DE3416945A1 - Humidity sensor and method for fabricating it - Google Patents

Humidity sensor and method for fabricating it

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Abstract

In a humidity sensor having an electrically insulating substrate support (1), a pair of electrodes (3, 4) positioned opposite one another on one side of the substrate support (1), and a humidity-sensitive layer which connects the two electrodes (3, 4) with one another and whose electrical resistance changes according to the humidity, the electrodes (3, 4) are connected to a heating voltage source (8), and on the other side of the substrate support (1) a thin-film precision resistor (2) designed as a resistance thermometer is applied. In order to fabricate the humidity sensor, the one side of the substrate support (1) has the thin-film precision resistor (2) designed as a resistance thermometer applied to it, and applied to the other side of the substrate support (1) there are printed micro-conductors lying opposite one another and serving as electrodes (3, 4) and a humidity-sensitive layer which bridges the interstice between the two printed micro-conductors. <IMAGE>

Description

Beschreibungdescription

Feuchtigkeitssensor und Verfahren zu seiner Herstellung Die Erfindung betrifft einen Feuchtigkeitssensor mit einem elektrisch isolierenden Substratträger, einem Paar von auf der einen Seite des Substratträgers angeordneten, einander gegenüberliegenden Elektroden und einer die beiden Elektroden miteinander verbindenden feuchtigkeitsempfindlichen Schicht, die ihren elektrischen Widerstand mit der Feuchte ändert. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Feuchtigkeitssensors.Humidity sensor and method of making it The invention relates to a moisture sensor with an electrically insulating substrate carrier, a pair of opposite one another arranged on one side of the substrate carrier Electrodes and a moisture-sensitive one connecting the two electrodes to one another Layer that changes its electrical resistance with humidity. Also concerns the invention relates to a method for manufacturing a humidity sensor.

Ein derartiger Feuchtigkeitssensor ist aus der DE-PS 29 27 634 bekannt. Dabei besteht der feuchtigkeitsempfindliche Film aus einer Mischung aus einem organischen Polymer und einem leitenden, halbleitenden oder isolierenden Pulver, mit dem der Widerstandswert des feuchtigkeitsempfindlichen Films erfaßt bzw. auf den gewünschten Wert eingestellt wird. Ein derartiger Feuchtigkeitssensor hat den Nachteil, daß hohe Feuchtigkeitswerte oder tropfenförmiger Niederschlag das Meßsystem ungünstig beeinflußt.Such a moisture sensor is known from DE-PS 29 27 634. The moisture-sensitive film consists of a mixture of an organic one Polymer and a conductive, semiconducting or insulating powder with which the Resistance value of the moisture-sensitive film detected or to the desired Value is set. Such a humidity sensor has the disadvantage that high humidity values or drop-shaped precipitation do not favor the measuring system influenced.

Außer den bekannten psychrometrischen und hygrometrischen Verfahren sind auch noch Meßverfahren bekannt, welche auf dem kapazitiven Prinzip mit Alumiumoxid in Dünnfilmtechnik und aufgedampften Goldelektroden bestehen. Derartige kapazitive Feuchtigkeitssensoren besitzen feuchtigkeitsdurchlässige Deckelektroden und werden über Oszillatorschaltungen gespeist, deren Verstimmung des Schwingkreises ein Maß für die relative oder absolute Luftfeuchtigkeit ist. Dieses Verfahren hat den Nachteil, daß ein stabiles Verhalten während der Messung meist nicht erreichbar ist und vor jeder Messung die Nullpunkt- und 80 %-Eichung durchgeführt werden muß.Besides the well-known psychrometric and hygrometric methods measuring methods are also known which are based on the capacitive principle with aluminum oxide in thin-film technology and vapor-deposited gold electrodes exist. Such capacitive moisture sensors have moisture-permeable cover electrodes and are fed via oscillator circuits whose detuning of the resonant circuit is a measure of relative or absolute humidity. This procedure has the disadvantage that a stable behavior can usually not be achieved during the measurement and the zero point and 80% calibration must be carried out before each measurement.

