DE1179313B - Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuit arrangement for operating the device - Google Patents
Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuit arrangement for operating the deviceInfo
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Description
Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus von Elektronenlinsen und Schaltungsanordnung zum Betrieb der Einrichtung Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus von Elektronenlinsen, enthaltend acht gleichmäßig auf einem Kreis angeordnete Elektroden. Eine solche Einrichtung ist beispielsweise in Elektronenmikroskopen großer Leistungsfähigkeit notwendig, da durch den Astigmatismus das erzeugte Bild unscharf wird.Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuitry for operating the device The present invention relates on a device to compensate for the astigmatism of electron lenses, Contains eight electrodes evenly arranged on a circle. Such Device is for example in electron microscopes of great efficiency necessary because the astigmatism makes the generated image blurred.
Zur Beseitigung des Astigmatismus von Elektronenlinsen sind magnetische und elektrostatische Korrektursysteme, sogenannte Stigmatoren, bekannt. Diese Stigmatoren führen einen zusätzlichen Astigmatismus ein, der nach Größe und Richtung gerade den Astigmatismus des Abbildungssystems kompensiert.To eliminate astigmatism from electron lenses are magnetic and electrostatic correction systems, so-called stigmators, are known. These stigmators introduce an additional astigmatism that is straight in size and direction compensates for the astigmatism of the imaging system.
Die bekannten elektrostatischen Stigmatoren enthalten vier, sechs oder auch acht gleichmäßig auf einem Kreis angeordnete Elektroden, wobei einander diametral gegenüberliegende Elektroden jeweils ein Elektrodenpaar bilden. An die Elektrodenpaare wird nun eine solche Spannung gelegt, daß das entstehende Feld eine Korrektur des Astigmatismus bewirkt. Durch Verändern der Elektrodenpaarspannungen läßt sich das einer Zylinderlinse entsprechende Stigmatorfeld in der für die Kompensation des Astigmatismus des Abbildungssystems erforderlichen Stärke und Richtung einstellen. Um eine möglichst vollkommene Korrektur des Astigmatismus zu erreichen, ist eine möglichst exakte Zentrierung des Stigmatorfeldes zur Linsenachse erforderlich.The well-known electrostatic stigmators contain four, six or eight electrodes evenly arranged on a circle, with each other diametrically opposite electrodes each form a pair of electrodes. To the Electrode pairs are now applied such a voltage that the resulting field a Causes correction of astigmatism. By changing the electrode pair voltages the stigmator field corresponding to a cylinder lens can be used for the compensation set the required strength and direction of the astigmatism of the imaging system. In order to achieve the most complete correction of astigmatism possible, one is Centering of the stigmator field to the lens axis as exact as possible.
Es sind Anordnungen bekannt, bei welchen diese Zentrierung durch mechanische Verschiebung des Stigmatorsystems bewirkt wird. Es sind auch bereits Anordnungen bekannt, bei denen für eine bestimmte Einstellung des Stigmators eine elektrische Zentrierung des Stigmatorfeldes durch zwei mit entsprechend gewählten Spannungen versehene Ablenkplattenpaare bewirkt wird. Eine solche Anordnung besitzt aber den Nachteil, daß bei ihr das Leuchtschirmbild nach einmal erfolgter Einstellung der Zentrierung sofort wegläuft, wenn die Stigmatoreinstellung geändert wird. Die Einstellung des Stigmators ist daher mit einer derartigen Einrichtung nur sehr mühsam durchzuführen.Arrangements are known in which this centering by mechanical Displacement of the stigma system is effected. There are already orders known, in which for a certain setting of the stigmator an electric Centering of the stigmator field by two with appropriately selected voltages provided deflection plate pairs is effected. But such an arrangement has the Disadvantage that with her the luminescent screen after setting the once Centering immediately runs away when the stigmator setting is changed. The setting of the stigmator is therefore very difficult to carry out with such a device.
