DE1639444B2

DE1639444B2 - ELECTROACOUSTIC CONVERTER

Info

Publication number: DE1639444B2
Application number: DE19681639444
Authority: DE
Inventors: Preston V. Weston Mass. Murphy (V.StA.)
Original assignee: Thermo Electron Engineering Corp., Waltham, Mass. (V.StA.)
Priority date: 1967-05-15
Filing date: 1968-01-16
Publication date: 1972-08-03
Also published as: NL167542C; GB1230402A; NL6805919A; JPS5025160B1; GB1230403A; NL167542B; GB1230404A; DE1639444A1

Description

45 Die Erfindung betrifft einen elektroakustischen Wandler mit einer von einem Elektret als einer von zwei Elektroden erzeugten Gleichspannungsvorspannung, dessen erste Elektrode eine Membran und dessen Elektret eine metallisierte Oberfläche aufweist. 45 The invention relates to an electroacoustic transducer with one of an electret as a DC bias generated by two electrodes, the first electrode of a membrane and the electret having a metallized surface.

Um bei elektrostatischen Wandlern, wie Kondensatormikrophonen und elektrostatischen Lautspreehern, eine ausreichend lineare Empfindlichkeit zu erreichen, ist es bekanntlich erforderlich, an den Wandler eine relativ hohe Gleichspannungsvorspannung anzulegen. Es ist auch bereits bekannt, daß im Prinzip an Stelle einer solchen Vorspannung ein Elektret mit einer metallisierten Oberfläche als aktives Element im Wandler verwendet werden kann, wobei unter einem Elektret ein dielektrisches Material zu verstellen ist, das einem so starken elektrostatischen Feld ausgesetzt wurde, daß eine restliche innere Polarisation, die verhältnismäßig dauerhaft ist, auch noch nach Abschalten des Feldes zurückbleibt. Diese verbleibende Polarisation bzw. elektrostatische Ladung des Materials kann nun die sonstIn order to use electrostatic transducers, such as condenser microphones and electrostatic loudspeakers, To achieve a sufficiently linear sensitivity, it is known to be necessary to use the Converter to apply a relatively high DC voltage bias. It is also already known that im The principle, instead of such a bias, is an electret with a metallized surface as the active one Element can be used in the transducer, with an electret being a dielectric material is to be adjusted that was exposed to such a strong electrostatic field that a residual internal polarization, which is relatively permanent, remains even after the field has been switched off. This remaining polarization or electrostatic charge of the material can now affect the otherwise

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erforderliche Gleichspannungsvorspannung für einen elektrostatischen Wandler theoretisch ersetzen.Theoretically replace the required DC voltage bias for an electrostatic converter.

In der Praxis hat sich jedoch sowohl die Herstellung als auch der Gebrauch der Elektrete als problematisch erwiesen, so daß diese bisher keine sehr große Verbreitung gefunden haben. Insbesondere erwies es sich als grundsätzlicher Nachteil der nach den bekannten Verfahren hergestellten Elektrete, daß ihre Polarisation nicht stabil war. Extremwerte von Temperatur und Feuchtigkeit bewirken vielmehr bei den bekannten Elektreten ein rasches Absinken der Polarisation, und selbst bei kontrollierten Umgebungsbedingungen nimmt die innere Ladung der t'i.Kuiiii(vii d^Hlit.i.i. .-»u» aillltcll aUy LLtIO MC IU! UCIl praktischen Gebrauch in der Regel nicht geeignet sind.In practice, however, both the production and the use of the electrets have proven to be problematic, so that they have so far not become very widespread. In particular, it turned out to be a fundamental disadvantage of the electrets produced by the known processes that their polarization was not stable. Rather, extreme values of temperature and humidity cause a rapid drop in polarization in the known electrets, and even under controlled ambient conditions the internal charge of the t'i.Kuiiii (vii d ^ Hlit.ii .- »u» aillltcll aUy LLtIO MC IU! UCIl practical use are usually not suitable.

Ein weiteres Problem bei der Anwendung von Elektreten in elektrostatischen Wandlern ergibt sich aus der Tatsache, daß der Elektret zwischen den metallischen Bereichen der Elektroden des Wandlers angeordnet werden muß und daß folglich die bei den bisher bekannten Elektreten erforderliche Mindestdicke die Kapazität des Wandlers begrenzt. Bekannte Elektrete, wie beispielsweise Wachsscheiben, weisen eine so große Mindestdicke auf, daß die Streukapazitäten, wie beispielsweise die Kapazitäten zwischen den Leitungen einer angeschlossenen Schaltung, eine zufriedenstellende Funktion eines mit einem solchen Elektret ausgestatteten Wandlers ausschlossen. Es wurde nun schon versucht, beide Probleme gleichzeitig durch Verwendung eines Elektrets aus einem dünnen Film, beispielsweise aus Polyäthylenterephthalat, wie er im Handel unter der Bezeichnung »Mylar-Film« erhältlich ist, zu lösen. Dabei zeigte es sich, daß die Verwendung eines Mylar-Films als Elektret in einem Wandler tatsächlich zu so hohen Kapazitäten führt, daß die Streukapazitäten in angeschlossenen Schaltungen keine ernsthaften Probleme mehr bereiten, so daß ein solcher Wandler auch in transistorisierten Schaltungen mit verhältnismäßig geringen Eingangswiderständen verwendet werden kann. Durch Versuche wurde jedoch festgestellt, daß die scheinbare Stabilität der Polarisation in solchen Wandlern zumindest teilweise nur durch die schlechte Funktion des Wandlers vorgespiegelt wird. Insbesondere wurden bei den Versuchen Wandler geprüft, deren Elektrete aus Mylar-Film bestanden, dessen eine Seite metallisiert war. um so eine Elektrode zu schaffen, die als Membran des Wandlers diente, wobei gegenüber der nicht metallisierten Rückseite des Films eine Metallplatte angeordnet wurde, die die andere Elektrode des Wandlers bildete. Dabei zeigte es sich, daß es erforderlich ist, die Elektret-Membran außerordentlich nahe an der rückwärtigen Metallplatte anzuordnen, wenn man den Vorteil des dünnen Mylar-Films für die Erzielung einer hohen Kapazität im Wandler voll ausnutzen möchte. Ferner wurde festgestellt, daß bei in üblicher Weise konstruierten Wandlern dieser Art die Me.nbran eine ausgeprägte Neigung hat, an der Metallplatte festzukleben, und zwar insbesondere bei hoher Polarisation des Elektrets. Andererseits hat ein Wandler mit festklebender Membran nur eine außerordentlich geringe Empfindlichkeit. Another problem arises with the use of electrets in electrostatic transducers from the fact that the electret is between the metallic areas of the electrodes of the transducer must be arranged and that consequently the minimum thickness required in the previously known electrets the capacity of the converter is limited. Well-known electrets, such as wax discs, have such a large minimum thickness that the stray capacitances, such as, for example, the capacitances between the lines of a connected circuit, a satisfactory function of one with such an electret equipped transducer excluded. Tried now, both of them Problems at the same time by using a thin film electret, for example made of polyethylene terephthalate, as it is commercially available under the name "Mylar film", too to solve. It was found that the use of a Mylar film as an electret in a transducer actually leads to such high capacities that the stray capacitances in connected circuits no longer cause serious problems, so that such a converter can also be used in transistorized circuits can be used with relatively low input resistances. Through trials however, it was found that the apparent stability of polarization in such transducers at least is partially only feigned by the poor functioning of the converter. In particular, were at The tests tested transducers whose electrets were made of Mylar film, one side of which was metallized was. so as to create an electrode that served as the diaphragm of the transducer, being opposite A metal plate was placed on the non-metallized back of the film, which was the other electrode of the converter formed. It was found that it is necessary to make the electret membrane extraordinary to be placed close to the rear metal plate if you take advantage of the thin I want to take full advantage of Mylar Films to achieve high capacity in the transducer. Furthermore, was found that in conventionally constructed transducers of this type, the Me.nbran a pronounced Has a tendency to stick to the metal plate, especially if the electret is highly polarized. On the other hand, a transducer with an adhesive membrane has only an extremely low sensitivity.

