DE1143376B

DE1143376B - Process for the production of a microporous structure in thin-walled metal parts provided with stiffening protrusions on one side and application of the process

Info

Publication number: DE1143376B
Application number: DEC16779A
Authority: DE
Inventors: Francis Boulet; Pierre Plurien; Maurice Quenault; Roger Rigot
Original assignee: Commissariat a lEnergie Atomique CEA
Current assignee: Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA
Priority date: 1957-05-04
Filing date: 1958-05-05
Publication date: 1963-02-07
Also published as: LU36045A1

Description

Verfahren zur Herstellung einer mikroporösen Struktur in dünnwandigen, einseitig mit Versteifungsvorsprüngen versehenen Metallteilen und Anwendung des Verfahrens In der Technik benötigt man dünnwandige mikroporöse Blättchen, deren Wandstärke in der Größenordnung von Zehnern von Mikron liegt, z. B. als Filter bei der Gastrennung durch molekulare Gasdiffusion oder als Auffangflächen von Speicherröhren, wobei eine Metallschicht an einer Isolierschicht angrenzt. Process for the production of a microporous structure in thin-walled, Metal parts with stiffening projections on one side and application of the Process In technology, thin-walled microporous leaflets are required Wall thickness is on the order of tens of microns, e.g. B. as a filter the gas separation through molecular gas diffusion or as collecting surfaces of storage tubes, wherein a metal layer is adjacent to an insulating layer.

Mit Rücksicht auf die geringe Wandstärke solcher Blättchen ist eine Verstärkung, z. B. durch ein Metallgitter, erwünscht, das eine Maschengröße von z. B. etwa 100 Mikron und eine Dicke z. B. von einigen Zehnern von Mikron hat. Man hat ein solches Metallgitter schon auf die fertigen Blättchen aufgebracht, dabei hat sich jedoch eine ungenügende Parallelität ergeben, wenn man fiir eine solche eine Genauigkeit in der Größenordnung von I Mikron verlangt. In view of the small wall thickness of such leaflets, there is one Reinforcement, e.g. B. by a metal grid, is desirable, which has a mesh size of z. About 100 microns and a thickness e.g. B. of a few tens of microns. Man has already applied such a metal grid to the finished leaves, at the same time However, there is insufficient parallelism if one for such a requires an accuracy of the order of 1 micron.

Die Erfindung verfolgt das Ziel, eine dünnwandige, wenigstens teilweise in der Richtung ihrer Dicke durchgehend mikroporöse Struktur so herzustellen, daß eine genügende Verstärkung durch metallische Elemente besteht und dennoch die Parallelität der Oberflächen in einer denAnforderungen des betreffenden Verwendungszweckes entsprechenden Weise erfüllt ist. The invention aims to provide a thin-walled, at least partially to produce a microporous structure continuously in the direction of its thickness so that there is sufficient reinforcement by metallic elements and yet the parallelism the surfaces in a way that corresponds to the requirements of the respective purpose Way is fulfilled.

Dieses Ziel wurde gelöst für dünne, von Strukturfehlern freie, aus einem Metall hergestellte Teile, wobei das Metall die Eigenschaft hat, daß durch seine oxydische Behandlung ein Stoff mit mikroporösen Eigenschaften entsteht, der von dem ursprünglich verwendeten Grundstoff verschieden ist, und bei fortschreitender Oxydation sich eine am noch nicht umgewandelten Metall festhaftende Oxydschicht bildet. This goal was solved for thin, free from structural defects parts made of a metal, the metal having the property that by its oxidic treatment creates a substance with microporous properties that is different from the raw material originally used, and as it progresses Oxidation is an oxide layer that adheres to the metal that has not yet been converted forms.

Dabei wird im übrigen von einer Verformungsbehandlung Gebrauch gemacht, mittels deren man dünnen Platten auf einer oder beiden Seiten eine als Verstärkung dienende Gitterstruktur aufgeprägt hat : Man hat nämlich mittels entsprechend geformter Stempel von einer oder beiden Seiten Vertiefungen derart in die ursprünglich ebene Obernäche eingedrückt, daß ein System von Rippen stehenblieb. Use is made of a deformation treatment, by means of which one can use thin plates on one or both sides as reinforcement has impressed a serving lattice structure: namely, by means of appropriately shaped Stamp from one or both sides indentations in this way in the originally plane The upper surface was indented so that a system of ribs remained.

