DE1448201A1

DE1448201A1 - mass spectrometry

Info

Publication number: DE1448201A1
Application number: DE19611448201
Authority: DE
Inventors: Blauth Dr Erich; Friedhelm Melzner; Erwin Meyer
Original assignee: Institut fuer Plasmaphysik GmbH; Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Current assignee: Institut fuer Plasmaphysik GmbH; Max Planck Gesellschaft zur Foerderung der Wissenschaften eV
Priority date: 1961-12-23
Filing date: 1961-12-23
Publication date: 1968-11-28
Also published as: GB969293A; US3258592A

Description

2576-61/JDr.vB/Y.a/Eo.2576-61 / JDr.vB / Y.a / Eo.

*Iax-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., vertreten durch Max-Planck-Ina ti tut für rli^siir und Astrophysik,* Iax Planck Society for the Promotion of Science eV, represented by Max Planck Ina ti tut für rli ^ siir and astrophysics,

MUn c he α 23, PÖhringer Fling 6, und Institut für Plasmaphysik GmbH·, München-Garohing MUn c he α 23, PÖhringer Fling 6, and Institut für Plasmaphysik GmbH ·, Munich-Garohing

Massenspektrometer. Mass spectrometer .

Die vorliegende .Erfindung betrifft ein dynamisches Massenspektrometer, bei dem Ionen selektiv durch eine ilochfrequenü;-spannung beschleunigt werden, wahrend sie in einer Potentialmulde wenigstens annähernd periodische Schwingungen ausführen.The present invention relates to a dynamic mass spectrometer, in the case of ions selectively by means of a high frequency voltage are accelerated while they are in a potential trough perform at least approximately periodic oscillations.

Bei einem bekannten Massenspektrometer dieser Art werden die nachzuweisenden Ionen etwa vom Potentialminimum einer parabelförmigen irotentialmulde ausgehend durch eine Hochfrequenzspannung beschleunigt, wenn die Sch.wingangsfreq.uenz der Ionen im Parabelpotential mit der Frequenz der angelegten Hochfrequenzspannung übereinstimmt, üie beschleunigten Ionen erreichen schließlich einen Kollektor. Der Nachweis erfolgt durch äSesBung des Jtollektorstroms (deutsche ratentschrift 882 769; J.Appl. Phjrs. 22, 680, 19!;>1).In a known mass spectrometer of this type, the ions to be detected are approximately at the minimum potential of a parabolic The potential trough is accelerated by a high-frequency voltage when the oscillation frequency of the ions the parabolic potential coincides with the frequency of the applied high-frequency voltage, reach the accelerated ions finally a collector. Evidence is provided by testing the collector current (German council code 882 769; J.Appl. Phjrs. 22, 680, 19!;> 1).

Es ist ferner ein Massenspektrometer bekannt, bei demIt is also known a mass spectrometer in which

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8098 10/09 158098 10/09 15

1 4 -i 8 2 011 4 -i 8 2 01

die Ionen periodisch außerhalb des Minimums einer parabelförruigen Po uenti&leiulde"-erzeugt werden« nenn die Frequenz, mit der die ionen erzeugt würden, mit der Sehwingungsfrequenz einer bestimmten Ione>*art im Parabelpotential übereinstimmt, tritt eine phasenriotitige Akkumulation der betreffenden Ionenart ein. Die entstehende sch»lügende Ladungswolke kann dann mittels- eines Äuffi-ngero oder eines .Sekundärelektronenvervielfachers nachgewiesen, warden (Z-, an^ew. tfhyBi 21» 395, 1959). the ion periodically outside of the minimum of a parabelförruigen Po uenti & leiulde "-Creates be" call, the frequency at which the ions would be produced, with the Sehwingungsfrequenz a certain Ione> * art in the parabolic potential matches, occurs phasenriotitige accumulation of the respective ion species a The resulting. An inclined charge cloud can then be detected by means of an ufi-ngero or a secondary electron multiplier (Z-, an ^ ew. tfhyBi 21 »395, 1959).

Vie genaue Untersuchungen zeigen, wird das Auflösungsvermögen bei den beiden oben erwähnten Massenspektrometertypen dadurch verschlechtert, da3 die, sei es zur Beschleunigung, sei es zur Akkuniulierung angelegten Vvechselfeider nicht nur auf die in aesonams befindliche lonenart wirken, sondern auch den an sich gleichförmigen Untergrund aus asynchron .schwingenden. Ionen anderer Art beeinflussen.· Der lonenuntergrund wird dadurch moduliert und in der Kachweiseinrichtung, die beispielsweise ein Auffänger oder Sekundärelektronenvervielfacher sein kann, entsteht zusätzlich au dem Signal, das von den in-Resonanz befindlichen Ionen herrührt, auch ein Signal, das durch die Modulation des an sich kontinuierlichen Untergrundes hervorgerufen wird. Die Amplitude des Untergrundsignales kann ohne weiteres die Größenordnung des üignalea der Kesonanzionen erreichen, in ungünstigen Fällen sie sogar übersteigen.Vie exact research will show the resolving power in the two types of mass spectrometer mentioned above worsened by the fact that it is, be it for acceleration it is not only used for the accumulation of batteries ion species found in aesonams act, but also act on uniform subsoil made up of asynchronously oscillating. Ions of a different kind. · This modulates the ionic background and in the detection device, which can be a collector or secondary electron multiplier, for example in addition to the signal coming from the in-resonance Ions originates, also a signal that is caused by the modulation of the per se continuous background will. The amplitude of the background signal can easily reach the order of magnitude of the üignalea of the resonance ions, in unfavorable cases even exceed them.

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Bei den bekannten Anordnungen der erwähnten Art wirkt sich außerdem ungünstig auf das Auflösungsvermögen aus, daß die in Resonanz befindlichen Ionen dauernd durch die Baumladungswolke aus den asynchron schwingenden Ionen anderer Art, die den untergrund bilden, schwingen müssen. Ls ist leicht einzusehen, daß durch die Wechselwirkung der verschiedenen lonenarten einerseits der üesonanzlonenhaufen zerstreut und andererseits Ionen anderer, nicht In Resonanz befindlicher Art bis zu einem gewissen Grade in der Phase fokussiert werden, während eine möglichst weitgehende Phasenseparation erwünscht wäre.In the known arrangements of the type mentioned also has a negative effect on the resolving power that the in Ions in resonance through the tree charge cloud from the asynchronously oscillating ions of a different kind, which form the subsurface, have to oscillate. It's easy to see that Due to the interaction of the different types of ions, on the one hand the resonance ion cluster is dispersed and on the other hand ions of other types that are not in resonance are up to a certain extent Focused on the phase, while a phase separation as far as possible would be desirable.