Wäre das Festkleben der Membran der einzige tatsächliche Nachteil eines solchen Wandlers, so würde dieser nach und nach entsprechend der Abnahme der Polarisation des Elektrets eine ansteigende Empfindlichkeit zeigen, bis die Membran schließlich völlig frei schwingen könnte. Anschließend müßte dann die Empfindlichkeit des Wandlers entsprechend der kontinuierlich fortschreitenden Zerstörung des Elektrets wieder abnehmen. Andere Effekte überdecken jedoch diesen Prozeß und lassen die Empfindlichkeit stabil erscheinen.If the sticking of the diaphragm were the only real disadvantage of such a transducer, it would this gradually increases in sensitivity as the polarization of the electret decreases show until the membrane could finally vibrate completely freely. Then would have to then the sensitivity of the transducer according to the continuously progressive destruction of the Remove the electrets again. However, other effects mask this process and leave the sensitivity appear stable.

In diesem Zusammenhang ist zunächst zu beachten, daß die durch das Elektret gebildete Membran, die ursprünglich unter Zugspannung steht, sich allmählich entspannt. Infolgedessen wird die Empfindlichkeit des Wandlers zunächst durch die straff geraume memoran veroessen, ians aas niCKirei am Anfang nicht zu stark polarisiert ist. Entspannt sich nun die Membran nach und nach, so führt die geringere Zugspannung auch zu einer geringeren Empfindlichkeit, wodurch die Erhöhung der Empfindlichkeit infolge der abnehmenden Neigung der Membran zum Festkleben überdeckt wird, so daß die Empfindlichkeit insgesamt stabil zu bleiben scheint. In ähnlicher Weise wird der im Laufe der Zeit auftretende Ladungsverlust kompensiert: die Neigung der Membran zum Festkleben nimmt wegen der Abnahme der elektrostatischen Kräfte ab, wodurch die Empfindlichkeit zunimmt, und andererseits wird die Empfindlichkeit durch die Verringerung der Ladung wieder verringert. Der Zufall kann nun dazu führen, daß die verschiedenen, einander kompensierenden Einflüsse dazu führen, daß der Wandler für eine Dauer von etwa 1 bis l¹/· Jahren stabile Eigenschaften besitzt; jedoch nimmt die Empfindlichkeit dann anschließend außerordentlich stark ab.In this connection it should first be noted that the membrane formed by the electret, which is originally under tension, gradually relaxes. As a result, the sensitivity of the transducer is initially veroessen by the tightly spaced memoran, ians aas niCKirei is not too strongly polarized at the beginning. If the membrane relaxes gradually, the lower tensile stress also leads to a lower sensitivity, whereby the increase in sensitivity due to the decreasing tendency of the membrane to stick is masked, so that the sensitivity seems to remain stable overall. In a similar way, the loss of charge that occurs over time is compensated for: the tendency of the membrane to stick together decreases due to the decrease in electrostatic forces, which increases sensitivity, and on the other hand, the decrease in charge decreases sensitivity again. Coincidence can now lead to the various mutually compensating influences cause the transducer for a duration of about 1 to ¹ l / · years has stable characteristics; however, the sensitivity then decreases extremely sharply.

Der Erfindung lag nun die Aufgabe zugrunde, einen elektroakustischen Wandler der eingangs erwähnten Art zu schaffen, bei dem trot' hoher Kapazität die Membran nicht an der Gegenelektrode festkleben kann und der einfach aufgebaut und infolgedessen billig herstellbar ist. Zur Lösung dieser Aufgabe geht die Erfindung von dem Grundgedanken aus. zwischen Membran und Gegenelektrode Distanzstücke vorzusehen, die den Mindestabstand zwischen den beiden Elementen festlegen, und zwar in ähnlicher Weise, wie dies für mit Gleichstromvorspannung arbeitende, elektrostatische Wandler in den d?uL:hen Patentschriften 825 997, 892 773 und 900 830 bereits beschrieben wurde, wobei jedoch das Ziel dieser Ausgestaltung bei den dort beschriebenen Wandlern darin bestand, einen Kurzschluß zwischen der Membran und der Gegenelektrode zu verhindern, während im vorliegenden Fall ein Ankleben des Dielektrikums an der Gegenelektrode verhindert werden soll. Durch diese Aufgabenstellung unterscheidet sich der Anmeldungsgegenstand im übrigen auch von dem elektroakustischen Wandler gemäß der USA.-Patentschrift 2 024 705, welcher zwar ebenfalls, wie der crfindungsgemäße Wandler, mit einem Elektret arbeitet, bei dem jedoch die metallische Membran mit dem Elektret verklebt ist, wobei die Oberfläche des Elektrets so gestaltet ist, daß die Membran nichtflächig an diesem anliegt, wodurch jedoch lediglich erreicht werden soll, daß die Membran trotz der Verklebung schwingen kann und wodurch ferner verhindert werden soll, daß die Oberfläche des Elektrets eine die Dauerpolarisation überdeckende Ladung entgegengesetzter Polarität erhält.The invention was based on the object of providing an electroacoustic transducer of the type mentioned at the beginning Kind of creating where trot 'high capacity the membrane cannot stick to the counter electrode and it is of simple construction and as a result can be produced cheaply. To solve this problem, the invention is based on the basic idea the end. spacers must be provided between the membrane and the counter-electrode, which ensure the minimum distance between the two elements in a manner similar to that for DC bias working, electrostatic converters in the d? uL: hen patents 825 997, 892 773 and 900 830 has already been described, but the aim of this refinement is those described there Converter consisted in preventing a short circuit between the membrane and the counter electrode, while in the present case prevents the dielectric from sticking to the counter electrode shall be. The subject of the application differs through this task also from the electroacoustic transducer according to US Pat. No. 2,024,705, which although also, like the converter according to the invention, works with an electret, but in which the metallic The membrane is glued to the electret, the surface of the electret being designed so that the The membrane is not in contact with the latter, which, however, is only intended to ensure that the membrane can oscillate despite the gluing and which should also prevent the Surface of the electret a charge of opposite polarity covering the permanent polarization receives.

