DE1089154B - Verfahren und Einrichtung zur Verbesserung der Oberflaechen-haftfaehig- und -festigkeit von Kunststoffen - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur Verbesserung der Oberflaechen-haftfaehig- und -festigkeit von KunststoffenInfo
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Description
Auf der Oberfläche gewisser Kunststoffe, beispielsweise Polyäthylen; haften bekanntlich aufzubringende
Schichten oder Überzüge nicht ohne weiteres und nur schlecht. So lassen sich derartige Kunststoffe z. B.
ohne Vorbehandlung kaum bedrucken od. dgl., da der Farbstoff oder die Farbschicht entweder nicht aufbringbar
ist oder nicht haftenbleibt. Es ist bekannt, die Haftfähigkeit und -festigkeit von Kunststoffen dadurch
wesentlich zu verbessern und das Aufbringen von Schichten od. dgl. zu ermöglichen, indem man den
Kunststoff der Einwirkung eines Hochspannungssprühfeldes aussetzt. Dieses Sprühfeld kann durch
Anlegen einer nieder- oder hochfrequenten Wechselspannung in der Größenordnung von mehreren 10 kV
an die Elektroden eines Platten-Luftkondensators erzeugt werden.
Die Verbesserung der Farbenhaftfestigkeit od. dgl. ist dabei auf die Einwirkung von Ozonionen und wohl
auch von Ionen gewisser Sauerstoff-Stickstoff-Verbindungen,
die sich in der Sprühentladung bilden, zurückzuführen. Die erzielbare-Ionenkonzentraticn bestimmt
die Länge der Behandlungszeit. Je höher also der Ionisierungsgrad in der Sprühstrecke ist, um so
schneller wird der gewünschte Effekt erzielt.
Der Ionisierungsgrad wird bei gegebener Elektrodengeometrie
von der Höhe der Wechselspannung und der Stromstärke in der Sprühentladung bestimmt.
Da man die Spannung nicht beliebig steigern kann und die Stromstärke durch die Kapazität der Anordnung
begrenzt ist, mußte man bei den bisher bekannten Anordnungen mit niederfrequenter Wechselspannung
verhältnismäßig lange Sprühstrecken anwenden, um die notwendige Behandlungszeit zu erzielen, oder mit
erheblichem Aufwand eine hochfrequente Wechselspannung erzeugen. .
Auf diese Weise lassen sich nur solche Kunststoffe mit Erfolg behandeln, welche auf die in normalerXWt
erzeugba,ren Ionen ansprechen. Die Behandlung räumlich ausgedehnter Kunststoffkörper ist nur unter
großen Schwierigkeiten möglich, da die Kondensatorelektroden nicht beliebig geformt werden können.
Zu dieser Beschränkung des Anwendungsgebietes der bekannten Behandlungseinrichtungen treten auch
noch betriebliche Nachteile. Da die Behandlung der Kunststoffe unter Luftzutritt erfolgt, ist der Einfluß
des wechselnden Luftfeuchtigkeitsgehaltes auf den gewünschten Effekt kaum auszuschalten, zumal zur
Vermeidung gesundheitlicher Schädigungen des Bedienungspersonals durch Ozon ein dauernder Luftstrom
durch die Apparatur erforderlich ist. Ferner ist die Konzentation an neutralem Ozon in der Sprühentladung
verhältnismäßig hoch, da die Ionen bei Atmo'Sphärendruck eine große Rekombinationswahrscheinlichkeit
aufweisen. Es läßt sich daher nicht ver-Verfahren und Einrichtung
zur Verbesserung der Oberfläctien-
haftfähig- und -festigkeit von Kunststoffen
Anmelder:
Siemens-Scriuckertwerke
Aktieriges ells chaft,
Berlin und Erlangen,
Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50
Dr. phil. Heinz Fröhlich, Erlangen,
ist als Erfinder genannt worden
ist als Erfinder genannt worden
meiden, daß die Kunststoffoberfläche mit neutralem Ozongas beladen wird, welches für den gewünschten
Behandlungseffekt unwirksam ist und lediglich zu Beeinträchtigungen des Geruches der Kunststoffe führt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein für den großtechnischen Einsatz geeignetes Verfahren zur
Verbesserung der Oberflächenhaftfähigkeit und festigkeit von Kunststoffen für aufzubringende Schichten,
beispielsweise Druckfarben, zu schaffen, das von den vorgenannten Beschränkungen und Nachteilen frei ist.
