DE10319977A1 - Optoelectronic sensor module - Google Patents
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Abstract
Ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts umfaßt eine Strahlungsquelle (42) zum Beleuchten des bewegten Objekts (30) mit Strahlung einer Signalwellenlänge, eine Rückkopplungseinrichtung (44) zum Einkoppeln eines Teils der von dem bewegten Objekt (30) reflektierten Strahlung in die Strahlungsquelle (42), ein Detektorelement (46) zum Aufnehmen eines Teils der von dem bewegten Objekt (30) reflektierten Strahlung der Strahlungsquelle (42) und eine Auswerteeinheit (48) zur Bestimmung der relativen Bewegung von Objekt und Sensormodul auf Grundlage charakteristischer Eigenschaften der vom Detektorelement (46) aufgenommenen Strahlung. Erfindungsgemäß ist die Strahlungsquelle durch einen oberflächenemittierenden Laser mit senkrecht stehendem Resonator (42) gebildet.An optoelectronic sensor module for measuring the movement of an object moving relative to the sensor module comprises a radiation source (42) for illuminating the moving object (30) with radiation of a signal wavelength, a feedback device (44) for coupling in a part of those reflected by the moving object (30) Radiation into the radiation source (42), a detector element (46) for receiving a portion of the radiation from the radiation source (42) reflected by the moving object (30) and an evaluation unit (48) for determining the relative movement of the object and sensor module on the basis of characteristic Properties of the radiation picked up by the detector element (46). According to the invention, the radiation source is formed by a surface-emitting laser with a vertical resonator (42).
Description
Die Erfindung betrifft ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts mit einer Strahlungsquelle zum Beleuchten des bewegten Objekts mit Strahlung einer Signalwellenlänge, einer Rückkopplungseinrichtung zum Einkoppeln eines Teils der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung in die Strahlungsquelle, einem Detektorelement zum Aufnehmen eines Teils der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung der Strahlungsquelle, und einer Auswerteeinheit zur Bestimmung der relativen Bewegung von Objekt und Sensormodul auf Grundlage charakteristischer Eigenschaften der vom Detektorelement aufgenommenen Strahlung. Die Erfindung betrifft ferner ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der zweidimensionalen Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts.The invention relates to an optoelectronic sensor module for measuring the movement of a relative to the sensor module Object with a radiation source for illuminating the moving object with radiation of a signal wavelength, a feedback device for coupling in part of the radiation reflected by the moving object into the radiation source, a detector element for receiving a Part of the radiation of the radiation source reflected by the moving object, and an evaluation unit for determining the relative movement of object and sensor module based on characteristic properties of the radiation picked up by the detector element. The invention relates also an optoelectronic sensor module for measuring the two-dimensional Movement of an object moved relative to the sensor module.
In einer Vielzahl von Anwendungsbereichen besteht ein Bedarf, die ein- oder zweidimensionale Bewegung eines Objekts mit nichtmechanischen Sensoren zu messen. Beispiele stellen insbesondere Geräte für die Cursornavigation bei Computern, Laptops, Digitalen Assistenten (PDAs) oder Mobilfunkgeräten, aber auch Linear- oder Rotationsencoder dar.There are a variety of application areas a need, the one- or two-dimensional movement of an object to measure with non-mechanical sensors. Examples include devices for cursor navigation for computers, laptops, digital assistants (PDAs) or mobile devices, but also represent linear or rotary encoders.
Die gegenwärtig bekannten Lösungen ohne mechanisch bewegliche Teile basieren entweder auf Autokorrelationsverfahren oder auf Laser-Doppler-Verfahren. Bei den Autokorrelationsverfahren wird das relativ zum Sensor bewegte Objekt mit einer LED-Lichtquelle bestrahlt und die beleuchtete Fläche mittels optischer Komponenten auf einen CCD-Chip abgebildet. Durch einen kontinuierlichen Vergleich der Muster in der Bildebene während der Bewegung kann die Ortsveränderung und damit die Bewegung des Objekts gemessen werden.The currently known solutions without mechanical moving parts are based on either autocorrelation methods or using laser Doppler methods. With the autocorrelation method the object moved relative to the sensor with an LED light source irradiated and the illuminated area by means of optical components mapped onto a CCD chip. Through a continuous comparison of the patterns in the image plane during the Movement can change location and thus the movement of the object can be measured.