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Feuchtigkeitssensor der oben beschriebenen Art zu schaffen, der die bekannten Nachteile vermeidet, der eine einfache Konstruktion besitzt und der zudem zur Erfassung der relativen oder absoluten Luftfeuchtigkeit keine komplizierte Schaltung benötigt.The object of the invention is to provide a moisture sensor to create the type described above, which avoids the known disadvantages of has a simple construction and also for detecting the relative or absolute humidity no complicated circuit is required.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß die Elektroden mit einer Heizspannungsquelle verbunden sind und auf der anderen Seite des Substratträgers ein als Widerstandsthermometer ausgebildeter Dünnschicht-Meßwiderstand aufgebracht ist.This object is achieved in that the electrodes are connected to a heating voltage source are connected and on the other side of the substrate support as a resistance thermometer trained thin-film measuring resistor is applied.

Dabei werden nicht die Elektroden, sondern das zwischen den Elektroden liegende Hygrosubstrat bzw. der Hygrosubstratträger durch die Heizspannungsquelle aufgeheizt. Der Wärmeaustausch von den Elektroden zum Widerstandsthermometer erfolgt durch den elektrisch isolierenden Substratträger mit kurzem thermischen Zeitverlauf. Da sich die Leitfähigkeit der feuchtigkeitsempfindlichen Schicht entsprechend der jeweiligen Luftfeuchtigkeit ändert, kann auch mittels des Widerstandsthermometers eine Temperaturänderung gemessen werden, die indirekt ein Maß für die Luftfeuch- tigkeit ist. Dabei kann die Widerstandsänderung des Dünnschicht-Meßwiderstands von einem Meßgerät oder einer normalen Widerstandsmeßbrücke erfaßt werden.It is not the electrodes, but the one between the electrodes lying hygrosubstrate or the hygrosubstrate carrier by the heating voltage source heated up. The heat exchange from the electrodes to the resistance thermometer takes place due to the electrically insulating substrate carrier with a short thermal time course. Since the conductivity of the moisture-sensitive layer changes according to the The respective humidity changes can also be done using the resistance thermometer a temperature change can be measured, which is an indirect measure of the humidity activity is. The change in resistance of the thin-film measuring resistor can be from one Measuring device or a normal resistance bridge.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Ansprüchen 2 bis 10 beschrieben.Further advantageous embodiments of the invention are set out in the claims 2 to 10.

Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines Feuchtigkeitssensors ist dadurch gekennzeichnet, daß auf der einen Seite eines Substratträgers ein als Widerstandsthermometer ausgebildeter Dünnschicht-Meßwiderstand und auf der anderen Seite des Substratträgers als Elektroden dienende, einander gegenüberliegende Mikroleiterbahnen aufgedampft, aufgesputtert, rastermäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragen werden und eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht auf der anderen Seite des Substratträgers aufgebracht wird, um den Zwischenraum zwischen den beiden Mikroleiterbahnen zu überbrücken.The inventive method for manufacturing a moisture sensor is characterized in that on one side of a substrate carrier as Resistance thermometer trained thin-film measuring resistor and on the other Side of the substrate carrier serving as electrodes, opposing microconductor tracks Vaporized, sputtered, grid-like or similarly applied and a moisture-sensitive layer on the other side of the substrate support is applied to bridge the gap between the two microconductors.

Außerdem kann vor dem Aufdampfen der Elektroden ein Hygrosubstratträger in Form einer porösen Keramikschicht auf dem Substratträger aufgebracht werden. Außerdem können die Elektroden in den Hygrosubstratträger eingebettet werden.In addition, a hygrosubstrate carrier can be used before the electrodes are vapor-deposited be applied in the form of a porous ceramic layer on the substrate carrier. In addition, the electrodes can be embedded in the hygrosubstrate carrier.

