DE1087749B - Steam catcher for vacuum pumps - Google Patents
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
- F04F9/00—Diffusion pumps
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Description
Dampffänger für Vakuumpumpen Dampffänger, auch »Baffle« genannt, dienen vor allem dazu, um Dämpfe an der Diffusion in einen evakuierten Raum zu verhindern, und ,sie durch Unterkühlung zu kondensieren und festzuhalten, so daß sie nicht mehr in den evakuierten Raum eindringen können.Steam traps for vacuum pumps Steam traps, also called "baffles", are used especially to prevent vapors from diffusing into an evacuated room, and to condense them by hypothermia and hold them so that they are no longer can penetrate into the evacuated room.
Vor allen Dingen werden solche Dampffänger benutzt bei ölbetriebenen Dampfstrahl- oder Diffusionspumpen, bei denen selbst unter sorgfältigster Berücksichtigung entsprechender Maßnahmen aber ohne einen solchen Dampffänger gewisse Dampfmengen in den zu evakuierenden Raum eindringen. Dampffänger werden aber auch bei Rotationspumpen mit Erfolg benutzt, denn bei diesen Pumpen werden die Öle meist nur nach ihren Schmiereigenschaften ausgewählt und nicht danach, ob sie auch einen geringen Dampfdruck haben. Weiterhin können Dampffänger benutzt werden, um das Eindringen von schädlichen Dämpfen in vorgeschaltete Pumpen zu verhindern. So wird ein solcher Dampffänger mit Erfolg dazu benutzt, um Quecksilberdämpfe aus einer Quecksilberhochvakuumpumpe nicht in die ölbetriebenen Rotat.ionsvorpumpen eindringen zu lassen. Die Dampffänger werden üblicherweise so ausgestaltet, daß sie geradlinig fliegende Dampfmoleküle nicht hindurchlassen, also für einen Betrachter »undurchsichtig« erscheinen.Above all, such steam traps are used in oil-powered vehicles Steam jet or diffusion pumps, with which even the most careful consideration appropriate measures but without such a steam trap certain amounts of steam penetrate the room to be evacuated. But steam traps are also used in rotary pumps used with success, because with these pumps the oils are mostly only used according to their lubricating properties selected and not based on whether they also have a low vapor pressure. Farther Steam traps can be used to prevent harmful vapors from entering to prevent upstream pumps. This is how such a steam trap becomes a success used to avoid mercury vapors from a high vacuum pump to allow the oil-powered rotary forepumps to penetrate. The steam catchers will usually designed so that they do not fly straight steam molecules let through, ie appear "opaque" to a viewer.
Dampffänger sind in der Hochvakuumtechnik seit langem bekannt. Bei dem Streben nach immer besserem Vakuum wurden sie in letzter Zeit nicht mehr nur hei Zimmertemperatur oder der Temperatur des zur Kühlung benutzten Leitungswassers betrieben, sondern mittels Kältemaschinen auf ziemlich niedrige Temperaturen, z. B. auf -70° C, gekühlt. Für gewisse Zwecke ist eine solche Tiefkühlung, die mittels einer Kältemaschine erreicht werden kann, sogar erforderlich. Die verwendetenKältemaschinen sind dabei meist so gebaut, daß ein gasförmiges Kältemittel in einem Kompressor auf höheren Druck gebracht oder in die flüssige Phase übergeführt wird, danach durch einen Kühler oder »Kondensator« auf Zimmertemperatur oder die Temperatur des Leitungswassers gekühlt und dann nach dem Entspannen einem- Apparateteil zugeführt wird, der zur Kühlung dient und kurz »Verdampfer« ;genannt wird.Steam traps have long been known in high vacuum technology. at in the pursuit of a better and better vacuum, they have not just been lately at room temperature or the temperature of the tap water used for cooling operated, but by means of refrigerators to fairly low temperatures, z. B. to -70 ° C, cooled. For certain purposes, such deep freezing is by means of a refrigeration machine can be achieved, even required. The refrigerating machines used are mostly built in such a way that a gaseous refrigerant is in a compressor is brought to a higher pressure or converted into the liquid phase, then through a cooler or "condenser" to room temperature or the temperature of the tap water cooled and then fed to an apparatus part after the relaxation, which for Is used for cooling and is called "evaporator" for short.
