DE1239907B - Process for the production of a silicide coating by electrolytic means - Google Patents

Process for the production of a silicide coating by electrolytic means

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DE1239907B
DE1239907B DE1962G0034320 DEG0034320A DE1239907B DE 1239907 B DE1239907 B DE 1239907B DE 1962G0034320 DE1962G0034320 DE 1962G0034320 DE G0034320 A DEG0034320 A DE G0034320A DE 1239907 B DE1239907 B DE 1239907B
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silicon
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metal
silicide
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Newell Choice Cook
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLANDFEDERAL REPUBLIC OF GERMANY

EUTSCHESEUCHES

PATENTAMTPATENT OFFICE

AUSLEGESCHRIFTEDITORIAL

Int. Cl.:Int. Cl .:

C23bC23b

dZi-7)dZi-7)

Deutsche Kl.: 48 a - 5/60German class: 48 a - 5/60

Nummer: 1 239 907Number: 1 239 907

Aktenzeichen: G 34320 VI b/48 aFile number: G 34320 VI b / 48 a

Anmeldetag: 22. Februar 1962Filing date: February 22, 1962

Auslegetag: 3. Mai 1967Open date: May 3, 1967

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Silizidüberzuges durch Kontaktabscheidung mit gegebenenfalls zusätzlicher äußerer EMK auf Metallkörpern mit einem Schmelzpunkt von wenigstens 600° C und aus wenigstens 50 Molprozent wenigstens eines Metalls mit der Ordnungzahl 23 bis 29, 41 bis 47, 73 bis 79, durch Abscheiden von Silicium aus einem Schmelzbad einer Siliciumverbindung. The invention relates to a method for producing a silicide coating by contact deposition with possibly additional external EMF on metal bodies with a melting point of at least 600 ° C and of at least 50 mol percent of at least one metal with the order number 23 to 29, 41 to 47, 73 to 79, by depositing silicon from a molten pool of silicon compound.

Normalerweise geht man bei der Bildung eines Silizidüberzuges auf Metall so vor, daß man auf das Metall Siliciumhalogeniddämpfe bei einer Temperatur einwirken läßt, die zur Zersetzung des Halogenids und zur Abscheidung eines Siliciumüberzuges auf dem Metall ausreicht. Das Metall muß dann auf eine noch höhere Temperatur aufgeheizt werden, damit das Silicium in das Metall hineindiffundiert und sich mit dem Metall legiert. In Abwesenheit eines reduzierenden Gases tritt eine Verschiebungsreaktion auf, bei welcher ein Teil des Metalls das Silicium im SiIi- ao ciumhalogenid ersetzt. In Gegenwart von Wasserstoff wird das Siliciumhalogenid zu Silicium und Halogenwasserstoff reduziert. Zur Erzielung ausreichender Abscheidungsgeschwindigkeiten sind Temperaturen in der Größenordnung von 1200 bis 14000C erforderlich. Die Abscheidungsgeschv/indigkeit muß sorgfältig gesteuert werden, da bei schneller Abscheidung eine untere Silizidschicht und darüber eine aus geschmolzenem Silicium bestehende äußere Schicht gebildet wird. Zur Erzielung guthaftender Überzüge ist es normalerweise erforderlich, zunächst einen sehr dünnen Überzug abzuscheiden und dann in einer Wasserstoffatmosphäre zu glühen, damit der Überzug in das Metall diffundiert. Zur Erzielung der gewünschten Uberzugsdicke werden dann in derselben Weise weitere Überzüge aufgebracht. Dieses Verfahren eignet sich nicht zur Herstellung von Präzisionsteilen, die vor dem Aufbringen eines Silizidüberzuges auf sehr genaue Toleranzen bearbeitet werden müssen. Durch die hohen Temperaturen und Phasenum-Wandlungen, denen die Teile beim Aufbringen eines Überzuges beim Aufheizen und Abkühlen ausgesetzt sind, verformen sich die Teile, besonders wenn eine mehrmalige Behandlung zur Erzielung der gewünschten Überzugsdicke erforderlich ist, wodurch die ToIeranzgrenzen überschritten werden. Die Abscheidungsgeschwindigkeit von Silicium hängt sehr stark von der Geschwindigkeit des über die Metalloberfläche streichenden Siliciumhalogenids und von der Temperatur des zu überziehenden Metallgegenstandes ab. Da diese Bedingungen sehr schwierig zu steuern sind, besonders bei großen oder unregelmäßig geformten Verfahren zur Herstellung eines Silizidüberzuges
auf elektrolytischem Wege
A normal practice in forming a silicide coating on metal is to allow silicon halide vapors to be exposed to the metal at a temperature sufficient to decompose the halide and deposit a silicon coating on the metal. The metal must then be heated to an even higher temperature so that the silicon diffuses into the metal and alloys with the metal. In the absence of a reducing gas, a shift reaction occurs in which part of the metal replaces the silicon in the silicon halide. In the presence of hydrogen, the silicon halide is reduced to silicon and hydrogen halide. Temperatures of the order of 1200 to 1400 ° C. are required to achieve sufficient deposition rates. The rate of deposition must be carefully controlled because rapid deposition will form a lower layer of silicide and an outer layer of molten silicon on top. In order to obtain well-adhering coatings, it is normally necessary to first deposit a very thin coating and then to anneal it in a hydrogen atmosphere so that the coating diffuses into the metal. To achieve the desired coating thickness, further coatings are then applied in the same way. This method is not suitable for the production of precision parts that have to be machined to very precise tolerances before a silicide coating is applied. Due to the high temperatures and phase changes to which the parts are exposed when a coating is applied during heating and cooling, the parts are deformed, especially if multiple treatments are required to achieve the desired coating thickness, whereby the tolerance limits are exceeded. The rate of deposition of silicon depends very strongly on the rate of the silicon halide sweeping over the metal surface and on the temperature of the metal object to be coated. Because these conditions are very difficult to control, especially in large or irregularly shaped processes for making a silicide coating
electrolytically

Anmelder:Applicant:

General Electric Company,General Electric Company,

Schenectady, N.Y. (V. St. A.)Schenectady, N.Y. (V. St. A.)

Vertreter:Representative:

Dipl.-Ing. M. Licht und Dr. R. Schmidt,Dipl.-Ing. M. Licht and Dr. R. Schmidt,

Patentanwälte, München 2, Theresienstr. 33Patent Attorneys, Munich 2, Theresienstr. 33

Als Erfinder benannt:
Newell Choice Cook,
Schenectady, N.Y. (V. St. A.)
Named as inventor:
Newell Choice Cook,
Schenectady, NY (V. St. A.)

Gegenständen, sind die auf die gesamte Oberfläche aufgebrachten Überzüge gewöhnlich nicht gleichmäßig. Objects, the coatings applied over the entire surface are usually not uniform.

Es ist bekannt, Eisen- und Stahlsilizide durch Elektrolyse in einem geschmolzenen Natriumsilikatbad aufzubringen, welches sich auf einer Temperatur von 11000C befindet und als Flußmittel Natriumfluorid enthält. Dabei wird eine Graphitanode und als Kathode Eisen- oder Stahldraht verwendet. Es sind hohe Stromdichten bei einer Spannung von 3 Volt erforderlich. Das Metallsilizid bildet ein lockeres, kristallines Pulver, das leicht von der Oberfläche entfernt werden kann und daher als korrosionsfester Überzug für Eisen- un Stahlgegenstände vollkommen ungeeignet ist.It is known to apply iron and Stahlsilizide by electrolysis in a molten Natriumsilikatbad which is situated at a temperature of 1100 0 C and contains as the flux is sodium fluoride. A graphite anode and iron or steel wire as the cathode are used. High current densities are required at a voltage of 3 volts. The metal silicide forms a loose, crystalline powder that can be easily removed from the surface and is therefore completely unsuitable as a corrosion-resistant coating for iron and steel objects.

Es hat sich nun unerwarteterweise herausgestellt, daß man einen gleichmäßigen, guthaftenden, zähen, korrosionsfesten Silizidüberzug erzielt, wenn beim Verfahren der eingangs genannten Art ein aus 0,5 bis 50 Molprozent wenigstens eines Alkalimetallfluosilikates und wenigstens einem Alkalimetallfluorid bestehendes, auf etwa 600 bis 800° C gehaltenes Schmelzbad verwendet und mit einer Siliciumanode bei einer Stromdichte von bis zu 5 Ampere pro Quadratdezimeter unter weitgehender Abwesenheit von Sauerstoff gearbeitet wird.It has now been found, unexpectedly, that a uniform, well-adhering, tough, corrosion-resistant silicide coating achieved when in the method of the type mentioned a from 0.5 to 50 mole percent of at least one alkali metal fluoride and at least one alkali metal fluoride, Melt bath held at about 600 to 800 ° C is used and has a silicon anode at a current density of up to 5 amps per square decimeter in the substantial absence of Oxygen is worked.