Ausführungsformen der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen: Fig. 1 eine seitliche Ansicht einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors; Fig. 2 eine Draufsicht auf den Feuchtigkeitssensor nach Fig. 1; Fig. 3 eine vergrößerte Querschnittsansicht des Feuchtigkeitssensors nach Fig. 1 und Fig. 4 eine weitere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform ist auf der Unterseite eines Substratträgers 1, der elektrisch isolierende Eigenschaft besitzt und vorzugsweise aus Glas ist, eine Mikroleiterwiderstandsbahn 2 aufge bracht, die vorzugsweise von einer aufgedampften Nickelschicht mit geätzter Widerstandsstruktur besteht. Ein derartiger als Widerstandsthermometer ausgebildeter Dünnschicht-Meßwiderstand besitzt aufgrund sehr kleiner geometrischer Abmessungen auch nur kurze Totzeiten.Embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawings described. 1 shows a side view of an embodiment of the moisture sensor according to the invention; Fig. 2 is a plan view of the moisture sensor according to Fig. 1; 3 is an enlarged cross-sectional view of the humidity sensor according to FIGS. 1 and 4, a further embodiment of the moisture sensor according to the invention In the embodiment shown in Fig. 1, a substrate carrier is on the underside 1, which has electrically insulating properties and is preferably made of glass, a microconductor resistance track 2 is brought up, preferably by a vapor-deposited Nickel layer with an etched resistor structure. One such as a resistance thermometer trained thin-film measuring resistor has due to very small geometrical Dimensions also only have short dead times.

Zum Beispiel kann ein derartiger Dünnschicht-Meßwiderstand einen Widerstand von 1 000£L bei Null Grad Celsius besitzen.For example, such a thin-film measuring resistor can be a resistor of £ 1,000 L at zero degrees Celsius.

Auf der Oberseite des Substratträgers 1 sind kamm-oder mäanderförmige Elektroden 3 und 4 so angeordnet, daß sie wohl einander gegenüberliegen und ineinanderverzahnt sind, sich aber nicht berühren. Die Elektroden 3 und 4 sind mit offenen Enden ausgebildet.On the top of the substrate carrier 1 are comb-shaped or meander-shaped Electrodes 3 and 4 arranged so that they are well opposite each other and interlocked are but not touching. The electrodes 3 and 4 are formed with open ends.

Eine die Elektroden 3 und 4 miteinander verbindende feuchtigkeitsempfindliche Schicht wird durch ein Hygrosubstratträger 5 gebildet, der mit einer Lithiumchlorid lösung, insbesondere im Zwischenraum 6 zwischen den Elektroden 3 und 4 getränkt ist. Dabei besteht der Hygrosubstratträger 5 aus einer porösen Keramikschicht.A moisture-sensitive one connecting the electrodes 3 and 4 to one another Layer is formed by a hygrosubstrate carrier 5, which with a lithium chloride solution, especially in the space 6 between the electrodes 3 and 4 soaked is. The hygrosubstrate carrier 5 consists of a porous ceramic layer.

Die Elektroden 3 und 4 weisen Anschlüsse 7 auf, die mit einer Heizspannungsquelle 8 verbunden sind und bestehen aus korrosionsfestem Material, wie etwa Silber oder Platin.The electrodes 3 and 4 have connections 7, which are connected to a heating voltage source 8 are connected and are made of corrosion-resistant material, such as such as silver or platinum.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform befindet sich der Hygrosubstratträger 5 zwischen Elektroden 3 und 4 und dem Glassubstrat 1. Die Elektroden 3 und 4 können jedoch auch direkt auf dem Glassubstrat 1 aufgebracht und in den Hygrosubstratträger 5 eingebettet sein, wie es aus Fig. 4 zu ersehen ist.In the embodiment shown in Fig. 1 is the Hygrosubstrate carrier 5 between electrodes 3 and 4 and the glass substrate 1. The electrodes 3 and 4 can, however, also be applied directly to the glass substrate 1 and inserted into the Hygrosubstrate carrier 5 can be embedded, as can be seen from FIG. 4.

Dadurch ergeben sich Unterschiede im zeitlichen Verlauf der Reaktion des Feuchtigkeitssensors. In jedem Fall wirkt das Glassubstrat als elektrischer Isolator und gleichzeitig als Sperrschicht für die Lithiumlösung.This results in differences in the course of the reaction over time of the humidity sensor. In either case, the glass substrate acts as an electrical one Insulator and at the same time as a barrier layer for the lithium solution.

