DE1076880B

DE1076880B - Safety device for electrically operated high vacuum pump systems, especially for electron microscopes

Info

Publication number: DE1076880B
Application number: DES59574A
Authority: DE
Inventors: Alexander Asmus; Arthur Mohr
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1958-08-27
Filing date: 1958-08-27
Publication date: 1960-03-03

Description

Sicherungseinrichtung für elektrisch betriebene Hochvakuumpumpenanlagen, insbesondere für Elektronenmikroskope Bei einem Ausfall der Stromversorgung in einer 1-lochvakuumpumpenanlage, wie sie z.B. bei einem Elektronenmikroskop verwendet wird, drückt infolge der dann stillstehenden, aber von der Pumpenanlage nicht abgeschalteten und nicht belüfteten Vorvakuumpumpe atmosphärische Luft über das fast immer ungenügend dichtende Rückschlagventil der Vorvakuumpumpe das 01 aus derselben heraus und in die Saugleitungen und Ventilgehäuse der übrigen Vakuumanlage. Die dann nachströmende Luft gelangt in den Verdampfertopf der Öldiffusionspumpe, wodurch das noch siedende Treiböl derselben verkokt, so daß die Pumpleistung stark vermindert oder gar zum Erliegen gebracht wird. Die Folge ist ein Betriebsausfall der gesamten Anlage, der nur durch ein zeitraubendes Reinigungsverfahren zu beheben ist.Safety device for electrically operated high vacuum pump systems, especially for electron microscopes In the event of a power failure in a 1-hole vacuum pump system, such as that used in an electron microscope, atmospheric air presses through the almost Always insufficiently sealing non-return valve of the backing pump the 01 out of the same and into the suction lines and valve housing of the rest of the vacuum system. The air that then flows in gets into the evaporator pot of the oil diffusion pump, causing the fuel oil, which is still boiling, to coke, so that the pumping capacity is greatly reduced or even brought to a standstill. The result is an operational failure of the entire system, which can only be remedied by a time-consuming cleaning process.

Um hier und in anderen Fällen, in denen der Ausfall der Stromversorgung für Geräte nachteilige Folgen mit sich bringt, Abhilfe zu schaffen, ist eine Sicherungseinrichtung unter Verwendung eines Elektromagneten vorgesehen, welche gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet ist, daß die Sicherungseinrichtung aus einem dem zur betriebsentsprechenden Ventilbetätigung dienenden Steuerglied zugeordneten, mittels einer Handhabe einstellbaren Hilfssteuerglied, einem Elektromagneten und einem von diesem beeinflußbaren Kupplungsglied besteht, welches bei Ausfall der Stromversorgung die kraftschlüssige Verbindung zwischen dem Steuerglied und dem Hilfssteuerglied infolge Aberregung des Elektromagneten aufhebt.To here and in other cases where the failure of the power supply Has negative consequences for devices, to remedy the situation is a safety device using an electromagnet provided, which according to the invention thereby is characterized in that the safety device from one of the operationally appropriate Valve actuation serving control member associated, adjustable by means of a handle Auxiliary control member, an electromagnet and a coupling member that can be influenced by this exists which, if the power supply fails, the force-fit connection between the control member and the auxiliary control member due to de-energization of the electromagnet cancels.

Es ist bereits ein Verfahren zum selbsttätigen Betrieb der Entlüftungseinrichtung von Quecksilberdampfgleichrichtern bekannt, bei dem zwar ebenfalls ein E, lektromagnet, verwendet wird; dieser dient aber dort in Verbindung mit verschiedenen Zeitrelais dazu, den Absperrhahn zur Pumpenanlage erst nach einer gewissen Laufzeit der Fein- und Vorpumpe durch unmittelbare Einwirkung zu öffnen. Daraus ergibt t> sich, daß bei Ausfall der Stromversorguiig der dann aberregte Elektromagnet den von ihm unmittelbar beeinflußten Absperrhahn wieder schließt.A method for the automatic operation of the venting device of mercury vapor rectifiers is already known, in which an electric magnet is also used; However, in connection with various time relays, this serves to open the shut-off valve to the pump system only after a certain running time of the fine and backing pump through direct action. It follows t> is that in case of failure of the Stromversorguiig but then suggested solenoid closes by him immediately affected stopcock.

