DE1217085B - Inductive measuring sensor to convert linear movements in particular into electrical quantities - Google Patents
Inductive measuring sensor to convert linear movements in particular into electrical quantitiesInfo
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Description
Induktiver Meßfühler zur Umsetzung insbesondere linearer Bewegungen in elektrische Größen Zur Abbildung von drehenden Bewegungen als elektrische Größen sind Drehmelder und ähnliche Einrichtungen bekannt, deren Ausgangsspannung nach Amplitude bzw. Phase von der Bewegung abgängig ist.Inductive sensor for the implementation of linear movements in particular in electrical quantities For mapping rotating movements as electrical quantities resolvers and similar devices are known, their output voltage according to The amplitude or phase is dependent on the movement.
Um auch lineare Bewegungen in ähnlicher Weise abbilden zu können, hat man bereits induktive Meßfühler gebaut, bei denen der Maßstab aus Glas bestand. Derartige Meßfühler konnten jedoch die an sie zu stellenden Genauigkeitsanforderungen nicht erfüllen. Bei einer der wichtigsten Anwendungen, nämlich zur Koordinatensteuerung von Werkzeugmaschinen, ist wegen der unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Masehinenstahles und des Maßstabes eine Genauigkeit von einem Hundertstelmillimeter, wie sie meist verlangt wird, nicht zu erreichen. Außerdem führt die induktive Kopplung im Fühler ohne magnetische Rückschlüsse zu einem geringen Leistungspegel und damit zu einer hohen Störanfälligkeit. Auch die große Streuung wirkt sich im Sinne einer Vergrößerung des Meßfehlers aus. In order to be able to map linear movements in a similar way, inductive sensors have already been built where the scale was made of glass. Such sensors, however, could meet the accuracy requirements to be placed on them not meet. In one of the most important applications, namely for coordinate control of machine tools, is because of the different coefficients of thermal expansion of the machined steel and the scale an accuracy of one hundredth of a millimeter, as it is usually required not to be achieved. In addition, the inductive coupling leads in the sensor without magnetic conclusions to a low power level and thus to a high susceptibility to failure. The large spread also acts in the sense of a Magnification of the measurement error.
Die Erfindung befaßt sich mit der Verbesserung eines bekannten induktiven Meßfühlers, bestehend aus einer einen Meßkopf und einen Maßstab bildenden Drosselanordnung mit aufgeschnittenem Eisenkreis und in der Verschiebungsrichtung versetzten Flußpfaden, deren effektive Eisenquerschnitte sich bei der Verschiebung gegenseitig ändern, zur Erzeugung von stufenlos veränderlichen elektrischen Größen in Abhängigkeit von der momentanen Lage des relativ zu dem mit Zahnteilung versehenen ferromagnetischen Maßstab verschiebbaren, in Teilsysteme aufgeteilten Meßkopfes. The invention is concerned with improving a known inductive Measuring sensor, consisting of a throttle arrangement forming a measuring head and a scale with a cut iron circle and the flow paths offset in the direction of displacement, the effective cross-sections of which change each other when shifting, for the generation of continuously variable electrical quantities depending on the current position of the ferromagnetic one relative to the tooth pitch Scale displaceable measuring head divided into subsystems.
Die Erfindung besteht bei einem solchen Fühler darin, daß im Eisenkreis der Drosselanordnung mindestens zwei getrennte, voneinander unabhängige Flußpfade quer zur Verschiebungsrichtung verlaufen. The invention consists in such a sensor that in the iron circle the throttle arrangement has at least two separate, mutually independent flow paths run transversely to the direction of displacement.
Da die magnetischen Kraftlinien in dem angegebenen Sinne in einem Eisenkreis verlaufen, ist die Streuung gering und die verfügbare Meßleistung verhältnismäßig hoch. Außerdem ist es möglich, den Fühler aus dem gleichen Material wie die zu steuernde Maschine herzustellen, so daß die Wärmeausdehnung praktisch keine Rolle mehr spielt. Since the magnetic lines of force in the stated sense in a Run iron circle, the scatter is small and the available measuring power is proportionate high. It is also possible to have the sensor made of the same material as the one to be controlled Manufacture machine, so that the thermal expansion plays practically no role.