Bei Anlegen einer Heizspannung an die Elektroden 3 und 4 erfolgt der Wärmeaustausch zum Widerstandsthermometer 2 durch das Glassubstrat 1, wobei sich die Leitfähigkeit der zwischen den Elektroden angeordneten feuchtigkeitsempfindlichen Schicht 6 entsprechend der jeweiligen absoluten Luftfeuchtigkeit (g Wasserdampf/m3 Luft) und damit auch der Widerstand zwischen den Elektroden 3 und 4 ändert. Dies führt zu einer Heizleistungsveränderung und Erhöhung der Absenkung der Temperatur des Elements. Mit dem Nickelwiderstandsthermometer wird über Anschlußdrähte 9 die Temperatur gemessen, die indirekt ein Maß für die Luftfeuchtigkeit ist.When a heating voltage is applied to electrodes 3 and 4, the Heat exchange to the resistance thermometer 2 through the glass substrate 1, whereby the conductivity of the moisture-sensitive elements arranged between the electrodes Layer 6 according to the respective absolute humidity (g water vapor / m3 Air) and thus also the resistance between electrodes 3 and 4 changes. this leads to a change in the heating output and an increase in the lowering of the temperature of the element. With the nickel resistance thermometer via connecting wires 9 the Measured temperature, which is indirectly a measure of the air humidity.

Der Feuchtigkeitssensor wird dadurch hergestellt, daß auf der einen Seite des Substratträgers der als Widerstandsthermometer ausgebildete Dünnschicht-Meßwiderstand und auf der anderen Seite des Substratträgers die als Elektroden dienende, einander gegenüberliegende Mikroleiterbahnen aufgedampft, aufgesputtert, rastermäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragen werden und die feuchtigkeitsempfindliche Schicht auf der anderen Seite des Substratträgers aufgebracht wird, um den Zwischenraum zwischen den beiden Mikroleiterbahnen zu überbrücken. Dabei kann vor dem Aufdampfen der Elektroden auch der Hygrosubstratträger in Form einer porösen Keramikschicht auf dem Substratträger aufgebracht werden und die Elektroden werden dann vorzugsweise in den Hygrosubstratträger eingebettet.The moisture sensor is made in that on the one hand Side of the substrate carrier is the thin-film measuring resistor designed as a resistance thermometer and on the other side of the substrate carrier those serving as electrodes, one another opposite Microconductors vapor-deposited, sputtered, be applied in a grid or in a similar way and the moisture-sensitive Layer on the other side of the substrate support is applied to the gap to bridge between the two microconductors. This can be done before vapor deposition of the electrodes also the hygrosubstrate carrier in the form of a porous ceramic layer are applied to the substrate carrier and the electrodes are then preferably embedded in the hygrosubstrate carrier.

Bei den dargestellten Ausführungsformen ist der Feuchtigkeitssensor flächenförmig ausgebildet. Der Feuchtigkeitssensor kann jedoch auch andere Formen annehmen. So kann insbesondere der Substratträger zylindrisch, mit kreisförmigem oder ovalem Querschnitt ausgebildet sein, wobei der Dünnschicht-Meßwiderstand dann auf der Innenseite und die Elektroden auf der Außenseite angeordnet sind.In the illustrated embodiments, the humidity sensor is designed flat. However, the moisture sensor can also take other forms accept. In particular, the substrate carrier can be cylindrical, with a circular one or oval cross-section, the thin-film measuring resistor then are arranged on the inside and the electrodes on the outside.

Weiterhin kann der Hygrosubstratträger aus einem mit Lithiumchlorid getränkten, rohr- oder flächenförmig ausgebildeten, isolierenden anorganischen Werkstoff bestehen. Außerdem kann der Hygrosubstratträger aus einem isolierenden, dünnwandigen und porösen Keramikkörper mit definiertem Strukturaufbau bestehen, in den Lithiumchlorid eingelagert ist.Furthermore, the hygrosubstrate carrier can consist of a lithium chloride Impregnated, tubular or sheet-like, insulating inorganic material exist. In addition, the hygrosubstrate carrier can consist of an insulating, thin-walled and porous ceramic bodies with a defined structure, in which lithium chloride is stored.

