DE10323410A1

DE10323410A1 - Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten

Info

Publication number: DE10323410A1
Application number: DE10323410A
Authority: DE
Inventors: Bernd Dr. Wunderer; Klaus Thierauf; Norbert Dr. Holl; Dieter Stein
Original assignee: Giesecke and Devrient GmbH
Current assignee: Giesecke and Devrient GmbH
Priority date: 2003-05-23
Filing date: 2003-05-23
Publication date: 2004-12-09
Also published as: WO2004104947A2; EP1629440A2; US20070187579A1; DE502004008733D1; RU2005140061A; ATE418771T1; US7504632B2; RU2318240C2; EP1629440B1; WO2004104947A3

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten, welche die zu prüfenden Banknoten mittels eines Halbleiter-Arrays abtastet. DOLLAR A Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten weist zwei zeilenförmige Halbleiter-Arrays auf, die von mindestens drei Schichten gebildet werden, die für Licht unterschiedlicher Wellenlänge empfindlich sind, wobei ein erstes zeilenförmiges Halbleiter-Array die Banknoten in einem definierten Bereich der spektralen Empfindlichkeit des Siliziums (z. B. im sichtbaren Bereich) abtastet und ein zweites zeilenförmiges Halbleiter-Array die Banknoten in einem davon verschiedenen Bereich (z. B. des nicht sichtbaren infraroten Bereichs) abtastet. Aus den Signalen der beiden Arrays wird durch geeignete Kombination ein farbiges Abbild der Banknote und wenigstens ein Abbild im Bereich des nicht sichtbaren Lichts gewonnen. DOLLAR A Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist den Vorteil auf, dass sie einfach und kostengünstig zu realisieren ist und wegen der Vermeidung von Bildfehlern, die beispielsweise durch Parallaxenfehler verursacht werden können, gute Prüfungsergebnisse liefert.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten, welche die zu prüfenden Banknoten mittels eines Halbleiter-Arrays abtastet.
Eine derartige Vorrichtung ist beispielsweise aus der DE 195 17194 A1 bekannt. Bei der bekannten Vorrichtung ist ein CCD-Array vorgesehen, das von vier einzelnen, parallelen, zeilenförmigen CCD-Arrays, die in einem konstanten Abstand voneinander angeordnet sind, gebildet wird. Jedes der CCD-Arrays weist ein Filter mit einer bestimmten Filtercharakteristik auf, so dass ein CCD-Array den Bereich des blauen Lichts, ein CCD-Array den Bereich des grünen Lichts, ein CCD-Array den Bereich des roten Lichts und ein CCD-Array den Bereich des infraroten Lichts detektiert. Werden die zu prüfenden Banknoten an dem Sensor vorbei bewegt, werden von den zeilenförmigen CCD-Arrays Bildpunkte der jeweiligen Banknote erfasst und für die weitere Verarbeitung gespeichert. Da die Geschwindigkeit, mit der die Banknoten an den CCD-Arrays vorbei bewegt werden und der Abstand der CCD-Arrays voneinander bekannt ist, kann aus den gespeicherten Bildpunkten zeilenförmig ein Abbild der jeweiligen Banknote erzeugt werden. Mittels der CCD-Arrays für den blauen, grünen und roten Bereich des Lichts kann ein farbiges Abbild der Banknoten erzeugt werden, mittels des CCD-Arrays für den infraroten Bereich des Lichts kann ein Abbild normalerweise nicht sichtbarer Eigenschaften der Banknoten, z. B. von deren Druckfarben, erzeugt werden.
Die bekannte Vorrichtung weist jedoch den Nachteil auf, dass das verwendete CCD-Array aufwendig ist, da eine Vielzahl von Filtern verwendet werden muß, damit die einzelnen zeilenförmigen CCD-Arrays die gewünschten Farbbereiche detektieren können. Zudem können sich Probleme bei der Zusammensetzung des farbigen Abbilds der jeweiligen Banknote aus den Bild punkten des blauen, grünen und roten CCD-Arrays ergeben, da deren beabstandete Anordnung Parallaxenfehler hervorrufen kann, wenn der geometrische Abbildungsmaßstab und die Zeilenfrequenz nicht entsprechend angepasst sind. Insbesondere an Hell-Dunkelübergängen kann dies zu so genannten Moiré-Effekten führen.