Durch die .Erfindung sollen die beiden oben erwähnten Störeffekte soweit wie möglich verringert, wenn nicht ganz beseitigt werden·The invention is intended to reduce the two above-mentioned disturbing effects as much as possible, if not to eliminate them completely.

Ein Massenspektrometer mit einem Vakuumgefäß, in dec sich eine Ionenquelle und eine Anzahl von im Abstand voneinander angeordneten, durchbrochenen Elektroden befindet, denen sowohl Gleioispannungen zur Erzeugung einer axialen rotentialsenke mit einen bei negativeren Potentialwerten liegenden Minimum als auch eine Hochfrequenzspannung zur selektiven Leschleunigung von Ionen mit einem bestimmten Verhältnis von Ladung zu Masse zufuhrbar sind, ist gemäß der Erfindung gekennzeichnet durch zusätzliche Elektroden zur Erzeugung einer zweiten iotentialsenke, deren eine Seite eich unter bildung eines iotentialmaximums an die erste irotentialsenke anschließt und durch eine an der ende-A mass spectrometer with a vacuum vessel in dec an ion source and a number of spaced apart perforated electrodes, both of which Track voltages to generate an axial rotary potential sink with a minimum with negative potential values as well as a high frequency voltage for selective acceleration of Ions with a certain ratio of charge to mass can be supplied, is characterized according to the invention by additional electrodes for generating a second potential sink, one side of which is calibrated to form an iotential maximum the first potential sink is connected and through one at the end

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re n Seit· befindliche, an sich bekannte Anordnung zum Nachweis Ton. in der zweiten Potentialsenke phaeenrichtig akkumulierten, wenigstens annähernd 3,/neuron schwingenden Ionen«Re n lateral, known arrangement for detection Volume. accumulated in the correct phase in the second potential well, at least approximately 3, / neuron oscillating ions "

Im Betrieb werden die Ionen in der ersten Potentialsenke, die vorzugsweise parabeiförmig ist, an einem Ort erzeugt, der auf einen niedrigeren Potential liegt, als das Potentialmaxifflum zwischen den beiden. Potentialsenken. Ionen einer bestimmten Art wird dann durch das Hochfrequenzfeld laufend Energie zugeführt und diese Ionen gelangen dann schließlich, wie noch genauer besehrieben werden wird, über das Zwischenmaximum in die zweite Potentialseike. Diese zweite wechselfeidfreie Potentialsenke ist ebenfalls im wesentlichen vorzugsweise parabelf'drmig mit der Ausnahme höchstens eines kleinen Bereiches im Anschluß an das Swischenmaximum. Sie ist so bemessen, da3 die Ionen in ihr mit denselben Frequenzen schwingen, wie in der ersten Potentialsenke, in der die Selektion erfolgt. Die in die zweite lotontialsenke periodisch übertretenden Ionen werden in an sich bekannter ^Veise akkumuliert, ohne daß dabei jedoch wie bei dem bekannten, eben als zweites erwähnten Massenspektrometer gleichzeitig Ionen änderer Art erzeugt werden, die asynchron in der gleichen Poteatialeenke schwingen· Die akkumulierten Ionen einer einzigen Art können dann in an sich bekannter Veise, beispielsweise durch einen Influenzauffänger oder einen Sekundärelektronenvervielfücher nachgewiesen werden.During operation, the ions in the first potential well, which is preferably parabolic, are generated at a location which is at a lower potential than the maximum potential between the two. Potential sinks. Ions of a certain type are then continuously supplied with energy by the high-frequency field and these ions then finally, as will be described in more detail, reach the second potential nucleus via the intermediate maximum. This second alternating field-free potential well is also essentially preferably parabolic with the exception of at most a small area following the swish maximum. It is dimensioned in such a way that the ions in it oscillate with the same frequencies as in the first potential well in which the selection takes place. The ions that periodically pass into the second lotontial well are accumulated in a manner known per se, without, however, as in the known mass spectrometer mentioned as the second, at the same time ions of a different kind being generated which oscillate asynchronously in the same potential well A single type can then be detected in a manner known per se, for example by an influenza collector or a secondary electron multiplier.

'-- υ h 8 ι η / ,:, '- υ h 8 ι η /,:,

i 4 'f 3 2 01 - 5 -i 4 'f 3 2 01 - 5 -

Die Erfindung soll nun anband eines nicht einschränkend auszulegenden Ausführungsbeispieles in Verbindung mit der Zeichnung naher erläutert werden.J£a zeigen:The invention is now intended to be non-limiting The exemplary embodiment to be designed is explained in more detail in conjunction with the drawing.

fig· 1 eine soheaatische Darstellung einer Massenspektrometeranordnung nach der Erfindung;FIG. 1 shows a schematic representation of a mass spectrometer arrangement according to the invention;

Fig. 2 ein in gleichen Längenmaßstab, wie Mg· 1 gezeichnetes Diagramm der Potentlalverteilung längs der Aohse der in Mg· 1 dargestellten Spektrometerrühre und2 shows a diagram of the potential distribution along the axis of the in Mg · 1 shown spectrometer stirrer and

fig. 3 ein· mögliche Schaltungsanordnung zur Verarbeitung der Ausgangseignale de; in Fi^. 1 dargestellten Massenspektrometer.fig. 3 shows a possible circuit arrangement for processing the output signals de; in Fi ^. 1 shown mass spectrometer.

i)ie in Pig. 1 dargestellte Anordnung enthält in einem, der Einfachheit halber nicht dargestellten und mit einem geeigneten Vakuumsystem verbundenen Vakuumgefäß eine Anzahl von koaxial im Abstand voneinander angeordneten, meist blendenartigen elektroden 1 bis 30, Die Elektroden erfüllen teilweise mehrere funktionen.i) ie in Pig. 1 contains a number of coaxially spaced, mostly diaphragm-like electrodes 1 to 30 in a vacuum vessel, not shown for the sake of simplicity and connected to a suitable vacuum system. The electrodes partially fulfill several functions.

