DE10323030A1 - Kapazitiver Sensor - Google Patents

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DE10323030A1 DE2003123030 DE10323030A DE10323030A1 DE 10323030 A1 DE10323030 A1 DE 10323030A1 DE 2003123030 DE2003123030 DE 2003123030 DE 10323030 A DE10323030 A DE 10323030A DE 10323030 A1 DE10323030 A1 DE 10323030A1
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    • H03K2217/960755Constructional details of capacitive touch and proximity switches
    • H03K2217/960775Emitter-receiver or "fringe" type detection, i.e. one or more field emitting electrodes and corresponding one or more receiving electrodes

Abstract

Kapazitive Erfassung von Messgrößen, die die Kapazität in einem Messraum beeinflussen, unter Messung der zwischen zwei Elektroden auftretenden kapazitiven Kopplung, gekennzeichnet dadurch, dass mit einer Wechselspannungs-beaufschlagten Sendeelektrode ein elektrisches Wechselfeld im Messraum erzeugt wird und ein durch das elektrische Feld in einer Empfangs-Elektrode bewirkter Verschiebungsstrom in einer Messschaltung gemessen wird. DOLLAR A Ferner, dass die Ankopplung der Sendeelektrode an die Wechselspannung sowie die Ankopplung der Empfangs-Elektrode an die Messschaltung mit wesentlich geringerer (niederohmigerer) Impedanz erfolgt als es dem kapazitiven Scheinwiderstand der Elektroden inclusive deren Zuleitungen entspricht. Mehrere Sende- und/oder mehrere Empfangs-Elektroden sind möglich, und mehrere Kopplungsgrade können unabhängig voneinander gemessen werden. DOLLAR A Mögliche Messgrößen sind Elektroden-Abstände, die Raumposition eines mit Elektrode ausgestatteten Gegenstandes, die Größe, Position oder Dielektrizitätskonstante eines zwischen den Elektroden befindlichen Objektes oder die Erkennung der Anwesenheit eines solchen Objektes.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren und entsprechende Vorrichtungen zur kapazitiven Abtastung von Messgrößen, die die Kapazität zwischen zwei Elektroden beeinflussen. Solchen Messgrößen sind z.B. der Abstand zwischen beiden Elektroden, die Position eines mit Elektrode ausgestatteten Gegenstandes (zur Ortung desselben), die Größe oder Position eines zwischen den Elektroden befindlichen Objektes, die Dielektrizitätskonstante eines solchen Objektes, wenn es sich in einem Messraum zwischen den Elektroden befindet, oder auch die Erkennung der Anwesenheit eines solchen Objektes. Entsprechende Geräte finden Anwendung etwa zur Kontrolle der Position von Maschinenteilen, als Endschalter, zur Zählung oder zur Abstandsmessung.
  • Bekannt sind kapazitive Näherungsschalter, bei denen mittels einer Elektrode ein elektrisches Wechselfeld erzeugt wird, wobei die Annäherung eines beliebigen Körpers an die Elektrode gemessen werden kann durch die Erhöhung der an der Elektrode auftretenden elektrischen Kapazität. Diese Kapazitätsmessung erfolgt gegenüber dem festem Bezugspotenzial (Masse) und reagiert daher auf jeden Gegenstand, der sich in der Umgebung befindet und das Feld beeinflusst; es wird stets die Kapazität zwischen der Elektrode und der Umgebung gemessen. Die Anordnung erzeugt, bezüglich der beiden Enden der Feldlinien, eine unsymmetrische Feldverteilung, da die Feldlinien an ihrem einem Ende in der Elektrode münden und am anderen Ende in der Umgebung, welche unter anderem auch das Messobjekt beinhaltet. Erkannt wird dementsprechend eine einseitige Annäherung aus der Umgebung zu dieser Elektrode. Wenn solche Geräte zur Messung eines Abstandes verwendet werden, können sie daher bei Annäherung verschiedenster Fremd-Gegenstände gestört werden. Außerdem ist der Empfindlichkeits-Bereich nicht gerichtet, d.h. die Beeinflussung kann aus verschiedensten Richtungen erfolgen. Diese Rundum-Charakteristik ist umso ausgeprägter, je größer die Tastweite ist, da sich das elektrische Fern-Feld von einer einzelnen Elektrode ausgehend naturgemäß kugelförmig ausbildet. Das ist nachteilig, wenn größere Abstände gemessen werden sollen. Ein weiterer Nachteil ist, dass mehrere nahe nebeneinander angeordnete Näherungsschalter sich gegenseitig stören können.
  • DE 3616390 beschreibt eine Vorrichtung zu berührungslosen Abstandsmessung mit Messung der Kapazität zwischen jeweils mehreren Elektroden und einem Messobjekt, bei dem die an verschiedenen Elektroden benutzten Frequenz sich unterscheidet, um mehrere parallele Messungen zu erhalten, die nicht voneinander beeinflusst werden. Dies erfordert jedoch eine spezielle Kopplung aller verwendeten Elektroden untereinander. Es erfolgt ebenso wie die eingangs beschrieben eine Messung gegenüber Masse-Potential.