Bisher wurden solche Einrichtungen in Verbindung mit einem Dampffänger in der Weise benutzt, daß das vom Kompressor auf höheren Druck .gebrachte Kältemittel in einem besonderen Luft- oder wassergekühlten Kühler- abgekühlt wird und danach zum Kühlen der im Vakuum befindlichen Auffängerflächen dient, die mit dem Verdampfer in enger, thermischer Berührung stehen. In vielen Fällen war eine solche Einrichtung ausreichend. In anderen Fällen machte sich aber der Nachteil bemerkbar, daß der unmittelbar z. B. auf eine geheizte Pumpe aufgesetzte und durch die Kühlmaschine gekühlte Dampffänger deshalb eine schlechte Wirkung hatte, weil die Heizurig der Pumpe zumindestens durch Wärmestrahlung auf den Dampffänger einwirkt. Dadurch wurden die der Strahlung ausgesetzten Teile auf etwas höhere als die gewünschte Temperatur aufgeheizt. Die Wirkung des Baffles war dementsprechend nicht ausreichend. Bei der Kondensation der vorhandenen Dämpfe trat weiterhin in Erscheinung, daß die tiefgekühlten Flächen durch leichtflüchtige Bestandteile bedeckt wurden und dickere Schichten dieser Stoffe eine Kondensation von Dämpfen von außerdem vorhandenen weniger leichtflüchtigen Stoffe verhinderten. So bedeckten sich beispielsweise die Auffängerflächen sehr schnell mit dickeren Schichten von Wasser oder organischen Ölen und boten dann noch vorhandenen Quecksilberdämpfen keine Möglichkeit mehr zu kondensieren. Die Dämpfe solcher schwerer flüchtiger Stoffe mit geringerem Dampfdruck wurden durch die bisher bekannten Dampffänger oft ungenügend beseitigt.So far, such devices have been used in conjunction with a steam trap Used in such a way that the refrigerant. brought by the compressor to a higher pressure is cooled in a special air or water-cooled cooler and afterwards serves to cool the collecting surfaces in the vacuum that are connected to the evaporator stand in close thermal contact. In many cases there was such a facility sufficient. In other cases, however, the disadvantage was that the immediately z. B. placed on a heated pump and through the cooling machine refrigerated steamer had a bad effect because the Heizurig of the The pump acts on the steam trap at least through thermal radiation. This were the parts exposed to radiation to slightly higher than the desired temperature heated up. The effect of the baffle was accordingly not sufficient. In the Condensation of the existing vapors continued to appear that the deep-frozen Surfaces were covered by volatile components and thicker layers of these substances a condensation of vapors from also existing less volatile ones Prevented substances. For example, the catcher areas were very much covered quickly with thick layers of water or organic oils and then still offered existing mercury vapors are no longer able to condense. The fumes such less volatile substances with lower vapor pressure were by the hitherto known steam trap often insufficiently eliminated.
Hier wird nun ein überraschend einfacher Weg zur Abhilfe für solche tiefgekühlten Dampffänger vorgeschlagen, bei denen die Kompressionswärme des Kühlmittels mit Hilfe eines flüss.igkeitdurchströmten Kühlers abgeführt wird.Here's a surprisingly simple way to remedy this for such proposed frozen vapor trap, in which the heat of compression of the refrigerant is discharged with the help of a liquid-flowing cooler.
