DE1548350A1

DE1548350A1 - Optical straight line

Info

Publication number: DE1548350A1
Application number: DE19661548350
Authority: DE
Inventors: Lebowsky Dr Fritz
Original assignee: Firma Wenczler and Heidenhain
Current assignee: Firma Wenczler and Heidenhain
Priority date: 1966-02-22
Filing date: 1966-02-22
Publication date: 1970-05-21

Description

Optische Gerade Die Erfindung betrifft eine. Einrichtung zum Feststellen des Abstandes eines bereglichen Teiles von einer durch die feststehende Lage optischer Bauelemente vorgegebenen Geraden mittels eines mit dem beweglictnen Teil verbundenen Hehrfachspiegels. Die Bewegung des Teils erfolgt dabei annähernd längs der genannten Geraden. Optical straight line The invention relates to a. Device for determining the distance of a given part from one due to the fixed position is more optical Components predetermined straight line by means of a connected to the movable part Multiple mirror. The movement of the part takes place approximately along the aforementioned Straight lines.

Es sind bereits verschiedene Einrichtungen bekannt geworden, um eine Gerade auf optischem Vlege zu verwirklichen. Einmal sind für diesen Zweck Zielfernrohre bekannt, bei denen durch die Abbildungsoptik im Zusammenwirken mit einer Marke in der Ebene eines reellen Zwischenbildes die Zielgerade festgelegt ist. Nachteilig an diesen Zielfernrohren ist, daß sie ohne Veratellung der optischen Elemente das Objekt. nur über einen kleinen Entfernungsbereich scharf zu sehen gestatten. Sobald aber zwecks Nachfokussierens die optischen Elemente verstellt werden, besteht immer die Gefahr, da# sich auch die Zielgerade dabei verlagert. Bin weiterer Nachteil der Zielfernrohre besteht darin, da# ihre Empfindlichkeit mit größer werdender Entfernung zum MeBobjekt abnimmt.Various institutions have already become known to provide a To be realized especially on the optical layer. There are riflescopes for this purpose known, in which the imaging optics in interaction with a brand in the plane of a real intermediate image is defined as the home straight. Disadvantageous The thing about these riflescopes is that they can do this without moving the optical elements Object. Allow sharp vision only over a small distance. As soon but for the purpose of refocusing the optical elements are always adjusted the danger that the home stretch will also shift. I'm another disadvantage of riflescopes is that # their sensitivity with increasing distance to the measurement object decreases.

Man hat auch schon versucht, einen größeren Entfernungsbereich bei vollkommen feststehenden optischen Elementen zu überbrücken. So ist ein kegelförmiges, brechendes oder auch reflektierendes Bauelement bekannt goworden, welches infolge seiner Gestalt eine kontinuierliche Folge von "Brennpunkten" längs seiner Symmetrieachse besitzt und auf diese Weise sine Zielgerade definiert (J. O. S. A. August 1954, ßoite 592 - 597): Nachteilig dabei ist aber, daß jeder Meßentfernung nur eine bestimmte Zone dieses Bauelements zugeordnet ist, weshalb die fAnordnung licheschwach ist und infolgedessen doch wieder nur eine geringe Entfernung überbrückbar ist.Attempts have also been made to cover a larger distance range to bridge completely fixed optical elements. So is a cone-shaped, refractive or reflective component known goworden, which as a result its shape is a continuous sequence of "focal points" along its axis of symmetry and in this way defines his home straight (J. O. S. A. August 1954, ßoite 592 - 597): The disadvantage here, however, is that each measuring distance only a certain zone of this component is assigned, which is why the f arrangement is weak and as a result can only be bridged a short distance is.

Ein anderer Vorschlag geht dahir., mittels eines umfangreichen Linsen-und Spiegelsystems eine optische Abbildung vorzunehmen, bei der jedes in der Nähe der Zielachse befindliche Objekt symmetrisch zu dieser Zielachse zur Abbildung gelangt (DBP 875 270). Abgesehen von den hierzu erforderlichen optischen Aufwand hat diese Einrichtung auch noch den, . Another suggestion goes there, by means of an extensive lens and Mirror system to make an optical image with each in the vicinity of the Object located in the target axis symmetrically to this target axis for imaging (DBP 875 270). Apart from the optical effort required for this, this has Facility also the,.

