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Die Erfindung betrifft eine Kamera-Steuervorrichtung
zur Steuerung der Bilderfassung eines relativ zu einer Kamera bewegten
Objekts sowie eine Überwachungsvorrichtung
mit einer derartigen Kamera-Steuervorrichtung. Ferner betrifft die
Erfindung ein Kamera-Steuerverfahren zur Steuerung der Bilderfassung
eines relativ zu einer Kamera bewegten Objektes.
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Bilderfassungs-Vorrichtungen und
-Verfahren zur Erfassung eines relativ zu einer Kamera bewegten
Objekts sind vom Markt her bekannt. Sie werden dann gebraucht, wenn
die genaue Lage eines Objekts zu einem bestimmten Zeitpunkt erfaßt werden
soll. Die genaue Kenntnis der Position eines Objekts zu einem bestimmten
Zeitpunkt ist z.B. bei Pick/Place-Systemen im Bereich der Chip-Herstellung
erforderlich. Dabei kommt es darauf an, einem in einem vorbereitenden
Schritt bereitgestellten Chip, der von einem Greifwerkzeug erfasst
wird, hinsichtlich seiner Position relativ zum Greifwerkzeug genau zu
charakterisieren, damit beim späteren
Platzieren des Chips an eine vorbestimmte Soll-Position dieser genau
und definiert positioniert werden kann. Neben den Anwendungen, bei
denen das Objekt relativ zur Kamera bewegt wird, gibt es auch noch
Anwendungen, bei denen die Kamera relativ zum Objekt bewegt wird.
Ein Beispiel für
eine derartige Anwendung ist die Kamera-Inspektion von Leiterbahnen
auf einem ausgedehnten Leiterbahn-Träger.
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Im Rahmen der hierbei erforderlichen
Bilderfassung muss die Kamera und ggf. ein mit dieser verbundener
Blitz genau an der richtigen Position bzw.
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zum richtigen Zeitpunkt ausgelöst werden, damit
das relativ zur Kamera bewegte Objekt genau dann abgebildet wird,
wenn es sich im optischen Erfassungsbereich der Kamera befindet.
Bislang bekannte Methoden, um dies sicherzustellen, umfassen das
Handstoppen der Zeit, die in Bezug auf die bei der Bewegung sich ändernde
Relativposition der Kamera zum Objekt zwischen dem Verlassen einer Start-Relativposition
und dem Erreichen einer Soll-Relativposition, also der Position
des Objekts im optischen Erfassungsbereich der Kamera, verstreicht.
An Hand der gestoppten Zeit wurden die Auslösezeitpunkte für die Belichtung
und den Blitz der Kamera fest eingestellt. Ein derartiges, in der Praxis
auf Trial and Error basierendes Verfahren ist unbefriedigend, da
erst nach einer zeitraubenden manuellen Vorbereitung ein korrektes
Auslösen
möglich
ist. Zudem haben Standard-Kameras
zwischen dem Zeitpunkt der Bereitstellung des Belichtungs-Auslösesignals
und dem Zeitpunkt der eigentlichen Kamerabelichtung, also der Öffnung des
Kameraverschlusses, einen Zeitverzug auf Grund der kamerainternen
Signalverarbeitung. Diesen Zeitverzug von Hand vorzuhalten, erfordert
Erfahrung und bringt zusätzlichen
Aufwand mit sich.
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Ferner sind Verfahren bekannt, bei
denen aus einer von einer Positioniereinrichtung aus gelesenen Position
ein Auslösesignal
für die
Kamera und einen Blitz erzeugt wird. Eine Korrektur von Verzugszeiten
wird bei diesen ebenfalls bekannten Verfahren nicht durchgeführt, sodass
das von der Kamera erfasste Bild geschwindigkeits- und beschleunigungsabhängige Positionsfehler
enthält.
Unter Umständen kann
bei einem solchen Verfahren von der Kamera überhaupt kein Bild erfasst
werden, da die Auslöseposition
fest eingestellt ist und so bei unterschiedlichen Verfahrgeschwindigkeiten
der Kameraverschluss noch nicht geöffnet oder schon wieder geschlossen
ist.