Sie Elektroden 1 bis 50 sind in geeigneter Weise aus dem Vakuumgefäß herausgeführt und an eine Spannungsteiler- und Stromversorgungsanordnung angeschlossen, die als Ganzes mit 31 bezeichnet ist. Mn l'eil der Elektroden ist mit dieser Spannungsteileraliordnung Über Trennwideratände 32 verbunden. Kinzelhelten gehen aus der Zeichnung und der Erläuterung der yig. 2 hervor.The electrodes 1 to 50 are suitably from the Vacuum vessel led out and connected to a voltage divider and power supply arrangement, which as a whole with 31 is designated. Mn l'eil of the electrodes is with this one Voltage divider arrangement connected via isolating resistors 32. Kinzelhelten go from the drawing and the explanation of the yig. 2 emerges.

809810/091 5809810/091 5

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Die Elektroden 1 mit 15 dienen zur Erzeugung einer ersten i/o t en tial senke 33 (Fig.2), die vorzugsweise die Form einer Par&bel hat. Bekanntlich ist in einem Parabelpotential die Sohwingungsl'requenz von schwingenden Ladungsträgern aoplitudenunebhan^ig· Duroh die Elektroden 15 mit 27 wird eine zweite, topfförmige i-Otentialeeuke erzeugt, die im wesentlichen Vorzugs» weise ebenfalls die Form einer Parabel besitzt. Etwa innerhalb der elektrode 15 besitzt die Potentialverteilung längs der liöhrenachse ein ZwischenmaximuBi 35·The electrodes 1 to 15 are used to generate a first i / o t en tial sink 33 (FIG. 2), which preferably has the shape of a parabola Has. It is known that the vibration sequence is in a parabolic potential of oscillating charge carriers aoplitudenunebhan ^ ig · Duroh the electrodes 15 to 27 is a second, cup-shaped i-Otentialeeuke produces the essentially preferential » wise also has the shape of a parabola. Around within of electrode 15, the potential distribution along the tube axis has an intermediate maximum of 35

JDi g i-lektroöen 1 mit 7 und die Elektroden 8 mit 12 sind durch iiozidensatoren 36 wechselspannungsmäQig zu zwei Gruppen 2U3aamengesoi:ialtet. Jede Gruppe ist über Kondensatoren 37 bzw. 38 mit entsprechenden Ausgangsklemmen eines Oszillators 39 verbunden, der an die beiden Ülektrodengruppen gegenphßsige Hochfr equenzapaimungeη liefert.JDi g i-lektroöen 1 with 7 and the electrodes 8 with 12 are by means of iiozidensatoren 36 alternating voltage to two groups 2U3aamengesoi: olds. Each group is connected to capacitors 37 resp. 38 connected to corresponding output terminals of an oscillator 39, the high frequency opposite to the two electrode groups equenzapaimungeη returns.

im uereich des der zweiten i'otentialaenke 34 abgewandten ieiles der xotentialaenke 33 befindet sich eine Anordnung zur Erzeugung von Ionen, die bei der Elektrode 4 ganz echematisoh durch einen mit e~ bezeichneten xfeil symbolisiert ist. Vorzugsweise besteht die Einrichtung zur Erzeugung der Ionen aus einem in Fig. 1 links vergrößert und um 180° gedreht dargestellten Elektrodensystem 40, das einen senkrecht zur Röhrenachse verlaufenden Elektronenstrahl liefert. Das Strahlerzeugungssystem 40 ist in üblicher Vteiae aufgebaut und enthält eine in the area of the second i'otentialaenke 34 facing away ieiles of the xotentialaenke 33 is an arrangement for Generation of ions which echematisoh completely at the electrode 4 is symbolized by an x arrow denoted by e ~. Preferably the device for generating the ions consists of one shown enlarged on the left in FIG. 1 and rotated by 180 ° Electrode system 40, one perpendicular to the tube axis passing electron beam supplies. The beam generation system 40 is constructed in conventional Vteiae and includes a

8 0 9 8 10/0915 "'""'" ^Bm 8 0 9 8 10/0915 "'""'" ^Bm

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Fadenkathode 41» «ine Wehneltelektrode 42, eine erste !eaclilea- nigungselektrode 43, eine zweite üeschleuni^un^selektrode 44, an die eich die Elektrode 4 aruchlielit. Zwischen der ersten und der «weiten Beechleuni£unt;8e:lektrode 43, 44 liegt gemäß der Erfindung noch eine Kompensationeelektrode Ab, &uf die noch näher eingegangen wird. Fadenkathode 41 "" a Wehnelt electrode 42, a first! Eaclileanigungselectrode 43, a second accelerating electrode 44, to which the electrode 4 is calibrated. According to the invention, there is also a compensation electrode Ab, which will be discussed in greater detail, between the first and the long acceleration electrodes 43, 44.

Der Wehnelteylinder 42 liegt im Betrieb an einer Wechsel- spannung der Frequenz der üeschleunigungsa^annung, was durch die Leitung 46 angedeutet ißt. Die opannun_fc. am Y.ehneltjsjliiuier 42 besitzt vorzugsweise die rorni eines sehr scharfen positiven !■pulses und wird durch einen x'haeenechieber 47 so eingestellt, dai der Strahl dann eingeschossen wird, wenn die i\esonanzionen in. Rioiitung auf das χ otentialminiiaum durch den utrahlaereicn sohwingen. He lind the Wehneltey 42 is in operation at an alternating voltage the frequency of üeschleunigungsa ^ oltage, which eats indicated by the line 46th The opannun _fc . at Y.ehneltjsjliiuier 42 preferably has the rorni a very sharp positive! ■ pulse and is set by a x'haeenechieber 47 so dai the beam is then injected when the i \ esonanzionen in. Rioiitung the χ otentialminiiaum by the utrahlaereicn sohwingen .

An dem dea Zwisohenaaximun 35 abgewandten Ende der xOtentlalsenke 34 befindet sich eine Anordnung zum Nachweis von Ionen, die in der zweiten ?otentialsenke 34 schwingen. Hierzu künnen beispielsweise die elektroden 24 bis 27 als Influenzauffanger ausgebildet und durch Kondensatoren unter sich und Kit einer Haohweisanordnung verbunden sein· uie Hachweisanord- nung kann einen Verstärker 48 und ein Meßgerät 49 enthalten, auf eine bevorzugte AusfUhrungsforin wird - Verbindung mit fig. 3 weiter unten noch eingegangen werden. At the end of the xOtental sink 34 facing away from the intermediate axis 35 there is an arrangement for the detection of ions which oscillate in the second potential sink 34. For this purpose, for example, electrodes 24 to 27 can be designed as influenza collectors and connected to one another by capacitors and a kit of a detection arrangement, and the detection arrangement can contain an amplifier 48 and a measuring device 49 . 3 will be discussed below.

