DE14183857T1 - Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit - Google Patents

Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit Download PDF

Info

Publication number
DE14183857T1
DE14183857T1 DE14183857.3T DE14183857T DE14183857T1 DE 14183857 T1 DE14183857 T1 DE 14183857T1 DE 14183857 T DE14183857 T DE 14183857T DE 14183857 T1 DE14183857 T1 DE 14183857T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
electrodes
bias
hall
magnetic field
differential
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE14183857.3T
Other languages
English (en)
Inventor
Christian Schott
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Melexis Technologies NV
Original Assignee
Melexis Technologies NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Melexis Technologies NV filed Critical Melexis Technologies NV
Publication of DE14183857T1 publication Critical patent/DE14183857T1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07—Hall effect devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
    • G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
    • G01R33/07—Hall effect devices
    • G01R33/077—Vertical Hall-effect devices

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Abstract

Magnetfeldsensor, umfassend: – eine Struktur (1), umfassend ein ringförmiges Loch (7), das auf einem Bulksubstrat (40) bereitgestellt ist, und umfassend eine Anzahl (N) von inneren Elektroden (5), die in äquidistanten Winkelpositionen auf einem inneren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) ist, und wobei die gleiche Anzahl (N) von äußeren Elektroden (4) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem äußeren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) und radial mit den inneren Elektroden (5) ausgefluchtet ist, um Paare von Vorspannelektroden zu bilden, und wobei die gleiche Anzahl (N) von Ausleseelektroden (6) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem Zwischenkreis angeordnet ist, der konzentrisch zu dem Loch (7) ist, jedoch im Winkel mit Bezug auf die inneren und äußeren Elektroden (5, 4) über 180° geteilt durch die Anzahl (N) verschoben; – und eine Vorspann-und-Ausleseschaltung (10), umfassend eine Vielzahl von Schaltern, um selektiv eine fortschreitende Aufeinanderfolge von unterschiedlich ausgerichteten Vorspannströmen an ein Paar Vorspannelektroden (4p, 5p) anzulegen, und um selektiv eine Differenzial-Hall-Spannung über eine fortschreitende Aufeinanderfolge von zwei Auslese-Elektroden (6p, 6q) zu lesen, die sich in einem gleichen Abstand zu der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4p) befindet, wobei die Vorspannelektroden (4p, 5p) und die Ausleseelektroden (6p, 6q) ein horizontales Hall-Element (99) bilden, wobei die Differenzial-Hall-Spannung die relative Stärke von Magnetfeldkomponenten an der Stelle des Hall-Elements (99) anzeigt.

Claims (15)