Wird außerhalb des Schmelzbades zwischen dem Metallkörper und der Siliciumanode eine elektrische Verbindung hergestellt, dann geht Silicium im Schmelzbad in Lösung, und Siliciumionen werden an der Metallkörperoberfläche entladen, wobei das SiIi-Is an electrical outside of the molten bath between the metal body and the silicon anode Connection established, then silicon goes into solution in the molten bath, and silicon ions are attached the metal body surface, whereby the SiIi-

709 578/276709 578/276

3 43 4

cium unmittelbar in das Metall hineindiffundiert und Zur Bereitung des Schmelzbades können die mit dem Metall unter Bildung eines Silizjdüberzuges Fluoride und Fluorsilikate der Alkalimetalle Lithium, reagiert. Es hat sich herausgestellt, daß sich die Lö- Natrium, Kalium, Rubidium und Caesium verwendet sungs- und Abscheidungsgeschwindigkeit von Silicium werden. Da zur Verhinderung einer Beschädigung selbst einreguliert, so daß niemals mehr Silicium ab- 5 oder Deformation der mit einer Silizidschicht zu vergeschieden wird, als in das Metall diffundieren und sehenden Gegenstände eine möglichst niedrige Temsich mit dem Metall legieren kann. Ist eine geringere peratur erwünscht ist, können zur Bereitung der Abscheidungsgeschwindigkeit erwünscht, dann kann Schmelzbäder aus einem oder mehreren Fluoriden dies leicht in an sich bekannter Weise erreicht wer- und einem oder mehreren Fluorsilikaten bestehende den, beispielsweise durch Einschalten eines entspre- io Mischungen verwendet werden, die einen niedrigeren chenden Widerstandes in den Stromkreis, durch An- Schmelzpunkt als die einzelnen Bestandteile der Bäderung der dem Bad ausgesetzten Oberfläche usw. der haben.cium diffuses directly into the metal and the with the metal to form a silicon coating, fluorides and fluorosilicates of the alkali metals lithium, reacted. It has been found that the Lö- sodium, potassium, rubidium and cesium are used and the rate of deposition of silicon. As to prevent damage self-regulated, so that no more silicon is ever deposited or deformed with a silicide layer when diffusing into the metal and seeing objects as low as possible can alloy with the metal. If a lower temperature is desired, you can use the If the rate of deposition is desired, melt pools of one or more fluorides can be used this can easily be achieved in a manner known per se and one or more fluorosilicates exist which, for example, can be used by switching on a corresponding mixes that have a lower corresponding resistance in the circuit, through the melting point as the individual components of the bath the surface exposed to the bath, etc.

Zur Erzielung einer höheren Geschwindigkeit kann Das Verfahren ist bei einer Temperatur von nichtTo achieve a higher speed, the process is at a temperature of not

in den Stromkreis eine zusätzliche Gleichspannungs- unter ungefähr 600° C durchzuführen, selbst wennto carry an additional DC voltage below approximately 600 ° C into the circuit, even if

quelle eingeschaltet werden. 15 das Schmelzbad eine viel niedrigere Schmelztempe-source must be switched on. 15 the melt pool has a much lower melting temperature

Die Erfindung soll nun näher erläutert werden. Bei ratur hat, um eine angemessene Abscheidungsge-The invention will now be explained in more detail. At ratur has to ensure an adequate separation

den mit dem erfindungsgemäßen Verfahren mit einem schwindigkeit zu erzielen und ein Hineindiffundierento achieve with the method according to the invention with a speed and diffuse in

Silizidüberzug überziehbaren Metallen handelt es sich des Siliciums in das Metall zwecks Bildung des SiIi-Silicide coating coatable metals is the silicon in the metal for the purpose of forming the SiIi-

um die Metalle mit den Ordnungszahlen 23 bis ein- zids zu gewährleisten. Bei niedrigeren Temperaturenin order to guarantee the metals with the ordinal numbers 23 to one. At lower temperatures

schließlich 29, 41 bis einschließlich 47 und 73 bis ein- 20 besteht die Möglichkeit, daß sich das Silicium nur aufFinally 29, 41 up to and including 47 and 73 up to and including 20 there is the possibility that the silicon is only on

schließlich 79. Zu diesen Ordnungszahlbereichen ge- der Metalloberfläche abscheidet und nicht in das Me-finally 79. For these atomic number ranges, the metal surface is deposited and not in the

hören die Metalle, die in dem in Langes »Handbook tall hineindiffundiert.hear the metals diffusing into Lange's handbook tall.

of Chemistry«, 9th Edition, Handbook Publishers, Das Alkalimetallfluorsilikat befindet sich im Gleich-Inc, Sandusky, Ohio, 1956, auf den Seiten 56 und 57 gewicht mit Siliciumtetrafluorid und dem Alkaligezeigten Periodischen Systems der Elemente in den 25 metallfluorid. Steigende Temperaturen fördern die Gruppen IB, VB, VIB, VIIB und VIII angeführt Zersetzung des Alkalimetallfluorsilikats. Bei Tempesind. Dabei umfaßt die Gruppe IB Kupfer, Silber raturen von über 800° C wird der Dampfdruck des und Gold, die Gruppe VB Vanadium, Niob und Tan- Siliciumtetrafluorids so hoch, daß Siliciumtetrafluorid tal, die Gruppe VIB Chrom, Molybdän und Wolf- aus dem Salzschmelzbad abdampft. Dies kann durch ram, die Gruppe VIIB Mangan, Technetium und 3° Verwendung von Überdruck verhindert werden. Zur Rhenium und die Gruppe VIII Eisen, Kobalt, Nickel, Vermeidung dieser Schwierigkeiten arbeitet man geRuthenium, Rhodium, Palladium, Osmium, Iridium wohnlich bei Temperaturen von unter 800° C.
und Platin. Das Verfahren nach der vorliegenden Er- Wegen der Gleichgewichtsreäktion ist es auch mögfindung kann auch bei Legierungen dieser Metalle lieh, das gewünschte Alkalimetallfluorsilikat unmitteluntereinander oder bei Legierungen verwendet wer- 35 bar im Salzschmelzbad durch Auflösen von Siliciumden, bei denen diese Metalle als Hauptbestandteil, tetrafluorid in geschmolzenem Alkalimetallfluorid zu d. h. mit über 50 Molprozent, jedoch gewöhnlich mit bilden. Im Schmelzbad sollten normalerweise wenigüber 75 Molprozent und vorzugsweise mit über stens 0,5 Molprozent Alkalimetallfluorsilikat vorhan-90 Molprozent, vorhanden und mit anderen Metallen den sein. Die Alkalimetallfluorsilikatmenge im als Nebenbestandteil legiert sind, d. h. mit weniger als 4° Schmelzbad kann bis zu 50 Molprozent betragen. Ge-50 Molprozent, jedoch gewöhnlich weniger als wohnlich verwendet man eine Konzentration von 25 Molprozent und vorzugsweise weniger als 10 Mol- 1 bis 5 Molprozent. Bei unter 0,5 Molprozent liegenprozent, wobei jedoch die Voraussetzung gilt, daß der den Mengen lassen die Qualität und die Bildungs-Schmelzpunkt der sich ergebenden Legierung nicht geschwindigkeit des Suizids merklich nach. Mengen unter 600° C liegt. Der Silizidüberzug entsteht also 45 von über 5 Molprozent haben zwar keinen nachteiliauch bei Legierungen der oben angeführten Metalle, gen Einfluß, sind jedoch unwirtschaftlich, da die die noch einen aus einem anderen Metall oder ande- höhere Konzentration die Bildung des Silizidüberren Metallen bestehenden Nebenbestandteil enthalten. zuges nicht begünstigt, sondern lediglich den Partial-Dieser Nebenbestandteil kann von irgendwelchen an- druck des Siliciumtetrafluorids und daher die Verderen Metallen des Periodischen Systems gebildet 50 dampfungsverluste erhöht.
of Chemistry ", 9th Edition, Handbook Publishers, The Alkali Metal Fluorosilicate Located in Gleich-Inc, Sandusky, Ohio, 1956, on pages 56 and 57 weighted with silicon tetrafluoride and the alkaline periodic table of elements shown in the 25 metal fluoride. Rising temperatures promote groups IB, VB, VIB, VIIB and VIII listed decomposition of the alkali metal fluorosilicate. At Tempes are. Group IB includes copper, silver temperatures of over 800 ° C, the vapor pressure of and gold, group VB vanadium, niobium and tan silicon tetrafluoride so high that silicon tetrafluoride tal, group VIB chromium, molybdenum and Wolf from the molten salt bath evaporates. This can be prevented by ram, the group VIIB manganese, technetium and 3 ° use of overpressure. For rhenium and group VIII iron, cobalt, nickel, to avoid these difficulties, one works with ruthenium, rhodium, palladium, osmium, iridium comfortably at temperatures below 800 ° C.
and platinum. Because of the equilibrium reaction, it is also possible for alloys of these metals to use the desired alkali metal fluorosilicate directly or for alloys in a molten salt bath by dissolving silicon earths in which these metals are the main component, tetrafluoride in molten alkali metal fluoride to ie with over 50 mole percent, but usually with form. The molten bath should normally be little more than 75 mole percent, and preferably above at least 0.5 mole percent, alkali metal fluorosilicate-90 mole percent present and with other metals. The amount of alkali metal fluorosilicate is alloyed as a secondary component, ie with a molten bath of less than 4 ° it can be up to 50 mol percent. Ge-50 mole percent, but usually less than normal, a concentration of 25 mole percent and preferably less than 10 mole- 1 to 5 mole percent is used. Below 0.5 mole percent, with the proviso that the amounts do not decrease the quality and the melting point of formation of the resulting alloy noticeably at the rate of suicide. Amounts below 600 ° C. The silicide coating arises from more than 5 mol percent, although there is no disadvantageous effect even with alloys of the metals listed above, but they are uneconomical, as the secondary constituents consisting of another metal or other higher concentration contain the formation of the silicide superordinate metals. This secondary constituent can be formed by any pressure of the silicon tetrafluoride and therefore the spoiled metals of the periodic table.

