and on the word line 24 a negative signal without any reserve cells connected or Pro- - *,

gibt, das die entgegengesetzte Polarität des während grammverknüpfungstechniken verwendet werden,indicates that the opposite polarity of that used during program linking techniques

der Schreiboperation gegebenen Signals und die Das in Fig. 7 dargestellte Ausführungsbeispiel ' 'i the signal given to the write operation and the The embodiment shown in Fig. 7 '' i

774774

gleicht denen der Fig. 5 und 6 insofern, als nur zwei Feldeffekt-Transistoren für jede Speicherzelle erforderlich sidd. Dieses Ausführungsbeispiel unterscheidet sich dadurch, daß im Gegensatz zu den mit nur i Bili ttttSimilar to those of FIGS. 5 and 6 in that only two field effect transistors are required for each memory cell sidd. This embodiment differs in that in contrast to that with only i Bili tttt

Feldeffekt-Transistors 12, die die gespeicherte Ladung und damit die Spannung an der Speicheranode 30 beeinflußt.Field effect transistor 12, which the stored charge and thus the voltage at the storage anode 30 influenced.

Beim Auslesen wird ein negatives Signal vonWhen reading out, a negative signal is generated by

Wli 24 L Wli 24 L

einer Wortleitung und einer Bitleitui.g ausgestatteten 5 ungefähr — 5 V auf die Lese-Wortleitung 24 L gevnrfif>riof>n Reknieien hier zwei Wortleitungen 24 S geben. Wenn zu diesem Zeitpunkt die Speicherzellea word line and a bit line equipped 5 approximately -5 V on the read word line 24 L gevnrfif>riof> n Rekneeien here two word lines 24 S. If at this time the memory cell

g p pg p p

eine binäre Eins speichert und die Speicheranode 30 auf einer höheren positiven Spannung zwischen 3 und 5 V liegt, ist die Torelektrode 50 G auf einer positiven Spannung, die die Spannung am Quellenanschluß 50 S um einen Wert übersteigt, der größer ist als die Schwellwertspannung des Feldcffekt-Transistors 50. Dieser Feldeffekt-Transistor feitet dann, so daß ein Signal auf die Bit-Abfrageleitung 26 L gedi Li hl stores a binary one and the storage anode 30 is at a higher positive voltage between 3 and 5 V, the gate electrode 50 G is at a positive voltage which exceeds the voltage at the source terminal 50 S by a value which is greater than the threshold voltage of the field effect -Transistor 50. This field effect transistor then conducts, so that a signal on the bit query line 26 L ge di Li hl

vorherigen Beispielen hier zwei Wortleitungenprevious examples here two word lines

und 24 L vorgesehen sind, von denen die eine zumand 24 L are provided, one of which for

Lesen und die andere zum Schreiben benutzt wird.Reading and the other is used for writing.

Gleicherweise existieren auch zwei Bitleitungen 26 5Two bit lines 26 5 also exist in the same way

und 26 L, die entsprechend verwendet werden. Obwohl die Verwendung von zusätzlichen Wort- undand 26 L, which are used accordingly. Although the use of additional word and

Bitleitungen die Anordnung von Mehrleitern auf demBitlines the arrangement of multi-conductors on the

integrierten Schaltplättchen erfordert, erweist sichrequires integrated circuit board, turns out to be

!dieses Ausführungsbeispiel doch insofern als vorteil- _ ,,·,·, M ! This embodiment is advantageous to the extent that _ ,, ·, ·, M

4iaft als die bei Anlegen bipolarer Signale auf die- 15 geben und auf den an dieser Leitung angeschlossenen ^selbe Leitung vorliegenden Konstruktionseinschrän- Abfrageverstärker übertragen wird. .4iaft than when bipolar signals are applied to the 15 and to the connected to this line ^ same line present construction restriction interrogation amplifier is transmitted. .

6 - - - · ··—-'- J!— Wenn bei einer Schreiboperation ein Signal auf 6 - - - · ·· ---'- J! - If there is a signal during a write operation

die Bit-Schreibleitung 26 S gegeben wird, bleibt die in Fig. 7 ^-ng.-sie!": Sneicherzelle davon unbeein-the bit write line 26 S is given, the one in Fig. 7 ^ -ng.-you! ": Sneicher cell remains unaffected

FeW^rmödichkeit "während des Betriebes auf ein so flußt, wenn nicht zu diesein ^i^.ikt <>'<" Signal aufFeW ^ rmödichkeit "during operation on a so flows, if not this one ^ i ^ .ikt <>'<" signal on

Minimum herabgesetzt wird, als auch die Massen- die Schreib-Wortleitung 245 gegeben wird.Minimum is decreased, as well as the ground the write word line 245 is given.

fabrikation großer Stückzahlen betriebsfähiger Speicherzellen auf einem Plättchen erleichtert wird. WieProduction of large numbers of operational memory cells on a plate is facilitated. As

vorher erfolgt die Speicherung durch Laden einerbeforehand, it is saved by loading a

Kapazität in der Schaltung, hauptsächlich der Kapa-Capacitance in the circuit, mainly the capacitance

zität zwischen Torelektrode und Trägerschicht desbetween the gate electrode and the carrier layer of the