Aus der US 5,965,875 ist ein Farbbildsensor bekannt, der von einem Halbleiter-Array gebildet wird, das drei hintereinander liegende Schichten aufweist, wobei jede der drei Schichten für einen bestimmten Lichtanteil empfindlich ist. Dabei wird die bekannte Eigenschaft von Silizium ausgenutzt, dass die Eindringtiefe des Lichts abhängig von der Wellenlänge des Lichts ist. Licht mit größerer Wellenlänge dringt tiefer in das Silizium ein, bevor es absorbiert wird. Somit ergibt sich von der Seite des Lichteintritts eine erste sehr dünne Schicht, die hauptsächlich blaues Licht detektiert, eine zweite dickere Schicht, die in erster Linie grünes Licht detektiert, und eine dritte Schicht, die rotes und infrarotes Licht detektiert. Da die für die unterschiedlichen Lichtbereiche empfindlichen Schichten, bzw. die jeweiligen Bildpunkte, hintereinander liegen, bilden sie immer den selben Bildpunkt der jeweils zu prüfenden Banknote ab. Probleme mit Parallaxenfehlern zwischen den drei Signalen können somit nicht mehr entstehen. Durch eine geeignete (meist lineare) Kombination der drei Signale jedes Bildpunkts erhält man dessen Blau-, Grün- und Rotsignale.
Der bekannte Farbsensor weist jedoch den Nachteil auf, dass nur drei Wellenlängenbereiche detektiert werden können, die im Empfindlichkeitsbereich des Siliziums von ca. 380 bis ca. 1100 nm liegen. Für Anwendungen in der Photographie wird der Sensor mit einem Infrarot-Blockfilter versehen, welches Wellenlängen über ca. 680 nm abschneidet. Insbesondere für die Prüfung von Banknoten wichtige Wellenlängenbereiche, die im nicht sichtbaren (infraroten) Bereich des Lichts liegen, können dann nicht detektiert werden.
Eine Erweiterung des bekannten Farbsensors um mindestens eine weitere Schicht, die beispielsweise der Detektion des infraroten Bereichs dient, ist prinzipiell vorstellbar und möglich, jedoch sind derartige Sensoren nicht frei verfügbar und müßten daher in ihrer Struktur erst entwickelt und als Sonderanfertigung produziert werden. Bei dem bekannten Aufwand im Bereich der Herstellung von Halbleiterprodukten sind derartige Sonderanfertigungen jedoch sehr aufwändig.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten anzugeben, welche die zu prüfenden Banknoten mittels eines derartigen Halbleiter-Arrays abtastet und die bei minimalem Aufwand alle erforderlichen Prüfungsergebnisse liefert.
Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.
Die Erfindung geht dabei aus von einer Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten, welche die zu prüfenden Banknoten mittels eines Halbleiter-Arrays abtastet, wobei das Halbleiter-Array von wenigstens zwei parallel beabstandeten, zeilenförmigen Halbleiter-Arrays gebildet wird und die Banknoten für die Prüfung an dem Halbleiter-Array vorbei bewegt und von einer Lichtquelle beleuchtet werden, bei der die zeilenförmigen Halbleiter-Arrays von mindestens drei Schichten gebildet werden, die für Licht unterschiedlicher Wellenlänge empfindlich sind, wobei ein erstes zeilenförmiges Halbleiter-Array die Banknoten in einem definierten spektralen Bereich des Lichts innerhalb der spektralen Empfindlichkeit des Halbleiters abtastet und ein zweites zeilenförmiges Halbleiter-Array die Banknoten in einem davon verschiedenen Bereich abtastet, wozu mindestens das zweite zeilenförmige Halbleiter-Array ein Filter aufweist.