Unter Anwendung einer solchen Arbeitsweise zur Erzeugung von Verstärkungsrippen auf der einen Seite eines parallelflächigen Metallblattes besteht das Verfahren zur Herstellung einer wenigstens teilweise durchgehenden mikroporösen Struktur in dünnwandigen, einseitig mit Versteifungsvorsprüngen einstückig verbundenen Metallteilen, bei welchen das Material der mikroporösen Struktur von dem der Vorsprünge verschieden ist, darin, daß die Metallteile von der nicht verformten Seite aus bis zum Ansatz der Vorsprünge durchoxydiert werden. Das gebildete Oxyd stellt dann die mikroporöse Schicht, die nicht oxydierten Rippen stellen das metallische Verstärkungsnetz dar. Using such a procedure to create reinforcing ribs the method consists on one side of a parallelepiped metal sheet for the production of an at least partially continuous microporous structure in thin-walled metal parts connected in one piece with stiffening projections on one side, in which the material of the microporous structure is different from that of the protrusions is, in that the metal parts from the undeformed side to approach the projections are oxidized through. The oxide formed then represents the microporous one Layer, the non-oxidized ribs represent the metallic reinforcement mesh.

Insbesondere kann die oxydische Behandlung eine anodische Oxydation des Metalls sein. In particular, the oxidic treatment can be anodic oxidation of the metal.

Als metallischer Ausgangswerkstoff kann z. B. As a metallic starting material, for. B.

Aluminium oder eine Legierung oder eine chemische Verbindung dieses Metalls gewählt werden.Aluminum or an alloy or a chemical compound of this Metal can be chosen.

Bei der Anwendung des Verfahrens zur Herstellung von Auffangflächen für Speicherröhren ist bedeutsam, daß durch die oxydische Behandlung Isoliereigenschaften erzielt werden. Man kann nach der anodischen Oxydation z. B. durch Verdampfung im Vakuum wenigstens einen Teil der glatten Oberflache metallisieren ; die mikroporöse Struktur stellt alsdann einen isolierenden Träger für den durch die Metallisierung erzeugten Metallüberzug dar. When using the method for the production of collecting areas for storage tubes it is important that the oxidic treatment has insulating properties be achieved. You can after the anodic oxidation z. B. by evaporation in the Metallize at least part of the smooth surface in a vacuum; the microporous Structure then provides an insulating support for the metallization generated metal coating.

Die Erfindung wird nachstehend unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beispielsweise erläutert. The invention is described below with reference to the drawings for example explained.

Fig. 1 ist ein Querschnitt einer glatten Metallfolie, aus welcher eine mikroporöse Membran hergestellt wird, wobei die Folie zunächst mittels eines ebenfalls im Schnitt dieser gegenüber dargestellten Werkzeugs gepreßt wird ; Fig. 2 ist ein Querschnitt der gleichen Folie nach der Zellenbildung ; Fig. 3 ist ein Querschnitt der Folie der Fig. 2 nach der anodischen Oxydation ; Fig. 4 ist ein Schnitt der Membran der Fig. 3 nach einer Behandlung zur Erzeugung einer bestimmten Porosität ; Fig. 5 ist ein Schnitt der Membran der Fig. 3 nach einer Behandlung zur Metallisierung der glatt gebliebenen Seite der Folie und zur Aufbringung eines nicht oxydierbaren Überzugs auf das Gitter ; Fig. 6 ist eine Draufsicht auf die Zellenseite des Gebildes gemäß Fig. 2,3,4 oder 5. Fig. 1 is a cross section of a smooth metal foil from which a microporous membrane is produced, the film initially by means of a is also pressed in the section of this opposite tool shown; Fig. Figure 2 is a cross section of the same sheet after cell formation; Fig. 3 is a Cross section of the foil of FIG. 2 after the anodic oxidation; Fig. 4 is a Section of the membrane of FIG. 3 after a treatment to produce a certain Porosity; Figure 5 is a section of the membrane of Figure 3 after treatment to metallize the side of the film that has remained smooth and to apply a non-oxidizable coating on the grid; Fig. 6 is a plan view of the Cell side of the structure according to FIGS. 2, 3, 4 or 5.

In Fig. 1 sieht man bei 1 den Schnitt einer äußerst dünnen Metallfolie, mittels welcher ein erfindungsgemäßer dünnwandiger Teil hergestellt werden soll. In Fig. 1 you can see at 1 the section of an extremely thin metal foil, by means of which a thin-walled part according to the invention is to be produced.

