DE1289784B

DE1289784B - Device for distributing workpieces of the same type according to quality classes, in particular semiconductor crystals

Info

Publication number: DE1289784B
Application number: DE1964S0089571
Authority: DE
Inventors: Jocher Leonhard; Hoepfer Walter
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1964-02-14
Filing date: 1964-02-14
Publication date: 1969-02-20

Description

In der Halbleitertechnik tritt häufig die Aufgabe auf, bei der Serienfertigung und Serienmessung anfallende Werkstücke, z. B. Halbleiterkristalle, nach Güteklassen zu verteilen bzw. sortieren. Beispielsweise wird bei Messungen des spezifischen Widerstandes an Halbleiterkristallen, der Trägerlebensdauer oder anderer elektrischer Eigenschaften bei der Fertigung von Halbleiterkristallen die Notwendigkeit auftreten, diese Kristalle entsprechend dem erhaltenen Meßergebnis auf eine Reihe von Güteklassen aufzuteilen, beispielsweise um die einzelnen Güteklassen für sich allein weiterverarbeiten zu können. Eine diese Sortierung vornehmende automatische Vorrichtung, die vor allem auch der Empfindlichkeit von Halbleiterkristallen gegen mechanische Beschädigungen usw. Rechnung trägt, die außerdem den Meß- und Sortierungsvorgang in kurzen, d. h. Bruchteilen von Sekunden betragenden Zeitspannen erledigt, wird deshalb für eine solche Technik besonders wertvoll sein. In semiconductor technology, the task often occurs in series production and series measurement of workpieces, e.g. B. semiconductor crystals, according to grades to distribute or sort. For example, when measuring the specific Resistance at semiconductor crystals, the carrier life or other electrical Properties in the manufacture of semiconductor crystals the need arise these crystals in a number of grades according to the measurement result obtained split up, for example in order to further process the individual quality classes on their own to be able to. An automatic device performing this sorting, which above all also the sensitivity of semiconductor crystals to mechanical damage etc. takes into account, which also the measuring and sorting process in short, d. H. Fraction of seconds of time spans are therefore done for a such technique can be particularly valuable.

Solche Vorrichtungen sind an sich bekannt. Ein Beispiel bildet eine Sortiervorrichtung, bei der das Meßobjekt entsprechend dem Meßergebnis in jeweils eine von mehreren vorgesehenen, kippfähigen Rutschstrecken eingeworfen wird, bei der eine Rutschstrecke zugleich mehrere zur Aufnahme der Werkstücke der verschiedenen Güteklassen vorgesehenen Sammelbehälter bedient und außerdem mehrere Abwurfstellen je nach Güteklasse vorgesehen sind. Bei einer anderen bekannten Vorrichtung ist für jede der vorgesehenen Güteklassen eine besondere Rutschstrecke vorgesehen, wobei die Mündungen dieser Rutschstrecken längs einer Kreislinie um eine horizontale Platte angeordnet sind, auf welche das zu sortierende Werkstück gelegt wird. Nach dem jeweiligen Ergebnis der Messung neigt sich die horizontale Platte gegen die Mündung der jeweils zur Aufnahme des Werkstücks bestimmten Rutschstrecke, so daß das Werkstück von der betreffenden Rutschstrecke aufgenommen werden kann. Eine andere Vorrichtung besitzt nur eine einzige und damit ortsfeste Rutschstrecke, die zu sämtlichen Sammelbehältern führt. Zu diesem Zweck bilden die Deckel der einzelnen Sammelbehälter einen Teil der Rutschstrecke derart, daß bei geöffnetem Deckel eines Sammelbehälters die Rutschstrecke unterbrochen wird und das Werkstück in den offenen Sammelbehälter fällt. Such devices are known per se. An example is one Sorting device in which the measurement object according to the measurement result in each one of several intended, tiltable slide sections is thrown in the one slide section at the same time several to accommodate the workpieces of the various Quality classes provided collection container and also several drop points are provided depending on the quality class. Another known device is for each of the envisaged quality classes a special slide route is provided, whereby the mouths of these sliding sections along a circular line around a horizontal plate are arranged on which the workpiece to be sorted is placed. According to the respective Result of the measurement, the horizontal plate leans towards the mouth of each for receiving the workpiece specific sliding distance, so that the workpiece from the relevant slide can be included. Has another device only a single and therefore stationary slide section leading to all collection containers leads. For this purpose, the lids of the individual collecting containers form a part the sliding path in such a way that when the cover of a collecting container is open, the sliding path is interrupted and the workpiece falls into the open collecting container.

Schließlich war eine Vorrichtung zur Serienprüfung von Gegenständen bekannt, bei der ein Stromkreis durch zwei Steuerorgane beeinflußt wird, wobei das eine durch die zu prüfende Größe und das zweite von einer motorisch angetriebenen Steuervorrichtung verstellt wird, derart, daß mindestens ein in dem Stromkreis liegendes Schaltorgan bei korrespondierenden Arbeitsstellungen der beiden Steuerorgane den Bewegungsantrieb der Steuervorrichtung unterbricht, wobei die Stillstandslage der Steuervorrichtung den Meßwert des Gegenstandes angibt. Bei dieser Vorrichtung ist ein schräges, um eine vertikale Achse drehbares Leitrohr vorgesehen, welches das Werkstück nach erfolgter Prüfung aufnimmt und in die einzelnen Sammelbehälter leitet. Um dies zu erreichen, geht die vertikale Drehachse durch das obere offene Ende des Leitrohres, so daß sein unteres Ende über die vorgesehenen, längs eines Halbleiterkristalls angeordneten Sammelbehälter geschwenkt werden kann. Nach erfolgter Prüfung wird das Leitrohr derart geschwenkt, daß sein unteres Ende über den betreffenden Sammelbehälter gelangt, während das Werkstück unmittelbar vom Meßplatz auf eine feste Rutsche gelangt, auf welcher es unmittelbar zu dem ortsfesten Aufnahmeende des Leitrohres gelangt. Nachteilig und zeitraubend bei einer solchen Anordnung ist es, daß das Leitrohr nach Maßgabe des jeweiligen Prüfungsergebnisses erst in die erforderliche Stellung gedreht werden muß. Finally, there was a device for series testing of objects known, in which a circuit is influenced by two control organs, the one by the size to be tested and the second by a motor-driven one Control device is adjusted such that at least one lying in the circuit Switching element in the corresponding working positions of the two control elements Movement drive of the control device interrupts, the standstill position of the Control device indicates the measured value of the object. This device is an inclined guide tube rotatable about a vertical axis is provided, which the Receives the workpiece after the test and directs it to the individual collecting containers. To achieve this, the vertical axis of rotation goes through the upper open end of the Guide tube, so that its lower end over the intended, along a semiconductor crystal arranged collecting container can be pivoted. After the test, the guide tube is pivoted so that its lower end over the relevant collecting container arrives while the workpiece is immediate gets from the measuring station onto a fixed slide, on which it comes directly to the stationary receiving end of the guide tube. It is disadvantageous and time-consuming in such an arrangement that the guide tube in accordance with the respective examination result in the required position must be rotated.

Die Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß eine merkliche Verkürzung des Verteilvorgangs möglich ist, wenn eine einzige Abwurfstelle und außerdem je Güteklasse je ein Sammelbehälter und je eine Rutschstrecke vorgesehen ist. The invention is based on the knowledge that a noticeable shortening of the distribution process is possible if a single drop point and also each Quality class is provided with a collection container and a slide section.

