DE1439349C

DE1439349C - Process for the series production of semiconductor components

Info

Publication number: DE1439349C
Authority: DE
Inventors: Fritz Werner Dipl Chem Sunnyvalle Calif Beyerlein (V St A )
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Publication date: 1971-09-23

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur . Legierung bestehendes Transportband 1 das HaIb-Serienfertigung von Halbleiterbauelementen oder ' Ieitersystenr2 auflegiert. In Fig 2 ist die gleiche Mikroschaltungen, bei dem die Halbleitersysteme auf Anordnung von der Seite gesehen dargestellt. Hiereinem leitenden, Anschlüsse für die herzustellenden bei sind die Ränder 3 nach oben gebogen. Die Kon-Halbleiterbauelemente aufweisenden Trägerkörper 5 taktierungsdrähte 4 und 5 des Halbleitersystems lieauflegiert werden, wobei der Trägerkörper entspre- gen dabei, wie in F i g. 3 gezeigt, an diesen an. Die chend den erforderlichen Anschlüssen für die zu fer- Kontaktierungsdrähte werden durch Punktschweißen tigenden Halbleiterbauelemente rasterförmig, insbe- mit den als Anschluß dienenden Randstreifen versondere durch Ausstanzen, mit Einschnitten versehen bunden. Daneben sind jedoch auch andere Kontakist, und bei dem weiterhin Kontaktierungsdrähte der io tierungsverfahren möglich. Anschließend wird das Halbleitersysteme mit entsprechenden Anschlüssen . Halbleitersystem, wie aus F i g. 4 hervorgeht, bis verbunden werden. mindestens zu den Verbindungsstellen zwischen Kon-The invention relates to a method for. Alloy existing conveyor belt 1 the Halb series production of semiconductor components or 'Ieitersystenr2. In Fig. 2 is the same Microcircuits in which the semiconductor systems are shown on arrangement viewed from the side. Here one conductive, connections for the to be produced at the edges 3 are bent upwards. The Kon semiconductor components having carrier body 5 clocking wires 4 and 5 of the semiconductor system lieauflegiert are, the carrier body correspond to how in F i g. 3 shown on this. the The necessary connections for the contacting wires to be supplied are made by spot welding Tending semiconductor components in a grid shape, especially the edge strips serving as a connection bound by punching, provided with incisions. However, there are also other contacts and with the contacting wires of the io tierungsverfahren possible. Then the Semiconductor systems with corresponding connections. Semiconductor system, as shown in FIG. 4 appears until get connected. at least to the connection points between con-

Es ist aus der österreichischen Patentschrift taktierungsdrähten und Anschlußleisten mit einem 229 365 bekannt, ein Halbleitersystem in Form eines aushärtbaren Kunststoff vergossen, so daß ein Ge-Halbleiterplättchens aufzumontieren, bei welchem 15 häuse6 in Fig. 4 entsteht. Zum Schluß wird das von einem zusammenhängendem Rand Streifen ins Transportband derart zerlegt, daß die einzelnen Bau-Innere der Plättchenfläche vorstehen, die als An- elemente erhalten werden, die dann gegebenenfalls Schlüsse für die aufgesetzten Halbleitersysteme die- noch mit einem kennzeichnenden Lack bzw. einem nen. Eine solche Anordnung benötigt während der gefärbten Kunststoff durch Eintauchen überzogen Montage der Einzelhalbleitersysteme eine Unterstüt- 20 werden.It is from the Austrian patent clocking wires and connection strips with a 229 365 known to encapsulate a semiconductor system in the form of a hardenable plastic, so that a Ge semiconductor wafer to assemble, in which 15 housing6 in Fig. 4 is created. In the end it will disassembled from a continuous edge strip in the conveyor belt in such a way that the individual building interior protrude from the platelet surface, which are obtained as an element, which then optionally Conclusions for the attached semiconductor systems still with a characteristic varnish or a nen. Such an arrangement needed during the colored plastic coated by immersion Assembling the single semiconductor systems will be a support.

zung in Form einer Keramikunterlage, die später In den F i g. 5 bis 8 ist eine analoge Ausführungin the form of a ceramic base, which will later be shown in FIGS. 5 to 8 is an analog version

Teil eines umgebenden Gehäuses wird. des Herstellungsverfahrens für HalbleiterschaltkreiseBecomes part of a surrounding housing. of the manufacturing process for semiconductor circuits

Der vorliegenden Erfindung liegt demgegenüber dargestellt. So zeigt Fig. 5 ein ebenfalls aus einerThe present invention is contrasted. Thus, Fig. 5 shows a likewise from a

die Aufgabe zugrunde, ein besonders einfaches Ver- Eisen-Kobalt-Nickel-Legierung bestehendes, mit einerthe task is based on a particularly simple iron-cobalt-nickel alloy existing, with a

fahren zur Serienfertigung von Halbleiterbauelemen- 25 dünnen Goldschicht überzogenes Transportband 11,drive for series production of semiconductor components - 25 thin gold-coated conveyor belt 11,

ten oder Mikroschaltungen anzugeben. dem ein für die Kontaktierung eines Halbleiterschalt-or microcircuits. the one for contacting a semiconductor switching

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem kreises geeignetes Muster eingestanzt ist.According to the invention, this object is stamped in a suitable pattern in a circle.