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Bei einer anderen bekannten Methode
zur Bilderfassung eines relativ zu einer Kamera bewegten Objektes
wird das Objekt mit einer Referenz- bzw. Justagemarke versehen,
die mit der Kamera neben dem Objekt erfasst wird. Die bei der Bilderfassung
erfasste Position der Referenzmarke gibt Aufschluss über Positionsfehler
auf Grund der Relativbewegung des Objekts zur Kamera. Diese Fehlerbeiträge können dann
eliminiert werden, sodass ein hiervon unabhängiger Positionsfehler des
Objekts zur Kamera zum Erfassungszeitpunkt verbleibt. Zur Erfassung
der Justagemarke muss Bildfeld der Kamera verplant werden, was die
prinzipiell erreichbare Objektauflösung der Kamera unerwünscht einschränkt.
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Bei ständig wechselnden Positionieraufgaben,
die sich nicht dauernd wiederholen, sind die oben beschriebenen
bekannten Verfahren grundsätzlich
unbrauchbar oder erfordern einen nicht tolerierbaren Anpassungsaufwand.
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Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung,
eine Kamera-Steuervorrichtung
der eingangs genannten Art zu schaffen, bei der eine gute Bilderfassung
des relativ zur Kamera bewegten Objektes mit möglichst geringer Einschränkung, was
die Kameraauflösung
angeht, gegeben ist.
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Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
eine Kamera-Steuervorrichtung
mit den Merkmalen gemäß Anspruch
1.
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Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass es an Hand
der Positionsdaten, die von der Positioniereinrichtung zur Verfügung gestellt
werden können,
möglich
ist, die Auslöseposition
für die
Bereitstellung des Belichtungs-Auslösesignals
im Rahmen eines automatisch ablaufenden Berechnungsvorgangs vorzugeben.
Die hierfür
erforderlichen Positionsdaten werden vom Positionserfassungsmodul
von der Positioniereinrichtung übernommen.
Andere Daten, wie die Belichtungs-Verarbeitungszeitdauer, sind bekannte Werte,
die schon vor Ablauf des Bewegungsvorgangs angegeben werden können. Auch
eine Soll-Relativposition, d. h. diejenige Position der Kamera relativ
zum Objekt, bei der eine vorgegebene Erfassung des Objekts durch
die Kamera gegeben ist, kann, da sie schon vorab ermittelbar ist,
zu den bekannten Werten gehören.
Auf Grund zum Beispiel der Belichtungs-Verarbeitungszeitdauer ist
die Auslöseposition
von der Soll-Relativposition
verschieden. Mit Hilfe des Berechnungs- sowie des Korrekturmoduls
erfolgt ausgehend von den aktuellen Positionsdaten mittels der bekannten
Bewegungsgleichungen die Berechnung der gewünschten Auslöseposition. Hierbei
berechnete Bewegungsdaten sind zum Beispiel die relative Geschwindigkeit
oder die relative Beschleunigung des Objekts zur Kamera. Das Belichtungs-Triggermodul
gibt an der berechneten Auslöseposition
das Auslösesignal
an die Kamera weiter, die dann automatisch an der richtigen Position
das Objekt optimal erfasst. Da auf Justagemarken verzichtet werden
kann, kann das Bildfeld der Kamera vollständig für das Objekt genutzt werden,
was die erreichbare Kameraauflösung
erhöht.
Insgesamt wird dann eine bessere Lage-, Kanten- und Mustererkennung erzielt.
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Bei einer Kamera-Steuervorrichtung
nach Anspruch 2 ist nicht nur die Auslöseposition der Bereitstellung
des Belichtungs-Auslösesignals
sondern auch diejenige der Bereitstellung eines Blitz-Auslösesignals
berechenbar. In den meisten Anwendungsfällen wird bei der Bilderfassung
eines relativ zu einer Kamera bewegten Objektes auf Grund der in
der Regel notwendigen kurzen Verschlussöffnungszeiten ein Blitz eingesetzt.
Die Zeitdauer zwischen der Bereitstellung eines Blitz-Auslösesignals
und dem tatsächlichen
Blitz, insbesondere die Zeitdauer bis zum Erreichen des Helligkeits maximums
des Blitzes, hat in der Regel einen anderen Wert als der entsprechende
Verzug bei der Auslösung
des Kameraverschlusses. Die entsprechenden Auslösesignale für Belichtung einerseits und
Blitz andererseits müssen also
unabhängig
voneinander vorgegeben werden, was entsprechend dem oben zum Belichtungs-Auslösesignal
Ausgeführten
in gleicher Weise auch für das
Blitz-Auslösesignal
möglich
ist.
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Ein Positionserfassungsmodul nach
Anspruch 3 lässt
sich an Standard-Positioniereinrichtungen
anschließen.