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o ^ s 1 o / ;■ r-1 ro ^ s 1 o /; ■ r-1 r

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Der Nachweis kann andererseits auch durch einen Sekundärelektronenvervielfacher erfolten, der hinter der letzten Potsntielclektrotie 27 engeordnet iat. Die Über die Elektrode 27 hinaus schwingenden Ionen werden vorzugsweise durch wachsend negativere" Spannungen an den Elektroden 28, 29, 30 beschleunigt. Die Elektrode 3C bildet gleichzeitig die fcingangselektrode einer nur schenjatisch dargestellten fcultiplieranordnung 50, an deren Anode 51 das Ausgangssignal abgenommen werden kann. Dao Potential verläuft im Anschlu3 an die elektrode 27 etwa so, wie in Fig. 2 duich die strichpunktierte Linie 52 skizziert ist. On the other hand, the detection can also take place by means of a secondary electron multiplier, which is subordinate to the last Potsntielclektrotie 27. The ions oscillating beyond the electrode 27 are preferably accelerated by increasingly negative voltages at the electrodes 28, 29, 30. The electrode 3C simultaneously forms the input electrode of a multiplier arrangement 50, shown only schematically, at whose anode 51 the output signal can be picked up. Dao potential runs Anschlu3 to the electrode 27 is approximately as shown in Fig. 2 duich the chain line is sketched 52nd

Die soweit beschriebene Anordnung arbeitet folgendermaßen: In der ersten I-otentialsenke 33 werden durch die Ionenquelle 40 vorzugsweise, jedoch nicht notwendigerweise periodisch im Takte der Hochfrequent Ionen an einem Ort erzeugt, an dem ein negativeres Potential herrscht, als am Ort des Zwiechenmaximuina 35· Die Ionen verschiedenen Verhältnisses von Ladung zu Messe führen dann in der iοtenti&!senke 33 Schwingungen aus, deren Frequenz von dem Verhältnis von Ladung zu Masse abhängt. Ionen, deren 3chv.inrun.^8frequenz mit der Frequenz der zwischen den υ t» id en J.lektroden^ruppen 1 ois ? bzw. ö bis 12 liegenden üochfroquenzspji-inun^ übereinstimmt, gewinnen beim durchschwin,s-en >i:iio·: den von den .„leictroden 7, 3 ^edildate-i ±jeschleuni_£~ungsapalt laufend aLner^ie und schwingen dadurch mit wachsender Äi-VLitude, während Ionen anderer Art im Mittel keine nennenswerte .energie aas dem iiochireqiienzfeld aufnehmen. VorzugsweiseThe arrangement described so far works as follows: In the first potential sink 33, the ion source 40 preferably, but not necessarily periodically, generates ions at the rate of the high-frequency ions at a location with a more negative potential than at the location of the intermediate maximum 35 Ions with different ratios of charge to mass then carry out 33 oscillations in the iοtenti &! Sink, the frequency of which depends on the ratio of charge to mass. Ions, whose 3chv.inrun. ^ 8frequency with the frequency of the between the υ t »id en J.lektroden ^ ruppen 1 ois ? or ö to 12 lying üochfroquenzspji-inun ^ coincides win at durchschwin, s-s> i: iio. ·: the leictroden of the "7, 3 ^ ± edildate-i jeschleuni _£ ~ ungsapalt continuously Alner ^ ie and swing characterized with increasing λi-Vlitude, while ions of other types do not absorb any noteworthy energy from the energy field on average. Preferably

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3 0 ·:■: 8 ι o / : s ι r-.3 0 ·: ■: 8 ι o /: s ι r-.

14**8201 - 9 - 14 ** 8201 - 9 -

erfolgt die Beschleunigung nicht durch sine oinusapynnun^ sondern d'iroh tine mehr impulsform!ge G^amiun^ uiii -uineiu relativ kleinen Iaatverh:>ltui3, u.i. die ο <* Ie λ ti on v.eiter zu /erbessern. Die Ionon werden vorzugsweise ebenfalls im 'lakte der iiochfrequenz erzeugt, und awar saär kur«szej. tig, a·^· während einer ZeitSi/a;ine von 0,1 /usec, wahrdna das iicaonanzionenpaket inthe acceleration is not done by sine oinusapynnun ^ but d'iroh tine more pulse shape! ge G ^ amiun ^ uiii -uineiu relatively small Iaatverh:> ltui3, u.i. the ο <* Ie λ ti on v.eiter to / improve. The Ionons are preferably also in the act of high frequency generated, and awar saär kur «szej. tig, a ^ during a Time Si / a; ine of 0.1 / usec, the iicaonanzionenpaket in

auf das Minimum der i-'ot-jiiXialsen/.e X5 durch den j£reuzungepunkt zv:iechea plektron eua traalri oh L-.iri_;-r und Röhrenachse schwingt.to the minimum of the i-'ot-jiiXialsen / .e X5 through the j £ reusungpunkt zv: iechea plektron eua traalri oh L-.iri _; -r and tube axis swings.

Gea-Ai3 der Erfindung werdea die *iesw:iaii2ionän von den ionen anderer Art, die den üaumludungauntergr-juid bilden, dadurcii ^etretint, daiä die Leaionarzloaeii BuleRtiv in die üv;eitä senke 34 iibergefllhrt werder.. ai^rzu iLii3so:i sio das I/v maximuiE 35 iioerlaufen.Gea-Ai3 the invention werdea the iesw *: iaii2ionän of the ion of another kind, which form the üaumludungauntergr-juid, dadurcii ^ etretint, daiä the Leaionarzloaeii BuleRtiv in the ÜV; eitä valley 34 iibergefllhrt werderfreak .. ai ^ RZU iLii3so: i sio I / v maximuiE 35 overflowed.

Damit Ionen aua der ersten iOtentialaenke 3Z in die zwei te lOtentlalseake 34 gelangen können, mu3 das _-otential im Zwieohenmaxirauffi 35 aiindeatens zeitweise gleich, oder kleiner dem fotential an der Elektrode 1 sein.In order for ions to be able to get from the first potential reservoir 3Z into the second partial reservoir 34, the potential at the double maximum must be temporarily equal to or less than the potential at the electrode 1.