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Ausgehend von dem oben dargelegten Grund- aufweist, auf der eine rückwärtige Metallplatte IiBased on the basic principle set out above, on which a rear metal plate Ii

gedanken wird die der Erfindung zugrunde liegende aufliegt. Die letztere ist perforiert, und zwar weisthoughts will be the one on which the invention is based. The latter is perforated and white

Aufgabe im einzelnen bei einem Wandler der ein- sie eine Reihe von Durchbrüchen 21 auf, die vorTask in detail with a converter of the one they have a series of openings 21, which in front

gangs beschriebenen Art dadurch gelöst, daß die zugsweisc mit einem chemischen Verfahren cinge·The type described above is solved by the fact that the train wise cinge with a chemical process.

metallisierte Oberfläche des Elektrets auf die Außen- 5 arbeitet worden sind, einen Durchmesser vormetallized surface of the electret on which the external 5 have been worked, a diameter before

seite des Elcklrodenpaares gekehrt ist und daß auf vorzugsweise 1,3 mm aufweisen und in Abstände!side of the Elcklrodenpaares is turned and that preferably 1.3 mm and at intervals!

der der Membran zugekehrten Seite der zweiten von 0,38 mm von Mitte zu Mitte angeordnet sindthe side facing the membrane of the second of 0.38 mm are arranged center-to-center

Elektrode ein Muster, insbesondere ein Gitter von möglich wären natürlich aber auch andere Abmcs-Electrode a pattern, in particular a grid of course, but other dimensions would also be possible.

Stützelemcnten, vorgesehen ist, die die Membran sungen. Die Durchbrüche bilden Kanäle für die bcStützelemcnten, is provided, which sung the membrane. The openings form channels for the bc

mindestens in einem festen Abstand von der zweiten io akustischen Schwingungen die rückwärtige Metp.il-at least at a fixed distance from the second acoustic oscillation the rear Metp.il-

Elektrodc halten und der Erzeugung einer Vielzahl platte 19 durchströmende Luft, so daß der RaumKeep electrodc and generating a plurality of plate 19 air flowing through, so that the room

von akustisch parallclgcschaltctcn Wandlerzellen zwischen dieser Metallplatte und der Grundplatte 13of acoustically parallel converter cells between this metal plate and the base plate 13

dienen, über die die Membran gespannt ist. als akustische Druckkammer dient.serve, over which the membrane is stretched. serves as an acoustic pressure chamber.

Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung sind Auf der oberen Fläche der Metallplatte 19 ist einAccording to a further feature of the invention are on the upper surface of the metal plate 19 is a

die Distanzstücke oder Stützclemente einstückig mit ij Gitter aus feinen Metalldrähten gebildet, und diesesthe spacers or support elements formed in one piece with ij grid of fine metal wires, and this

einer der beiden Elektroden. Mit solchen Stützclc- Mctalldrahtgitlcr soll im folgenden mit 23 bezeichnetone of the two electrodes. With such support metal wire mesh is referred to in the following with 23

menten läßt sich in einfachster Weise ein äußerst werden; es kann aus eieklroformiertcm Nickelments can be extreme in the simplest way; It can be made from stainless steel

geringer, jedoch nicht unterschreitbarer Mindest- od. dgl. bestehen, und die Metalldrähte sind Vorzug -lower, but not below minimum minimum or the like exist, and the metal wires are preferred -

abstand zwischen den beiden Elektroden einstellen, weise in Abständen von 1,0 bis 2,5 mm voneinanderSet the distance between the two electrodes, at a distance of 1.0 to 2.5 mm from each other

was zu einer hohen Empfindlichkeit des Wandlers ao angeordnet und in üblicher Weise an der Mctall-which leads to a high sensitivity of the transducer ao arranged and in the usual way on the Mctall-

fiihrt. Deshalb lassen sich in einem solchen Wandler platte 19 befestigt, beispielsweise durch Schwcißunu. leads. Therefore, in such a converter plate 19 can be attached, for example by Schwcißunu.

außerordentlich starke Elektrclc verwenden, ohne Es ist aber auch möglich, das Drahtgitter 23 cin-Use extraordinarily strong electrics, but it is also possible to connect the wire mesh 23

daß die Empfindlichkeit des Wandlers durch die stückig mit der Metallplatte 19 auszubilden, undthat the sensitivity of the transducer by the lumpy with the metal plate 19, and

Neigung des Elektrets zum Festkleben an der an- schließlich können die Drähte des Drahtgitter·; 23Tendency of the electret to stick to the wire mesh ·; 23

deren Elektrode gefährdet wird. 25 durch eine Reihe vorspringender Pfeiler ersetzt wer-whose electrode is endangered. 25 should be replaced by a series of protruding pillars

Wciterc, vorteilhafte Weiterbildungen der Erfin- den. die ebenfalls einstückig nvt der Metallplatte 19Wciterc, advantageous developments of the invention. which is also in one piece with the metal plate 19

dung darstellende Merkmale ergeben sich aus den sind. Diese Pfeiler haben dann vorzugsweise eineCharacteristics representing the application result from the are. These pillars then preferably have one

Patentansprüchen und/oder aus der nachfolgenden Höhe zwischen 0.003 und 0,013 mm" und einenClaims and / or from the following height between 0.003 and 0.013 mm "and one

Beschreibung, die der Erläuterung einiger in der Durchmesserzwischen 0,05 und 0,13mm. währendDescription that explains some of the diameters between 0.05 and 0.13mm. while

Zeichnung dargestellter Ausführungsbcispielc erfin- 30 die Abstände zwischen den Pfeilern zwischen 0.5Drawing illustrated embodiment invents the distances between the pillars between 0.5

dungsgemäßer Wandler dient. und 1,5 mm liegen.proper converter is used. and 1.5 mm.