Bei den Laser-Doppler-Verfahren wird das Objekt durch eine kohärente Lichtquelle beleuchtet und das Streulicht in die Sensorebene abgebildet, wo es mit internen Referenzstrahlen interferiert. Die Modulationsfrequenz des Interferenzmusters stellt dabei ein Maß für die Geschwindigkeit des Objekts dar. Durch eine räumliche Separation der Referenzstrahlen kann auch eine zweidimensionale Bewegung erfaßt werden. Die Richtungsinformation wird bei diesen Verfahren durch eine polarisationssensitive Messung ermittelt.With the laser Doppler method the object through a coherent Illuminated light source and the scattered light imaged in the sensor plane, where it interferes with internal reference beams. The modulation frequency the interference pattern is a measure of the speed of the object through a spatial Separation of the reference beams can also be a two-dimensional one Movement detected become. The directional information is used in these procedures a polarization-sensitive measurement is determined.
M. H. Koelink et al., Applied Optics Vol. 31, No. 18, 1992, pp. 3401–3408 beschreiben theoretisch einen Laser-Doppler-Geschwindigkeitsmesser aus einem Faser-gekoppelten Halbleiterlaser, der den Selbstmischungseffekt des Halbleiterlasers ausnutzt. Die Laserstrahlung wird dabei in die Faser eingekoppelt und auf das bewegte Objekt geleitet. Ein kleiner Teil des von dem bewegten Objekt gestreuten und aufgrund der Relativbewegung Doppler-veschobenen Lichts wird von der Faser gesammelt und zu dem Laser zurückgeführt. Dort interferiert das frequenzverschobene Licht mit der Laserstrahlung in der Laserkavität und erzeugt eine Intensitätsmodulation des Lasers. Die Frequenz der Intensitätsmodulation steht dabei mit der Doppler-Verschiebung in Beziehung und erlaubt so die Bestimmung der Geschwindigkeit des bewegten Objekts.M.H. Koelink et al., Applied Optics Vol. 31, No. 18, 1992, pp. 3401-3408 theoretically describe a laser Doppler speedometer from a fiber-coupled Semiconductor laser, the self-mixing effect of the semiconductor laser exploits. The laser radiation is coupled into the fiber and directed to the moving object. A small part of that moving object and Doppler-shifted due to the relative movement Light is collected from the fiber and returned to the laser. There the frequency-shifted light interferes with the laser radiation in the laser cavity and creates an intensity modulation of the laser. The frequency of the intensity modulation stands with the Doppler shift in relation and thus allows the determination of the speed of the moving object.
S. K. Özdemir et al., Meas. Sci. Technol. 11 (2000), pp 1447–1455 analysieren einen Speckle-Geschwindigkeitsmesser, bei dem eine Laserdiode sowohl als Lichtquelle als auch als Detektor benutzt wird, so daß das System nur eine einzige optische Achse hat. Wird eine bewegte raube Oberfläche mit einer rms-Rauhigkeit, die größer als die Laserwellenlänge ist, senkrecht von einer selbstmischenden Laserdiode beleuchtet, so zeigt die optische Rückkopplung in die Laserkavität sogenannte Speckle-Effekte. Die Autokorrelationszeit der Amplitudenfluktuationen des Speckle-Signals ist dabei umgekehrt proportional zur Geschwindigkeit der bewegten Oberfläche und ermöglicht so die Bestimmung deren Geschwindigkeit.S.K. Özdemir et al., Meas. Sci. Technol. 11 (2000), pp 1447-1455 analyze a speckle speedometer using a laser diode is used both as a light source and as a detector, so that the system has only one optical axis. With a rough moving surface rms roughness greater than the laser wavelength is illuminated vertically by a self-mixing laser diode, so shows the optical feedback into the laser cavity so-called speckle effects. The autocorrelation time of the amplitude fluctuations of the speckle signal is inversely proportional to the speed of the moving surface and allows so determining their speed.