sein, d. h. von Metallen der Gruppen IA, II A, IIB, Die Ausgangssalze sollten möglichst frei von Was-be, d. H. of metals of groups IA, II A, IIB, The starting salts should be as free from water

IIIA, IIIB, IVA, IVB, VA und VIA. Diese Metalle ser und allen Verunreinigungen sein oder solltenIIIA, IIIB, IVA, IVB, VA and VIA. These metals are or should be ser and all impurities

haben die Ordnungszahlen 3, 4, 11 bis einschließlich durch einfaches Aufheizen beim Schmelzen leicht ge-have the ordinal numbers 3, 4, 11 up to and including by simply heating them up during melting

13, 19 bis einschließlich 22, 30 bis einschließlich 32, trocknet und gereinigt werden können. Der Einfluß13, 19 up to and including 22, 30 up to and including 32, dries and can be cleaned. The influence

37 bis einschließlich 40, 48 bis einschließlich 51, 55 55 der Verunreinigungen ist noch nicht genau bekannt.37 up to and including 40, 48 up to and including 51, 55 55 of the impurities is not yet known exactly.

bis einschließlich 72, 80 bis einschließlich 84 und 87 Oxyde beeinflussen die Silizidbildungsreaktion un-up to and including 72, 80 up to and including 84 and 87 oxides influence the silicide formation reaction

bis einschließlich 98. In der Beschreibung und in den günstig. Auch Sauerstoff wirkt sich nachteilig auf dieup to and including 98. In the description and in the favorable. Oxygen also has a detrimental effect on the

Ansprüchen wird der Ausdruck »Silizid« zur Be- Reaktion aus, so daß das Verfahren nach der vor-Claims, the expression "silicide" is used for loading reaction, so that the process according to the previous

zeichnung irgendeiner aus Silicium und Metall be- liegenden Erfindung in einer sauerstofffreien Atmo-drawing of any invention made of silicon and metal in an oxygen-free atmosphere

stehenden festen Lösung oder Legierung verwendet, 60 sphäre, beispielsweise in einer neutralen Gasatmo-standing solid solution or alloy used, 60 sphere, for example in a neutral gas atmosphere

und zwar ohne Rücksicht darauf, ob das Silicium mit sphäre oder in Vakuum durchgeführt werden muß. dem Metall eine intermetallische Verbindung mit Sehr nachteilig wirken sich Sulfate aus, da sie die Ereinem bestimmten stöchiometrischen Verhältnis bil- zielung einer einwandfreien Silizidschicht unmöglich det, das durch eine chemische Formel dargestellt oder außerordentlich schwierig machen. Auch andere werden kann. Beispielsweise bildet Molybdän mit 65 Verbindungen können die Bildung von schlechten Silicium eine Verbindung, die durch die Formel Silizidschichten zur Folge haben. Die besten Ergeb-MoSi2 dargestellt werden kann. Gold bildet jedoch nisse erzielt man, wenn man als Ausgangsstoffe che-regardless of whether the silicon must be carried out with a sphere or in a vacuum. Sulphates have a very disadvantageous effect, as they make it impossible to achieve a proper silicide layer in a certain stoichiometric ratio, which is represented by a chemical formula or makes it extremely difficult. Others can be too. For example, molybdenum forms with 65 compounds, the formation of poor silicon a compound that by the formula can result in silicide layers. The best result MoSi 2 can be shown. However, gold forms nits if one uses chemical

mit Silicium nur eine feste Lösung. misch reine Salze verwendet und das Verfahren imwith silicon only a solid solution. mixed pure salts are used and the process im

Vakuum durchführt. Es hat sich herausgestellt, daß chemischen Elektrodenreaktionen auswirken, daß die selbst im Handel erhältliche chemisch reine Salze Abscheidungsgeschwindigkeit zu hoch ist, daß Wakeiner weiteren Reinigung unterzogen werden müssen, kelkontakte oder durch Korrosion angegriffene Kondamit das Verfahren zufriedenstellend durchgeführt takte vorhanden sind usw. Das erfindungsgemäße werden kann. Diese weitere Reinigung kann leicht 5 Verfahren kann zwar auch unter solchen Umständen dadurch erfolgen, indem man das erfindungsgemäße zufriedenstellend durchgeführt werden, jedoch sollen Verfahren zunächst mit Ausschußware durchführt, diese Zustände nach Möglichkeit beseitigt werden, die vorzugsweise aus dem gleichen Material wie die damit eine wirksamere Arbeitsweise gewährleistet ist. später zu behandelnde Ware besteht und auf diese Besteht beispielsweise die Anode aus einem festen Silizidüberzüge gegebenenfalls unter Anwendung io Siliciumstab, dann wird die Spannung manchmal einer zusätzlichen Spannung aufbringt, wodurch aus diese Werte überschreiten, da wegen der niedrigen dem Schmelzbad die Verunreinigungen abgeschieden Leitfähigkeit von Silicium der Widerstand im Strom- und entfernt werden, welche die Bildung eines hoch- kreis hoch ist. Dies kann beispielsweise dadurch verwertigen Silizidbelages verhindern würden. Die mieden werden, daß das Silicium in Verbindung mit Durchführung des Verfahrens unter Vakuum ist gün- 15 einem gutleitenden Kern verwendet wird.
stig, da dadurch Verunreinigungen und störende Sub- Bei Verwendung der obengenannten Spannungen stanzen, beispielsweise Wasser, aus dem Schmelzbad sollten bestimmte Stromdichtegrenzen nicht überabgedampft werden. Es ist außerdem wünschenswert, schritten werden, falls ein guter Wirkungsgrad und daß die Metalloberfläche vor dem Einführen in das einwandfreie Überzüge erwünscht sind. Da die Diffu-Schmelzbad gut gereinigt wird, beispielsweise durch 20 sionsgeschwindigkeit des in das Kathodenmaterial Beizen, gegebenenfalls verbunden mit einer Scheuer- hineinwandernden Siliciums vom Material, von der behandlung. Temperatur und von der Dicke des bereits gebilde-
Performs vacuum. It has been found that chemical electrode reactions have the effect that the chemically pure salts, even commercially available, deposition rate is too high, that water does not have to be subjected to further purification, that there are contacts or corrosion-attacked conditions, so that the process can be carried out satisfactorily, etc. can. This further purification can easily be carried out under such circumstances by satisfactorily carrying out the process according to the invention, however, processes should first be carried out with rejects and these conditions should be eliminated if possible, preferably made of the same material as the more effective one Working method is guaranteed. The goods to be treated later consists and on this, for example, the anode consists of a solid silicide coating, possibly using a silicon rod, then the voltage is sometimes applied with an additional voltage, as a result of which these values exceed, because the impurities deposited in the molten bath due to the low conductivity of silicon the resistance in the current and removed, which is the formation of a high-circle high. This can, for example, prevent usable silicide coating. It is avoided that the silicon is used in connection with the implementation of the process under vacuum is green with a highly conductive core.
When using the voltages mentioned above, for example water, certain current density limits should not be over-evaporated from the weld pool. It is also desirable to step if it is desired to have good efficiency and the metal surface prior to insertion into the proper coatings. Since the diffusion melt bath is cleaned well, for example by the treatment speed of the pickling into the cathode material, possibly combined with a scrubbing of silicon migrating from the material. Temperature and the thickness of the