Dies ermöglicht
den Einsatz der erfindungsgemäßen Kamera-Steuervorrichtung
bei bereits bestehendem Positioniersystemen. Die Soll-Relativposition
kann bei einer derartigen Nachrüstung
z.B. durch einmaliges Anfahren dieser Relativposition bestimmt werden.
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Eine Teach-Schnittstelle nach Anspruch
4 erlaubt die automatische Bereitstellung der Soll-Relativposition
der Kamera relativ zum Objekt. Teach-Schnittstellen, mit denen eine Erfassungsposition
ermittelt werden kann, in der ein Objekt in vorgegebener Weise von
einer Kamera erfasst wird, sind vom Prinzip her bekannt. Es können hierzu
zum Beispiel bekannte Bildverarbeitungs-Algorithmen zum Einsatz
kommen. Beim Einsatz einer derartigen Teach-Schnittstelle entfällt ein
ansonsten notwendiger separater Bestimmungsschritt für die Soll-Relativposition.
Die Kamera-Steuervorrichtung kann dann nach der automatischen Bestimmung
der Soll-Relativposition
aus den vom Positionserfassungsmodul erfassten Positionsdaten Bewegungsdaten
in Bezug auf die Soll-Relativposition errechnen.
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Eine Daten-Schnittstelle gemäß Anspruch
5 erhöht
die Anwendungsflexibilität
der Kamera-Steuervorrichtung. Die mittels dieser gewonnenen Positionsdaten
können
auch für
andere Anwendungen in der Umgebung der Po sitioniereinrichtung und/oder der
Kamera eingesetzt werden. Vorzugsweise können über die Daten-Schnittstelle
systembedingte Zeitkonstanten, insbesondere die Blitz- und Belichtungsverzugszeiten,
zur Weiterverarbeitung in der Kamera-Steuervorrichtung vorgegeben
werden.
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Eine weitere Aufgabe der Erfindung
ist es, eine Überwachungsvorrichtung
anzugeben, bei der eine gute Bilderfassung eines relativ zu einer
Kamera bewegten Objekts mit möglichst
guter Kameraauflösung
gegeben ist.
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Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
eine Überwachungsvorrichtung
nach Anspruch 6.
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Die Vorteile der erfindungsgemäßen Überwachungsvorrichtung
entsprechen denjenigen, die oben im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Kamera-Steuervorrichtung
angegeben wurden.
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Bei einer Überwachungsvorrichtung nach Anspruch
7 lässt
sich auch bei einer mehrachsigen Positioniereinheit eine gezielte
Vorgabe der Bereitstellungszeitpunkte für die Auslösesignale der Kamera realisieren.
Insbesondere lassen sich aus den momentanen Verfahrpositionen und
Verfahrgeschwindigkeiten längs
der verschiedenen Achsen Gesamtgeschwindigkeiten bzw. -beschleunigungen
berechnen, welche dann zur Berechnung der Auslösepositionen genutzt werden
können.
Werden einzelne Achsen der Positioniereinheit während der Relativbewegung des
Objekts zur Kamera nicht verstellt, so können die zugehörigen festen
Positionswerte an der Daten-Schnittstelle als Festwerte ausgegeben
werden.
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Eine weitere Aufgabe der Erfindung
ist es, ein Kamera-Steuerverfahren zur Steuerung der Bilderfassung
eines relativ zu einer Kamera bewegten Ob jektes anzugeben, bei dem
eine gute Bilderfassung bei möglichst
hoher Kameraauflösung
erreicht wird.
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Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch
ein Kamera-Steuerverfahren nach Anspruch 8.
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Die Vorteile des Kamera-Steuerverfahrens nach
den Ansprüchen
8 bis 11 entsprechen den Vorteilen, die vorstehend unter Bezugnahme
auf die Ansprüche
1, 2, 4 und 5 angegeben wurden.