  1. Magnetfeldsensor, umfassend: – eine Struktur (1), umfassend ein ringförmiges Loch (7), das auf einem Bulksubstrat (40) bereitgestellt ist, und umfassend eine Anzahl (N) von inneren Elektroden (5), die in äquidistanten Winkelpositionen auf einem inneren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) ist, und wobei die gleiche Anzahl (N) von äußeren Elektroden (4) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem äußeren Kreis angeordnet ist, der konzentrisch mit dem Loch (7) und radial mit den inneren Elektroden (5) ausgefluchtet ist, um Paare von Vorspannelektroden zu bilden, und wobei die gleiche Anzahl (N) von Ausleseelektroden (6) an äquidistanten Winkelpositionen auf einem Zwischenkreis angeordnet ist, der konzentrisch zu dem Loch (7) ist, jedoch im Winkel mit Bezug auf die inneren und äußeren Elektroden (5, 4) über 180° geteilt durch die Anzahl (N) verschoben; – und eine Vorspann-und-Ausleseschaltung (10), umfassend eine Vielzahl von Schaltern, um selektiv eine fortschreitende Aufeinanderfolge von unterschiedlich ausgerichteten Vorspannströmen an ein Paar Vorspannelektroden (4p, 5p) anzulegen, und um selektiv eine Differenzial-Hall-Spannung über eine fortschreitende Aufeinanderfolge von zwei Auslese-Elektroden (6p, 6q) zu lesen, die sich in einem gleichen Abstand zu der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4p) befindet, wobei die Vorspannelektroden (4p, 5p) und die Ausleseelektroden (6p, 6q) ein horizontales Hall-Element (99) bilden, wobei die Differenzial-Hall-Spannung die relative Stärke von Magnetfeldkomponenten an der Stelle des Hall-Elements (99) anzeigt.
  2. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1, wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) angeordnet ist, um die zwei Ausleseelektroden (6r, 6s) auszuwählen, die sich am nächsten an der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4p) befinden.
  3. Magnetfeldsensor nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) angeordnet ist, um den Sensor zyklisch zu betreiben, wobei ein vollständiger fortschreitender aufeinander folgender Zyklus in jedem Schritt das Vorspannen von mindestens einem Hall-Element umfasst, ebenso wie das Lesen der entsprechenden Hall-Spannung von diesem mindestens einen Hall-Element.
  4. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, – weiter umfassend einen Differenzialverstärker (11) mit mindestens einem Differentialanschluss mit einem positiven Eingang (Vp) und einem negativen Eingang (Vn); – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) weiter ausgelegt ist, um die aufeinander folgenden Differenzial-Hall-Spannungen durch den Anschluss in jedem Schritt der Ausleseelektrode (6b), die sich auf der linken Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7), befindet, an den positiven Eingang (Vp) des Differenzialverstärkers (11), und den Anschluss der Ausleseelektrode (6), die sich auf der rechten Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7) befindet, an den negativen Eingang (Vn) eines Differenzialverstärkers (11) zu lesen.
  5. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, – weiter umfassend einen Differenzialverstärker (11) mit mindestens einem Differenzialanschluss mit einem positiven Eingang (Vp) und einem negativen Eingang (Vn); – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) weiter ausgelegt ist, um die aufeinander folgenden Differenzial-Hall-Spannungen durch den Anschluss in jedem Schritt der Ausleseelektrode (6b), die sich auf der linken Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7), befindet, an den positiven Eingang (Vp) des Differenzialverstärkers (11), und den Anschluss der Ausleseelektrode (6), die sich auf der rechten Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7) befindet, an den negativen Eingang (Vn) eines Differenzialverstärkers (11) zu lesen; und den Anschluss in jedem ungeraden Schritt der Ausleseelektrode (6b), die sich auf der linken Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7) befindet, an den negativen Eingang (Vp) des Differenzialverstärkers (11), und den Anschluss der Ausleseelektrode (6), die sich auf der rechten Seite der Vorspannelektroden (4b, 5b), gesehen von der Mitte der Wand (7) befindet, an den positiven Eingang (Vn) eines Differenzialverstärkers (11).
  6. Magnetfeldsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) ausgelegt ist, um nur ein einziges Hall-Element (9d) in jedem aufeinander folgenden Schritt vorzuspannen und auszulesen.
  7. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, – wobei die Anzahl von Hall-Elementen (9) gerade ist; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) ausgelegt ist, um gleichzeitig ein erstes Hall-Element (9e) vorzuspannen und zu lesen, um ein erstes Differenzial-Hall-Signal (s1) und ein zweites Hall-Element (9f) bereitzustellen, das sich in einem Winkelabstand von 180° vom ersten Hall-Element befindet, um ein zweites Differenzial-Hall-Signal (s2) bereitzustellen; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) weiter ausgelegt ist, um das erste und das zweite Differenzial-Hall-Signal (s1, s2) zu subtrahieren.
