DE10350489A1 - Optischer Sensor - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen optischen Sensor (1) zur Bestimmung von Distanzen von Objekten (2) in einem Überwachungsbereich. Der optische Sensor umfasst einen Sendelichtstrahlen (3) emittierenden Sender (4), eine Modulationseinheit, mittels derer die Sendelichtstrahlen (3) amplitudenmoduliert werden, einen Empfänger (6) zum Empfang der als Empfangslichtstrahlen (5) von einem Objekt (2) zurückreflektierten Sendelichtstrahlen (3) und eine Auswerteeinheit, in welcher die Phasenverschiebung (phi) der Sendelichtstrahlen (3) und der Empfangslichtstrahlen (5) als Maß für die Objektdistanz bestimmt wird. Weiterhin ist eine elektrische Referenzstrecke zur Generierung eines Referenzphasenbezugs für die in der Auswerteeinheit registrierten Phasenverschiebungen (phi) vorgesehen.

Description

  • Die Erfindung betrifft einen optischen Sensor.
  • Derartige optische Sensoren dienen zur Bestimmung von Distanzen von Objekten in einem Überwachungsbereich. Die Distanzbestimmung erfolgt dabei nach der Phasendifferenzmethode. Der optische Sensor weist hierzu einen Sendelichtstrahlen emittierenden Sender und einen Empfangslichtstrahlen empfangenden Empfäger auf. Zur Durchführung der Phasenmessung wird den Sendelichtstrahlen eine Amplitudenmodulation mit einer vorgegebenen Frequenz aufgeprägt. Die von einem Objekt reflektierten Empfangslichtstrahlen weisen eine entsprechende Amplitudenmodulation auf, jedoch ist diese entsprechend der Lichtlaufzeit von dem optischen Sensor zum Objekt und zurück zum optischen Sensor phasenversetzt zur Amplitudenmodulation der Sendelichtstrahlen. In einer Auswerteeinheit wird die Phasendifferenz der Sendelichtstrahlen und der Empfangslichtstrahlen bestimmt. Aus dieser Phasendifferenz wird dann die Distanz des Objektes zum optischen Sensor berechnet.
  • Aus der DE 198 11 550 A1 ist ein derartiger nach der Phasendifferenzmethode arbeitender optischer Sensor bekannt. Dieser optische Sensor weist eine aus digitalen Schaltungskomponenten bestehende Schaltungsanordnung zur Erzeugung von Frequenzsignalen auf, die zur Durchführung der Phasenmessung benötigt werden.
  • Die mit dem Sender und Empfänger durchgeführten Distanzmessungen werden jeweils auf eine Referenzmessung bezogen, wobei hierzu die Sendelichtstrahlen über eine optische Referenzstrecke zum Empfänger geführt sind. Die optische Referenzstrecke weist einen optischen Umschalter auf, mittels dessen in einem vorgegebenen Takt die Sendelichtstrahlen zur Durchführung von Referenzmessungen dem Empfänger zugeführt werden.
  • Nachteilig hierbei ist der hohe konstruktive Aufwand des optischen Sensors zur Durchführung der Distanzmessung. Insbesondere erfordert die fortlaufend für jede Distanzmessung durchzuführende optische Referenzmessung einen unerwünscht hohen Aufwand.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde einen optischen Sensor der eingangs genannten Art derart weiterzubilden, dass mit diesem bei möglichst geringem konstruktiven Aufwand eine genaue Distanzbestimmung ermöglicht wird.
  • Zur Lösung dieser Aufgabe sind die Merkmale des Anspruchs 1 vorgesehen. Vorteilhafte Ausführungsformen und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen beschrieben.
  • Der erfindungsgemäße optische Sensor dient zur Bestimmung von Distanzen von Objekten in einem Überwachungsbereich und weist einen Sendelichtstrahlen emittierenden Sender auf. Ebenso umfasst der optische Sensor eine Modulationseinheit, mittels derer die Sendelichtstrahlen amplitudenmoduliert werden. Weiterhin weist der erfindungsgemäße optische Sensor einen Empfänger zum Empfang der als Empfangslichtstrahlen von einem Objekt zurückreflektierten Sendelichtstrahlen sowie eine Auswerteeinheit auf, in welcher die Phasenverschiebung der Sendelichtstrahlen und der Empfangslichtstrahlen als Maß für die Objektdistanz bestimmt wird. Der erfindungsgemäße optische Sensor umfasst schließlich eine elektrische Referenzstrecke zur Genenerung eines Referenzphasenbezugs für die in der Auswerteeinheit registrierten Phasenverschiebungen.
  • Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen optischen Sensors besteht darin, dass durch die elektrische Referenzierung der Phasenmessung optische Bauelemente zur Ausbildung einer optischen Referenzstrecke und damit notwendige Mittel zur elektrooptischen Wandlung von Signalen zur Durchführung einer Referenzmessung entfallen.
  • Mit der erfindungsgemäßen elektrischen Referenzierung wird somit eine erhebliche Bauteilreduzierung und damit eine entsprechende Kostenreduzierung bei der Herstellung des optischen Sensors erzielt.
  • In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform werden zur Durchführung der Phasenmessung die Sendelichtstrahlen und damit auch die von einem Objekt zurückreflektierten Empfangslichtstrahlen mit einer hochfrequenten, typischerweise im MHz-Bereich liegenden Modulationsfrequenz f1 amplitudenmoduliert. Hierzu wird ein erster Frequenzgenerator eingesetzt. Mittels eines zweiten Frequenzgenerators wird ein Taktsignal bei einer Frequenz f2 generiert, wobei diese Frequenz bezüglich der Frequenz f1 um eine Zwischenfrequenz Δf verschoben ist, wobei diese Zwischenfrequenz Δf typischerweise im kHz-Bereich liegt. Die durch die auftreffenden Empfangslichtstrahlen im Empfänger generierten, mit der Modulationsfrequenz f1 modulierten Empfangssignale werden mit dem Taktsignal gemischt, wodurch ein Messsignal bei der Zwischenfrequenz Δf generiert wird.
  • In diesem Fall besteht die elektrische Referenzstrecke im Wesentlichen aus einem Mischer, in welchem ein in dem ersten Frequenzgenerator generiertes Frequenzsignal mit der Frequenz f1 mit dem Taktsignal mit der Frequenz f2 gemischt wird. Dadurch wird ein Referenzsignal mit der Zwischenfrequenz Δf generiert, welches zur Referenzierung des Messsignals mit diesem in die Auswerteeinheit des optischen Sensors eingelesen wird.
  • Die so ausgebildete elektrische Referenzstrecke weist einen äußerst einfachen und kostengünstigen Aufbau auf. Da das Referenzsignal aus den selben Frequenzen f1 und f2 generiert wird, welche auch zur Generierung des Messsignals verwendet werden, werden zudem Fehler aufgrund eines Driftens bei der Erzeugung der Frequenzen f1 und f2 eliminiert.
  • Die Erfindung wird im Nachstehenden anhand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
  • 1: Blockschaltbild eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen optischen Sensors.
  • 2: Zeitlicher Verlauf des im optischen Sensor gemäß 1 generierten Messsignals und Referenzsignals.
  • 3: Schematische Darstellung der Ermittlung der Phasenverschiebung des Messsignals gemäß 2.
  • 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines nach dem Phasenmessprinzip arbeitenden optischen Sensors 1 zur Bestimmung von Distanzen von Objekten 2 innerhalb eines Überwachungsbereichs. Der optische Sensor 1 weist einen Sendelichtstrahlen 3 emittierenden Sender 4 sowie einen Empfangslichtstrahlen 5 empfangenden Empfänger 6 auf. Der Sender 4 besteht aus einer Laserdiode, die an einer Spannung Ud liegt und mit einem Strom Id gespeist wird. Der Empfänger 6 besteht im vorliegenden Fall aus einer Avalanche-Fotodiode, die an einem Widerstand 7 angeschlossen ist und mit einer Spannung Ur versorgt wird.
  • Zur Durchführung der Phasenmessung wird den Sendelichtstrahlen 3 eine Amplitudenmodulation mit einer Frequenz f1 aufgeprägt. Die von einem Objekt 2 zurückreflektierten Empfangslichtstrahlen 5 weisen eine Amplitudenmodulation mit derselben Frequenz f1 auf. Entsprechend der Objektdistanz des jeweiligen Objekts 2 weisen die am Empfänger 6 auftreffenden Empfangslichtstrahlen 5 eine Phasenverschiebung φ bezüglich den vom Sender 4 emittierten Sende lichtstrahlen 3 auf. Aus dieser Phasenverschiebung φ wird die Objektdistanz berechnet und als Ausgabegröße vom optischen Sensor 1 ausgegeben.