Weiterhin ist eine Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus von Elektronenlinsen bekannt, welche aus einem, aus zwei Elektrodenpaaren bestehenden Stigmator und zwei weiteren, mit den erstgenannten Elektrodenpaaren zu einer Baueinheit verbundenen Elektrodenpaaren besteht. Je zwei einander benachbarte Elektrodenpaare dienen dabei als Stigmator bzw. als Zentrierglied. Die Elektrodenpaare des Stigmators erhalten dabei stets gleiche Spannung, während einander gegenüberliegende Elektroden des Zentriergliedes entgegengesetzt gleiche Spannungen erhalten. Um zu erreichen, daß bei diesem bekannten Stigmator bei der Einstellung nach Stärke und Richtung das Bild nicht wandert, d. h. also, daß unabhängig von der Einstellung des Stigmators die Zentrierung erhalten bleibt, werden hier die dem Zentrierglbed zugeführten Spannungen durch kompliziert aufgebaute mechanische Kopplungsglieder der Stigmatoreinstellung nachgeführt. Die mechanischen Kopplungsglieder müssen sehr genau gefertigt sein und bedingen einen großen Aufwand dieser bekannten Einrichtung.Furthermore, there is a device for compensating for the astigmatism known from electron lenses, which consist of one, two pairs of electrodes Stigmator and two more, with the first-mentioned pairs of electrodes to form a single unit connected pairs of electrodes. Two adjacent pairs of electrodes each serve as a stigmator or as a centering member. The electrode pairs of the stigmator always receive the same voltage, while electrodes are opposite to one another of the centering member received oppositely equal tensions. To achieve, that with this known stigmator when adjusting for strength and direction the image does not move, d. H. So that regardless of the stigmator's attitude the centering is maintained, the stresses applied to the centering bed become here due to the complex mechanical coupling elements of the stigmator setting tracked. The mechanical coupling links must be manufactured very precisely and require a lot of effort from this known device.
Ein weiterer Nachteil dieses bekannten Stigmators besteht darin, daß die Segmente mit einer Genauigkeit, die erheblich unter 0,01 mm liegt, gefertigt und eingesetzt werden müssen.Another disadvantage of this known stigmator is that the segments are manufactured with an accuracy that is considerably less than 0.01 mm and must be used.
Die neue Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus von Elektronenlinsen vermeidet alle diese geschilderten Nachteile und bringt dazuhin einige wesentliche Fortschritte mit sich. Diese Einrichtung besteht aus acht gleichmäßig auf einem Kreis angeordneten Elektroden. Gemäß der Erfindung wird die Kompensationseinrichtung aus zwei voneinander unabhängig einstellbaren Systemen gebildet, die aus jeweils zwei aufeinander senkrecht stehenden Elektrodenpaaren bestehen, und es ist zum unabhängigen Zentrieren jedes Systems zur Achse der Elektronenlinse an jeweils eine Elektrode jedes Elektrodenpaares eine zusätzliche, einstellbare Spannung angelegt, die der Systemspannung proportional ist.The new device for compensating the astigmatism of electron lenses avoids all of these disadvantages and also brings some essential ones Progress with yourself. This facility consists of eight evenly on one Electrodes arranged in a circle. According to the invention, the compensation device formed from two independently adjustable systems, each consisting of consist of two mutually perpendicular pairs of electrodes, and it is independent Center each system to the axis of the electron lens on one electrode each an additional, adjustable voltage is applied to each pair of electrodes System voltage is proportional.
Bei der beschriebenen Einrichtung wird also gegebenenfalls jeweils einer Elektrode der vier Elektrodenpaare eine frei wählbare Zentrierspannung zugeführt. Mittels dieser Zentnerspannungen gelingt es, den Sattelpunkt des Stigmatorfeldes so zu verschieben, daß er genau mit der Achse der Elektronenlinse zusammenfällt. Die Zentrierung ist dabei sehr einfach durchzuführen und kann, da sämtliche Elektrodenpaare zur Verfügung stehen, mit sehr großer Genauigkeit erfolgen. Die Zentrierspannungen sind proportional zur Systemspannung der Korrektursysteme, d. h. also, die Zentrierung bleibt unabhängig von der Stigmatoreinstellung erhalten.In the case of the device described, if necessary, in each case a freely selectable centering voltage is supplied to one of the four electrode pairs. By means of these hundredweight tensions, it is possible to establish the saddle point of the stigmator field to move so that it is exactly with the axis of the electron lens coincides. The centering is very easy to carry out and can, since all electrode pairs are available, can be done with a very high degree of accuracy. The centering tensions are proportional to the system voltage of the correction systems, i. H. so, the centering is retained regardless of the stigmator setting.