Es hat sich weiterhin herausgestellt, daß zur Er- ten Überzuges abhängt, schwankt auch die obere zielung eines gleichmäßigen Silizidüberzuges auf gro- Grenze der Stromdichte. Im allgemeinen hat sich jeßen Flächen ein mit Löchern versehener, leitender 25 doch herausgestellt, daß bei 700° C folgende Strom-Behälter wünschenswert ist, welcher sich bei den dichten nicht überschritten werden sollen: ungefähr Verfahrensbedingungen neutral verhält, beispiels- 0,2 Ampere pro Quadratdezimeter bei Metallen mit weise ein durchlöcherter Graphitkorb, welcher das langsamer Diffusion, beispielsweise Tantal und WoIf-Silicium in Form von kleinen Stücken enthält. Diese ram, ungefähr 1 Ampere pro Quadratdezimeter bei Anordnung ist besser als ein einziger Siliciumkörper, 30 Metallen mit mäßiger Diffusion, beispielsweise Koda Silicium kein guter elektrischer Leiter ist und we- bait und Niob, und ungefähr 5 Ampere pro Quadratgen des Spannungsabfalls im Siliciumkörper haupt- dezimeter bei Metallen mit schneller Diffusion, beisächlich dort in Lösung geht, wo der Siliciumkörper spielsweise Eisen und Molybdän. Wird die Temperain das Schmelzbad eintaucht. Dadurch wird also an tür auf 800° C gesteigert, dann kann auch in entder dieser Stelle am nächsten liegenden Fläche des zu 35 sprechender Weise die Stromdichte auf einen Wert behandelnden Gegenstandes mehr Silicium als an gesteigert werden, der ungefähr zwei- bis dreimal so einer weiter von dieser Stelle entfernten Fläche des groß ist wie der bei 700° C verwendete Wert. Bei Gegenstandes abgeschieden, selbst wenn beide Flä- Verwendung von noch höheren Stromdichten entsteht chen von dem festen Siliciumkörper den gleichen Ab- elementares Silicium in Form von nicht haftenden stand haben. Wird ein leitender, mit Silicium gefüllter 40 Schichten oder in Form von körnigen kristallinen AbBehälter verwendet, dann kann Silicium einheitlich Scheidungen, die einen rauhen Überzug ergeben, der über die gesamte Fläche in Lösung gehen, und es ent- bei weiterer Elektrolyse oder beim Abkühlen auf steht auf kleinen Gegenständen ein einheitlicher Zimmertemperatur zum Splittern neigt. Solche Nie-Silizidüberzug, wenn die Siliciumelektrode wenigstens derschläge sind lediglich bei der elektrolytischen Ge-6 mm, vorzugsweise 25 bis 50 mm, vom Gegenstand 45 winnung von Silicium aus Siliciumverbindungen erentfernt ist. Sollen außerordentlich große Gegen- wünscht.It has also been found that for the first coating depends, the upper one also fluctuates aiming a uniform silicide coating on the large limit of the current density. In general, jeßen has Surfaces a perforated, conductive 25 but it turned out that at 700 ° C the following current container it is desirable, which should not be exceeded with the densities: approximately Process conditions behave neutrally, for example 0.2 amps per square decimeter for metals wise a perforated graphite basket, which the slow diffusion, for example tantalum and WoIf silicon in the form of small pieces. This ram at about 1 amp per square decimeter at Arrangement is better than a single silicon body, metals with moderate diffusion, e.g. coda Silicon is not a good conductor of electricity, and webait and niobium, and about 5 amps per square meter of the voltage drop in the silicon body is mainly decimeter in metals with fast diffusion, by the way where the silicon body goes into solution, for example iron and molybdenum. Will the temperain the weld pool is immersed. This means that the door is increased to 800 ° C, then also in ent this point closest to the area of the 35 speaking, the current density to a value treated object more silicon than to be increased, which is about two to three times as much an area farther from this point is as large as the value used at 700 ° C. at The object is deposited even if both surfaces are produced using even higher current densities Part of the solid silicon body contains the same elemental silicon in the form of non-adherent have stood. Will be a conductive, silicon-filled 40 layers or in the form of granular crystalline containers used, then silicon can uniformly precipitate, which give a rough coating that Go into solution over the entire surface, and it emerges during further electrolysis or when cooling down If there is a uniform room temperature on small objects, it tends to splinter. Such never-silicide coating, if the silicon electrode is at least as strong as electrolytic Ge-6 mm, preferably 25 to 50 mm, from the object 45 extraction of silicon from silicon compounds is. Should be extraordinarily large counter-wishes.

stände mit einer Silizidschicht versehen werden, bei- Bei Verwendung einer äußeren EMK, beispiels-If an external EMF is used, for example, a silicide layer

spielsweise eine Platte, bei welcher die eine Seite von weise einer Batterie oder einer anderen Gleichspan-for example a plate in which one side is connected to a battery or another DC voltage

der Siliciumelektrode abgeschirmt ist, dann verwen- nungsquelle sollte diese so in Reihe in den äußerenthe silicon electrode is shielded, then these should be used in series in the outer

det man gegebenenfalls zwei oder mehrere Silicium- 50 Stromkreis eingeschaltet werden, daß die negativeIf you can turn on two or more silicon circuits that the negative

elektroden, die rund um den Gegenstand zur Erzie- Klemme mit dem zu überziehenden Metall und dieelectrodes that are used around the object for educa- tional terminal with the metal to be coated and the

lung eines einheitlichen Überzuges in entsprechender positive Klemme mit der Siliciumelektrode verbun-development of a uniform coating in a corresponding positive terminal connected to the silicon electrode

Weise angeordnet sind. den wird. Dadurch addiert sich die Spannung derWay are arranged. that will. This adds up the tension of the

Das erfindungsgemäße Verfahren kann einwandfrei Zelle zu der von außen zugeführten Spannung.The method according to the invention can properly cell to the externally supplied voltage.

ohne Verwendung einer zusätzlichen EMK im elek- 55 Zur Steuerung des Verfahrens können natürlich inwithout the use of an additional EMF in the electronic 55 To control the process, in

irischen Stromkreis durchgeführt werden. Es kann den äußeren Kreis Meßinstrumente, beispielsweiseIrish circuit to be carried out. It can be the outer circle measuring instruments, for example

jedoch eine kleine Spannung von außen aufgeprägt Voltmeter und Amperemeter, Widerstände, ZeitgeberHowever, a small voltage from the outside impressed on voltmeters and ammeters, resistors, timers

werden, falls die Abscheidungsgeschwindigkeit von usw. eingeschaltet werden.if the deposition rate of, etc. are turned on.

Silicium erhöht werden soll. Dabei wird die Diffu- Zur näheren Erläuterung der Erfindung dienen dieSilicon should be increased. The diffusion serves to explain the invention in more detail

sionsgeschwindigkeit des in den Gegenstand unter 60 folgenden Beispiele. Im Rahmen der Erfindung kön-sion speed of the examples below in the subject under 60. Within the scope of the invention,

Bildung von Silizid eindringenden Siliciums nicht nen natürlich die angeführten ReaktionsbedingungenFormation of silicide invading silicon does not, of course, meet the stated reaction conditions

überschritten. Die aufgeprägte EMK sollte 0,5 Volt und Reaktionsteilnehmer in vielerlei Hinsicht abge-exceeded. The impressed EMF should be 0.5 volts and respondents in many ways.

nicht überschreiten und normalerweise zwischen 0,1 ändert werden,do not exceed and are normally changed between 0.1,

und 0,3 Volt liegen. Höhere Spannungen sind darauf Beispiel 1and 0.3 volts. Higher voltages are on example 1

zurückzuführen, daß irgendwo im Stromkreis ein 65due to the fact that somewhere in the circuit there is a 65

hoher Widerstand vorhanden ist, daß im Bad oder Ein Gefäß aus rostfreiem Stahl (Tiefe 280 mm, an der Oberfläche der Elektroden Verunreinigungen Innendurchmesser 120 mm) mit einer Nickelauskleivorhanden sind, die sich störend auf die gewünschten dung (Tiefe 266 mm, Innendurchmesser 114 mm)high resistance is present that in the bath or a stainless steel vessel (depth 280 mm, on the surface of the electrodes impurities inside diameter 120 mm) with a nickel lining that interfere with the desired manure (depth 266 mm, inner diameter 114 mm)

wurde mit 2610 g (45 Mol) chemisch reinem wasserfreiem KF, 1170 g (45 Mol) chemisch reinem LiF und 420 g (10 Mol) chemisch reinem NaF beschickt. Das Gefäß wurde mit einer Glashaube bedeckt, die zwei öffnungen für die Elektroden, eine öffnung für ein Thermoelement und einen Anschluß für eine Vakuumquelle hatte. Ein durch Nickeldraht an einem Nickelstab mit einem Durchmesser von 6,5 mm befestigter Siliciumstab (12 · 12 · 200 mm) wurde mit Hilfe einer Gummirohrdichtung in einer der Elektrodenöffnungen befestigt. In ähnlicher Weise wurde auch ein Molybdänband (20 · 100 · 0,25 mm) in der zweiten Elektrodenöffnung befestigt.was charged with 2610 g (45 mol) of chemically pure anhydrous KF, 1170 g (45 mol) of chemically pure LiF and 420 g (10 mol) of chemically pure NaF. The vessel was covered with a glass hood which had two openings for the electrodes, one opening for a thermocouple and a connection for a vacuum source. A silicon rod (12 x 12 x 200 mm) attached by nickel wire to a nickel rod with a diameter of 6.5 mm was secured in one of the electrode openings by means of a rubber tube gasket. Similarly, a molybdenum tape (20 x 100 x 0.25 mm) was also attached in the second electrode opening.