Das Verfahren nach der Erfindung beruht auf der Erkenntnis, daß die zur Behandlung erforderliche
hohe Ionenkonzentration wesentlich einfacher und wirksamer durch Ausnutzung des Plasmas einer
Niederdruckgasentladung erzielt werden kann. Trotz des geringen Luftdruckes läßt sich in solchen Entladungen
die Ionenkonzentration durch Steigerung der Entladestromdichte auf ein beliebiges Vielfaches
gegenüber der Ionenkonzentraticn steigern, die in Hochspannungssprühentladungen bei Atmosphärendruck
erzielbar ist.
Gemäß der Erfindung wird der Kunststoff in ein Vakuum eingebracht und die Oberfläche der Einwirkung
des Plasmas einer Niederdruckgasentladung ausgesetzt. Im Vakuum kann hierbei ein Druck von
größeno'rdnungsmäßig 1 Torr herrschen.
Eine Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens kann beispielsweise mit einer Niederspannungs-Glimmentladung
von etwa 400 bis 500 V Brennspannung oder auch in einem durch Glühkathoden erzeugten
Plasma mit einer Bogenbrennspannung von etwa 100 V arbeiten. Die hohen Entladungsstromdichten
gestatten eine Herabsetzung der Behandlungszeit auf
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Bruchteile der früher erforderlichen Werte. Als Beispiel sei erwähnt, daß Polyäthylen bei einer Stromdichte
von 2 mA/cm2 eine Behandungszeit von nur 1 Sekunde benötigt. Bei höheren Stromdichte!! ist eine
weitere Reduzierung möglich. Der Energieverbrauch beträgt dabei etwa ein Fünftel des Verbrauches einer
mit Netzfrequens betriebenen Hochspannungssprühanlage gleicher Durchsatzgeschwindigkeit.
Da die Behandlung im Vakuum vor sich geht, entfällt die Beladung der Kunststoffeberfläche mit neutralem
Ozon und damit auch jegliche Geruchsbeeinträchtigung.
Die Erzeugung des Plasmas kann mit Gleich- oder Wechselspannung erfolgen. Als besonders vorteilhaft
hat sich ein hochfrequentes Wechselfeld herausgestellt, dessen Erzeugung wegen der niedrigen erforderlichen
Brennspannungen mit geringem Aufwand verbunden ist. In der Regel wird der Kunststoff in Folien-, Bandoder
Streifenform vorliegen, so daß er durch Vakuumschleusen kontinuierlich durch das Vakuum geführt
werden muß.
Ein derartiger kontinuierlicher Durchlauf von Kunststoffolien beliebiger Stärke und Breite bietet
keine Schwierigkeiten. Beispielsweise kann man eine bereits vorgeschlagene Vakuumschleuse mit je mindestens
einer Vor- und Nachvakuumkammer und mit Durchführungsschlitzen, deren lichte Höhe ■— nach
Einbringen des Kunststoffes-—kleiner als die mittlere
freie Weglänge der Gasmoleküle in den anschließenden Räumen ist, verwenden. Bei solchen. Vakuumschleusen
sind jegliche Dichtungsmittel entbehrlich.
Nach dem Verfahren gemäß der Erfindung lassen sich jedoch auch beliebige geformte Kunststoffkörper
behandeln, da man die räumliche Geometrie der Entladung durch entsprechende Formgebung der Elektroden
nach Wunsch wählen kann.