Ist das Potential im iäexiiBum 35 'lnion de>n Potential an der EleKtrode 1, po treten die rteaonanisionen nach entsprechen der Beschleunigung zur il Ifte über das Zwiachenmaximum 35 in die zweite xotentialsecke 54 ein, wv.hrend die andere iiplfte entweder von _fder Elektrode 1 aufgenommen '.»ird, vena diese massiv ausgebildet ist, oder bei durchbrochener elektrode 1If the potential in iäexiiBum 35 'lnion de> n potential at the electrode 1, po contact the rteaonanisionen to correspond to the acceleration to il IFTE about Zwiachenmaximum 35 in the second xotentialsecke 54 a, wv.hrend the other iiplfte either of the electrode _f 1 recorded '. »Ird, vena this is massive , or if the electrode is broken 1

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808810/0915808810/0915

1 4 - r 8 2 011 4 - r 8 2 01

~ ίο -~ ίο -

in einen gegebe ienfalls hinter dieser angeordneten zusätzlichen Vervielfacher 52 /,elr _i{· t und iort nachgewiesen werden kann.in an additional multiplier 52 /, elr _{i {} · t and iort, which may be arranged downstream of this.

üie andere iöö^liCiikeii beateht darin, daß daa Zwiechenlaaxidiuffi im allgemeinen einen gestrichelt dargestellten hohenüie other iöö ^ liCiikeii beateth in the fact that daa Zwiechen laaxidiuffi in general a high one represented by dashed lines

ert 35' besitzt und nur zeitweise, vorzugsweise synchron mit eier descihleanig-ungsapannung auf einen Wert abgesenkt wird, der gleich dem Potential der elektrode 1 oder vorzugsweise kleiner als dieser ^oteutialwert ist, wie durch die gestrichelte kurve 35" angedeutet iisi.. Lie Absenkung des i-oteatiala des Zwischen-Ciax.imuai3 kaan d'uioh eine uin^-alektrode 54 erfolgen, die innerhalb der das Λαχίπιακ orcea^ende.i, wachselapannungamiidis ^eerieten. .,lektrcie 1^c; lie^fc ixid ai t einer »-vaniiun^ geeigneter phasenlage versorgt />iri, die rait der S^amiun^, Uea xiocnfre-■iasna-.e/iSrators 53 synchronisiert ist. Die Phasenverschiebung kann durch einen xiiaaensahieber 55 eriolgen, sie oetragt rund 9U° gegenüber der an den beiden iileictrodengruppen liegenden £e-ert 35 'and is only temporarily lowered, preferably synchronously with a descihleanig-ungsapension to a value which is equal to the potential of electrode 1 or preferably less than this potential value, as indicated by the dashed curve 35 "iisi .. Lie lowering .. i-oteatiala of take place intermediate Ciax.imuai3 kaan d'uioh a uin ^ -alektrode 54 within which the Λαχίπιακ orcea ende.i ^, ^ wachselapannungamiidis eerieten, lektrcie 1 ^c; lie ^ fc IXID ai t a »-Vaniiun ^ a suitable phase position is supplied /> iri, which is synchronized with the S ^ amiun ^, Uea xiocnfre- ■ iasna-.e / iSrators 53. The phase shift can be achieved by means of a xiiaaensahieber 55, it is about 90 ° compared to the an the two groups of electrodes

· ^s ist nicht notwendig, das dee £.viaonenmaxiüiUias 3b in jeder Periode der uochfrequenzspannung auauaenft.en, üiea ka.ui vielmehr auch oei einem üntervielffeichen der iie se al ftunigungsfroquena geschehen.It is not necessary that the maximum number of vias 3b appear in every period of the high-frequency voltage, but rather also occur in the event of a subdivision of the sympathetic frequency.

Uia zu verhindern, daü die separierten, in der Potentialsenke 34 schwingenden Ionen wieder zurück in die erste Potentialaenke 33 gelangen, wird den Heaonanzionen beim Übertritt in üiß aweite ^oteatialsenke 34 so viel energie entzogen, daßUia to prevent the separated ones in the potential well 34 oscillating ions back into the first potential well 33 will reach the Heaonanzions when crossing So much energy is withdrawn in a wide range of potential sink 34 that

BAD 0 9 8 10/0915BATH 0 9 8 10/0915

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sie nicht mehr {;anz bis zu. dem xotentialv.ert hochackwingen könneü, den eie eben überlaufen haben« xiiece ^raiua^ai^ der kaeonanzionen ßescnieht aui folgende t.eise: Das ^oteiitialma^imuta 35 hat zum Zeitpunkt des loneniibertritts eine Hache iiuppe mit einer endlichen Breite. Jiese rorm ergibt .lieh durch dae Zusammenwirken'des Gleich- und V Qchaeispannungspotentiala υπ der Ringelektrode 54 mit den; Gleichspannung epotej.tial aer liiu β vom iiinr 54 liegenden ^lende^elek rode 1p. LIh. Ionen isafti n.i t nur geringer neschwindjt'keit von ier ..-otentialsetike 33 aber das flache Zwische maximum y-j in -.He a-oite Se :ke >4. ^iö ^reite αβ3 von den Ionen rit ^erin^or jG30:.yindi_f::eit Uteriaufene:i £'.i'i3chenni3riniuras hr n_£7t in Jer Hauptoucne von dem 'WeeaKelt^annun^3i-oteatiHl an der .-.lektrc-Je' 54 ;-^· '■ Ht ,ι;.·.ί? "ec:iaoi:;/frinunrauotentinl, wahrend dio Ionen liüer .ii.G i'laciie Zwiaciie;.-maximuni in die Senke 34 laufen, 30 verlieren a ie aadarcii ^ ßie und sie können oeici ÜuräGÄSCLwin^en dua nicht irenr üboicciü ν itun. ä_e uleiue:: iu aer serike und werden d,ircu aus von der . un.btlion; aüweicnenaex otfc-.itiül in I3ereich aea i.luxircair.s; χ.. ;. er wieder <;ebrüust, bis sie den Kinfluübereich des Ivin<e^ .)4 au^f-iltii vuilaaeen iiaDen. Dies iet bei einei· uestiuioiten Jcr.wixigun^samplitudc: der r.vli. Kit dieser Amplitude vorder, diö iiosoncnaiouer in der rechten e akJkuituliert«they no longer {; up to. the könneü xotentialv.ert hochackwingen, have just about run the eie "xiiece ^ raiua ^ ^ ai ka eonanzionen ßescnieht aui following t. Otherwise: The ^ oteiitialma ^ imuta 35 has at the time of the ion crossing a top with a finite width. This standard results from the interaction of the direct and voltage potentials of the ring electrode 54 with the; DC voltage epotej.tial aer liiu β from iiinr 54 lying ^ lende ^ electrode 1p. LIh. Ions are not only small in speed of ier ..- otentialsetike 33 but the flat intermediate maximum yj in -.He a-oite Se : ke> 4. ^ iö ^ reite αβ3 from the ions rit ^ erin ^ or jG30: .yindi _f :: eit Uteriaufene: i £ '.i'i3chenni3riniuras hr n _£ 7t in Jer Hauptoucne of the' WeeaKelt ^ annun ^ 3i-oteatiHl at the. -.lektrc-Je '54; - ^ ·' ■ Ht, ι;. · .ί? "ec: iaoi:; / frinunrauotentinl, while dio ions liüer .ii.G i'laciie Zwiaciie; .- maximuni run into the depression 34, 30 lose a ie aadarcii ^ ßie and they can oeici ÜuräGÄSCLwin ^ en dua not irenr üboicciü ν itun. ä_e uleiue :: iu aer serike and are d, ircu from the . un. btlion; aüweicnenaex otfc-.itiül in I3ereich aea i.luxircair.s; χ ..;. er again <; ebrüust until they the Kinfluübereich des Ivin <e ^.) 4 au ^ f-iltii vuilaaeen iiaDen. This is the case with an i · uestiuioiten Jcr.wixigun ^ samplitudc: the r.vli.