Die Sicherungseinrichtung gemäß der Erfindung findet dagegen in einer Anlage Verwendung, in der die Ventilbetätigung aus betrieblich bedingten Gründen von Hand ausgeübt wird. Hierbei ist das bekannte Verfahren nicht anwendbar, da dort, wie schon gesagt, der Elektromagnet das Öffnen. des Ab- sperrhahns veranlaßt. Demzufolge ist die Sicherungseinrichtung gemäß der Erfindung insofern anders ausgebildet, als von dem Elektromagneten ein Kupplungsglied beeinflußt wird, durch das ein von der Handhabe einstellbares Hilfssteuerglied mit dem eigentlichen Steuerglied des Ventils kraftschlüssig verbunden ist. Demzufolge wird, selbst wenn die eigentliche Maßnahme, die zur Ventilbetätigutig führte, noch besteht, die Ventilbetätigung bei Ausfall der Stromversorgung aufgehoben.The safety device according to the invention, on the other hand, is used in a system in which the valve is actuated by hand for operational reasons. The known method cannot be used here because, as already mentioned, the electromagnet is responsible for opening. of the shut- off valve. Accordingly, the safety device according to the invention is designed differently in that a coupling member is influenced by the electromagnet, through which an auxiliary control member adjustable by the handle is positively connected to the actual control member of the valve. As a result, even if the actual measure that led to valve actuation still exists, valve actuation is canceled if the power supply fails.

In der Fig. 1 ist von dem zur Erläuterung der Erfindung erforderlichen Teil eines Vakuumventilblocks insbesondere nur die Lagerplatte 1 mit weiteren Bauteilen zur Betätigung eines zum Öffnen und Schließen eines Tellerventils dienenden Ventilstößels dargestellt. In der Annahme, daß die mit einem Elektromagneten ausgerüstete Sicherungseinrichtung bei vorhandener Stromversorgung angesprochen hat, ist durch die dann in der dargestellten Lage befindliche, als Kupplungsglied dienende Klinke 2 eine kraftschlüssige Verbindung zwischen der als Hilfssteuerglied dienenden Hilf sschwinge 3 und der als Steuerglied dienenden Schwinge 4, an der die Klinke 2 drehbar befestigt ist, hergestellt. In dieser Weise kann jedes Ventil der Anlage ausgerüstet sein. Wird mit Hilfe eines nicht gezeigten, als Handhabe dienenden Handrads der auf der Achse 5 befestigte Nocken 6 in die gezeigte Stellung gebracht, so wird die Hilfsschwinge 3 um die Achse 7 so geschwenkt, daß die mit ihr durch die Klinke 2 kraftschlüssig verbundene, ebenfalls um die Achse 7 drehbare Schwinge 4 aus der gestrichelt angedeuteten Lage in die dargestellte Lage gebracht wird. Damit wird der Ventilstößel 8 nach links bewegt, so daß hierdurch entgegen dem Druck einer Ventilfeder ein nicht gezeigtes Tellerventil geöffnet wird, das die Ventilleitungen mit der Vorvakuunipumpe in Verbindung bringt. Fällt während dieses Pumpvorgangs die Stromversorgung aus, so wird der schon erwähnte Elektromagnet stromlos und veranlaßt, wie später noch beschrieben wird, eine Aufhebung der kraftschlüssigen Verklinkung zwischen der Hilfsschwinge3 und der Schwinge4 durch Anlieben der Klinke2. Die Hilfsschwinge3 verbleibt unter dem Einfluß des Nockens6 in der erreichten Stellung, während die Schwinge 4 von dein unter dem Druck der Ventilfeder stehenden Ventilstößel 8 in die gestrichelt angedeutete Lage zurückgeschwenkt wird. Das Tellerventil schließt wieder und hebt damit die Verbindung zwischen der Vorvakuumpumpe und den Ventilleitungen wieder auf. - Damit ist an sich die eingangs angegebene Aufgabe gelöst.In FIG. 1 , of the part of a vacuum valve block required to explain the invention, in particular only the bearing plate 1 is shown with further components for actuating a valve tappet which is used to open and close a poppet valve. Assuming that the safety device equipped with an electromagnet has responded when the power supply is available, the pawl 2, which is then in the position shown and serving as a coupling member, creates a positive connection between the auxiliary sschwinge 3 serving as an auxiliary control member and the rocker 4 serving as a control member , on which the pawl 2 is rotatably attached. Every valve in the system can be equipped in this way. If the cam 6 attached to the axis 5 is brought into the position shown with the aid of a handwheel, not shown, which serves as a handle , the auxiliary rocker 3 is pivoted about the axis 7 so that the one connected to it by the pawl 2 is also frictionally connected the axis 7 rotatable rocker 4 is brought from the position indicated by dashed lines into the position shown. The valve tappet 8 is thus moved to the left, so that a poppet valve, not shown, is opened against the pressure of a valve spring, which connects the valve lines with the fore-vacuum pump. If the power supply fails during this pumping process, the aforementioned electromagnet is de-energized and, as will be described later, causes the frictional latching between the auxiliary rocker 3 and the rocker 4 to be lifted by stopping the pawl 2. The auxiliary rocker 3 remains under the influence of the cam 6 in the position it has reached, while the rocker 4 is pivoted back into the position indicated by the broken line by the valve tappet 8, which is under the pressure of the valve spring. The poppet valve closes again, thereby breaking the connection between the backing pump and the valve lines. - In this way, the object specified at the beginning is achieved.