  • Wie aus 1 ersichtlich, weist der optische Sensor 1 einen an einen Oszillator 8 angeschlossenen ersten Frequenzgenerator 9 auf, der die Modulationseinheit zur Modulation der Sendelichtstrahlen 3 bildet. Weiterhin ist an den Oszillator 8 ein zweiter Frequenzgenerator 10 angeschlossen.
  • Der erste und zweite Frequenzgenerator 9, 10 bestehen aus digitalen Bauelementen und weisen einen im Wesentlichen entsprechenden Aufbau auf. Insbesondere sind in den Frequenzgeneratoren 9, 10 Teiler integriert, mittels derer durch Teilung der in dem Oszillator 8 generierten Grundfrequenz f0 definierte und einen eindeutigen Bezug zu dieser Grundfrequenz f0 aufweisende Frequenzsignale generiert werden.
  • Durch Teilung der Grundfrequenz f0 des Oszillators 8 wird im ersten Frequenzgenerator 9 ein Frequenzsignal mit der Frequenz f1 generiert. Dieses Frequenzsignal wird zur Modulation der Sendelichtstrahlen 3 über einen Kondensator 11 in den Sender 4 eingespeist.
  • Der zweite Frequenzgenerator 10 ist über eine Steuerleitung S1 mit dem ersten Frequenzgenerator 9 verbunden. Über diese Steuerleitung S1 wird ein im ersten Frequenzgenerator 9 generiertes Frequenzsignal mit der Frequenz fV in den zweiten Frequenzgenerator 10 eingelesen. Die Frequenz fV gibt einen Takt vor, mittels dessen das Frequenzsignal f1 weitergeschaltet, wodurch das Taktsignal mit der Frequenz f2 generiert wird. Dabei nimmt die Frequenz f2 den Wert f2 = f1 + Δf an, das heißt die Frequenz f2 ist bezüglich der Frequenz f1 von einer Zwischenfrequenz Δf verschoben.
  • Das im zweiten Frequenzgenerator 10 generierte Taktsignal mit der Frequenz f2 wird über einen weiteren Kondensator 12 in den Empfänger 6 eingekoppelt. In den als Avalanche-Fotodiode ausgebildeten Empfänger 6 erfolgt somit eine Mischung der durch die Empfangslichtstrahlen 5 generierten Empfangssignale, die mit der Frequenz f1 moduliert sind, und des Taktsignals mit der Frequenz f2. Durch diese Signalmischung und eine anschließende Filterung in einem dem Empfänger 6 nachgeordneten Tiefpassfilter 13 wird ein niederfrequentes Messsignal M mit der Zwischenfrequenz Δf generiert, welches die Phasenverschiebung φ der Sendelichtstrahlen 3 und der Empfangslichtstrahlen 5 und damit die Information über die Objektdistanz enthält. Zur Auswertung des Messsignals M wird dieses über eine nicht dargestellte Verstärkerstufe in eine Auswerteeinheit eingelesen. Die Auswerteeinheit besteht im vorliegenden Fall aus einem Analog-Digital-Wandler 14 und einer nachgeordneten Rechnereinheit 15, welche von einem Microcontroller oder dergleichen gebildet ist.
  • In einer alternativen Ausführungsform kann der Empfänger 6 von einer PIN-Diode gebildet sein. In diesem Fall erfolgt die Mischung der Empfangssignale und des Taktsignals in einem nicht dargestellten, separaten Mischer, der dem Empfänger 6 nachgeordnet ist.
  • Im vorliegenden Fall wird zur Generierung des Messsignals M eine Frequenz f1 zur Modulation der Sendelichtstrahlen 3 sowie ein zugeordnetes Taktsignal mit der Frequenz f2 verwendet. Zur Erhöhung des Eindeutigkeitsbereichs der Phasenmessung und damit des Distanzmessbereichs des optischen Sensors 1 können die Sendelichtstrahlen 3 auch mit mehreren verschiedenen Modulationsfrequenzen moduliert werden, wobei dann jeder Modulationsfrequenz ein separates Taktsignal zugeordnet ist.