  8. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, – wobei die Anzahl von Hall-Elementen gerade ist; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) ausgelegt ist, um gleichzeitig ein erstes Hall-Element (9m) vorzuspannen und zu lesen, um ein erstes Differential-Hall-Signal (s1) bereitzustellen, und um ein zweites Hall-Element (9n) vorzuspannen und zu lesen, das sich in einem Winkelabstand von 180° vom ersten Hall-Element befindet, um ein zweites Differenzial-Hall-Signal (s2) bereitzustellen; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) weiter ausgelegt ist, um das erste und das zweiten Differenzial-Hall-Signal (s1, s2) zu addieren.
  9. Magnetfeldsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 5, – wobei die Anzahl der Hall-Elemente ein ganzzahliges Vielfaches von vier ist; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) ausgelegt ist, um gleichzeitig vier Hall-Element (9p, 9q, 9r, 9t) vorzuspannen und zu lesen, die sich in einem Winkelabstand von 90° voneinander befinden; – und wobei die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) weiter ausgelegt ist, um das/die Ausgabesignal(e) als die Summe der Signale (s1, s2) des ersten und des dritten Hall-Elements (9p, 9r) minus der Summe der Signale (s2, s4) des zweiten und des vierten Hall-Elements (9q, 9t) zu bestimmen.
  10. Magnetfeldsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, weiter umfassend einen integrierten magnetischen Konzentrator (8), der sich auf der oberen Seite des Lochs (7) befindet.
  11. Winkelpositionssensor zum Bestimmen einer Winkelposition mit Bezug auf einen Dauermagneten (2), wobei der Winkelpositionssensor Folgendes umfasst: – einen Magnetfeldsensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche; – eine Winkelbestimmungsschaltung zum Bestimmen einer Winkelposition auf der Grundlage der Aufeinanderfolge von Differenzial-Hall-Signalen, die durch die Vorspann-und-Ausleseschaltung (10) bereitgestellt sind.
  12. Winkelpositionssensor nach Anspruch 11, wobei die Winkelbestimmungsschaltung einen Tiefpassfilter oder einen Bandpassfilter umfasst.
  13. Anordnung zum Messen einer Winkelposition (α) eines Rotors (2) mit Bezug auf einen Stator (3), wobei die Anordnung Folgendes umfasst: – den Rotor (2), der um eine Drehachse (4) drehbar ist; – den Stator (3), der eine feste Position mit Bezug auf die Drehachse (4) aufweist; – einen Dauermagneten (2), der auf dem Rotor (2) montiert ist, um ein Magnetfeld (B) zu erzeugen; – einen Winkelpositionssensor nach einem der Ansprüche 11–12.
  14. Verfahren zum Bestimmen einer Winkelposition eines Magnetfelds unter Verwendung des Magnetfeldsensors nach einem der Ansprüche 1 bis 10, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: a) selektives Anlegen einer fortschreitenden Aufeinanderfolge von unterschiedlich ausgerichteten Vorspannströmen an ein Paar Vorspannelektroden (4b, 5b) und selektives Lesen einer Differenzial-Hall-Spannung über eine fortschreitende Aufeinanderfolge der zwei Auslese-Elektroden (6b, 6c), die sich in einem gleichen Abstand zu der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4b) befinden, wobei die Aufeinanderfolge von Hall-Spannungen eine Wellenform bildet; b) Verstärken der Wellenform; c) Tiefpassfiltern der verstärkten Wellenform; d) Bestimmen einer Phasenverschiebung (φ) der Tiefpass-gefilterten Wellenform, als die Winkelposition.
  15. Verfahren zum Bestimmen einer Winkelposition eines Magnetfelds unter Verwendung des Magnetfeldsensors nach einem der Ansprüche 5 bis 10, wenn abhängig von Anspruch 5, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: a) selektives Anlegen einer fortschreitenden Aufeinanderfolge von unterschiedlich ausgerichteten Vorspannströmen an ein Paar Vorspannelektroden (4b, 5b) und selektives Lesen einer Differenzial-Hall-Spannung über eine fortschreitende Aufeinanderfolge der zwei Auslese-Elektroden (6b, 6c), die sich in einem gleichen Abstand zu der ausgewählten äußeren Vorspannelektrode (4b) befinden; b) Modulieren der aufeinander folgend gelesenen Hall-Spannungen vor der Verstärkung; c) Verstärken der modulierten Hall-Spannungen; d) Demodulieren der verstärkten modulierten Hall-Spannungen; e) Bestimmen einer Phasenverschiebung (φ) der demodulierten Wellenform als die Winkelposition.
DE14183857.3T 2013-09-06 2014-09-05 Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit Pending DE14183857T1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB201315964A GB201315964D0 (en) 2013-09-06 2013-09-06 Magnetic field orientation sensor and angular position sensor using same
GB201315964 2013-09-06
EP14183857.3A EP2846136B1 (de) 2013-09-06 2014-09-05 Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE14183857T1 true DE14183857T1 (de) 2015-12-10

