DE1728487A1

DE1728487A1 - AXIAL FLOW TURBOMOLECULAR PUMP

Info

Publication number: DE1728487A1
Application number: DE19621728487
Authority: DE
Inventors: Louis Jacques Desroches; Henri Louis Garnier; Jean Lutz; Raymond Hippolyte Firm Marchal; Louis Paul Henri Meulien; Leonide Rubet
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA; SNECMA SAS
Current assignee: Safran Aircraft Engines SAS; Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1962-01-23
Filing date: 1962-08-01
Publication date: 1973-04-26
Also published as: FR81075E; US3168977A; DE1728487B2

Description

PatentirvväitePatent validity

Dr. !'.α. H. No'j.-.i iJDr. ! '. α. H. No'j .-. I iJ

DIpI. Ina H.¹:-ui. ■ ' l·. , , _Λ3. \Ί. SchmitzDIpI. Ina H. ¹ : -ui. ■ 'l ·. _{,, Λ3} . \ Ί. Schmitz

Dipl. Ing. E. C r : :·,- r-*,-.-i.' q. W. WehnertDipl. Ing. E. C r: ·, - r - *, -.- i. ' q. W. Wehnert

8 Mtind _. :;, i>:ii,7u.^r »..Se 23 8 Mtind _. :;, i>: ii, 7u. ^r »..Se 23

Telefon 5380580Telephone 5380580

P IM· 28 239. M—15 8. April 1972P IM · 2 8 239. M-15 April 8, 1972

Soc, Nationale d'Etude ... Anwaltsakte M-2106Soc, Nationale d'Etude ... Lawyer File M-2106

Axialdurchströmte Turbomolekularpumpe Ausscheidung aus P lh 28 239.H-15 Axial flow turbomolecular pump excretion from P lh 28 239.H-15

Priority dated January 23, 1962

Die Erfindung betrifft eine axial-durchströmte Turbomolekular- j : pumpe mit durchbrochenen Stator- und Rotorscheiben, deren zylindri-The invention relates to an axially traversed turbomolecular j : pump with perforated stator and rotor disks, whose cylindrical

sches Gehäuse an einer Stirnseite mit einer Durchströmöffnung jcal housing on one end face with a throughflow opening j

versehen und deren Rotor in dem Gehäuse gelagert ist. !provided and the rotor is mounted in the housing. !

Turbomolekularpumpen sind in verschiedener Bauweise bekannt. So ist es beispielsweise bekannt (DT-PS 1 ol5 573), die Ansaugöffnung bei einer Turbomolekularpumpe in der Mitte der Seitenwandung des zylindrischen Gehäuses und je einen Pumpenauslaß an den ! Gehäusestirnseiten anzuordnen. Dabei ist die die Rotorscheiben tragende Welle beidseitig in an den stirnseitigen Deckeln des ! Gehäuses ausgebildeten Lagern gelagert. Die Durchführung derTurbomolecular pumps are known in various designs. For example, it is known (DT-PS 1 ol5 573), the suction opening in the case of a turbo molecular pump in the middle of the side wall of the cylindrical housing and one pump outlet each to the ! To arrange housing front sides. The shaft carrying the rotor disks is on both sides in the front covers of the! Housing formed bearings stored. The implementation of the

Welle auf der einen Stirnseite des Gehäuses ist abgedichtet. !Shaft on one end of the housing is sealed. !

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Es ist ferner bei Pumpen bekannt (FR-*P§ 866 7d6;)₃ den Pumpenrotor auf einen Wellenstummel aufzusetzen und die Welle nur einseitig in einer Ge.häusestirnwandung der Pumpe zu lagern.It is also known for pumps (FR- * P§ 866 7d6;) _{3 to place} the pump rotor on a shaft stub and to mount the shaft on only one side in a housing end wall of the pump.

Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Turbomolekularpumpe zu schaffen, bei der die Durchströmung vom Einlaß zum Auslaß ohne Umlenkung erfolgt'und dabei eine Verunreinigung des Vakuums mit Schmiermitteldämpfen durch die der Vakuumseite zugekehrte Lageranordnung des Rotors vermieden wird.In contrast, the invention is based on the object of creating a turbo molecular pump in which the flow from Inlet to outlet without deflection takes place and there is contamination the vacuum with lubricant vapors is avoided by the bearing arrangement of the rotor facing the vacuum side.

Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß bei der Turbomolekularpumpe der eingangs geschilderten Art dadurch gelöst, daß das zylindrisehe Gehäuse senkrecht stehend und die stirnseitige Durchströmöffnung oberhalb der Stator- und Rotorscheiben angeordnet ist,According to the invention, this object is in the case of the turbo molecular pump of the type described above solved in that the cylinder rise Housing standing vertically and the frontal flow opening is arranged above the stator and rotor disks,

j und daß ein hohles, den Rotor lagerndes gehäuse^festes Tragteilj and that a hollow, the rotor bearing housing ^ fixed support part

unterhalb der Lageranordnung als Schmiermittelsammeiraum ausgebildet ist. ' ' -formed below the bearing arrangement as a lubricant collection space is. '' -

Damit ist bei einer Turbomolekularpumpe mit senkrecht stehender Rotorachse eine Anordnung geschaffen, bei der Schmiermitteldämpfe nicht auf die Vakuumseite der Pumpe gelangen können.In this way, in a turbo molecular pump with a vertical rotor axis, an arrangement is created in which lubricant vapors cannot reach the vacuum side of the pump.

Weitere erfindungsgemäße Merkmale sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet. So ist in einer vorteilhaften Weiterbildung die Wandung des Schmiermittelsammelraumes gekühlt. Dadurch wird erreicht, daß der Dampfdruck der entstehenden SchmiermitteldämpfeFurther features according to the invention are set out in the subclaims marked. Thus, in an advantageous development, the wall of the lubricant collecting space is cooled. This achieves that the vapor pressure of the lubricant vapors produced

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- 3 - 172848?- 3 - 172848?

niedrig bleibt.remains low.

In vorteilhafter Weiterbildung ist ferner in dem Schmiermittelsammeiraum ein Elektromotor zum Antrieb des Rotors angeordnet. ] Dadurch kann neben den Lagern auch der Elektromotor in einfacher Weise geschmiert werden, ohne die Vakuumräume zu verunreinigen. In an advantageous further development, there is also the lubricant collection space an electric motor is arranged to drive the rotor. ] As a result, in addition to the bearings, the electric motor can also be easily Way to be lubricated without contaminating the vacuum spaces.

Gemäß einem weiteren vorteilhaften Merkmal ist der Schmiermittelsammeiraum über eine Leitung mit dem Pumpenauslaß verbunden. Die Entlüftung des Schmiermittelsammelraumes erfolgt damit auf der Auslaßseite der Pumpe, an welche in bekannter Weise eine Vorvakuumpumpe angeschlossen ist.According to a further advantageous feature, the lubricant collection space is connected to the pump outlet via a line. The venting of the lubricant collection chamber is thus carried out on the outlet side of the pump, to which in a known manner a Backing pump is connected.

. ■ ι i Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend anhand der j. ■ ι i An embodiment of the invention is based on the j

einzigen Figur der Zeichnung näher erläutert, in der ein Achsen- | schnitt durch eine Turbomolekularpumpe mit senkrechter Rotor- S achse dargestellt ist. ^! single figure of the drawing explained in more detail, in which an axis | section through a turbo molecular pump with vertical rotor axis is shown. ^!

Die Rotorscheiben 1 sind bei δ verdickt und mit Spannbolzen 7 an einem Flansch 9, der vor der ersten Rotorscheibe 1 angeordnet ist, und an einem Flansch Io weiter hinten befestigt. Die Flansche 9 und Io sind an ihrem äußeren Rand bei 9a und loa j verstärkt.The rotor disks 1 are thickened at δ and with clamping bolts 7 on a flange 9 which is arranged in front of the first rotor disk 1 is, and attached to a flange Io further back. the Flanges 9 and Io are on their outer edge at 9a and loa j reinforced.