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Verteilen von gleichartigen Werkstücken, insbesondere von Halbleiterkristallen im Anschluß an eine an einem Meßplatz stattfindende Prüfung in mindestens zwei Güteklassen, bei der das Werkstück nach erfolgter Prüfung an einer einzigen Abwurfstelle abgeworfen und über eine Rutschstrecke zu einem der betreffenden Güteklasse zugeordneten ruhenden Sammelbehälter geleitet wird, und ist dadurch gekennzeichnet, daß jeder Güteklasse eine zu dem entsprechenden Sammelbehälter führende Rutschstrecke zugeordnet ist, daß diese Rutschstrecken längs eines Kreisbogens um die Abwurfstelle angeordnet sind und daß schließlich Mittel vorgesehen sind, welche die Mündung der der betreffenden Güteklasse zugeordneten Rutschstrecke aus ihrer Ruhelage unter die Abwurfstelle sowie nach erfolgtem Transport des Werkstücks in der Rutschstrecke zum Sammelbehälter wieder in die Ruhelage zurückkippen. The invention relates to a device for distributing similar workpieces, in particular of semiconductor crystals following a test taking place at a measuring station in at least two quality classes which throws the workpiece at a single drop point after the test has been carried out and via a sliding section to a stationary one assigned to the quality class in question Collection container is directed, and is characterized in that each grade a slide route leading to the corresponding collecting container is assigned, that these sliding sections are arranged along an arc of a circle around the discharge point are and that finally means are provided which the mouth of the relevant Slip section assigned to the quality class from its rest position under the dropping point as well as after the workpiece has been transported in the slide to the collecting container Tip back into the rest position.

Zur weiteren Erklärung der Erfindung sowie zur Beschreibung ihrer möglichen weiteren Ausgestaltungen dienen die F i g. 1 bis 5. To further explain the invention and to describe it possible further refinements are shown in FIG. 1 to 5.

In F i g. 1, die zur Erläuterung des Grundprinzips einer Anordnung gemäß der Erfindung dient, bedeutet M den Meßplatz und A die Abwurfstelle. In Fig. 1, which explains the basic principle of an arrangement serves according to the invention, M means the measuring station and A the dropping point.

Nach erfolgter Messung wird das Werkstück W, z. B. ein Halbleiterkristall, von einem mit einer Saugdüse versehenen Transportorgan T ergriffen und zur Abwurfstelle A gebracht. Unterhalb der Abwurfstelle ist - normalerweise in vertikaler Lage - eine Anzahl von rohrförmigen Führungen Rl, .2... Rn entsprechend den n beabsichtigten Güteklassen vorgesehen, die zweckmäßig auf einem Kreis, dessen Mittelpunkt sich vertikal unterhalb der Abwurfstelle befindet, angeordnet sind. Fällt nun das am Meßplatz M festgestellte Prüfungsergebnis an dem betreffenden Werkstück W in die x-te Güteklasse (wobei x eine der Zahlen 1,2 ... n ist, wenn insgesamt n Güteklassen vorgesehen sind), so wird - ausgelöst durch dieses Meßergebnis - die der x-ten Güteklasse zugeordnete rohrförmige Führung Rz aus ihrer vertikalen Lage in eine Schräglage derart umgekippt, daß der Eingang dieser rohrförmigen Führung direkt unterhalb der Abwurfstelle das nunmehr von dem Transportorgan T losgelassene Werkstück W auffängt und an seiner nun als Rutschstrecke dienenden Innenwand zu dem ihr zugeordneten Sammelbehälter Sx gleiten läßt.After the measurement, the workpiece W, z. B. a semiconductor crystal, gripped by a transport element T provided with a suction nozzle and to the discharge point A brought. Below the drop point is - usually in a vertical position - a number of tubular guides Rl, .2 ... Rn corresponding to the intended n Grades provided, which are expediently on a circle, the center of which is located vertically below the dropping point, are arranged. Now falls on Measuring station M determined test result on the workpiece W in question xth quality class (where x is one of the numbers 1, 2 ... n, if a total of n quality classes are provided), then - triggered by this measurement result - that of the umpteenth quality class associated tubular guide Rz from its vertical position into an inclined position tipped over so that the entrance of this tubular guide is directly below the The dropping point catches the workpiece W that has now been released by the transport element T and on its inner wall, which is now used as a slide, to the one assigned to it Can slide collecting container Sx.

Prinzipiell besteht dabei die Möglichkeit, statt der rohrförmigen Führung Ri, R2 usw. geschlossene Sammelröhrchen für die einzelnen Güteklassen zu verwenden, zu deren Boden die Werkstücke längs der Innenwand der Sammelröhrchen rutschen und sich dort sammeln. Für empfindliche Werkstücke empfiehlt sich jedoch die Verwendung eines von den als Führungen dienenden Rutschstrecken räumlich getrennten besonderen Sammelbehälters pro Güteklasse, wie in den Beispielen nach F i g. 1 und 2 vorgesehen ist. In principle, there is the possibility instead of the tubular Guide Ri, R2, etc. closed collecting tubes for the individual grades use, to the bottom of which the workpieces along the inner wall of the collecting tube slide and collect there. However, it is recommended for sensitive workpieces the use of a slide section that is spatially separated from the slide sections that serve as guides special collection container per grade, as in the examples according to FIG. 1 and 2 is provided.

Natürlich kann die Rutschstrecke auch von einer Führungsrinne gebildet sein; bei empfindlichen Werkstücken ist jedoch die rohrförmige Rutschstrecke günstiger. Of course, the slide can also be formed by a guide channel be; with sensitive workpieces, however, the tubular slide section is more favorable.

In F i g. 2 ist die seitliche Ansicht einer rohrförmigen Führung Rx und des zugehörigen Sammelbehälters Sx in ihrer Lage in bezug auf die Abwurfstelle A dargestellt. Im Augenblick, wenn das Transportorgan T mit dem Werkstück W an der Abwurfstelle A angelangt ist, muß die Rutschstrecke Rx, falls diese zur Aufnahme des Werkstücks auf Grund des Meßergebnisses bestimmt ist, etwa die aus der F i g. 2 ersichtliche schräge Lage in bezug auf die Abwurfstelle A und den Sammelbehälter Sx einnehmen. Dann kann das losgelassene Werkstück von der rohrförmigen Führung Rx aufgefangen werden und, die Innenwand der Führung als Rutschstrecke benutzend, in den Sammelbehälter Sx gelangen. Nach Abschluß dieses Vorganges kehrt die rohrförmige Führung wieder aus der Schräglage in die (gestrichelt dargestellte) Ruhelage zurück. Um den Wechsel der beiden Lagen zu ermöglichen, ist die rohrförmige Rutschstrecke Rx in einer Vertikalebene (und nur in dieser) um den Bolzen Dx drehbar, wobei die Ruhelage durch Gewichte oder andere mechanische Maßnahmen, insbesondere durch Federkraft (wie in F i g. 2) nach dem Aufhören der kippenden, insbesondere durch einen Elektromagnet Mx erzeugten Kraft, wiederhergestellt wird. In Fig. Figure 2 is a side view of a tubular guide Rx and the associated collecting container Sx in their position with respect to the dropping point A. At the moment when the transport element T with the workpiece W at the Discharge point A has been reached, the sliding section Rx, if this is for pick-up of the workpiece is determined on the basis of the measurement result, for example that from FIG. 2 visible inclined position in relation to the drop point A and the collecting container Take Sx. Then the released workpiece can be removed from the tubular guide Rx are caught and, using the inner wall of the guide as a slide, get into the collecting container Sx. After completing this process, the tubular returns Guide back from the inclined position to the rest position (shown in dashed lines). In order to enable the change between the two layers, the tubular slide section is Rx can be rotated around the bolt Dx in a vertical plane (and only in this plane), the Rest position through weights or other mechanical measures, in particular through spring force (as in F i g. 2) after the cessation of the tilting, in particular by means of an electromagnet Mx generated force is restored.