Das Gefäß wurde in einen elektrischen Ofen gebracht, der aus einem Aluminiumoxydrohr mit einer Chromnickelheizwicklung bestand. Anschließend wurde das Gefäß evakuiert und auf eine Temperatur von 6300C gebracht, bei welcher das Salzgemisch eine wasserklare Schmelze bildete. Von einer Flasche wurde 1 Mol Siliciumtetrafluoridgas dem geschmolzenen Gas zugeführt und sehr schnell darin gelöst, wobei über der Schmelze bei 630° C ein Dampfdruck von 0,1 bis 0,2 mm vorhanden war. Alle unten angegebenen Reaktionen wurden bei Drücken von 0,1 bis 1,0 mm durchgeführt. Es wurden andererseits auch erfolgreiche Reaktionen unter Atmosphärendruck in einer neutralen Atmosphäre durchgeführt, jedoch wird Vakuum bevorzugt, da ein Vakuumverfahren ausgezeichnete, einwandfreie Ergebnisse liefert. Die Siliciumanode und die Molybdänkathode wurden in die Schmelze eingetaucht. In den äußeren, die Anode mit der Kathode verbindenden Stromkreis wurde eine mäßige EMK eingeschaltet und die Elektrolyse durchgeführt. In den äußeren Stromkreis waren in bekannter Weise ein Amperemeter und ein Voltmeter eingeschaltet. Es wurden folgende Ergebnisse erzielt:The jar was placed in an electric furnace consisting of an alumina tube with a chrome-nickel heating coil. The vessel was then evacuated and brought to a temperature of 630 ° C. at which the salt mixture formed a water-clear melt. From a bottle, 1 mole of silicon tetrafluoride gas was added to the molten gas and dissolved therein very quickly, with a vapor pressure of 0.1-0.2 mm above the melt at 630 ° C. All reactions given below were carried out at pressures of 0.1 to 1.0 mm. On the other hand, successful reactions have also been carried out under atmospheric pressure in a neutral atmosphere, but vacuum is preferred because a vacuum process gives excellent, flawless results. The silicon anode and the molybdenum cathode were immersed in the melt. A moderate EMF was switched on in the external circuit connecting the anode to the cathode and the electrolysis was carried out. An ammeter and a voltmeter were connected to the external circuit in a known manner. The following results were achieved:

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 630630 0,500.50 1919th 630630 0,630.63 2020th 630630 0,500.50 8383 630630 0,480.48 115115 630630 0,450.45 183183 630630 0,500.50

eingeführt, das Gefäß evakuiert, das Salz wieder geschmolzen und eine weitere Elektrolyse unter Verwendung der Anlage und der Arbeitsweise nach Beispiel 1 durchgeführt.introduced, the vessel evacuated, the salt melted again and another electrolysis using the system and the procedure according to Example 1 carried out.

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 IOIO 00 640640 0,450.45 . 3. 3 640640 0,730.73 99 640640 0,500.50 3333 640640 0,500.50 1515th 145145 640640 0,500.50 223223 640640 0,480.48

Die Gewichtszunahme des Molybdänstreifens betrug 188 mg oder 98% der theoretisch möglichen Gewichtszunahme von 192 mg. Der Überzug war glatt und einheitlich, und bei mikroskopischer Betrachtung konnten keine freien Stellen gefunden werden. Eine metallographische Untersuchung ergab eine Überzugsdicke von 0,020 bis 0,023 mm, während sich bei einer Röntgenstrahluntersuchung herausstellte, daß im Überzug neben Mo3Si und Mo3Si2 hauptsäch-The increase in weight of the molybdenum strip was 188 mg or 98% of the theoretically possible weight increase of 192 mg. The coating was smooth and uniform and no blank could be found under microscopic inspection. A metallographic examination showed a coating thickness of 0.020 to 0.023 mm, while an X-ray examination showed that, in addition to Mo 3 Si and Mo 3 Si 2, mainly

lieh MoSi2 vorhanden war.borrowed MoSi 2 was present.

Beispiel 3Example 3

Mit der gleichen Schmelze und in der gleichen Weise wurde ein weiterer Versuch durchgeführt, wobei jedoch eine fünfmal so hohe Stromdichte verwendet wurde. Es ergaben sich die folgenden Ergebnisse: Another experiment was carried out with the same melt and in the same way, however, a current density five times as high was used. The following results were obtained:

4040 ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 640640 3,253.25 4545 55 640640 2,502.50 1515th 640640 2,502.50 3131 640640 2,502.50 5050 5252 640640 2,502.50 5858 640640 2,25 bis 2,502.25 to 2.50

Die Elektroden wurden aus dem Salzbad herausgezogen und die Schmelze vor dem öffnen des Gefäßes im Vakuum abgekühlt. Die Gewichtszunahme des Molybdänbandes betrug 116 mg oder 80% der theoretisch möglichen Gewichtszunahme. Der Überzug hatte einige Flecken, an denen keine Silizidbildung stattgefunden hatte. Diese Flecken sind typisch bei einem erstmals durchgeführten Versuch, bei welchem die Schmelze noch Verunreinigungen enthält, die dabei ausgeschieden werden.The electrodes were pulled out of the salt bath and the melt before opening the jar cooled in vacuo. The increase in weight of the molybdenum ribbon was 116 mg, or 80% of that theoretically possible weight gain. The coating had some stains that were not suicidal had taken place. These spots are typical of a first-time experiment in which the melt still contains impurities that are eliminated in the process.

Beispiel 2Example 2

Ein Molybdänstreifen mit den gleichen Abmessungen wie bei Beispiel 1 wurde in die Kathodenöffnung Gegen Ende der Elektrolyse wurden kleine SiIiciumkristalle beobachtet, die sich an der Oberfläche der Kathode bildeten und dann wegschwebten. Die Elektrode besaß einen glatten und einheitlichen Überzug, jedoch betrug die Gewichtszunahme nur 159 mg oder 60% des theoretischen Wertes. Diese niedrige Ausbeute ist typisch für eine Stromdichte, die bei der verwendeten Temperatur zu hoch ist.A molybdenum strip with the same dimensions as in Example 1 was inserted into the cathode opening Towards the end of the electrolysis, small silicon crystals were observed on the surface of the cathode and then floated away. The electrode had a smooth and uniform coating, however, the weight gain was only 159 mg or 60% of the theoretical value. This low Yield is typical for a current density that is too high at the temperature used.

Beispiel 4Example 4

Unter Verwendung der gleichen Versuchsbedingungen wie im Beispiel 3 wurde ein weiterer Versuch durchgeführt, jedoch wurde die Temperatur aufUsing the same test conditions as in Example 3, another test was carried out carried out, however, the temperature was up

7ϋΟυ C gesteigert. Es ergaben sich die folgenden Ergebnisse: 7ϋΟ υ C increased. The following results were obtained:

Zeit
Minuten
Time
Minutes
Temperatur
0C
temperature
0 C
Stromdichte
A/dm2
Current density
A / dm 2
00
66th
5151
700
700
700
700
700
700
2,50
2,50
2,63
2.50
2.50
2.63

Niob zählt zu den Metallen, bei denen die Silizidbildung mäßig leicht verläuft.Niobium is one of the metals in which silicide formation is moderately easy.

Beispiel 7Example 7

Ein Wolframstreifen (15 ■ 130 · 0,25 mm) wurde unter ähnlichen Bedingungen wie Niob mit einer Silizidschicht versehen, wobei die folgenden Ergebnisse erzielt wurden:A tungsten strip (15 × 130 × 0.25 mm) was made under similar conditions as niobium with a Provided the following results:

Der Überzug war vollkommen glatt und einheitlich, und die Gewichtszunahme des Bandes entsprach der theoretisch möglichen Gewichtszunahme von 227 mg Silicium. Die Ergebnisse der Beispiele 2, 3 und 4 zeigen den Temperatureinfluß auf die Ausbeute als Funktion der Stromdichte.The coating was perfectly smooth and uniform and the tape increased in weight the theoretically possible weight increase of 227 mg silicon. The results of Examples 2, 3 and FIG. 4 show the influence of temperature on the yield as a function of the current density.

Beispiel 5Example 5

Bei einem weiteren Versuch wurde ein Eisenband (20-150-0,25 mm) als Kathode verwendet und unter Verwendung der im Beispiel 1 beschriebenen Versuchsanordnung und allgemeinen Arbeitsweise mit einer Silizidschicht versehen.In another experiment, an iron tape (20-150-0.25 mm) was used as the cathode and underneath Use of the experimental set-up and general procedure described in Example 1 provided with a silicide layer.

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 800800 0,330.33 55 800800 0,550.55 1717th 800800 0,550.55 3535 800800 0,550.55 6060 800800 0,550.55

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 700700 0,820.82 55 700700 0,820.82 1717th 700700 0,760.76 3535 700700 0,760.76

Die Gewichtszunahme des Eisens betrug 64,5 mg oder ungefähr 93% des theoretisch möglichen Wertes. Der Silizidüberzug war glatt und einheitlich. Bei der metallographischen Untersuchung ergab sich eine Dicke des Überzuges von 0,0125 mm und eine Röntgenstrahleniintersuchung zeigte, daß der Überzug Fe3Si enthielt. Durch den Überzug ergab sich eine Maßzunahme von 0,0065 mm pro Seite.The weight gain of the iron was 64.5 mg or approximately 93% of the theoretically possible value. The silicide coating was smooth and uniform. The metallographic examination showed the coating to be 0.0125 mm thick, and X-ray examination showed that the coating contained Fe 3 Si. The coating resulted in an increase in dimension of 0.0065 mm per side.