Die schon erwähnte Sicherungseinrichtung ist folgendermaßen aufgebaut: Wie der Fig. 2 zu entnehmen ist, ist auf der mit dem Nocken 6 ausgerüsteten, an der Lagerplatte 1 befestigten Achse 5 außerdem die Exzenterscheibe 9 befestigt, die so in der Ausnehmung der Exzenterschwinge 10 ruht, daß in der Ruhelage des nicht gezeigten Handrads (Nocken 6 nicht verstellt) die Exzenterscheibe 9 die Exzenterschwinge 10 in einer solchen Lage hält, daß der mit der Exzenterschwinge 10 verbundene Kontaktstößel 11 die Kontaktwippe 12 nach unten drückt, so daß letztere über den Druckknopf 13 den Elektromagneten 14 einschaltet. Der Elektromagnet 14 zieht den Klinkenstößel 15, der in dem eine Feder aufnehmenden Gehäuse 16 geführt ist, gegen den Druck dieser Feder nach unten. Damit wird der Hebel 17 nach unten geschwenkt, so daß die sich sonst hierauf abstützende Stange 18 an der Klinke 2 (Fig. 1) freigegeben wird. Die Klinke 2 nimmt dann, z. B. unter dem Druck einer Feder, die in Fig. 1 dargestellte Lage ein, d. h., die Hilfsschwinge3 ist mit der Schwinge4 kraftschlüssig verbunden, so daß nunmehr beim Drehen des nicht gezeigten Handrads der hierbei verstellte Nocken 6 das Tellerventil in der schon beschriebenen Weise öffnet. Die Exzenterscheibe 9 wird bei der Handradbetätigung so mitgedreht, daß die Exzenterschwinge 10 den Kontaktstößel 11 mit nach oben bewegt. Der durch den Elektromagneten 14 weiter gehaltene Klinkenstößel 15 hält die Kontaktwippe 12 weiter, so daß diese weiter auf den Druckknopf 13 wirkt; somit bleibt die kraftschlüssige Verbindung zwischen der Hilfsschwinge 3 und der Schwinge 4 bestehen. Da die Vorvakuumpumpe läuft, erfolgt eine Entlüftung der Ventilleitungen.The aforementioned safety device is as follows:. Refer 2 from FIG, is also mounted on the vehicle equipped with the cam 6 fixed to the bearing plate 1 axis 5, the eccentric disk 9, as resting in the recess of the Exzenterschwinge 10 that In the rest position of the handwheel (not shown) (cam 6 not adjusted) the eccentric disk 9 holds the eccentric rocker 10 in such a position that the contact plunger 11 connected to the eccentric rocker 10 presses the contact rocker 12 down so that the latter pushes the electromagnet via the push button 13 14 turns on. The electromagnet 14 pulls the ratchet plunger 15, which is guided in the housing 16 receiving a spring, downward against the pressure of this spring. The lever 17 is thus pivoted downwards, so that the rod 18, which is otherwise supported thereon, is released on the pawl 2 (FIG. 1). The pawl 2 then takes, for. B. under the pressure of a spring, the position shown in Fig. 1 , d. That is, the auxiliary rocker 3 is positively connected to the rocker 4, so that now when the handwheel, not shown, is turned, the cam 6 adjusted in this way opens the poppet valve in the manner already described. The eccentric disk 9 is rotated when the handwheel is operated so that the eccentric rocker 10 moves the contact plunger 11 upwards. The latch plunger 15 held by the electromagnet 14 continues to hold the contact rocker 12 so that it continues to act on the push button 13 ; thus the non-positive connection between the auxiliary rocker 3 and the rocker 4 remains. Since the backing pump is running, the valve lines are vented.