Als Ausgestaltungen sind dabei drei Fälle unterscheidbar. Im ersten Fall weist das erste Halbleiter-Array kein Filter auf, das zweite ein Filter, das ausschließlich nicht sichtbares Licht passieren läßt. Im zweiten Fall weist das erste Halbleiter-Array kein Filter auf, das zweite ein Filter, das nicht sichtbares Licht blockiert. Im dritten Fall weist das erste Halbleiter-Array ein Filter auf, das nicht sichtbares Licht blockiert, das zweite ein Filter, welches ausschließlich nicht sichtbares Licht passieren lässt.
In allen drei Fällen ist es möglich, durch eine geeignete, im einfachsten Fall lineare Kombination der sechs Signale der beiden Halbleiter-Arrays die vier erforderlichen Signale, das heißt drei Farbsignale und ein Signal für den nicht sichtbaren Bereich, zu gewinnen.
Für den ersten und dritten Fall ist es als Erweiterung denkbar, dass das vom Filter durchgelassene nicht sichtbare Licht neben dem infraroten auch den ultravioletten Anteil des Spektrums unterhalb ca. 390 nm umfasst. Dieser wird wegen der extrem kurzen Eindringtiefe des ultravioletten Lichts in den Halbleiter des Arrays ausschließlich zum Signal der obersten Schicht des Arrays beitragen. Das Infrarot-Signal der obersten Schicht kann bei Blockierung des sichtbaren Anteils des Spektrums (zwischen etwa 390 und 700 nm) aus dem Signal der beiden darunter liegenden Schichten abgeleitet werden und mit geeignetem, durch das Empfindlichkeits- und das Beleuchtungsspektrum definierten, Gewicht zur Korrektur des Signals der ersten Schicht herangezogen werden, so dass das Signal im ultravioletten Bereich zusätzlich als fünftes gewonnen werden kann.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist den Vorteil auf, dass sie mit vorhandener Technologie einfach und kostengünstig zu realisieren ist und wegen der Reduzierung von Bildfehlern, die beispielsweise durch Parallaxenfehler verursacht werden können, gute Prüfungsergebnisse liefert. Insbeson dere die Herstellung der Filter wird stark vereinfacht; sie können zum Teil sogar als organische Kunststoff-Filter ausgebildet werden und z.B. durch so genanntes Spin-Coating direkt auf dem Substrat der Detektorarrays aufgebracht werden.
Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Vorrichtung ist es vorgesehen, dass eine Steuer- und Auswerteeinrichtung vorhanden ist, welche Signale des Halbleiter-Arrays verarbeitet und auswertet, um aus den Signalen der Schichten der beiden zeilenförmigen Halbleiter-Arrays ein farbiges Abbild und ein Abbild im Bereich des nicht sichtbaren Lichts für jede zu überprüfende Banknote zu erzeugen.
Die Funktion der Steuer- und Auswerteeinrichtung für die drei oben beschriebenen Fälle ergibt sich dann wie folgt.
Im ersten Fall liefert das erste Array Signale aus dem gesamten Spektrum, das zweite nur aus dem nicht sichtbaren Bereich. Hier können die drei Signale des zweiten Arrays einfach summiert werden. Sie liefern dann das Abbild im nicht sichtbaren Bereich. Dieses wird mit geeigneten Gewichten zur Korrektur der Farbsignale im sichtbaren Bereich des Spektrums herangezogen.
Im zweiten Fall liefert das erste Array Signale aus dem gesamten Spektrum, das zweite nur Signale aus dem sichtbaren Bereich. Diese können ohne weitere Korrektur direkt verwendet werden. Das Abbild im nicht sichtbaren Bereich wird aus den Signalen des ersten Arrays gewonnen, indem dessen Signale um die entsprechenden Signale des zweiten Arrays vermindert und dann summiert werden.