  • EP 6572368 beschreibt eine Anordnung von Meßsensoren mit einer Vielzahl empfindlicher Flächen und einer phasendiskriminierenden Auswertschaltung, wobei durch Verwendung eines gemeinsamen Oszillators Störeinstreuungen zwischen den einzelnen Teilflächen vermieden werden.
  • DE 3242621 A1 beschreibt einen kapazitiven Abstandsmesser, bei dem mit einer Sendeelektrode und einer Empfangselektrode ein kapazitiver Spannungsteiler aufgebaut wird, der die Annäherung von Objekten durch Beweinflussung des Feldes erkennt, wobei eine Abschwächung der kapaztiven Kopplung zwischen den Elektroden erfolgt. Auch hier erfolgt die Messung gegenüber einem Gegenstand, der Erdpotential aufweist.
  • DD 222806 A1 beschreibt eine kapazitiven Abstandsmessung zwischen einem Bearbeitungswerkzeug und Werkstück mit zwei in festen Abstand voneinander montierten Elektroden (Mess-Elektrode und Hilfs-Elektrode), wobei die Kapazitäten zwischen Mess-Elektrode und Werkstück sowie zwischen Hilfs-Elektrode und Werkstück als Quotient zur Abstands-Steuerung ausgewertet werden. Auch hier erfolgt die Messung jeweils gegenüber dem Werkstück, welches Masse-Potenzial aufweist.
  • WO 99/28702 beschreibt einen kapazitiven Näherungsschalter mit einer Fühler-Elektrode und einer Schirm-Elektrode, bei der in einer Auswertschaltung ein Transistor derart verschaltet ist, dass eine Spannungsdifferenz zwischen Schirm-Elektrode und Fühler-Elektrode minimiert wird. Bei dieser Abschirmung handelt es sich jedoch nicht um ein Erdpotential, sondern ein mitgeführtes Schirm-Potenzial (Wächter). Ein ähnliches Prinzip liegt EP 0723166 zugrunde.
  • Den obigen Verfahren gemeinsam ist die Messung gegenüber Gegenständen, welche annähernd Erdpotentzial aufweisen, wobei die eingangs beschriebenen Nachteile auftreten.
  • DE 4009977 A1 beschreibt eine kapazitive Einrichtung zum Messen von Längen oder Winkeln mittels Verschiebung zweier parallel angeordneter Elektrodenflächen, wobei eine Elektrodenfläche eine Anzahl nebeneinander liegender Sende-Elektroden aufweist und in Bezug zu einer anderen Elektrode (Empfangselektrode) verschiebbar ist. Ein Impulsgeber beaufschlagt die verschiedenen Sendeelektroden mit in ihrer Phasenlage gegenseitig verschobenen Signalen. Somit kann aus dem empfangenen Phasenlage die relative Position bzw. Verschiebung ermittelt werden.
  • Ein entsprechendes Grundprinzip ist auch in DE 33040782 und GB 2118720 A beschrieben, wobei die Phasenlage hier zur Ermittlung eines Winkels herangezogen wird (Winkelgeber).
  • DD 242083 A1 beschreibt eine kapazitive Abstandsmessung, bei der auf einer Leiterplatte eine flächige Elektrode und Gegen-Elektrode aufgebracht sind und die Verschiebung eines Objektes aufgrund einer resultierenden Kapazitätsänderung gemessen wird.
  • Die letzteren Verfahren sind stark auf die jeweilige Anwendung eingeschränkt. Die Verfahren, bei denen unter mehreren Sendeelektroden eine Unterscheidung durch Phasenmessung vorgenommen wird, ermöglichen zudem keine scharfe Trennung der Teil-Signale, die von den einzelnen benachbarten Sendeelektroden stammen, d.h. es ergibt sich eine "unscharfe" Kanaltrennung. Dies ist ausreichend bei Anwendungen, bei denen wie beschrieben die Elektroden aneinander angereiht bzw. angrenzend liegen, wie etwa zur Winkelmessung oder Verschiebungsmessung, nicht jedoch für allgemeine Anwendungen, etwa zur Abstandsmessung im freien Raum, da die starken Kapazitätsunterschiede bzw. Signalpegel-Unterschiede, die allgemein auftreten können, nicht sauber getrennt werden können.
  • Ziel der vorliegenden Erfindung ist ein für mehrere verschiedene Einsatzbereiche universell verwendbares kapazitives Mess-Verfahren mit zwei Elektroden, das wesentlich unempfindlicher auf Störungen der beschriebenen Art reagiert.
  • Hierzu sind die kennzeichnenden Teile des Hauptanspruchs vorgesehen.