Es zeigt Über der Metallplatte 19 liegt eine Membran 25It shows a membrane 25 located above the metal plate 19

Fig. 1 einen Schnitt durch einen ersten erfm- au?, einem Elektret mit einer frei liegenden, dielck-1 shows a section through a first invention, an electret with an exposed, dielectric

dungsgemäßen Wandler. trischen Oberfläche 27 und einer oberen, metallisier-proper converter. tric surface 27 and an upper, metallized

F i g. 2 eine Draufsicht auf ein Teüstück einer 35 ten Oberfläche 29. Die Membran 25 kann einen cc-F i g. 2 is a plan view of a part of a 35 th surface 29. The membrane 25 can have a cc-

Grundplatte für ein Elektret, wie sie in dem Wandler ringen Abstand vom Drahtgitter 23 haben, sie kannBase plate for an electret, as they wrestle in the transducer spaced from the wire mesh 23, they can

gemäß Fig. 1 verwendet, jedoch in größerem Maß- aber auch gegen dieses anliegen; in jedem Fall bc-used according to Figure 1, but to a greater extent, but also against this; in any case bc-

stab als in Fig. 1. stimmt dieses Drahtgitter den kleinsten AbstandAs in Fig. 1, this wire mesh has the smallest spacing

Fig. 3 eine perspektivische und schematische zwischen der Membran und der rückwärtigen Metall-Darstellung mit zum Teil weggebrochenen Stücken 40 platte 19 und verhindert, daß die Membran auf eines weiteren Ausführungsbeispiels eines erfindungs- Grund elektrostatischer Anziehungskräfte an der gemäßen Wandlers, Metallplatte 19 festklebt.Fig. 3 is a perspective and schematic between the membrane and the rear metal representation with partially broken pieces 40 plate 19 and prevents the membrane from opening Another embodiment of an invention basic electrostatic attraction forces on the according to converter, metal plate 19 stuck.

Fig. 4 einen Schnitt nach Art einer Explosions- Die Membran ist zwischen dem rinsförmicen4 shows a section in the manner of an explosion. The membrane is between the rinsförmicen

zeichnung mit zum Teil weggelassenen Elementen Rand 31 eines metallischen Schutzgitters 33 unddrawing with partially omitted elements edge 31 of a metallic protective grille 33 and

nach der Linie4-4 in Fig. 3. 45 einem äußeren, ebenfalls metallischen Halterug 35according to the line 4-4 in FIG. 3. 45 an outer, likewise metallic holder 35

Fig.5 eine schematische und perspektivische Dar- eingespannt, wobei der letztere die Membran ccecn5 shows a schematic and perspective Dar- clamped, the latter ccecn the membrane

Stellung mit teilweise weggebrochenen Stücken eines den Umfangsflansch 15 drückt. Dieser Haltering 35Position with partially broken away pieces of one of the circumferential flange 15 presses. This retaining ring 35

weiteren Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemä- kann an der Grundplatte 13 in beliebiger Weise be-further embodiment of an inventive can be on the base plate 13 in any way

ßen Wandlers, festigt sein, beispielsweise über ein Gewinde oderßen converter, be fastened, for example via a thread or

F i g. 6 einen Schnitt durch diesen Wandler nach 50 mittels eines Klebstoffs od. dgl.F i g. 6 shows a section through this transducer according to FIG. 50 by means of an adhesive or the like.

der Linie 6-6 in Fig. 5, wobei einige Teile im Ver- Die elektrischen Zuleitungen zum Wandler gemäßthe line 6-6 in Fig. 5, with some parts in the The electrical leads to the converter according to

hältnis zu anderen zu groß gezeichnet wurden und Fig. 2 können unterschiedlich ausgeführt sein. Dar-ratio to others were drawn too large and Fig. 2 can be designed differently. Dar-

außerdem ein anderer Maßstab als in Fig. 5 An- gestellt ist eine Zuleitung37. die mit dem metalli-In addition, a different scale than in FIG. 5 is set up with a supply line37. the one with the metallic

wendung fand, sehen Haltering 35 verbunden ist und über diesenfound application, see retaining ring 35 is connected and over this

Fig. 7 einen Axialschnitt durch ein weiteres Aus- 55 und das Schutzgitter33 mit der metallisierten Oberführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Wandlers fläche 29 der Membran 25 in elektrisch leitender sowie durch ein zugehöriges Bauelement. Verbindung steht Eine zweite Zuleitung 39 kann7 shows an axial section through a further cutout 55 and the protective grille 33 with the metallized upper guide example of a transducer according to the invention surface 29 of the membrane 25 in an electrically conductive manner as well as an associated component. A second supply line 39 can be connected

Die Fig. 1 und 2 zeigen ein Ausführungsbeispiel direkt an die rückwärtige Metallplatte 19 angeschloseines erfindungsgemäßen elektroakustischen, elektro- sen und durch eine geeignete Öffnung in der Grundstatischen Wandlers, der vorzugsweise ein Elektret 60 platte und dem Haltering 35 herausgeführt sein, und enthält, wie es in einer anderen Erfindung geschildert zwar unter Verwendung üblicher Isoliermittel, die ist. Der in Fig. 1 dargestellte Wandler ist symme- nicht näher dargestellt sind.1 and 2 show an exemplary embodiment directly connected to the rear metal plate 19 of an inventive electroacoustic, electrical and through a suitable opening in the basic static transducer, which preferably has an electret 60 plate and the retaining ring 35, and contains, as described in another invention using conventional isolating agents that is. The converter shown in FIG. 1 is symmetrically not shown in more detail.

