DE1521306C

DE1521306C - Process for the electrolytic or chemical application of electrical cable runs

Info

Publication number: DE1521306C
Authority: DE
Inventors: Jean Paul Southampton Piggin Bruce Paul Winchester Hampshire Lenoble (Großbritannien), Setzer, Anton Max, 7030 Boblingen, Vaughan, Eric, Chandlers Ford, Hampshire (Großbritannien)
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Publication date: 1971-12-16

Description

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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum elektret- ihnen in Verbindung stehenden Öffnungen der MaskeThe invention relates to a method for electret connected openings in the mask

lytischen oder chemischen Aufbringen von elektri- dienen der Aufnahme der Elektrolytflüssigkeit,lytic or chemical application of electr- are used to absorb the electrolyte fluid,

sehen Leitungszügen auf einer Trägerschicht unter In Weiterführung dieses Gedankens wird vorge-see cable runs on a carrier layer below.

Verwendung einer mit von ihrer sonst undurch- schlagen, daß die Unterlage für die lichtempfindlicheUse one with one of their otherwise impenetrable that the underlay for the light-sensitive

lässigen Oberfläche ausgehenden, dem Leitungs- 5 Schicht aus porösem und/oder mit Kanälen versehe-outgoing surface, the line 5 layer made of porous and / or provided with channels-

muster nachgebildeten Öffnungen versehenen, isolie- nem Material hergestellt wird, so daß die für diePatterned openings provided, insulating material is produced, so that the for the

renden Maske. nachfolgenden Prozesse erforderlichen Flüssigkeitenrenden mask. subsequent processes required liquids

Bei den bekannten Verfahren zum elektrolytischen in die Öffnungen gelangen können.
Aufbringen von Leitungszügen wird die Maske auf Weiterhin wird vorgeschlagen, daß die Unterlage der als Kathode verwendeten Trägerschicht erzeugt. io als Zylinder ausgebildet und von der Maske und der Beispielsweise wird die Kathode zunächst mit einer daraufliegenden Trägerschicht umschlungen wird, lichtempfindlichen Schicht versehen und entsprechend Die letztgenannte Maßnahme eignet sich, insbesondem Leitungsmuster belichtet und entwickelt. Nach dere dazu, das erfindungsgemäße Verfahren zu autoerfolgtem elektrolytischem Prozeß müssen dann die matisieren.In the known method, the electrolytic can get into the openings.
Application of lines of conductors is applied to the mask. Furthermore, it is proposed that the substrate produce the carrier layer used as the cathode. io designed as a cylinder and the mask and the For example, the cathode is first wrapped with a carrier layer lying thereon, provided with a light-sensitive layer and, accordingly, exposed and developed accordingly. After that, the method according to the invention to auto-performed electrolytic process must then be matized.

Reste der lichtempfindlichen Schicht, also die 15 Weitere Einzelheiten des erfiridungsgemäßen Vereigentliche Maske, von der Trägerschicht getrennt fahfens ergeben sich aus der an Hand der Fig. L werden. . bis 11 erfolgenden Beschreibung. Es zeigtRemnants of the light-sensitive layer, that is, the 15 Further details of what is true according to the invention Mask, separated from the carrier layer, can be seen from the example shown in FIG will. . to 11 below. It shows

Diesen bekannten Verfahren hängen große Nach- F i g. 1 einen vergrößerten Ausschnitt einer Anord-These known processes have great consequences. 1 shows an enlarged section of an arrangement

teile an. Jede Maske kann nur einmal verwendet nung im Querschnitt, bei der das erfindungsgemäßeshare in. Each mask can only be used once

werden, da sie bei der Ablösung von der Träger- 20. Verfahren angewendet ist,as it is used in the process of detachment from the carrier.

schicht zerstört wird. Für jedes einzelne nach diesem ■ . Fig. 2 wie Anode, Kathode und Maske bei der Verfahren hergestellte Leitungsmuster muß demnach Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zueine Maske hergestellt werden. Die Größe und sammengedrückt werden,layer is destroyed. For each one after this ■. Fig. 2 as anode, cathode and mask in the Method produced line pattern must therefore be carried out to one execution of the method according to the invention Mask to be made. The size and being squeezed

Gestalt der in der Maske erzeugten Öffnungen sind Fig. 3a und 3b eine beispielsweise AnordnungThe shape of the openings produced in the mask, FIGS. 3a and 3b are an example of an arrangement

auf der belichteten Seite der Maske exakt bestimmt. 25 zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfah-determined exactly on the exposed side of the mask. 25 for carrying out the method according to the invention

Es hat sich aber gezeigt, daß sich mit zunehmender rens,It has been shown, however, that with increasing rens,

Schichtdicke durch das Entwicklungsverfahren die Fig. 4a, 4b und 4c wie elektrisch leitende Quer-Layer thickness by the development process Figs. 4a, 4b and 4c as electrically conductive transverse

Größe und Gestalt der Öffnungen auf der der be- verbindungen durch Bohrungen zwischen zwei aufSize and shape of the openings on that of the connections through bores between two

lichteten Seite gegenüberliegenden Seite verändern. verschiedenen Seiten einer Schaltungsplatte angeord-Change the cleared side on the opposite side. arranged on different sides of a circuit board

Aus diesem Grunde ist die Ausdehnung der auf der 30 neten Leitungen hergestellt werden,For this reason the expansion of the lines to be made on the 30th

Kathode niedergeschlagenen Leitungszüge nicht ge- Fig. 5a bis 5e die Querschnitte einer Anzahl vonCathode precipitated line runs are not shown

nau bestimmbar. ~ Leiterelementen, die nach dem erfindungsgemäßenprecisely determinable. ~ Conductor elements according to the invention

Gemäß der Erfindung werden diese Nachteile Verfahren hergestellt sind,According to the invention, these disadvantages are produced by methods

dadurch vermieden, daß die Maske mit der Fläche, F i g. 6 den Querschnitt durch eine nach dem erfin-avoided in that the mask with the area, F i g. 6 shows the cross-section through a

von der aus die Maskenöffnungen hergestellt wurden, 35 dungsgemäßen Verfahren hergestellte, zusammen-from which the mask openings were produced, 35 produced according to the method, combined

die Öffnungen abdichtend auf die Trägerschicht ge- gesetzte Schaltung,circuit placed on the carrier layer in a sealing manner,

drückt wird, die zumindest beim■ elektrolytischen Fig. 7 die Anwendung des erfindungsgemäßenis expressed, at least in the case of ■ electrolytic Fig. 7 the application of the invention

Verfahren einen dann als Kathode dienenden dünnen Verfahrens in einer weiteren Anordnung,Process a thin process then serving as a cathode in a further arrangement,