j .Der ringförmige Flansch Io, der mit Bohrungen 12 zur Verbindung ·'j. the annular flange Io, which is provided with bores 12 for connection '

• aes Raumes B mit dem Raum C versehen ist, ist an einer Hohlwelle• Aes space B is provided with space C, is on a hollow shaft

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13 angeformt, deren Ansaugöffnung 31 und dem Raum F■zugekehrtes Ende mit einem mit Schrauben 14 befestigten Deckel 15 verschlos- ! sen ist. Die Hohlwelle 13 wirkt mit ihrem vorderen Ende 13a mit13 formed, the suction opening 31 and the space F ■ facing The end is closed with a cover 15 fastened with screws 14! sen is. The hollow shaft 13 cooperates with its front end 13a

j einer Ringrippe 16 des Flansches 9 zusammen, während zwischen dem Innenrand der Rotorscheiben 1 und der Außenfläche der Hohlwelle 13 ein leichtes Spiel vorgesehen ist, um eine örtliche Abdichtung im Raum B zu vermeiden.j an annular rib 16 of the flange 9 together, while between the inner edge of the rotor disks 1 and the outer surface of the hollow shaft 13 a slight play is provided in order to avoid a local seal in space B.

Die Hohlwelle 13 trennt von dem Raum B einen inneren Raum D und < einen weiteren Raum E ab, der durch den Deckel 15, den Flansch 9 und das vordere Ende 13a der Hohlwelle 13 begrenzt ist. Zugleich trennt der kreisförmige, vollwandige Flansch 9 den mit dem zu evakuierenden Raum verbundenen Raum F von den inneren, weiter j hinten gelegenen Räumen B und E ab, die ihrerseits gegen den innerhalb der Hohlwelle gelegenen Raum D abgedichtet sind.The hollow shaft 13 separates from the space B from an inner space D, and <E a further space which is bounded by the cover 15, the flange 9 and the front end 13a of the hollow shaft. 13 At the same time, the circular, full-walled flange 9 separates the space F connected to the space to be evacuated from the inner spaces B and E located further back, which in turn are sealed off from the space D located inside the hollow shaft.

Die Hohlwelle ist um ein gehäusefestes Tragteil 17 angeordnet, das auf dem größeren Teil seiner Länge einen großen Durchmesser hat, aber am Ende in einen Lagerzapfen 17a geringeren Durchmesser übergeht. Das Tragteil ?7 ist am Gehäuse 5 der Pumpe befestigt. Die Lagerung der Hohlwelle 13 erfolgt durch Kugellager 18 und 19, der Außenring des ersteren sitzt in dem Deckel 15 und der Außenring des zweiten Lagers in einem ringförmigen Flansch 13b der Hohlwelle, während die Innenringe auf dem Lagerzapfen 17a befestigt und durch eine Abstandshülse gehalten sind. Ein Verschlußstück 2o verschließt das freie äußere Ende des Tragteils 17, während durch kleine Kanäle 21 der Raum G mit der Lagerung 18The hollow shaft is arranged around a support part 17 which is fixed to the housing and which has a large diameter over the greater part of its length has, but at the end merges into a bearing pin 17a of smaller diameter. The support part 7 is attached to the housing 5 of the pump. The hollow shaft 13 is supported by ball bearings 18 and 19, the outer ring of the former sits in the cover 15 and the outer ring of the second bearing in an annular flange 13b of the Hollow shaft, while the inner rings are attached to the bearing journal 17a and held by a spacer sleeve. A closure piece 2o closes the free outer end of the support part 17, while through small channels 21 the space G with the storage 18

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und 19 verbunden ist* Diese Anordnung ist getroffen, um eine ölschmierung der Lager zu gestatten',', wobei das öl aus dem Raum G kommt und der Rüökfluß durch den Raum D in das Innere der Hohlwelle 13 und infolge einer auf der Hohlwelle befestigten Sammelhülse 23 durch im Tragteil 17 vorgesehene Kanäle 22 erfolgt. and 19 is connected * This arrangement is made to allow oil lubrication of the bearings ',' with the oil from the space G comes and the return flow through space D into the interior of the Hollow shaft 13 and as a result of a fixed on the hollow shaft Collecting sleeve 23 takes place through channels 22 provided in the support part 17.