trisch zur Achse A, und zwar von geringen Aus- Die Fig. 3 und 4 zeigen ein zweites Ausführungs-tric to the axis A, namely from a slight extent. Figs. 3 and 4 show a second embodiment

nahmen abgesehen, die aus den F i g. 1 und 2 her- beispiel eines erfindungsgemäßen Wandlers mit zweiapart from those from FIGS. 1 and 2 her- example of a transducer according to the invention with two

vorgehen. 65 Elektret-Membranen. In seiner bevorzugten Ausfüh-proceed. 65 electret membranes. In its preferred execution

Der Wandler enthält eine Grundplatte 13 aus rungsform ist dieser Wandler ein auf Druckgradieneinem Kunststoff od. dgl., die einen nach oben vor- ten ansprechendes Mikrophon mit einer acht Ausstehenden Umfangsflansch 15 mit einer Schulter 17 läufer aufweisenden Empfindlichkeitskurve. DieThe transducer contains a base plate 13 of approximate shape, this transducer is a pressure gradient of a plastic or the like, which has an upwardly responsive microphone with an eight protruding circumferential flange 15 with a shoulder 17 running sensitivity curve. the

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F i g. 3 zeigt den schematischen Aufbau des Wand- 67 vor atmosphärischen Ionen und Verunreinigun-F i g. 3 shows the schematic structure of the wall 67 against atmospheric ions and impurities.

lers nach dem Zusammenbau, während Fig. 4 die gen geschützt. Infolgedssen ist die Stabilität deslers after assembly, while Fig. 4 protected the gene. As a result, the stability of the

Details nach Art einer Explosionszeichnung darstellt. Wandlers nach den F i g. 3 und 4 außerordentlichRepresenting details in the manner of an exploded view. Converter according to the F i g. 3 and 4 extraordinary

Der Wandle; enthält eine Reihe von Kunststoff- groß.The change; contains a number of plastic large.

halteringen 45, 47, 49, 51 und 53. Fig. 3 zeigt die 5 Die Fig. 5 und 6 zeigen ein weiteres Ausfüh-retaining rings 45, 47, 49, 51 and 53. Fig. 3 shows the 5. Figs. 5 and 6 show another embodiment

Rückseite 55 des Halterings 45, jedoch wurden die rungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Wandlers,Rear side 55 of the retaining ring 45, however, the approximately example of a transducer according to the invention,

entsprechenden Teile der Halteringe 47 bis 53 weg- der den Vorteil eines außerordentlich einfachencorresponding parts of the retaining rings 47 to 53 because of the advantage of an extremely simple

cclassen, um die Zeichnung zu vereinfachen. Aufbaus und einer langen Lebensdauer der Polari-cclassen to simplify the drawing. Structure and a long lifespan of the polar

Eine Elektrode dieses Wandlers umfaßt eine dop- sation aufweist. Die Grundplatte 81 des WandlersOne electrode of this transducer includes doping. The base plate 81 of the transducer

pelte, rückwärtige Platte, die zwei chemisch bear- ίο besteht aus einem nichtporösen und elektrischpelte, back plate, the two chemically machin- ίο consists of a non-porous and an electrical one

bcitete Metallgitter 57 und 59 aufweist, die mit leitenden Werkstoff.bcitete metal grids 57 and 59, which are made with conductive material.

ihren Rückseiten gegeneinander anliegen und mit Diese Grundplatte trägt einen aus Kunststoff be-their backs against each other and with this base plate carries a plastic

Durchbrüchen versehen sind (Durchbrüche 61 des stehenden Distanzring 83, der auf ihr befestigt ist.Breakthroughs are provided (openings 61 of the standing spacer ring 83, which is attached to it.

Metallgitters 57), deren Durchmesser 0,13 mm und Auf ihm ist wiederum ein Haltering 85 aus Kunst-Metal grid 57), whose diameter is 0.13 mm and on it is in turn a retaining ring 85 made of synthetic

deren Abstände von Mitte zu Mitte 0,38 mm betra- 15 stoff befestigt, der sinen nach oben abgesetztenthe distances from center to center are 0.38 mm thick, and the sine is detached at the top

gen können. Sie bilden Luftdurchlässe durch die Innenflansch 87 aufweist.genes. They form air passages through which the inner flange 87 has.

rückwärtige Platte hindurch und dienen im wesent- Die Grundplatte 81 trägt ferner ein im warmenThe base plate 81 also carries an in the warm

liehen demselben Zweck wie die Durchbrüche 21 des Zustand geformtes Kunststoff-Maschengitter 89, dasborrowed the same purpose as the openings 21 of the state molded plastic mesh 89 that

in Fig. 1 dargestellten Wandlers. eine nach unten ausgenommene Mittelzone91 auf-converter shown in Fig. 1. a downwardly recessed central zone91

An der Oberseite des Metallgitters 59 sowie an 20 weist, die eine rückwärtige Platte in Form einesAt the top of the metal grid 59 as well as at 20, which has a rear plate in the form of a

der Unterseite des Metallgitters 57 sind Drahtgitter EIektrets93 aufnimmt und trägt. Bei diesem Aus-the underside of the metal grid 57 are wire mesh EITRETS93 receives and carries. With this out

63 aus beispielsweise elektroformiertem Nickel an- führungsbeispiel dient das Elektret als stationäre63 made of, for example, electroformed nickel, the electret serves as a stationary one

geschweißt, wobei die Drähte 0,006 mm dick und Elektrode des Wandlers.welded, the wires 0.006 mm thick and the transducer electrode.

ebenso breit sein können. Diese Drahtgitter 63 tra- Es hat auf seiner Unterseite eine metallisiertecan be just as wide. This wire grid 63 tra- It has a metalized on its underside

gen eine obere und eine untere Elektretmembran 65 25 Schicht 95, die über eine Verbindungsleitung 97 undgen an upper and a lower electret membrane 65 25 layer 95, which via a connecting line 97 and

bzw. 67. eine Kontaktplatte 99 mit der Unterseite der Grund-or 67. a contact plate 99 with the underside of the base

Die beiden Membranen 65 und 67 können in der- platte 81 elektrisch leitend verbunden ist. Ein TeilThe two membranes 65 and 67 can be connected in the plate 81 in an electrically conductive manner. A part

selben Weise wie vorstehend beschrieben hergestellt der letzteren kann aus Papiermasse bestehen. DerManufactured in the same way as described above, the latter can be made of paper pulp. Of the

sein. Ihre beiden außenliegenden Oberflächen sind Rest des Elektrets93 besteht aus einem relativbe. Their two outer surfaces are the remainder of the electret93 consists of a relative

metallisiert, während die dielektrischen Oberflächen 30 dicken Kunststoffilm mit einer Dicke von ungefährmetallized, while the dielectric surfaces 30 thick plastic film with a thickness of approximately

die Drahtgitter 63 kontaktieren. 0.23 mm.the wire mesh 63 contact. 0.23 mm.