Metallüberzug trägt, daß anschließend die Leitungs- Fig. 8, 9 und 10 wiederum eine Anordnung zurMetal coating carries that then the line Fig. 8, 9 and 10 in turn an arrangement for

züge auf den. durch die mit der Lösung des ver- 40 Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrenstrains on the. by carrying out the method according to the invention with the solution of the problem

wendeten Bades in Verbindung stehenden Öffnungen undapplied bath related openings and

begrenzten Bereichen niedergeschlagen werden und Fig. 11 eine Anordnung zur Automatisierung deslimited areas are deposited and FIG. 11 shows an arrangement for automating the

daß schließlich die Maske von der Trägerschicht erfindungsgemäßen Verfahrens,that finally the mask from the carrier layer according to the method according to the invention,

entfernt und der dünne Metallüberzug abgeätzt wird. · . Fig. 1 zeigt eine aus zwei Schichten bestehenderemoved and the thin metal coating is etched away. ·. Fig. 1 shows one consisting of two layers

Durch diese Maßnahmen werden größere Genauig- 45 Anode 14 und eine aus zwei Schichten bestehendeThese measures result in a larger accuracy 45 anode 14 and one consisting of two layers

keit der Abmessungen der niedergeschlagenen Lei- Kathode 15. Die Anode 14 besteht aus einer Metall-speed of the dimensions of the deposited lei cathode 15. The anode 14 consists of a metal

tungszüge erzielt, die Maske kann mehrmals ver- platte 16, auf der eine isolierende Schicht als MaskeThe mask can be plate 16 several times, on which an insulating layer acts as a mask

wendet werden und muß nicht jedesmal neu her- 17 angebracht ist. Die sonst undurchlässige Maske 17can be turned and does not have to be remounted every time. The otherwise impermeable mask 17

gestellt werden. . weist eine Öffnung 18 auf. In der Metallplatte 16,be asked. . has an opening 18. In the metal plate 16,

Insbesondere wird vorgeschlagen, daß die Öffnun- 50 die auch porös sein kann, befindet sich ein Einschnitt gen der Maske in an sich, bekannter Weise durch 20, der mit der Öffnung 18 in der Maske 17 in Vereine das gewünschte Leitungsmuster nachbildende bindung steht. Die Kathode 15 besteht aus einer aus Belichtung und Entwicklung einer lichtempfindlichen, Isoliermaterial bestehenden Grundplatte 22, auf der isolierenden Schicht erzeugt werden und anschließend eine dünne Metallschicht 23, beispielsweise Kupfer, die Schicht mit der belichteten Seite auf der Träger- 55 mittels eines der gebräuchlichen Verfahren niederschicht angebracht wird. geschlagen ist.In particular, it is proposed that the opening 50, which can also be porous, is an incision gene of the mask in per se, known manner by 20, which is with the opening 18 in the mask 17 in clubs the desired line pattern simulating bond. The cathode 15 consists of one of Exposure and development of a photosensitive, insulating material existing base plate 22 on which insulating layer are generated and then a thin metal layer 23, for example copper, the layer with the exposed side is deposited on the carrier using one of the customary methods is attached. is beaten.

Es wird außerdem vorgeschlagen, daß die licht- Die Anode 14 und die Kathode 15 befinden sichIt is also proposed that the light- The anode 14 and the cathode 15 are located

empfindliche Schicht vor der Belichtung auf eine in einem in der F i g. 1 nicht dargestellten elektroly-sensitive layer prior to exposure on one in one in the Fig. 1 not shown electrolyte

Unterlage gebracht wird und durch die Entwicklung tischen Bad und werden so zusammengepreßt, daßPad is brought and through the development tables bath and are pressed together so that

bis zur Unterlage reichende öffnungen erzeugt wer- 60 die Oberfläche 19 der Maske 17 dicht auf der Metall-Openings reaching as far as the base are produced, the surface 19 of the mask 17 is produced tightly on the metal

den. Besondere Vorteile ergeben sich dadurch, daß schicht 23 anliegt und der Elektrolyt somit nur inthe. Particular advantages result from the fact that layer 23 is applied and the electrolyte thus only in

als Unterlage für die lichtempfindliche Schicht eine die Öffnung 18 und den Einschnitt 20 eindringenThe opening 18 and the incision 20 penetrate as a base for the photosensitive layer

für einen nachfolgenden elektrolytischen Prozeß als kann. Der gebildete Raum ist nach unten durch diefor a subsequent electrolytic process than can. The space formed is down through the

Anode dienende Metallschicht verwendet wird. Metallschicht 23 abgegrenzt. Über die in Fig. 1Metal layer serving as anode is used. Metal layer 23 delimited. About the in Fig. 1

Weiterhin hat es sich als günstig erwiesen, daß vor 65 schematisch dargestellten, mit der Metallplatte 16Furthermore, it has been found to be advantageous that, shown schematically in front of 65, with the metal plate 16

dem elektrolytischen Prozeß durch die Öffnungen und der Metallschicht 23 verbundenen elektrischenthe electrolytic process through the openings and the metal layer 23 connected electrical

Einschnitte in die als Anode dienende Metallschicht Leitungen fließt ein Strom von der Metallplatte 16,Incisions in the metal layer serving as anode lines, a current flows from the metal plate 16,

eingeätzt werden. Diese Einschnitte und die mit die den löslichen Teil der Anode darstellt, über dento be etched. These incisions and the one with which represents the soluble part of the anode over the

Elektrolyten in der Öffnung 18 und den Einschnitt 20 zur Metallschicht 23, die einen Teil der Kathode darstellt. Auf diese Weise gelangt Metall vom Elektrolyten und von der Metallplatte 16 zur Metallschicht 23, wird dort niedergeschlagen und bildet den in der F i g. I dargestellten metallischen Niederschlag 25. Die Wandungen 26 der Öffnung 18 in der Maske 17 wirken als Schablone für die Ausdehnung und Form des Niederschlages 25. Voraussetzung ist, daß die Oberfläche 19 der Maske 17 mit der Metallschicht 23 besonders im Bereich der Begrenzungslinien der Öffnung 18 in enger Verbindung steht und dadurch eine abdichtende Wirkung entsteht.Electrolyte in the opening 18 and the incision 20 to the metal layer 23, which is part of the cathode represents. In this way, metal from the electrolyte and from the metal plate 16 gets to the metal layer 23, is struck down there and forms the one shown in FIG. I depicted metallic precipitate 25. The walls 26 of the opening 18 in the mask 17 act as a template for the expansion and shape of the deposit 25. The prerequisite is that the surface 19 of the mask 17 with the metal layer 23 is in close connection especially in the area of the boundary lines of the opening 18 and this creates a sealing effect.