Die rohrförmige Führung Rx fängt in ihrer Arbeitslage das Werkstück W, z. B. den gemessenen Halbleiterkristall, auf, sobald das zu sortierende Werkstück W in die Güteklasse x fällt, worauf das Werkstück der Innenwand der Führung Rx entlangrutschend schließlich in den unter der Rutschstrecke Rx angeordneten Sammelbehälter Sx gelangt. Der Abstand zwischen Rutschstrecke Rx und Abwurfstelle A bzw. zwischen Rutschstrecke Rx und Sammelbehälter Sx sowie die Länge der Rutschstrecke Rx werden so bemessen, daß das Werkstück W nach dem Verlassen der Abwurfstelle A keinen Schaden erleidet. The tubular guide Rx catches the workpiece in its working position W, e.g. B. the measured semiconductor crystal, as soon as the workpiece to be sorted W falls into quality class x, whereupon the workpiece slips along the inner wall of the guide Rx finally arrives in the collecting container Sx arranged under the slide section Rx. The distance between the slide section Rx and drop point A or between the slide section Rx and collecting container Sx as well as the length of the slide section Rx are dimensioned in such a way that that the workpiece W after leaving the discharge point A does not suffer any damage.

Je empfindlicher die Werkstücke sind, desto kleiner sollen die besagten Abstände und um so geringer die Neigung der Rutschstrecken Rx gegen die Horizontale sein. Dabei ist es zweckmäßig, daß die Rutschstrecken Rx in der Arbeitslage so lange bleiben, bis das Werkstück W in den Sammelbehälter Sx gelangt ist.The more sensitive the workpieces, the smaller they should be Distances and the lower the inclination of the slide sections Rx relative to the horizontal be. It is useful that the sliding sections Rx in the working position as long remain until the workpiece W has reached the collecting container Sx.

Wenn man hingegen die Behälter Sx so groß macht, daß sich das untere Ende der jeweiligen Rutschstrecke Rx sowohl in der Arbeitslage als auch in der Ruhelage, d. h. also ständig, über dem zugehörigen Sammelbehälter Sx befindet (so daß also das Werkstück W jederzeit aus der Rutschstrecke Rx in den zugehörigen Sammelbehälter Sx fallen kann), so kann diese Einschränkung fortfallen, wodurch eine weitere Kürzung der pro Sortierungsvorgang benötigten Zeit erreicht wird.On the other hand, if you make the container Sx so large that the lower End of the respective sliding distance Rx both in the working position and in the rest position, d. H. so it is constantly located above the associated collecting container Sx (so that the workpiece W at any time from the sliding section Rx into the associated collecting container Sx can fall), this restriction can be removed, thereby making a further reduction the time required per sorting process is achieved.

Die F i g. 3, 4 und 5 stellen den elektrischen Teil einer bevorzugten Ausführungsform einer Anordnung gemäß der Erfindung dar, die von einer durch das Meßergebnis bestimmten Spannung Vm gesteuert die dem Meßergebnis entsprechende Rutsche Rx zum Ansprechen bringt. Solange es sich um die Beurteilung nach einer einzigen Eigenschaft handelt, die mit einem einzigen Meßvorgang festgestellt wird, so wird dieses Meßergebnis (das natürlich zahlengemäß nicht fest- gestellt zu werden braucht, obwohl dies natürlich bei Bedarf, z. B. durch Vorsehen eines Meßgerätes mit Zeiger und Skala, ohne weiteres möglich ist), falls es nicht bereits in Form einer elektrischen Spannung Vm auftritt, sich durch Anwendung bekannter Mittel, wie z. B. photoelektrischer Einrichtungen, piezoelektrischer Elemente u. dgl., ohne Schwierigkeiten in Form einer elektrischen Gleichspannung Vm ausdrücken lassen, die dem Meßergebnis eindeutig zugeordnet ist und die außerdem sich mit der Güter des Meßergebnisses monoton, insbesondere im selben Sinne wie diese Güte verändert. The F i g. 3, 4 and 5 represent the electrical part of a preferred one Embodiment of an arrangement according to the invention is represented by a through the Measurement result determined voltage Vm controls the slide corresponding to the measurement result Rx to respond. As long as it is judging by a single Is a property that is determined with a single measurement process, so will this measurement result (which of course is not numerically needs to be asked although this of course if necessary, e.g. B. by providing a meter with a pointer and scale, is easily possible), if it is not already in the form of an electrical Voltage Vm occurs, can be varied by using known means, e.g. B. photoelectric Devices, piezoelectric elements and the like without difficulty in shape an electrical direct voltage Vm expressing the measurement result unambiguously is assigned and which is also monotonous with the goods of the measurement result, in particular changed in the same sense as this goodness.

Soll die Sortierung auf Grund des Ergebnisses mehrerer voneinander unabhängig zu erzeugender Teilmeßergebnisse erfolgen, die sogar mit unterschiedlichem Gewicht bewertet werden können, so muß dementsprechend jede der Teilmessungen zur Erzeugung einer ihr entsprechenden Spannung herangezogen werden, die, gegebenenfalls nach Speicherung, zur Erzeugung einer der Güte g des Werkstückes entsprechenden Spannung Vm, z. B. durch Bildung der gemittelten Spannung, herangezogen werden. Im Beispielsfalle handelt es sich um die Sortierung gleichdimensionierter Halbleiterscheiben. Die hierzu üblich verwendete Vierschneidenmethode liefert die Spannungen z. B. Iängs zweier diametral zueinander liegenden Durchmesser der (runden) Halbleiterscheiben, die zu der gemittelten Meßspannung Vm zusammengesetzt werden.Should the sorting be based on the result of several of each other Partial measurement results to be generated independently, even with different results Weight can be assessed, so each of the partial measurements must accordingly Generation of a voltage corresponding to it are used, which, if necessary after storage, to generate one of the quality g of the workpiece corresponding Voltage Vm, e.g. B. by forming the averaged voltage can be used. In the example case, it is a matter of sorting semiconductor wafers of the same size. The four cutting edge method commonly used for this purpose supplies the tensions z. B. Long two diametrically opposite diameters of the (round) semiconductor wafers, which are combined to form the averaged measurement voltage Vm.

Die den Sortierungsvorgang steuernde Spannung Vm steht im Beispielsfalle sofort zur Verfügung und liegt dann am Eingang des elektrischen Teiles des Sortierungsgerätes. Dessen prinzipieller Aufbau ist in F i g. 3 dargestellt, während die dieses Gerät schaltende Fortschaltkette in F i g. 4 und in F i g. 5 die Steuerung der die Rutschstrecken R betätigenden Elektromagnete M1, M2 ... Mn dargestellt ist. The voltage Vm controlling the sorting process is shown in the example immediately available and is then at the entrance of the electrical part of the sorting device. Its basic structure is shown in FIG. 3 shown while using this device switching incremental chain in FIG. 4 and in FIG. 5 the control of the slide routes R actuating electromagnets M1, M2 ... Mn is shown.

Die in der F i g. 3 dargestellte Vorrichtung arbeitet nach folgendem Prinzip. The in the F i g. The device shown in FIG. 3 operates according to the following Principle.

1. In der Apparatur werden Vergleichsspannungen Ul, U2 ... Un hergestellt, die monoton gestaffelt sind und der Bedingung Ul < U2 < U3 < . ( < Un genügen. Die Anzahl n dieser Spannungen Ux entspricht der Anzahl n der Güteklassen. Die Spannung Um ist dabei der ersten, die Spannung U2 der zweiten Güteklasse zugeordnet usw., bis schließlich der Spannung Un die n-te Güteklasse entspricht. 1. Equivalent stresses Ul, U2 ... Un are produced in the apparatus, which are monotonically staggered and the condition Ul <U2 <U3 <. (<Un suffice. The number n of these voltages Ux corresponds to the number n of quality classes. The voltage Um is assigned to the first quality class and the voltage U2 to the second quality class etc., until finally the voltage Un corresponds to the nth quality class.