Die benutzte Folie kann aus reinem Aluminium mit 99,99% oder einer Legierung auf Aluminiumbasis, z. B. AlMg, sein. Diese Folie kann eine große Oberfläche in der Größenordnung von mehreren Quadratmetern haben.The foil used can be made of pure aluminum with 99.99% or one Aluminum based alloy, e.g. B. AlMg. This film can cover a large surface area on the order of several square meters.

Die Folie 1 wird einer Verformungsbehandlung zur Erzeugung der Vorsprünge unterworfen. Diese Behandlung kann eine Zellenbildung sein, welche auf beliebige mechanische Weise vorgenommen wird, insbesondere durch Pressen auf der Presse oder durch Walzen der Folie zwischen einem vertieft gravierten Zylinder und einem ebenen Zylinder oder auch durch chemischen Angriff unter Schaffung von Schutzreserven. Beispielshalber ist in Fig. l im Schnitt eine Stahlmatrize 2 dargestellt, in welcher z. B. durch Photogravur ein Nutengitter 3 hergestellt ist. Der Druck dieser Matrize auf die Folie 1 hinterläßt auf einer Seite derselben den Abdruck eines Gitters von Rippen 4, welche die in Fig. 2 und 6 sichtbaren Zellen abgrenzen. The film 1 undergoes a deformation treatment to produce the protrusions subject. This treatment can be a cell formation which acts on any mechanical way is done, in particular by pressing on the press or by rolling the foil between a recessed engraved cylinder and a flat one Cylinder or by chemical attack with the creation of protective reserves. By way of example, a steel die 2 is shown in section in FIG z. B. a groove grid 3 is made by photo engraving. The pressure of this die leaves the imprint of a grid of on one side of the film 1 Ribs 4 which delimit the cells visible in FIGS. 2 and 6.

Es ist zu bemerken, daß dieses Gitter sehr fein sein muß und bis zu sechs Maschen auf den linearen Millimeter aufweisen kann. It should be noted that this grid must be very fine and up to can have up to six meshes on the linear millimeter.

Die Dicke der Böden der Zc ! ien . in größenordnungsmäßig 10 bis 30 Mikron betragen, während die Dicke der Rippen von der gleichen Größenordnung sein oder ein Mehrfaches derselben betragen kann. The thickness of the bottoms of the Zc! ien. in the order of 10 to 30 microns, while the thickness of the ribs is of the same order of magnitude can be or a multiple thereof.

Die Folie 1 wird anschließend einer anodischen Oxydation unterworfen. Die benutzten Elektrolytbäder sind z. B. Bäder mit Schwefelsäure, Oxalsäure, Chromsäure, Phosphorsäure oder Elektrolytgemische. The film 1 is then subjected to anodic oxidation. The electrolyte baths used are z. B. Baths with sulfuric acid, oxalic acid, chromic acid, Phosphoric acid or electrolyte mixtures.

Die Oxydation erfolgt stetig von der Oberfläche nach innen zu, jedoch nur von der nach der Zellenbildung glatt gebliebenen Seite aus, während die andere Seite der Folie gegen die Einwirkung des Bades auf geeignete Weise geschützt wird. The oxidation takes place steadily from the surface inwards, however only from the side that remained smooth after cell formation, while the other Side of the film is protected against the action of the bath in a suitable manner.

Wenn die Oxydation den Fuß der Rippen erreicht hat, was durch ein geeignetes optisches Verfahren (Prüfung der Durchsichtigkeit der Folie) oder durch ein elektrisches Verfahren (Messung des Stroms des Bades, welcher nach Maßgabe des Fortschreitens der Oxydation abnimmt) überprüft wird, wird die Behandlung unterbrochen. When the oxidation has reached the base of the ribs, what by a suitable optical method (checking the transparency of the film) or by an electrical method (measurement of the current of the bath, which according to the If the rate of oxidation is reduced), the treatment is interrupted.

Am Ende der Behandlung ist das erhaltene Oxyd durchscheinend und etwas opalisierend. At the end of the treatment, the oxide obtained is translucent and somewhat opalescent.

Fig. 3 zeigt, daß sich nach der Oxydation die gesamte Dicke der Folie 1 in eine Isolierschicht aus Aluminiumoxyd umgewandelt hat, während die von der Oxydation nicht erfaßten Rippen 4 metallisch geblieben sind und das mit der Unterlage 1 ein Stück bildende Gitter bilden. Fig. 3 shows that after the oxidation, the entire thickness of the film 1 converted into an insulating layer of aluminum oxide, while that of the Oxidation not detected ribs 4 have remained metallic and that with the base 1 form one piece of lattice.