Hier setzt die Erfindung an. Der Erfindung, wie sie in den Ansprüchen gekennzeichnet ist, liegt die Aufgabe zugrunde, ein gattungsgemäßes optoelektronisches Sensormodul mit einem einfachen und kompakten Aufbau anzugeben. Darüber hinaus soll das Sensormodul ein einfaches optisches System aufweisen, das nur geringe Anforderungen an die Justage stellt.This is where the invention comes in. The Invention as set out in the claims is characterized, the task is based on a generic optoelectronic Specify sensor module with a simple and compact structure. About that in addition, the sensor module should have a simple optical system, that places only minimal demands on the adjustment.
Diese Aufgabe wird durch das optoelektronische Sensormodul mit den Merkmalen des Hauptanspruchs gelöst. Die Erfindung umfaßt auch ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der zweidimensionalen Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts nach Anspruch 14 oder Anspruch 15. Weitere Ausgestaltungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen 2 bis 13 und 16 bis 19 hervor.This task is accomplished through the optoelectronic Sensor module with the features of the main claim solved. The Invention includes also an optoelectronic sensor module for measuring the two-dimensional Movement of an object moved relative to the sensor module according to claim 14 or claim 15. Further embodiments of the invention go from the subclaims 2 to 13 and 16 to 19.
Erfindungsgemäß ist bei einem optoelektronischen Sensormodul der eingangs genannten Art vorgesehen, daß die Strahlungsquelle durch einen oberflächenemittierenden Laser mit senkrecht stehendem Resonator gebildet ist. Die optische Rückkopplung führt zu einer Modulation der emittierten und damit auch der vom Detektorelement aufgenommenen Strahlung, die bei oberflächenemittierenden Lasern aufgrund der kurzen Resonatorlänge besonders ausgeprägt ist. Bevorzugt ist der oberflächenemittierende Laser dabei auf eine hohe Empfindlichkeit für rückgestreute Strahlung eingerichtet und ausgelegt.According to the invention is an optoelectronic Sensor module of the type mentioned provided that the radiation source through a surface emitting Laser is formed with a vertical resonator. The optical feedback leads to a modulation of the emitted and therefore also of the detector element absorbed radiation due to surface emitting lasers the short resonator length particularly pronounced is. The surface-emitting one is preferred Lasers set up for high sensitivity to backscattered radiation and designed.
In einer zweckmäßigen Ausführungsform weist das Sensormodul eine zwischen dem oberflächenemittierenden Laser und dem bewegten Objekt angeordnete Linse oder ein diffraktiv optisches Element (DOE)auf, die die Strahlung des oberflächenemittierenden Lasers auf das bewegte Objekt kollimiert oder fokussiert. Bei Verwendung eines diffraktiv optischen Elements können gleichzeitig Strahlumlenkung und Kollimation bzw. Fokussierung mit geringeren Abbildungsfehlern als bei einer off-axis Linse erreicht werden. Darüber hinaus erlauben sowohl Oberflächen- als auch Volumen-DOEs planare Aufbauten.In an expedient embodiment, the sensor module has a lens arranged between the surface-emitting laser and the moving object or a diffractive optical element (DOE) which collimates or focuses the radiation from the surface-emitting laser onto the moving object. When using a diffractive optical element, beam deflection and collimation or focusing can be carried out at the same time with little imaging errors can be achieved than with an off-axis lens. In addition, both surface and volume DOEs allow planar structures.
In diesem Zusammenhang ist bevorzugt vorgesehen, daß die Rückkopplungseinrichtung durch die zwischen dem oberflächenemittierenden Laser und dem bewegten Objekt angeordnete Linse oder das diffraktiv optische Element gebildet ist.In this context it is preferred provided that the Feedback means through the between the surface emitting Laser and the moving object arranged lens or the diffractive optical element is formed.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung ist der oberflächenemittierende Laser außerhalb der optischen Achse der Linse oder des diffraktiv optischen Elements angeordnet. Dies ist besonders dann von Vorteil, wenn sich das bewegte Objekt in einer Ebene senkrecht zur Abstrahlrichtung des oberflächenemittierenden Lasers bewegt, da das bewegte Objekt durch die Umlenkung des Strahlengangs der Laserstrahlung in der Linse oder dem diffraktiv optischen Element eine Geschwindigkeitskomponente in Strahlrichtung erhält.After another advantageous one The design is the surface-emitting one Lasers outside the optical axis of the lens or the diffractive optical element arranged. This is particularly advantageous when the is moving Object in a plane perpendicular to the radiation direction of the surface emitting Lasers moves because the moving object is deflected by the beam path Laser radiation in the lens or the diffractive optical element receives a velocity component in the beam direction.