Der Meßfühler besteht - wie im einzelnen noch näher erläutert werden soll - aus einem im allgemeinen ruhenden Teil, dem Maßstab, und einem bewegten Teil, dem eigentlichen Fühlerkopf. Diese Teile entsprechen dem Ständer bzw. dem Rotor eines Drehmelders. Während beim Drehmelder im Ständer wie im Rotor Wicklungen angeordnet sind, venneidet man beim Erfindungsgegenstand zweckmäßig elektrische Bauteile im Maßstab. Der Grund dafür ist, daß bei der verhältnismäßig großen Länge des Maßstabes jeweils nur ein Bruchteil der Bauelemente in Tätigkeit wäre, während über die übrigen Störungen von außen in das Meßsystem eindringen könnten. Es ist jedoch möglich, den verhältnismäßig langen Maßstab als beweglichen und den kurzen Fühlerkopf als ortsfesten Teil auszubilden. The sensor consists - as will be explained in more detail below should - from a generally stationary part, the scale, and a moving part, the actual probe head. These parts correspond to the stator or the rotor a resolver. In the case of the resolver, windings are arranged in the stator and in the rotor are avoided one expediently electrical components in the subject of the invention Scale. The reason for this is that with the relatively large length of the scale only a fraction of the components would be in operation, while the rest Interferences from outside could penetrate into the measuring system. However, it is possible the relatively long scale as movable and the short feeler head as to train stationary part.
Um die gegensinnige Veränderung des effektiven Eisenquerschnittes beider Flußpfade zu erzielen, ist an beiden Teilen des Eisenkreises an einer Berührungsfiäche eine Zahnteilung mit Rechteckprofil vorgesehen. Zahnbreite und Zahnabstand sind hierbei gleich groß. Die Zähne des einen Flußpfades des verschiebbaren Teiles sind gegen die Zähne des anderen Flußpfades, gemessen an der kontinuierlich über die Meßlänge ausgedehnten Teilung des ortsfesten Teiles, um eine Zahnbreite in Längsrichtung versetzt. About the opposite change in the effective iron cross-section Achieving both flux paths is at a touching surface on both parts of the iron circle a tooth pitch with a rectangular profile is provided. Tooth width and tooth spacing are here the same size. The teeth of one flow path of the sliding part are against the teeth of the other flux path, measured by the one continuously across the Measuring length extended division of the stationary part by one tooth width in the longitudinal direction offset.
Am verschiebbaren Teil sind die beiden Flußpfade von je einer Primär- und einer Sekundärwicklullg umfaßt, wobei die Primärwieldungen gleichsinnig, die Sekundärwicklungen gegensinnig in Reihe liegen.On the movable part, the two flow paths are each of a primary and a secondary winding, the primary winding in the same direction as the Secondary windings are in opposite directions in series.
Zur näheren Erläuterung der Erfindung seien im folgenden an Hand der schematischen Zeichnung Ausführungsbeispiele beschrieben. For a more detailed explanation of the invention, reference is made to the following the schematic drawing of embodiments described.
F i g. 1 zeigt einen Abschnitt des ortsfesten Teiles oder Maßstabes 1. Er wird zweckmäßig aus Werkzeugmaschinenstahl in Form von Stangenprofilen hergestellt. Es werden zunächst zwei Längsnuten 2, 3 ausgefräst, so daß ein E-Profil entsteht. In den Mittelsteg 4 wird eine Zahnteilung mit Rechteckprofil eingesägt. Im Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine 1-mm-Teilung, d.h., Zahn- und Lückenbreite betragen je 0,5 mm. In dieser Form ist der Maßstab bareits verwendbar. Es kann jedoch zum Schutz gegen riechanische Einwürkungen zweckmäßig sein, die Hohlräume mit einem Kunststoffharz oder einem anderen nichtleitenden, unmagnetischen Material zu vergießen und anschließend die Oberfläche planzuschleifen. F i g. Figure 1 shows a portion of the stationary part or scale 1. It is expediently made of machine tool steel in the form of bar profiles. First, two longitudinal grooves 2, 3 are milled out so that an E-profile is created. In the middle bar 4 a tooth pitch with a rectangular profile is sawn in. In the exemplary embodiment, the division is 1 mm, i.e. the width of the tooth and the gap are each 0.5 mm. The scale can be used in this form. However, it can to protect against olfactory obstruction, the cavities with a Potting plastic resin or another non-conductive, non-magnetic material and then grind the surface flat.