Feldeffekt-Transistors 50. Wenn eine Null in derField effect transistor 50. When a zero in the

Speicherzelle gespeichert wird, ist die SpeicheranodeStorage cell is stored is the storage anode

30 im wesentlichen auf Nullpotential, wenn eine Eins30 essentially at zero potential when a one

selbe Leitung vorliegenden Konstruktionseinschrän kungen wegfallen. Außerdem werden durch diese Konstruktion die elektrischen Parameter der Schaltungen noch weniger kritisch, wodurch sowohl die lihki ähd d Betriebes auf einsame line present construction restrictions are omitted. Also through this Construction the electrical parameters of the circuits even less critical, thereby reducing both the lihki ähd d operation on one

ähnHcher Weise bleibt die Speicherzelle bei einer Leseoperation unbeeinflußt, wenn nicht ein Signal auf die Lese-Wortleitung 24 /. ^g?u-an wird. similarity Hcher, the memory cell in a read operation is not affected, if not a signal on the read word line 24 /. ^ g? u - a n will.

Die Einzelteile der in Fig. 1 gc^cigcen Aun/-iu"Wu. können mit denen der in F i g. 5 gezeigten Ausführung kombiniert werden. Somit kann el:, besoiideier Kondensator zum Speichern der eine Information darstellenden Ladung verwendet werden, die dannThe individual parts of the in Fig. 1 gc ^ cigcen Aun / -i u "Wu. Can be combined with those of the embodiment shown in Fig. 5. Thus, a special capacitor can be used to store the information representing charge, which then

gespeichert wirdhat sie "eine positive Spannung, 30 auf die Torelektrode eines zweiten Feldeffekt-Tranz B 5 V Die Schreib-Wortleitung 24 S ist nur mit sistors gekoppelt wird, um ein nichtlöschendes Ausder Torelektrode 12G des Feldeffekt-Transistors 12 lesen zu erreichenstored they wirdhat "a positive voltage 30 to the gate electrode of a second field-effect Tranz B 5 V, the write word line 24 S is coupled with sistors to achieve read a non-quenching apparent from the gate electrode 12G of the field effect transistor 12

verbunden und große positive Signale werden beim Wie oben erklart, wird in allen gezeigten Ausfuh-As explained above, in all of the embodiments shown,

Schreiben auf diese Leitung gegeben. Die zu schrei- rungsbeispielen der vorliegenden Erfindung eine bende Information ist durch die Höhe der Spannung 35 Information in Form einer Ladung auf einer Kapaauf der Bit-Schreibleitung 26 S bestimmt, die nur mit zität in der Speicherzelle gespeichert. Die Ladung dem Quellenanschluß 125 des Feldeffekt-Transistors wird entweder in einem separaten Kondensator ge-12 verbunden ist. Diese Leitung führt im wesent- speichert oder in der in einem der Feldeffekt-Traniichen 0 V wenn eine Null zu schreiben ist und wird sistoren der Speicherzelle vorhandenen Kapazität, durch ein'entsprechendes Signa! auf eine Spannung 40 Prüfungen haben ergeben, daß unter ungünstigen von etwa 6 V gehoben, wenn eine Eins zu schreiben Bedingungen die Ladungsableitung hinreichend langist. Die Amplitude des positiven Signals auf der
Schrcib-Wcrdeituü", z g 12 V5 muß um mindestens
die Schwellwsrtspamiung^die ja an die Torelektrode
12 G des Feldeffekt-Transistors 12 gelegt wird, um 45
diesen leitend zu machen, größer sein als das positive
Signal auf der Bitschreibleitung 26 S. Bei einem eine
binäre Eins darstellenden Signal auf der Bitschreibleitung 26 S lädt die Leitung des Feldeffekt-Transi- . _ .. stors 12 die Kapazität zwischen Torelektrode und 50 folgt. Die Regeneration braucht nicht auf einmal zu Trägerschicht des Feldeffekt-Transistors 50 auf. erfolgen, sondern kann während einer Lese-Schreib-Diese Ladung bleibt erhalten, wenn zuerst das operation eingestreut werden. Bei Anwendung der Schreibsignal auf der Schreibwortleitung 24 5 und oben beschriebenen Geschwindigkeiten und Betriebsdann das Bitsignal auf der Bitschreibleitung 26 5 arten werden nur 10% der gesamten Speicherzeit für endet. Die Spannung an der Speicheranode 30 Hegt 55 die Regenerierung benötigt und die Zeit für einen dann bei 5 V Außerdem besteht eine Kapazität an effektiven Lese-Schreibzyklus liegt unter 115 Nanoder rückwärts vorgespannten Senkenverbindung des Sekunden.
Letter given on this line. The information to be written in the present invention is determined by the level of the voltage 35 information in the form of a charge on a capacity on the bit write line 26 S, which is only stored with speed in the memory cell. The charge at the source connection 125 of the field effect transistor is either connected in a separate capacitor GE-12. This line leads essentially stores or in one of the field effect traniichen 0 V if a zero is to be written and is sistors of the memory cell existing capacity, by a 'corresponding signal! at a voltage 40 tests have shown that under unfavorable conditions of about 6 V when a one is written, the charge dissipation is long enough. The amplitude of the positive signal on the
Schrcib-Wcrdeituü ", z g 12 V 5 must be at least
Schwellwsrtspamiung ^ which yes to the gate electrode
12 G of the field effect transistor 12 is put to 45
to make this conductive, be greater than the positive
Signal on the bit write line 26 S. With one one
Binary one representing the signal on the bit write line 26 S loads the line of the field effect transi-. _ .. stors 12 the capacitance between gate electrode and 50 follows. The regeneration does not need to form a carrier layer of the field effect transistor 50 all at once. but can be interspersed during a read-write. This charge is retained when the operation is first carried out. When applying the write signal on the write word line 24 5 and the speeds and operating modes described above then the bit signal on the bit write line 26 5 will only end 10% of the total storage time. The voltage at the storage anode 30 harbors 55 the regeneration needed and the time for one then at 5V. In addition, there is a capacity at the effective read-write cycle is less than 115 nanometers or backward biased sink connection of seconds.