Im dritten Fall sind beide Arrays mit Filtern versehen, deren Durchlassbereiche sich gegenseitig ausschließen, so daß das erste Array das farbige, das zweite Array durch Summieren das nicht sichtbare Abbild liefert.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist insbesondere den Vorteil auf, dass die geringere Empfindlichkeit von Halbleiter-Arrays im nicht sichtbaren Bereich durch das Summieren der Signale der drei Schichten verbessert wird, wodurch bessere Prüfergebnisse erzielt werden können.
Weitere Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der beigefügten Figuren näher erläutert und beschrieben.
Es zeigt:
1 eine schematische Ansicht einer Vorrichtung zur Prüfung von Banknoten, welche die zu prüfenden Banknoten mittels eines Halbleiter-Arrays 4, 5 abtastet,
2 eine weitere schematische Ansicht der Vorrichtung nach 1, aus einem anderen Blickwinkel, und
3 eine Darstellung der spektralen Empfindlichkeiten der drei Schichten eines Halbleiter-Arrays nach 1, für Schichtdicken, die eine annähernd gleiche Empfindlichkeit für die drei Schichten ergeben.
Die in 1 gezeigte Vorrichtung 1 zur Prüfung von Banknoten BN weist ein Halbleiter-Array 4, 5 auf, mit dem die zu prüfenden Banknoten BN abgetastet werden, wenn sie von einer nicht dargestellten Transporteinrichtung in Transportrichtung T an dem Halbleiter-Array 4, 5 vorbei bewegt wird. Das Halbleiter-Array 4, 5 besteht aus zwei parallelen, zeilenförmigen Arrays 4 und 5, die drei hintereinander liegende Schichten b, g, r aufweisen, die für Licht unterschiedlicher Wellenlängen empfindlich sind. Die zeilenförmigen Arrays 4, 5 können getrennte Bauteile sein, sie können aber auch auf einem ein einzigen Bauteil angeordnet sein, insbesondere auf einem einzigen Halbleitersubstrat. Die Halbleiter-Arrays 4, 5 können z. B. aus Silizium bestehen und in CMOS-Technologie aufgebaut sein.
Die Empfindlichkeit der Schichten b, g, r ist in 3 dargestellt. Die oberste Schicht b ist für blaues Licht, die mittlere Schicht g ist für grünes Licht und die unterste Schicht r ist für rotes Licht maximal empfindlich. Die genauen Zusammenhänge derartiger, schichtförmig aufgebauter CMOS-Arrays können beispielsweise der eingangs erwähnten US 5,965,875 entnommen werden. Die Schichtdicken weisen unterschiedliche Stärken auf, so dass sich entsprechend der wellenlängenabhängigen Absorption des Siliziums eine etwa gleiche Empfindlichkeit für die drei Sichten b, g, r ergibt.
Eine Lichtquelle 2 beleuchtet die zu prüfende Banknote BN. Mittels einer Blende 3 oder einer geeigneten Optik wird ein beleuchteter Bereich auf der Banknote BN erzeugt, der etwa dem Bild des CMOS-Arrays 4, 5 entspricht. Dabei umfallt das Licht der Lichtquelle 2 Wellenlängenbereiche, die für die Prüfung der Banknote BN benötigt werden, insbesondere also den Bereich des sichtbaren Lichts sowie den Bereich des infraroten bzw. ultravioletten Lichts. Bevorzugt ist die Intensität der Lichtquelle 2 über den gesamten relevanten Wellenlängenbereich gleich oder der spektrale Verlauf der Intensität der Lichtquelle 2 ist an den Verlauf der Gesamt-Empfindlichkeit des CMOS-Arrays angepaßt, wie dies z. B. in der nicht vorveröffentlichten deutschen Patentanmeldung 10239225.0 der Anmelderin beschrieben ist.
Mit den zeilenförmigen CMOS-Arrays 4, 5 wird die Banknote BN über ihre gesamte Breite, wie in 2 dargestellt, bildpunktweise abgetastet. Erfolgt die Abtastung synchron zur Transportgeschwindigkeit der Banknote BN, kann ein vollständiges farbiges und infrarotes Abbild der Banknote BN erzeugt werden. Hinsichtlich der dazu erforderlichen Vorgehensweise, insbe sondere zur Synchronisation auf die Transportgeschwindigkeit der Banknoten BN, wird auf die eingangs erwähnte DE 19517194 A1 verwiesen.
