DE10345551A1 - Verfahren zum Charakterisieren einer Schicht - Google Patents

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Abstract

Ein Verfahren zum Charakterisieren einer Schicht (16), die in einer Mehrzahl von Bereichen (14) auf einem Substrat (10) angeordnet ist, wird an jedem einer Vielzahl von Messorten (22) je eine optische Messung ausführen, um je ein Messergebnis zu bestimmen, wobei das Messergebnis mit einer Schichtdicke auf dem Substrat (10) korreliert ist. Messergebnisse, die eine vorbestimmte Bedingung erfüllen, die für ein Messergebnis erfüllt ist, das an einem Messort (22) innerhalb einer der Mehrzahl von Bereichen (14) bestimmt wurde, werden ausgewählt. Die Schicht (16) wird anhand der ausgewählten Messergebnisse charakterisiert.
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