Das Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Feuchtigkeitssensors kann auch so durchgeführt werden, daß auf jeder Seite des Substratträgers ein Dünnschicht-Meßwiderstand aufgebracht und auf einer Seite eine zusätzliche feuchtigkeitsempfindliche Schicht mit zwei Mikroleiterbahnen angeordnet ist.The method for manufacturing the moisture sensor of the present invention can also be carried out so that a thin-film measuring resistor on each side of the substrate support applied and an additional moisture-sensitive layer on one side is arranged with two microconductors.

Claims (14)

Patentansprüche 1.Claims 1. Feuchtigkeitssensor mit einem elektrisch isolierenden Substratträger, einem Paar von auf der einen -Seite des Substratträgers angeordneten, einander gegenüberliegenden Elektroden und einer die beiden Elektroden miteinander verbindenden feuchtigkeitsempfindlichen Schicht, die ihren elektrischen Widerstand mit der Feuchte ändert, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (3, 4) mit einer Heizspannungsquelle (8) verbunden sind und auf der anderen Seite des Substratträgers (1) ein als Widerstandsthermometer ausgebildeter Dünnschicht-Meßwiderstand (2) aufgebracht ist.Moisture sensor with an electrically insulating substrate carrier, a pair of opposite one another arranged on one side of the substrate carrier Electrodes and a moisture-sensitive one connecting the two electrodes to one another Layer that changes its electrical resistance with humidity, characterized in that that the electrodes (3, 4) are connected to a heating voltage source (8) and on the other side of the substrate carrier (1) designed as a resistance thermometer Thin-film measuring resistor (2) is applied. 2.2. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß er flächenförmig ausgebildet ist.Moisture sensor according to Claim 1, characterized in that it is flat. 3.3. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Substratträger (1) zylindrisch mit kreisförmigem oder ovalem Querschnitt ausgebildet ist, daß der Dünnschicht-Meßwiderstand (2) auf der Innenseite und die Elektroden (3, 4) auf der Außenseite angeordnet sind.Moisture sensor according to Claim 1, characterized in that the The substrate carrier (1) is cylindrical in shape with a circular or oval cross-section is that the thin-film measuring resistor (2) on the inside and the Electrodes (3, 4) are arranged on the outside. 4.4th Feuchtigkeitssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die feuchtigkeitsempfindliche Schicht (6) von einem mindestens teilweise mit Lithiumchlorid getränkten Hygrosubstratträger (5) gebildet wird und die Elektroden als korrosionsfeste Mikroleiterbahn (3, 4) ausgebildet sind, die aufgedampft, aufgesputtert, rastermäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragen ist.Moisture sensor according to one of Claims 1 to 3, characterized in that that the moisture-sensitive layer (6) of one at least partially with Lithium chloride soaked hygrosubstrate carrier (5) is formed and the electrodes are designed as corrosion-resistant microconductor tracks (3, 4) which are vapor-deposited, sputtered, is applied in a grid or in a similar manner. 5.5. Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Mikroleiterbahnen (3, 4) kamm- bzw.Moisture sensor according to Claim 4, characterized in that the both microconductor tracks (3, 4) comb or mäanderförmig ausgebildet, in den Hygrosubstratträger (5) eingebettet und der Zwischenraum (6) zwischen den beiden Mikroleiterbahnen durch mit Lithiumchlorid getränkten Whiskers ausgefüllt ist.Meander-shaped, embedded in the hygrosubstrate carrier (5) and the space (6) between the two microconductor tracks is filled with lithium chloride soaked whiskers is filled. 6.6th Feuchtigkeitssensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Hygrosubstratträger (5) auf dem Substratträger (1) aufgebracht und die Mikroleiterbahnen (3, 4) auf dem Hygrosubstratträger (1) aufgedampft, aufgesputtert, rastermäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragen sind.Moisture sensor according to Claim 4, characterized in that the Hygrosubstrate carrier (5) applied to the substrate carrier (1) and the microconductor tracks (3, 4) vapor-deposited, sputtered, grid-like or on the hygrosubstrate carrier (1) are applied in a similar manner. 