Mittels der Signale des ersten zeilenförmigen CMOS-Arrays 4 wird in der bevorzugten Anordnung das farbige Abbild der Banknote BN von einer Steuer- und Auswerteeinrichtung 7 erzeugt. Dazu liegen an der Steuer- und Auswerteeinrichtung 7 die Signale der blauen Schicht b, der grünen Schicht g und der roten Schicht r der jeweiligen Bildpurkte des CMOS-Arrays 4 an, um ein Komponentenfarbbild zu erzeugen (z. B. RGB). Vor dem Array 4 kann ein Filter angebracht sein, welches das Licht längerer (infraroter) Wellenlängen blockiert. Dann ist keine Korrektur mit den Signalen des Arrays 2 erforderlich. Diese muss nur vorgenommen werden, wenn das Filter fehlt und das Array 4 auch im nicht sichtbaren Bereich empfindlich ist.
Mittels der Signale des zweiten zeilenförmigen CMOS-Arrays 5 wird das infrarote Abbild der Banknote BN von der Steuer- und Auswerteeinrichtung 7 erzeugt. Dazu ist ein Filter 6 vor dem CMOS-Array 5 vorgesehen, welches nur den infraroten Bereich des Lichts, z. B. mit einer Wellenlänge größer 850 nm, passieren läßt. Die Signale der blauen Schicht b, der grünen Schicht g und der roten Schicht r der jeweiligen Bildpunkte des CMOS-Arrays 5 liegen an der Steuer- und Auswerteeinrichtung 7, welche die Signale auswertet und zu dem infraroten Abbild zusammensetzt. Besonders vorteilhaft ist es, wenn dazu die Signale der blauen, grünen und roten Schichten b, g, und r des CMOS-Arrays 5 von der Steuer- und Auswerteeinrichtung 7 summiert werden. Diese Vorgehensweise bieten den Vorteil, dass die geringere Empfindlichkeit von CMOS-Arrays im infraroten Bereich (siehe 3), z. B. in einem Wellenlängenbereich größer 850 nm, durch das Summieren der Signale der drei Schichten b, g, r verbessert wird. Wegen der geringeren Schichtdicken der Schichten b und g trägt jedoch die Schicht r den Hauptanteil zum infraroten Signals bei.
Neben der oben anhand des in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiels sind vielfältige Variationen und Abwandlungen des Beschriebenen möglich.
Beispielsweise kann es vorgesehen sein, dass der Austand zwischen den beiden CMOS-Arrays 4 und 5 möglichst gering gewählt wird. Dadurch kann erreicht werden, dass das vom CMOS-Array 4 stammende farbige Abbild und das vom CMOS-Array 5 stammende infrarote Abbild nahezu ohne Parallaxenfehler erzeugt werden können. Das in der Vorrichtung 1 verwendete CMOS-Array kann dazu aus einzelen zeilenförmigen CMOS-Arrays aufgebaut sein, es kann aber auch ein CMOS-Array verwendet werden, das die benötigten Zeilen auf einem gemeinsamen Substrat zur Verfügung stellt.
Ebenso kann es vorgesehen sein, dass eine Blende oder Optik auch vor dem CMOS-Array 4, 5 vorgesehen wird, um bestimmte Abbildungseigenschaften zu realisieren.
Als weitere Variante ist es möglich, andere nicht sichtbare Bereiche des Lichts mit der Vorrichtung 1 zu überprüfen. Dazu kann es vorgesehen sein, dass das Filter 6 z. B. durch ein Filter ersetzt wird, das nur oder zusätzlich kurzwelliges Licht, z. B. UV-Licht, passieren läßt. Ebenso kann zusätzlich zu den beiden CMOS-Arrays 4 und 5 ein weiteres, mit einem entsprechenden Filter versehenes, drittes CMOS-Array verwendet werden.