Nachteil, daß sich sowohl am Anfang wie auch am Ende der Zielachse feststehende optische Bauelemente befinden müssen. Diese bedingen eine mechanische Halterung, die mindestens die. gesamte MeBentfernung überbrückt Entweder können damit nur ganz kurze Meßstrecken überbrückt werden oder die Gefahr der Verbiegung des mechanischen Halters übersteigt jedes zuläsaige Maß. Forner ist bekannt, Interferenzstreifen einer Ybunsschen Dopelspalt-Anordnung zu lokalisieren (J.O.S.A. Dezember 1950, alite 809-816). Diese Anordung hat aber wiederum den Nachteil einer mit der Meßentfernung veränderlichen Empfindlichkeit. AuBerden gilt fur sie, wie für jede interferometrische Methode (z. B. auch fUr die nach DAS 1 013436), da# sie lichtschwach ist, da dies die für interferometrische Anordnungen notwendigen kleinen Offnungswinkel zusammen mit den herkömmlichen Lichtquellen relativ kleiner Leuchtdichte notwendigerweise mit sich brachten. Zwar stehen seit einiger Zeit auch Lichtquellen extrem hoher Leuchtdichte in Form der Laser zur Verfügung, die aufgrund ihrer bekannten Eigenschaften dazu geeignet sind, bei interferometrischen Methoden Lichtquelle mit Kollimator zu ersetzen. Sie ergeben dabei trots der kleinen Offnungswinkel lichtstarke Anordnungen. Die Erfindung gelant jedoch aufsrund des Vorhandenseins der Laser zu einem anderen Ergebnis. Sie beruht auf der Erkenntnis, daß es bei Verwendung zu eines Lasers nicht mehr notvrendig ist, auf die optisch aufwendigen und schwierig zu justierenden interferometrischen Anordnungen zurückzugreifen. Sie verwendet den Laser vielmehr rein geometrisch optisch in der toise, da# dessen paralleles Lichtbündel auf nur eine Flache des eingangs erwähnten Mehrfachspiegels, und zwar eines Winkel- oder Tripelspiegels, auftritt, und dfffß Mittel vorgesehen sind, welche den Parallelversatz des unter konstantem Winkel reflektierten Lichtbündels zu messon gestatten. Die Anordnung Ubertrifft in ihrer Einfachheit der Handhabung und Betriobasicherhoit die bekannten Anordnungen. Die Empfindlichait ist gleichbleibend boch über einem weiten Entfernungsbereich. Disadvantage that there is both at the beginning and at the end of the target axis fixed optical components must be located. These require a mechanical one Bracket that is at least the. entire measuring distance bridged either can so that only very short measuring distances are bridged or the risk of bending of the mechanical holder exceeds any allowable dimension. Forner is known to have interference fringes a Ybuns double-gap arrangement (J.O.S.A. December 1950, alite 809-816). However, this arrangement again has the disadvantage of having to do with the measuring distance changeable sensitivity. It also applies to them, as to any interferometric Method (e.g. also for those according to DAS 1 013436), because it is faint because this the small opening angles necessary for interferometric arrangements with the conventional light sources of relatively low luminance necessarily brought with them. For some time now, light sources have also been extremely high Luminance is available in the form of lasers, due to their known properties light source with collimator are suitable for interferometric methods to replace. They result in bright arrangements despite the small opening angles. The invention However, due to the presence of the laser, it works to a different conclusion. It is based on the knowledge that when using it a laser is no longer necessary, which is optically complex and difficult to use interferometric arrangements to be adjusted. She uses the Rather, the laser is purely geometrically optically in the toise, because its parallel light beam on only one surface of the multiple mirror mentioned at the beginning, namely an angle or triple mirror, occurs, and means are provided which the parallel offset allow the light beam reflected at a constant angle to be measured. the Arrangement surpasses in its simplicity of handling and Betriobasicherhoit the known arrangements. The sensitivity is constant over one wide distance range.

Sofern die Mittel sus Messen des Parallelversatzes des Laserlichtbündels mit dem das B aussendenden Laser starr verbunden sind, ist der Versatz des reflektierten Bündels gegenüber diesen Me#mitteln außerdem invariant gegenüber Kippungen des Mehrfachspiegels um seine Scats bzw. Spitze. Überdies tritt dann eine Verdoppelung der Empfindlich keit ein, weil der Versatz des reflektierten Bündels gegenüber den Me#mitteln den doppelten Betrag des Versatzes des Mehrfachspiegels ausmacht.Provided that the means sus measure the parallel offset of the laser light beam are rigidly connected to the laser emitting the B, the offset of the reflected Bundles of these measurements also mean invariant to tilts of the multiple mirror around his scats or tip. In addition, the sensitivity then doubles because the offset of the reflected bundle in relation to the measurement averages twice the amount of the offset of the multiple mirror.