7.7th Feuchtigkeitssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Hygrosubstratträger (5) aus einem mit Lithiumchlorid getränkten, rohr- oder flächenförmig ausgebil- deten, isolierenden anorganischen Werkstoff besteht.Moisture sensor according to one of Claims 1 to 6, characterized in that that the hygrosubstrate carrier (5) from a soaked with lithium chloride, tubular or planar Deten, insulating inorganic material consists. 8.8th. Feuchtigkeitssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Hygrosubstratträger (5) aus einem isolierenden, dünnwandigen und porösen Keramikkörper mit definiertem Strukturaufbau besteht, in den Lithiumchlorid eingelagert ist.Moisture sensor according to one of Claims 1 to 6, characterized in that that the hygrosubstrate carrier (5) consists of an insulating, thin-walled and porous Ceramic body with a defined structure is incorporated into the lithium chloride is. 9.9. Feuchtigkeitssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Dünnschicht-Meßwiderstand (2) als eine auf dem Substratträger (1) aufgedampfte, aufgesputterte, rastermäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragene Mikroleiterwiderstandsbahn ausgebildet ist.Moisture sensor according to one of Claims 1 to 8, characterized in that that the thin-film measuring resistor (2) is vapor-deposited on the substrate carrier (1), Sputtered, grid-like or similarly applied microconductor resistance track is trained. 10.10. Feuchtigkeitssensor nach einem der Ansprüche 4 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Mikroleiterwiderstandsbahn (2) aus Nickel und die Mikroleiterbahnen (3, 4) aus Silber oder Platin sind.Moisture sensor according to one of Claims 4 or 9, characterized in that that the microconductor resistance track (2) made of nickel and the microconductor tracks (3, 4) are made of silver or platinum. 11.11. Verfahren zur Herstellung eines Feuchtigkeitssensors, dadurch gekennzeichnet, daß auf der einen Seite eines Substratträgers ein als Widerstandsthermometer ausgebildeter Dünnschicht-Meßwiderstand und auf der anderen Seite des Substratträgers als Elektroden dienende, einander gegenüberliegende Mikroleiterbahnen aufgedampft, aufgesputtert, raster- mäßig oder in ähnlicher Weise aufgetragen werden und eine feuchtigkeitsempfindliche Schicht auf der anderen Seite des Substratträgers aufgebracht wird, um den Zwischenraum zwischen den beiden Mikroleiterbahnen zu überbrücken.Method for producing a humidity sensor, characterized in that that on one side of a substrate carrier designed as a resistance thermometer Thin-film measuring resistor and on the other side of the substrate support as electrodes serving, opposing microconductors vapor-deposited, sputtered, grid applied moderately or in a similar manner and one moisture-sensitive layer applied to the other side of the substrate carrier to bridge the gap between the two microconductors. 12.12th Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Aufdampfen der Elektroden ein Hygrosubstratträger in Form einer porösen Keramikschicht auf dem Substratträger aufgebracht wird.Method according to claim 11, characterized in that before the vapor deposition of the electrodes on a hygrosubstrate carrier in the form of a porous ceramic layer is applied to the substrate carrier. 13.13th Verfahren nach einem der Ansprüche 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden in den Hygrosubstratträger eingebettet werden.Method according to one of Claims 11 or 12, characterized in that that the electrodes are embedded in the hygrosubstrate carrier. 14.14th Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß auf jeder Seite des Substratträgers ein Dünnschicht-Meßwiderstand aufgebracht und auf einer Seite eine zusätzliche feuchtigkeitsempfindliche Schicht mit zwei Mikroleiterbahnen angeordnet ist.Method according to one of Claims 11 to 13, characterized in that that a thin-film measuring resistor is applied to each side of the substrate carrier and an additional moisture-sensitive layer with two on one side Microconductors is arranged.
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