Es wird darauf hingewiesen, daß infolge der dichten Trennung des Raumes D, der ölteile enthält, von den Innenräumen B und E mittels des Deckels 15 und der Hohlwelle 13, und aufgrund der Abdichtung dieser- letztgenannten Räume von dem Raum F mittels des Flansches 9, die LagerSng 18 und 19 sowie das SchmiersystemIt should be noted that due to the tight separation of the Room D, which contains oil parts, from the interiors B and E. by means of the cover 15 and the hollow shaft 13, and due to the Sealing of these last-mentioned spaces from space F by means of the flange 9, the bearings 18 and 19 and the lubrication system

Vollkommen vom Vakuumraum getrennt sind. Es ist in der Tat uner- IAre completely separated from the vacuum space. It is in fact un- I

läßlich, daß keine Spuren von Schmiermittel in den zu evakuie- jverious that no traces of lubricant in the evacuie- j

ν.ν.

renden Raum gelangen. ' jget into the room. 'j

Der Antrieb des Rotors erfolgt durch einen in der Pumpe eingebauten Elektromotor, der in einer Axialebene einen Luftspalt auf-!The rotor is driven by a built-in pump Electric motor that opens an air gap in an axial plane!

weist und aus einem Stator in Form einer auf dem Tragteil 17 be- ! festigten Scheibe 25, die mit Wirkung in Form einer'flachen Spule und mit Zuleitungen versehen ist sowie einem Rotor besteht, der aus ferromagnetischen Ringmagneten 26 bestehen kann, die an einem zylindrischen Gehäuse 27 befestigt sind, das einen Flansch 28 aufweist, an dem sich die Köpfe 29 der Spannbolzen abstützen, während sich die Schrauben 3o, die auf das mit einem Gewinde 8 versehene Ende der Spannbolzen geschraubt sind, an dem Flansch 9 abstützen.has and from a stator in the form of a load on the support part 17! solid disk 25, which acts in the form of a flat coil and is provided with leads and a rotor, which may consist of ferromagnetic ring magnets 26 which are attached to a cylindrical housing 27, the one Has flange 28 on which the heads 29 of the clamping bolts are supported, while the screws 3o, which are on the with a Thread 8 provided end of the clamping bolts are screwed on support the flange 9.

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Die Anordnung des Rotors auf dem gehäusefesten Trägteil· 17 er** möglicht es, die Gefähr von Vibrationen in deft normalen Drehzahlbereich sowie bei erhöhter Drehzahl zu vermeiden* Dies ergibt sich daraus, daß die kritische Drehzahl höhir ist als die Rotordrehzahl, obwohl die Kugellager kleine Durchmesser aufweisen. Hierzu trägt die große Biegesteifigkeit bei, die man durch das Anordnen des Lagers 19 in der Nähe des Schwerpunktes ! des Rotors erhält* Unmittelbar neben diesem Lager ist der Durchmesser des Tragteils 17 wesentlich vergrößert. Das zweite Lager : 18 ist nur dazu bestimmt, die Momente um den Schwerpunkt des ! Rotors aufzunehmen. Somit werden trotz des kleinen Durchmessers j der Kugellager höhere Eigenschwingungszahlen erhalten.The arrangement of the rotor on the support part fixed to the housing17 er ** makes it possible to reduce the risk of vibrations in deft normal speed range as well as to avoid at increased speed * This gives from the fact that the critical speed is higher than the rotor speed, although the ball bearings have small diameters. This is due to the great flexural rigidity that can be achieved by arranging the bearing 19 in the vicinity of the center of gravity ! of the rotor receives * Immediately next to this bearing, the diameter of the support part 17 is significantly increased. The second camp : 18 is only intended to highlight the moments around the center of gravity of the! Take up the rotor. Thus, despite the small diameter j the ball bearings have higher natural frequencies.