  • Zur Referenzierung des Messsignals M weist der optische Sensor 1 eine elektrische Referenzstrecke auf. Die elektrische Referenzstrecke weist einen Mischer 16 auf, auf welchen das im ersten Frequenzgenerator 9 generierte Frequenzsignal mit der Frequenz f1 sowie das Taktsignal mit der Frequenz f2 geführt sind. Durch Mischen dieser beiden Signale im Mischer 16 und eine an schließende Filterung in einem dem Mischer 16 nachgeordneten Tiefpassfilter 17, welches ebenfalls Bestandteil der elektrischen Referenzstrecke ist, wird ein Referenzsignal R mit der Zwischenfrequenz Δf generiert. Dieses Referenzsignal R wird zur Referenzierung des Messsignals M in den Analog-Digital-Wandler 14 eingelesen. Dem Tiefpassfilter 17 kann prinzipiell eine nicht dargestellte Verstärkerstufe zur Verstärkung des Referenzsignals R nachgeordnet sein.
  • In dem Analog-Digital-Wandler 14 erfolgt eine Abtastung und digitale Quantisierung des Messsignals M und des Referenzsignals R. Dabei ist der Analog-Digital-Wandler 14 über eine weitere Steuerleitung S2 an den zweiten Frequenzgenerator 10 angeschlossen. Ein im zweiten Frequenzgenerator 10 generiertes Frequenzsignal mit der Frequenz fA wird über diese Steuerleitung S2 in den Analog-Digital-Wandler 14 eingelesen. Die Frequenz fA, die wiederum von der Grundfrequenz f0 des Oszillators 8 abgeleitet ist, gibt die Abtastfrequenz bei der Abtastung des Messsignals M und des Referenzsignals R vor.
  • Da somit sämtliche Frequenzen f1, f2, fV und fA von derselben Grundfrequenz f0 des Oszillators 8 abgeleitet sind, wird ein definierter Bezug des Messsignals M zum Referenzsignal R erhalten, so dass ein eindeutiger Bezugspunkt bei der Referenzierung des Messsignals M auf das Referenzsignal R gegeben ist.
  • Im vorliegenden Fall sind die Frequenzen fV und fA identisch gewählt. Prinzipiell kann die Frequenz fA ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz fA sein.
  • 2 zeigt den zeitlichen Verlauf des Messsignals M und des Referenzsignals R. Das Messsignal M sowie das Referenzsignal R, welches durch die Mischung von Signalen mit den Frequenzen f1 und f2 und nachfolgende Tiefpassfilterung generiert wurden, weisen jeweils einen sinusförmigen Verlauf auf. Wie in 2 dargestellt, weist das Messsignal M die Phasenverschiebung φ auf, welche ein Maß für die jeweilige Objektdistanz bildet. Als Bezugspunkt für die Phasenverschiebung φ des Messsignals M dient das Referenzsignal R.
  • In dem Analog-Digital-Wandler 14 wird durch Mehrfachabtastung des Amplitudenverlaufs des sinusförmigen Messsignals M die Phasenverschiebung φ des Messsignals M ermittelt, wonach aus der Phasenverschiebung φ in der Rechnereinheit 15 der jeweilige Distanzwert errechnet und über einen nicht dargestellten Ausgang des optischen Sensors 1 als Ausgabegröße ausgegeben wird.
  • 3 zeigt schematisch die Abtastung einer Periode des sinusförmigen Messsignals M mit einer Abtastgruppe mit vier Abtastwerten. Generell wird die Anzahl der Abtastwerte innerhalb einer Periode des Messsignals M durch die Abtastfrequenz fA bestimmt. Das rechte Diagramm zeigt den zeitlichen Verlauf des sinusförmigen Messsignals M mit der Phasenverschiebung φ. Die Amplitude des Messsignals M ist dabei mit U bezeichnet. Das linke Diagramm stellt das entsprechende Zeigerdiagramm für das Messsignal M in der komplexen Ebene dar, wobei Im den Imaginärteil und Re den Realteil der entsprechenden komplexen Funktion für das Messsignal M bildet. Dass das sinusförmige Messsignal M um die Phasenverschiebung φ bezüglich des Nullpunkts als Bezugspunkt verschoben ist, ergibt sich durch dieselbe Phasenverschiebung φ in der komplexen Funktion Z im Zeigerdiagramm gemäß der Beziehung Z = |Z| e–jφ wobei j = √–1.