Fällt die Stromversor-ung aus, so wird der Elektromagnet 14 stromlos. Der Klinkenstößel 15 wird unter dem Druck der Feder im Führungsgehäuse 16 nach oben bewegt. Der Hebel 17 schwenkt ebenfalls nach oben und stößt gegen die Stange 18, so daß die Klinke 2 angehoben wird; die kraftschlüssige Verbindung zwischen der Hilfsschwinge 3 und der Schwinge 4 wird damit aufgehoben. Durch das gegebenenfalls an der Kontaktwippe 12 befestigte Wilikelstück 19 kann jetzt ein optisches Signal betätigt werden, welches den Ausfall der Stromversorgung anzeigt. Nach der Ausklinkung erfolgt, wie schon an Hand der Fig. 1 beschrieben ist, das Schließen des Tellerventils und damit die Aufhebung der Verbin-,dung zwischen Vorvakuumpumpe und Ventilleitungen.If the power supply fails, the electromagnet 14 is de-energized. The ratchet plunger 15 is moved upward in the guide housing 16 under the pressure of the spring. The lever 17 also pivots upwards and strikes against the rod 18, so that the pawl 2 is raised; the positive connection between the auxiliary rocker arm 3 and the rocker arm 4 is thus canceled. By means of the Wilikelstück 19, which may be attached to the contact rocker 12, an optical signal can now be actuated, which indicates the failure of the power supply. After the notch, as has already been described with reference to FIG. 1 , the poppet valve is closed and the connection between the backing pump and valve lines is canceled.

