DE10360355A1 - Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen - Google Patents

Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen Download PDF

Info

Publication number
DE10360355A1
DE10360355A1 DE10360355A DE10360355A DE10360355A1 DE 10360355 A1 DE10360355 A1 DE 10360355A1 DE 10360355 A DE10360355 A DE 10360355A DE 10360355 A DE10360355 A DE 10360355A DE 10360355 A1 DE10360355 A1 DE 10360355A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
modular system
thin
manufacturing process
film manufacturing
detoxify
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE10360355A
Other languages
English (en)
Inventor
Horst Reichardt
Andreas Frenzel
Konrad Gehmlich
Michael Wilde
Egbert Merforth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Original Assignee
Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH filed Critical Das Duennschicht Anlagen Systeme GmbH
Priority to DE10360355A priority Critical patent/DE10360355A1/de
Priority to EP04021955A priority patent/EP1518597A3/de
Priority to US10/950,331 priority patent/US20050074375A1/en
Priority to JP2004280642A priority patent/JP4021887B2/ja
Publication of DE10360355A1 publication Critical patent/DE10360355A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/30—Controlling by gas-analysis apparatus
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/75—Multi-step processes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen. Aufgabengemäß soll eine Möglichkeit von Nachbehandlung von solchen Prozessabgasen vorgeschlagen werden, die kostengünstig einen sicheren Betrieb ermöglicht. Dabei sollen eine ausreichende Redundanz sowie eine flexible Anpassung an steigende nachzubehandelnde Kapazitäten möglich sein. Das erfindungsgemäße modulare System ist dabei so ausgebildet, dass eine elektronische Steuerung für Brenner, die Zufuhr von Prozessabgasen, Waschflüssigkeit und/oder von Brenngas in Reaktionskammern vorhanden ist. Dabei bilden mindestens zwei Reaktionskammern Module, die mittels der elektronischen Steuerung für eine gleichzeitige oder alternierende Behandlung von Prozessabgasen unter Berücksichtigung detektierter Betriebszustände am System oder mindestens einem Modul gesteuert werden können.
DE10360355A 2003-09-26 2003-12-18 Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen Withdrawn DE10360355A1 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10360355A DE10360355A1 (de) 2003-09-26 2003-12-18 Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen
EP04021955A EP1518597A3 (de) 2003-09-26 2004-09-15 Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen
US10/950,331 US20050074375A1 (en) 2003-09-26 2004-09-24 Modular system for the treatment of process exhaust gases containing pollutants
JP2004280642A JP4021887B2 (ja) 2003-09-26 2004-09-27 汚染物質を含むプロセス排ガスの処理のためのモジュラシステム

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10346284 2003-09-26
DE10360355A DE10360355A1 (de) 2003-09-26 2003-12-18 Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE10360355A1 true DE10360355A1 (de) 2005-04-28

Family

ID=34399276

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10360355A Withdrawn DE10360355A1 (de) 2003-09-26 2003-12-18 Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE10360355A1 (de)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0365262A1 (de) * 1988-10-17 1990-04-25 Haldor Topsoe A/S Verfahren und Einrichtung zur kontinuierlichen Reinigung eines Sauerstoffenthaltenden Gases von Brennbaren Schadstoffen
DE69417065T2 (de) * 1993-12-27 1999-07-08 Ford-Werke Ag, 50735 Koeln Vorrichtung zum regeln von schadstoffemission im abgas der brennkraftmaschine eines kraftfahrzeuges
DE4231575C2 (de) * 1991-09-20 2003-04-24 Hitachi Ltd Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Brennkraftmaschine
DE69810604T2 (de) * 1997-04-15 2003-10-16 International Fuel Cells, Llc Vorrichtung und methode zur gasgeneration

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0365262A1 (de) * 1988-10-17 1990-04-25 Haldor Topsoe A/S Verfahren und Einrichtung zur kontinuierlichen Reinigung eines Sauerstoffenthaltenden Gases von Brennbaren Schadstoffen
DE4231575C2 (de) * 1991-09-20 2003-04-24 Hitachi Ltd Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung einer Brennkraftmaschine
DE69417065T2 (de) * 1993-12-27 1999-07-08 Ford-Werke Ag, 50735 Koeln Vorrichtung zum regeln von schadstoffemission im abgas der brennkraftmaschine eines kraftfahrzeuges
DE69810604T2 (de) * 1997-04-15 2003-10-16 International Fuel Cells, Llc Vorrichtung und methode zur gasgeneration

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2003251444A1 (en) Plasma reactor for carrying out gas reactions and method for the plasma-supported reaction of gases
EP2831423B2 (de) Vakuumpumpsystem
NO20075608L (no) System og fremgangsmate for a utfore et kjemisk ekspriment
GB2481144A (en) Reactive chemical containment system
WO2011100696A3 (en) Reactor vessels with pressure and heat transfer features for producing hydrogen-based fuels and structural elements, and associated systems and methods
WO2007030645A3 (en) High energy dissociation for mercury control systems
NO20073519L (no) Anordning for oppvarming av brenselcelle og fremgangsmate for drifting av samme
WO2007131234A3 (en) A gas reformulating system using plasma torch heat
WO2006093735A3 (en) Hydrogen generating fuel cell cartridges
WO2007130613A3 (en) Multiarc discharge moving bed reactor system
NO20076636L (no) Tilforsel av forbrenningsluft for forkokningsovner
WO2008005754A3 (en) Modular chemical vapor deposition (cvd) reactor
TW200712252A (en) Methods and systems for increasing substrate temperature in plasma reactors
WO2003061801A8 (en) Hot-gas pressure-filter apparatus
DE10360355A1 (de) Modulares System für die Behandlung von Schadstoffe enthaltenden Prozessabgasen
WO2004094022A3 (en) Pleated construction for effecting gas transfer membrane
EP1327820A8 (de) Brennkammergruppe, insbesondere für ein Fahrzeugheizgerät
JP2009154091A (ja) 排ガス処理装置および排ガス処理方法、ならびに薄膜形成装置
WO2008014460A3 (en) Apparatus, system, and method for generating hydrogen from a chemical hydride
US20090200008A1 (en) System and methods for conservation of exhaust heat energy
KR20200043597A (ko) 휘발성유기화합물의 흡착연소시스템
CN112513528A (zh) 废气除害装置
WO2004040683A3 (de) Nachbrenneinrichtung und verfahren zum betreiben einer nachbrenneinrichtung
KR100511463B1 (ko) 핫질소 순환시스템
NO20074534L (no) Subsea valve

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8139 Disposal/non-payment of the annual fee