Gegenüber der eingangs geschilderten bekannten Einrichtung zur Kompensation des Astigmatismus von Elektronenlinsen bringt die beschriebene Einrichtung den Vorteil mit sich, daß sowohl zur Einstellung des Stigmatorfeldes als auch zur Zentrierung des Stigmators rein elektrische Mittel verwendet werden und daß durch dieselben elektrischen Mittel zugleich die Proportionalität zwischen Zentrierspannungen und Stigmatorspannungen erreicht wird. Weiterhin wird dadurch, daß sämtliche vier Elektrodenpaare sowohl zur Zentrierung als auch zur Kompensation des Astigmatismus zur Verfügung stehen, erreicht, daß die Anforderungen an die Genauigkeit der Herstellung und Einsetzung des Stigmators nicht sehr hoch zu sein brauchen. Es stehen hier gegenüber der erwähnten bekannten Einrichtung zwei weitere Freiheitsgrade zur Verfügung, so daß also auch ohne weiteres Fehler, welche bei der Herstellung und beim Einsetzen des Stigmators entstehen, kompensiert werden können. Die neue Einrichtung ist also sehr viel weniger aufwendig als die bekannte Einrichtung und arbeitet darüber hinaus sehr viel genauer.Compared to the known device for compensation described above of the astigmatism of electron lenses, the device described has the advantage with it that both for setting the stigmator field and for centering of the stigmator purely electrical means are used and that by the same electrical means at the same time the proportionality between centering voltages and Stigma tensions is reached. Furthermore, all four pairs of electrodes available both for centering and for compensating astigmatism stand, that achieves the requirements for the accuracy of manufacture and use the stigmator need not be very high. They stand opposite the one mentioned here known device two more degrees of freedom available, so that too without further errors, which in the manufacture and in the insertion of the stigmator arise, can be compensated. So the new facility is a lot less more complex than the known device and also works much more precisely.
Es ist vorteilhaft, zur Erleichterung der Zentrierung der beiden Korrektursysteme eine Umschaltmöglichkeit vorzusehen, die es gestattet, wahlweise die zwei Elektrodenpaare eines Korrektursystems zu erden, während die Systemgleichspannung des anderen Korrektursystems durch eine Systemwechselspannung ersetzt wird. Dadurch kann unter Beobachten des Leuchtschirmbildes auf sehr einfache Weise eine Zentrierung des Stigmators vorgenommen werden, wobei diese Zentrierung danach unabhängig von der Einstellung des Stigmatorfeldes stets erhalten bleibt.It is beneficial to facilitate the centering of the two correction systems to provide a switchover option that allows the two pairs of electrodes to be selected of one correction system, while the DC system voltage of the other correction system is replaced by a system alternating voltage. As a result, while observing the A centering of the stigmator is made in a very simple manner with the fluorescent screen image This centering is then independent of the setting of the stigmator field is always preserved.
Die beschriebene Einrichtung wird im folgenden an Hand der F i g. 1 und 2 näher erläutert. Dabei zeigt F i g. 1 den prinzipiellen Aufbau der beschriebenen Einrichtung in perspektivischer Darstellung, F i g. 2 das Gesamtschaltbild der Einrichtung.The device described is illustrated below with reference to FIGS. 1 and 2 explained in more detail. F i g. 1 the basic structure of the described Facility in perspective, F i g. 2 the overall circuit diagram of the facility.
