Claims (4)
1 2 Lösung adhäsiv gehalten wird und ein auf der ande- Patentansprüche: ren Seite der FoUe gegenüber der Kammelektrode aufgebrachtes flächenförmiges Widerstandsthermo-1 2 solution is held adhesively and on the other side of the FoUe opposite the comb electrode applied sheet-like resistance thermo-
1. Feuchtemeßelement zur Bestimmung der meter.1. Moisture measuring element to determine the meter.
absoluten Feuchte von Gasen mit einem Wider- 5 Die FoHe, die aus einem temperaturfesten Matestandsthermometer,
das thermisch an eine LiCl- rial besteht, beispielsweise aus PTFE oder Glimmer
Schicht angekoppelt ist, die mittels mit Wechsel- und eine Dicke von nur einigen um aufweist, ist in
strom gespeister Elektroden auf die Umwand- einem Montagerahmen gespannt. Die Abmessungen
lungstemperatur aufheizbar ist, g e k e η η ζ e i c h - der durch Aufpressen oder Bedampfen aufgebrachten
η e t d u r c h eine auf einer Seite einer elektrisch io Kammelektrode hegen in der Größenordnung weniger
isolierenden, temperaturfesten Folie (2) aufge- Millimeter. Durch diese Bauweise sind gegenüber
brachte Kammelektrode (4), deren Elektroden- den bekannten Feuchtemeßelementen die thermische
abstände so klein sind, daß zwischen den Elek- Masse und das Volumen entscheidend vermindert,
troden LiCl-Lösung adhäsiv gehalten wird; ein Außerdem entfällt der zusätzliche Trager für die
auf der anderen Seite der Folie (2) gegenüber der 15 LiCl-Lösung, der Werkstoff kann temperaturfester
Kammelektrode (4) aufgebrachtes Widerstands- gewählt werden. Als günstiger Elektrodenwerkstoff
thermometer (7). hat sich Silber oder Silberpalladium erwiesen. Da dieabsolute humidity of gases with a resistance.
which is thermally connected to a LiCl rial, for example made of PTFE or mica
Layer is coupled, which by means of alternating and has a thickness of only a few microns, is in
Electrodes fed with electricity are clamped on the conversion to a mounting frame. The dimensions
The temperature can be heated, g e k e η η ζ e i c h - the one applied by pressing or vapor deposition
η e t d u r c h one on one side of an electrically io comb electrode are of the order of magnitude less
insulating, temperature-resistant film (2) on a millimeter. Through this construction are opposite
brought a comb electrode (4), the electrodes of which - the known moisture measuring elements - the thermal
gaps are so small that between the elec-
Troden LiCl solution is held adhesive; In addition, there is no additional carrier for the
on the other side of the film (2) opposite the 15 LiCl solution, the material can be more temperature-resistant
Comb electrode (4) applied resistance can be selected. As a cheap electrode material
thermometer (7). has proven to be silver or silver palladium. Since the
2. Feuchtemeßelement nach Anspruch 1, da- elektrolytische Belastung der Elektroden wegen des
durch gekennzeichnet, daß die Folie (2) in einem geringen Wärmebedarfs nur einige mW beträgt, kön-Monlagerahmen
(1) gespannt und mit Druckaus- 20 nen auch andere Edelmetalle als Elektrodenmaterial
gleichsöffnungen (3) versehen ist. geeignet sein. Infolge der mit dem Gegenstand der2. Moisture measuring element according to claim 1, because of the electrolytic load on the electrodes
characterized in that the film (2) is only a few mW in a low heat requirement, Koen-Monlagrahmen
(1) stretched and with the pressure out also other precious metals as electrode material
equal openings (3) is provided. be suitable. As a result of the subject of
3. Feuchtemeßelement nach Anspruch 1 oder 2, Erfindung möglichen Miniaturbauweise ist der Bedadurch
gekennzeichnet, daß die Folie (2) eine darf an Meßgas sehr gering. Die Msßzeit ist sehr
Dicke in der Größenordnung von μπι hat. klein und liegt unter einer Sekunde. Als weiterer Vor-3. Moisture measuring element according to claim 1 or 2, invention possible miniature construction is the bed thereby
characterized in that the film (2) is allowed to have a very low level of measurement gas. The measurement time is very
Has thickness on the order of μπι. small and is less than a second. As a further advantage
4. Feuchtemeßelement nach Anspruch 1, da- 25 teil des Feuchtemeßelementes gemäß der Erfindung
durch gekennzeichnet, daß die wirksame Fläche kann die Möglichkeit der rein maschinellen Seriendes
Widerstandsthermometers (7) kleiner ist als herstellung angesehen werden.4. Moisture measuring element according to claim 1, part of the moisture measuring element according to the invention
characterized in that the effective area can be the possibility of the purely machine series
Resistance thermometer (7) is smaller than manufacture.