Wenn die Stromversorgung wieder einsetzt, erfolgt keine Betätigung des Ventilstößels 8, solange das Handrad und damit der Nocken 6 in der gezeigten Lage gegen die Hilfsschwinge 3 drückt. Es muß erst wieder eine Verklinkung unter Mitwirkung des Elektromagneten 14 erfolgen. Dies ist aber erst möglich, nachdem der Nocken 6 durch Rückstellung des Handrads und damit auch die Hilfsschwinge 3 wieder in die Ruhelage gebracht sind. Dies ist aus dem in der Fig. 3 wiedergegebenen Schaltbild zu erkennen. Durch den Ausfall der Stromversorgung ist, wie schon gesagt, die Kontaktwippe 12 von dem Klinkenstößel 15 infolge Aberregung des Elektromagneten 14 freigegeben worden, so daß sie die in der Fig. 3 wiedergegebene Lage einnimmt; der Kontaktstößel 11 ist bereits bei der Nockeneinstellung in die in Fig. 1 elezeigte Lage nach oben bewegt worden. Da sich jetzt die Wippenkontaktbrücken B, und B2 in der Nullstellung befinden, ist der Elektromagnet 14 von der Stromversorgung abgeschaltet. Wird der Nocken 6 nunmehr in die Ruhelage gebracht, so wird gemäß der bisherigen Beschreibung der Kontaktstößel 11 mittels der Exzenterscheibe 9 unter dem Druck der Exzenterschwinge 10 nach unten bewegt, so daß die Kontaktbrücken B, und B2 zunächst in die Stellung 1 gelangen, in der der Elektromagnet 14 über den Gleichrichter GI bei kurzgeschlossenem Widerstand Wi kräftig erregt wird. Bei dem Ansprechen des EMdromagneten 14 werden die Kontaktbrücken BI and B, infolge Weiterbewegung des Klinkenstößels 15 und damit der Kontaktwippe 12 in die Stellung 2 gebracht, so daß der über den Gleichrichter Gl eingeschaltete Elektromagnet 14 infolge Aufhebung des Kurzschlusses des Widerstands Wi über den Wider-Wi mit schwächerem Strom erregt - eh alten wird. Die Kontaktwippe 12 wird unabhängig von dem Kontaktstößel 11 durch den vom Elektromagneten 14 nach unten bewegten Klinkenstößel 15 in der unteren Lage gehalten. Da bei der Inbetriebnahme die Taste T geschlossen ist, läuft auch die Vorvakuumpumpe VP, welche vom Ausfall der Strornversorgung an bis zu diesem Zeitpunkt stillgesetzt wurde, durch Beeinflussung über die Kontaktbrücke B, in Stellung 2 an. Da nach der Abwärtsbewegung des Klinkenstößels 15 durch die Klinke 2 wieder eine kraftschlüssige Verbindung zwischen der Hilfsschwinge 3 und der Schwinge 4 hergestellt ist, wird durch Einstellung des Nockens 6 in die in der Fig. 1 gezeigte Lage der Ventilteiler geöffnet, so daß die Vorvakuumpumpe VP mit den Ventilleitungen zur Entlüftung derselben verbunden ist.When the power supply starts again, the valve tappet 8 is not actuated as long as the handwheel and thus the cam 6 press against the auxiliary rocker 3 in the position shown. It must first be latched again with the cooperation of the electromagnet 14. However, this is only possible after the cam 6 and thus also the auxiliary rocker 3 have been brought back into the rest position by resetting the handwheel. This can be seen from the reproduced in Fig. 3 diagram. Due to the failure of the power supply, the contact rocker 12 has been released from the latch plunger 15 as a result of de-energization of the electromagnet 14, so that it assumes the position shown in FIG. 3; the contact plunger 11 has already been moved upwards into the position shown in FIG. 1 during the cam adjustment. Since the rocker contact bridges B and B2 are now in the zero position, the electromagnet 14 is disconnected from the power supply. If the cam 6 is now brought into the rest position, the contact plunger 11 is moved downwards by means of the eccentric disk 9 under the pressure of the eccentric rocker 10 , so that the contact bridges B and B2 initially move into position 1 , in the the electromagnet 14 is energized vigorously via the rectifier GI when the resistor Wi is short-circuited. When the EMdagnet 14 responds, the contact bridges BI and B are brought into position 2 as a result of the further movement of the pawl plunger 15 and thus the contact rocker 12, so that the electromagnet 14 switched on via the rectifier Gl as a result of the cancellation of the short circuit of the resistor Wi via the resistor Wi is excited with a weaker current - is always old. The contact rocker 12 is held in the lower position independently of the contact plunger 11 by the pawl plunger 15 moved downward by the electromagnet 14. Since the T button is closed during commissioning, the backing pump VP, which was shut down from the failure of the power supply up to this point in time, also starts up in position 2 through the influence of the contact bridge B. Since after the downward movement of the pawl tappet 15 by the pawl 2 a positive connection is again established between the auxiliary rocker 3 and the rocker 4, the valve divider is opened by setting the cam 6 in the position shown in FIG. 1 , so that the backing pump VP is connected to the valve lines for venting the same.

Die Sicherungseinrichtung, welche nach der bisherigen Erläuterung beim Ausfall der Stromversorgung die Pumpenanlage abschaltet, kann durch weitere Maßnahmen so ergänzt werden, daß die Pumpenanlage auch gegen bestimmte Vakuumbedienungsfehler geschützt ist. Die Maßnahmen bestehen darin, daß in das Schaltbild der, Fig. 3 noch weitere Schaltelemente, welche in dem gestrichelten Kästchen liegen, eingefügt sind.The safety device, which, according to the previous explanation, switches off the pump system in the event of a power failure, can be supplemented by further measures so that the pump system is also protected against certain vacuum operating errors. The measures consist in the fact that in the circuit diagram of FIG. 3 still further circuit elements, which are located in the dashed box, are inserted.

Bekanntlich -ist z. B. bei Elektronenmikroskopen außer -dem schon erwähnten Handrad noch ein weiteres hier nicht gezeigtes Handrad zur Betätigung weiterer Nocken vorgesehen, mit denen in den einzelnen Stellungen des zweiten Handrads weitere Ventile den gegebenen Betriebsbedingungen entsprechend gesteuert werden.As is well known -is z. B. with electron microscopes also already mentioned handwheel yet another handwheel, not shown here, for actuation further cams are provided with which in the individual positions of the second handwheel further valves can be controlled according to the given operating conditions.