Die Anode 14 wird z. B. auf folgende Weise hergestellt. Auf eine Kupferplatte wird eine isolierende lichtempfindliche Schicht aufgebracht. Diese Schicht wird an bestimmten Stellen belichtet und dann entwickelt. Dabei werden die nicht belichteten Teile entfernt. In einem darauffolgenden Ätzverfahren werden in der Kupferplatte an den bei der Entwicklung entstandenen Öffnungen 18 der lichtempfindlichen Schicht Einschnitte 20 ausgeätzt. Die Größe und Gestalt der öffnung 18 wird auf der der Kupferplatte abgewandten Seite exakt durch die Belichtung bestimmt. Die Größe der .Öffnung 18 verringert sich aber allmählich in Richtung auf die Kupferplatte, d. h., die Wandungen 26 sind nach innen geneigt. Dieser Effekt hängt mit der lichtempfindlichen Schicht und mit dem Entwicklungsverfahren zusammen und ist um so ausgeprägter, je dicker die lichtempfindliche Schicht ist. Die Größe und Gestalt der Öffnung 18 an der Kupferplatte 16 kann somit nicht genau vorherbestimmt werden. Daher ist dieses Verfahren immer dann besonders geeignet, wenn in erster Linie die Querschnittsfläche des Niederschlages 25 von Bedeutung ist.The anode 14 is z. B. made in the following manner. On a copper plate is an insulating light-sensitive layer applied. This layer is exposed at certain points and then developed. The unexposed parts are removed. In a subsequent etching process are in the copper plate at the openings 18 of the photosensitive created during development Layer of incisions 20 etched out. The size and shape of the opening 18 is determined exactly by the exposure on the side facing away from the copper plate definitely. However, the size of the opening 18 gradually decreases in the direction of the copper plate, d. i.e., the walls 26 are inclined inward. This effect depends on the photosensitive Layer and together with the development process and is the more pronounced the thicker the photosensitive Shift is. The size and shape of the opening 18 on the copper plate 16 can therefore not be precisely predetermined. This method is therefore always particularly suitable when in primarily the cross-sectional area of the precipitate 25 is important.

In F i g. 2 ist im Querschnitt eine Anordnung dargestellt, mit der die Anode 14 und die Kathode 15 zusammengepreßt werden. Der Elektrolyt befindet sich in einem Raum 30. Über zwei Rohre 31 und 32 wird unter Druck Flüssigkeit oder Gas, beispielsweise. Wasser oder Luft, zugeführt, so daß zwei Gummimembranen 33 und 34, die dicht mit den Außenwänden 35 und 36 abschließen, gegeneinandergedrückt werden. .In Fig. 2 shows an arrangement in cross section, with which the anode 14 and the cathode 15 are pressed together. The electrolyte is located in a room 30. Liquid or gas, for example, is pressurized via two tubes 31 and 32. Water or air, supplied so that two rubber diaphragms 33 and 34, which are tight with the Outer walls 35 and 36 complete, are pressed against each other. .

Nach erfolgtem Niederschlag wird der Strom abgeschaltet und die Rohre 31 und 32 drucklos gemacht. Anode 14 und Kathode 15 werden nunmehr zusammen aus dem Elektrolyten entfernt, in senkrechter Richtung voneinander getrennt und anschließend gewässert. Die Kathode 15 wird darauf einem Ätzprozeß ausgesetzt, der gerade ausreichend ist, die Teile der Metallschicht 23, auf denen sich kein metallischer Niederschlag 25 befindet, zu entfernen.After precipitation has taken place, the current is switched off and the pipes 31 and 32 are depressurized. Anode 14 and cathode 15 are now removed together from the electrolyte, in a vertical position Direction separated from each other and then watered. The cathode 15 is on a Etching process exposed, which is just sufficient, the parts of the metal layer 23 on which there is no metallic deposit 25 is located, to remove.

Ein besonderer Vorteil dieses Verfahrens ist, daß die Anode 14 viele Male verwendet werden kann» ohne daß die Maske 17 erneuert werden muß. Falls erwünscht, kann das nach einer oder mehrmaliger Verwendung der Anode in den Einschnitten 20 elektrolytisch abgetragene Metall in einem zusätzlichen Verfahrensschritt wieder in einem elektrolytischen Bad ersetzt werden, ohne die Maske 17 von der Metallplatte 16 zu trennen. Zu diesem Zweck wird die Anode eine bestimmte Zeit lang als Kathode verwendet. .A particular advantage of this process is that the anode 14 can be used many times » without the mask 17 having to be renewed. If desired, this can be done one or more times Use of the anode in the incisions 20 electrolytically removed metal in an additional Process step can be replaced again in an electrolytic bath without the mask 17 from the Metal plate 16 to separate. For this purpose, the anode is called the cathode for a certain period of time used. .

Als Material für die isolierende Maske 17 erweist sich für komplizierte Muster von öffnungen am besten eine lichtempfindliche Folie oder Schicht.The material for the insulating mask 17 has proven to be complicated patterns of openings on the best a photosensitive film or layer.

Besteht beispielsweise der lichtempfindliche Überzug aus einer auf die Metallschicht aufgeklebten Folie, so muß darauf geachtet werden, daß beim Entwicklungsprozeß der Klebstoff in den Durchbrüchen völlig entfernt wird. Nur dann kann das Metall mit dem Elektrolyten in den Durchbrüchen in Berührung kommen. Besteht die Metallplatte 16 nicht aus dem für den Niederschlag gewünschten Material, so kann die Metallplatte durch die in der lichtempfindlichenFor example, if the light-sensitive coating consists of a film glued to the metal layer, so care must be taken that the adhesive is in the breakthroughs during the development process is completely removed. Only then can the metal come into contact with the electrolyte in the breakthroughs come. If the metal plate 16 does not consist of the material desired for the precipitation, it can the metal plate through the in the photosensitive

ίο Schicht gebildeten Öffnungen ausgeätzt und anschließend das gewünschte Metall elektrolytisch an diesen Stellen niedergeschlagen werden.ίο layer formed openings and then etched the desired metal can be deposited electrolytically at these points.

An Stelle des lichtempfindlichen Materials für die isolierende Maske kann natürlich auch nicht lichtempfindliches, isolierendes Material verwendet werden. Zum Beispiel kann die Maske aus einer Kunststoffschicht hergestellt werden, in die die Durchbriiche vor dem Aufbringen auf die Metallplatte 16 eingestanzt werden. Andererseits kann die Maske zunächst in Form eines Kunststoffüberzuges auf die Metallplatte aufgebracht und dann mechanisch oder mit einem Elektronen- oder Laserstrahl angerissen werden.Instead of the light-sensitive material for the insulating mask, non-light-sensitive, insulating material can be used. For example, the mask can be made from a layer of plastic are made into which the breakthroughs be punched onto the metal plate 16 prior to application. On the other hand, the mask can first applied to the metal plate in the form of a plastic coating and then mechanically or be torn with an electron or laser beam.

Weiterhin kann die Anode aus einer Reihe von Metallplatten aufgebaut sein, zwischen denen isolierende Platten angeordnet sind. Die isolierenden Platten enden in einer gemeinsamen Ebene, während die Metallplatten kurz vor dieser Ebene enden, so daß Einschnitte zwischen den isolierenden Platten und den Metallplatten gebildet werden. In diesem Falle erstrecken sich die Metallplatten und die isolierenden Platten senkrecht zur wirksamen Oberfläche. Furthermore, the anode can be constructed from a number of metal plates, between which insulating Plates are arranged. The insulating plates end in a common plane while the metal plates end just before this level, making cuts between the insulating plates and the metal plates are formed. In this case, the metal plates and the extend insulating plates perpendicular to the effective surface.