  • Da die Kapazität nicht gegenüber Masse (Erdpotential) gemessen wird, sondern selektiv zwischen zwei Elektroden, sind die Möglichkeiten der Störung geringer. Bei einer Messung des Abstandes zwischen beiden Elektroden sind erheblich größere Abstände möglich als nach der bekannten Art der einer einseitigen Messung zwischen einer Elektrode und einem von der Umgebung geerdeten Körper. Beide zu messenden Teile werden hierzu mit einer Elektrode ausgestattet. Die Zuführungs-Leitung kann flexibel sein. Da sich das elektrische Feld in erster Linie im Raum zwischen den Elektroden aufbaut, ergibt sich eine Richtwirkung, die besser ist als die der üblichen kapazitiven Näherungsschalter. Andere Gegenstände, die nicht mit einer Elektrode ausgestattet sind, beeinflussen das elektrische Feld nur dann, wenn sie sich dem Zwischenraum zwischen beiden Elektroden nähern. Daher resultiert einerseits eine geringere Störanfälligkeit durch Fremdobjekte. Andererseits kann das Verfahren auch dazu verwendet werden, um die Anwesenheit, Position oder Größe von Gegenständen zu messen, welche in einen zwischen den Elektroden definierten Meßraum eingeführt werden. In diesem Fall können sowohl Sende-Elektrode als auch Empfangs-Elektrode fest montiert werden.
  • Weiteres erfindungsgemäßes Merkmal einer Ausführung besteht darin, dass sowohl die Ankopplung der Sendeelektrode an die Wechselspannung als auch die Ankopplung der Empfangs Elektrode an die Meßschaltung wesentlich niederohmiger erfolgen, als es dem kapazitiven Scheinwiderstand der Elektroden entspricht. Der auftretende Scheinwiderstand der Elektroden kann mehrere Kapazitäten beinhalten: die Kapazität der Zuleitungen zu den Elektroden, deren rückseitige Befestigung sowie die Kapazitäten zu allen Fremdgegenständen, die in der Nähe oder im Raum hinter den Elektroden liegen. Indem die Ankopplungen niederohmiger gemacht werden, wird erreicht, dass zwischen Elektrode und Erdpotenzial auftretende kapazitive Lasten die Messung nicht wesentlich beeinflussen.
  • Wenn sich die Kapazität der Sendeelektrode verändert, hervorgerufen zum Beispiel durch die Länge der Zuführungsleitung, oder durch die Annäherung eines Fremdkörpers an die Elektrode, oder durch die Kapazität der rückseitige Befestigung der Elektrode an einem Objekt, dann wird die Messung nicht beeinflusst, da die Oszillator-Spannung konstant bleibt. Es verändern sich zwar die vom Osziliator abgegebenen Ströme, diese spielen aber bei der Messung, im Unterschied zu gewöhnlichen kapazitiven Näherungsschaltern, keine Rolle.
  • Wenn sich umgekehrt die Kapazität der Empfangselektrode verändert, etwa durch die gleichen beschriebenen Einflüsse, dann bleibt dies ebenso ohne Einfluss auf die Messung, da die niederohmige Impedanz am Eingang der Meßschaltung verhindert, dass zwischen Empfangs- Elektrode und Massepotenzial elektrische Spannungen überhaupt in der Größenordnung auftreten können, die erforderlich wären, dass störende Kapazitäts-Änderungen an der Empfangselektrode oder ihrer Zuführung einem Einfluss hätten. Mangels elektrischer Spannung kann an den störbaren Zonen auch kein wesentliches elektrisches Feld entstehen.
  • Um eingangsseitig die gewünschte niederohmige Impedanz zu erreichen, genügt z.B. ein in Basis-Schaltung betriebener Transistor am Eingang, oder ein niederohmiger Lastwiderstand parallel zum Eingang. In einem Ausführungsbeispiel ist ein Eingangsversärker mit einer so hohen Spannungsverstärkung vorgesehen, dass die zur Erkennung erforderliche Eingagsspannung sehr klein ist. Zusätzlich wird dieser Eingang durch ein als Shunt parallelgeschaltetes variables Impedanzglied belastet, so dass sich verschiedene Empfindlichkeiten einstellen lassen. Die hohe Empfindlichkeit kann dabei auf den zur Anwendung passenden Wert heruntergestellt werden bei gleichzeitiger Verminderung der Eingangs-Impedanz.