die Fläche der Kammelektrode (7) und innerhalb Zur Erläuterung der Erfindung ist in den Figurenthe surface of the comb electrode (7) and within To explain the invention is shown in the figures
derselben angeordnet ist. ein Ausführungsbeispiel dargestellt und im folge η Jenthe same is arranged. an embodiment shown and in the following η Jen
30 beschrieben. In den Fig. 1 bis 3 bezeichnen gleich;
Bezugszeichen gleiche Bauteile.30 described. In Figs. 1 to 3 denote the same;
Identical components.
In Fig. 1 ist in einem ringförmigen Monuig·:-In Fig. 1 is in a ring-shaped Monuig ·: -
rahmen 1 als Träger des Meßsystems eine Folie 2
eingespannt. Um beim Einbau in eine Meßkammuiframe 1 as a carrier of the measuring system a film 2 clamped. In order to be installed in a Meßkammui
Die Erfindung betrifft ein Feuchtemeßelement zur 35 auf beiden Seiten der Folie gleichen Druck zu haben.
Bestimmung der absoluten Feuchte von Gasen mit ist die Folie noch mit Druckausgleichsöffnungen 3
einem Widerstandsthermometer, das thermisch an versehen. Auf der einen Seite der Folie 2 ist eine
eine LiCl-Schicht angekoppelt ist, die mittels mit Kammelektrode 4 aufgebracht, beispielsweise durch
Wechselstrom gespeister Elektroden auf die Um- Schablonenbedampfung oder durch Photoätzung und
Wandlungstemperatur aufheizbar ist. 40 nachfolgender Aufpressung. Der Durchmesser derThe invention relates to a moisture measuring element to have the same pressure on both sides of the film.
Determination of the absolute humidity of gases with is the film still with pressure compensation openings 3
a resistance thermometer that is thermally provided on. On one side of the slide 2 is one
a LiCl layer is coupled, which is applied by means of a comb electrode 4, for example by
Alternating current fed electrodes to the stencil evaporation or by photo-etching and
Conversion temperature can be heated. 40 subsequent pressing. The diameter of the
Derartige Feuchtemeßelemente sind als LiCl-Tau- Kammelektrode 4 beträgt einige Millimeter. Die einpunktfühler
nach Allen und Howe bekannt. Sie zelnen ineinandergreifenden Elektroden sollen mögbestehen
aus einem Rohr, in dessen Innerem ein liehst scharfkantig ausgeführt sein, um die Adhäsion
Widerstandsthermometer angebracht ist. Auf dem der in die Zwischenräume eingebrachten LiCl-Lösung
Rohr befindet sich als saugfähiger Träger für die 45 zu verbessern. Die Kammelektrodc 4 ist über die Zu-LiCl-Lösung
ein Glasgewebe, auf dem die beiden leitungen 5 und die Anschlußkontakte 6 mit der hier
Edelmetallelektroden in Form von Drahtwindungen nicht eingezeichneten Wechselspannungsspeisung veraufgebracht
sind. Bedingt durch die Masse des Ther- bunden. Der Abstand zwischen Kammelektrode 4
mometers und durch den erforderlichen saugfähigen und Montagerahmen 1 soll so groß gewählt werden,
Träger für das LiCl ist dieser bekannte Fühler mit so daß möglichst wenig Wärmeableitung zum Rahnn-n
mehreren Minuten Einstelizeit iür viele Meßaufgaben hin auftritt.Such moisture measuring elements are a LiCl Tau comb electrode 4 is a few millimeters. The single point sensor
known after Allen and Howe. You should possibly have interdigitated electrodes
from a tube, inside of which a borrowed sharp-edged design to the adhesion
Resistance thermometer is attached. On that of the LiCl solution introduced into the gaps
Tube is located as an absorbent support for the 45 improve. The comb electrode 4 is via the Zu-LiCl solution
a glass fabric on which the two lines 5 and the connection contacts 6 with the one here
Precious metal electrodes in the form of wire windings, not shown, applied alternating voltage supply
are. Due to the mass of the thermobond. The distance between the comb electrode 4
mometers and the required absorbent and mounting frame 1 should be chosen so large that
The carrier for the LiCl is this well-known sensor with so that as little heat dissipation to the Rahnn-n as possible
several minutes of setting time for many measuring tasks.