Der in F i g. 1 dargestellte Stigmator besteht aus einem metallischen Zylinder, der in acht voneinander isolierte gleiche Segmente 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 geteilt ist. Dieser Stigmator wird bei einem Elektronenmikroskop unterhalb des Objektivs bzw. im Polschuh des Objektivs angeordnet und umfaßt den Elektronenstrahl symmetrisch. Je zwei einander gegenüberliegende Segmente, z. B. 1 und 2, bilden ein Elektrodenpaar.The in F i g. 1 shown consists of a metallic stigmator Cylinder divided into eight identical segments 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 is divided. This stigmator is seen under an electron microscope below the Lens or arranged in the pole piece of the lens and includes the electron beam symmetrical. Two opposing segments, e.g. B. 1 and 2, form a pair of electrodes.
In der Darstellung der F i g. 2 sind die Elektroden 5, 6, 7 und 8 nur deshalb schraffiert gezeichnet, um die Zeichnung etwas übersichtlicher zu gestalten.In the illustration of FIG. 2 are electrodes 5, 6, 7 and 8 only drawn hatched to make the drawing a little clearer.
Von der Eingangsgleichspannungsquelle 9 wird durch den Spannungsteiler, bestehend aus den Widerständen 12 und 13, und über das Potentiometer 14 eine einstellbare und umpolbare Systemspannung entnommen und über Schalter 18 und 19 einer Widerstands-Potentiometer-Kombination zugeführt. Diese Kombination besteht aus den beiden in Reihe geschalteten Widerständen 22 und 23, einem zu diesen parallel geschalteten Potentiometer 24 sowie einer weiteren, zu dieser Widerstands-Potentiometer-Kombination in Reihe geschalteten, ebenso aufgebauten Widerstands-Potentiometer-Kombination 25, 26, 27 und einem zwischen diesen beiden Kombinationen angeordneten, mit seinem Abgriff an Erde liegenden Potentiometer 28. Der elektrische Mittelpunkt der Widerstände 22, 23 ist mit der Elektrode 1 verbunden, während die Elektrode 3 mit dem elektrischen Mittelpunkt der beiden Widerstände 25, 26 verbunden ist. Der Abgriff des Potentiometers 24 steht mit der Elektrode 2 in Verbindung, während der Abgriff des Potentiometers 27 mit der Elektrode 4 in Verbindung steht.From the input DC voltage source 9 through the voltage divider, consisting of the resistors 12 and 13, and an adjustable via the potentiometer 14 and reversible system voltage taken and via switches 18 and 19 of a resistor-potentiometer combination fed. This combination consists of the two resistors connected in series 22 and 23, a potentiometer 24 connected in parallel to these and another, This resistor-potentiometer combination is connected in series and constructed in the same way Resistance-potentiometer combination 25, 26, 27 and one between these two Potentiometer 28 arranged in combinations with its tap on the ground. The electrical center point of the resistors 22, 23 is connected to the electrode 1, while the electrode 3 with the electrical center point of the two resistors 25, 26 is connected. The tap of the potentiometer 24 is with the electrode 2 in connection, while the tap of the potentiometer 27 with the electrode 4 in Connection.
Der Abgriff des Potentiometers 28 wird einmalig so eingestellt, daß die Spannungen an den Stigmatorelektroden 1 und 3 gegenüber Erde gleich groß sind, jedoch entgegengesetzte Polarität aufweisen. Mit Hilfe des Potentiometers 24 kann eine einstellbare und umpolbare Zusatzspannung an die Stigmatorelektrode 2 gelegt werden. Der Abgriff des Potentiometers 27 dient zur Einstellung der Zusatzspannung an der Elektrode 4. Wie ohne weiteres einzusehen ist, sind diese beiden Zusatzspannungen der mittels des Potentiometers 14 veränderbaren Betriebsspannung proportional. Die Zusatzspannungen dienen zur Zentrierung des einen, aus den Elektroden 1, 2, 3, 4 bestehenden Korrektursystems.The tap of the potentiometer 28 is set once so that the voltages on the stigmator electrodes 1 and 3 are the same with respect to earth, but have opposite polarity. With the aid of the potentiometer 24, an additional voltage that can be set and reversed in polarity can be applied to the stigmator electrode 2. The tap of the potentiometer 27 is used to set the additional voltage at the electrode 4. As can be readily seen, these two additional voltages are proportional to the operating voltage that can be changed by means of the potentiometer 14. The additional voltages are used to center the one correction system consisting of electrodes 1, 2, 3, 4.