  • Obgleich Senderelektrode und Empfangselektrode schaltungstechnisch eine verschiedene Rolle spielen, ist das Mess-Resultat symmetrisch bezüglich beider Elektroden-Arten. Die Feldlinien verlaufen von der Sendeelektrode zwar nicht ausschließlich in die Empfangselektrode, sondern münden möglicherweise auch in andere geerdete Objekte der Umgebung; da aber ausschließlich der Anteil derjenigen Feldlinien einen Einfluss auf das Messergebnis hat, der in die Empfangselektrode mündet, wird stets die kapazitive Kopplung zwischen beiden Elektroden gemessen. Diese verhält sich symmetrisch bezüglich der Elektroden-Art Sender und Empfänger. Würde man Sender und Empfänger an den Anschlüssen vertauschen, so bliebe das Messergebnis das gleiche. Der Anwender kann beide Elektroden gleichartig verwenden. Dieser Sachverhalt verdeutlicht auch eine der Besonderheiten der vorliegenden Erfindung sowie den Effekt der Eingrenzung des durch das Elektroden-Paar definierten Messraumes gegenüber einem herkömmlichen Näherungsschalter.
  • Die Auswertung der Amplitude des Empfangssignals kann mithilfe eines getakteten Gleichrichters erfolgen, der vom Sendesignal getaktet wird. Hierdurch wird erreicht, dass vom empfangenen Signal nur derjenige Anteil gemessen wird, der mit Frequenz und Phase exakt mit dem gesendeten übereinstimmt, sodass eine höhe Störselektion erzielt wird. Weiterhin kann der Oszillator ein nicht-periodisches Signal abgeben. Die Eigenschaft der nicht-Periodizität kann auf einfache Weise etwa dadurch erreicht werden, dass man die Phasendauer eines rechteckförmigen Signals unregelmäßig variieren lässt, etwa durch Zufallsgenerierung. Es ergibt sich der Vorteil, dass Störeinstreuungen durch periodische Vorgänge, etwa durch fremde Oszillatoren oder durch benachbarte andere kapazitive Messvorrichtungen, ausgemittelt werden und Aliasing-Effekte vermieden werden. In Zusammenhang mit der beschriebenen getakteten Auswertung erfolgt dann auch diese unperiodisch, wodurch eine besonders gute Immunität gegenüber Fremdeinstreuungen erreicht wird. Die Variierung der Periodendauer kann innerhalb vorgegebenener Grenzen erfolgen, sodass eine quasi-kontinuierliche Messung möglich ist.
  • Es können mehrere Sende-Elektroden vorgesehen werden. Die kapazitive Kopplung von jeder der Sendeelektroden kann separat erkannt werden. Hierzu können deren Sendesignale verschieden markiert werden und aus dem empfangenen Signal die Anteile der verschiedenen Sendesignale in einer für die Sendesignale selektiven Erkennungsschaltung unterschieden werden. Eine solche Markierung und Erkennung kann erfolgen, indem die verschiedenen Sendeeletroden ihre Signale innerhalb einer Abfolge zu verschieden definierten Zeitpunkten abgeben und die empfangene Signalfolge entsprechend dieser Zeiten nach dem Multiplexing-Verfahren zeitselektiv ausgewertet bzw. abgefragt wird.
  • Die Abfolge kann z.B. eine fortlaufend wiederholte serielle Folge sein. Die Folge kann sowohl bezüglich ihrer Wiederholung als auch bezüglich ihres Ablaufes regelmäßig oder unregelmäßig sein. Eine unregelmäßige Folge kann die oben beschriebenen Vorteile der Störsicherheit aufweisen.
  • Das Sendesignal kann mithilfe eines gemeinsamen Oszillators erzeugt werden und der Reihe nach an mehrere Sendeelektroden geschaltet werden. Pro Sendeelektrode kann soviel Zeit vorgesehen sein, dass jede Elektrode ein Pulk bzw. Wellenpaket überträgt, das aus einer Vielzahl aufeinanderfolgender zusammenhängender Oszillator-Takte besteht. Alternativ kann in kürzeren Zeitabständen, etwa nach jedem Takt oder Halbtakt des Oszillators, auf die folgende Elektrode durchgeschaltet werden. Die erstere Methode hat den Vorteil, dass eine sehr hohe Signaltrennung zwischen den einzelnen Kanälen möglich wird.
  • Weiterhin können mehrere Empfangs-Elektroden vorgesehen werden. Für jede Empfänger-Elektrode kann eine eigene Auswertschaltung vorgesehen sein. Alternativ kann auch eine gemeinsame Auswertschaltung für mehrere Empfangselektroden verwendet werden, wobei der Eingang der gemeinsamen Auswertschaltung in einer zeitlichen Abfolge an verschiedene Empfangselektroden gekoppelt wird, wozu ebenfalls eine Zeitmultiplex-Schaltung verwendet werden kann.
  • Indem sowohl mehrere Empfänger als auch mehrere Sender vorgesehen werden, kann separat die kapazitive Kopplung von jedem Sender zu jedem Empfänger gemessen werden. Es lassen sich also eine Vielzahl von Messwerten gewinnen. Die Messwerte lassen sich als Matrix auffassen, welche die kapazitiven Kopplungen der Elektroden zueinander anzeigt und somit etwa die Abstände der Elektroden untereinander.