Family

ID=49486889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE14183857.3T Pending DE14183857T1 (de) 2013-09-06 2014-09-05 Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9310224B2 (de)
EP (1) EP2846136B1 (de)
DE (1) DE14183857T1 (de)
GB (1) GB201315964D0 (de)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9547048B2 (en) * 2014-01-14 2017-01-17 Allegro Micosystems, LLC Circuit and method for reducing an offset component of a plurality of vertical hall elements arranged in a circle
JP6209486B2 (ja) * 2014-05-13 2017-10-04 双葉電子工業株式会社 角度検出装置および角度検出装置を利用したサーボ装置
US9684042B2 (en) * 2015-02-27 2017-06-20 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor with improved accuracy and method of obtaining improved accuracy with a magnetic field sensor
DE102015105854A1 (de) * 2015-04-16 2016-10-20 Max Baermann Gmbh Hallsensor
CA2988125C (en) 2015-06-02 2023-10-24 Nortek Security & Control Llc Wireless position sensor assembly for a rotating actuator
DE102015211258A1 (de) * 2015-06-18 2016-12-22 Robert Bosch Gmbh Vorrichtungen und Verfahren zur Auswertung eines Signals von einem Drehwinkelgeber
JP6833204B2 (ja) 2016-02-25 2021-02-24 セニス エージー 磁界の角度を測定する角度センサ及び方法
US10732012B2 (en) * 2016-06-02 2020-08-04 Nortek Security & Control Llc Wireless sensor system
EP3321638B1 (de) 2016-11-14 2019-03-06 Melexis Technologies SA Messung einer absoluten winkelposition
EP3367110B1 (de) * 2017-02-24 2024-04-17 Monolithic Power Systems, Inc. Strommesssystem und strommessverfahren
DE102017111857A1 (de) * 2017-05-31 2018-12-06 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Hybridmodul einer monolithischen Baugruppe mit einem elektrischen Leiter
DE102017127837A1 (de) * 2017-11-24 2019-05-29 Tdk-Micronas Gmbh Vorrichtung und ein verfahren zur verarbeitung eines messsignals von einem magnetfeld-sensor
DE102018106037B4 (de) * 2018-03-15 2023-03-30 Infineon Technologies Ag Mehr-Kontakt-Hall-Platte und Verfahren zum Betreiben derselben
US10866289B2 (en) 2018-03-27 2020-12-15 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensor and associated methods including differential chopping
EP3591417B1 (de) * 2018-07-05 2020-06-10 Melexis Technologies SA Randomisiertes spinnen von hallplatten
EP3644080B1 (de) * 2018-10-23 2022-08-03 Melexis Bulgaria Ltd. Sensorschaltung mit offset-kompensation
US11163019B1 (en) 2020-08-05 2021-11-02 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensors having stray field rejection
EP3992652A1 (de) * 2020-11-03 2022-05-04 Melexis Technologies SA Magnetsensorvorrichtung
US11802922B2 (en) 2021-01-13 2023-10-31 Allegro Microsystems, Llc Circuit for reducing an offset component of a plurality of vertical hall elements arranged in one or more circles
CN117394609B (zh) * 2023-10-10 2024-06-04 山西省机电设计研究院有限公司 永磁同步伺服电机及电气设备