Das Sensormodul weist zweckmäßig ein Strahlteilerelement auf, das einen Teil der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung dem Detektorelement zuführt. Das Strahlteilerelement kann beispielsweise durch die oben angesprochene, zwischen dem oberflächenemittierenden Laser und dem bewegten Objekt angeordnete Linse oder einem diffraktiv optischen Element gebildet sein. Alternativ kann das Strahlteilerelement durch eine Gehäusekomponente, insbesondere durch ein Vergußmaterial oder einen Gehäuseteil wie einen Gehäusedeckel gebildet sein. Es genügt dabei, wenn ein kleiner Teil der Laserstrahlung als Rückreflex aus dem Hauptstrahlengang ausgekoppelt und dem Detektorelement zugeführt wird.The sensor module expediently has a beam splitter element on that part of the radiation reflected by the moving object feeds the detector element. The beam splitter element can, for example, by the above-mentioned, between the surface emitting Laser and the moving object arranged lens or a diffractive be formed optical element. Alternatively, the beam splitter element through a housing component, in particular by a potting material or a housing part formed like a case cover his. It is sufficient when a small part of the laser radiation is reflected back is coupled out of the main beam path and fed to the detector element.
In einer bevorzugten Ausgestaltung sind die Strahlungsquelle, das Detektorelement und die Auswerteeinheit auf einem gemeinsamen Trägersubstrat angeordnet. Dadurch ist ein kompakter Aufbau mit kleiner Chipfläche und geringem Montage- und Justieraufwand möglich.In a preferred embodiment are the radiation source, the detector element and the evaluation unit arranged on a common carrier substrate. This is a compact structure with a small chip area and low assembly and adjustment effort possible.
Nach einer zweckmäßigen Ausgestaltung ist das Detektorelement durch eine Photodiode gebildet.According to an expedient embodiment, that is Detector element formed by a photodiode.
Die. Auswerteeinheit umfaßt mit Vorteil einen integrierten Schaltkreis zur Signalverarbeitung der vom Detektorelement gelieferten Informationssignale über die aufgenommen Strahlung. Insbesondere kann die Auswerteeinheit elektrische Komponenten enthalten, die von dem Detektorelement gelieferte Photoströme verstärken und filtern. Die Auswerteeinheit bestimmt die relative Bewegung von Objekt und Sensormodul vorteilhaft aus der Modulation der aufgenommenen Strahlung und erzeugt aus den Modulationen Bewegungsinformationen in digitaler Form, beispielsweise in Form von Quadratursignalen. Die Richtung der Bewegung kann aus der Form der Modulation ermittelt werden.The. Evaluation unit advantageously includes an integrated circuit for signal processing from the detector element supplied information signals about the absorbed radiation. In particular, the evaluation unit contain electrical components that amplify photocurrents provided by the detector element and filter. The evaluation unit determines the relative movement of Object and sensor module advantageous from the modulation of the recorded Radiation and generates movement information from the modulations in digital form, for example in the form of quadrature signals. The direction of movement can be determined from the shape of the modulation become.
Das Detektorelement und die Auswerteeinheit können auch integriert ausgebildet sein, etwa in einem Opto-IC. Der oberflächenemittierenden Laser kann auf dem Detektorelement oder einer integrierten Auswerteeinheit montiert sein. Durch eine solche chip-on-chip-Gestaltung ergibt sich ein kompakter Aufbau sowie ein geringer Ablenkwinkel der rückreflektierten Strahlung.The detector element and the evaluation unit can also be integrated, for example in an opto-IC. The surface emitting Laser can be on the detector element or an integrated evaluation unit be mounted. Such a chip-on-chip design results a compact structure and a small deflection angle of the reflected back Radiation.
In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung ist die Auswerteeinheit zur Bestimmung sowohl der Geschwindigkeit als auch der Richtung der relativen Bewegung von Objekt und Sensormodul ausgelegt und eingerichtet.In a particularly preferred embodiment is the evaluation unit for determining both the speed as well as the direction of the relative movement of the object and the sensor module designed and furnished.
Ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der zweidimensionalen Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts enthält erfindungsgemäß zwei Sensormodule der oben beschriebenen Art, von denen jedes die Bewegung des Objekts in einer Raumrichtung mißt. Insbesondere sind die beiden Sensormodule mit Vorteil unter einem Winkel von 90° zueinander angeordnet, so daß bei einem in der x-y-Ebene bewegten Objekt das erste Modul die Bewegung des Objekts in x-Richtung und das zweite Modul die Bewegung des Objekts in y-Richtung erfaßt.An optoelectronic sensor module for measuring the two-dimensional movement of one relative to the sensor module According to the invention, the moving object contains two sensor modules of the type described above, each of which is the movement of the object in one direction. In particular, the two sensor modules are advantageously at an angle of 90 ° to each other arranged so that at one in the x-y plane the first module moves the movement of the Object in the x direction and the second module the movement of the object detected in the y direction.
Nach einer anderen bevorzugten Ausgestaltung enthält ein optoelektronisches Sensormodul zur Messung der zweidimensionalen Bewegung eines relativ zum Sensormodul bewegten Objekts
- – zwei Strahlungsquellen zum Beleuchten des bewegten Objekts, die jeweils durch einen oberflächenemittierenden Laser mit senkrecht stehendem Resonator gebildet sind,
- – eine gemeinsame Linse oder ein gemeinsames diffraktiv optisches Element zum Kollimieren oder Fokussieren der Strahlung der oberflächenemittierenden Laser auf das bewegte Objekt,
- – eine Detektoreinrichtung zum Aufnehmen eines Teils der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung der Strahlungsquellen, und
- – eine Auswerteeinheit zur Bestimmung der zweidimensionalen relativen Bewegung von Objekt und Sensormodul auf Grundlage charakteristischer Eigenschaften der von der Detektoreinrichtung aufgenommenen Strahlung.
- Two radiation sources for illuminating the moving object, each of which is formed by a surface-emitting laser with a vertical resonator,
- A common lens or a common diffractive optical element for collimating or focusing the radiation of the surface-emitting lasers onto the moving object,
- A detector device for receiving a part of the radiation of the radiation sources reflected by the moving object, and
- - An evaluation unit for determining the two-dimensional relative movement of the object and sensor module on the basis of characteristic properties of the radiation picked up by the detector device.
Die Strahlungsquellen sind dabei mit Vorteil an zwei verschiedenen Winkelpositionen außerhalb der optischen Achse der Linse oder des diffraktiv optischen Elements angeordnet, so daß ein Objekt, das sich in einer Ebene senkrecht zur Abstrahlrichtung der oberflächenemittierenden Laser in allgemeiner Richtung bewegt, durch die Umlenkung eine Geschwindigkeitskomponente in Strahlrichtung jedes der Laser erhält. Es versteht sich, daß die Geschwindigkeitskomponente in einer Strahlrichtung auch verschwinden kann, wenn sich das Objekt parallel zu dieser Strahlrichtung in der Ebene bewegt. Aufgrund der Anordnung der Strahlungsquellen an verschiedenen Winkelpositionen ist dann jedoch sichergestellt, daß die Bewegung von der anderen Strahlungsquelle erfaßt wird.The radiation sources are there with advantage at two different angular positions outside the optical axis of the lens or the diffractive optical element arranged so that a Object that is in a plane perpendicular to the radiation direction of the surface emitting Laser moves in the general direction, by deflecting a speed component each of the lasers in the beam direction. It is understood that the speed component can also disappear in a beam direction if the object is moved parallel to this beam direction in the plane. Due to the Arrangement of the radiation sources at different angular positions However, it is then ensured that the movement of the other Radiation source detected becomes.
Die Detektoreinrichtung kann zwei Photodioden umfassen, die jeweils einer der Strahlungsquellen zugeordnet sind und einen Teil der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung der zugeordneten Strahlungsquelle aufnehmen.The detector device can have two photodio include, which are each assigned to one of the radiation sources and receive a portion of the radiation reflected by the moving object of the assigned radiation source.