Wenn zur Herstellung von Filtern für Gasdiffusion die Oxydschicht vollständig porös sein soll, wenn die Oxydation unterbrochen wird, werden die Art des Bades, seine Konzentration, die Spannung, die Oxydationsdauer und die Temperatur entsprechend dem gewünschten Halbmesser der Poren und der gewünschten Porenzahl je Quadratzentimeter gewählt. So sind z. B. in einem 20°/Oigen S04H2-Bad bei einer Spannung von 12 V und einer Temperatur von 24°C Z Stunden erforderlich, um eine Dicke von 20 Mikron zu oxydieren. Ferner ist ein ständiges kräftiges Umrühren unerläßlich. If for the production of filters for gas diffusion the oxide layer should be completely porous, if the oxidation is interrupted, the species of the bath, its concentration, the tension, the duration of oxidation and the temperature according to the desired radius of the pores and the desired number of pores chosen per square centimeter. So are z. B. in a 20 ° / Oigen S04H2 bath with a Voltage of 12 V and a temperature of 24 ° C Z hours required to produce a Oxide thickness of 20 microns. Constant vigorous stirring is also essential.

Die Abmessungen der Aluminiumoxydmaschen und die tatsächliche Durchsichtigkeit der Membran sind durch die mechanische Festigkeit der Aluminiumoxydniederschläge bedingt.The dimensions of the alumina mesh and the actual transparency of the membrane are due to the mechanical strength of the aluminum oxide precipitates conditional.

Die Oxydation ist jedoch ein ziemlich verwickelter Vorgang, und das Fortschreiten der oxydierten Schicht von außen nach innen ist keine homogene Erscheinung. Die Erfahrung zeigt, daß zwischen dem reinen Metall und der porösen Schicht eine undurchlässige Aluminiumoxydschicht vorhanden ist, deren Dicke um so größer ist, je höher die Spannung ist. Am Ende der Oxydation erreicht diese gasundurchlässige Schicht den Boden der Zellen und verschließt die Poren. Zur Abhilfe dieses Nachteils können mehrere Lösungen ins Auge gefaßt werden : Die Oxydation kann in einem Doppelbehälter vorgenommen werden, wobei die zu oxydierende Probe die Trennwand zwischen diesen beiden Behältern bildet. Unter diesen Bedingungen steht eine Seite mit dem Oxydationsbad in Berührung, während die andere Seite in ein Bad taucht, welches kräftig gekühlt wird, um die Bildung eines sehr wasserfreien Aluminiumoxyds durch örtliche Erwärmung zu verhindern. Es muß gut umgerührt werden. Die oxydierte Platte wird hierauf entwässert, z. B. durch Eintauchen in Azeton. Oxidation, however, is a rather intricate process, and that Progress of the oxidized layer from the outside to the inside is not a homogeneous phenomenon. Experience shows that between the pure metal and the porous layer there is a impermeable aluminum oxide layer is present, the thickness of which is the greater, the higher the tension. At the end of the oxidation it becomes gas-impermeable Layer the bottom of the cells and seal the pores. To remedy this disadvantage Several solutions can be envisaged: Oxidation can be carried out in a double container be made, with the sample to be oxidized forming the partition between them forms both containers. Under these conditions there is one side with the oxidation bath in touch, while the other side is immersed in a bath, which is strongly cooled is to prevent the formation of a very anhydrous aluminum oxide by local heating to prevent. It must be stirred well. The oxidized plate is then drained, z. B. by immersion in acetone.

Man kann auch z. B. durch Verdampfen eine Metallschicht, z. B. aus Aluminium, auf die mit Zellen versehene Platte auf der Seite aufbringen, welche der entgegengesetzt ist, auf welcher die Oxydation beginnt. Wenn die anodische Oxydation die aufgebrachte Aluminiumschicht erreicht, oxydiert sich dieses Aluminium ebenfalls. Der Vorgang wird unterbrochen, wenn die Masche durchscheinend ist. You can also z. B. by evaporation a metal layer, z. B. off Apply aluminum, to the celled plate on the side which which is opposite on which the oxidation begins. When the anodic oxidation reaches the applied aluminum layer, this aluminum is also oxidized. The process is interrupted when the mesh is translucent.