In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt.An exemplary embodiment of the invention is shown in the drawing.

Es doigt : Fig. 1 : sine schematische Darstellung der Einrichtung, Fig. 2 u. 3 : die Wirkung von Lageveränderungen des Tripel-Fig. 4: eine Einzelheit aus Fig. 1, Fig. 5: eine Anwendung der beschriebenen Einrichtung zur genauen Prüfung oder Steuerung eines Maschinentisches in zwei Koordinaten. itn Laser 1 sendet ein weitgehendes paralleles Lichtbündel 2 aus, das auf eine der drei Flächen des Tripelspiegels 3 auftrifft. Die drei Flachan stehen in bakannter Weise auf einander senkrecht. Nach Reflexion an don drei Flächen des Spiegels 3 wird das LichtbUndel in der gleichen Richtung, aber vereetzt, zurückgeworfen. Die Versetzung hänst von dem Abstand der Spitze des Tripelspiegels 3 vom einfallenden Bündel 21 (Fig. 2), nicht dagegen von der Winkellage des Tripelspiegels 3 (Fig. 3) ab. Das reflektierte LichtbUndel durchsetzt zwei planparallele Glasplatton 4 und 5, die un die Achsen 6 und 7 drehbar sind und deren Drehung durch nicht dargestellte Mittel gemessen werden kann. In dieser Fora stollen sie an sich bakannts Planplattenmikrometer dar. Das Lichtbündel tritt daraufhin durch sine Sektorenblendt in Po= einer Halbkreisblende 8. Diese ist in Fig. 4 in Fortpflanzungsrichtung des Lichtbündels 2 gesehen dargestellt. Si, rotiort aufgrund des Antriebs durch einen Synchronmotor 9 fortwährend um eine zur Fortpflanzungsrichtung des L@cht-@ bündels parallele Achse. Das Lichtbündel 2 trifft nach Durchlaufen der Halbkreisblende 8 auf eine. Fotozelle 10.It does: Fig. 1: its schematic representation of the device, Fig. 2 and 3: the effect of changes in position of the triple fig. 4: a detail from Fig. 1, Fig. 5: an application of the device described for exact Testing or control of a machine table in two coordinates. itn laser 1 sends a largely parallel bundle of light 2, which is incident on one of the three surfaces of the Triple mirror 3 strikes. The three Flachan stand on top of each other in a familiar way perpendicular. After reflection on the three surfaces of the mirror 3, the light beam is thrown back in the same direction, but terrified. The transfer depends on the distance of the tip of the triple mirror 3 from the incident bundle 21 (Fig. 2), on the other hand, it does not depend on the angular position of the triple mirror 3 (FIG. 3). That reflected LichtbUndel penetrates two plane-parallel glass plates 4 and 5, which unite the axes 6 and 7 are rotatable and their rotation is measured by means not shown can be. In this fora they are known to be flat-plate micrometers. The light bundle then passes through its sector diaphragm in Po = a semicircular diaphragm 8. This is shown in FIG. 4 as seen in the direction of propagation of the light bundle 2. Si, rotiort due to the drive by a synchronous motor 9 continuously by one axis parallel to the direction of propagation of the bundle of light. The bundle of light 2 meets after passing through the semicircular diaphragm 8 on a. Photocell 10.