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Auch bei einer mehrachsigen Positioniereinrichtung
nach Anspruch 10 ist es natürlich
möglich, die
Auslösezeitpunkte
an Hand der Bewegungsdaten zu einer ausgewählten Bewegungsachse der Positioniereinrichtung
zu berechnen. Erfolgt auch längs
der mindestens einen anderen Bewegungsachse der Positioniereinrichtung
eine Relativbewegung des Objekts zur Kamera, so können auch
für diese
anderen Bewegungsachsen Positionsdaten des Objekts relativ zur Kamera
zum Zeitpunkt, an dem die Soll-Relativposition der ausgewählten Bewegungsachse
erreicht wird, ausgegeben werden. Diese Sollwerte zur Soll-Relativposition
längs der
anderen Bewegungsachsen können
zur Lagebestimmung des Objekts relativ zur Kamera mit den erfassten
Ist-Werten verglichen werden. Auf diese Weise ist eine Positionsbestimmung
des Objekts zur Kamera im Bezug auf mehrere Bewegungsachsen der
Positioniereinrichtung möglich.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung
werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. In dieser zeigen:
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1 eine
erste Ausführungsform
einer Überwachungsvorrichtung
mit einer Kamera-Steuervorrichtung und
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2 eine
zweite Ausführungsform
einer Überwachungsvorrichtung
mit einer Kamera-Steuervorrichtung.
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1 zeigt
eine erste Ausführungsform
einer insgesamt mit dem Bezugszeichen 1 bezeichneten Überwachungsvorrichtung
zur Überwachung
einer Relativposition zwischen einer Kamera 2 und einem
durch eine Ellipse repräsentierten
Objekt 3. Bei Letzterem kann es sich z.B. um eine Leiterbahn-Struktur auf einem
entsprechenden Träger handeln.
Die Kamera 2 ist mit Hilfe einer Positioniereinrichtung 4 relativ
zum Objekt 3 um zwei zueinander senkrechte Achsen transversal verfahrbar.
Hierzu weist die Positioniereinrichtung 4 zwei Positionierschienen 5, 6 auf,
längs denen
diese transversale Positionierung erfolgt. An einem Ende der Positionierschiene 6 ist
ein Positioniermotor 7 dargestellt. Bei diesem handelt
es sich um einen aus dem Stand der Technik bekannten DC-Positioniermotor. Über einen
entsprechenden Positioniermotor ist die Positionierung längs der
Positionierschiene 5 möglich.
Die Bewegungsrichtung längs
der Positionierschiene 6 wird nachfolgend auch als X-Richtung
und diejenige längs
der Positionierschiene 5 auch als Y-Richtung bezeichnet.
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Über
eine Signalleitung 8 steht ein Positionsgeber des Positioniermotors 7 mit
einer Kamera-Steuervorrichtung 9 in Verbindung. Mit dieser
wird die Bilderfassung des Objekts 3 durch die Kamera 2 gesteuert.
Zur Erfassung der Positionsdaten über die Signalleitung 8 dient
ein Positionserfassungsmodul 10 der Kamera-Steuervorrichtung 9. Über eine
nicht dargestellte Signalleitung steht der Positionsgeber des Positioniermotors
der Positionierschiene 5 mit dem Positionserfassungsmodul 10 in
Verbindung. Das Positionserfassungsmodul 10 steht über eine Datenleitung 11 mit
einem Berechnungsmodul 12 in Verbindung. Letzteres steht
mit einem Korrek turmodul 13 und über eine Datenleitung 14 mit
einer Teach-Schnittstelle 15 der Kamera-Steuervorrichtung 9 in
Verbindung. Über
eine Datenleitung 16 steht das Korrekturmodul 13 mit
einer als RS232-Schnittstelle ausgeführten Daten-Schnittstelle 17 in
Verbindung. Über
Signalleitungen 18, 19 ist das Korrekturmodul 13 mit
einem Belichtungs-Triggermodul 20 einerseits und mit einem
Blitz-Triggermodul 21 andererseits verbunden. Das Belichtungs-Triggermodul 20 steht über eine
Signalleitung 22 mit einer lokalen Kamera-Steuereinheit 23 der
Kamera 2 in Verbindung. Über eine Signalleitung 24 ist
das Blitz-Triggermodul 21 mit der Kamera-Steuereinheit 23 verbunden.
Letztere steht mit einem einen Kameraverschluss enthaltenden Kamerakopf 25 einerseits
und mit einer an der Kamera 2 angebrachten Blitzeinheit 26 andererseits
in Verbindung.