Die Gewichtszunahme des Wolframstreifens betrug 14,5 mg oder 28% des theoretischen Wertes. Der Wolframstreifen war mit einem metallischen, silbergrauen Überzug überzogen, der eine Dicke von ungefähr 0,025 bis 0,050 mm hatte, sehr gut haftete und durch Biegen nicht abgelöst werden konnte. Bei der Röntgenstrahlenuntersuchung wurde WSi2 neben anderen nicht identifizierbaren Gebilden gefunden. Wolfram ist ein Beispiel für die Metalle, welche nur langsam oder unter Schwierigkeiten mit einer Silizidschicht versehen werden können.The weight gain of the tungsten strip was 14.5 mg or 28% of the theoretical value. The tungsten strip was covered with a metallic, silver-gray coating which was approximately 0.025 to 0.050 mm thick, adhered very well and could not be removed by bending. During the X-ray examination, WSi 2 was found among other unidentifiable structures. Tungsten is an example of the metals that can be coated with a silicide layer only slowly or with difficulty.

Beispiel 6Example 6

Zwei Niobdrähte (160 · 0,50 mm) wurden unter Anwendung der im Beispiel 1 beschriebenen Anlage und allgemeinen Arbeitsweise mit einer Silizidschicht versehen, wobei die folgenden Ergebnisse erzielt wurden:Two niobium wires (160 x 0.50 mm) were made using the equipment described in Example 1 and general procedure silicided with the following results achieved became:

4545

Beispiel 8Example 8

In einem Gefäß mit einer Monelauskleidung wurde ein Salzgemisch ähnlich wie in den Beispielen 1 bis 7 bereitet, dem 1 Molprozent Kaliumfluorsilikat an Stelle des in das unter Vakuum stehende Salzgemisch eingeleiteten Siliciumtetrafluoridgases zugesetzt wurde. Unter ähnlichen Bedingungen wie in den vorhergehenden Beispielen 1 bis 7 wurde ein Molybdänband (20 · 120 ■ 0,75 mm) mit einer Silizidschicht versehen. Es wurde jedoch keine zusätzliche EMK den Elektroden zugeführt, und das Schmelzbad wurde als elektrische Zelle betrieben, bei welcher die Kathode über ein Amperemeter mit der Anode verbunden wurde. Am offenen Stromkreis der Zelle war ein Potential von 0,161 Volt vorhanden.In a vessel with a monel lining, a salt mixture similar to that in Examples 1 to 7 was added prepares the 1 mole percent potassium fluorosilicate instead of the salt mixture under vacuum introduced silicon tetrafluoride gas was added. Under similar conditions to the previous ones Examples 1 to 7 were a molybdenum tape (20 × 120 × 0.75 mm) with a silicide layer Mistake. However, no additional EMF was applied to the electrodes, and the weld pool was turned off operated as an electrical cell in which the cathode is connected to the anode via an ammeter became. A potential of 0.161 volts was present on the open circuit of the cell.

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 710710 1,01.0 1313th 714714 0,40.4 4242 719719 0,40.4 232232 700700 0,40.4

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density 5050 MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 703703 0,220.22 22 703703 0,220.22 129129 705705 0,170.17 5555 205205 705705 0,140.14

Die Gewichtszunahme der beiden Niobdrähte betrug 10,6 mg Silicium bei einem theoretisch möglichen Wert von 20,8 mg. Die Überzüge hatten eine leicht graue Färbung, waren hart, glatt und hafteten sehr gut. Die Dicke des Drahtes nahm um 0,0125 mm zu, und der Überzug hatte eine Dicke von 0,0125 mm. Bei der Röntgenstrahlenuntersuchung ergab sich, daß im Überzug nur NbSi2 vorhanden ist. Die Gewichtszunahme des Molybdänbandes betrug 76 mg Silicium bei einem theoretischen Wert von 75 bis 80 mg. Der Überzug hatte eine Dicke von 0,010 bis 0,012 mm, war gleichmäßig, haftete gut und konnte auf einen Radius von wenigstens 25 mm gekrümmt werden, bevor der Überzug riß.The weight increase of the two niobium wires was 10.6 mg silicon with a theoretically possible value of 20.8 mg. The coatings were slightly gray in color, were hard, smooth and adhered very well. The thickness of the wire increased by 0.0125 mm and the coating had a thickness of 0.0125 mm. The X-ray examination revealed that only NbSi 2 was present in the coating. The increase in weight of the molybdenum strip was 76 mg of silicon with a theoretical value of 75 to 80 mg. The coating was 0.010-0.012 mm thick, uniform, adhered well, and curable to a radius of at least 25 mm before the coating cracked.

Beispiel 9Example 9

Ein Eisenstreifen (18 · 125 · 0,25 mm) wurde ohne Verwendung einer zusätzlichen EMK bei den im Bei-An iron strip (18 · 125 · 0.25 mm) was made without the use of an additional EMF for the two

709 578/276709 578/276

spiel 8 dargelegten Bedingungen mit einer Silizidschicht versehen.Game 8 provided conditions with a silicide layer.

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 705705 0,660.66 88th 700700 0,560.56 2323 700700 0,460.46 24*24 * 700700 00 42*42 * 700700 00 54*54 * 703703 00 5555 703703 0,660.66 7070 705705 0,530.53 115115 702702 0,450.45

Molybdän st reifen war mit Tantaldraht (Durchmesser 0,5 mm) an einem Nickelstab aufgehängt. Der gesamte Molybdänstreifen und ein Teil des Tantaldrahtes wurden vollständig in das Salzbad eingetaucht. The molybdenum strip was suspended from a nickel rod with tantalum wire (diameter 0.5 mm). The whole Molybdenum strips and part of the tantalum wire were completely immersed in the salt bath.

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 695695 0,80.8 10 5 10 5 700700 0,80.8 77th 700700 0,50.5 100100 700700 0,50.5 200200 700700 0,50.5

1515th

* Die Bildung der Silizidschicht wurde durch öffnen des Stromkreises 30 Minuten lang unterbrochen, um festzustellen, mit welcher Geschwindigkeit die Spannung des offenen Kreises anstieg.* The formation of the silicide layer was interrupted by opening the circuit for 30 minutes to determine the rate at which the voltage of the open circuit increased.

Die Gewichtszunahme des Eisenstreifens betrug 75 mg bei einem theoretischen Wert von 84 mg. Der Überzug (Dicke ungefähr 0,030 mg) war glatt und einheitlich und konnte ohne Reißen beträchtlich gebogen werden. Es wurden auf Eisen mit einem Siliciumgehalt von 1 bis 3% Überzüge mit einer Dicke von bis zu 0,18 bis 0,20 mm aufgebracht, ohne daß Anzeichen einer Abspaltung festgestellt werden konnten. Bei Röntgenuntersuchungen der dünnen Schichten wurden nur Beugungsbilder von Fe3Si festgestellt, während die dickeren Schichten auch Fe5Si3 und FeSi enthielten.The weight gain of the iron strip was 75 mg with a theoretical value of 84 mg. The coating (thickness about 0.030 mg) was smooth and uniform and could flex significantly without cracking. Coatings up to 0.18-0.20 mm thick were applied to iron with a silicon content of 1 to 3% without any evidence of splitting. X-ray examinations of the thin layers only revealed diffraction patterns of Fe 3 Si, while the thicker layers also contained Fe 5 Si 3 and FeSi.

Beispiel 10Example 10

Ein Stück Molybdän-Wolfram-Draht (Länge 110 mm, Durchmesser 7,5 mm, 50 Gewichtsprozent Wolfram und 50 Gewichtsprozent Molybdän) wurde unter Verwendung der im Beispiel 8 beschriebenen Anlage und Arbeitsweise und unter ähnlichen Bedingungen wie in den Beispielen 4 und 5 in der tertiären Salzmischung mit einer Silizidschicht versehen. A piece of molybdenum-tungsten wire (length 110 mm, diameter 7.5 mm, 50 percent by weight Tungsten and 50 weight percent molybdenum) was made using those described in Example 8 Plant and mode of operation and under similar conditions as in Examples 4 and 5 in the tertiary salt mixture provided with a silicide layer.

4545

5050

Die Gewichtszunahme des Drahtes betrug 10,7 mg bei einem theoretischen Wert von 12,5 mg. Die Dicke des Drahtes nahm um ungefähr 0,020 mm zu. Der Überzug war glatt, einheitlich, haftete sehr gut und hatte eine Dicke von ungefähr 0,018 bis 0,020 mm.The increase in weight of the wire was 10.7 mg with a theoretical value of 12.5 mg. The fat of the wire increased by approximately 0.020 mm. The coating was smooth, uniform, very adherent, and had a thickness of about 0.018 to 0.020 mm.