Verfahren der eingangs genannten Art dadurch ge- Auf diesem Transportband wird, wie in F i g. 6Method of the type mentioned at the outset thereby. On this conveyor belt, as in FIG. 6th

löst, daß als Trägerkörper ein während der Herstel- dargestellt, ein Silicium-Festkörperschaltkreis 12 mitsolves that a silicon solid-state circuit 12 is shown as the carrier body during manufacture

lung der Halbleiterbauelemente als frei tragendes 30 Kontaktierungsdrähten auflegiert. Diese Kontaktie-development of the semiconductor components as self-supporting 30 contacting wires. This contact

Transportmittel dienendes Band aus Kontaktierungs- rungsdrähte des Schaltkreises werden, wie in F i g. 7The tape made of contacting wires of the circuit and serving as a means of transport are, as shown in FIG. 7th

material verwendet wird, das zur Bildung von An- gezeigt, mit dem durch Ausstanzen des Bandes ent-material is used that is shown to form indications, with which, by punching out the tape,

Schlüssen für eine Vielzahl von Bauelementen mit sprechend einem vorgegebenen Muster hergestelltenConclusions for a large number of components produced with speaking a predetermined pattern

periodisch wiederkehrenden Einschnitten versehen ist, Anschlußstreifen an den Stellen 13 verbunden. An-periodically recurring incisions is provided, connecting strips connected at points 13. On-

so daß Muster von Anschlußstreifen entstehen, die 35 schließend wird die gesamte Anordnung, d. h. SiIi-so that patterns of terminal strips are formed which will eventually cover the entire assembly, i.e. H. SiIi-

jeweils innerhalb eines Musters mit einem Halb- cium-Schaltkreis und Anschlußstreifen bis mindestenseach within a pattern with a semi-cium circuit and connecting strips up to at least

leitersystem in entsprechender Weise verbunden wer- zu den Verbindungsstellen der Kontaktierungsdrähteconductor system are connected in a corresponding manner to the connection points of the contacting wires

den, daß alle Halbleitersysteme bis mindestens zu mit einem aushärtbaren Kunststoff vergossen. Aufdenotes that all semiconductor systems are potted at least up to with a curable plastic. on

den Verbindungsstellen ihrer Kontaktierungsdrähte diese Weise erhält man ein, wie in Fig. 8 dargestellt,the connection points of their contacting wires in this way are obtained, as shown in Fig. 8,

und den jeweils zugehörigen Anschlüssen mit einer 40 gegen äußere Einwirkungen stabiles Bauelement 14and the respective associated connections with a component 14 that is stable against external influences

zusammenhängenden Vergußmasse umhüllt werden, mit einem Gehäuse 15. Das einzelne Bauelement ent-coherent potting compound are encased, with a housing 15. The individual component

und daß danach der bandförmige Trägerkörper und steht durch Zerschneiden des aus Kontaktierungs-and that then the band-shaped carrier body and is by cutting the contacting

die Anschlußstreifen in einem abschließenden material bestehenden Transportbandes. Zur Kenn-the connecting strips in a final material existing conveyor belt. To the identification

Arbeitsgang zur Herstellung von Einzelhalbleiterbau- zeichnung kann, wie am Beispiel des Mikro-Planar-Operation for the production of individual semiconductor construction drawings can, as in the example of the micro-planar

elementen zerteilt werden. 45 transistors beschrieben, abschließend ein Überzugelements are divided. 45 described transistor, finally a coating

Bei einer Ausführungsform des auf dem Erfin- aus einem gefärbten Kunststoff aufgebracht werden,In one embodiment of the invention, a colored plastic can be applied,

dungsgedanken beruhenden Verfahrens wird das Für die Herstellung von Dioden bzw. TransistorenThought-based method is used for the manufacture of diodes and transistors

Transportband nach dem Auflegieren der Halbleiter- eignen sich Transportbänder, die entsprechend den inConveyor belt after the semiconductor has been alloyed, conveyor belts are suitable, which correspond to the in