Der geschichtete 1 nflueu^eafi .r.ger 24 bi: 27 rruii natürlich so angeordnet und vorgespannt sein, daj er das Signal derThe layered 1 nflueu ^ e afi .r.ger 24 bi: 27 rruii must of course be arranged and prestressed in such a way that it emits the signal of the

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Ionen voll empfangen kann.. Pas gleiche gilt für die Vervlelfaeheranordrrunr. I?ei der \ervielfacheranordnung kann die .'OtontialsehWello zwischen der Mulde 34 und der Eintrittselektrode des Vervielf ^.cners entweder auf einem Potential gehalten werden, ans von den akkumulierten Ionen noch tiberwunden werden knnn, oder die iiöhe der rotentialechwelle wird periodisch nach einer gewissen Akkumulierun^azeit abgesenkt, eo daß dann die akkumulierten loner· in den Vervielfacher "auslaufen" kön nen. Dies kann mittels der Elektrode 27' erfolgen, die in Schaltung und Punktion nit der elektrode 54 vergleichbar let.Ions can fully receive .. The same applies to the Vervlelfaeheranordrrunr. I? Ei of \ ervielfacheranordnung can .'OtontialsehWello between the well 34 and the inlet electrode of the vervielf ^ .cners either be maintained at a potential, to the still sore tiber of the accumulated ions are Knnn, or iiöhe the rotentialechwelle is certain periodically after a The accumulation time is lowered so that the accumulated ions can then "run out" in the multiplier . This can be done by means of the electrode 27 ', which can be compared with the electrode 54 in terms of circuitry and puncture.

Zum Aufnehmen einte Maaaennxjelttrogramnie läßt man die Frequenz dee Oszillators 39 den interesoierenden Bereich durchlaufen. Dabei werden dann ,;eweÜ3 die in Kesonenz befindlichen Ionen in der zweiten lOtentiaiaulds 34 arigesannnelt und Jtönriun durch die Kaohweisanordnung nachgewiesen werden. Die Amplitude dea am Influenzaufftnger oder der Anode des Vervielfacher» auftretenden Signals euLe^rioiit dem Anteil der lonenart, deren oohwin(.uiigsfrequenz in Lbäonanz ir.it der momentanen Auegangsirecjuenz des Oszillators 3j ict.To record a measurement program, the frequency of the oscillator 39 is allowed to sweep through the range of interest. In doing so, the ions which are in kesonence in the second lOtentiaiaulds 34 are collected and detected by the detection arrangement. The amplitude dea on Influenzaufftnger or the anode of the multiplier "occurring signal OWL ^ rioiit of ion species the proportion of which oohwin (.uiigsfrequenz in Lbäonanz ir.it the current Auegangsirecjuenz the oscillator 3j ict.

"ie iig. 3 zeigt, wird aas ^<_aagangsaignal_t gegebenenfaile nach der Verstärkung - Verstärker AU durch ein Differenzier-,'l'ejiU in iorm oinee iiondenaators 56 und eines Widerstandes 57 differenziert und duron einen 'Jleiührichter 58 gleichgerichtet, bevor es auf dem iiildeohirrr finish üszillo5raphen 49^f iur I)ar_As shown in FIG. 3, aas ^ < _a _{agangsaignal t} is differentiated after the amplification - amplifier AU by a differentiator -, 'l'ejiU in iorm oinee iiondenaators 56 and a resistor 57 and rectified by a' Jleiührrichter 58 before it on the iiildeohirrr finish üszillo5raphen 49 ^for I) ar_

0 0^810/·' 9 1 Γ.0 0 ^ 810 / · '9 1 Γ.

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β teilung £ebracht viri. Die Zeitaalenlcunf- leg G wird ^:Iber eins Leitung* b^ Mit ler i'ro j lenzvex'ötellur;.-: des Oszillators 39 .a^nei-ironi»liarI.β division £ ebracht viri. The Zeitaalenlcunf- leg G becomes ^: Iber one line * b ^ With ler i'ro j lenzvex'ötellur; .-: of the oscillator 39 .a ^ nei-ironi »liarI.