  • Auch hier kann durch Umschaltung der Eingangsschaltung an mehrere Empfangselektroden erreicht werden, dass nur eine gemeinsame Empfangsschaltung verwendet werden muss, was den Aufwand erheblich reduziert. Die Taktung des Zeit-Multiplexing für die Sender und die Empfänger kann hierzu miteinander kombiniert werden, etwa indem die entsprechenden Umschalt-Takte miteinander verschachtelt werden. Ferner lässt sich eine gegebene Elektrode in zeitlicher Abfolge wechselnd sowohl als Sender als auch als Empfänger betreiben, indem ihre Zuführung über einen entsprechenden elektronisch gesteuerten Schalter zwischen Ausgang und Eingang umgeschaltet wird. Hierdurch ist eine Matrizierung möglich, die es erlaubt, zwischen beliebigen Elektroden, also auch kettenweise, die Kopplungen zu messen.
  • Die Zuführung zu Elektroden kann über geschirmte flexible Leitung erfolgen. Die Elektroden können aufgebaut sein mit einem isolierenden Träger und einer leitenden Oberfläche. die Elektroden können zum Aufkleben auf einen zu messenden Gegenstand eingerichtet sein.
  • 1 zeigt Blocksschaltbild einer entsprechenden Vorrichtung in einem ersten Ausführungsbeispiel Der Rechteck-Oszillator 11 gibt sein Signal an den Multiplexer 12. An dessen vier Ausgängen sind über die abgeschirmten Leitungen 17a–17d die vier Elektroden 18a–18d verbunden. Zu jedem Zeitpunkt ist jeweils eine der Elektroden an den Oszillator 11 gekoppelt. Um für die jeweils abgeschalteten Elektroden eine niederohmige Anpassung auf Nullpotential zu erreichen, werden die Leitungen zusätzlich über die parallelgeschalteten Kondensatoren 16a–16d belastet. Aus dem Takt des Oszillators 11 wird über die Frequenzteiler 14 und 15 das Adresßsignal erzeugt, welches zur Steuerung des Multiplexers 12 dient. Die Empfangs-Elektrode 21 ist über das abgeschirmte Kabel 22 (dessen Schirm, ebenso wie bei den Sende-Kabeln, am Massepotenial geerdet ist) mit dem Eingang des Spannungs Verstärkers 26 verbunden. Parallel dazu liegen die beiden Dioden 23 und 24. Sie dienen als variable Widerstände, deren Impedanz durch den die Dioden durchfließenden Gleichstrom festgelegt ist. Dieser wird durch die Steuerspannung 25 festgelegt, und kann zur Einstellung der Empfindlichkeit dienen. Das in 26 verstärkte Empfangssignal wird durch einen getakteten Gleichrichter, der aus Koppelkondensator 27 und Umschalter 28 aufgebaut ist, in seiner Amplitude ausgewertet. Der Umschalt-Takt des Schalters 28 wird direkt vom Oszillator 11 angesteuert, so dass eine phasengekoppelte Gleichrichtung ermöglicht wird. In den Multiplexer 29 gelangt gleichgerichtet die Spannung entsprechend der Differenz bzw. dem Spannungs-Sprung aus Verstäker 26, der sich zwischen den Phasen High und Low des Oszillators ereignet. Er wird über den Kondensator 27 nach jeder Erdungsphase des Schalters 28 ausgekoppelt.
  • Die Sprunghöhe entspricht der empfangenen Amplitude, die wiederum von der kapazitiven Kopplung zwischen den Elektroden abhängt. Der Demultiplexer 29 verteilt die in zeitlicher Abfolge eintreffenden empfangenen Amplituden auf die vier S&H- Kondensatoren 30a–30d. Die dort anliegenden Spannungen sind dadurch den vier Sendeelektroden zugeordnet. Sie stellen die aus mehreren Oszillator-Phasen zeitlich Bemittelte Amplitudenwerte dar, die den einzelnen von den Sendeelektroden 18a–18d stammenden Anteilen der kapazitiven Kopplung entsprechen. Aus diesen Spannungen können in den Schwell-Schaltern 31a–31d Pegel-abhängige Schaltsignale erzeugt werden. Alternativ können die Spannungen als Analogwerte zur Ausgabe oder Weiterverarbeitung gebracht werden, etwa über Auskopplungsglied 32. Der Demultiplexer 29 kann mit einem Inhibit-Eingang derart an einen weiteren Frequenzteiler-Anschluss angeschlosen werden, dass er vor Weiterschaltung des jeweils nächsten Wellenpaketes in den nächsten Kanal eine definierte Zeit unterbricht. Dies ermöglicht eine hohe Kanaltrennung.