Claims (4)
1. Verfahren zur Verbesserung der Oberflächenhaftfähigkeit
und -festigkeit von Kunststoffen für aufzubringende Schichten, beispielsweise Druckfarben,
dadurch gekennzeichnet, daß der Kunststoff in ein Vakuum eingebracht und die Oberfläche der
Einwirkung des Plasmas einer Niederdruckgasentladung ausgesetzt wird.
2. Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine
selbständige Glimmentladung.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Bogenentladung.
4. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des Plasmas eine
hochfrequente Wechselspannung dient.
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FR776945A FR1222476A (fr) | 1957-12-21 | 1958-10-17 | Procédé et installation pour l'amélioration de l'adhérence des couleurs d'impression aux matières plastiques |
GB40149/58A GB852982A (en) | 1957-12-21 | 1958-12-12 | Improvements in or relating to printing on plastic materials |
DES61772A DE1105149B (de) | 1957-12-21 | 1959-02-14 | Verfahren und Einrichtung zur Verbesserung der Oberflaechen-haftfestigkeit von Kunststoffen |
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CH51560A CH409366A (de) | 1957-12-21 | 1960-01-18 | Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Kunststoffkörpern zwecks Verbesserung der Oberflächenhaftfestigkeit für aufzubringende Schichten |
GB4935/60A GB913492A (en) | 1957-12-21 | 1960-02-11 | Improvements in or relating to processes for improving the surface adhesion strengthof plastic materials |
US8301A US3057795A (en) | 1957-12-21 | 1960-02-12 | Method and device for improving the coatability of synthetic plastics |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1210166B (de) * | 1961-03-30 | 1966-02-03 | American Can Co | Vorrichtung zur Behandlung der Oberflaeche von Hohlkoerpern aus thermoplastischem Kunststoff durch Corona-Entladung |
DE1226286B (de) * | 1961-04-25 | 1966-10-06 | Du Pont | Vorrichtung zur Behandlung von nichtleitendem Kunststoff mittels einer Hochspannungs-Hochfrequenzentladung zur Verbesserung der Haftfaehig- und -Festigkeit seiner Oberflaeche |
DE1238653B (de) * | 1960-11-05 | 1967-04-13 | American Can Co | Vorrichtung und Verfahren zur Erzielung einer verbesserten Haftfaehigkeit von Hohlkoerpern aus thermoplastischem Werkstoff |
DE1284620B (de) * | 1963-10-04 | 1968-12-05 | Vetaphone Ges F Elektronische | Elektrode fuer die elektrische Behandlung der Oberflaechen von Isolierstoffkoerpern, insbesondere von Hohlkoerpern aus Kunststoffen |
DE2816856A1 (de) * | 1977-04-18 | 1978-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Verfahren zur behandlung von polymeroberflaechen |
US4511419A (en) * | 1982-04-23 | 1985-04-16 | Firma Erwin Kampf Gmbh & Co. | Method and device for laminating foils |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3142630A (en) * | 1960-07-27 | 1964-07-28 | Du Pont | Surface and interior modification of thermoplastic resinous bodies |
GB944730A (en) * | 1961-05-26 | 1963-12-18 | Monsanto Chemicals | Improvements in or relating to containers for hot-filled edible substances |
US3309302A (en) * | 1963-10-07 | 1967-03-14 | Varian Associates | Method of preparing an electron tube including sputtering a suboxide of titanium on dielectric components thereof |
US3255099A (en) * | 1963-10-21 | 1966-06-07 | Du Pont | Surface treatment of polymeric shaped structures |
US3876373A (en) * | 1968-03-18 | 1975-04-08 | Nicholas D Glyptis | Method and apparatus for modifying the reproductive mechanism of organisms |
JPS5598232A (en) * | 1979-01-22 | 1980-07-26 | Agency Of Ind Science & Technol | Internal treatment of plastic tube member |