Beispiel 11Example 11

Ein Molybdänstreifen (130 · 50 · 1,5 mm) wurde unter Anwendung der im Beispiel 8 beschriebenen Verfahrensschritte mit einer Silizidschicht versehen. Als Anode wurde jedoch dabei ein durchlöcherter Kohlenstoffkorb (Länge 127 mm, Außendurchmesser 23 mm, Innendurchmesser 16 mm) verwendet, der mit Siliciumkörnern (mit einer Korngröße entsprechend der Maschenweite von Prüfsieben mit ungefähr 1,6 bis 3,1 Maschen pro Zentimeter) gefüllt wurde. Es wurde eine mäßige äußere EMK angelegt. DerA molybdenum strip (130 x 50 x 1.5 mm) was made using those described in Example 8 Process steps provided with a silicide layer. However, a perforated one was used as the anode Carbon basket (length 127mm, outer diameter 23mm, inner diameter 16mm) used the with silicon grains (with a grain size corresponding to the mesh size of test sieves with approximately 1.6 to 3.1 meshes per centimeter) was filled. A moderate external emf was applied. Of the

ZeitTime Temperaturtemperature StromdichteCurrent density MinutenMinutes 0C 0 C A/dm2 A / dm 2 00 700700 0,190.19 3838 700700 0,190.19 5555 700700 0,190.19 5858 700700 0,190.19

Die Gewichtszunahme des Molybdänstreifens entsprach der theoretisch möglichen Zunahme von 636 mg. Die Dicke des Streifens nahm um 0,025 mm zu. Der Überzug war glatt, einheitlich und ungefähr 0,025 mm dick. Der teilweise in das Salzschmelzbad eingetauchte Tantaldraht besaß überhaupt keine Silizidschicht, obwohl er in Abwesenheit von Molybdän mit einer solchen versehen worden wäre. Daraus ergibt sich, daß in Gegenwart von zwei Metallen die Silizidschicht auf dem Metall gebildet wird, das sich leichter mit Silicium legiert. The increase in weight of the molybdenum strip corresponded to the theoretically possible increase of 636 mg. The thickness of the strip increased by 0.025 mm. The coating was smooth, uniform, and approximately 0.025 mm thick. The tantalum wire, partially immersed in the molten salt bath, had no silicide layer at all, although it would have been provided with one in the absence of molybdenum. As a result, in the presence of two metals, the silicide layer is formed on the metal which is more easily alloyed with silicon.

Beispiel 12Example 12

Eine aus 50 Molprozent Caesiumfluorid und 50 Molprozent Kaliumfluorid bestehende Mischung (100 g) wurde in eine Kohlenstoffauskleidung gebracht, die sich innerhalb eines evakuierten Quarzrohres (Durchmesser 50 mm) befand, welches mit zwei Elektrodenöffnungen und mit einer Öffnung zur Einführung eines Thermoelementes versehen war. Die Salzmischung bildete bei 640° C eine wasserklare Schmelze und absorbierte leicht 1000 cm3 (Normalbedingungen) Siliciumtetrafluorid mit einem Restdruck von weniger als 0,1 mm. Eine Siliciumanode und eine aus Palladiumdraht bestehende Kathode (Länge 40 mm, Durchmesser 3,5 mm) wurden in das Salzbad eingetaucht und die Elektrolyse im Vakuum unter Anwendung einer mäßigen äußeren EMK durchgeführt.A mixture consisting of 50 mole percent cesium fluoride and 50 mole percent potassium fluoride (100 g) was placed in a carbon lining which was located inside an evacuated quartz tube (diameter 50 mm) which was provided with two electrode openings and with an opening for the insertion of a thermocouple. The salt mixture formed a water-clear melt at 640 ° C. and easily absorbed 1000 cm 3 (normal conditions) of silicon tetrafluoride with a residual pressure of less than 0.1 mm. A silicon anode and a cathode made of palladium wire (length 40 mm, diameter 3.5 mm) were immersed in the salt bath and electrolysis was carried out in vacuo using a moderate external emf.

Zeit
Minuten
Time
Minutes
Temperatur
0C
temperature
0 C
Stromdichte
A/dm2
Current density
A / dm 2
0
20
32
0
20th
32
640
640
640
640
640
640
2,0
4,0
4,0
2.0
4.0
4.0

Die Gewichtszunahme des Palladiumdrahtes betrug 20 mg bei einer theoretisch möglichen Zunahme von 28 mg. Der Durchmesser des Palladiumdrahtes nahm um 0,075 mm zu. Der Palladiumdraht war gleichmäßig mit einem harten, grauen, spröden Silizidüberzug mit einer Dicke von 0,075 mm überzogen.The weight increase of the palladium wire was 20 mg with a theoretically possible increase of 28 mg. The diameter of the palladium wire increased by 0.075 mm. The palladium wire was uniform covered with a hard, gray, brittle silicide coating with a thickness of 0.075 mm.

In der folgenden Tabelle sind die Ergebnisse angeführt, die beim Aufbringen einer Silizidschicht auf andere Metalle und Legierungen gefunden wurden. Dabei wurde entsprechend dem im Beispiel 1 beschriebenen Verfahren vorgegangen, jedoch wurde an Stelle von 1 Molprozent gasförmigem Siliciumtetrafluorid 1 Molprozent Kaliumfluorsilikat verwendet. Alle Überzüge waren glatt und gleichmäßig und hafteten gut, außer bei Gold, bei welchem ein Teil des gebildeten Goldsilizids schmolz, da sich einThe following table lists the results obtained when applying a silicide layer other metals and alloys were found. The procedure described in Example 1 was carried out accordingly Procedure followed, but instead of 1 mole percent gaseous silicon tetrafluoride was used 1 mole percent potassium fluorosilicate used. All of the coatings were smooth and even and adhered well, except for gold, in which part of the gold silicide formed melted

eutektisches Gemisch bildete, das 31 Atomprozent niedrigeren Stromdichte oder dadurch verhindert Silicium enthält und einen Schmelzpunkt von 370° C werden, daß man beim Aufbringen der Silizidschicht hat. Dieses Schmelzen kann durch Verwendung einer keine äußere EMK anlegt.Eutectic mixture formed, which prevents 31 atomic percent lower current density or thereby Contains silicon and has a melting point of 370 ° C that you can use when applying the silicide layer Has. This melting can be done by using a no external emf applies.

Beispielexample Metallmetal VanadiumVanadium Temperatur
0C
temperature
0 C
Stromdichte
A/dm2
Current density
A / dm 2
Aus
beute
the end
prey
Überzugcoating
1313th 700700 11 3030th Dicke 0,075 mm, dunkelgrau, biegThickness 0.075 mm, dark gray, flexible sam, VSi2 und wahrscheinlichsam, VSi 2 and probably Chromchrome V5Si3 vorhandenV 5 Si 3 present 1414th 700700 11 100100 Dicke 0,025 mm, leicht grau, mäßigThickness 0.025 mm, light gray, moderate Kobaltcobalt biegsamflexible 1515th 750750 0,50.5 5050 Dicke 0,0125 mm, blaugrau, sehrThickness 0.0125mm, blue-gray, very Kupfercopper biegsam, sehr hartflexible, very hard 1616 600600 0,80.8 100100 Dicke 0,050 mm, glänzende, feine,Thickness 0.050mm, shiny, fine, RhodiumRhodium kristalline Oberfläche, sprödecrystalline surface, brittle 1717th 700700 33 2525th Dicke 0,0025 mm, dunkelgrau, sehrThickness 0.0025mm, dark gray, very Palladiumpalladium sprödebrittle 1818th 700700 11 100100 Dicke 0,050 mm, mattschwarz,Thickness 0.050 mm, matt black, Silbersilver sprödebrittle 1919th 700700 11 55 Dicke geringer als 0,0025 mm,Thickness less than 0.0025 mm, TantalTantalum mattschwarz, sprödematt black, brittle 2020th 800800 0,40.4 1010 Dicke 0,0025 mm, leicht grau, biegThickness 0.0025 mm, light gray, flexible Rheniumrhenium samsam 2121 700700 0,60.6 1212th Dicke 0,0038 mm, schwarzglänzend,Thickness 0.0038 mm, gloss black, Iridiumiridium biegsam, sehr hart, ReSi2 flexible, very hard, ReSi 2 2222nd 700700 22 100100 Dicke 0,0125 mm, dunkelgrau,Thickness 0.0125 mm, dark gray, Platinplatinum biegsamflexible 2323 700700 11 100100 Dicke 0,025 mm, mattschwarz, biegThickness 0.025 mm, matt black, flexible sam, PtSi, Pt2Si und Pt8Si2 vorsam, PtSi, Pt 2 Si and Pt 8 Si 2 Goldgold handenact 2424 700700 11 100100 Ein Teil des Silizidüberzuges schmolzPart of the silicide coating melted und bildete am Ende des Streifensand formed at the end of the strip ein Tröpfchen aus Gold-Silicium-a droplet of gold-silicon Eutektikum. GewichtszunahmeEutectic. Weight gain 9,5 mg. Oberfläche des Goldes9.5 mg. Surface of gold InconelX(70VoNi, 15°/oCr,7 VoInconelX (70VoNi, 15 ° / oCr, 7 Vo härter als unbehandeltes Goldharder than untreated gold 2525th Fe, 2,5Vo Ti, 1·/β Ta + Nb,Fe, 2.5Vo Ti, 1 · / β Ta + Nb, 710710 11 9090 Dicke 0,025 mm, leicht grau, mäßigThickness 0.025 mm, light gray, moderate 0,7VoMn, 0,7VoAl, 0,5VoSi,0.7VoMn, 0.7VoAl, 0.5VoSi, biegsamflexible 0,37VoC)0.37VoC) HastelloyX (45Vo Ni, 22Vo Cr,HastelloyX (45Vo Ni, 22Vo Cr, 2626th 23VoFe, 9VoMo)23VoFe, 9VoMo) 700700 11 5454 Dicke 0,025 mm, leicht grau, mäßigThickness 0.025 mm, light gray, moderate Silicium — Eisen 3,5% Si)Silicon - iron 3.5% Si) biegsamflexible 2727 Molybdän — Titan (0,5 Vo Ti)Molybdenum - Titanium (0.5 Vo Ti) 700700 0,750.75 100100 Dicke 0,20 mm, mattgrau, sprödeThickness 0.20 mm, matt gray, brittle 2828 Chrom — Eisen (17 Vo Cr)Chromium - iron (17 Vo Cr) 700700 11 100100 Dicke 0,15 mm, glänzend, biegsamThickness 0.15 mm, shiny, flexible 2929 710710 0,50.5 9090 Dicke 0,05 mm, leicht grau, mäßigThickness 0.05 mm, light gray, moderate S 816 (38VoCo, 20VoNi, 20VoS 816 (38VoCo, 20VoNi, 20Vo biegsamflexible 3030th Cr, 6Vo Fe, 5VoW, 4Vo Mo,Cr, 6Vo Fe, 5VoW, 4Vo Mo, 700700 0,50.5 9090 Dicke 0,025 mm, grau, biegsamThickness 0.025 mm, gray, flexible 4 Vo Ta + Nb, 2 Vo Mn, 1 Vo Si)4 Vo Ta + Nb, 2 Vo Mn, 1 Vo Si)