Da der Zusammenhalt zwischen dem mit Zellen versehenen Aluminium und dem aufgedampften Aluminium infolge des Vorhandenseins von natürlichem Oxyd sehr schwach ist, kann diese letztere Schicht durch Eintauchen in eine von Wasser verschiedene Flüssigkeit, z. B. Alkohol, leicht abgetrennt werden. Nach einem Eintauchen von einigen Minuten in Alkohol trennen sich die Folien fast augenblicklich voneinander.Since the cohesion between the celled aluminum and the evaporated aluminum due to the presence of natural oxide is weak, this latter layer can be removed by immersion in a layer other than water Liquid, e.g. B. alcohol, are easily separated. After immersing a few minutes in alcohol, the foils separate almost instantly.

Die undurchlässige Schicht kann auch auf chemische Weise verändert werden. Hierfür kann die Aluminiumoxydplatte in ein geeignetes Bad getaucht werden, z. B. eine wäßrige Lösung von Hypobromit oder alkalischem Hypochlorit oder eine alkoholische Lösung von chlorierten Abkömmlingen von Amiden. Man erhält so eine erhebliche Verbesserung der Freilegung der Poren. The impermeable layer can also be chemically altered will. For this, the aluminum oxide plate can be immersed in a suitable bath, z. B. an aqueous solution of hypobromite or alkaline hypochlorite or a alcoholic solution of chlorinated derivatives of amides. You get one like that considerable improvement in the exposure of the pores.

Ferner wurden Korrosionsversuche mit Uranhexafluorid (UF6) mit der Waage von Mac Bain an Proben mit spezifischen Oberflächen in der Größenordnung von 60 bis 80 m2/g vorgenommen (die spezifische Oberfläche ist das Verhältnis zwischen der Obernäche der Poren und dem Gewicht des die Membran bildenden Stoffs). Es wurde eine nicht umkehrbare Absorption beobachtet, welche der Niederschlagung einer monomolekularen Schicht von UF6 entsprach. Corrosion tests with uranium hexafluoride (UF6) were also carried out with the Mac Bain scales on samples with specific surface areas in the order of magnitude of 60 to 80 m2 / g (the specific surface area is the ratio between the surface of the pores and the weight of the material forming the membrane). Irreversible absorption was observed, which is due to precipitation corresponded to a monomolecular layer of UF6.

Unter Bezugnahme auf Fig. 4, welche das gleiche Gebilde wie Fig. 3 darstellt, aber die Poren 7 zeigt, sind nachstehend zwei nicht beschrånkende Beispiele des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Herstellung von porösen Membranen beschrieben. Referring to Fig. 4, which is the same structure as Fig. 3, but showing the pores 7, are two non-limiting examples below of the method according to the invention for the production of porous membranes described.

Beispiel I Nach Vornahme der Zellenbildung mittels einer der obigen Methoden erhält man eine Membran mit folgenden Abmessungen : Gesamtdicke d............ 28 Mikron Dicke des das Gitter bildenden Abschnitts g 15 bis 20 Mikron Breite des den Stab des Gitters bildenden Abschnitts I.. 60 bis 80 Mikron Breite einer Masche m... etwa 200 Mikron Die Versuchsbedingungen sind folgende : Elektrolysebad SO4H2. 18°/o Dauer..................... etwa 2 Stunden Temperatur................. 19°C Potentialdifferenz........... 15 V Die erhaltene Membran hat folgende Eigenschaften : Mittlerer Halbmesser der Poren 7.... 180 Å Abstand p zwischen den Mittelpunkten derPoren...................385Ä Porenzahl je Quadratzentimeter..... 120-109 Beispiel II Die Versuchsbedingungen sind folgende : Elektrolysebad......... S04H2, 140/o Temperatur....... 19°C Potentialdifferenz.... 8 V Behandlungsdauer..... ungefähr 2 Stunden Die Eigenschaften der Membran sind folgende : Mittlerer Durchmesser der Poren 7... 90 Å Abstandp zwischen den Poren...... 300 Ä Porenzahl je Quadratzentimeter... 200-109 Fig. 5 betrifft den Fall, daß zur Herstellung von Auffangflächen von Speicherröhren die glattgebliebene Seite des Gebildes der Fig. 3 durch ein beliebiges geeignetes Verfahren metallisiert wird, wobei gegebenenfalls das Metallgitter mit einer Zusatzmetallisierung überzogen wird, z. B. mit Hilfe eines Elektrolytbades, um die Rippen gegen eine spätere Oxydation, z. B. infolge einer Berührung mit Luft, zu schützen. Example I After cell formation was performed using any of the above Methods one obtains a membrane with the following dimensions: total thickness d ............ 28 microns thickness of the portion forming the grating g 15 to 20 microns width of the the bar of the lattice forming section I .. 60 to 80 microns wide of a mesh m ... about 200 microns The test conditions are as follows: Electrolytic bath SO4H2. 18 ° / o Duration ..................... approx. 2 hours Temperature ................. 19 ° C Potential difference ........... 15 V The membrane obtained has the following properties : Mean radius of the pores 7 .... 180 Å distance p between the centers derPores ................... 385Ä number of pores per square centimeter ..... 120-109 example II The test conditions are as follows: Electrolysis bath ......... S04H2, 140 / o Temperature ....... 19 ° C potential difference .... 8 V treatment time ..... approx 2 hours The properties of the membrane are as follows: Average diameter of the Pores 7 ... 90 Å Distance p between the pores ...... 300 Ä Number of pores per square centimeter ... 200-109 Fig. 5 relates to the case that for the production of collecting surfaces of storage tubes the smooth side of the structure of Fig. 3 by any suitable Process is metallized, the metal grid optionally with an additional metallization is coated, e.g. B. with help an electrolyte bath to protect the ribs against a later one Oxidation, e.g. B. as a result of contact with air to protect.

