DE1773346A1 - Vorrichtung zur korrektur aufgrund von aenderungen in den umgebungsbedingungen eines optischen interferometers - Google Patents

Vorrichtung zur korrektur aufgrund von aenderungen in den umgebungsbedingungen eines optischen interferometers

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DE1773346A1
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
    • G01B9/0207—Error reduction by correction of the measurement signal based on independently determined error sources, e.g. using a reference interferometer

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Claims (5)

  1. Patentansprüche 1. Vorrichtung zur Korrektur aufgrund von Anderungen der Umgebungsbedingungen in der Umgebung eines optischen Interferometers, welches einen Teil der Vorrichtung darstellt, mit einem Streifenzähler zur Zählung der Streifen in einem von dem Interferometer übertragenen Lichtbündel, wenn dieses Lichtbündel von einem Gegenstand reflektiert wird, an welchem die Grö#e seiner Bewegung gemessen werden soll, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermöglichung einer kontinuierlichen Korrektur der Streitenzählung sufgrund von Änderungen in den Umgebungsbedingungen ein Multiplikationsrechner (D) zur Umwandlung der Streifen in eine Abstandsmessung vorgesehen ist, daß die Streifen vom Streifenzähler in den Multiplikationsrechner unter der Steuerung eines Steuersignals gegeben werden und daB ein Umgebungskorrektur-Rechner (E) tur Lieferung eines Signals in Aen Multiplikationsrechner (D) vorgesehen ist, um die vom letzteren gelieferte Abstandsmessung entsprechend den Umgebungsbedingungen abzulndern.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen mit dem Streifenzähler verbundenen Pufferspeicher (20) zur Speicherung der Streifen, welche in den Multiplikationsspeicher unter Steuerung des genannten Steuersignals gegeben werden.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, da# der Umgebungskorrektur-Rechner einen Lufttemperaturfühler, einen barometrischen Druckfiihler, einen Teil-Temperaturfühler und/oder einen Feuchtigkeitsfühler aufweist.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, gekennzeichnet durch eine Schaltanordnung (S5) zur Zusammenfassung der Ausgänge der Fühler, um das die Abstandsmessung ar. dernde Signal zu erhalten.
  5. 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daR. die auf die Teil-Temperatur ansprechende Einrichtung eine ehaltanordnung (26' , 26" ) zum Eingeben des Wärmedehnungskoeffizienten flir verschiedene Metalle aufweist.
    L e e r s e i t e
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1204968B (de) * 1962-09-19 1965-11-11 Schwarze & Sohn Verschlusshaken
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