Statt der 1-mm-Teilung können auch beliebige andere metrische oder nichtmetrische Teilungen, insbesondere nach dem Zollsystem, vorgesehen sein. Instead of the 1 mm graduation, any other metric or non-metric graduations, in particular according to the customs system, can be provided.
Der Maßstab kann in Abschnitten beliebiger Länge gefertigt, an den Enden plangeschiffen und an der gesteuerten Maschine nach Art von Endmaßen zusammengesetzt und montiert werden.The scale can be made in sections of any length, attached to the Ends planed and assembled on the controlled machine according to the type of gauge blocks and be assembled.
F i g. 2 zeigt eine Möglichkeit zur Ausbildung des verschiebbaren Teiles oder Fühlerkopfes 5 Auch dieser Teil kann aus Stangenmaterial mit Rechteckprofil ähnlich wie der Tell 1 hergestellt werden. Beim Fühlerkopf wird die Steghöhe des E-Querschnittes größer als beim Maßstab gewählt, damit über die Mittelstücke 6, die den Fluß führen, die Wicklungen angebracht werden können. Die Mittelstücke, im Ausführungsbeispiel vier, erhalten gleichfalls eine Zahnteilung mit Rechteckproffl, die der des Maßstabes entspricht. Auch der Fühlerkopf kann vergossen und abgeschliffen werden. F i g. 2 shows one way of forming the slidable Part or sensor head 5 This part can also be made of rod material with a rectangular profile similar to the Tell 1 are made. With the sensor head, the web height of the E-cross-section larger than selected for the scale, so that over the middle pieces 6, which guide the river, the windings can be attached. The centerpieces, in the embodiment four, also have a tooth pitch with a rectangular profile, which corresponds to that of the scale. The sensor head can also be encapsulated and sanded will.
Aus F i g. 3 ist das mechanische Zusammenwirken des Maßstabes mit dem Fühlerkopf ersichtlich. Die Seitenstege gleiten als Laufilächen aufeinander. Bei den Mittelstegen hat sich aus noch zu erläuternden Gründen ein Luftspalt von 0,05 mm als vorteilhaft erwiesen. Die Flußpfade entsprechen denen der bekannten M-Schnitte (vgl. F i g. 3 a), so daß eine magnetische Störbeeinflussung von außen praktisch nicht möglich ist. From Fig. 3 is the mechanical interaction of the scale with visible on the sensor head. The side bars slide on each other as walking surfaces. For reasons to be explained, there is an air gap of 0.05 mm proved to be advantageous. The river paths correspond to those of the known ones M-cuts (see FIG. 3 a), so that a magnetic interference from the outside is practically impossible.
In Fig. 4 ist das Schema des Zusammenwirkens der Zahnteilung dargestellt. Die einzelnen Mittelstücke 6 des Fühlerkopfes bilden mit der kontinuierlichen Zahnteilung des Maßstabes 1 insgesamt vier Teilsysteme mit je einem Flußpfad. Zwischen dem ersten und dem zweiten System sind die Zähne um eine Zahnbreite, zwischen dem zweiten und dritten um eine halbe und zwischen dem dritten und vierten wieder um eine Zahnbreite versetzt. Wenn sich die Zahnteilung im ersten System deckt, wie in der Figur dargestellt, fallen die Zähne des zweiten Systems mit den Lücken des Maßstabes zusammen. Im dritten und vierten System wird jeweils eine halbe Zahnbreite überdeckt. In Fig. 4 the scheme of the interaction of the tooth pitch is shown. The individual middle pieces 6 of the sensor head form with the continuous tooth pitch of the scale 1 a total of four subsystems, each with a flow path. Between the first and the second system, the teeth are one tooth width, between the second and third by half and between the third and fourth again by a tooth width offset. If the tooth pitch in the first system coincides, as shown in the figure, the teeth of the second system coincide with the gaps in the rule. In the third The fourth and fourth systems are each covered by half a face width.