Der Rotor der' Pumpe ist sowohl während des normalen Betri^ebszustandes als auch beim Anfahren spielfrei zentriert, da eine radiale Ausdehnung des Lagers 19 vermieden ist. Dies ist darauf zurückzuführen, daß der Flansch Io die Form einer Scheibe aufweist und sich in axialem Abstand von dem Lager 19 befindet* Somit hat die Zentrifugalkraft, die in der Ebene des Flansches Io wirkt, infolge der elastischen Verformung des dazwischenliegenden, zylindrischen Teiles der Hohlwelle 13 kaum mehr einen Ein-The rotor of the 'pump is both during normal operating condition as well as centered without play when starting up, since radial expansion of the bearing 19 is avoided. This is upon it due to the fact that the flange Io has the shape of a disk and is at an axial distance from the bearing 19 * Thus, the centrifugal force is in the plane of the flange Io acts as a result of the elastic deformation of the intermediate cylindrical part of the hollow shaft 13 hardly any more

fluß in der Ebene des Lagers 19. Radiale Verformungen der Auf- ; nahmebohrung des Lagers 18 sind vernachlässigbar, da der Deckel jflux in the plane of the bearing 19. Radial deformations of the on-; receiving bore of the bearing 18 are negligible, since the cover j

i 15 vollwandig ist.i 15 is solid.

Die Pumpe ist ferner, wie in der Zeichnung dargestellt, an ihrer einen Stirnseite mit einer großen-Ansaugöffnung 31 versehen, difeThe pump is also, as shown in the drawing, provided on one end face with a large suction opening 31, dife

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an den zu evakuierenden Raum angeschlossen ist und an der anderen ; Stirnseite mit einer Austrittsöffnung 32, an die sich eine übliehe (nicht dargestellte) Vakuumpumpe anschließt, die dazu bestimmt ist, ein Vorvakuum zu schaffen. Somit bewegt sich der Gasstrom in der durch Pfeile angedeuteten Richtung von der Ansaugzur Austrittsöffnung auf einem in Richtung der Rotationsachse X-Y im wesentlichen geradlinigen mittleren Weg. Insbesondere bietet das Fehlen von Biegungen auf der Ansaugseite, also auf der Seite des höheren Vakuums, einen bemerkenswerten Vorteil, dais connected to the room to be evacuated and to the other ; End face with an outlet opening 32, to which a usual one (not shown) vacuum pump is connected, which is intended to create a forevacuum. Thus the gas flow moves in the direction indicated by arrows from intake to Outlet opening on one in the direction of the axis of rotation X-Y essentially straight-line mean path. In particular, the lack of bends on the suction side, so on the side of the higher vacuum, a notable advantage there

Förderverluste durch eingeschnürte oder nicht geradlinige Strömungswege vermieden sind. In der Ausführungsform gemäß Fig. 2 ; ist die Rotationsachse X-Y vertikal angeordnet und erfolgt der Durchtritt der Moleküle in dieser Hauptrichtung von oben nach unten.Delivery losses due to constricted or non-straight flow paths are avoided. In the embodiment according to FIG. 2; the axis of rotation X-Y is arranged vertically and the molecules pass through in this main direction from top to bottom below.

Die Rotorscheiben 1 sind mittels der Spannbolzen 7 zwischen den beiden äußeren Flanschen 3 3 und 34 zusammengedrückt. Diese ringförmigen Flansche mit einem verstärkten äußeren Rand 3 3a und 34a sind an einer Hohlwelle 35 und einem Rohr 36 angeformt. Der Raum B steht mit dem Innenraum H der Pumpe durch Kanäle 37 in dem Flansch 34 in Verbindung.The rotor disks 1 are pressed together by means of the clamping bolts 7 between the two outer flanges 33 and 34. This annular Flanges with a reinforced outer edge 3 3a and 34a are molded onto a hollow shaft 35 and a tube 36. The space B is with the interior H of the pump through channels 37 in the Flange 34 in connection.