Weitere Veroesaerun^en u«jö AaXlöijan^avex-aügans? laaaen sich durch folgende zusätzliche .-.-^ηβήσ,οη ai-Further Veroesaerun ^ en u «jö AaXlöijan ^ avex-aügans? laaaen by the following additional.-.- ^ ηβήσ, οη ai-

i-8 hat sich ^e^ei^t, ,Ia- die dor. l" 4o, iii3besondere cteaaeu StauerelekIreJö 12 aUi-.efaiirtfen. ?.öch3eiepaiinun_t-en ic Bereich der iiüiirfenacUu--· iloktrisciie leider erzeugen, die eine Defokuaaiuruiifc; -.lcr i-.«Jonß.n2ioraK.wolke bewirken indem diese x'elder den einzelnen lor.e': uner-.vli.ii3Clifce um uuvorhei'aehbart ln^iilso erLüileü· i-iöö Lu.*n üa.i^rch ver^iedea v.nriei die :!.odulatio*;fteloktrude 42 uni de.j ».er.-oh u.r üte iiSö, in dein jica die ^ö^on^xi-uiwiieu -ur Z':il uea Str-.hl-i-8 has ^ e ^ ei ^ t,, Ia- die dor. l "4o, iii3besondere cteaaeu StauerelekIreJö 12 AUI .efaiirtfen .öch3eiepaiinun _t -en ic field of iiüiirfenacUu-- · iloktrisciie unfortunately generate a Defokuaaiuruiifc;.?. -.lcr i - effect" Jonß.n2ioraK.wolke by these x 'elder den individual lor.e': un-.vli.ii3Clifce um uuvorhei'aehbart ln ^ iilso erLüileü · i-iöö Lu. * n üa.i ^ rch ver ^ iedea v.nriei die:!. odulatio *; fteloktrude 42 uni de.j ».er.-oh ur üte iiSö, in your jica die ^ ö ^ on ^ xi-uiwiieu -ur Z ': il uea Str-.hl-

befinde», oinc aus-.tuiioi:^ ^,iiktrcJo 4^ ciii^:.·?·¹^'. wird, un jar eiao derart ih.aaenverduhubenu J^uiuiarig lia^t, da», daa von dieser elektrode erzeugte t\;ia duo atJr^nae fold ini intereaaierenäen ^erüicU so ;veit v. ie a.o^iiuh kompensiert, ^i ^ Llektroden 4?_f 45 können ^^annun^ori uaa :it;rseioen Quelle erhalten, zwieci.3: die beiden i-leKtro-Jen wiru jedoch ein Ihn-san-Schieber 6ü öingo3chaltet, «er eiuatuilbar aein kann an<3 eiue Phaeenverau^iöüin^ von aaruihürnd ]tiJ⁰ bü.'.-.ri.t. tu iie Zuleitung aar kofflpensationaeiektrode 45 xat uaüsraeu ein vorau^aweise einolöilbarer Abochw.cior ι·\ oin-jescAaltet,Lie Jsac'ileaniiiunfjseliik troien 43_t 44- sini vürzu^av.eiae äoer Konaenaatoran geerdet.located », oinc from-.tuiioi: ^ ^, iiktrcJo 4 ^ ciii ^:. ·? · ¹ ^ '. is, un jar eiao so ih.aaenverduhubenu J ^ uiuiarig lia ^ t, that », daa produced by this electrode t \; ia duo atJr ^ nae fold ini intereaaierena ^ erüicU so; veit v. ie ao ^ iiuh compensated, ^ i ^ electrodes 4? _f 45 can get ^^ annun ^ ori uaa: it; rseioen source, zwieci.3: the two i-leKtro-Jen weu, however, a him-san slider 6ü öingo3chwitches, "he can eiuatuilbar aein <3 eiue Phaeenverau ^ iöüin ^ by aaruihürnd] tiJ ⁰ bü .'.-. ri.t. tu iie lead aar kofflpensationaeiektrode 45 xat uaüsraeu a Vorau ^ aweise einolöilbarer Abochw.cior ι · \ oin-jescAaltet, Lie Jsac'ileaniiiunfjseliik troien 43 _t 44- sini vürzu ^ av.eiae äoer Konaenaatoran grounded.

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8 0 9 8 10/09158 0 9 8 10/0915

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Varh.^: ltidsaa heriso'iin im Lere ich. le 3 Potc s 35. Hier k'irai η 3töi,ir.gej:: durch die an ien elektroden 6 Dis 12 liü£onJe LiochCra'iueiii;-.jefccl:leurii_ijj.n._oa3pannung eintrete:*. U.. di _^s -iüiliiose dieser S^aimun^. ausauachalten, wird vier aal ii- letzte an. uuciifrö.iiiün>. liegöiide ^iektrode t2 folj^reniG jL,ic.wtrodc 15 eine .^ege.-iiber ior ^^aiinun^ an der Elektrode 1Γ im '.ver-i; 3törio unnc.iioxnd 1üG° ^haaenveiscuobsne 3pannung ge-Ie^t. ^ie.'Q kann einfach dadurch erfolge::, da,i zwischen die ..leictrcde· 1i uric! den die atutre i-lektrodengruppa 1 bis 7 speisender) Ausg^.ai des aocLfrc^uonufenora torg 39 ein vorzugsweiseVarh. ^: ltidsaa heriso'iin im i'm learning. le 3 Potc s 35. Here k'irai η 3töi, ir.gej :: through the at ien electrodes 6 Dis 12 liü £ onJe LiochCra 'iueiii; -. jefccl: leurii _i jj.n. _o voltage occurs: *. U .. di _ ^s -iüiliiose this S ^ aimun ^. ausauachalten, will be four eels ii- last on. uuciifrö.iiiün>. Liegöiide ^ iektrode t2 folj ^ reniG jL, ic.wtrodc 15 a. ^ ege.-ior ^^ aiinun ^ at the electrode 1Γ im '.ver-i; 3törio unnc.iioxnd 1üG ° ^ haaenveiscuobsne 3spannung ge-Ie ^ t. ^ ie.'Q can simply result from ::, da, i between the ..leictrcde · 1i uric! The output of the aocLfrc ^ uonufenora gate 39, which feeds the atutre i-electrode group 1 to 7, preferably

Al>räcl"A.-cher 62 roseaaltet /dri.Al> räcl "A.-cher 62 roseaold / dri.

V erui öiii ^ij_£ liehst jaoaes £,.i£loaaiigsvtärd.Z£_}ua ^ •/.'ird, ist ay a,vfc.ci·.üi. ii_c' , die xi
üu Aiilö/i, ao u;)j der -rieröisauwache pro ^ iat· fir anueifc; iStiYve.\aurtgegebiete_f beispielsweiseV erui öiii ^ ij _£ lent jaoaes £, .i £ loaaiigsvtärd.Z £ _} ua ^ • /. 'Ird, is ay a, vfc.ci · .üi. ii _c ', the xi
üu Aiilö / i, ao u;) j der -rieröisauwache pro ^ iat · fir anueifc; iStiYve. \ aurtgegebiete _f for example

ist öinö-ötwaa hUiiöre aieaciileunigon^sspamiuiig zweei.-ig, da xiier im ali^öüiuinen ein _e*ei'irigeais öinö-ötwaa hUiiöre aieaciileunigon ^ sspamiuiig two-part, since xiier in ali ^ öüiuinen an _e * ei'irigea

iit axid eine hoiie ^nepröcii^eaciiwindigAeit wünsciienswert ist· jei '/erwti.iduiig ala iiöCicsucihar und ^leicnbieibeadem Te3tgas, 2·;->. HoIiam, kann ε-in. üaziliator rait felter frequenz verweadöt werden.iit axid a hoiie ^ nepröcii ^ eaciiwindigAeit desirable is · jei '/erwti.iduiig ala iiöCicsucihar and ^ leicnbieibeadem Te3tgas, 2 ·; ->. HoIiam, can ε-in. üaziliator rait felter frequency beweadöt will.