Die in F i g. 3 a gezeigte Anlage kann dazu benutzt werden, gleichzeitig auf beiden Seiten Leitungszüge, also metallische Niederschläge, aufzubringen. Die Anlage besteht aus einem Behälter 40, dessen Deckel 41 mit Schrauben 42 befestigt wird. Der Deckel 41 weist eine Öffnung 43 auf, die von ,einem in das Behälterinnere zeigenden Flansch 44 begrenzt wird. An diesem Flansch ist ein Rahmengestell 45 (s. Fig. 3b) befestigt. Über das Gestell ist ein flexibler, beispielsweise aus Gummi oder synthetischem Kunststoff bestehender Beutel 46 gezogen. Er ist etwas größer als das Rahmengestell 45 und ist durch nicht gezeigte Mittel dicht mit dem Flansch 44 verbunden. Der Behälter 40 mit dem Deckel 41 und dem Beutel 46 begrenzen einen dicht abgeschlossenen Raum 47. Ultraschallschwinger 48 und 49 μηα ein durch einen Thermostaten geregelter Erhitzer 50 sind in den Wänden des Behälters 40 eingebaut. Eine am Deckel 41 befestigte Röhre 52 steht in Verbindung mit dem abgeschlossenen Raum 47, An diese . Röhre 52 ist außer einem Druckmesser 53 das Einlaß- und Auslaßrohr 54 und 55 angeschlossen, die mit einem Absperrventil versehen sind. Am Deckel ist außerdem ein Überflußstutzen 57 angebracht, dessen Innenraum 58 mit dem Inneren des Beutels 46 in Verbindung steht.The in F i g. 3 a shown system can be used to apply cable runs, i.e. metallic deposits, on both sides at the same time. the The system consists of a container 40, the cover 41 of which is fastened with screws 42. The lid 41 has an opening 43 which is delimited by a flange 44 pointing into the interior of the container. A frame 45 (see FIG. 3b) is attached to this flange. A flexible, for example, made of rubber or synthetic plastic bag 46 drawn. He is something larger than the frame 45 and is tightly connected to the flange 44 by means not shown. The container 40 with the lid 41 and the bag 46 delimit a tightly sealed space 47. Ultrasonic vibrators 48 and 49 μηα one through one Thermostatically controlled heaters 50 are built into the walls of the container 40. One on the lid 41 fixed tube 52 is in communication with the closed space 47, to this. Tube 52 is except for a pressure gauge 53, the inlet and outlet pipes 54 and 55 connected, which with a Shut-off valve are provided. On the cover, an overflow nozzle 57 is also attached, the Interior 58 with the interior of the bag 46 is in communication.

Im Gebrauch wird der Behälter 40 mit Flüssigkeit, beispielsweise Wasser, gefüllt und der Deckel 41 befestigt. Die Elektrolytflüssigkeit wird dann in den Beutel 46 geschüttet, bis der Flüssigkeitsspiegel den Flansch 44 erreicht. Daraufhin wird in den Beutel 46, d.h. in den Elektrolyten, ein Kathodenteil 59, umgeben von zwei Anodenteilen 60 und 61, in loser Anordnung eingelegt. Die Teile sind durch in der Figur nicht dargestellte Führungsstifte in ihrer LageIn use, the container 40 is filled with liquid, for example water, and the lid 41 attached. The electrolyte liquid is then poured into the bag 46 until the liquid level is Flange 44 reached. A cathode part 59 is then placed in the bag 46, i.e. in the electrolyte. surrounded by two anode parts 60 and 61, inserted in a loose arrangement. The parts are through in the Figure, not shown guide pins in their position

zueinander justiert. Beispielsweise trägt die Kathode diese Führungsstifte, während .die Anode Führungslöcher aufweist, so daß Kathoden- und Anodenteil etwas voneinander getrennt werden können. Der Kathodenteil besteht aus einer isolierenden Schicht, die auf beiden Seiten metallisiert ist. Jeder Anodenteil ist so, wie bereits an Hand der Fig. 1 erläutert, ausgebildet. Die elektrischen Zuleitungen sind in der F i g. 3 a schematisch, angedeutet.adjusted to each other. For example, the cathode carries these guide pins, while the anode has guide holes so that the cathode and anode part something can be separated from each other. The cathode part consists of an insulating layer, which is metallized on both sides. Each anode part is as already explained with reference to FIG. 1, educated. The electrical leads are shown in FIG. 3 a schematically indicated.

Die Ultraschallschwinger 48 und 49 werden erregt, um etwa vorhandene Luftblasen aus dem Elektrolyten zwischen Anoden- und Kathodenteil zu entfernen. Der abgeschlossene Raum 47 wird nun über das Einlaßrohr 54 unter Druck gesetzt, so daß die Wände des Beutels 46 nach innen gegen die Anodenteile gepreßt werden. Die beiden Anodenteile werden dadurch fest gegen die metallisierten Oberflächen des Kathodenteils .gedrückt und die überschüssige Elektrolytflüssigkeit sammelt sich ..im Überflußstutzen 57. Der Erhitzer 50 hält den Elektrolyten auf einer ge- so eigneten Temperatur, während den Teilen 59, 60, 61 über einen vorbestimmten Zeitraum hinweg Strom zugeführt wird. Schließlich wird die Auslaßröhre 55 an Stelle der Einlaßröhre 54 mittels ihres Ventils mit dem Innenraum 47 verbunden, so daß der Elektrolyt aus dem Überflußstutzen 57 in den Beutel 46 zurückfließt und die Teile 59. 60, 61 nicht mehr zusammengepreßt werden. Die Teile werden zusammen herausgezogen und in senkrechter Richtung voneinander getrennt, ehe der Kathodenteil gewässert und, wie bereits beschrieben, einem kurzen Ätzprozeß unterzogen wird.The ultrasonic vibrators 48 and 49 are excited to remove any air bubbles from the electrolyte to be removed between the anode and cathode part. The locked room 47 is now over the inlet tube 54 is pressurized so that the walls of the bag 46 inwardly against the anode parts be pressed. The two anode parts are firmly against the metallized surfaces of the Cathode part. Pressed and the excess electrolyte liquid collects .. in the overflow connection 57. The heater 50 keeps the electrolyte on a similar level suitable temperature, while the parts 59, 60, 61 current for a predetermined period of time is fed. Finally, the outlet pipe 55 is replaced by the inlet pipe 54 by means of its valve connected to the interior space 47, so that the electrolyte flows back from the overflow connection 57 into the bag 46 and the parts 59, 60, 61 are no longer pressed together. The parts are pulled out together and separated from each other in the vertical direction before the cathode part is watered and how already described, is subjected to a short etching process.