Das Rohr 35, das durch einen Boden 38 stirnseitig geschlossen ist, und die Hohlwelle 36 sind mittels eines Deckels 39 miteinander ausgerichtet, der mit nicht dargestellten Öffnungen versehen ist, durch die die inneren Räume I nnd J verbunden sind.The tube 35, which is closed at the end by a bottom 38 and the hollow shaft 36 are connected to one another by means of a cover 39 aligned, which is provided with openings, not shown, through which the inner spaces I and J are connected.

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Diese Räume sind von dem außerhalb der Hohlwelle liegenden j Raum B und der letztere wiederum von dem äußeren» unter ¥akuum stehenden Raum F getrennt.These spaces are from the one outside of the hollow shaft j space B and the latter in turn separated from the outer space F, which is under ¥ acuum.

In dem Deckel 39 ist das äußere Ende der Welle 4o befestigt, deren Lagerung an einem zylindrischen, hohlen Tragteil 43 mittels Wälzlager 41 und 42 erfolgt. Das Tragteil geht in eine kegelförmige, über einen Flansch 45 fest mit dem Gehäuse 5 verbundene Wandung 44 über. Das hohle Tragteil 43 ist zwischen der Welle 4o und der Hohlwelle 36 angeordnet. Dadurch liegt der rotierende Lagerteil innen und der feststehende Lagerteil außen, was bezüglich der sehr großen Drehzahlen und der mechanischen Beanspruchungen, denen die Pumpe ausgesetzt ist, einen bemerkenswerten Vorteil bildet.The outer end of the shaft 4o is fastened in the cover 39, its bearing on a cylindrical, hollow support part 43 by means of roller bearings 41 and 42 takes place. The support part goes into a conical wall 44 fixedly connected to the housing 5 via a flange 45. The hollow support member 43 is between the Shaft 4o and the hollow shaft 36 are arranged. As a result, the rotating bearing part is on the inside and the fixed bearing part is on the outside, which is remarkable in terms of the very high speeds and the mechanical stresses to which the pump is exposed Advantage forms.

Das obere Lager 41 ist in oder nahe einer Ebene angeordnet, die quer durch den Schwerpunkt des Rotors verläuft. Es soll dadurch eine große radiale Steifigkeit bieten und kann als Rollenlager ausgebildet sein, während die in axialer Richtung wirkende Kraft, die durch das Gewicht des Rotors hervorgerufen wird, durch dasThe upper bearing 41 is arranged in or near a plane which runs transversely through the center of gravity of the rotor. It should through this offer great radial rigidity and can be designed as a roller bearing, while the force acting in the axial direction, caused by the weight of the rotor, by the

untere Lager 4 2 aufgenommen wird, das mit schrägen Lagerflachen j versehen sein kann. Die Einbausicherheit in axialer Richtung ist durch einen Anschlag 46 gewährleistet, der nur unter außerge-lower bearing 4 2 is added, with inclined bearing surfaces j can be provided. The installation security in the axial direction is guaranteed by a stop 46, which is only

wohnlichen Umständen wirksam ist, wenn nach oben gerichtete und von Differenzialdrücken herrührende Kräfte größer als das Gewicht des Rotors sind oder wenn das Lager 42 zerstört wird.domestic circumstances is effective when facing upwards and Forces resulting from differential pressures are greater than the weight of the rotor or when bearing 42 is destroyed.

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BAP ORJQiNALBAP ORJQiNAL

Die Pumpe wird durch einen Elektromotor» angetrieben, der z.B. eine Bauart mit einem in einer axialen Ebene liegenden Luftspalt . aufweist und mit Wicklungen versehen ist,'die an zwei Scheiben 47 angeordnet sind, die ein Teil des Stators bilden und an der Wandung ^4 der Hohlwelle befestigt sind, während der Rotor 4-8 z.B» aus einem ferr©magnetischen Ringmagneten besteht, der auf einer Welle 49 befestigt ist, das sich in (nicht dargestellten) vom Stator des Motors getragenen Lagern dreht. ·The pump is driven by an electric motor », which e.g. a type with an air gap lying in an axial plane . has and is provided with windings, 'which on two discs 47 are arranged, which form part of the stator and on the Wall ^ 4 of the hollow shaft are attached, while the rotor 4-8 e.g »consists of a ferr © magnetic ring magnet that is placed on a shaft 49 is attached, which is in (not shown) rotates bearings carried by the stator of the motor. ·