  • Dementsprechend ergibt sich die Phasenverschiebung φ gemäß der Beziehung
    Figure 00080001
  • Um aus dem sinusförmigen Verlauf des Messsignals M die Phasenverschiebung φ zu erhalten, wird diese Beziehung ausgenutzt und dementsprechend werden vier um jeweils 90° versetzte Abtastwerte definiert, mit welchen die Phasenverschiebung φ ermittelt werden kann. Wie in 3 (rechtes Diagramm) dargestellt sind die vier Abtastwerte durch die Amplitudenwerte U(0), U(1), U(2), U(3) definiert, wobei diese Amplitudenwerte jeweils um 90° zueinander versetzt innerhalb einer Periode des Messsignals M liegen.
  • Wie aus dem Vergleich mit dem Zeigerdiagramm in 3 folgt, stellt die Differenz D1 = ½ (U(1) – U(3)) den Realteil und die Differenz D2 = ½ (U(0) – U(2)) den Imaginärteil der komplexen Funktion des Zeigerdiagramms dar.
  • Dementsprechend errechnet sich die Phasendifferenz φ aus den Abtastwerten U(0), U(1), U(2), U(3) gemäß der Beziehung φ = arc tan [(U(0) – U(2))/( U(1) – U(3))]
  • Prinzipiell könnte die Phasenverschiebung φ auch nur mit zwei um 90° versetzten Abtastwerten innerhalb einer Periode des Messsignals M berechnet werden. Durch die Abtastung mit vier Abtastwerten ist jedoch gewährleistet, dass DC-Pegelschwankungen des sinusförmigen Messsignals M nicht zu Fehlern in der Bestimmung der Phasendifferenz führen.
  • Durch die gewählte Symmetrie der vier über die Periode des Messsignals M jeweils um 90° versetzten vier Abtastwerte wird zudem erreicht, dass die Phasenverschiebung φ exakt auch dann bestimmt wird, wenn dem idealen sinusförmigen Messsignal M als Grundwelle harmonische Oberschwingungen geradzahliger Ordnung überlagert sind.
  • Damit wird durch die Abtastung gemäß 3 erreicht, dass DC-Pegelschwankungen und Verzerrungen des Messsignals M gegenüber dem ide alen sinusförmigen Verlauf durch Überlagerungen mit Oberschwingungen geradzahliger Ordnung nicht zu einem systematischen Messfehler bei der Bestimmung der Phasenverschiebung φ führen.
  • Um auch Effekte von Oberwellen ungeradzahliger Ordnungen systematisch zu eliminieren, kann das Messsignal M nicht nur wie in 3 dargestellt mit einer Abtastgruppe, sondern mit mehreren Abtastgruppen abgetastet werden. In diesem Fall ist die Abtastfrequenz fA erhöht und beträgt ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz fV.
  • (1)
    Optischer Sensor
    (2)
    Objekt
    (3)
    Sendelichtstrahlen
    (4)
    Sender
    (5)
    Empfangslichtstrahlen
    (6)
    Empfänger
    (7)
    Widerstand
    (8)
    Oszillator
    (9)
    Frequenzgenerator
    (10)
    Frequenzgenerator
    (11)
    Kondensator
    (12)
    Kondensator
    (13)
    Tiefpassfilter
    (14)
    Analog-Digital-Wandler
    (15)
    Rechnereinheit
    (16)
    Mischer
    (17)
    Tiefpassfilter
    S1
    Steuerleitung
    S2
    Steuerleitung

Claims (21)

  1. Optischer Sensor zur Bestimmung von Distanzen von Objekten in einem Überwachungsbereich, mit einem Sendelichtstrahlen emittierenden Sender, mit einer Modulationseinheit, mittels derer die Sendelichtstrahlen amplitudenmoduliert werden, mit einem Empfänger zum Empfang der als Empfangslichtstrahlen von einem Objekt zurückreflektierten Sendelichtstrahlen und mit einer Auswerteeinheit, in welcher die Phasenverschiebung der Sendelichtstrahlen und der Empfangslichtstrahlen als Maß für die Objektdistanz bestimmt wird, gekennzeichnet durch eine elektrische Referenzstrecke zur Generierung eines Referenzphasenbezugs für die in der Auswerteeinheit registrierten Phasenverschiebungen (φ).