Die Toile 1 u. 4 bis 10 sind au einer Baueinheit 11 zusammengefaßt. Relativ zu dieser Baueinheit 11 ist der Tripelspiegel 3 etwa in Richtung der der| Fortpflanzungarichtung des LichtbUndels 2 beweglich gefuhrt, etwa dadurch, da# er zwecks Prüfung der Geradheit einer Schlittenführung auf don chlitte gese@zt ist, dosses Löngsbeweglichkeit annähernd mit der Fortpflanzungsrichtung des Lichtbündels 2 zusammenfällt. Die Bewegungen der Spitze des Tripelspiegels 3 in Richtung senkrecht zu dix-set nonnenen Führung relativ zur Baueinheit 11 können nun auf fols-zende Weise seaessen werden : Das von der Fotozelle 10 Gelieferte Signal wildeiner elektrischen Schaltung 12 zugeführt, die einen auf die Umlauffrequenz der Blende 8 abgestimmten Wechselstromverstärker sowie zwei phasenempfindliche Verstärker enthalt, die ihr Referenzsignal von dem den Synchronmotor 9 speisendon Iletz 13 erhalten. Der eine dieser phasenenpfindlichon Verstärker torstsrkt das selektivvorverstärkte Signal der Fotozelle 10 j. wesentlichen während einer Halbperiode des Umlaufs der Blende 3, wobei die Mitte dieser Halbperiode mit der Senkrechtstellung der Vante 14 der Blende 8 zusammenfällt, der andere dieser phasenempfindlichen Verstärker verstarkt das selektivvorverstärkte Signal der Fotozelle 10 im wesentlichen während einer Halbperiode des Umlaufs der Blende 8, wobei die Hitte dieser Halbperiode mit der Waagrechtstellung der Kante 14 der Blende 8 zusammenfällt. Die so verstärkten Signale vrorden auf Anzeige-Instruments 15 und 16 Gegeben, die die Abweichung der Mitte des Strahlenbündels 2 von der Drehachse der Blende 8 angeben. Außer den Anzeige-Instrunenten 15 und 16 können davon noch automatische Nachführeinrichtungen für die Drehung der Planparallelplatten 4 und 5 gesteuert werden, so da# der Modulationsgrad des auf die Fotozelle 10 f@llenden Lichtbündels automatisch auf Null zurückgeführt wird, wobei die seitliche Versetzung nun an don Planplattenmikrometern ablesbar ist. The toilets 1 and 4 to 10 are combined on a structural unit 11. Relative to this structural unit 11, the cube corner 3 is approximately in the direction of the | Propagation direction of the light bundle 2 movably guided, for example by the fact that # he for the purpose of checking the straightness of a slide guide on the slide is set, dosses longitudinal mobility approximately with the direction of propagation of the light beam 2 coincides. The movements the tip of the triple mirror 3 in the direction perpendicular to dix-set nuns guide relative to the unit 11 can can now be eaten in the following way: The signal supplied by the photocell 10 wild to an electrical circuit 12, which one on the rotational frequency the aperture 8 matched AC amplifier and two phase-sensitive amplifiers Contains their reference signal from the synchronous motor 9 feed on Iletz 13 obtain. One of these phase-sensitive amplifiers torststrengths the selectively preamplified Signal from photocell 10 j. essential during a half cycle of the circulation of the Aperture 3, the middle of this half-period with the vertical position of the Vante 14 of the diaphragm 8 coincides, the other of these phase-sensitive amplifiers amplifies the selectively pre-amplified signal of the photocell 10 essentially during a half period of the rotation of the diaphragm 8, the Hitte of this half period with the horizontal position of the edge 14 of the panel 8 coincides. The so strengthened Signals are given on display instruments 15 and 16 that show the deviation of the Specify the center of the beam 2 from the axis of rotation of the diaphragm 8. Except for the advertisement instruments 15 and 16 can still have automatic tracking devices for the rotation of the Plane-parallel plates 4 and 5 are controlled, so that # the degree of modulation of the the photocell 10 of the light beam is automatically reduced to zero, the lateral offset can now be read off the planar plate micrometers.

Die Änderung der seitlichen Versetzung des Lichtbündels beträgt in Ubrigen das Doppelte der Änderung der seitlichen Versetzung der Spitze des Tripelspiegels 3. Sofern man sich mit Messungen in einer Querkoordinat. begnügt (nur waagerecht oder nur senkrecht), genügt selbstverstandlich statt des Tripelspiegels ein Winkelspiegel. In diesel Fall kdnnen in der Schaltung 12 natürlich die phasenempfindlichen Verstärker wegfallen. Es genügt ein blo#er Wechselstromverstärker mit einem Anzeige-Instrument. The change in the lateral displacement of the light beam is in The remaining is twice the change in the lateral displacement of the tip of the triple mirror 3. Unless one is concerned with measurements in a transverse coordinate. contented (only horizontally or only vertically), of course, is sufficient instead of the triple mirror a corner mirror. In this case, the circuit 12 can of course use the phase-sensitive Amplifiers are omitted. A mere AC amplifier with a display instrument is sufficient.