2. Die Sortierung wird nach dem Gesichtspunkt vorgenommen, daß zu einer Spannung Vm die Ul die erste Güteklasse zuzuordnen ist, während im Falle des Auftretens einer in das Intervall Ux - Ux-1 fallenden Spannung Vm die x-te Güteklasse für das betreffende Werkstück zuständig ist. Für den Fall der Gleichheit von Vorn und Ux wird das Werkstück noch in die x-te Güteklasse eingestuft. 2. The sorting is carried out according to the point of view that to a voltage Vm which Ul is assigned to the first quality class, while in the case of the Occurrence of a voltage Vm falling in the interval Ux-Ux-1, the xth quality class is responsible for the workpiece in question. In the event of equality from the front and Ux, the workpiece is classified in the umpteenth quality class.

3. Deshalb werden sukzessive die Spannungen Ul, U2 ... in dieser Reihenfolge mit der festgehaltenen Spannung Vm verglichen und die Spannungsdifferenz zum Schalten je eines Speichers Spx verwendet, solange die Differenz Vin - Ux noch positiv ist. 3. Therefore the voltages Ul, U2 ... are successively in this Order compared with the recorded voltage Vm and the voltage difference used to switch one storage tank Spx each, as long as the difference Vin - Ux is still is positive.

4. Nach Abschluß dieses Vergleichens wird entsprechend der Nummer x des zuletzt getätigten Speichers Spx die x-te Rutschstrecke Rx in Aktion gebracht. 4. When this comparison is complete, the number x of the last memory made Spx brought the x-th slide section Rx into action.

Um diese Funktionen zu erfüllen, wird bei einer Anordnung nach F i g. 3 die dem Meßergebnis entsprechende, die Anordnung steuernde Gleichspannung Vm über den Eingang 1 der Anordnung an einen Differenzverstärker 2, der im wesentlichen aus einer Brückenschaltung mit Verstärker besteht, gelegt. Der andere Eingang des Differenzverstärkers 2 wird der Reihe nach mit den Vergleichsspannungen U1, U2... Un (mit der niedrigsten dieser Spannungen beginnend) beaufschlagt und die verstärkten Differenzspannungen (Diagonalspannungen der Brückenschaltung), die sich durch die Überlagerung der Spannungen U1, U2...Un mit der aufrechterhaltenen Steuerspannung Vm ergeben, der Reihe nach an einen bistabilen Schalter 5 gelegt. In order to fulfill these functions, in an arrangement according to F i g. 3 the direct voltage corresponding to the measurement result and controlling the arrangement Vm via the input 1 of the arrangement to a differential amplifier 2, which is essentially consists of a bridge circuit with amplifier. The other entrance of the Differential amplifier 2 is sequentially connected to the comparison voltages U1, U2 ... Un (starting with the lowest of these voltages) are applied and the reinforced Differential voltages (diagonal voltages of the bridge circuit), which are caused by the Superposition of the voltages U1, U2 ... Un with the maintained control voltage Vm result, placed one after the other on a bistable switch 5.

Zur Erzeugung der Vergleichs spannungen U1, U2 ... Un ist eine Gleichspannungsquelle 3, deren Spannung mindestens der größten der zu erzeugenden Spannungen Ux, also der Spannung Un gleich ist, vorgesehen. Die Spannungen U1, U.... Un werden dann über eine Spannungsteilerschaltung 4 erzeugt. To generate the comparison voltages U1, U2 ... Un is a DC voltage source 3, the voltage of which is at least the highest of the voltages to be generated Ux, i.e. the voltage Un is equal, provided. The voltages U1, U .... Un then become Generated via a voltage divider circuit 4.

Die Abgriffe des Spannungsteilers 4 sind über Schalter H1, H2, h3... Hn an den zweiten Eingang des Differenzverstärkers 2 anlegbar.The taps of the voltage divider 4 are via switches H1, H2, h3 ... Hn can be applied to the second input of the differential amplifier 2.

Diese Schalter H1...Hn werden von der in F i g. 4 dargestellten Fortschaltkette betätigt, die dafür sorgt, daß der Reihe nach die Schalter H1, H2... Hn geschlossen und vor dem Schließen des folgenden Schalters wieder geöffnet werden. Deshalb werden der Reihe nach die Spannungen Ul, U.... Un an den Differenzverstärker 2 gelegt und erzeugen zusammen mit der Steuerspannung Vm eine Reihe von Spannungsimpulsen Sl, 1, #2...#n # der Größe d(Vrn - U1), #2 = d(V,n d xln d(Vm -Un) (d = Proportionalitätsfaktor). These switches H1 ... Hn are of the in F i g. 4 indexing chain shown operated, which ensures that the switches H1, H2 ... Hn closed in sequence and be opened again before closing the following switch. Therefore be one after the other, the voltages Ul, U .... Un are applied to the differential amplifier 2 and together with the control voltage Vm generate a series of voltage pulses Sl, 1, # 2 ... # n # of size d (Vrn - U1), # 2 = d (V, n d xln d (Vm -Un) (d = proportionality factor).

Angenommen, die Spannung Vm liegt zwischen den Spannungen Ug-1 und Ug, so daß das diese Spannung Vm erzeugende Werkstück W der g-ten Güteklasse einzureihen ist. Dann werden die Spannungsimpulse dl, A2 bis Jg positiv, die übrigen #g+1 ... An dagegen negativ. Dieses Kriterium dient zur Steuerung der weiteren Anlage, insbesondere durch den Spannungsimpuls #g. Die Impulse #1, #2...#n werden dem bereits erwähnten bistabilen Schalter 5 zugeführt, der zweckmäßig aus einem Transistor- und/oder Röhrenmultivibrator besteht, der seinerseits die sogenannten Auswertspeicher Spl, Sp2... Spn steuert, von denenje einer je einer der n Güteklassen zugeordnet ist. Der bistabile Schalter 5 verlangt zu seinem Ansprechen positive Impulse, so daß nur solche Impulse #x an die Speicherelemente Spx gelangen, die positiv gepolt sind. # Die Anzahl der Auswertspeicher entspricht der Anzahl n der vorgesehenen Güteklassen. Sie stellen im wesentlichen Schalter, insbesondere Relais oder elektronische Schalter, dar, die selbsthaltend sind, also mit anderen Worten nach dem Schalten im angezogenen Zustand verbleiben, solange nicht besondere »Löschmaßnahmen« zur Anwendung kommen. Über die bereits erwähnte Fortschaltkette werden nun die einzelnen Speicherelemente Sp1, Sp2... Spn in dieser Reihenfolge an den bistabilen Schalter 5 gelegt, so daß jeweils nur eines dieser Speicherelemente an dem bistabilen Schalter 5 liegt. Dies geschieht über die von der Fortschaltkette unmittelbar gesteuerten Schalter r1, r... rn, von denen je einer einem der Speicherelemente Sp1,Sp2...Spn in der natürlichen Reihenfolge der Indizes zugeordnet ist. Assume that the voltage Vm is between the voltages Ug-1 and Ug, so that the workpiece W generating this voltage Vm can be classified in the g-th quality class is. Then the voltage pulses dl, A2 to Jg become positive, the remaining # g + 1 ... On the other hand negative. This criterion is used to control the further system, in particular by the voltage pulse #g. The pulses # 1, # 2 ... # n become the same as already mentioned bistable switch 5 supplied, which expediently consists of a transistor and / or tube multivibrator exists, which in turn controls the so-called evaluation memories Spl, Sp2 ... Spn, each of which is assigned to one of the n quality classes. The bistable switch 5 requires positive pulses for its response, so that only such pulses #x the storage elements Spx arrive, which are polarized positively. # The number of evaluation memories corresponds to the number n of the intended quality classes. You essentially represent Switches, in particular relays or electronic switches, are self-retaining are, in other words, remain in the tightened state after switching, as long as special "extinguishing measures" are not used. About that already The individual storage elements Sp1, Sp2 ... Spn in this order placed on the bistable switch 5, so that only one this storage element is connected to the bistable switch 5. This is done via the switches r1, r ... rn, directly controlled by the incremental chain, of which each one of the storage elements Sp1, Sp2 ... Spn in the natural order assigned to the indexes.