Er besteht darin, daß bei einem Dampffänger für Vakuumpumpen, bei dem der Verdampfer eines Kühlaggregates benutzt wird, um die im Dampffänger angeordneten Auffängerflächen auf niedriger Temperatur zu halten, und die Kompressionswärme des Kühlaggregates in einem Kühler mit Hilfe einer kalten Flüssigkeit, vorzugsweise. Wasser, abgeführt wird, außer den tiefgekühlten Auffängerflächen auch der von der kalten Flüssigkeit durchströmte Kühler in den Dampffänger eingebaut ist. Zweckmäßig wird dieser Kühler zwischen die Dampfquelle, also beispielsweise die Vakuumpumpe und den tiefgekühlten Auffängerflächen angeordnet, und so ausgestaltet, daß vor allem die zur Dampfquelle hin gerichteten Wandflächen der Kühlerteile mit der kalten Flüssigkeit in Berührung stehen. Der Kühler kann außerdem durch Auffangflächen. zu einer zweiten Baffle ausgebildet werden, das sich auf nicht ganz so tiefer Temperatur befindet, wie das Tieftemperaturbaffle.It consists in the fact that in a steam trap for vacuum pumps which the evaporator of a refrigeration unit is used to remove the ones in the steam trap Keeping catcher surfaces at a low temperature, and the heat of compression of the Cooling unit in a cooler with the help of a cold liquid, preferably. Water, is discharged, in addition to the frozen collecting surfaces also the from the cooler through which the cold liquid flows is built into the vapor trap. Appropriate this cooler is placed between the steam source, for example the vacuum pump and the frozen catcher surfaces arranged and configured so that before especially the wall surfaces of the cooler parts with the cold one facing the steam source Be in contact with liquid. The cooler can also pass through collecting surfaces. to be formed into a second baffle, which is at a not quite as low temperature is located, like the low-temperature baffle.
An Hand der Zeichnungen wird ein Ausführungsbeispiel einer solchen Einrichtung beschrieben.With reference to the drawings, an embodiment of such Facility described.
Dabei zeigt Fig. 1 die bisher bekannte Schaltung eines Baffles mit einer Kühlmaschine in schematischer Darstellung, Fig. 2 den Längsschnitt durch eine Diffusionspumpe mit aufgesetztem Baffle nach der Erfindung, Fit-. 3 zwei Querschnitte und den Kühlmittelkreislauf durch ein solches Baffle, und Fig. 4 eine weitere Ausgestaltung der vorliegenden Erfindung.1 shows the previously known circuit of a baffle a cooling machine in a schematic representation, FIG. 2 the longitudinal section through a Diffusion pump with attached baffle according to the invention, Fit-. 3 two cross sections and the coolant circuit through such a baffle, and FIG. 4 shows a further embodiment of the present invention.
In Fig. 1 ist als Dampfquelle eine Hochvakuum-Diffusionspumpe 1, deren Treibmitteldämpfe zurückgehalten werden sollen, gezeichnet. Auf ihren oberen Verbindungsflansch ist das Baffle 2 aufgesetzt, dem durch die Leitung 3 das tiefgekühlte Kühlmittel zugeführt wird, während es durch die Leitung 4 von dem Kompressors abgesaugt wird. Dieser Kompressor 5 bringt das Kühlmittel auf höheren Druck, wonach es durch die Leitung 6 in den Kondensator oder Kühler 7 gefördert wird. Dieser Kühler wird vielfach als Luftkühler ausgebaut; in der Zeichnung ist er jedoch als Wasserkühler dargestellt. Das Kühlwasser wird durch die Leitung 8 zu- und durch die Leitung 9 abgeführt. Bei dieser Schaltung ist das Baffle 2 unmittelbar der Strahlung der geheizten Pumpenteile der Diffusionspumpe 1 ausgesetzt.In Fig. 1 is a high vacuum diffusion pump 1 as a vapor source, the Propellant vapors are to be retained, drawn. On their upper connecting flange the baffle 2 is attached, to which the frozen coolant is fed through the line 3 is supplied while it is sucked through the line 4 from the compressor. This compressor 5 brings the refrigerant to a higher pressure, after which it is through the Line 6 is conveyed into the condenser or cooler 7. This cooler will be multiple expanded as an air cooler; however, in the drawing it is shown as a water cooler. The cooling water is supplied through line 8 and discharged through line 9. at In this circuit, the baffle 2 is directly exposed to the radiation from the heated pump parts the diffusion pump 1 exposed.