Nimmt man an, daß nach Einstellung des ersten Handrads (Nocken 6 verstellt) die Vorvakuumpumpe läuft, so wird durch eine weitere Ventilsteuerung mittels des zweiten Handrads zunächst eine Belüftung der Mikroskopröhre veranlaßt. Die in der Fig. 3 in dem-gestrichelten Kästchen in abgewickelter Darstellung wiedergegebene Nockenanordnung N (vom zweiten Handrad bewegt) ist dann in einer solchen Lage, ,daß der Stößel St in Stellung 1 steht. Der Elektromagnet 14 bleibt dann ununterbrochen erregt. Durch eine weitere Verstellung des zweiten Handrads wird eine solche Ventilsteuerung- yeranlaßt, daß die Mikroskopröhre durch die Vorvakuumpumpe VP entlüftet wird. Der StÖßel St gelangt hierbei in die Stellung 2. Da bei dieser Verstellung der Nocken zwischen der Stellung 1 und der Stellung 2 infolge Ausweichens nach rechts nicht auf den Stößel St wirkt, bleibt der Kontakt K geschlossen und somit auch der Elektromagnet 14 erregt. Die Pumpenanlage erzeugt nun mittels der Vorvakuumpumpe VP das für das Arbeiten der Hochvakuumpumpe erforderliche Ausgangsvakuum. Um anschließend eine Entlüftung auf Hochvakuum zu erreichen, wird das zweite Handrad weiter verstellt. Dabei gelangt die Nockenanordnung N in die Stellung 3. Hierbei wird durch den zwischen den Stellungen 2 und 3 liegenden Nocken der Kontakt K vorübergehend aufgestoßen. Ist inzwischen durch die Vorvakuumpumpe VP das für das Arbeiten der Hochvakuumpumpe erforderliche Ausgangsvakuum geschaffen worden, so hat der Vakuumschalter V den Kontakt Vs geschlossen, so daß über diesen Kontakt Vs auch beim vorübergehenden Aufstoßen des Kontakts K der Stromkreis für den Elektromagneten 14 geschlossen bleibt. Ist dagegen, z. B. wegen zu schneller Fortschaltung des zweiten Handrads, das Ausgangsvakuum noch nicht erreicht, hat also der Vakuumschalter V den Kontakt Vs noch nicht geschlossen, so wird beim vorübergehenden Aufstoßen des Kontakts K der Stromkreis für den Elektromagneten 14 unterbrochen. Demzufolge wird, wie oben bei einer ausfallenden Stromversorgung besehrieben ist, die Vakutimanlage abgeschaltet. Die Handräder müssen erst zurückgestellt werden, um die be- schriebenen Einstellungen und den Anlauf der Vorvakuumpumpe VP wieder zu veranlassen.Assuming that the backing pump is running after setting the first handwheel (cam 6 adjusted), a further valve control by means of the second handwheel initially causes ventilation of the microscope tube. The cam arrangement N (moved by the second handwheel) shown in the developed representation in the dashed box in FIG. 3 is then in such a position that the plunger St is in position 1 . The electromagnet 14 then remains continuously energized. A further adjustment of the second handwheel initiates a valve control such that the microscope tube is vented by the fore-vacuum pump VP. The plunger St moves into position 2. Since during this adjustment the cam between position 1 and position 2 does not act on the plunger St as a result of evasive action to the right, the contact K remains closed and thus the electromagnet 14 is also energized. The pump system now generates the initial vacuum required for the high vacuum pump to work by means of the backing pump VP. The second handwheel is further adjusted in order to then achieve a high vacuum venting. The cam arrangement N moves into position 3. Here, the contact K is temporarily pushed open by the cam located between positions 2 and 3. If, in the meantime, the initial vacuum required for the high vacuum pump to work has been created by the backing pump VP, the vacuum switch V has closed the contact Vs, so that the circuit for the electromagnet 14 remains closed via this contact Vs even when the contact K is temporarily pushed open. Is against it, z. B. because the second handwheel is switched too quickly, the initial vacuum has not yet been reached, so if the vacuum switch V has not yet closed the contact Vs, the circuit for the electromagnet 14 is interrupted when the contact K is temporarily pushed open. As a result, as described above in the event of a power failure, the vacuum system is switched off. The hand wheels must only be returned to the described settings and the start-up of the backing pump VP to cause again.