Systeme an beiden Seiten nach oben gebogen, so daß den F i g. 9 und 10 dargestellten Mustern ausgestanztSystems bent upwards on both sides, so that the F i g. 9 and 10 patterns shown punched out

die Kontaktierungsdrähte der Halbleitersysteme mit 50 sind.the bonding wires of the semiconductor systems with 50 are.

einer gewissen Vorspannung an den aufgebogenen Das in F i g. 9 dargestellte Band 21 ist zum Her-Rändern anliegen. stellen von Dioden geeignet und ist so ausgebildet,a certain pretension on the bent up part in FIG. The band 21 shown in FIG. 9 is for edging issue. of diodes and is designed in such a way that

Bei einer weiteren Ausführungsform werden dem daß zur Kontaktierung des Bauelements zwei An-In a further embodiment, the fact that two connections are made for contacting the component

Transportband wiederkehrende Muster entsprechend schlußstreifen 22 und 23 zur Verfügung stehen. DasConveyor belt recurring patterns corresponding to closing strips 22 and 23 are available. The

elektrisch miteinander zu verschaltender Gruppen von 55 für die Herstellung von Transistoren geeignete BandElectrically interconnected groups of 55 tape suitable for the production of transistors

verschiedenartigen Bauelementen eingestanzt, die ge- 25 in Fig. 10 weist drei Anschlußstreifen26, 27 undpunched in various types of components, the one 25 in FIG. 10 has three connection strips 26, 27 and

meinsam eingegossen weiden. 28 für die Kontaktierung des Bauelements auf. Dietogether poured willow. 28 for contacting the component. the

Das Verfahren gemäß der Erfindung ist damit so- fertigen Bauelemente sind mit einem Kunststoffwohl für die Herstellung von Mikrobauelementen, gehäuse 33 bzw. 34 umgeben und zeigen die in den wie Mikroplanartransistoren oder Mikroplanar- 60 Figuren 31 (Diode) bzw. 32 (Transistor) dargestellte dioden, als auch zur Herstellung bzw. Kontaktierung Ausbildung,
von Festkörperschaltkreisen geeignet. Die Anwendung des Verfahrens auf die Herstel-The method according to the invention is thus ready-made components are surrounded by a plastic well for the production of microcomponents, housings 33 and 34 and show those shown in FIGS. 31 (diode) and 32 (transistor) such as microplanar transistors or microplanar transistors diodes, as well as for making or contacting training,
suitable for solid-state circuits. The application of the process to the

Nähere Einzelheiten gehen aus den an Hand der lung von Schaltkreisen aus konventionellen Bau-Further details can be found in the use of circuits from conventional construction

F ig. 1 bis 12 beschriebenen Ausführungsbeispielen elementen bzw. auf solche Schaltkreise, die eine Kom-Fig. 1 to 12 described embodiments elements or on such circuits that a com-

hervor. 65 bination von konventionellen Bauelementen undemerged. 65 combination of conventional components and

Zur Herstellung eines Mikroplanartransistors wird Halbleiterbauelementen darstellen, erfordert ledig-For the production of a microplanar transistor will represent semiconductor components, requires only

beispielsweise, wie in F i g. 1 in Draufsicht dargestellt, lieh die Anpassung des in das Transportband einge-for example, as shown in FIG. 1 shown in plan view, the adaptation of the

auf ein vergoldetes aus einer Eisen-Kobalt-Nickel- stanzten Musters an die Abmessungen der Bauteile.on a gold-plated pattern stamped from an iron-cobalt-nickel to the dimensions of the components.

Claims

Patent claims:

1. Process for the series production of semiconductor components or microcircuits, at which the semiconductor systems on a conductive, connections for the semiconductor components to be manufactured having carrier body are alloyed, the carrier body accordingly the necessary connections for the semiconductor components to be manufactured in a grid, in particular by punching, is provided with incisions, and in which further contacting wires of the semiconductor systems are connected to corresponding connections, thereby characterized in that a carrier body is used during the manufacture of the semiconductor components as a self-supporting means of transport serving tape of contacting material is used, which is used to form connections is provided with periodically recurring incisions for a large number of components, so that patterns of connection strips arise, each within a pattern with a Semiconductor system are connected in a corresponding manner that all semiconductor systems up to at least the connection points of their contacting wires and the respective associated connections are encased with a coherent potting compound and then the band-shaped Carrier body and the connecting strips in a final production step are divided by individual semiconductor components.

2. The method according to claim 1, characterized in that after the alloying of the semiconductor systems, the conveyor belt is bent upwards on both sides so that the contacting wires of the semiconductor systems rest against the bent-up edges of the belt with a certain bias.

3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the conveyor belt recurring Patterns corresponding to groups of different types that are to be electrically connected to one another Components are punched that are cast together.

1 sheet of drawings