Es ist offensichtlich, dass statt der beschriebenen Überprüfung der Banknoten BN durch die Vorrichtung 1 mit durch die Banknoten BN transmittiertem Licht die Vorrichtung 1 auch so ausgestaltet werden kann, dass statt dessen oder zusätzlich von den Banknoten BN reflektiertes Licht ausgewertet wird, wozu das CMOS-Array 4, 5 und die Lichtquelle 2 auf einer Seite der Banknote BN angeordnet sind.
Ebenso ist es offensichtlich, dass statt des in den Figuren dargestellten Transports der Banknoten BN entlang ihrer Längsseiten, auch ein Transport entlang der kurzen Seiten der Banknoten BN erfolgen kann. In diesem Fall ist die Abmessung des CMOS-Arrays 4, 5 und der Lichtquelle 2 bzw. deren Blende 3 oder eventuell vorhandener Optiken entsprechend anzupassen.

Claims

Vorrichtung (1) zur Prüfung von Banknoten (BN), welche die zu prüfenden Banknoten (BN) mittels eines Halbleiter-Arrays (4, 5) abtastet, wobei das Halbleiter-Array (4, 5) von wenigstens zwei parallel beabstandeten, zeilenförmigen Halbleiter-Arrays (4, 5) gebildet wird und die Banknoten (BN) für die Prüfung an dem Halbleiter-Array (4, 5) vorbei bewegt und von einer Lichtquelle (2) beleuchtet werden, dadurch gekennzeichnet, dass die zeilenförmigen Halbleiter-Arrays (4, 5) von mindestens drei Schichten (b, g, r) gebildet werden, die für Licht unterschiedlicher Wellenlängen maximal empfindlich sind, wobei ein erstes zeilenförmiges Halbleiter-Array (4) die Banknoten (BN) in einem definierten Bereich der Empfindlichkeit des Siliziums und ein zweites zeilenförmiges Halbleiter-Array (5) die Banknoten (BN) in einem davon verschiedenen Bereich des Empfindlichkeitsspektrums abtastet, wozu mindestens das zweite zeilenförmige Halbleiter-Array (5) ein Filter (6) aufweist, das nur einen Teil des Spektrums passieren läßt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Halbleiter-Array (4) für das gesamte Spektrum empfindlich ist und das zweite Halbleiter-Array (5) mit einem Filter versehen ist, das nur den nicht sichtbaren Anteil des Spektrums passieren lässt.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Halbleiter-Array (4) für das gesamte Spektrum empfindlich ist und das zweite Halbleiter-Array (5) mit einem Filter versehen ist, das nur den sichtbaren Teil des Spektrums passieren lässt, den nicht sichtbaren aber blockiert.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Halbleiter-Array (4) mit einem Filter versehen ist, das nur den sichtbaren Teil des Spektrums passieren lässt, und das zweite Halbleiter-Array (5) mit einem Filter versehen ist, das nur einen nicht sichtbaren Teil des Spektrums passieren lässt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das nicht sichtbare Licht im infraroten Bereich des Spektrums liegt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass das nicht sichtbare Licht im ultravioletten Bereich des Spektrums liegt.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Steuer- und Auswerteeinrichtung (7) vorhanden ist, welche Signale der beiden Halbleiter-Arrays (4, 5) verarbeitet und auswertet, um aus den Signalen der Schichten (b, g, r) der beiden zeilenförmigen Halbleiter-Arrays (4,5) durch eine Kombination der Signale ein dreifarbiges Abbild und wenigstens ein Abbild im Bereich des nicht sichtbaren Lichts für jede zu überprüfende Banknote (BN) zu erzeugen.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiter-Array (4, 5) und die Lichtquelle (2) auf der gleichen und/oder auf unterschiedlichen Seiten der Banknote (BN) angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass sich die beiden zeilenförmigen Halbleiter-Arrays (4, 5) auf einem einzigen Substrat befinden.
Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Halbleiter-Arrays (4, 5) aus Silizium bestehen.