Aus der F i g. 5 ist unmittelbar ersichtlich, daß bei Verschiebung der beiden Teile des Eisenkreises gegeneinander die Summe der paarweise überdeckten Zahnflächen des ersten und zweiten sowie des dritten und vierten Systems konstant bleibt, jedoch für jedes System sich die überdeckte Zahnfläche ändert, und zwar gegensinnig für die Systeme 1 und 2 bzw. die Systeme 3 und 4. Auf dieser Erscheinung beruht die Wirkungsweise des Meßfühlers nach der Erfindung. From FIG. 5 it can be seen immediately that when shifting of the two parts of the iron circle against each other the sum of the pairs covered Tooth surfaces of the first and second as well as the third and fourth system are constant remains, but the covered tooth surface changes for each system, namely in opposite directions for systems 1 and 2 or systems 3 and 4. On this phenomenon is based on the operation of the sensor according to the invention.
Die Flußpfade jedes Systems sind von je einer Primärwicklung 7, 9, 11, 13 und einer Sekundärwicklung 8, 10, 12, 14 umschlossen. Die elektrische Schaltung der Wicklungen ist aus F i g. 5 ersichtlich. The flux paths of each system are each of a primary winding 7, 9, 11, 13 and a secondary winding 8, 10, 12, 14 enclosed. The electrical circuit of the windings is from FIG. 5 can be seen.
Die Primärwicklungen 7 und 9 des ersten Systems und die Primärwicldungen 11 und 13 des zweiten Systems sind jeweils gleichsinnig in Reihe geschaltet.The primary windings 7 and 9 of the first system and the primary windings 11 and 13 of the second system are each connected in series in the same direction.
Legt man an diese Reihenschaltungen eine Wechselspannung U, so ist ihre zulässige maximale Amplitude wegen des konstanten effektiven Eisenquerschnittes unabhängig von der Verschiebung der beiden Teile des Meßfühlers. Es ändert sich hierbei nur die Aufteilung das Flusses auf die Systeme 1 und 2 bzw. die Systeme 3 und 4. Schaltet man daher die Sekundärwicklung 8 und 10 bzw. 12 und 14 gegensinnig in Reihe, so erhält man aus der Größe der induzierten Spannung U'1,2 e bzw. U'34 ein Maß für die Elußaufteilung und damit für die Lage des Meßfühlers in bezug auf den Maßstab. In der Stellung nach Fig. 4 wird beispielsweise die Spannung voll vom System 1 bzw. je zur Hälfte von den Systemen 3 und 4 übertragen. Es entsteht also an der Reihenschaltung der Wicklungen 8 und 10 die volle Ausgangsspannung mit dem System 1 entsprechenden Vorzeichen, während die Ausgangsspannung der Reihenschalttlng der Wicklungen 1 und 14 gleich Null ist.If an alternating voltage U is applied to these series connections, then is their maximum permissible amplitude due to the constant effective iron cross-section regardless of the displacement of the two parts of the probe. It changes here only the distribution of the flow to systems 1 and 2 or the systems 3 and 4. Therefore, if you switch the secondary winding 8 and 10 or 12 and 14 in opposite directions in series, one obtains from the magnitude of the induced voltage U'1,2 e or U'34 a measure for the elut distribution and thus for the position of the sensor in relation to the yardstick. In the position of FIG. 4, for example, the voltage is full of System 1 or half of each from systems 3 and 4. So it arises at the series connection of the windings 8 and 10, the full output voltage with the System 1 corresponding sign, while the output voltage of the series connection of windings 1 and 14 is zero.