In Fig.2 ist nun eine Einrichtung nach der vorliegenden Erfindung gezeigt. Der Bafflekörper 10 ist auf die Vakuumpumpe 1, ebenfalls eine Diffusionspumpe, unmittelbar aufgesetzt. Das Baffle besteht aus dem üblichen Hochvakuumbaffle 11, das hier als Fächerbaffle gezeichnet ist, mit den Kühlerleitungen 12, die von dem Kühlmittel durchströmt werden. Dieses Kühlmittel wird nun durch die Leitung 13 in den Kompressor 14 abgesaugt, dort auf höheren Druck gebracht und durch die Leitung 15 in den Kondensator oder Kühler 16 gefördert. Dieser Kondensator 16 besteht aus doppelwandigen Rohren 17, deren inneres Rohr 18 von dem Kühlmittel, während der Mantelraum zwischen dem inneren und dem äußeren Rohr vom Kühlwasser durchströmt wird, das durch den Rohrstutzen 19 abläuft und durch den in Fig. 2 nicht sichtbaren Rohrstutzen 20 zugeführt wird. Die doppelwandigen Rohre 17 können auch mit Kühlflächen 21 versehen sein, die in. bekannter Weise so angeordnet sind, daß sie »undurchsichtig« sind.In Figure 2, a device according to the present invention is now shown. The baffle body 10 is placed directly on the vacuum pump 1, also a diffusion pump. The baffle consists of the usual high vacuum baffle 11, which is shown here as a fan baffle, with the cooler lines 12 through which the coolant flows. This coolant is then sucked off through the line 13 into the compressor 14, brought there to a higher pressure and conveyed through the line 15 into the condenser or cooler 16. This condenser 16 consists of double-walled tubes 17, the inner tube 18 of which is supplied by the coolant, while the jacket space between the inner and the outer tube is traversed by the cooling water which runs through the pipe socket 19 and is supplied through the pipe socket 20, which is not visible in FIG will. The double-walled tubes 17 can also be provided with cooling surfaces 21 which are arranged in a known manner in such a way that they are "opaque".
Die Fig. 3 zeigt zwei Schnitte durch ein erfindungsgemäßes Baffle nach Fig. 2. Im oberen Teil der Figur ist der Schnitt I-I in Höhe des tiefgekühlten Baffles 11 dargestellt, während im unteren Teil der Schnitt II-II in Höhe des Kühlers oder Kondensators 16 dargestellt ist. In beiden Figuren sind die eigentlichen Kühlflächen fortgelassen worden; um den Kreislauf des Kühlmittels und die prinzipielle Anordnung zu zeigen. Die Rohre 12 laufen sternförmig, da die Kühlflächen des Fächerbaffles in Fig. 2 in dieser Weise angeordnet sind; sie werden von dem entspannten und: dadurch tiefgekühlten Kühlmittel durchströmt, das durch das Rohr 13 von dem Kompressor 14 abgesaugt wird. Es gelangt dann durch das Rohr 15 in das Innere der Rohre 17, und zwar im Gegenstrom zu dem Kühlwasser, das im äußeren Rohr fließt und durch den Rohrstutzen 20 zugeführt und den Rohrstutzen 19 abgeführt wird. Vom Ende des Kühlers 16 gelangt das gekühlte und noch komprimierte Kühlmittel durch die schematisch gezeichnete Verbindungsleitung 22 zu dem Anfang 23 der Rohre 12 des Tieftemperaturbaffles.3 shows two sections through a baffle according to the invention according to Fig. 2. In the upper part of the figure, the section I-I is at the level of the deep-frozen Baffles 11 shown, while in the lower part of section II-II at the level of the cooler or capacitor 16 is shown. In both figures are the actual cooling surfaces been omitted; around the circuit of the coolant and the basic arrangement to show. The tubes 12 run in a star shape, as the cooling surfaces of the fan baffle in Fig. 2 are arranged in this way; they are relaxed from the and: thereby deep-frozen coolant flows through the pipe 13 from the compressor 14 is sucked off. It then passes through the tube 15 into the interior of the tubes 17, and although in countercurrent to the cooling water that flows in the outer pipe and through the pipe socket 20 is supplied and the pipe socket 19 is discharged. Got from the end of the cooler 16 the cooled and still compressed coolant by the schematically drawn Connection line 22 to the beginning 23 of the tubes 12 of the low-temperature baffle.