An den beiden Metallgittern 57 und 59 sind Um- Der Film wird vorzugsweise geprägt, so daß einThe film is preferably embossed so that a

fangsflansche 69 und 71 angeformt, die Klemm- erhabenes Muster, vorzugsweise in Form eines Git-catch flanges 69 and 71 formed, the clamping raised pattern, preferably in the form of a mesh

flächen bilden, um die beiden Membranen 65 und 67 ters aus Abstützelemcnten 101 entsteht, die unge-Form surfaces around the two membranes 65 and 67 ters from supporting elements 101 is created, which are un-

flach und gespannt zu halten. Die beiden letzteren 35 fähr 0.006 mm hoch sein können. Der Film hatto keep flat and taut. The latter two 35 can be about 0.006 mm high. The film has

werden von zugehörigen Halteringen 73 und 75 aus ferner öffnungen 103 zur Herstellung einer aku-from associated retaining rings 73 and 75 are also openings 103 for the production of an

Metall gegen die Umfangsflansche 69 und 71 ge- stischen Verbindung mit einer Kammer, die vonMetal against the circumferential flanges 69 and 71 gestural connection with a chamber made by

preßt. " ^den Zwischenräumen zwischen den Elementen despresses. " ^the spaces between the elements of the

Die metallischen Halteringe 73 und 75 sind durch Kunststoff-Maschengitters 89 und dem Raum über eine Verbindungsleitung 77 elektrisch miteinander 4° dem Elektret 93 gebildet wird. Wie beim vorherverbunden und vom Haltering 73 führt eine An- gehenden Ausführungsbeispiel beschrieben, können Schlußleitung 79 nach außen. Schließlich führt eine die Öffnungen 103 einen Durchmesser von 0,13 mm Anschhißleitung 80 von den Metallgittern zu einem und einen Abstand von Mitte zu Mitte von ungefähr äußeren Kontakt. Die Anschlüsse 79 und 80 können 0,38 mm haben. Das Elektret 93 kann in der erin beliebiger Weise an die Anschlußklemmen eines 45 wähnten Weise polarisiert und mit einer Obergeeigneten Vorverstärkers angeschlossen sein, wenn flächenladung versehen sein. The metallic retaining rings 73 and 75 are through plastic mesh screen 89 and the space above a connecting line 77 is electrically formed with one another 4 ° the electret 93. As with the previously connected and from the retaining ring 73, an ongoing exemplary embodiment is described Final line 79 to the outside. Finally, one of the openings 103 has a diameter of 0.13 mm Connection line 80 from the metal grids to one and a center to center distance of approximately external contact. The connections 79 and 80 can be 0.38 mm. The electret 93 can in the erin be polarized in any way to the terminals of a 45 mentioned way and connected to a suitable preamplifier, if provided with surface charge.

der ernndungsgemäße Wandler als Mikrophon dient, Die bewegliche Membran des Wandlers derthe transducer according to the nomination serves as a microphone, the movable membrane of the transducer of the

während sie an einen Verstärker angeschlossen wer- Fig. 5 und 6 weist eine metallisierte Kunststoffoliewhile they are connected to an amplifier. Figs. 5 and 6 have a metallized plastic film

den, wenn der Wandler als Lautsprecher betrieben 105 auf, die zwischen dem Innenflansch 87 und derwhen the transducer is operated as a loudspeaker 105 , which is between the inner flange 87 and the

wird. ' 50 obenliegenden Fläche des Kunststoffmaschengitterswill. '50 overhead surface of the plastic mesh

Eine Eigenschaft des Wandlers gemäß den F i g. 3 89 mit Hilfe eines dazwischenliegenden, metalli-A property of the transducer according to FIGS. 3 89 with the help of an intermediate, metallic

und 4 ist es, daß er — bezogen auf eine bestimmte sehen Tragrings 107 montiert ist. Wie die F i g. 5and FIG. 4 is that it - based on a specific see support ring 107 is mounted. As the F i g. 5

Fläche — doppelt so empfindlich ist, wie ein Wand- und 6 zeigen, ist die metallisierte Fläche die oben-Surface - is twice as sensitive as a wall and 6 show, the metallized surface is the one above-

ler mit einer einzigen Membran. Bei bekannten liegende Fläche der Folie 105, die als Membranler with a single membrane. With known lying surface of the film 105, which acts as a membrane

Wandlern wurde eine ähnliche Empfindlichkeit da- 55 dient. Es ist aber auch möglich, die sanze Folie 105 A similar sensitivity was used for converters. However, it is also possible to use the same film 105

durch erreicht, daß man eine Membran zwischen aus Metall herzustellen.achieved by that one can produce a membrane between made of metal.

zwei steifen Platten anordnete. Demgegenüber be- Eine Anschlußleitung 111 verbindet die Folie 105 sitzt der Wandler nach den Fig. 3 und 4 den Vor- mit einem äußeren Anschlußkontakt 109, der ebenteil eines geringen und fest eingestellten Abstands falls mit der oberen Oberfläche der leitenden Grundzwischen den Membranen 65 und 67 und den ihnen 60 platte 81 in elektrischem Kontakt steht, so daß eine gegenüberliegenden Oberflächen der als Metallgitter in Fig. 5 dargestellte Schaltung entsteht in der ein 57 und 59 ausgebildeten Platten. Ein weiterer Vor- Widerstand 113 den Widerstand der leitenden teil besteht darin, daß die äußeren metallisierten Grundplatte 81 darstellt Ist der Wandler so mon-Oberflächen der Membranen 65 und 67 eine elek- tiert, daß die Grundplatte 81 im Kontakt mit einem trostatische Abschirmung für die Eingangselektrode 65 metallischen Chassis steht, so dient die Ko-taktbilden, die die Metallgitter 57 und 59 umfaßt. platte 99 als Masse, und die aktive Ausgangsklemme Schließlich werden die innenliegenden, aufgeladenen ist der Anschlußkontakt 109.
Oberflächen der beiden Elektret-Membranen 65 und Der in den F i g. 5 und 6 dargestellte Wandlerarranged two rigid plates. In contrast, loading a connecting line 111 connects the film 105 is seated, the transducer of FIGS. 3 and 4, the advantages of an external terminal contact 109, the flat part of a small and fixed distance if the upper surface of the conductive base between the membranes 65 and 67 and the plate 81 is in electrical contact with them, so that an opposing surface of the circuit shown as a metal grid in FIG. 5 is formed in the plates formed by 57 and 59. A further pre-resistance 113, the resistance of the conductive part, is that the outer metallized base plate 81 represents the transducer so mon-surfaces of the membranes 65 and 67 an elec- tated that the base plate 81 is in contact with a static shield for the Input electrode 65 metallic chassis is used, the contact forming, which comprises the metal grids 57 and 59. plate 99 as ground, and the active output terminal Finally, the internal, charged terminal contact 109.
Surfaces of the two electret membranes 65 and the in FIGS. 5 and 6 shown transducers