  • Der Zufallsgenerator 13 beeinflusst über einen Steueranschluss am Oszillator 11 dessen Zeitkonstante und somit die aktuelle Phasendauer der erzeugten Frequenz. Auf diese Weise wird erreicht, dass der Oszillator ein nicht-periodisches Signal abgibt und somit periodische Stör-Einstreuungen, etwa durch fremde Oszitlatoren, sich bei der Messung ausmitteln und keine störenden Interferenzen erzeugen.
  • Bei Abstandsmessung kann die gemessene Amplitude je nach Feldverlauf entweder zum Kehrwert des Abstandes proportional sein (bei Distanzen klein gegenbüber der Elektrodenflächen-Abmessung) oder zum Logarithmus (bei einem zylindrischen Feld) oder zum Quadrat des Kehrwertes (Kugelfeld bei gegenüber Elektroden-Abmessung großen Abständen). Solche Abhängigkeiten können geeignet linsarisiert werden, etwa durch analoge oder (nach Analog-Digital-Wandlung) digital implementierte Funktionen. Um für verschiedene Anwendungen und bei den resultierenden großen Signalpegel-Unterschieden einen universell brauchbaren und eichbaren Messbereich zu erhalten, ist als Korrektur ein logarithmisches Verhalten vorgesehen. Hierzu kann das aus Dioden 23 und 24 bestehende variable Impedanzglied verwendet werden. Die Steuerspannung (25) verhält sich logarithmisch zur in den Dioden erzielten Impedanz. Die Steuerspannung (25) kann aus einem Ausgangssignal abgeleitet werden, wie über Regelkreis-Integrator 33 dargestellt. Durch die resultierende Gegenkopplung wird das gewünschte logarithmische Verhalten erreicht.
  • Alternativ kann sich der Messbereich bzw. die Linearisierung auf eine Empfindlichkeits-Einstellung beziehen. Dies ist sinnvoll, wenn Schaltausgänge verwendet werden. Hierzu kann einfach die (logarithmische) Steuerspannung (25) vom Benutzer verstellbar gemacht werden. Weiterhin kann ein automatischer Einlern-Vorgang implementiert werden. Hierzu kann über einen programmgesteuerten Vorgang ein Wert für die Steuerspannung (25) festgelegt und digital abgespeichert werden und dieser bei Betrieb über eine Analog-Digital-Wandlung als Steuerspannung 25 an die Dioden (bzw. einen verstellbaren Shunt anderer Art) gegeben werden.
  • 2 bis 4 zeigen Beispiele von verschiedenen Elektrodenanordnungen für verschiedene Anwendungen:
  • 2 zeigt eine Anordnung zur Ortung der Position eines bewegten Maschinenteils 40. Eine Empfangs-Elektrode 41 ist am Maschinenteil 40 angebracht und über das abgeschirmte Kabel 42 mit der Auswerteeinheit 43 verbunden. Im festen Raum sind die drei Sendeelektroden 44a, 44b, 44c angebracht. Sie sind ebenfalls über abgeschirmte Leitungen mit drei Ausgängen 45a, 45b, 45c der Auswert-Einheit verbunden. Die Ausgänge können den Ausgängen des Multiplexers 12 aus 1 entsprechen; die Auswerteeinheit kann der in 1 dargestellten Schaltung entsprechen. Bei einer räumlichem Bewegung ändern sich die zwischen den Elektroden erzeugten Kapazitäten. Indem die Elektroden an dreidimensonal verschiedenen Orten befestigt sind, ist eine eindeutige dreidimensionale Positionsbestimmung möglich. Hierzu werden die drei analogen Ausgänge 46a, b, c herangezogen. Diese Ausgangssignale können aus dem Multiplexer 29 aus 1 stammen.
  • Gegenüber üblichen in der Robotik verwendeten Meßsensoren, die in Gelenken, Schubvorrichtungen, Roboterarmen etc. eingebaut werden müssen, hat dieses Verfahren erhebliche Vorteile, besonders wenn eine hohe Stell-Präzision in der Nähe von zu bearbeitenden Objekten erforderlich ist. Weil die Lage Messung direkt in der Nähe des Objektes und am Ende des Roboter-Arms erfolgen kann, wird die fange mechanische Kette verschiedener Toleranzquellen, wie sie bei mehreren hintereinander wirkenden Gelenken auftreten können, umgangen und die Präzision erhöht. Weiterhin können die bisher bestandenen hohen Genauigkeits-Anforderungen an die Sensoren entfallen und die damit verbundenen Kosten vermieden werden.
  • 3 zeigt eine weitere Anordnung zur Positionsmessung an einem linear bewegten Maschinenteil 50. Die Empfangs-Elektrode 51 ist am bewegten Teil so angebracht, das sie elektrische Felder aus mehreren Richtungen empfangen kann. Mehrere Elektroden 52–57 sind im festen Raum angebracht. Durch ihre Anordnung wirken Elektroden 52 und 57 als Endschalter, während die Elektroden 53 und 54 verschiedene Positionen anzeigen, die angefahren werden können.