Der Vorteil einer solchen Einrichtung ist, daß die strahlende Wärme, die von den geheizten Teilen der Diffusionspumpe 1 ausgeht, durch die Kühlflächen 21 und die Rohre 17 aufgefangen und durch das Kühlwasser abgeführt wird. Hier kondensieren aber auch alle leichtkondensierbarenBestandteile des rückdiffundierenden Dampfes, so daß in den Zwischenraum zwischen dem unteren Baffle 16 und dem oberen Baffle 11 nur noch hochsiedende Bestandteile gelangen, die dadurch sehr viel ungestörter kondensieren können. Diese Anordnung hat durch ihre Doppelstufigkeit eine besonders gute Wirkung Das Tieftemperaturbaffle 11 wird nicht oder nur wenig durch leichtflüchtige Stoffe verunreinigt, die sich auf dem unteren Baffle 16 niederschlagen und also nicht mehr die Kondensation höhersiedender Stoffe auf dem Tieftemperaturbaffle 11 verhindern können.The advantage of such a facility is that the radiant heat, which emanates from the heated parts of the diffusion pump 1, through the cooling surfaces 21 and the pipes 17 are collected and discharged through the cooling water. Condense here but also all easily condensable components of the back-diffusing vapor, so that in the space between the lower baffle 16 and the upper baffle 11 only high-boiling components get there, which is much more undisturbed can condense. This arrangement has a special one due to its two-tier structure good effect The low temperature baffle 11 is not or only slightly by volatile Contaminated substances that are deposited on the lower baffle 16 and so No longer condensation of higher boiling substances on the low temperature baffle 11 can prevent.
Als Kompressor 14 für das Kühlmittel wird die übliche vollständig hermetisch abgeschlossene Bauart benutzt.As a compressor 14 for the coolant, the usual one is complete Hermetically sealed design used.
Im weiteren Ausbau der vorliegenden Erfindung wird vorgeschlagen, diesen Kompressor unmittelbar in das Baffle selbst einzubauen. Eine solche Bauweise wird in Fig. 4 gezeigt, deren Bezeichnungen mit denen der anderen, Figuren übereinstimmen. Diese Bauweise hat den großen Vorteil, daß das Baffle als volle Einheit zusammen mit der Kühlmaschine ein- und ausgebaut werden kann und nur noch an die Wasser- und Stromzuführungen angeschlossen werden muß.In the further development of the present invention, it is proposed that to build this compressor directly into the baffle itself. Such a construction is shown in Fig. 4, the designations of which correspond to those of the other figures. This type of construction has the great advantage that the baffle comes together as a full unit can be installed and removed with the cooling machine and only connected to the water and power supplies must be connected.
Die Handhabung ist einfach, und die Wirkung des Baffles wird dadurch nicht beeinträchtigt. Diese letztere sehr vorteilhafte Bauart ist besonders günstig dann, wenn.das@Baffle in Leitungen mit großemDurchgangsquerschnitt eingebaut wird, bei -denen der kleine Querschnitt, den, der Kompressor 14 einnimmt, keine Rolle mehr spielt. Diese erfindungsgemäße Bauart hat auch den Vorteil, daß der Kreislauf für das tiefgekühlte Kühlmittel völlig innerhalb des evakuierten Innenraumes des. Baffles verläuft, seine Rohrleitungen nicht mehr durch die auf Zimmertemperatur befindliche und gut wärmeleitende Wandung hindurchgeführt wird. Dadurch werden einerseits beträchtliche Energieverluste vermieden und die Durchführungsstellen, mit ihren starken Temperaturbeanspruchungen vermieden.The handling is easy, and the effect of the baffle is enhanced by it not affected. This latter very advantageous design is particularly favorable when the baffle is installed in pipes with a large passage cross-section, in the case of which the small cross section that the compressor 14 occupies is irrelevant more plays. This type of construction according to the invention also has the advantage that the circuit for the frozen coolant completely within the evacuated interior of the. Baffles runs, its plumbing no longer through to room temperature located and highly thermally conductive wall is passed through. This will on the one hand considerable energy losses avoided and the implementation bodies, with their strong temperature stresses avoided.
Vor allem beansprucht diese letztere Ausführung aber keinen Raum außerhalb der vorhandenen Va kuumleitungen, denn die bisher separat aufgestellte Kältemaschine und der Kondensator befinden sich erfindungsgemäß innerhalb des Baffles. Da insbesondere bei Vakuumanlagen häufig sehr wenig Raum zur Verfügung steht, bedeutet die vorgeschlagene Anordnung einen wesentlichen Fortschritt. Da die .ganzen notwendigen Teile der Einrichtung auf kleinstem Raum zu einer Einheit vereinigt sind, wird außer dem erforderlichen Raum auch derArbeitsaufwand bei der Montage wesentlich verringert.Above all, this latter version does not take up any space outside the existing vacuum lines, because the refrigeration machine that was previously installed separately and the capacitor are, according to the invention, within the baffle. Since in particular The proposed one means that there is often very little space available in vacuum systems Arrangement a significant step forward. Because all the necessary parts of the facility are united into a unit in the smallest of spaces, besides what is required Space also significantly reduces the amount of work involved in assembly.