Wenn der Schalter rx durch die Fortschaltkette geschlossen ist, dann ist auch das zugehörige Speicherelement Sps an den bistabilen Schalter 5 gelegt, während die anderen Speicherelemente nicht an dem bistabilen Schalter 5 liegen. Da zu gleicher Zeit der Schalter Hx schließt und somit die Spannung Ux an den Differenzverstärker 2 gelegt ist, tritt am bistabilen Schalter 5 im richtigen Augenblick der Spannungsimpuls xlx auf. Der x-te Schalter Hz wird synchron mit dem x-ten Schalter rx von der Fortschaltkette betätigt.If the switch rx is closed by the incremental chain, then the associated storage element Sps is also connected to the bistable switch 5, while the other storage elements are not connected to the bistable switch 5. Since the switch Hx closes at the same time and thus the voltage Ux to the differential amplifier 2 is set, the voltage pulse occurs at the bistable switch 5 at the right moment xlx to. The xth switch Hz becomes synchronous with the xth switch rx of the incremental chain actuated.

Ist nun der Spannungsimpuls dz positiv, also für ihn der bistabile Schalter 5 offen, so wird das durch die Wirkung der Fortschaltkette eingeschaltete Speicherelement Sps (und nur dieses) aktiviert, indem es »anzieht« und »im angezogenen Zustand« verbleibt (Schalter Px geschlossen). Erst durch Betätigung der Löschung wird dieser Zustand des Speicherelementes Spx wieder rückgängig gemacht, so daß scih die Schalter Px wieder lösen. If the voltage pulse dz is now positive, i.e. the bistable one for him If switch 5 is open, it is switched on by the action of the incremental chain Storage element Sps (and only this) activated by »attracting« and »im being attracted State «remains (switch Px closed). Only by pressing the deletion this state of the memory element Spx is reversed, so that then release the Px switch again.

Dementsprechend sind nur dieVergleichsspannungen U1, U2... Ug, weil sie zu positiven Spannungsimpulsen #x führen, in der Lage, je eines der Speicherelemente Sp1 bis Spg zu erregen. Die Vergleichsspannungen Ug+1, Ug+2... Un führen jedoch zu negativen #x, so daß sie durch den bistabilen Schalter 5 gesperrt werden. Die Speicher Spg+1,Spg+2...Spn werden, also nicht erregt. Accordingly, only the comparison voltages U1, U2 ... Ug, because they lead to positive voltage pulses #x, each capable of one of the storage elements Sp1 to excite Spg. However, the equivalent stresses Ug + 1, Ug + 2 ... Un lead to negative #x, so that they are blocked by the bistable switch 5. the Storage Spg + 1, Spg + 2 ... Spn are not excited.

Nach dem Abschluß des Einstellens der Speicherelemente Sp1,Sp2... Spg tritt erneut die Fortschaltkette in Aktion, indem sie zunächst dafür sorgt, daß gerade der Elektromagnet Mg, der der am Werkstück W festgestellten g-ten Güteklasse entspricht, in Tätigkeit tritt und die zugehörige Rutschstrecke Rg betätigt. Die Steuerung hierzu wird von dem zuletzt angesprochenen Speicher Spg bestimmt. After the setting of the storage elements Sp1, Sp2 ... Spg, the incremental chain comes into action again by first ensuring that that just the electromagnet Mg, that of the g-th quality class determined on the workpiece W. corresponds, goes into action and actuates the associated slide Rg. the Control for this is determined by the memory Spg that was last addressed.

Die Fortschaltkette, für die in F i g. 4 eine Ausführungsform dargestellt ist, besteht aus einer Kette von schaltenden Kreisen K1, K2...Kn, deren Anzahl lt der Zahl der vorgesehenen Güteklassen entspricht. Jeder dieser Schaltkreise Kx ist für eine kurze Zeit aktiviert und sorgt dann dafür, daß bei seinem Ausschalten der folgende Schaltkreis Kz+l der Fortschaltkette eingeschaltet wird, so daß der Zustand des »Eingeschaltetseins« sukzessive die Schaltkette entlangläuft. The incremental chain for which in FIG. 4 shows an embodiment consists of a chain of switching circuits K1, K2 ... Kn, the number of which according to corresponds to the number of intended quality classes. Each of these circuits is Kx activated for a short time and then ensures that the following circuit Kz + l of the switching chain is switched on, so that the state of »being switched on« successively runs along the switching chain.

Die Anordnung wird von einer Gleichspannungsquelle 10 gespeist, die über einen Schalter 11 an die Fortschaltkette gelegt wird. Dies geschieht im einfachsten Falle automatisch, z. B. durch Betätigung der das Transportorgan T1 bewegende Mittel (Motor bzw. Getriebe). Die Betätigung des Schalters 11 bedingt zunächst das Ansprechen des Eingangskreises E und des Löschkreises L, wobei die vorgesehenen Kondensatoren C12 und C13 eine kurze Verzögerung des Ansprechens bewirken. The arrangement is fed by a DC voltage source 10, the is placed on the switching chain via a switch 11. This is done in the simplest way Fall automatically, e.g. B. by actuation of the transport member T1 moving means (Engine or gearbox). The actuation of the switch 11 initially requires the response of the input circuit E and the extinguishing circuit L, the capacitors provided C12 and C13 cause a short delay in response.

Der Eingangskreis E enthält außer dem Kondensator C12 noch ein Relais BE, das kurz nach dem Einschalten des Schalters 11 anzieht und hierdurch einen Schalter i betätigt, der auf diese Weise die Hintereinanderschaltung eines Kondensators CL und eines Relais BL im Löschkreis L aktiviert. Hierdurch wird der in Fig.3 vorgesehene Schalter 6 geöffnet, so daß sämtliche Speicherelemente Sp1,Sp2... Spm nicht mehr an Spannung liegen und deshalb in den aufnahmebereiten Zustand zurückkehren. Es ist auch möglich, statt dessen durch die Tätigkeit des Relais BL eine Vorrichtung einzuschalten, die über die Speicher Spl bis Spn einen die entgegengesetzte Polarität der Spannungsquelle 7 aufweisenden Löschimpuls gibt. In addition to the capacitor C12, the input circuit E also contains a relay BE, which picks up shortly after switching on the switch 11 and thereby a switch i actuated, which in this way the series connection of a capacitor CL and one Relay BL in extinguishing circuit L activated. This will make the Switch 6 provided in FIG. 3 is open, so that all storage elements Sp1, Sp2 ... Spm is no longer under voltage and therefore return to the receptive state. It is also possible to use a device instead, through the action of the relay BL to switch on the opposite polarity via the memories Spl to Spn the voltage source 7 having the erase pulse.

Nach Aufladung des Kondensators CL wird der Relaisstrom durch das Relais BL unterbrochen.After the capacitor CL has been charged, the relay current is passed through the Relay BL interrupted.