Die Welle %3 is,t mit der Welle 4o des Eotors mittels 'Keilnuten So verbunden., so daß bezüglich der Stellung der Rotoren von Pumpe und Motor gewisse Preiheitsgrade ermöglicht sind und ein Auseinanderbau erleichtert ist. ■The shaft% 3 is, t with the shaft 4o of the eotor by means of 'keyways So connected., So that regarding the position of the rotors of Pump and motor are enabled and a certain degree of price Disassembly is made easier. ■

Am Ende der Welle 49 des Elektromotors kann eine kleine Hilfspumpe 51 zur Schmiermittelfärderung vorgesehen sein, z.B. eine Zentrifugalpumpe, die durch einen axialen Kanal 52 aus einer ölwanne, die von der unterhalb der Wandung 44 befestigten Wandung 53 abgeschlossen ist, Schmiermittel ansaugt und in eine Leitung 54 fördert, die zu den Lagern führt. Das Zurückfließen des Schmiermittels in den inneren Raum K, der über eine Leitung 55 unter dem Druck des Vorvakuums gehalten wird, in die ölwanne erfolgt durch die Schwerkraft; der Teil des Schmiermittels, der in den Raum J gelangt -ist, wird am Fuße desselben gesammelt und in den inneren Raum K durch ein oder mehrere Kanäle 58 zurückgeführt. Der Ölbehälter wird durch Wasser gekühlt, das durch eine Kühlschlange- oder eine Ummantelung 56 fließt, die die kegelige Wandung' 44 umgibt. Diese Kühlung vermeidet,'daß Öldämpfe, die in den inneren .Raum jLjgelangen können, eine_beachtenswerte Druek-_ höhe erreichen. 309817/0313 "A small auxiliary pump can be installed at the end of the shaft 49 of the electric motor 51 can be provided for conveying lubricant, e.g. a centrifugal pump, which is made of a oil pan, which is closed by the wall 53 attached below the wall 44, sucks in lubricant and into a Line 54 promotes that leads to the camps. The return of the lubricant into the inner space K, which is via a pipe 55 is kept under the pressure of the fore-vacuum into the oil pan is done by gravity; the part of the lubricant that gets into space J is collected at the foot of the same and returned to the inner space K through one or more channels 58. The oil reservoir is cooled by water flowing through a cooling coil or jacket 56 forming the conical Wall '44 surrounds. This cooling avoids' that oil vapors, which in the inner space can be reached, a noteworthy pressure reach altitude. 309817/0313 "

Claims

l.J Axially flowed turbomolecular pump with perforated stator and rotor disks, the cylindrical housing of which is provided with a throughflow opening on one end face, and their rotor is mounted in the housing, characterized in that the cylindrical housing - (5) is vertical and the end face Flow opening (31) above the stator and rotor disks (1,2) is arranged, and that a hollow, the

I rotor bearing housing ^ fixed support part (43) below the!

Bearing arrangement (41,42) is designed as a lubricant collection space (K).

2. Turbo pump according to claim 1, characterized; that one The wall (44) of the support part (43) separating the lubricant collecting space (K) from the rotor with a cooling device is provided.

3. Turbo pump according to claim 2, characterized in that a

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■■■■ J ■■■■ J

an electric motor disposed within the wall Ct O ¹ of the supporting part (43) at the lower end of which extends inside of the support member shaft (4o).

Turbopump according to Claim 2 or 3, characterized in that the wall ( ¹ I ¹ I) is arranged inside the housing.

5. Turbo Pump according to one of claims 1 to 4 characterized marked j is characterized in that the Schmiermittelsammeiraum (K) off on the lower housing end m side with a lubricant sump (5 3); is closed. i

6. Turbopump according to one of claims 1-5, characterized in that that the lubricant collection chamber (K) has a Line (55) is connected to the pump outlet (32).

7. turbo pump according to claim 3, characterized in that on A lubricant pump (51) is provided at the end of the shaft C + o) is.

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