Beispiel 31Example 31

Aus einem Molybdändraht (406 · 0,5 mm) wurde eine Haarnadelschleife gebildet, und der Molybdändraht wurde mit Ausnahme von 25 mm an beiden Enden entsprechend den im Beispiel 1 beschriebenen Verfahren mit einer Silizidschicht versehen. Bei Verwendung einer Schmelzbadtemperatur von 660° C betrug die Stromdichte 2 Ampere pro Quadratzenti-A hairpin loop was formed from a molybdenum wire (406 x 0.5 mm), and the molybdenum wire was similar to those described in Example 1 with the exception of 25 mm at both ends Process provided with a silicide layer. When using a melt bath temperature of 660 ° C the current density was 2 amps per square centimeter

6o meter und die Behandlungszeit 172 Minuten. Der Silizidüberzug hatte eine Dicke von 0,033 bis 0,038 mm. Diese mit einem Silizidüberzug versehene Haarnadelschleife wurde an wassergekühlten Elektroden befestigt und durch Hindurchleiten eines elek-60 meters and the treatment time 172 minutes. The silicide coating had a thickness of 0.033 to 0.038 mm. This silicide-coated hairpin loop was attached to water-cooled electrodes attached and by passing an electrical

65 trischen Stromes durch den Draht in der Luft auf eine Temperatur von 1000° C erwärmt. Dabei wurde ein an eine Wechselspannungsquelle mit 110 Volt angeschlossener Regeltransformator verwendet, um die65 tric current through the wire in the air to one Heated to a temperature of 1000 ° C. A was connected to an AC voltage source with 110 volts Regulating transformer used to power the

Oberflächentemperatur konstant zu halten. Nach 1003 Stunden konnten keine Anzeichen einer elektrischen Widerstandsänderung oder eines Versagens festgestellt werden. Unter ähnlichen Bedingungen würde ein Molybdändraht ohne einen Silizidüberzug bei 10000C bereits innerhalb einer Minute zerstört worden sein. Die Temperatur wurde auf 1200° C erhöht und 24 Stunden lang aufrechterhalten. Anschließend wurde dann die Temperatur auf 1300° C erhöht, und nachdem er 11 Stunden auf dieser Tem- ίο peratur gehalten worden war, brannte der Draht infolge einer fehlerhaften Stelle durch.To keep surface temperature constant. After 1003 hours there was no evidence of electrical resistance change or failure. Under similar conditions, a molybdenum wire would have been destroyed without a Silizidüberzug at 1000 0 C already within one minute. The temperature was raised to 1200 ° C and held for 24 hours. The temperature was then increased to 1300 ° C., and after it had been kept at this temperature for 11 hours, the wire burned out due to a faulty point.

Die obigen Beispiele dienen zur Erläuterung bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung. Es sind jedoch im Rahmen der vorliegenden Erfindung vielerlei Abänderungen möglich. Beispielsweise kann der Silizidüberzug auf ein Metall aufgebracht werden, welches selbst ein auf einem anderen Metall aufgebrachter Überzug ist, beispielsweise ein auf Eisen aufgebrachter Chromüberzug.The above examples serve to illustrate preferred embodiments of the invention. However, many modifications are possible within the scope of the present invention. For example, the silicide coating can be applied to a metal which is itself a coating applied to another metal, for example a chrome coating applied to iron.

Da die Zähigkeit, das Haftvermögen und die Korrosionsfestigkeit der erfindungsgemäß aufgebrachten Silizidüberzüge an allen Stellen der behandelten Flächen einen gleichmäßigen Wert hat, können die nach der vorliegenden Erfindung mit einer Silizidschicht versehenen metallischen Gegenstände zu vielerlei Zwecken verwendet werden. Beispielsweise können sie zur Herstellung von chemischen Reaktionsgefäßen, zur Herstellung von Heizelementen, die in der Luft verwendet werden können, ohne daß sie bei hohen Temperaturen durch Oxydation angegriffen werden, zur Herstellung von Turbinenschaufeln von Gas- und Dampfturbinen, die den korrodierenden und auslaugenden Einflüssen des gasförmigen Antriebsmittels ausgesetzt sind, zur Herstellung von Getrieben, Lagern und anderen Gegenständen verwendet werden, bei denen eine harte, abriebfeste Oberfläche erforderlich ist. Es sind natürlich auch noch viele andere Anwendungszwecke denkbar.Since the toughness, the adhesiveness and the corrosion resistance of the applied according to the invention Silicide coatings on all areas of the treated areas have a uniform value the metallic objects provided with a silicide layer according to the present invention can be used for a variety of purposes. For example, they can be used to manufacture chemical reaction vessels, for the production of heating elements that can be used in the air without them attacked by oxidation at high temperatures, for the manufacture of turbine blades from Gas and steam turbines that cope with the corrosive and leaching effects of the gaseous propellant are used to manufacture gears, bearings and other items where a hard, abrasion-resistant surface is required. There are of course many other uses are also conceivable.

Claims (2)

Patentansprüche:Patent claims: 1. Verfahren zur Herstellung eines Silizidüberzuges durch Kontaktabscheidung mit gegebenenfalls zusätzlicher äußerer EMK auf Metallkörpern mit einem Schmelzpunkt von wenigstens 600° C und aus wenigstens 50 Molprozent wenigstens eines Metalls mit der Ordnungszahl 23 bis 29, 41 bis 47, 73 bis 79, durch Abscheiden von Silicium aus einem Schmelzbad einer Siliciumverbindung, dadurch gekennzeichnet, daß ein aus 0,5 bis 50 Molprozent wenigstens eines Alkalimetallfluosilikates und wenigstens einem Alkalimetallfluorid bestehendes, auf etwa 600 bis 800° C gehaltenes Schmelzbad verwendet und mit einer Siliciumanode bei einer Stromdichte von bis zu 5 Ampere pro Quadratdezimeter unter weitgehender Abwesenheit von Sauerstoff gearbeitet wird.1. Process for the production of a silicide coating by contact deposition with optionally additional external EMF on metal bodies with a melting point of at least 600 ° C and of at least 50 mole percent of at least one metal with atomic number 23 to 29, 41 to 47, 73 to 79, by depositing silicon from a molten pool of a silicon compound, characterized in that one of 0.5 to 50 mole percent of at least one alkali metal fluosilicate and at least one Alkali metal fluoride existing, maintained at about 600 to 800 ° C molten bath used and with a silicon anode at a current density of up to 5 amps per square decimeter below extensive absence of oxygen is used. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Schmelzbad zur Beseitigung von Sauerstoff unter Vakuum gehalten wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the melt pool for elimination is kept under vacuum by oxygen. 709 578/276 4.67 © Bundesdruckerei Berlin709 578/276 4.67 © Bundesdruckerei Berlin
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