  2. Optischer Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationseinheit einen ersten Frequenzgenerator (9) zur Generierung einer Modulationsfrequenz (f1) aufweist, mit welcher die Sendelichtstrahlen (3) amplitudenmoduliert sind, dass mittels eines zweiten Frequenzgenerators (10) ein Taktsignal mit einer Modulationsfrequenz (f2) generiert wird, welche um eine Zwischenfrequenz (Δf) bezüglich der Modulationsfrequenz (f1) verschoben ist, und dass durch Mischen des Taktsignals mit den im Empfänger (6) durch die auftreffenden Empfangslichtstrahlen (5) erzeugten Empfangssignalen ein die Phasenverschiebungen (φ) der Sendelichtstrahlen (3) und der Empfangslichtstrahlen (5) enthaltendes Messsignal (M) mit der Frequenz (Δf) generiert wird, welches in der Auswerteeinheit zur Bestimmung der Objektdistanzen ausgewertet wird.
  3. Optischer Sensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Referenzstrecke einen Mischer (16) aufweist, welchem ein im ersten Frequenzgenerator (9) erzeugtes Frequenzsignal mit der Frequenz (f1) und das im zweiten Frequenzgenerator (10) generierte Taktsignal (f2) zur Generierung eines Referenzsignals (R) zugeführt werden.
  4. Optischer Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzsignal (R) zur Referenzierung des Messsignals (M) in die Auswerteeinheit eingelesen wird.
  5. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die elektrische Referenzstrecke ein dem Mischer (16) nachgeordnetes Tiefpassfilter (17) aufweist.
  6. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 2–5, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Empfänger (6) eine Mischung des Taktsignals und der Empfangssignale zur Generierung des Messsignals (M) erfolgt.
  7. Optischer Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfänger (6) von einer Avalanche-Fotodiode gebildet ist.
  8. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 2–6, dadurch gekennzeichnet, dass die Mischung des Taktsignals und der Empfangssignale zur Generierung des Messsignals (M) in einem dem Empfänger (6) nachgeordneten Mischer (16) erfolgt.
  9. Optischer Sensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Empfänger (6) von einer PIN-Diode gebildet ist.
  10. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 6–9, dadurch gekennzeichnet, dass dem Empfänger (6) oder dem Mischer (16) ein Tiefpassfilter (13) nachgeordnet ist.
  11. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 2–10, dadurch gekennzeichnet, dass die Modulationseinheit mit dem ersten Frequenzgenerator (9) und der zweite Frequenzgenerator (10) aus digitalen Bauelementen bestehen.
  12. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 2–10, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenzgeneratoren (9, 10) an einen Oszillator (8) angeschlossen sind, und dass die Frequenzen (f1) und (f2) aus der im Oszillator (8) generierten Grundfrequenz (f0) abgeleitet sind.
  13. Optischer Sensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und zweite Frequenzgenerator (9, 10) jeweils wenigstens einen Teiler aufweisen, wobei mittels der Teiler die Frequenzen (f1) und (f2) aus der Grundfrequenz (f0) generiert werden.
  14. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 1–13, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswerteeinheit einen Analog-Digital-Wandler (14) und eine diesem nachgeordnete Rechnereinheit (15) aufweist.
  15. Optischer Sensor nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass mittels des Analog-Digital-Wandlers (14) eine Abtastung und Digitalisierung des Messsignals (M) und des Referenzsignals (R) erfolgt.
  16. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass der erste und zweite Frequenzgenerator (9, 10) sowie der Analog-Digital-Wandler (14) über Steuerleitungen (S1, S2) verbunden sind.
  17. Optischer Sensor nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass über eine erste Steuerleitung (S1) ein Frequenzsignal (fV) von dem ersten Frequenzgenerator (9) in den zweiten Frequenzgenerator (10) eingelesen wird, wobei das Frequenzsignal (fV) ein Triggersignal zur Generierung der Frequenz (f2) bildet.
  18. Optischer Sensor nach einem der Ansprüche 16 oder 17, dadurch gekennzeichnet, dass über eine zweite Steuerleitung (S2) ein Frequenzsignal (fA) von dem zweiten Frequenzgenerator (10) in den Analog-Digital-Wandler (14) eingelesen wird, wobei das Frequenzsignal (fA) ein Triggersignal für die Abtastung des Messsignals (M) und des Referenzsignals (R) bildet.
  19. Optischer Sensor nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenzsignale (fV) und (fA) aus der Grundfrequenz (f0) des Oszillators (8) abgeleitet sind.
  20. Optischer Sensor nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenzen (fV) und (fA) identisch sind.
  21. Optischer Sensor nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Frequenz (fA) ein ganzzahliges Vielfaches der Frequenz (fV) ist.
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