Ein bloßer Wechseletromverstarker mit nur einem Anzeige-Instrument würde aber auch dann genügen, wenn man in zwei Querkoordinaten messen will (sowohl waagerecht wie auch senkrecht). Da durch ein solches Anzeige-Instrument der Modulationsgrad des Lichtbiindels ohne Bezug auf die Drehstellung der Blende 8 angezeigt suris, müßte in diesen Fall durch mehrmaliges abwechselndes Verstellen der beiden Planplatten 4 und 5 der Modulationsgrad schrittweise auf Null zurückgeführt werden. Die i Fig. 1 gezeigte Einrichtung mit zwei Anzeige-Instrumenten 15 und 16 hat dem gegenüber den Vorteil der leichteren Rückführbarkeit auf Null, bedingt allerdings einen höheren elektronischen Aufwand. A mere exchange power amplifier with only one display instrument but would also suffice if you want to measure in two transverse coordinates (both horizontally as well as vertically). Because such a display instrument shows the degree of modulation of the bundle of light is displayed without reference to the rotary position of the diaphragm 8, in this case would have to be done by alternately adjusting the two flat plates several times 4 and 5 the modulation depth can be gradually reduced to zero. The i Fig. 1 shown device with two display instruments 15 and 16 has the opposite the advantage of easier traceability to zero, but requires a higher one electronic effort.

In Fig. 5 ist die Anwendung der erfindungsgemä#en Einrichtung zur Steuorung oder Prüfung einer Maschine gezoigt. Bekanntlich werden an die Führungen der verachiebbaren Tische von Meßaaschinen, aber auch von Bearbeitungsmaschinen, immer höhere Anforderungen gestellt. Es lä#t sich auf mechanischem Wege kaum noch eine Steigerung der derzeit erzielten , Führungsgenauigkeiten erwarten, insbesondere nicht über grö#ere Führurgßlon wie sie bei grö#eren Maschinen mit 10 oder mehr Metern Arbeitsboreich vorkommen. Gemä# der im folgenden beschriebenen erfindungsgemä#en Einrichtung ist man nicht mehr auf die Genauigkeit der Führungen angewiesen, sondern man ist in der Laye, trotz fehlorhafter .. 5 shows the use of the device according to the invention for Control or testing of a machine pulled. It is well known that the tours the movable tables of measuring machines, but also of processing machines, increasingly demanding requirements. It can hardly be done mechanically expect an increase in the management accuracies currently achieved, in particular Do not use larger guide glues like those on larger machines with 10 or more meters Work area occur. According to the invention described below Facility one is no longer dependent on the accuracy of the guides, but one is in the laye, despite faulty ..

Führungen gonaue Positionswerte des Tisches zu messen oder einzuregeln. Guides to measure or regulate exact position values of the table.