In F i g. 6 ist die Abhängigkeit der Wechselspannungsamplituden auf der Sekundärseite von der relativen Lage des Fühlerkopfes zum Maßstab dargestellt. In Fig. 6 shows the dependence of the alternating voltage amplitudes the secondary side of the position of the sensor head relative to the scale.
Bei den angenommenen Flächenüberdeckungsverhältnissen ergibt sich der stark ausgezogene Dreieckverlauf. Praktisch ist jedoch für die FlußaUfteilung nicht nur die Flächenüberdeckung der Zähne, sondern auch die Streuung maßgebend. Diese wirkt im Sinne einer Abänderung der Dreieckkurve in Annäherung an die Sinusform. Dies ist als Vorteil zu werten, da im allgemeinen eine sinusförmige Abhängigkeit der Spannungsamplitude vom Weg angestrebt wird. Man kann den Streueffekt nach Wunsch beliebig groß wählen, indem man, wie schon erwähnt, einen Luftspalt zwischen den Zahnteilungen vorsieht. Dieser Luftspalt wirt auch günstig auf die zeitliche Form der abgegebenen Sekundärspannung, d. h. auf deren Klirrfaktor. Wegen der nichtlinearen Eigenschaften des Materials sowie wegen derWirbelstromeffekte in den nicht geblätterten Meßfühler teilen würden sonst Verzerrungen au£treten. Eine Schichtung der einzelnen Teile ist im allgemeinen wegen der großen Länge des Maßstabes bei hohen Genauigkeitsanforderungen nicht möglich. Unter Umständen kann sie jedoch insbesondere bei kurzen Meßfühlern durchführbar sein. Ferner sind in manchen Fällen auch Ferrite verwendbar. Die Auswirkungen der Wirbelströme sind aber nicht kritisch, da sie im wesentlichen nur die primäre Stromaufnahme, nicht aber die Meßeigenschaft und das Verhalten auf der Sekundärseite beeinflussen.With the assumed area coverage ratios, the result is the strongly drawn out triangle shape. However, it is practical for river division not only the surface coverage of the teeth, but also the spread is decisive. This acts in the sense of a modification of the triangular curve in approximation to the sinusoidal shape. This is to be seen as an advantage, as it is generally a sinusoidal dependence the stress amplitude is sought by the path. You can customize the scattering effect as you wish choose any size by, as already mentioned, an air gap between the Provides tooth pitches. This air gap also has a favorable effect on the temporal form the secondary voltage output, d. H. on their distortion factor. Because of the non-linear Properties of the material as well as because of the eddy current effects in the non-scrolled Otherwise distortions would occur. A layering of each Parts is in general with high accuracy requirements because of the great length of the scale not possible. Under certain circumstances, however, it can be particularly suitable for short measuring sensors be feasible. Ferrites can also be used in some cases. The effects the eddy currents are not critical since they are essentially only the primary ones Current consumption, but not the measurement properties and behavior on the secondary side influence.
Man kann die beiden Systempaare 1, 2 und 3, 4 an die gleiche Wechselspannung legen, die aus dem normalen Netz mit 50 Hz stammen kann. Es ist also im Gegensatz zum Bekannten die Anwendung höherer Frequenzen, insbesondere im Tonfrequenzbereich, nicht erforderlich. Man erhält auf der Sekundärseite ein Paar von Wechselspannungen, die sich ähnlich wie bei einem Drehmelder nach einer Sinus- bzw. Kosinuskinktion in Abhängigkeit vom Weg ändern. The two system pairs 1, 2 and 3, 4 can be connected to the same AC voltage place, which can come from the normal network with 50 Hz. So it's the opposite familiar the use of higher frequencies, especially in the audio frequency range, not mandatory. A pair of alternating voltages is obtained on the secondary side, which is similar to a resolver according to a sine or cosine kinetic change depending on the route.