Der häufigste Anwendungsfall eines Baffles ist der Schutz eines evakuierten Rezipienten vor eindringenden Treibmitteldämpfen der verwendeten Hochiakuum -Diffus.ionspumpen. Hier liegt nicht der in der Kältetechnik üblicheFall vor, daß einRaum und das in ihm befindliche Gut auf einer bestimmten Temperatur gehalten werden soll und eine bestimmte, von der Wärmeisolation abhängige Kälteleistung zur Verfügung stehen muß.The most common use of a baffle is to protect an evacuated person The high vacuum is used to protect the recipient from penetrating propellant vapors -Diffusion pumps. This is not the usual case in refrigeration technology that a room and that in Good located to him should be kept at a certain temperature and a Certain cooling capacity dependent on the thermal insulation must be available.
Hier kommt es vielmehr nur auf die Endtemperatur der Auffängerflächen, also auf die des Verdampfers an. Da mit abnehmender Verdampfertemperatur die Kälteleistung stark zurückgeht, ist es sehr wichtig, dem Verdampfer möglichst wenig Wärme zuzuführen.Rather, it only depends on the final temperature of the collector surfaces, so on that of the vaporizer. As the cooling capacity decreases with decreasing evaporator temperature decreases sharply, it is very important to add as little heat as possible to the evaporator.
So bewirkt der Schutz des tiefgekühlten Baffles 11 vor der Wärmestrahlung, die von der Pumpe 1 ausgeht und von dem wassergekühlten Kondensator und gleichzeitigen Ölfänger 16 abgeführt wird, eine fühlbare Erniedrigung -der Endtemperatur. In demselben Sinn wirkt die an sich bekannte Verwendung eines wassergekühlten Kondensators an Stelle des ebenfalls bekannten, aber häufiger benutzten luftgekühlten Kondensatoms. Alle vorgeschlagenen Maßnahmen haben nur und erreichen auch in überraschender Weise .das Ziel, die Endtemperatur des Tieftemperaturbaffles zu erniedrigen und dadurch eine nach größere Dampffreiheit des Vakuums zu erreichen.The protection of the frozen baffle 11 from heat radiation which emanates from the pump 1 and from the water-cooled condenser and simultaneous Oil trap 16 is discharged, a noticeable decrease in the final temperature. In the same The use of a water-cooled condenser, which is known per se, makes sense Place of the air-cooled condensate, which is also known but is more frequently used. All of the proposed measures only have and also achieve in surprising ways .the goal of lowering the final temperature of the low temperature baffle and thereby to achieve greater freedom from vapor in the vacuum.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEH36914A DE1087749B (en) | 1959-07-14 | 1959-07-14 | Steam catcher for vacuum pumps |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DEH36914A DE1087749B (en) | 1959-07-14 | 1959-07-14 | Steam catcher for vacuum pumps |
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DE1087749B true DE1087749B (en) | 1960-08-25 |
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ID=7153151
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DEH36914A Pending DE1087749B (en) | 1959-07-14 | 1959-07-14 | Steam catcher for vacuum pumps |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE1087749B (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1256832B (en) * | 1963-04-26 | 1967-12-21 | Max Planck Gesellschaft | Device for temperature control of a deep-freeze baffle for high vacuum systems |
DE1263975B (en) * | 1961-12-29 | 1968-03-21 | Alsacienne D Electronicque Et | Propellant catcher for a diffusion pump |
DE1273740B (en) * | 1961-05-10 | 1968-07-25 | Jewgenij Andrejewitsch Kolenko | Steam trap for diffusion pumps |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1019047B (en) * | 1954-08-13 | 1957-11-07 | Dr Hans Klumb | Cold trap for high vacuum pumps |
-
1959
- 1959-07-14 DE DEH36914A patent/DE1087749B/en active Pending
Patent Citations (1)
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