Linienaenärfe lrfijt aioh auBerdem aocii dadurch verbessern, iaJ die Kathode 41 iai't Glaictistron geheizt wird.Line sharpness lrfijt aioh also improve aocii by iaJ the cathode 41 iai't Glaictistron is heated.

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8 0 9 8 10/09158 0 9 8 10/0915

Claims

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Γ at ε η ta η s y ru ehe

1. Siasaonejjektrometer ri.it a Ya * uu;% ^ t '^:;, in which calibrate a 1θΓ.οηί ±: λ £ ΐle and one ϋΐΖαΐΛ of 1λ < nbataau arranged, breakthrough electrodes tseiinie.i, which both DC voltages for an axiaien ι otentialsenite with an adinimuni 6la lying at more negative rolaiiiialwerte ι also an aoclifrequerizajjaiiuan ^ to oGluiiLiven ueecn acceleri- ₍ ·: ri £ T of ions nii. a.;, oestim ^ th ¹ VtTa-. ltrüs from charge to, _<4 y .-: se KuX'urirbur uind, f ο κ c <ι η ζ eic α λ a I through üuj 1 blicht! -let troati'i (Iy to c. I) to a; ea, iui ₆ emei times roteiititaleeiiite (34), one of which oeite aich under ijilaung an i ^J otentialmaximume (3b ») a: i die trss s, e - ο te nt i ^ iseiiite {}>) an- \ χηύ durca a at the uudeiun wide> i «r two.tön χΌ-ve befinaiiche, at aiuh Lekuiüate arrangement (<: 4 to 27 or ¹ Ju) to the!« »chwois from in the second. ott> ntiai3 <i.nAe phases correctly accumulated, we rubstone iAau.ht-rna sjimiiion soliWin ^; eaden ions.

2 Mass spectrometer naci .iuapruch 1, _f r ü>: ü η η ζ calibrated by an electrode (b4) arranged in the area of the x-oto -Al maximum ('3b), ier ein-3. ^ Yti.mng for Aüeenken dee ^ otentiala des / ota ^ tialmaxl ituias sa feasible is.

3 · ί.-nssenspektroiieter r, a el '.:? Μ ^ν ίΛ ", i J .ι rchge kennzeia ^ net, 3ώ.Γ Jic l;'.; to: -. [ ^R , A) about a

ßADßAD

ο υ ·-· ο ι υ ■--. ιο υ · - · ο ι υ ■ -. ι

Phaeenschieiier (55) is connected to an oscillator (39) which supplies the acceleration voltage.

4 · mass spectrometer according to. Claim 3, characterized by an adjustable shark slide (55) connected between the oscillator (39) and the lfcktrud (i> 4). ... ■ "

^l NaOH jφ mass spectrometer of any preceding speech, characterized in that _t the daae Oesill & tor Weohselspannunrsiapulse with a TastTerhkltnie under 5 NC ° supplies.

6. Masseiiapektronietex according to one of the preceding claims, characterized by a Strahlereeugeeye tem (4L), the one parallel to the axis of the electrode assembly verlaufe.iden .blektronenatrehl delivers in one place, whose potential i-erir% he is, as the x'otential of the maximum «

! Kae? 3 spectrometer according to nepruch 6, characterized by pin impulse plane gate, the very short one with the frequency of the x ^ escale-migunreei ^ nnun! -; synchronized Im ^ ulee en «ine electrode (4?) eur modulation d ·· Llektronenetru '" ls supplies.

b. ft'aseenspC'kti'oKeter naoh claim l _t thereby g β - k e η η ε c- i η t- t , ds.3 the frequency of the pulse

8 0 G 8 1 0 / ·". 9 1 ^v. 8 0 G 8 1 0 / · ". 9 1 ^v .

At 8,201

der Fr&ijaenz der BeacLlsuni^un^atvjfimiunt; oder einem Untervielfachen dieser Freq/xenz ist«the fr & ijaenz der BeacLlsuni ^ un ^ atvjfimiunt; or one Sub-multiples of this frequency is "

9. le.»se:i»pejfctro«eter nach Anspruob. 6, 7 oder b, g e k · α η -»eichnet durch ein· awieolien der a.odulatiorx»- •l«ktroü· (42) und d«m Ort. an dem uie 1οη·;ΐ ent»t»h»n, zwi- »oh»n^*»ch»lt#t· jtltktrod· (45)» der »i»·9. le. »Se: i» pejfctro «eter according to claim. 6, 7 or b, g e k • l «ktroü · (42) and the place. at the uie 1οη ·; ΐ ent »t» h »n, between »Oh» n ^ * »ch» lt # t · jtltktrod · (45) »the» i »· let, die in der fhas· etwa um 1bu° gegenüber der 3p»nnun^ ·η der Modulationeelektrode (42) verechoben ist.let, which in the fhas · about 1bu ° compared to the 3p »nnun ^ · η the modulation electrode (42) is pushed.

IC ;. ^ aeeena ^ ektrODeter nacli cinea Jer vor. '* Cr ^ eLcInJen ^ rc _t rio ά. <-. α marked by, daa between. die teiiifc i.ocnfre ^ ae.iab & eur.ieunlfcjU.i ^ sa ^ u uvir ^ i'.irirsinden -iek den (1 to \ 2) unu V ₁ ie i.ieivtrod6n (1 ^> uia 2 7) üux ^ rieu _t jang the ^ expands! rotGntiais «* n» .e (34) a -.iaj.tru-ie (13) is arranged. at the ± ia uetrieo cino i.ojrifreq.ae.izeijaununt, lie ^ t, ii ·· we- ^ »ten» arm-ihernd by 180 ° in the j? ha »et, eg» tiUber der üoch-

_ der n: ic ₍ hst benflcaoarteu, iie

Fihreriden electrode (1 :) v ^ rschobe ^ i is.

BATH ORIGINAL

809810/091 Γ.