Hierzu sei noch erwähnt, daß die Exzenterschwinge 10 noch einen Schlitz 20 aufweist, in dem ein von der Stellung des zweiten Handrads gesteuerter Stift beweglich ist, um die Exzenterschwinge 10 und damit die Kontaktwippe 12 nicht nur von der Ruhestellung des ersten Handrzds (Exzenterscheibe 9), sondern auch von der Ruhestellung des zweiten Handrads (Stellung des erwähnten Stifts) abhängig zu machen.It should also be mentioned that the eccentric rocker 10 also has a slot 20 in which a pin controlled by the position of the second handwheel is movable to move the eccentric rocker 10 and thus the contact rocker 12 not only from the rest position of the first handwheel (eccentric disk 9). , but also to make it dependent on the rest position of the second handwheel (position of the mentioned pin).

Wie erwähnt, kann der zwischen den Stellungen 1 und 2 liegende Nocken bei der beschriebenen Bewegungsrichtung der Nockenanordnung AT (von unten nach oben) ausweichen. Bei der entgegengesetzten Bewegungsrichtung dagegen, d. h. wenn eine Verstellung des zweiten Handrads aus der Stellung 2 in die Stellung 1 erfolgt, weil z. B, aus irgendwelchen Gründen auf Belüftung zurückgeschaltet wird, kann der genannte Nocken nicht ausweichen, so daß der Schalter K aufgestoßen wird und eine Aberregung des Elektromagneten 14 veranlaßt. Auch in diesem Falle erfolgt dann eine Abschaltung der Ptimpenanlage.As mentioned, the cam lying between positions 1 and 2 can evade in the described direction of movement of the cam arrangement AT (from bottom to top). In the opposite direction of movement, however, i. H. when an adjustment of the second handwheel from position 2 to position 1 takes place, because z. B, is switched back to ventilation for whatever reasons, the said cam cannot evade, so that the switch K is pushed open and causes the electromagnet 14 to de-energize. In this case, too, the Ptimpen system is switched off.

Claims

PATENT CLAIM: 1. Safety device to protect an electrically operated high vacuum pump system, e.g. B. an electron microscope, if the power supply fails using an electromagnet, characterized in that the safety device consists of a control member assigned to the operationally appropriate valve actuation, adjustable by means of a handle, an auxiliary control member, an electromagnet and a coupling member that can be influenced by this, which consists in the failure of the Power supply removes the positive connection between the control member and the auxiliary control member due to de-energization of the electromagnet.

2. Safety device according to claim 1, characterized in that the coupling member consists of a pawl which can be influenced by the electromagnet, which, pivotally attached to the control member, cancels the non-positive connection between the steady-state link formed as a rocker and the auxiliary control member formed as an auxiliary rocker when the electromagnet is de-energized. 3. Safety device according to claim 1 or 2, characterized by such an assignment of the control member and the auxiliary control member adjustable by means of a handle that after the frictional connection is canceled, the auxiliary control member remains in the setting brought about by the handle and the control member is under the influence of a valve resetting Spring goes back to the starting position. 4. Safety device according to one of the preceding claims, characterized by such an assignment of the frictional connection causing members that the electromagnet for establishing the frictional connection when the power supply is restored by actuated controls after resetting the handle in the rest position is again excited. 5. Safety device according to claim 4 in the presence of several handles, characterized in that the steady-state elements can be actuated for reclosing in dependence on the rest position of several handles. 6. Safety device according to claim 4 or 5, characterized in that the control elements consist of an eccentric disk, an eccentric rocker arm and a contact plunger, of which the eccentric disk can be adjusted by means of the handle, the eccentric rocker arm through the eccentric disk and the contact plunger through the eccentric rocker arm, 7. Safety device according to claims 5 and 6, characterized in that the eccentric rocker is provided with a slot in which a pin guides a further handle in order to make the reactivation of the electromagnet dependent on the rest position of this handle. 8. Safety device according to one of the preceding claims with additional means for protection against vacuum operating errors, characterized by such an arrangement of the additional means that the switching from one working state of the pumping system to another working state, for. B. from a Vaktitimentlüftung to a high vacuum ventilation, serving handle during their actuation a contact means in the exciter circuit of the electromagnet temporarily pushes open, which in proper transition from this working state to the other working state by one of these, z. B. from reaching the required initial vacuum, dependent further contact means is bridged. 9. Safety device according to claim 8, characterized in that the contact means can be pushed open by cams, which are optionally only effective in one direction of movement of the handle. Documents considered: German Patent No. 442 834.