Die F i g. 4 a, 4 b und 4 c zeigen, wie durch das erfindungsgemäße Verfahren zwischen auf beiden Seiten einer Schaltungsplatte niedergeschlagenen Leitungszügen elektrisch leitende Querverbindungen hergestellt werden können. In Fig.4a sind zwei aus Kunststoff bestehende Masken 64 und 65 dargestellt, in denen sich mehrere auf mechanischem Wege hergestellte Schlitze 66 befinden. Die Maske 65 trägt zwei aus Isoliermaterial bestehende Stifte 68. Diese passen in die Bohrungen 69 in der Maske 64, so daß die beiden Masken in ihrer Lage zueinander justiert werden, beispielsweise so, daß die vergrößerten kreisförmigen Ausnehmungen der Schlitze 66 übereinanderliegen. Außerdem lassen sich die Masken mit den Stiften 68 bzw. den Bohrungen 69 über einen kurzen Bereich in senkrechter Richtung zueinander bewegen.The F i g. 4 a, 4 b and 4 c show how by the method according to the invention between on both Electrically conductive cross-connections on the sides of a circuit board can be produced. In Fig.4a two are off Plastic existing masks 64 and 65 shown, in which several mechanically produced Slots 66 are located. The mask 65 carries two pins 68 made of insulating material. These fit into the bores 69 in the mask 64, so that the two masks are adjusted in their position to one another are, for example, so that the enlarged circular recesses of the slots 66 are superimposed. In addition, the masks with the pins 68 or the bores 69 can be via a move a short area in a vertical direction to each other.

F i g . 4b zeigt die Anordnung der Masken 64 und 65 zusammen mit anderen Teilen vor dem eigentlichen Niederschlagprozeß. Die Stifte 68 wurden aus Vereinfachungsgründen weggelassen. Der gezeigte Querschnitt erstreckt sich entlang'zweier entsprechender Schlitze 66. Eine Kathode, bestehend aus einer Folie aus synthetischem Kunststoff, ist zwischen den Masken 64 und 65 angeordnet. Aus dem Kathodenteil 72 sind den kreisförmig vergrößerten Ausnehmungen der Schlitze 66 entsprechende Bohrungen 73 ausgestanzt. Außerdem befinden sich zwei weitere, in der Figur nicht dargestellte Bohrungen im Kathodenteil 72, die zusammen mit den Stiften 68 die richtige Lage des Kathodenteils 72 bezüglich der Masken 65 bestimmen. Schließlich werden beide Seiten und die Wände der Bohrungen 73 beispielsweise durch Aufdampfen oder chemisches Niederschlagen verkupfert. Die Masken 64 und 65 und der Kathodenteil 72 werden nun zwischen zwei Anodenteilen 75 und 76 angeordnet, die beide aus einer mit Kupfer beschichteten synthetischen Kunststoff-Folie bestehen. Die Anordnung der Anodenteile erfolgt so, daß die jeweils kupferbeschichtete Seite auf einer Maske zu liegen kommt. Auch im Anodenteil 75 sind nicht dargestellte Bohrungen für die Stifte 68 vorhanden, so daß sämtliche Teile 64, 72, 65 und 75 aufeinandergepreßt werden können. Auch der Anodenteil 76 wird in erfindungsgemäßer Weise während des Niederschlagprozesses gegen die Maske 64 gepreßt.F i g. 4b shows the arrangement of the masks 64 and 65 together with other parts before the actual one Precipitation process. The pins 68 have been omitted for the sake of simplicity. The one shown Cross section extends along two corresponding slots 66. A cathode, consisting of a Synthetic plastic film is disposed between masks 64 and 65. From the cathode part 72 are bores 73 corresponding to the circular enlarged recesses of the slots 66 punched out. In addition, there are two further bores, not shown in the figure, in the cathode part 72, which together with the pins 68 the correct position of the cathode part 72 with respect to the Define masks 65. Eventually, both sides and the walls of the bores 73 become for example copper-plated by vapor deposition or chemical deposition. The masks 64 and 65 and the Cathode part 72 are now arranged between two anode parts 75 and 76, both of which consist of one with Are made of copper coated synthetic plastic film. The anode parts are arranged in such a way that that the copper-coated side comes to rest on a mask. Also in the anode part 75 are Bores, not shown, for the pins 68, so that all parts 64, 72, 65 and 75 can be pressed together. The anode part 76 is also used in a manner according to the invention of the deposition process pressed against the mask 64.

Die in dieser Weise zusammengepreßten Teile werden in der bereits beschriebenen Weise im Behälter 40 der F i g. 3 a untergebracht und behandelt. Das erfindungsgemäße Verfahren gestattet auch Leitungszüge mit veränderlichem Querschnitt auf einer Schaltungsplatte aufzubringen. Dazu erhält die Maske Durchbrüche, die ein Negativ der gewünscht ten Form der Leiter darstellen. Mit anderen Worten, die Durchbrüche in der Maske entsprechen exakt der gewünschten Form der Leiter. Bedingung ist jedoch, daß sich der Querschnitt stets nach oben hin, also von der Schaltungsplatte weg, verjüngen muß, da sich sonst die Maske nach dem Niederschlagen der Leitungszüge nicht mehr zerstörungsfrei abnehmen ließe. Einige solcher Leiterelemente sind in Fig. 5 dargestellt. Es ist sofort zu ersehen, daß sich die Masken nach dem elektrolytischen Prozeß leicht vom Kathodenteil trennen lassen.The parts pressed together in this way are in the container in the manner already described 40 of FIG. 3 a housed and treated. The method according to the invention also allows Apply cable runs with variable cross-section on a circuit board. In addition, the Mask breakthroughs that represent a negative of the desired shape of the conductor. In other words, the openings in the mask correspond exactly to the desired shape of the conductor. condition is however, that the cross-section must always taper upwards, i.e. away from the circuit board, otherwise the mask cannot be removed non-destructively after the lines have been knocked down let. Some such conductor elements are shown in FIG. It can be seen at once that the masks can be easily separated from the cathode part after the electrolytic process.

F i g. 5 a zeigt einen T-förmigen, F i g. 5 b einen L-förmigen und Fig. 5c einen trapezförmigen Querschnitt des Leiters. F i g. 5 d stellt eine Leiterfläche mit einem Stift und Fig. 5e einen Leiter mit veränderlicher Dicke dar.F i g. 5 a shows a T-shaped, F i g. 5 b an L-shaped and FIG. 5 c a trapezoidal cross section of the head. F i g. 5d shows a conductor surface with a pin and FIG. 5e a conductor with a variable Thickness.

Weiterhin gestattet das erfindungsgemäße Verfahren die Herstellung mehrlagiger gedruckter Schaltungen. F i g. 6 zeigt einen Schaltkreis, bei dem die leitenden Teile mit dem Bezugszeichen 82 und 88 bezeichnet sind. Die Leiterteile werden auf einem Kathodenteil 89 in einem dem an Hand der F ig. 5 a, 4d und 4c beschriebenen Verfahren aufgebracht. Die Leiterteile 82 bis 85 entsprechen beispielsweise dem in F i g. 5 d gezeigten. Die Leiterteile 82, 83 und 84, 85 bilden zwei Kapazitäten. Mit dem Bezugszeichen 86 ist eine leitende Querverbindung zwischen den Leiterteilen 87, 88 bezeichnet, die auf gegenüberliegenden Seiten des Kathodenteils 89 angebracht sind.Furthermore, the method according to the invention allows the production of multilayer printed circuits. F i g. 6 shows a circuit in which the conductive parts are designated by the reference numerals 82 and 88 are designated. The conductor parts are on a cathode part 89 in one of the hand of the Fig. 5 a, 4d and 4c described method applied. The conductor parts 82 to 85 correspond, for example the one shown in FIG. 5d shown. The conductor parts 82, 83 and 84, 85 form two capacitances. Reference numeral 86 denotes a conductive cross connection between the conductor parts 87, 88, which are mounted on opposite sides of the cathode part 89.