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Ein mit der Kamera-Steuervorrichtung 9 der Überwachungsvorrichtung 1 durchgeführtes Steuerverfahren
zur Steuerung der Bilderfassung des relativ zur Kamera 2 bewegten
Objekts 3 läuft
folgendermaßen
ab:
Zunächst
wird mit der Positioniereinrichtung 4 durch Verfahren der
Kamera 2 längs
der Positionierschienen 5, 6 eine Soll-Relativposition
der Kamera 2 relativ zum Objekt 3 angefahren,
bei der eine vorgegebene Erfassung des Objekts 3 durch
die Kamera 2 gegeben ist. Zur Ermittlung der Soll-Relativposition ist die
Kamera-Steuervorrichtung 9 über die Teach-Schnittstelle 15 mit
einem externen Rechner verbunden, der seinerseits mit der Kamera 2 in
Datenverbindung steht. Mit Hilfe eines Bilderfassungs-Algorithmus bestimmt
der externe Rechner, wann die Soll-Relativposition erreicht ist.
Das Erreichen der Soll-Relativposition wird dann der Teach-Schnittstelle 15 angegeben.
Die Teach-Schnittstelle 15 legt die der Soll-Relativposition entsprechenden
Positionsdaten, die sie vom Positionserfassungsmodul 10 erhält, ab.
Es reicht aus, die Soll-Relativposition ein einzi ges Mal zu bestimmen.
Anschließend
wird mit der Positioniereinrichtung 4 eine Ausgangsposition
der Kamera 2 angefahren, z.B. die in 1 dargestellte Position. Anschließend wird
die Kamera 2 mittels der Positioniereinrichtung 4 längs eines
vorgegebenen Weges in X- und Y-Richtung verfahren. Längs dieses
Weges erreicht die Kamera 2 den Bereich der Soll-Relativposition zum
Objekt 3, bei der die Bilderfassungsachse der Kamera 2 mit
einer Soll-Achse 27, bei der eine optimale Erfassung des
Objekts 3 durch die Kamera 2 möglich ist, soweit zusammenfällt, dass
eine vorgegebene Erfassung des Objekts 3 mit der Kamera 2 möglich ist.
Während
der Bewegung der Kamera 2, die ausgehend von der Ausgangsposition
erfolgt, werden Momentanpositionen der Kamera 2 ständig vom
Positionsgeber des Positionsmotors 7 der Positionsschiene 6 sowie
des weiteren Positionsmotors der Positionsschiene 5 erfasst
und über
die Signalleitung 8 an das Positionserfassungsmodul 10 übertragen.
Dieses errechnet aus den übermittelten
Positionsdaten und den Zeitpunkten ihrer Übertragung die Momentangeschwindigkeiten
sowie die Momentanbeschleunigungen der Kamera 2 längs der
X- und der Y-Richtung, sowie die Entfernung zur Soll-Relativposition.
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Die ermittelten Daten, also Momentanpositionen,
Momentangeschwindigkeiten sowie Momentanbeschleunigungen, werden
vom Positionserfassungsmodul 10 über die Datenleitung 11 an
das Berechnungsmodul 12 übermittelt. Hierbei werden
die vier letzten in gleichen Zeitintervallen ermittelten Momentanpositionen
zur Berechnung der weiteren Bewegungsdaten herangezogen.
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Die Bewegungsdaten werden vom Berechnungsmodul 12 an
das Korrekturmodul 13 übertragen.
Im Korrekturmodul 13 sind als Systemparameter eine Belichtungs-Verarbeitungszeitdauer
zwischen einem Belichtungs- Auslösesignal,
welches der Kamera 2 über
die Signalleitung 22 zur Verfügung gestellt wird, und dem
Beginn der ausgelösten
Kamerabelichtung durch Öffnen
des Kameraverschlusses im Kamerakopf 25 sowie eine Blitz-Verarbeitungszeitdauer
zwischen einem Blitz-Auslösesignal,
welches der Kamera-Steuereinheit 23 über die Signalleitung 24 bereitgestellt
ist, und dem von der Blitzeinheit 26 ausgelösten Blitz
abgelegt. Mit Hilfe der vom Berechnungsmodul 12 berechneten
Bewegungsdaten sowie mit den genannten Systemparametern ermittelt
das Korrekturmodul 13 durch Extrapolation die Auslösepositionen
für die
Aktivierung des Belichtungs-Auslösesignals
durch das Belichtungs-Triggermodul 20 einerseits und für die Aktivierung
des Blitz-Auslösesignals
durch das Blitz-Triggermodul 21 andererseits.
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Diese Auslösepositionen werden dem Belichtungs-Triggermodul 20 einerseits
und dem Blitz-Triggermodul 21 andererseits vom Korrekturmodul 13 über die
Steuerleitungen 18, 19 übermittelt. An den extrapolierten
Auslösepositionen
senden das Belichtungs-Triggermodul 20 einerseits und das Blitz-Triggermodul 21 andererseits über die
Signalleitungen 22, 24 das Belichtungs-Auslösesignal
sowie das Blitz-Auslösesignal.