Die Betriebsspannung für das andere Korrektursystem 5, 6, 7, 8 wird von der Gleichspannungsquelle 10 über die Widerstände 15 und 16 sowie das Potentiometer 17 gewonnen. Diese Systemspannung wird über Schalter 20 und 21 der aus den Widerständen 30 bis 36 bestehenden Widerstands-Potentiometer-Kombination zugeführt, welche genauso aufgebaut ist, wie die Widerstands-Potentiometer-Kombination 22 bis 28. Mittels der Abgriffe an den Potentiometern 32 und 35 werden die den Elektroden 6 bzw. 8 zugeführten Zentrierspannungen eingestellt.The operating voltage for the other correction system 5, 6, 7, 8 is obtained from the DC voltage source 10 via the resistors 15 and 16 and the potentiometer 17. This system voltage is fed via switches 20 and 21 to the resistor-potentiometer combination consisting of resistors 30 to 36, which is constructed in exactly the same way as the resistor-potentiometer combination 22 to 28 the electrodes 6 and 8 supplied centering voltages set.
Die Überlagerung der einzeln zentrierten Korrekturfelder der beiden Korrektursysteme 1 bis 4 und 5 bis 8 liefert ein ebenfalls zentriertes Stigmatorfeld, dessen Stärke und Richtung durch Betätigung der beiden Potentiometer 14 und 17 eingestellt werden kann. Diese getrennte Zentriermöglichkeit der beiden Korrektursysteme erfordert keinerlei Präzisionsanforderungen an den mechanischen Aufbau der Stigmatorelektroden.The superposition of the individually centered correction fields of the two correction systems 1 to 4 and 5 to 8 provides a likewise centered stigmator field, the strength and direction of which can be set by actuating the two potentiometers 14 and 17. This separate centering possibility of the two correction systems does not require any precision requirements on the mechanical structure of the stigmator electrodes.
Bei der in F i g. 2 dargestellten Ausführungsform ist keine Entkopplung zwischen der Stärke und der Richtung des Stigmatorfeldes vorgesehen, d. h., bei Änderung einer Systemspannung und von Null verschiedener zweiter Systemspannung ändert sich sowohl die Stärke als auch die Richtung des gemeinsamen Stigmatorfeldes. Durch eine entsprechende mechanische Kopplung der beiden Potentiometer 14 und 17 über ein Sinusgetriebe kann in bekannter Weise eine Entkopplung der Stärke von der Drehung des Stigmatorfeldes erreicht werden.In the case of the in FIG. 2, no decoupling is provided between the strength and the direction of the stigmator field, ie when a system voltage changes and a second system voltage different from zero changes both the strength and the direction of the common stigmator field. By means of a corresponding mechanical coupling of the two potentiometers 14 and 17 via a sine gear, a decoupling of the strength from the rotation of the stigmator field can be achieved in a known manner.
Zur Zentrierung des Stigmators werden zunächst die miteinander gekoppelten Schalter 18, 19, 20, 21 nach oben gelegt. Dadurch wird die Systemspannungszuführung für das Korrektursystem 1, 2, 3, 4 unterbrochen, und die Stigmatorelektroden erhalten über das Potentiometer 28 Erdpotential. Zugleich wird bei dieser Stellung der Schalter 18 bis 21 die Systemgleichspannung für das Korrektursystem 5 bis 8 durch eine Wechselspannung von der Wechselspannungsquelle 11 ersetzt. Dies bringt denselben Effekt mit sich, als ob ständig das Potentiometer 17 hin und her gedreht würde. To center the stigmator, the switches 18, 19, 20, 21 , which are coupled to one another, are first placed upwards. As a result, the system voltage supply for the correction system 1, 2, 3, 4 is interrupted, and the stigmator electrodes receive ground potential via the potentiometer 28. At the same time, in this position of the switches 18 to 21, the system direct voltage for the correction system 5 to 8 is replaced by an alternating voltage from the alternating voltage source 11. This has the same effect as if the potentiometer 17 were constantly turned back and forth.