gg gtg hinreiche ggg gtg sufficient g

sam erfolgt, so daß eine Regenerierung nur ungefähr alle 200 μ5 erforderlich ist. Bei Betrachtung einer 200-Wortreihe können Lese- und Schreiboperationen in 100 ns ausgeführt werden. Somit können alle Wörter im Speicher der Reihe nach in Perioden von 20 μβ regeneriert und die Speicheroperationen dann in 180 με (1800 Lese-Schreiboperationen) ausgeführt werden, bevor der nächste Regenerationszyklus erfl Di Ri b lsam takes place, so that regeneration is only required approximately every 200 μ5. When looking at a 200 word string, read and write operations can be performed in 100 ns. So everyone can Words in memory are regenerated sequentially in periods of 20 μβ and then the memory operations executed in 180 με (1800 read-write operations) before the next regeneration cycle is carried out Di Ri b l

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (1)

1 '■ * V1 '■ * V Eine weitere Veröffentlichung Über die Verwen- ή/Another publication about the ή / Pnleninneprtiches .!dung von Feldk^t-Transistorcn, ■ <jie in einem V1 Pnleninneprtiches.! Creation of field K ^ t-Transistorcn, ■ <jie in a V 1 •I. Kupnzlilvor wortorlenticrter Speicher unter Speichermodus in pcm Pholodoteklor beirieben ^'■• I. Kupnzlilvor wortorlenticrter storage under storage mode in pcm operating Pholodoteklor ^ '■ ■^Verwendung von Feldeffekt-Transistoren -for/ werden, ist in der Zcilsclirift Electronic», I. Mw 1967, f, ■ ^ Use of field effect transistors -for / be, is in the Zcilsclirift Electronic », I. Mw 1967, f, ijinilr codierte Daten, dadurch gekenn- ö "auf den Seiten 75 bis78, von O.P. Weckler in dem ^:,ijinilr encoded data, marked by this - ö "on pages 75 to 78, by O.P. Weckler in the ^ :, geichnet, daß jede Speicherzelle aus einem Artikel »Charge Sloragfc Lights Hie way ior holm- ,, :;Fe!de(rekt-Transislor(l2) und einem KondcnKa- State Image Sensors« erfolgt,
'-JOr(M) besteht, der mit dem Senkenanschluß Bin wesentlicher Fortsehnt! bei der Verwendung (Ι2Λ>) des Feldeffekt-Transistor* verbunden ist, ' von Feldeffekt-Transistoren fur Speichcrzweckc war
shown that each storage cell consists of an article »Charge Sloragfc Lights Hie way ior holm- ,,: ; Fe! De (rect-Transislor (l2) and a KondcnKa- State Image Sensors «takes place,
'-JOr (M) exists, which continues with the sink connection Bin essential! when using (Ι2Λ>) the field effect transistor * is connected to field effect transistors for storage purposes
daß die Torelektrode(12G) mit der Wortleitung >o die Verbindung mehrerer derartiger transistoren in iA *;,that the gate electrode (12G) with the word line> o the connection of several such transistors in iA * ;,
DE19681774482 1967-07-14 1968-06-29 Capacitive word-oriented memory using field effect transistors Expired DE1774482C (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US653415A US3387286A (en) 1967-07-14 1967-07-14 Field-effect transistor memory
US65341567 1967-07-14

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1774482A1 DE1774482A1 (en) 1972-02-03
DE1774482B2 DE1774482B2 (en) 1973-02-15
DE1774482C true DE1774482C (en) 1973-09-06

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2430690A1 (en) * 1973-06-29 1975-01-16 Ibm INTEGRATED SEMI-CONDUCTOR MEMORY
DE2454427A1 (en) * 1974-11-16 1976-05-20 Ibm Deutschland ASSOCIATIVE MEMORY
DE2855118C2 (en) * 1978-12-20 1981-03-26 IBM Deutschland GmbH, 70569 Stuttgart Dynamic FET memory

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