Nach der Fertigstellung der Leiterelemente 82 bis 88 und der leichten Abätzung des Kathodenteils zur Entfernung der Metallschicht, auf der kein Kupfer niedergeschlagen wurde, werden die Zwischenräume zwischen den Elementen 82 bis 88 mit ungehärtetem Kunstharz 90 aufgefüllt und das Kunstharz ausgehärtet. Die Oberflächen des Schaltungsblockes werden geschliffen, poliert und gereinigt, so daß das Kunstharz 90 und die Leiterelemente 82 bis 88 ebene Oberflächen bilden. Daraufhin werden die gegenüberliegenden Flächen des Schaltungsblockes metallisiert· und die Leiterelemente 91 bis 96 in einem zusätzlichen erfindungsgemäßen Verfahren aufgebracht.After the completion of the conductor elements 82 to 88 and the slight etching of the cathode part the gaps are used to remove the metal layer on which no copper has been deposited between the elements 82 to 88 filled with uncured synthetic resin 90 and the synthetic resin hardened. The surfaces of the circuit block are sanded, polished and cleaned, so that the synthetic resin 90 and the conductor elements 82 to 88 form flat surfaces. Thereupon be the opposite surfaces of the circuit block are metallized · and the conductor elements 91 to 96 applied in an additional method according to the invention.

Diese Technik kann auch dazu benutzt werden, »gedruckte Spulen« oder Mehrplattenkondensatoren herzustellen.This technique can also be used to create "printed coils" or multi-plate capacitors to manufacture.

Die Anordnung gemäß Fig. 7 besteht aus einem Behälter 100, an dessen einer Seite eine flexible Membran 101 dicht angebracht ist. Die Membran 101The arrangement according to FIG. 7 consists of one Container 100, on one side of which a flexible membrane 101 is tightly attached. The membrane 101

kann über cine Röhre 102 aufgebläht werden. Eine gitterartige, durchlässige Zwischenwand 103 erstreckt sich in senkrechter Richtung durch den Behälter 100. Sobald die Membran 101 aufgebläht wird, drückt sie einen Kathodenteil 104 gegen eine Maske 105, die durch die Zwischenwand 103 in ihrer Lage festgehalten wird. Der Kathodenteil 104 entspreche der an Hand der Fig. 1 beschriebenen Anordnung. Die Maske 105 setzt sich aus einer Unterlage, die auscan be inflated via a tube 102. A lattice-like, permeable partition 103 extends vertically through the container 100. As soon as the membrane 101 is inflated, it presses a cathode part 104 against a mask 105 which is held in place by the partition 103. The cathode part 104 corresponds to the arrangement described with reference to FIG. 1. The mask 105 is made up of a base that

zur Entfernung der Metallschicht auf der Kathode an den Stellen, an denen kein derartiges Metall elektrolytisch niedergeschlagen wurde, benutzte Ätzmittel widerstandsfähig ist.to remove the metal layer on the cathode at the points where no such metal is electrolytically has been deposited, the etchant used is resistant.

Die in den Fig. 8 bis 10 gezeigte Anordnung be.r steht aus einem Behälter 115, der auf zwei gegenüberliegenden Seiten über Rohre 118 bzw. 119 aufblähbare Membranen 116 und 117 aufweist. Im Bewird der Elektrolyt während des Niederschlagprozesses ständig umgewälzt und ihm gleichzeitig die zusätzlichen Mittel ständig hinzugefügt, so daß deren Konzentration gleichbleibt.The arrangement shown in FIGS. 8 to 10 consists of a container 115 which has membranes 116 and 117 which can be inflated via tubes 118 and 119 on two opposite sides. In the water, the electrolyte is constantly circulated during the precipitation process and at the same time the additional agents are constantly added so that their concentration remains the same.

Der Elektrolyt gelangt über die poröse Trägerschicht 122 oder 126 an den Anodenteil. Falls erforderlich, können weitere Kanäle in der dem Anodenteil gegenüberliegenden porösen Trägerschicht 122, 126 angebracht werden, so daß der Elektrolyt direktThe electrolyte reaches the anode part via the porous carrier layer 122 or 126. If necessary, further channels can be provided in the porous carrier layer 122, 126 opposite the anode part, so that the electrolyte directly

durchlässigem synthetischen Kunststoff besteht und io in Kontakt mit dem Anodenteil kommt. Durch die der eigentlichen isolierenden Maske 108 zusammen. Umwälzung des Elektrolyten ergibt sich der Vorteil, Die Unterlage 107 kann auch aus gesintertem, durch- daß die Stromdichte erhöht und damit die für eine lässigem Gas bestehen. Zur Herstellung der Maske bestimmte Metallmenge notwendige Niederschlagszeit wird auf die ,Unterlage 107 eine Schicht lichtpoly- verkürzt werden kann. Außerdem kann der Ansaugmerisiercnden Kunststoffmaterials aufgebracht, ge- 15 teil der nicht .dargestellten Pumpe mit den beiden eignet belichtet und entwickelt. Auf diese Weise Einlaßkanälen 130 verbunden und der Behälter 115 können Masken verhältnismäßig dicker hergestellt bis über das untere Ende der Kanäle 131 mit dem werden, als dies bei lichtempfindlichen Schichten der Elektrolyten gefüllt gehalten werden. Der hierbei ent-FaIl ist. Die Unterlage 107 und die eigentliche Maske stehende Sog bewirkt dann zusätzlich, daß die Masken 108 müssen selbstverständlich so angeordnet sein, 20 121 und 125 gegen den Kathodenteil 124 gepreßt daß der sich im Behälter 100 befindliche Elektrolyt werden.Permeable synthetic plastic and comes into contact with the anode part. By the actual insulating mask 108 together. Circulation of the electrolyte results in the advantage that the base 107 can also be made of sintered material, which increases the current density and thus provides for a permeable gas. Precipitation time necessary for the production of the mask, a certain amount of metal, is applied to the base 107 and a layer of light poly can be shortened. In addition, the suction-merizing plastic material can be applied, part of the pump (not shown) with the two suitably exposed and developed. In this way, inlet channels 130 connected and the container 115 masks can be made relatively thicker than the lower end of the channels 131 than are kept filled with light-sensitive layers of the electrolyte. The one here is wrong. The base 107 and the actual mask properties suction causes then also that the masks 108 have to be arranged of course so, 20 121 and 125 pressed against the cathode part 124 that the electrolyte is present in the vessel 100 are.

durch die durchlässige Unterlage in die Durchbräche Weiterhin gestattet die Anordnung gemäß derFurthermore, the arrangement according to the

der Maske eindringen kann. . F i g. 8 bis 10 aus chemisch neutralem, unlöslichemthe mask can penetrate. . F i g. 8 to 10 of chemically neutral, insoluble