Alternativ kann. die Detektoreinrichtung für beide Strahlungsquellen eine gemeinsame Photodiode aufweisen, die, bevorzugt durch ein Multiplexverfahren, einen Teil der von dem bewegten Objekt reflektierten Strahlung von beiden Strahlungsquellen aufnimmt. Dies ermöglicht einen besonders kompakten Aufbau, da trotz der Bewegungsmessung in zwei Dimensionen nur eine Photodiode und eine Linse bzw. ein diffraktiv optisches Element erforderlich sind.Alternatively, you can. the detector device for both Radiation sources have a common photodiode, which, preferably through a multiplexing process, part of that of the moving object reflects reflected radiation from both radiation sources. This allows a particularly compact design because despite the movement measurement in two dimensions only one photodiode and one lens or one diffractive optical element are required.
Das optoelektronische Sensormodul der beschriebenen Art eignet sich insbesondere für den Einsatz als Steuer- und Navigationsgerät vor allem für Computer, Laptops, Digitale Assistenten oder Mobilfunkgeräte.The optoelectronic sensor module The type described is particularly suitable for use as a tax and navigation device especially for Computers, laptops, digital assistants or mobile devices.
Die erfindungsgemäße Lösung erfordert nur eine geringe Anzahl an Komponenten sowie eine kleine Chipfläche, ermöglicht einen sehr kompakten Aufbau, weist ein einfaches optisches System auf und stellt nur geringe Anforderungen an die Justage.The solution according to the invention requires only a minor one Number of components and a small chip area enables a very compact structure, has a simple optical system and has only a small number Adjustment requirements.
Das erfindungsgemäße Sensormodul ist auch zur Messung von Bewegungen in z-Richtung geeignet, wobei die Strahlung des oberflächenemittierenden Lasers im Wesentlichen senkrecht auf das bewegte Objekt auftritt. Anwendung findet eine derartige Messung beispielsweise bei Abtastinstrumenten oder Profilometern, bei Präsenzdetektoren wie etwa einen Babywächter oder bei Vibrationsdetektoren wie Alarm- oder Bewegungsmelder. Bei Präsenzdetektoren wie etwa einen Babywächter oder Bei Vibrationsdetektoren oder Präsenzdetektoren reicht es dabei aus, wenn qualitativ geprüft wird, ob die aufgenommene Strahlung moduliert ist, eine quantitative Messung ist nicht erforderlich.The sensor module according to the invention is also for Measurement of movements in the z direction is suitable, the radiation of the surface emitting Laser occurs essentially perpendicular to the moving object. Such a measurement is used, for example, with scanning instruments or profilometers, for presence detectors like a baby guard or with vibration detectors such as alarm or motion detectors. at presence detectors like a baby guard or With vibration detectors or presence detectors, it is sufficient out if checked qualitatively becomes a quantitative measurement of whether the absorbed radiation is modulated not necessary.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen, Merkmale und Details der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen, der Beschreibung des Ausführungsbeispiels und der Zeichnung.Further advantageous configurations, Features and details of the invention emerge from the dependent claims Description of the embodiment and the drawing.
Die. Erfindung soll nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden. Dabei sind nur die für das Verständnis der Erfindung wesentlichen Elemente dargestellt. Dabei zeigtThe. Invention is intended to be based on of embodiments are explained in more detail in connection with the drawings. Only those are for the understanding elements of the invention shown. It shows
Ein Anteil der einfallenden Strahlung
wird von der Oberfläche
des Objekts
Ist der Einfallswinkel α ungleich
90°, so
hat das bewegte Objekt
Während
die Monitordiode
Eine schematische Schnittansicht
eines optoelektronischen Sensormoduls
Das Sensormodul
Um Objektbewegungen
Das vom Objekt
Ein integriertes optoelektronisches
Sensormodul
Das Sensormodul
Ein weiteres Anwendungsbeispiel ist
in der
Es versteht sich, daß die in der Beschreibung, in den Zeichnungen sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung sowohl einzeln als auch in jeder möglichen Kombination für die Verwirklichung der Erfindung wesentlich sein können.It is understood that the in the description, in the drawings and in the claims disclosed Features of the invention both individually and in any possible Combination for the realization of the invention can be essential.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
R120 | Application withdrawn or ip right abandoned |
Effective date: 20131114 |