zu träge, insbesondere bei geringen Gasfeuchten, z. B. F i g. 2 zeigt das Feuchtemeßelement im Seiten-too sluggish, especially with low gas humidities, e.g. B. F i g. 2 shows the moisture measuring element in the side
kleiner als 1 g/m3. Die bekannten Feuchtemeßele- schnitt.less than 1 g / m 3 . The well-known Feuchtemeßele- cut.
mente sind außerdem veihältnismäßig groß und er- In F i g. 3 ist das Feuchtemeßelement von derments are also relatively large and complex. 3 is the moisture measuring element of the
fordern viel Meßgas, da wegen der großen Oberfläche 55 anderen Seite her dargestellt. Gegenüber der auf der
eine erhebliche Wassermenge an dem Meßvorgang einen Seite aufgebrach len Kammelektrode 4 ist auf
beteiligt ist. der in Fig. 3 zugewandten Seite der Folie 1 einrequire a lot of gas to be measured, because 55 is shown on the other side because of the large surface area. Opposite the one on the
a considerable amount of water in the measuring process a side aufrach len comb electrode 4 is on
is involved. the side of the film 1 facing in FIG. 3
Es besteht die Aufgabe, ein Feuchtemeßelement Widerstandsthermometer 7 in Mäanderform autgenach
dem obengenannten Prinzip zu schaffen, das die bracht, und zwar derart, daß sich die Fläche des
Nachteile der bekannten Elemente nicht aufweist. 60 Widerstandsthermometer innerhalb der gegenüber-Die
Lösung dieser Aufgabe wird in einem Feuchte- liegenden Fläche der Kammelektrode befindet und
meßelement nach dem LiCl-Prinzip gesehen, das ge- etwas kleiner ist als diese. Das Widerstandsthermokennzeichnet
ist durch eine auf einer Seite einer elek- meter 7 kann aus Platin oder Nickel hergestellt sein
irisch isolierenden, temperaturfesten Folie aufge- und ist mit seinen Zuleitungen 8 und den Anschlußbrachte
Kammelektrode, deren Elektiodenabstände 65 kontakten 9 mit den hier nicht eingezeichneten Meßso
klein sind, daß zwischen den Elektroden LiCl- geräten verbunden.The task is to autgenach a moisture measuring element resistance thermometer 7 in a meander shape
to create the above principle that brought the, in such a way that the area of the
Does not have disadvantages of the known elements. 60 resistance thermometers within the opposite die
The solution to this problem is located in a moist area of the comb electrode
seen measuring element based on the LiCl principle, which is somewhat smaller than this. The resistance thermo indicates
is through one on one side of an elec- trometer 7 can be made of platinum or nickel
Irish insulating, temperature-resistant film and is brought with its leads 8 and the connection
Comb electrode, the electrode spacing 65 of which contacts 9 with the measuring so, not shown here
are small that LiCl devices are connected between the electrodes.