Diese Eigenschaft des Meßfühlers nach der Erfindung kann dazu ausgenützt werden, ihn mit Drehmeldern oder Drehmeldesystemen zusammenzuschalten, die ein elektrisches Maß für die Abweichung des Fühlerkopfes von einer Sollage liefern. Im Interesse einer großen Meßleistung ist es zweckmäßig, den SoWvert über dieprimärwieklungen einzuführen. This property of the sensor according to the invention can be used for this purpose be to interconnect it with resolvers or resolver systems that have an electrical Provide a measure for the deviation of the sensor head from a nominal position. In interest In the event of a large measurement performance, it is advisable to monitor the SoWvert via the primary signals to introduce.
Man schaltet hierzu die Primärwicldungspaare an den Sinus bzw. Kosinusausgang eines konstanterregten Drehmelders oder einer ähnlichen Einrichtung, so daß an ihnen Spannungen liegen, deren Amplitu(len von der Winkelstellung des Drelimelders nach dem Sinus bzw. Kosinus abhängen. Der Drehmelder dient hierbei als Sollwertgeber. Schaltet man nun die Sekundärwicklungspaare in Reihe, so ergeben sich für jede Zahnteilungsperiode zwei Stellungen des Fühlerkopfes, bei denen die abgegebene Summenspannung gleich Null wird. Der Fühlerkopf besitzt dann die vom Drehmelder vorgegebene Solllage oder weicht von dieser um ein Vielfaches von Halbperioden ab, was in der Regel leicht erkennbar ist.For this purpose, the primary winding pairs are switched to the sine or cosine output a constant-excited resolver or similar device, so that on them There are tensions whose amplitudes depend on the angular position of the Drelimelders depend on the sine or cosine. The resolver serves as a setpoint generator. If you now connect the secondary winding pairs in series, this results in each tooth pitch period two positions of the sensor head in which the total voltage output is the same Becomes zero. The sensor head then has the target position or specified by the resolver deviates from this by a multiple of half-periods, which is usually easy is recognizable.
Diese Verhältnisse sind für eine 1-mm-Teilung in Fig. 7 schematisch dargestellt. Die Spannungen u1.2 und US 4 sind die Ausgangsspannungen am Sinus-bzw. Kosinusausgang des Drehmelders, die zugleich die Eingangsspannungen der Primärwicklungspaare der Systeme 1 und 2 bzw. 3 und 4 darstellen. Die Summenspannung U'1,2,34 der in Reihe geschalteten Sekundärwicklungspaare läuft zweimal in jeder Teilungsperiode durch Null. Die Nulldurchgänge können linear mit der Winkelstellung des Sollwertgebers verschoben werden. These relationships are schematic for a 1 mm graduation in FIG. 7 shown. The voltages u1.2 and US 4 are the output voltages at the sinus or. Cosine output of the resolver, which is also the input voltages of the primary winding pairs of systems 1 and 2 or 3 and 4. The total voltage U'1,2,34 of the in Secondary winding pairs connected in series runs twice in each division period through zero. The zero crossings can be linear with the angular position of the setpoint generator be moved.
Zur Gewinnung eines Gleichstromsignals für eine Stellungsregelung kann man in an sich bekannter Weise eine phasenabhängige Gleichrichtung der Sekundärspannung vornehmen. For obtaining a direct current signal for position control a phase-dependent rectification of the secondary voltage can be carried out in a manner known per se make.
Der Meßfühler nach der Erfindung gestattet es, geringfügige Verschiebungen mit sehr hoher Genauigkeit wiederzugeben. Um größere Wege mit geringer Toleranz erfassen zu können, kann man mehrere Meßfühler verschiedener Zahnteilung in Kaskade einsetzen. Bei metrischer Teilung ist beispielsweise eine Stufung um den Faktor 10 günstig. Bei noch größeren Wegen kann man die letzte Kaskadenstufe mit einem normalen Drehmelder mechanisch kuppeln, so daß auch Wege in der Größenordnung von 1 oder 10 m erfaßbar sind. Es ist hierbei auf eine sorgfältige Ausführung der Kuppelstellen zu achten. The probe according to the invention allows slight displacements reproduce with very high accuracy. To larger distances with low tolerance To be able to detect, you can cascade several sensors with different tooth pitches insert. In the case of metric graduation, for example, there is a graduation by the factor 10 cheap. In the case of even larger paths, the last cascade stage can be reached with a normal resolver mechanically couple, so that paths in the order of magnitude of 1 or 10 m can be detected. It is important to ensure that the coupling points are carefully executed to pay attention.