  • Die Elektroden 55 und 56 sind als Paar nahe nebeneinander angebracht. Die ihnen zugeordneten Meßsignale können voneinander subtrahiert werden. Dies ergibt ein Meßsignal, welches die genaue Position innerhalb eines zwischen den beiden Elektroden 55 und 56 sich erstreckenden Wegbereiches angibt. Dies kann verwendet werden, um über einen Regelkreis das Maschinenteil 50 auf eine genaue Position zu fahren, wobei etwa Elektrode 51 genau in die Mitte zwischen die Elektroden 55 und 56 positioniert wird, und diese Position zu halten. Unter Veränderung eines Sollwertes können auch verschiedene Positionen innerhalb einer definierbaren Teilstrecke angefahren werden.
  • Indem die zu subtrahierenden Meßsignale vorher logarithmiert werden, wie bei 1 beschrieben, ergibt sich der zusätzliche Vorteil, dass das Ergebnis vom Quotienten der Messwerte abhängt, also vom Kapazitätsverhältnis und nicht von der Kapazitätsdifferenz. Abstands-Unterschiede, die zwischen Elektrode 51 und dem Paar 55–56 auftreten, verändern zwar die Differenz der messbaren Kapazitäten, nicht jedoch deren Quotienten. Daher werden störende Einflüsse durch Abstands-Unterschiede ausgeglichen.
  • Alternativ können die Funktionen bezüglich Sendeelektrode und Empfangselektrode vertauscht sein. Dann ist Elektrode 51 der Sender und Elektroden 52–57 sind mehrere Empfänger.
  • 4 zeigt eine weitere Anordnung zur Dicke-Messung an Gegenständen 61–64, die an einem Förderband zwischen den oberhalb und unterhalb montierten Elektroden 65 und 66 vorbeigeführt werden. Die Gegenstände können elektrisch leiten oder eine von Luft verschiedene Dielektrizitätskonstante aufweisen. Wenn die Gegenstände elektrisch isoliert sind ergibt sich in beiden Fällen eine Verkürzung der Feldlinien und entsprechend eine Erhöhung der kapazitiven Kopplung. Da sich das elektrische Feld in der Gesamtstrecke zwischen den Sonden aufbaut, ist die Messung im Unterschied zu herkömmlichen kapaztiven Näherungssensoren nur wenig von der Lage des Objektes abhängig.
  • Eine entsprechende Anordnung kann auch verwendet werden, um einen Füllstand zu messen, etwa in Behältern, die auf einem Förderband bewegt werden.
  • Ähnliche Anordnungen können auch verwendet werden, um die Anwesenheit von Objekten zu erkennen. Hierzu können an der Ausgängen Schaltglieder gekoppelt sein, deren Schwelle justierbar ist.
  • Ferner kann die Anzahl von Objekten (61, 62, 63) erkannt werden, die übereinander oder auch nebeneinander liegen.
  • Als weitere Anwendung können Sende- und Empfangs-Elektrode je als Handtaster-Fläche ausgebildet sein. Beide Haldtaster-Flächen können beabstandet abgeordnet werden, sodass zwei Hände einer Bedienperson erforderlich sind, um beide Flächen gleichzeitig zu berühren. Die kapazitive Kopplung zwischen den Elektroden erhöht sich dann, wenn die Bedienperson beide Hände auflegt und damit Sender und Empfänger miteinander koppelt. Die gemessene Erhöhung des Signals kann zur Erzeugung eines Schaltsignals zur sicherheitsrelevanten Steuerung von Maschinen verwendet werden, bei denen Verlatzungsgefahr besteht. Vorteilhafterweise kann dieses Signal nicht ausgelöst werden, wenn die Handtaster etwa von zwei getrennten Personen einhändig berührt werden oder wenn Gegenstände auf die Flächen gelegt werden.

Claims (31)

  1. Verfahren zur kapazitiven Erfassung von Messgrößen, die die Kapazität in einen Meßraum beeinflussen, wobei die zwischen zwei Elektroden auftretende kapazitive Kopplung gemessen wird, gekennzeichnet dadurch, dass mit einer Wechselspannungs-beaufschlagten Sendeelektrode ein elektrisches Wechselfeld im Meßraum erzeugt wird und ein durch das elektrische Feld in einer Empfangs Elektrode bewirkter Verschiebungsstrom in einer Meßschaltung gemessen wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ankopplung der Sendeelektrode an die Wechselspannung sowie die Ankopplung der Empfangs Elektrode an die Meßschaltung mit wesentlich geringerer (niederohmigerer) Impedanz erfolgt, als es dem kapazitiven Scheinwiderstand der Elektroden inclusive deren Zuleitungen entspricht.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Elektrode unabhängig von der anderen Elektrode montierbar ist.