Mit einer Anordnung gemäß F i g. 7 kann auf elek- Material, wie Platin oder Graphit, bestehende Antrolylischem Wege ein Metall auf dem Kathodenteil 25 odenteile zu verwenden. Als Elektrolyt werden nachniedergcschlagen werden, das gegen das nachfolgend einander mehrere verschiedene Lösungen verwendet,With an arrangement according to FIG. 7 can be made of antrolylic materials such as platinum or graphite Ways to use a metal on the cathode part 25 or parts. The electrolyte is precipitated which uses several different solutions against each other,

so daß nacheinander verschiedene Metallionen auf dem Kathodenteil niedergeschlagen werden. Auf diese Weise kann beispielsweise zunächst Kupfer und 30 dann Gold über dem Kupfer niedergeschlagen werden. Die verschiedenen Elektrolyte und die Waschlösung befinden sich in getrennten Vorratsbehältern, die über Rohre und Ventile mit der Pumpe bzw. dem Behälter 115 in Verbindung stehen. Da sich.in dietrieb pressen die Membranen folgende Teile zusam- 35 sem Falle die Anoden nicht auflösen, würde sich die men, einen Anodenteil 120, eine Maske 121, be- Konzentration der Elektrolyten während des Nicderstchcnd aus einer porösen Unterlage 122, auf der die
die Maske bildende Schicht 123 aufgebracht ist, einen
Kathodenteil 124, eine Maske 125, bestehend aus
einer porösen Unterlage 126, auf der die die Maske 40
bildende isolierende Schicht 127 aufgebracht ist und
einen Anodenteil 128. Die Masken 121 und 125
können grundsätzlich so wie die bereits an Hand der
Fig. 7 beschriebenen Maske 105 hergestellt werden,so that successively different metal ions are deposited on the cathode part. In this way, for example, first copper and then gold can be deposited over the copper. The various electrolytes and the washing solution are located in separate storage containers which are connected to the pump or the container 115 via pipes and valves. Since sich.in dietrieb press the membranes together the following parts 35 sem case not dissolve the anodes, which would men, an anode portion 120, a mask 121, loading concentration of the electrolyte during the Nicderstchcnd of a porous substrate 122, on which the
the mask-forming layer 123 is applied, a
Cathode part 124, a mask 125, consisting of
a porous base 126 on which the mask 40
forming insulating layer 127 is applied and
an anode part 128. The masks 121 and 125
can basically just like the one already shown on the
Mask 105 described in FIG. 7 can be produced,

nur daß beide poröse Unterlagen 122 und 126 je 45 Fachmann keine Schwierigkeiten bereiten. Betrachtet einen Einlaßkanal 130 (Fig. 9 und 10) haben, der man beispielsweise die Anordnung gemäß Fig. 8 mit den parallel zueinander verlaufenden, engen Ka- bis 10, so müßten in diesem Falle die Anodenteile nälen 131 in Verbindung steht. Die Kanäle 131 lic- 120, 128 weggelassen werden und der Kathodenteil gen in der die Maske bildenden Isolierschicht 123 124 wäre nicht mit einer Metallschicht versehen, son- oder 127 gegenüberliegenden Fläche. Die Öffnungen 50 dem würde nur aus einer Trägerschicht bestehen, in den Masken stehen mit einem oder mehreren der Beim elektrolytischen und chemischen Niederschlagen ' Kanäle 135, wie der Durchbruch 132 in Fig. 10 können die porösen Unterlagen 122 und 126 der Anzeigt, in Verbindung. ',. ' Ordnung gemäß der Fig. 8 bis 10 mit Kanälen 131 Der Kathodenteil 124 ist auf beiden Seiten metalli- versehen sein, sie müssen aber so passend durch gesiert. Die elektrischen Zuleitungen zu den Metall- 55 eignete Mittel zusammengehalten werden, daß die jeschichlcn des Kathoden- und Anodenteils sind in der weils verwendete Lösung stets vom einen Rand zum Fig. 10 schematisch dargestellt. gegenüberliegenden Rand der Unterlage fließt.only that the two porous supports 122 and 126 each do not cause any difficulties for a person skilled in the art. Considering an inlet passage 130 (Fig. 9 and 10) have, the one 8, with the mutually parallel, narrow Ka to 10, the anode members should in this case nälen 131 is, for example, the arrangement shown in FIG., In conjunction. The channels 131 LIC 120, 128 are omitted, and the cathode part of the gene in the mask forming the insulating layer 123 124 would not be provided with a metal layer, special or 127 opposite face. The openings 50 which would only consist of a support layer are provided in the mask with one or more of the electrolytic and chemical deposition 'channels 135, as the aperture 132 in FIG. 10, the porous materials 122 and 126 indicating, can in combination. ',. 8 to 10 with channels 131. The cathode part 124 is provided with metal on both sides, but they have to be cut through so that they fit. The electrical leads to the metal are held together by suitable means so that the parts of the cathode and anode parts are always shown schematically from one edge to FIG. 10 in the solution used. opposite edge of the pad flows.

Bei Inbetriebnahme wird zunächst der Elektrolyt Die in Fi g. 11 gezeigte Anordnung eignet sich zurWhen putting into operation, the electrolyte in Fi g. The arrangement shown in FIG. 11 is suitable for

zum Einlaßkanal 130 jeder Maske gepumpt, von wo Massenproduktion von gedruckten Schaltungen. Die er in den Behälter 115 abfließt. Bevor der Elektrolyt 60 Anordnung besteht aus einem Behälter 135, in dem nach dem Prozeß wieder in dje Einlaßkanäle 130 ge- sich eine Kupfersulphatlösung als Elektrolyt befindet. pumpt wird, wird er gefiltert und die während des Der Behälter ist umgeben von vier Rollcn.136, 137, Niederschlags verlorengegangenen Bestandteile er- 138 und 139, um die ein endloses Band geschlungen setzt. Verwendet man als Elektrolyten eine Kupfer- ist. Das Band 140 bewegt einen Zylinder 141, der sulphatlösung, der glanzfördernde Mittel zugesetzt 65 zwischen den Rollen 136 und 137 angeordnet ist, sosind. so kann man einen blanken Kupferniedcrschlag bald das Band durch einen auf die Rolle 137 wirerhalten. Da diese zusätzlichen Mittel in einem kcnden Motor 134 angetrieben wird. Der Zylinder ruhenden Elektrolyten sehr schnell verbraucht wären, 141 ist so angeordnet, daß bei seiner Drehung seineis pumped to the inlet channel 130 of each mask, from where mass production of printed circuit boards. Which it flows into the container 115. Before the electrolyte 60 arrangement consists of a container 135 in which, after the process, a copper sulphate solution is again in the inlet channels 130 as an electrolyte. is pumped, it is filtered and the components lost during the The container is surrounded by four rollers.136, 137, of precipitation 138 and 139, around which an endless belt is wrapped. If one uses a copper one as electrolyte. The belt 140 moves a cylinder 141, the sulphate solution, the gloss promoting agent added 65 is arranged between the rollers 136 and 137, so are. so you can get a bare copper precipitate soon by putting the tape on the roll 137. Since this additional means is driven in a small motor 134 . The cylinder resting electrolyte would be used up very quickly, 141 is arranged so that when it rotates its