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6288533B1 (en) * 1997-05-29 2001-09-11 Physical Electronics Laboratory Method and apparatus for detecting rotor position by use of magnetic field sensor pairs
US6326780B1 (en) * 1998-12-01 2001-12-04 Visteon Global Technologies, Inc. Magnetic field concentrator array for rotary position sensors
JP4936299B2 (ja) 2000-08-21 2012-05-23 メレクシス・テクノロジーズ・ナムローゼフェンノートシャップ 磁場方向検出センサ
US7341321B2 (en) * 2002-03-08 2008-03-11 Ntn Corporation Rotation detecting device and anti-skid braking system using the same
JP2008043133A (ja) * 2006-08-09 2008-02-21 Hitachi Via Mechanics Ltd 揺動アクチュエータ装置およびレーザ加工装置
EP2000813A1 (de) * 2007-05-29 2008-12-10 Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne Magnetfeldsensor zum Messen der Richtung eines Magnetfelds
EP2000814B1 (de) * 2007-06-04 2011-10-26 Melexis NV Magnetfeld-Richtungs-Sensor
EP2028450A2 (de) * 2007-07-27 2009-02-25 Melexis NV Positionssensor
US8093891B2 (en) * 2009-03-02 2012-01-10 Robert Bosch Gmbh Vertical Hall Effect sensor
US8922206B2 (en) 2011-09-07 2014-12-30 Allegro Microsystems, Llc Magnetic field sensing element combining a circular vertical hall magnetic field sensing element with a planar hall element

Also Published As

Publication number Publication date
EP2846136B1 (de) 2016-11-23
EP2846136A1 (de) 2015-03-11
US20150070002A1 (en) 2015-03-12
GB201315964D0 (en) 2013-10-23
US9310224B2 (en) 2016-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE14183857T1 (de) Magnetfeldsensor und Winkelpositionssensor damit
DE112008001024B4 (de) Magnetischer Drehwinkeldetektor
US9182250B2 (en) Circular vertical hall magnetic field sensing element and method with a plurality of continuous output signals
EP2616778B1 (de) Verfahren und vorrichtung zur absoluten positionsbestimmung eines beweglichen körpers
DE102016113207B4 (de) Rotationserkennungsvorrichtung
EP2820382A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur redundanten, absoluten positionsbestimmung eines beweglichen körpers
EP2979102B1 (de) Fremdmagnetfeld-unempfindlicher hallsensor
DE102008015698A1 (de) Sensoranordnung, integrierter Chipbaustein mit der Sensoranordnung und Messverfahren
JP6442045B2 (ja) オフセット補償を用いるホール効果センサー回路
DE112008003911T5 (de) Magnetischer Encoder und Aktuator
WO2017219037A2 (en) High bandwidth hall sensor
DE102014109693A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Messung eines Winkels
DE102017111979B4 (de) Winkelsensor, Korrekturverfahren zur Verwendung mit dem Winkelsensor und Winkelsensorsystem
DE102017113861A1 (de) Winkelsensor und Winkelsensorsystem
DE102021108750A1 (de) Magnetsensor, magnetischer wertgeber und linsenpositionsdetektionsbauelement
DE102011004366A1 (de) Sensoranordnung zum Bestimmen eines Drehwinkels
CN106931995B (zh) 一种基于电流输出模式的四相旋转电流电路和方法
DE102017119668A1 (de) Winkelsensor und Winkelsensorsystem
US9921273B2 (en) Hall electromotive force signal detection circuit, current sensor thereof, and hall element driving method
DE102017106655A1 (de) Störfeldkompensierte Winkelsensorvorrichtung und Verfahren zur störfeldkompensierten Winkelbestimmung
US10495701B2 (en) Circular vertical hall (CVH) sensing element with DC offset removal
DE102018129055A1 (de) Operationsverarbeitungsvorrichtung, Winkelsensor und Servolenkungsvorrichtung
EP2690410A2 (de) Übertragungsvorrichtung und Sensor-System
US9851419B2 (en) Hall sensor
DE102015222462A1 (de) Signalverarbeitungsvorrichtung