Das Relais BL hat noch eine weitere Funktion, da es gleichzeitig den Kontakt t1 im ersten Glied Kl der Fortschaltkette umlegt. Dies bewirkt, daß nunmehr der Kondensator C1 an Betriebsspannung liegt und sich auflädt. Da jedoch das Relais EL nur kurze Zeit anspricht, wird der Schalter t1 wieder in die gezeichnete Lage umgelegt. In dieser Stellung entlädt sich der Kondensator Cm über das Relais Bl, wodurch der Schalter je im zweiten Glied der Fortschaltkette umgelegt wird. Hierdurch wird der Kondensator C2 aufgeladen. Da jedoch die Entladungszeit des Kondensators Cl sehr kurz ist, bleibt der Schalter t2 ebenfalls nur kurze Zeit angezogen und kehrt in die in der F i g. 4 dargestellte Lage zurück. Der Entladungsstrom des Kondensators Cm über das Relais B2 betätigt den Schalter t3, was zur Aufladung des Kondensators C3 führt, usw. The relay BL has another function, since it is simultaneous switches the contact t1 in the first link Kl of the indexing chain. This causes now the capacitor C1 is connected to the operating voltage and is charging. However, since the relay EL responds only for a short time, the switch t1 is again in the drawn Lay down. In this position the capacitor Cm discharges through the relay Bl, whereby the switch is thrown in the second link of the indexing chain. This charges the capacitor C2. However, since the discharge time of the capacitor Cl is very short, the switch t2 also remains attracted and only for a short time returns to the one shown in FIG. 4 position shown back. The discharge current of the capacitor Cm via the relay B2 actuates the switch t3, which leads to the charging of the capacitor C3 leads, etc.

Der letzte auf diese Weise betätigte Kreis Kn enthält jedoch keinen Kondensator Cn. Hingegen betätigt das zugehörige Relais Bn den Schalter L1 sowie den Schalter L2 der Anordnung von Fig. 5. However, the last circle Kn operated in this way does not contain any Capacitor Cn. In contrast, the associated relay Bn operates the switch L1 as well the switch L2 of the arrangement of FIG. 5.

Die Relais BL, B1... Bn besitzen - wie angedeutet - mehrere Funktionen. Wie bereits bemerkt, betätigt das Relais BL den Schalter 6 zum Löschen der Speicherelemente Sp1,Sp2... Spn. Es betätigt außerdem den in Serie mit dem Schalter L1 liegenden Schalter b2, so daß das Relais Bn stromlos wird und der Schalter L1 - sowie der Schalter L2 in F i g. 5 -sich wieder öffnen. Dadurch wird der Auswertungskreis, der durch das Relais Bn und den Schalter L gegeben ist, sowie die Anordnung nach F i g. 5 wieder in Aufnahmebereitschaft gesetzt. Die einzelnen Relais Bs der Fortschaltkette betätigen - wie angedeutet - nicht nur den Schalter tx+l des folgenden Gliedes Ki+l der Fortschaltkette, sondern synchron hierzu auch den dem betreffenden Glied Kx der Fortschaltkette zugeordneten Schalter Hx und rx der Anordnung nach F i g. 3. Auf diese Weise wird beim Schalten des x-ten Gliedes Kx der Fortschaltkette sowohl die Vergleichsspannung Ux an den Differenzverstärker 2 als auch der Speicher Spx an den bistabilen Schalter 5 gelegt. The relays BL, B1 ... Bn have - as indicated - several functions. As already noted, the relay BL actuates the switch 6 to erase the memory elements Sp1, Sp2 ... Spn. It also operates the one in series with switch L1 Switch b2, so that the relay Bn is de-energized and the switch L1 - as well as the Switch L2 in FIG. 5 - open again. This will make the evaluation group, which is given by the relay Bn and the switch L, as well as the arrangement according to F i g. 5 is set to readiness for exposure again. The individual relay Bs in the incremental chain operate - as indicated - not only the switch tx + l of the following link Ki + l the incremental chain, but also synchronously with the relevant link Kx switches Hx and rx assigned to the switching chain of the arrangement according to FIG. 3. In this way, when the x-th link Kx is switched, the indexing chain is both the comparison voltage Ux to the differential amplifier 2 and the memory Spx placed on the bistable switch 5.

Die Steuerung der die Rutschstrecken kippenden Elektromagnete ........ Mn geschieht zweckmäßig nach der in Fig. 5 dargestellten Anordnung. Bei ihr sind die Elektromagnete Mx zueinander parallel angeordnet und durch entsprechende Stellungen der vorgesehenen Schalter L2,G1,G2...Gn einzeln an die zum Speisen dieses Teiles der Anordnung gemäß der Erfindung dienende Gleichspannungsquelle Q anlegbar, welche dann in dem betreffenden Elektromagnet Mg (und nur in diesem) den zum Kippen der Rutschstrecke Rg erforderlichen Strom liefert. The control of the electromagnets tilting the slide sections ........ Mn is expediently done according to the arrangement shown in FIG. Are with her the electromagnets Mx are arranged parallel to one another and through corresponding positions the provided switches L2, G1, G2 ... Gn individually to those for feeding this part the arrangement according to the invention serving DC voltage source Q can be applied, which then in the relevant electromagnet Mg (and only in this) the one for tilting the Slip distance Rg supplies the required electricity.

Es ist an dieser Stelle erforderlich, noch einmal zu den Speicherelementen Sps der Anordnung nach F i g. 3 zurückzukehren. Die Anordnung dieser Spei- cherelemente Spz in bezug auf die Kette der sie an den bistabilen Schalter 5 durch Umschaltung legen den Schalter rl, r2,r3... rn ist so getroffen, daß der das x-te Speicherelement Spx an den bistabilen Schalter 5 legende Schalter rx nach Zurückkehren in seine Ruhelage einen Teil des beim Anschalten aller folgenden Speicherelemente Spx+1, Sps + 2... Spn beteiligten Stromkreises bildet. Dies ist, wie man aus der F i g. 3 erkennt, deswegen möglich, weil die Schalter rl, r2... rn eine Kette bilden, in der sie in der natürlichen Reihenfolge ihrer Indizes angeordnet sind, so daß beim Anschließen des Speichers Spx die dem bistabilen Schalter 5 und der Stromquelle 7 näheren Schalter rl, r2... rX+l sich in Ruhelage, der Schalter rx in angezogenem Zustand und die restlichen Schalter rx+1...rn rn sich hingegen wieder in der Ruhelage befinden müssen. Dies läßt sich auf einfache Weise erreichen, indem man den Schalter rx mit dem sich durch das Ansprechen des Speichers Spx schließenden Schalter Px derart koppelt, daß rx sich in der Ruhelage befindet, solange Pz angezogen ist. At this point it is necessary to come back to the storage elements Sps the arrangement according to FIG. 3 to return. The arrangement of this storage elements Spz with respect to the chain of them to the bistable switch 5 by switching put the switch rl, r2, r3 ... rn is made so that the the x-th memory element Spx to the bistable switch 5 placing switch rx after returning to its Rest position a part of the when switching on all following storage elements Spx + 1, Sps + 2 ... Spn involved circuit. This is how one can see from the fig. 3 recognizes, possible because the switches rl, r2 ... rn form a chain, in which they are arranged in the natural order of their indices, so that when Connecting the memory Spx to the bistable switch 5 and the power source 7 closer switch rl, r2 ... rX + l is in the rest position, the switch rx in the energized position State and the remaining switches rx + 1 ... rn, however, are again in the rest position must be located. This can be easily accomplished by turning the switch rx with the switch Px which closes when the memory Spx is addressed couples in such a way that rx is in the rest position as long as Pz is attracted.