Bei der Beobachtung des Leuchtschirmbildes erleiden dadurch bei nicht zentriertem Korrektursystem Bildpunkte im betrachteten achsennahen Bereich eine Verschmierung. Durch entsprechende Einstellung der beiden Zentrierpotentiometer 32 und 35 wird diese Verschmierung beseitigt.When observing the luminescent screen image, they do not suffer from this centered correction system image points in the considered near-axis area Smear. By setting the two centering potentiometers accordingly 32 and 35 this smearing is eliminated.
Sodann werden die Schalter 18, 19, 20, 21 narb unten gelegt. Dadurch wird das Korrektursystem 5 bis 8 von der Systemspannung getrennt, und die Elektroden werden geerdet. Das Korrektursystem 1 bis 4 wird zugleich an die Systemwechselspannung gelegt. Durch Verdrehen der beiden Potentiometer 24 und 27 wird nunmehr das Korrektursystem 1 biss 4 so lange zentriert, bis die Bildverschmierung ebenfalls beseitigt ist. Danach werden die Schalter 18 bis 21 wieder in die in F i g. 2 gezeichnete Stellung gebracht, und nunmehr kann durch Verändern der Abgriffe der beiden Potentiometer 14 und 17 das Stigmatorfeld nach Größe und Richtung eingestellt werden, ohne daß sich die Zentrierung ändert, d. h., ohne daß sich das Bild auf dem Leuchtschirm bewegt.The switches 18, 19, 20, 21 are then placed scar down. Through this the correction system 5 to 8 is disconnected from the system voltage, and the electrodes are grounded. The correction system 1 to 4 is connected to the system alternating voltage at the same time placed. By turning the two potentiometers 24 and 27, the correction system is now 1 to 4 centered until the image smear is also eliminated. The switches 18 to 21 are then switched back to the position shown in FIG. 2 position shown brought, and now you can change the taps of the two potentiometers 14 and 17 the stigmator field can be adjusted according to size and direction without the centering changes, d. i.e. without the image appearing on the luminescent screen emotional.
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEZ8750A DE1179313B (en) | 1961-05-16 | 1961-05-16 | Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuit arrangement for operating the device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DEZ8750A DE1179313B (en) | 1961-05-16 | 1961-05-16 | Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuit arrangement for operating the device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1179313B true DE1179313B (en) | 1964-10-08 |
Family
ID=7620612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DEZ8750A Pending DE1179313B (en) | 1961-05-16 | 1961-05-16 | Device for compensating the astigmatism of electron lenses and circuit arrangement for operating the device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE1179313B (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1905937B1 (en) * | 1969-02-06 | 1971-01-14 | Corpuscular Forschungs Stiftun | Stigmator for the electrical compensation of imaging errors in electron-optical systems with hollow beams and annular diaphragms |
| EP0043351A2 (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-06 | Jenoptik Jena G.m.b.H. | Electrostatic blanking system for one particle beam moving in a plane or a plurality of static particle beams arranged in a plane |
| EP0580212A1 (en) * | 1992-07-16 | 1994-01-26 | International Business Machines Corporation | Variable axis stigmator |
-
1961
- 1961-05-16 DE DEZ8750A patent/DE1179313B/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1905937B1 (en) * | 1969-02-06 | 1971-01-14 | Corpuscular Forschungs Stiftun | Stigmator for the electrical compensation of imaging errors in electron-optical systems with hollow beams and annular diaphragms |
| EP0043351A2 (en) * | 1980-07-01 | 1982-01-06 | Jenoptik Jena G.m.b.H. | Electrostatic blanking system for one particle beam moving in a plane or a plurality of static particle beams arranged in a plane |
| EP0043351A3 (en) * | 1980-07-01 | 1982-10-06 | Jenoptik Jena G.m.b.H. | Electrostatic blanking system for one particle beam moving in a plane or a plurality of static particle beams arranged in a plane |
| EP0580212A1 (en) * | 1992-07-16 | 1994-01-26 | International Business Machines Corporation | Variable axis stigmator |
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