Fig. 5 zeigt auch das schließliche Aussehen der Auffangfläche im Schnitt, deren Isolierschicht 1 eine Metallisierung 5 auf der den Rippen 4 abgewandten Seite erhalten hat, während die Rippen einen nicht oxydierbaren Metallüberzug 6, z. B. aus Gold, erhalten haben. Fig. 5 also shows the final appearance of the collecting area in the Section, the insulating layer 1 of which has a metallization 5 on the one facing away from the ribs 4 Side, while the ribs have a non-oxidizable metal coating 6, z. B. made of gold.

Die Erfahrung hat gezeigt, daß das beschriebene Verfahren die Herstellung von Auffangflächen mit Gittern gestattet, bei welchem die Maschengröße nur etwa 100 Mikron und die Dicke der Folie 1 größenordnungsmäßig einige Zehner von Mikron beträgt, wobei die Konstanz des Abstands zwischen dem Gitter 4 und der Oberfläche der Metallisierung 5 auf der ganzen Oberfläche der Auffangfläche bis auf I Mikron genau ist. Experience has shown that the process described produces of collecting areas with grids, in which the mesh size is only about 100 microns and the thickness of the foil 1 on the order of a few tens of microns is, the constancy of the distance between the grid 4 and the surface the metallization 5 on the entire surface of the collecting surface down to 1 micron is accurate.

Außerdem weisen die hergestellten dünnwandigen Teile eine gute mechanische Festigkeit und Korrosionsfestigkeit auf. In addition, the thin-walled parts produced have good mechanical properties Strength and corrosion resistance.

PATENTANS PRUCHB : 1. Verfahren zur Herstellung einer wenigstens teilweise durchgehenden mikroporösen Struktur in dünnwandigen, durch vorhergegangene Verformung einseitig mit Versteifungsvorsprüngen einstückig verbundenen Metallteilen, bei welchen das Material der mikroporösen Struktur von dem der Vorsprünge verschieden ist, dadurch gekennzeichnet, daß die aus einem Metall, bei dessen fortschreitender Oxydation sich eine am noch nicht umgewandelten Metall festhaftende Oxydschicht bildet, bestehenden Teile von der nicht verformten Seite aus bis zum Ansatz der Vorsprünge durchoxydiert werden. PATENTANS PRUCHB: 1. Process for the production of at least one partially continuous microporous structure in thin-walled, through previous ones Deformation on one side with stiffening projections integrally connected metal parts, in which the material of the microporous structure is different from that of the protrusions is, characterized in that made of a metal, with its progressive Oxidation is an oxide layer that adheres to the metal that has not yet been converted forms, existing parts from the non-deformed side to the approach of the Projections are oxidized through.

Claims

2. The method according to claim 1, characterized in that the metal parts be anodically oxidized.

3. Process according to Claims l and 2, characterized in that aluminum is used as the starting material for the parts.

4. Process according to Claims l to 3, characterized in that the undeformed side of the parts is metallized.

5. Application of the method according to claims l to 3 for the production of microporous diffusion membranes.

6. Application of the method according to claims l to 4 for the production the collecting areas for storage tubes.

References considered: U.S. Patent No. 1447 781