In ähnlicher Weise ist auch die Anordnung nach F i g. 5 aufgebaut. Die Elektromagnete M1,M2... Mn werden durch eine Schalterkette G1, G2... Gn,L2 an die Gleichspannungsquelle Q angelegt. Zum Unterschied zu den Schaltern r,, r2... rn erfolgt ihre Betätigung nicht durch die Schaltglieder Kx der Fortschaltkette, sondern durch die Schalter Px der Speicherelemente Spx. Außerdem beginnt die sukzessive Betätigung der Schalter rx bei dem am nächsten der Stromquelle 7 und dem bistabilen Schalter 5 angeordneten Schalter r1 und schreitet nach auswärts fort. Im Falle der Anordnung nach F i g. 5 hingegen ist der Fortschreitsinn gerade umgekehrt, indem der der Stromquelle Q entfernteste Schalter G1 zuerst betätigt wird und der Schaltvorgang von außen nach innen fortschreitet. Aber auch zwischen den Schaltern Gx der Anordnung gemäß F i g. 5 besteht eine Kopplung ähnlich wie bei den Schaltern rx in Fig.3 derart, daß das Ansprechen des x-ten dieser Schalter G dafür sorgt, daß der vorher angesprochene Schalter Gx-1 von der Stromquelle Q abgeschaltet wird. Die Speisung des x-ten Elektromagnetes Mx erfolgt daher über einen Strompfad, der - wie man aus der F i g. 5 erkennt - über den Schalter Gx (in Ansprechstellung) und die Schalter Gx+1, ....... Gn (in Ruhestellung) geschlossen wird. The arrangement according to FIG. 5 built. The electromagnets M1, M2 ... Mn are switched on by a switch chain G1, G2 ... Gn, L2 the DC voltage source Q is applied. In contrast to the switches r ,, r2 ... rn is not actuated by the switching elements Kx of the indexing chain, but through the switches Px of the storage elements Spx. In addition, it starts gradually Actuation of the switch rx on the one closest to the current source 7 and the bistable one Switch 5 arranged switch r1 and advances outward. In case of Arrangement according to FIG. 5, on the other hand, the direction of progress is reversed by the switch G1 furthest away from the current source Q is actuated first and the switching process progresses from the outside to the inside. But also between the switches Gx of the arrangement according to FIG. 5 there is a coupling similar to that of the switches rx in FIG. that the response to the nth of these switches G ensures that the previously addressed Switch Gx-1 from the current source Q is switched off. The feeding of the umpteenth electromagnet Mx therefore takes place via a current path which - as can be seen from FIG. 5 recognizes - via switch Gx (in the response position) and switches Gx + 1, ....... Gn (in Rest position) is closed.

Deshalb werden zwar, wenn g die Nummer der Güteklasse ist, in die das Werkstück W auf Grund des in der Anordnung an ihm festgestellten Meßergebnisses gehört, die Schalter G1, G2...Gg umschalten, da die diesen Schaltern zugeordneten Speicherelemente Sp1,Sp2... Spn ansprechen und die zugehörigen Schalter Pl, P2... Py anziehen. Da aber jeder angesprochene Schalter Gx den vorherigen Schalter Gx-i wieder von der Stromquelle Q abschaltet und außerdem die Schalter P9+l, P9+2... Pn der Speicherelemente Spg+1, Spg+2... Spn nicht angesprochen haben, wird letztlich nur der Schalter Gg den zugehörigen Elektromagnet Mg mit der Stromquelle Q verbinden. Die Rutschstrecken R bleiben also alle mit Ausnahme der Rutschstrecke R9 in Ruhe, sobald nach Durchlaufen des Schaltzustandes durch die Fortschaltkette der Auswertschalter L1 und damit - in der Anordnung nach F i g. 5 - der Schalter L2 geschlossen wird. Therefore, if g is the number of the grade, the the workpiece W on the basis of the measurement result established on it in the arrangement belongs to switch the switches G1, G2 ... Gg, since the switches assigned to these switches Memory elements Sp1, Sp2 ... Spn address and the associated switches Pl, P2 ... Put on py. But since each switch Gx addressed the previous switch Gx-i switches off again from the current source Q and also switches P9 + 1, P9 + 2 ... Pn of the storage elements Spg + 1, Spg + 2 ... Spn have not responded, will ultimately only the switch Gg connects the associated electromagnet Mg to the current source Q. The sliding sections R therefore all remain at rest with the exception of the sliding section R9, as soon as the evaluation switch has passed through the switching chain L1 and thus - in the arrangement according to FIG. 5 - the switch L2 is closed.

Die beschriebene Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung läßt mancherlei Abwandlungen zu, z. B. den Ersatz der Relais durch andere bistabile Schalter, insbesondere elektronische Schalter, hauptsächlich Transistormultivibratoren, eine andersartige mechanische Ausrüstung sowie auch Abwandlungen der elektrischen Ausführungsform, ohne daß hierdurch der Erfindungsgedanke eine wesentliche Veränderung erfährt. The described embodiment of a device according to the invention leaves many modifications to, e.g. B. by replacing the relay other bistable switches, especially electronic switches, mainly transistor multivibrators, a different type of mechanical equipment as well as modifications of the electrical ones Embodiment without thereby changing the concept of the invention significantly learns.

Der Sortierungsvorgang, der mit einer Anordnung gemäß der Erfindung stattfindet (wie er soeben im Detail beschrieben wurde), besteht aus zwei Hauptvorgängen. Der erste Hauptvorgang umfaßt die mechanischen Teile der beschriebenen Vorgänge. The sorting process carried out with an arrangement according to the invention takes place (as just described in detail) consists of two main processes. The first major process comprises the mechanical parts of the processes described.

Darunter fallen die Bewegung des Transportorgans, die Steuerung der Saug- und Druckluftpumpe für die Saugdüse des Transportorgans, das Anlegen der Meßelektroden sowie das Anschalten der Fortschaltkette durch Betätigung des Schalters 11. Der andere Hauptvorgang bezieht sich auf die elektrische Steuerung durch die angesprochene Schaltkette - gemäß F i g. 4 - und die Steuerspannung Vm.This includes the movement of the transport organ, the control of the Suction and compressed air pump for the suction nozzle of the transport organ, the application of the measuring electrodes as well as switching on the incremental chain by actuating switch 11. The other main process relates to the electrical control by the addressed Switching chain - according to FIG. 4 - and the control voltage Vm.

Die Erfahrung zeigt, daß auch bei einer größeren Anzahl n vorgesehener Güteklassen kurze Taktzeiten erreicht werden können. Bei Verwendung von Relais benötigt man pro Schritt etwa 30 bis 50 mSek., arbeitet man elektronisch, so benötigt man pro Schritt etwa 5 bis 20 mSek. oder weniger, so daß z. B. bei Verwendung von Relais und zehn Güteklassen eine Sortierzeit von 0,5 Sekunden insgesamt pro Werkstück ohne weiteres erreicht werden kann. Experience shows that even with a larger number n more intended Quality classes short cycle times can be achieved. Required when using relays if you work about 30 to 50 msec per step, you need to work electronically approx. 5 to 20 msec per step. or less, so that z. B. when using relays and ten grades a sorting time of 0.5 seconds in total per workpiece without further can be achieved.