Somit ist sichergestellt, dass dann, wenn die Kamera 2 die
Soll-Relativposition erreicht, das Objekt 3 optimal erfasst
wird.
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In der Regel reicht es aus, die Bewegungsdaten
an Hand der sich ändernden
Positionsdaten längs
einer der beiden Positionierschienen 5, 6 zu ermitteln.
Wird zum Beispiel die X-Achse zur Ermittlung der Bewegungsdaten
herangezogen, so reicht es aus, eine X-Koordinate der Auslöseposition
anzugeben. Bei Erreichen dieser X-Koordinate erfolgt dann ein Auslösen von
Belichtung und Blitz, sodass eine optimale Erfassung an der Soll-Relativposition
gegeben ist. Längs
der Bewegung derjenigen Achse, die zur Be rechnung der Bewegungsdaten
nicht herangezogen wurde, im obigen Bespiel also längs der Y-Achse,
kann ebenfalls eine Relativbewegung stattfinden. Bei Erreichen der
Soll-Relativposition wird der beim Erreichen der Soll-Relativposition
vorliegende Y-Wert als Korrekturwert erfasst.
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Die von der Kamera-Steuervorrichtung 9 erfassten
Daten zur Momentanposition der Kamera 2 und ggf. auch die
Momentangeschwindigkeits- und Momentanbeschleunigungsdaten werden über die Datenleitung 16 der
Daten-Schnittstelle 17 zur Verfügung gestellt und können über diese
z.B. von einem externen Rechner abgerufen werden. Insbesondere dann,
wenn während
des Positionierens der Kamera 2 nur längs einer der beiden Richtungen
X, Y verfahren wird, kann an der Daten-Schnittstelle 17 die
jeweils feste X- oder Y-Position ausgegeben werden.
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Bei der Signalleitung 8 kann
es sich um eine bekannte Encoder-Übertragungsleitung handeln, über die
in bekannter Weise zwei Inkrementalsignale übertragen werden, welche die
Position sowie die Richtung der Positionsveränderung repräsentieren. Die
Encoder-Eingänge
der Signalleitung 8 stehen mit dem Positionserfassungsmodul 10 über einen
Differenzverstärker
und einen Filter in Verbindung. Weiterhin kann die Signalleitung 8 noch
Digitaleingänge umfassen,
die mit dem Positionserfassungsmodul 10 über Optokoppler
oder galvanisch verbunden sind. Über
die Digitaleingänge
können
dem Positionserfassungsmodul Steuerdaten übermittelt werden, die z.B.
angeben, dass die Kamera 2 die Soll-Relativposition erreicht
hat.
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Bei den Ausgängen der Triggermodule 20, 21 handelt
es sich um schnelle Optokopplerausgänge. Alternativ kann es sich
auch um TTL-Ausgänge handeln.
Die Signalleitungen 22 und 24 sind bei der Ausführungsform
nach 1 als flexible
Leitungen ausgeführt.
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2 zeigt
eine alternative Ausgestaltung der Überwachungsvorrichtung. Komponenten
die denjenigen entsprechen, die schon unter Bezugnahme auf 1 diskutiert wurden, tragen
die gleichen Bezugszeichen und werden nicht nochmals im Einzelnen
erläutert.
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Im Unterschied zur Überwachungsvorrichtung 1 der 1 ist bei der alternativen
Ausführungsform
der 2 nicht die Kamera 2,
sondern das Objekt 3 mittels der Positioniereinrichtung 4 längs der Achsen
X, Y bewegbar. Beim Objekt 3 kann es sich z.B. um einen
Chip handeln, der von einem Saugkopf 28 einer Greifeinheit 29 erfasst
ist. Letztere ist in gleicher Weise an der Positionierschiene 6 angebracht, wie
die Kamera 2 bei der Ausführungsform nach 1. Die Kamera 2 ist
bei der alternativen Ausführungsform
ortsfest.
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Da es bei der vorstehenden Beschreibung des
Steuerverfahrens zur Steuerung der Bilderfassung des Objekts 3 durch
die Kamera 2 nur auf eine Relativbewegung der Kamera 2
zum Objekt 3 ankommt, gilt für das Steuerverfahren bei der
alternativen Ausführungsform
entsprechend, was oben im Zusammenhang mit der Ausführungsform
nach 1 ausgeführt wurde.