1010

läßt sich leicht durch übliche Verformungsverfahren sen Poren stattfindet. Auf dem Boden ist fernei für Kunststoffe herstellen. Ferner erlaubt die Ver- noch eine Trocknungsmittelpackung 143 eines gewendung des Elektrets93 als stationäre Elektrode eigneten Trocknungsmittels befestigt, das Feuchtigeine etwas massivere Ausführung. Bei einer solchen keit aus der Luft im Raum über der Verschluß-Konstruktion wird die Haltbarkeit der Polarisation 5 membran 131 entfernt.can easily take place by conventional deformation process sen pores. There is also a lot of plastic on the floor. Furthermore, the arrangement allows a desiccant pack 143 to be attached to a desiccant suitable for turning the electret93 as a stationary electrode, the moisture being a somewhat more massive design. In such a speed from the air in the space above the closure construction, the durability of the polarization 5 membrane 131 is removed.

vergrößert, da interne Kurzschlüsse bei dünneren An einer rückwärtigen Metallplatte 142 ist einenlarged, since internal shorts are thinner at a rear metal plate 142 a

Elementen häufiger auftreten. Versuche ergaben Stift 145 befestigt, der mit Spiel in eine Bohrung imElements occur more frequently. Tests have shown that pin 145 is fastened with play in a hole in the

beispielsweise, daß bei den angegebenen Abmessun- Kontaktstiftverlängerungsstück 139 eingreift. Dasfor example, that the contact pin extension piece 139 engages with the specified dimensions. That

gen die Haltbarkeit der Polarisation ungefähr 25mal letztere wird von einer Schraubenfeder 143 umfaßt,the durability of the polarization about 25 times the latter is encompassed by a helical spring 143,

größer ist als bei einem Elektret mit einer Dicke io die die Metallplatte 142 nach oben und vom Bodenis greater than an electret having a thickness io which the metal plate 142 up and from the bottom

von ungefähr 0,006 mm. 137 des Montagegestells wegdrückt.of about 0.006 mm. 137 of the mounting frame pushes away.

Die Fig. 7 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Die rückwärtige Metallplatte 142 kann mit HilfeFig. 7 shows an embodiment of the rear metal plate 142 can with the help

erfindungsgemäßen Wandlers, das besonders un- eines chemischen Verfahrens mit Durchbrüchen 149 converter according to the invention, the particularly un- a chemical process with breakthroughs 149

empfindlich gegen Temperaturschwankungen und versehen sein, und einstückig mit ihr sind auf ihrersensitive to temperature changes and be provided, and integral with it, are on theirs

Feuchtigkeit ist. Beide Einflüsse verschlechtern nor- »5 Oberseite Stützrippen 151, die eine Eleklret-Mem-Moisture is. Both influences worsen nor- »5 upper side support ribs 151, which an electret mem-

malerweise die Elektrete und beschleunigen ihre bran 153 tragen. Die letztere ist auf ihrer Oberseitepainterly the electrets and accelerate their bran 153 wear. The latter is on its top

Zerstörung. metallisiert, während ihre dielektrische UnterseiteDestruction. metallized, while their dielectric bottom

Der Wandler der Fig. 7 hat ein zweiteiliges sich auf den Stützrippen 151 abstützt,The transducer of Fig. 7 has a two-part is supported on the support ribs 151 ,

zylindrisches Gehäuse mit einem Gehäuseunterteil Die Membran 153 ist zwischen dem oberen Rand-cylindrical housing with a lower housing part The membrane 153 is between the upper edge

115, das über ein Gewindestück 117 mit einem so wandstück 155 des Montagegestells 135 und einem 115, which has a threaded piece 117 with a wall piece 155 of the mounting frame 135 and a

ebenfalls ein Gewindestück 119 aufweisenden Ge- metallischen Distanzring 157 festgehalten, und derAlso a threaded piece 119 having metallic spacer ring 157 held, and the

häuseoberteil 121 verbunden werden kann. letztere dient auch der Halterung eines metallischenhousing upper part 121 can be connected. the latter also serves to hold a metallic one

Beide Gehäuseteile können aus Metall bestehen. Schutzgitters 159, das andererseits gegen einenBoth housing parts can be made of metal. Protective grid 159, on the other hand against a

Das Gehäuseunterteil 115 kann zweckmäßiger- Flansch 161 am oberen Ende des GehäuseoberteilsThe lower housing part 115 can expediently flange 161 at the upper end of the upper housing part

weise einen Vorverstärker 123 enthalten, der sehe- as 121 gedrückt wird.wise contain a preamplifier 123 , which is depressed as 121 .

matisch dargestellt ist und dessen eine Eingangs- Im Betrieb bildet die aus Gummi bestehende Verklemme mit dem Gehäuseunterteil selbst und dessen schlußmembran 131 einen ausdehnbaren Abschluß, andere Eingangsklemme mit einer üblichen An- mit dessen Hilfe sich Änderungen des Außendrucks schlußbuchse 125 verbunden ist, über die ein elek- kompensieren lassen, während über das Kapillartrischer Kontakt zu einem Kontaktstift 127 des Ge- 30 rohr 141 ein Druckausgleich zwischen den Räumen häuseoberteils 121 hergestellt werden kann. über- und unterhalb des Bodens 137 des Montage-In operation, the rubber clamp with the lower housing part itself and its closing diaphragm 131 forms an expandable closure, another input terminal with a conventional connection with the aid of which changes in the external pressure are connected via the connection socket 125 Can be elec- compensated, while the capillary contact to a contact pin 127 of the tube 141 a pressure equalization between the spaces upper housing part 121 can be produced. above and below the floor 137 of the assembly