In Fig. 5 sind mit 17, 18, 19 Einrichtungen der in Fig. 1 beschriebenen Art angedeutet. 20, 21, 22 sind die zuGehorigen Tripelspietel. Letztere sind auf einen in Pfeilrichtung 23 beweglichen Hilfstisch 24 befestigt; nit Hilfe der drei Einrichtungen 17/20, 18/21, 19/22 lä#t sich sowohl die Querabweichung des Schlittens 24 von seiner Bewegungsrichtung 23 in zwei Koordinaten, wie auch seine genaue Winkellage. in Raum in drei Roordinaten bestimmen. Durch ein Jjaser-Interferoaeter 25 beliebiger bekannter Bauart nit Tripelspiegel 26 laßt sich außerdem die Bewegurg des Tisches 24 in Pfeilrichtung 23 messen. Auf dem Hilfstisch 24 sind wiederum drei don Einrichtungen 17,18, 19 iihnliche Einrichtungen 27,28, 29 sovie ein den Iaser-Interferometer 25 ahnliches Laserinterferometer 30 befestigt. Die auf den Hilfstisch 24 befestigten Einrichtungenarbeitennit Tripelspiegeln 31, 32, 33t 34 zuaamaen, die auf dem eigentlichen Maschinentisch 37 befestigt sind, dessen Bowegung gemessen, geprüft oder geregelt werden soll. Er ist längsbeweglich in Pfeilrichtung 35 und 36 geführt. Wie leicht zu sehen ist, lie#e sich die Anordnung selbstverständlich auch auf drei Bewegungakoordinaten des Tisches 37 erweitern. Aus den von den Einrichtungen 17, 18, 19, 25, 27, 28, 29, 30 gelieferten Lagewerten für die Spiegel 20, 21, 22, 26, 31, 32, 33, 34 lä#t sich die Position des Tisches 37 relativ zu einem angenommenen Me#- oder Bearbeitungawerkzeuc 38 nit höchster Genauigkeit bestimmen, ohne daB die nichas nischen Führungen für den Tisch 37 (und auch für den Hilfstisch 24) genau sein müssen. Die Umrechnung der Lagewerte der Spiegel in die Lagekoordinaten des Tisches 37 geschieht zweckmä#igerweise mit Hilfe einer elektronischen Datenverarbeitungsanlage.Gegebenenfallsinsbesonderej < bei Bearbeitungsisa.schinen,kannandissD&tnvssbsitunEsanlageeine V.. I autoaatische NachführoinrichtungfürdsuTich57geschlossensein;! . Qie die lautan, g . ca.. '. :, 'a bring. In FIG. 5, 17, 18, 19 devices are those described in FIG Kind of indicated. 20, 21, 22 are the associated triple spatulas. The latter are on an auxiliary table 24 movable in the direction of arrow 23 is attached; with the help of the three Devices 17/20, 18/21, 19/22 can be both the transverse deviation of the slide 24 of its direction of movement 23 in two coordinates, as well as its exact angular position. determine in space in three coordinates. Through a Jjaser interferometer 25 arbitrary Known design with triple mirror 26 can also be used to move the table Measure 24 in direction of arrow 23. On the auxiliary table 24 there are again three devices 17, 18, 19 similar devices 27, 28, 29 as well as a laser interferometer 25 Similar laser interferometer 30 attached. Those attached to the auxiliary table 24 Facilities work with triple mirrors 31, 32, 33t 34 zuaamaen on the actual Machine table 37 are attached, whose bow movement is measured, checked or regulated shall be. It can be moved longitudinally in the direction of arrows 35 and 36. How easy can be seen, the arrangement could of course also be based on three movement coordinates of table 37 expand. From the facilities 17, 18, 19, 25, 27, 28, 29, 30 delivered position values for the mirrors 20, 21, 22, 26, 31, 32, 33, 34 runs the position of the table 37 relative to an assumed measuring or machining tool 38 can be determined with the greatest possible accuracy without the nichas niche guides for the table 37 (and also for the auxiliary table 24) must be accurate. The conversion the position values of the mirrors in the position coordinates of the table 37 is expediently done with the help of an electronic data processing system <in the case of machining sa.schinen, kannandissD & tnvssbsitunEsanlage a V .. I automatic Tracking device for the uTich57 being closed ;! . Qie the loud, g. approx. '. :, 'a bring.

Claims

Claims 1.) Device for determining the distance of a movable Part of a straight line given by the position of optical components by means of a part that is movable approximately along the straight line mentioned Multiple mirrors, characterized in that the fixed optical elements consist of a laser (1), the parallel light beam (2) on only one surface the angle or triple mirror (3) connected to the movable part strikes, and that means (4-16) are provided which the parallel offset of the under constant Allowed to measure the angle of the reflected light beam (2).

2.) Device according to claim 1, characterized in that # the means (4-16) for the parallel offset of the laser light bundle (2) with which the bundle (2) emitting laser (1) are rigidly connected.

Device according to Claims 1 to 2, characterized in that the Means (4-16) for measuring the parallel offset of the laser light beam (2) partially Dimming aperture (8) with a photoelectric sensor connected behind it (10) included.

4.) device according to claim 3, characterized in that the diaphragm <(8) from a continuously rotating Ssektorblende, z. B. semi-circular aperture, beeteht and the degree of modulation of the interrupted by the rotating diaphragm (8) Laser light beam (2) for display ghost.

5.) Device according to claim 4 with a triple mirror, characterized in that that by two to each other and to the direction of propagation of the laser light beam (2) vertical axes (6u.7) rotatable plane plates (4 and 5) the degree of modulation Mull is traceable, with the parallel displacement of the light beam (2) on the plane-plate micrometers (4 and 5) can be read in a known manner.

6.) Device according to claim 4 with a cube-corner mirror, characterized in that that the degree of hodulation phase-related to the rotation of the sector diaphragm (8) for display got.

7.) Device for keaening or controlling the movement of a 'or multiple coordinates movable table, characterized in that # both facilities (17, 18, 19; 27, 28, 29) to measure the transverse deviations of individual points (mirror 20, 21, 22; 31, 32, 33) of the pocket (24; 37) of predetermined guide directions (23; 36), as well as devices (25; 30) for measuring the longitudinal movement of individual Points (mirror 26; 34) of the table (24; 37) in the directions (23; 36), preferably with the involvement of an electronic data processing system, for calculation the exact coordinates of Tisha (24; 37) have been taken.