  4. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Amplitude des in der Empfangselektrode auftretenden Verschiebungsstromes des durch beide Elektroden gebildeten Kondensators gemessen wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messung der Amplitude mittels getakteter Gleichrichtung erfolgt, wobei die Taktung der an die Sendeelektrode angelegten Wechselspannung entspricht.
  6. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Wechselspannung nicht-periodsch ist.
  7. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung zu mindestens einer der Elektroden mit einer abgeschirmten Leitung erfolgt.
  8. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Sendeelektroden verwendet werden und dass die kapazitiven Kopplungen von verschiedenen Sendeelektroden separat ermittelt werden, indem deren Sendesignale verschieden markiert werden und aus dem empfangenen Signal die Anteile der verschiedenen Sendesignale in einer für die Sendesignale selektiven Erkennungsschaltung unterschieden werden.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Markierung und Erkennung erfolgt, indem die verschiedenen Sendeeletroden ihre Signale innerhalb einer ständigen Abfolge zu verschieden definierten Zeitpunkten abgeben und die empfangene Signalfolge entsprechend dieser Zeiten nach dem Demultiplexing-Verfahren zeitselektiv ausgewertet bzw. abgefragt wird.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass eine Umschaltung von Elektrode zu Elektrode jeweils erfolgt, nachdem eine Elektrode eine Vielzahl von Wechselspannungsperioden abgegeben hat.
  11. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Empfangselektroden verwendet werden und deren Verschiebungsströme jeweils separat gemessen werden.
  12. Verfahren nach Anspruch 9, 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere zwischen verschiedenen Kombinationen aus Sende- und/oder Empfangs-Elektroden auftretende Kapazitäten separat gemessen werden.
  13. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Amplitude des empfangenen Signals einer Linearisierungs- bzw. Korrektur-Funktion unterzogen wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturfunktion einer Kehrwertfunktion entspricht bzw, diese annähert.
  15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Korrekturfunktion einer Logarithmusfunktion entspricht bzw, diese annäherte.
  16. Verfahren nach einem der vorausgehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Empfangselektrode an einen Spannungsverstärker gekoppelt ist, an dessen Eingang ein variables Impedanzglied als Shunt wirkend parallelgeschaltet ist.
  17. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Distanzmessung.
  18. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Positionsmessung eines Gegenstandes durch Anbringen einer Elektrode an den Gegenstand
  19. Verwendung nach Anspruch 18 zur mehrdimensionalen Positionsmessung, wobei mehrere Elektroden, die zur am Gegenstand angebrachten Elektrode als Gegenelektroden wirken, an verschiedenen Orten angebracht sind.
  20. Verwendung nach Anspruch 18 oder 19 als Endschalter für bewegliche Maschinenteile.
  21. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Dicke-Messung eines zwischen den Elektroden befindlichen (elektrisch leitenden oder isolierenden) Gegenstandes.
  22. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Füllstandsmessung.
  23. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 zur Positionsmessung eines im Meßraum befindlichen (elektrisch leitenden) Gegenstandes.
  24. Verwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 als Handtaster.
  25. Verwendung nach Anspruch 24 für Sicherheits-Bedienschalter, dadurch gekennzeichnet, dass als Sendselektrode und als Empfangselektrode je eine als Handtaster-Fläche ausgebildete Elektrode vorgesehen ist und die kapazitive Kopplung zwischen den Elektroden durch des Auflegen beider Hände einer Bedienperson erfolgt und zur Erzeugung eines Schaltsignals verwendet wird.
  26. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 16 mit einem Oszillator, welcher zum Anschluss an eine Elektrode eingerichtet ist, einem für kapazitiven Eingangs-Quellen geeigneten Wechselstrom-Verstärker, der eingangsseitig ebenfalls zum Anschluss an eine Elektrode eingerichtet ist, einem am Ausgang des Verstärker angekoppelten getakteten Gleichrichter, der vom Osziliator getaktet wird, sowie einer Anschlussmöglichkeit zu einem vom Ausgang des Gleichrichters abgeleiteten Ausgang analoger, numerischer oder schaltender Art.
  27. Vorrichtung nach Anspruch 26, gekennzeichnet durch einen an Verstärker und ein an dessen Eingang aus Shunt angekoppeltes variables Impedanzglied.
  28. Vorrichtung nach Anspruch 26 oder 27, dadurch gekennzeichnet, dass eine mit einem Einlernvorgang programmierte programmgesteuerte Vorrichtung vorgesehen ist und mit einer Einrichtung zur Steuerung der Empfindlichkeit verbunden ist.
  29. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 25, 26, oder 27, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektronik in einem Gehäuse integriert ist, welches auch eine der Elektroden trägt.
  30. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 26 bis 29, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Elektroden als Handtaster-Fläche ausgebildet ist.
  31. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 26 bis 30, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Elektrode zum Aufkleben eingerichtet ist.
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