DE3481041D1 (de) * | 1983-05-31 | 1990-02-22 | Idemitsu Petrochemical Co | Verfahren zum behandeln thermoplastischen kunststoffes. |
JPS6091983A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-23 | Susumu Kogyo Kk | タンパク質固定用膜担体およびその製造方法 |
DE3481179D1 (de) * | 1984-02-23 | 1990-03-08 | Toyota Motor Co Ltd | Vorrichtung und verfahren zur plasmabehandlung von kunstharz. |
WO1991017561A1 (en) * | 1990-05-10 | 1991-11-14 | Eastman Kodak Company | Apparatus for-plasma treatment of continuous material |
US5290489A (en) * | 1992-06-25 | 1994-03-01 | R. Lee Williams | Apparatus and method for treating the interior surfaces of hollow plastic objects for improving adhesive properties |
US5607542A (en) * | 1994-11-01 | 1997-03-04 | Applied Materials Inc. | Inductively enhanced reactive ion etching |
US5766362A (en) * | 1996-09-30 | 1998-06-16 | Becton Dickinson And Company | Apparatus for depositing barrier film on three-dimensional articles |
DE19738721A1 (de) * | 1997-09-04 | 1999-03-11 | Buck Chem Tech Werke | Vorrichtung zum Plasmabehandeln von Kunststoff und dazu verwendbares Verfahren |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1888419A (en) * | 1923-08-14 | 1932-11-22 | Chester D Ainsworth | Process for treating cellulosic material |
US2584660A (en) * | 1949-09-24 | 1952-02-05 | Eastman Kodak Co | Vacuum coating process and apparatus therefor |
US2881470A (en) * | 1954-12-13 | 1959-04-14 | Olin Mathieson | Apparatus for treating plastic material with electric glow discharge |
US2864756A (en) * | 1955-06-08 | 1958-12-16 | Modern Plastic Machinery Corp | Method and apparatus for the treatment of plastic materials |
NL217069A (de) * | 1956-06-26 | 1900-01-01 |
-
0
- NL NL245939D patent/NL245939A/xx unknown
-
1957
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-
1958
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-
1959
- 1959-02-14 DE DES61772A patent/DE1105149B/de active Pending
-
1960
- 1960-01-18 CH CH51560A patent/CH409366A/de unknown
- 1960-02-11 GB GB4935/60A patent/GB913492A/en not_active Expired
- 1960-02-12 US US8301A patent/US3057795A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1238653B (de) * | 1960-11-05 | 1967-04-13 | American Can Co | Vorrichtung und Verfahren zur Erzielung einer verbesserten Haftfaehigkeit von Hohlkoerpern aus thermoplastischem Werkstoff |
DE1210166B (de) * | 1961-03-30 | 1966-02-03 | American Can Co | Vorrichtung zur Behandlung der Oberflaeche von Hohlkoerpern aus thermoplastischem Kunststoff durch Corona-Entladung |
DE1226286B (de) * | 1961-04-25 | 1966-10-06 | Du Pont | Vorrichtung zur Behandlung von nichtleitendem Kunststoff mittels einer Hochspannungs-Hochfrequenzentladung zur Verbesserung der Haftfaehig- und -Festigkeit seiner Oberflaeche |
DE1284620B (de) * | 1963-10-04 | 1968-12-05 | Vetaphone Ges F Elektronische | Elektrode fuer die elektrische Behandlung der Oberflaechen von Isolierstoffkoerpern, insbesondere von Hohlkoerpern aus Kunststoffen |
DE2816856A1 (de) * | 1977-04-18 | 1978-10-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Verfahren zur behandlung von polymeroberflaechen |
US4511419A (en) * | 1982-04-23 | 1985-04-16 | Firma Erwin Kampf Gmbh & Co. | Method and device for laminating foils |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB852982A (en) | 1960-11-02 |
US3057795A (en) | 1962-10-09 |
DE1105149B (de) | 1961-04-20 |
CH409366A (de) | 1966-03-15 |
FR1222476A (fr) | 1960-06-10 |
NL245939A (de) | |
GB913492A (en) | 1962-12-19 |
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