Der Kontaktstift 127 hat zwei Flansche 129, die gestells 135 erfolgt. Die Elektret-Membran 153 undThe contact pin 127 has two flanges 129, the frame 135 takes place. The electret membrane 153 and

eine Verschlußmembran 131 aus Gummi od. dgl. die elektrisch leitende Metallplatte 142 wirken soa sealing membrane 131 made of rubber or the like. The electrically conductive metal plate 142 act so

zwischen sich aufnehmen, welche an ihrem Rand zusammen, wie dies an Hand der anderen Aus-take up between them, which together at their edge, as shown on the basis of the other

mit Hilfe eines Stützrings 133 und dem unteren Rand 35 führungsbeispiele bereits beschrieben worden ist.with the help of a support ring 133 and the lower edge 35 management examples has already been described.

eines Montagegestells 135 einen dichten Abschluß Durch den Verschluß des Bodens des Montage-a mounting frame 135 a tight seal By closing the bottom of the assembly

mit dem unteren Ende des Gehäuseoberteils 121 gestells 135 — abgesehen vom Kapillarrohr 141 —with the lower end of the upper housing part 121 frame 135 - apart from the capillary tube 141 -

bildet. werden zwei Vorteile erreicht: zunächst einmal bildetforms. two advantages are achieved: first of all, forms

Das Montagegestell 135 hat einen Boden 137, in der Raum innerhalb des Montagegestells 135 und der dem ein Verlängerungsstück 139 des Kontaktstifts 40 Elektret-Membran 153 eine Druckkammer mit im 127 befestigt ist. Durch diesen Boden führt ferner wesentlichen unveränderlichem Volumen, in das ein Kapillarrohr 141 hindurch, über das sich eine hinein die Membran arbeiten kann. Zweitens vereventuelle Druckdifferenz zwischen den beiden hindert das Kapillarrohr, daß nach und nach zu Seiten des Bodens 137 ausgleichen kann. An Stelle beiden Seiten der Membran eine statische Druckder Verwendung eines Kapillarrohre kann der 45 differenz entsteht, die die Eigenschaft des erfin-Bodenl37 aber auch aus gesintertem Metall her- dungsgemäßen Wandlers nachteilig beeinflussen gestellt sein, so daß der Druckausgleich durch des- wurde und zum Bruch der Membran führen könnte. The mounting frame 135 has a bottom 137, in the space within the mounting frame 135 and to which an extension piece 139 of the contact pin 40 electret membrane 153 a pressure chamber with 127 is attached. A capillary tube 141 through which the membrane can work its way also leads through this base, which is essentially unchangeable. Second, any pressure differential between the two prevents the capillary tube from gradually equalizing to the bottom 137 side. Instead of a static pressure on both sides of the membrane, the difference can arise, which adversely affect the properties of the invented base 37 but also the sintered metal transducer, so that the pressure equalization was caused by this and ruptured the membrane.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims

i 639 claims:

1. Electroacoustic transducer with one of an electret as one of two electrodes generated direct voltage bias, whose first electrode is a membrane and whose Electret has a metallized surface, characterized in that the the latter is turned on the outside of the pair of electrodes and that turned on the membrane Side of the second electrode a pattern, in particular a grid of support elements is provided is that the membrane is at least a test distance from the second electrode hold and serve to generate a large number of acoustically parallel connected Wandter cells and over which the membrane is stretched.

2. Converter according to claim 1, characterized in that the electret forms the membrane and the second electrode is stiff.

3. Converter according to claim 2, characterized in that the second electrode is a metal plate is, which has openings to a pressure chamber, the volume of which is large in comparison to that of the volume swept by the membrane during operation.

4. Converter with two Aiordnt .gen according to claim 2, characterized in that the second electrodes have openings and with their surfaces facing away from the membranes bear against one another (FIG. 4).

5. Converter according to claim 1, characterized in that a metal grid on both sides of a fine metal wire netting is surrounded and that over this wire netting on each of the An electret membrane is stretched on both sides of the metal grid, its metallized Surfaces are turned outwards.

6. Converter according to claim 1, characterized in that the electret is rigid and openings as well as on its one facing a metallic or metallized membrane Surface has a pattern, in particular a grid of support elements over which the Membrane is stretched, and that the other surface of the electret with a metal coating is provided (Fig. 6).

7. Converter according to claim 6, characterized in that on the remote from the membrane Side of the electret arranged an electrically conductive and non-porous base plate is, which carries the electret via a grid of electrically non-conductive second support elements, and that the membrane and the base plate, the end-face terminations of a receiving the electret first chamber and the spaces between the second support elements within the first Chamber form a pressure chamber (Fig. 6).

8. Converter according to claim 7, characterized in that one side of the base plate is electrical conductive to the metal coating of the electret and the other side of the base plate is connected to the membrane (Fig. 6).

9. Converter according to claim 1, characterized by a metallic base plate with a Rub breakthroughs and a fine metal wire mesh on a surface (Fig. 1).

10. The transducer according to claim 1, characterized by two opposing, plate-shaped components, one of which has the electret, the metallized top / surface of which faces outwards, and of which the other component has a metallic conductor, one component being rigid and is provided with breakthroughs, while the other component forms a continuous membrane, and furthermore, on the surface of the rigid component facing the membrane, a pattern, in particular a grid of support elements ge hilrip.t ict OPtJPTi ή \ ρ rftp A / Tpmhrnn anliAjt ιιη / 4th

which are made of a material whose electrical conductivity is at least comparable to that is on the membrane facing surface of the rigid component.

11. A transducer according to claim 1, characterized in that it has a first and a second Contains impermeable membrane, which together with housing parts form a closed chamber form, wherein the first membrane is relatively highly deflectable, and the second membrane a flexible, impermeable first electrode and a second, perforated electrode comprising opposed to each other and one of which has the electret, its dielectric Surface facing the other electrode, and that facing the first electrode Surface of the second electrode a pattern, preferably a grid of support elements is provided carrying the first electrode (Fig. 7).

12. Converter according to claim 11, characterized by a second chamber formed in the first chamber of essentially constant volume, which is closed off by the second membrane and accommodates the perforated electrode, the second communicating with the first chamber via at least one relatively narrow passage communicates.