Es ist auch möglich, zwei Fühler mit verschiedener Zahnteilung, beispielsweise 1 mm und 1 cm zu einem einzigen Gerät zusammenzufassen. Es werden dann entsprechend viele Mittelstege vorgesehen. It is also possible to have two feelers with different tooth pitches, for example Combine 1 mm and 1 cm into a single device. It will then be accordingly many middle bars provided.
Ein Ausführungsbeispiel für einen derartigen Doppelfühler ist in F i g. 8 schematisch dargestellt, die ohne weitere Erläuterung verständlich sein dürfte.An embodiment of such a double sensor is shown in F i g. 8 is shown schematically, which should be understandable without further explanation.
Der Grundgedanke der Erfindung läßt noch verschiedenartige Abwandlungen zu. Beispielsweise kann der Meßfühler statt mit E-Profilen auch mit C- oder anderen Profilen ausgerüstet sein. Maßstab und eventuell Fühlerkopf können ferner auch mit horizontalen und/oder vertikalen Krümmungen versehen sein, um kompliziertere Bewegungen erfassen zu können. Hierbei wird man sich nach der jeweils gegebenen Aufgabe richten. Der Meßfühler nach der Erfindung kann nicht nur für die Koordinatensteuerung von Werkzeugmaschinen, sondern auch für Textilmaschinen, für die Wegmessung in Schweißmaschinen, für die Walzenanstellung in Walzwerken und ähnliche Zwecke verwendet werden, bei denen es auf eine sehr genaue Messung und Abbildung eines Weges ankommt. Auch kann die Abhängigkeit der Amplitude der Ausgangsspannung vom Weg durch entsprechende Ausbildung des Eisenkreises in weiten Grenzen nach Wunsch beeinflußt werden. The basic idea of the invention can be modified in various ways to. For example, instead of E-profiles, the sensor can also have C or other profiles Be equipped with profiles. Scale and possibly sensor head can also be used with horizontal and / or vertical curvatures can be provided to accommodate more complicated movements to be able to capture. This will depend on the given task. The sensor according to the invention can not only be used for the coordinate control of Machine tools, but also for textile machines, for distance measurement in welding machines, used for roll adjustment in rolling mills and similar purposes which depend on a very precise measurement and mapping of a path. Also can the dependence of the amplitude of the output voltage on the path through corresponding Formation of the iron circle can be influenced within wide limits as desired.
Patentansprüche: 1. Induktiver Meßfühler, bestehend aus einer einen Meßkopf und einen Maßstab bildenden Drosselanordnung mit aufgeschnittenem Eisenkreis und in der Merschiebungsrichtung versetzten mußpfaden, deren effektive Eisenquerschnitte sich bei der Verschiebung gegenseitig ändern können, zur Erzeugung von stufenlos veränderlichen elektrischen Größen in Abhängigkeit von der momentanen Lage des relativ zu dem mit Zahnteilung versehenen ferromagnetischen Maßstab verschiebbaren, in Teilsysteme aufgeteilten Meßkopfes, cadurch gekennzeichnet, daß im Eisenkreis der Drosselanordnung mindestens zwei getrennte, voneinander unabhängige Flußpfade quer zur Verschiebungsrichtung verlaufen. Claims: 1. Inductive sensor, consisting of a one Measuring head and a scale-forming throttle arrangement with a cut-open iron circle and must paths offset in the direction of displacement, their effective iron cross-sections can mutually change when shifting, for the generation of continuously variable electrical quantities depending on the current position of the relative to the ferromagnetic scale provided with tooth pitch, shiftable in subsystems split measuring head, characterized in that in the iron circle of the throttle arrangement at least two separate, mutually independent flow paths transverse to the direction of displacement get lost.
Claims (1)
Priority Applications (1)
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Family Applications (1)
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