Für den mechanischen Teil der Anlage lassen sich Transportzeiten (je eine Hin- und Herbewegung des Transportorgans T einschließlich des Umschaltvorganges in der Saugdüse) in der gleichen Zeitspanne durchführen, so daß bei einer (noch nicht einmal mit elektronischen Mitteln ausgerüsteten) Anordnung gemäß der Erfindung Sortierzeiten von einer halben Sekunde ohne Schwierigkeiten erreichbar sind. Kürzere Sortierzeiten lassen sich durch Anwendung elektronischer Mittel erreichen. Die kurzen Taktzeiten pro Sortiervorgang sind im wesentlichen der mechanischen Ausgestaltung der Anordnung gemäß der Erfindung, insbesondere der Verwendung einer Kippbewegung der Rutschstrecken R an Stelle einer Translationsbewegung sowie der Eigentümlichkeit, das Werkstück abzuwerfen, zu verdanken.For the mechanical part of the system, transport times (depending on a back and forth movement of the transport member T including the switching process in the suction nozzle) in the same period of time, so that with one (still not even equipped with electronic means) arrangement according to the invention Sorting times of half a second can be achieved without difficulty. Shorter ones Sorting times can be achieved using electronic means. The short ones Cycle times per sorting process are essentially the mechanical design the arrangement according to the invention, in particular the use of a tilting movement the sliding distance R instead of a translational movement and the peculiarity, throwing off the workpiece, to thank.

Claims

Claims: 1. Device for distributing similar Work pieces; especially for semiconductor crystals following one at a measuring station testing that takes place in at least two quality classes, in which the workpiece is after the test is thrown off at a single dropping point and over a slide is directed to a stationary collection container assigned to the relevant quality class, characterized in that each quality class has one for the corresponding collecting container (S) leading slide (R) is assigned that this slide ...... Rn) are arranged along an arc around the discharge point (A), and that finally Means (M, :) are provided, which the mouth of the relevant quality class assigned slide section (Rx) from its rest position under the dropping point as well after the work has been transported piece (W) in the sliding section to the collecting container Tip back into the rest position.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the collecting container are dimensioned such that the lower end of the associated slide sections are constantly located above the associated collection container.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that each of the sliding sections (Rx) by one assigned to it, by the measurement result controlled electromagnet (Ms) can be switched from its rest position to the tilted working position is.

4. Apparatus according to claim 3, characterized in that the return the sliding distance (Rs) in the rest position after the stop of the electromagnet (mix) actuating current is carried out by mechanical means.

5. Device according to claims 1 to 4, characterized in that that the electromagnets (M .... Mn) switched on by a switch chain (G, ... Gn, L2) the actuation of the switch based on a comparison of the measurement result uniquely assigned measuring voltage (Vrn) with monotonic assigned to the quality classes staggered comparison voltages (Ul, U2 ... Un).

6. Apparatus according to claim 5, characterized by a differential amplifier (2), in which the measuring voltage (V, n) applied to input (1) successively with the equivalent stresses (U ,, U .... Un) in the natural order of the indices compared and the resulting differences Vm - Ux proportional voltage pulses be generated.

7. Device according to claims 5 and 6, characterized in that that a DC voltage source (3) and a voltage divider circuit (4) are provided whose taps are chosen in such a way that they match the comparison voltages (U ,, .... . Un), and via switch ......... Hn) to the second input of the differential amplifier (2) can be applied.

8. Device according to claims 5 and 6, characterized by a bistable switch (5), e.g. B. a transistor and / or tube multivibrator, on the one hand the voltage pulses xlx generated by the differential amplifier (2) are supplied and which in turn corresponds to the number n of quality classes Number of evaluation memories (Sp1, Sp2 ... Spn) controls.

9. Apparatus according to claim 8, characterized in that the bistable Switch (5) is designed in such a way that it only sends positive voltage pulses to the evaluation memory (sps) forwards.

10. Device according to claims 5 to 9, characterized in that that the evaluation memory (Sp) each consist of a latching bistable switch, in particular a latching relay or electrical switch, which are made when tightened each close an assigned switch (Px) and that the evaluation memory (Spz) as well as the associated switch (Pz) a special extinguishing measure for the return make necessary in the initial state.

11. Device according to claims 5 to 10, characterized in that that the evaluation memory (Sp) each by a switch (rz), which is a member one Chain of n consecutive switches (rl, r2... Rn) is on the bistable Switch (5) can be switched on.

12. The device according to Claimll, characterized in that the Switches (r1, .2 ... rn) are designed in such a way that when the x-th is addressed Switch (rx) the previous switch (ra-,) of the chain automatically into its Rest position goes back, and the formation of the switch and their arrangement so met is that the switches (rl, r2 ... rX-l) and the switch (rx) in the addressed state of the x-th evaluation memory (and only this one) on the bistable switch (5) and the one connected in series with it Operating voltage source (7) is located.

13. Device according to the preceding claims, characterized in that that the due to the positive pulses (Z1 x) to the respective evaluation memory (Spx) from the bistable switch (5) outgoing excitation the evaluation memory (Spx) and makes the latching switch (Px) respond.

14. Device according to the preceding claims, characterized in that that for actuation of the comparison voltages (U1, U2 ... Un) to the differential amplifier (2) connecting sChalter (Hl, Hl. .. Hn) as well as the evaluation memory (Sp1, Sp1 ... Spn) to the bistable switch (5) placing the switch (r1, r2 ... rn) the circuits (Kl, K2 .... Kn) an indexing chain are provided.

15. The device according to Claiml4, characterized in that the An indexing chain is designed in such a way that its individual switching circuits (K1, K2 ... Kn), the number of which corresponds to the number (n) of the intended quality classes, only for are activated for a short time and in this state automatically ensure that when switching off a circuit (Kx) the following circuit (Kz + l) of the incremental chain is switched on.

16. Device according to claims 14 and 15, characterized in that that the from a DC voltage (10) operated by mechanical means as a function activated by the movement of a workpiece (W) from the measuring station (M) to the discharge point (A) Continuation chain with an input circuit (E) and a return of the evaluation memory (Spx) as well as the extinguishing circuit which brings about the electromagnets (Mx) in the initial state (L) is provided.

17. The device according to claim 16, characterized in that the Input circuit (E) from the parallel connection of a capacitor (C12) and a monostable Switch (BE) - in particular a relay - that switches on the extinguishing circuit (L) Switch (i) actuated exists.

18. Device according to the preceding claims, characterized in that that the quenching circuit (L) consists of the series connection of a capacitor (CL) and a monostable switch (BL) - in particular relay - exists only during of charging the capacitor (CL) picks up and thereby the on the first circuit of the actual switching chain that applies the operating voltage switch (tal) is actuated as well as the evaluation memory (Spx) and the electromagnets (Mx) of their respective Turns off the operating voltage and thus the return of the arrangement to the ready-to-record State causes.

19. Device according to claims 15 to 18, characterized in that that the structure of the circuits (K1, K2 ... Kn-1) of the incremental chain in each case a monostable switch (Bx), a capacitor arranged in parallel (Cx) and in one position the capacitor (Cx) to the voltage of the operating voltage source (10), in the other position a discharge of the capacitor (Cx) via the monostable Switch (btx) causing switch (tx) exists.

20. Device according to claims 15 to 19, characterized in that; that the last (nth) of the switching circuits of the incremental chain from the series connection through the monostable switch (B ~ m) of the upstream circuit (Kn-l) to be operated switch (tn) and a monostable switch (Bn) - in particular a relay -, and that the relay (Bn) in turn has a switch (Ll) and a switch which activates the electromagnets (Mx) (L2) controls.

21. Device according to the preceding claims, characterized in that that with one of the latching switches (Px) the evaluation memory (Spx) each another switch (Gs) is mechanically coupled, which is similar to that of the switches (rx) of the switching chain form a switch chain.

22. Device according to the preceding claims, characterized in that that the electromagnets (Mx) assigned to the individual sliding sections (Rz) are connected to one the switches (G1 ... Gn) of the evaluation memory containing circuit in such a way to each other are connected in parallel to an operating power source (Q) that when closing of the second and the following switches (G2, G3 ... Gn) each of the circuit of the previous switch (Gl, Gl ... Gn-i) is switched off, so that when actuated all switches (Gl, G2 ... Gn) and switched chain only the the last of the electromagnets (Mn) is connected to the power source (Q).