109651/125109651/125

Schlagprozesses verändern, wenn nicht geeignete Materialien fortwährend in geeigneter Menge hinzugefügt würden. ·Change the whipping process if unsuitable materials are continuously added in suitable quantities would. ·

Selbstverständlich läßt sich das erfindungsgemäße Verfahren auch auf das rein chemische Niederschlagen von Metall anwenden. Die an den im vorhergehenden beschriebenen Anordnungen in diesem Fall erforderlichen Veränderungen dürften demOf course, the method according to the invention can also be applied to the purely chemical deposition of metal. The one in the previous The arrangements described in this case are likely to require changes

Achsenlage erhalten bleibt. Auf der Vorratsrolle 143 befindet sich flexibles, streifenförmiges Material 142, das den isolierenden Träger für das niederzuschlagende Metall darstellt und das auf der dem ZylinderAxis position is retained. On the supply roll 143 is flexible, strip-shaped material 142, which represents the insulating support for the metal to be deposited and that on the cylinder

141 zugewandten Fläche mit einer dünnen Kupferschicht bedampft ist. Das streifenförmige Material 141 facing surface is vapor-deposited with a thin copper layer. The strip-shaped material

142 läuft von der Vorratsrolle 143 zwischen dem Band 140 und dem Zylinder 141 zu einer Aufnahmerolle 144. Eine mit dem negativen Pol einer Gleichstromquelle verbundene Rolle 145 steht mit der me- ίο tallisierten Oberfläche des streifenförmigen Materials 142, das also die Kathode darstellt, in leitender Verbindung. Eine Kupferanode 146 taucht in den Elektrolyten und ist mit dem positiven Pol der Gleichstromquelle verbunden. Der Zylinder 141 besteht aus einer porösen, zylindrischen Unterlage 150, auf der eine zylindrische, aus isolierendem Material bestehende Maske 151 befestigt ist. Die Maske weist wiederum, wie im vorhergehenden bereits beschrieben, Öffnungen auf, so daß der Elektrolyt durch die poröse, zylindrische Unterlage 150 und die Öffnungen in der Maske 151 an die metallisierte Oberfläche des streifenförmigen Materials 142 gelangen kann. Die Geschwindigkeit des endlosen Bandes 140 und des Stromes kann theoretisch oder experimentell vorausbestimmt werden. Das in diesem Prozeß beispielsweise mit Leitungszügen versehene, streifenförmige Material 142, das auf der Aufnahmerolle 144 gesammelt wird, muß noch leicht abgeätzt und gewässert werden. Selbstverständlich kann das streifenförmige Material vor dem Aufrollen durch entsprechende Bäder geleitet werden. 142 runs from the supply roll 143 between the belt 140 and the cylinder 141 to a take-up roll 144. A roll 145 connected to the negative pole of a direct current source is conductive with the metallized surface of the strip-shaped material 142, which thus represents the cathode Connection. A copper anode 146 is immersed in the electrolyte and is connected to the positive pole of the direct current source. The cylinder 141 consists of a porous, cylindrical base 150 on which a cylindrical mask 151 made of insulating material is attached. As already described above, the mask again has openings so that the electrolyte can reach the metallized surface of the strip-shaped material 142 through the porous, cylindrical base 150 and the openings in the mask 151. The speed of the endless belt 140 and the stream can be predetermined theoretically or experimentally. The strip-shaped material 142, for example provided with lines in this process, which is collected on the take-up reel 144 , still has to be slightly etched off and soaked. Of course, the strip-shaped material can be passed through appropriate baths before being rolled up.

Die in Fig. 11 gezeigte Anordnung kann auch dazu verwendet werden, zusätzlich auf der äußeren Oberfläche des streifenförmigen Materials einen metallischen Niederschlag aufzubringen. In diesem Fall muß das streifenförmige Material aber entweder umgewendet oder auf beiden Oberflächen mit einer Metallschicht versehen werden. Außerdem muß das Band 140 aus isolierendem Material hergestellt und als Maske ausgebildet sein. Die Kupferanode ist dann außerhalb des Zylinders 141 anzuordnen.The arrangement shown in FIG. 11 can also be used to additionally apply a metallic deposit to the outer surface of the strip-shaped material. In this case, however, the strip-shaped material must either be turned over or provided with a metal layer on both surfaces. In addition, the tape 140 must be made of insulating material and designed as a mask. The copper anode is then to be arranged outside the cylinder 141 .

Die Anordnung gemäß Fig. 11 kann auch dahingehend verändert werden, daß die Rollen 138 und 139 nicht außerhalb, sondern innerhalb des Behälters 135 angeordnet werden. Man erreicht dadurch, daß das Band 140 beim Übergang von der Rolle 137 auf die Rolle 136 nicht um den Behälter läuft. Auf diese Weise wird sichergestellt, daß sich auf dem Band kein Stoff auskristallisieren kann.The arrangement according to FIG. 11 can also be changed in such a way that the rollers 138 and 139 are not arranged outside, but inside the container 135 . What is achieved thereby is that the belt 140 does not run around the container during the transition from the roller 137 to the roller 136. This ensures that no substance can crystallize on the tape.

Selbstverständlich können auch metallische Niederschläge auf unregelmäßigen Oberflächen erzeugt werden. Die Gestalt der Maske ist darin der unregelmäßigen Oberfläche nachzubilden.Of course, metallic deposits can also be generated on irregular surfaces. The shape of the mask is irregular To replicate the surface.

Claims

Patent claims:

1. Process for the electrolytic or chemical application of electrical cable runs on a carrier layer using a surface that is otherwise impermeable to it outgoing, the line pattern simulated openings provided, insulating mask, thereby characterized in that the mask with the surface from which the mask openings were produced, the openings is sealingly pressed onto the carrier layer, which is at least in the electrolytic process has a thin metal coating that then serves as a cathode, that then the lines on the through with the solution of the bath used in Connected openings limited areas are knocked down, and that eventually the mask is removed from the backing and the thin metal coating is etched away.

2. The method according to claim 1, characterized in that-the openings of the mask in known way by an exposure and development that reproduces the desired line pattern a photosensitive, insulating layer are generated and then the Layer is attached with the exposed side on the carrier layer.

3. The method according to claim 2, characterized in that the photosensitive layer is brought to a base prior to exposure and through development to the base reaching openings are generated.

4. The method according to claim 3, characterized in that as a base for the photosensitive Layer a metal layer serving as an anode for a subsequent electrolytic process is used.

5. The method according to claim 4, characterized in that that before the electrolytic process, incisions are etched into the metal layer serving as anode through the openings.

6. The method according to claim 3, characterized in that the substrate for the photosensitive Layer is made of porous and / or material provided with channels, so that the liquids required for the subsequent processes get into the openings be able.

7. The method according to claim 2, characterized in that a support formed as a cylinder and wrapped by the mask and the carrier layer lying thereon is used.

For this purpose 2 sheets of drawings