DE10245526B4 - Spectral broadband light source of high light output - Google Patents

Spectral broadband light source of high light output Download PDF

Info

Publication number
DE10245526B4
DE10245526B4 DE10245526A DE10245526A DE10245526B4 DE 10245526 B4 DE10245526 B4 DE 10245526B4 DE 10245526 A DE10245526 A DE 10245526A DE 10245526 A DE10245526 A DE 10245526A DE 10245526 B4 DE10245526 B4 DE 10245526B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
light source
array
fiber
leds
fiber optic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE10245526A
Other languages
German (de)
Other versions
DE10245526A1 (en
Inventor
Manfred Keller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Northrop Grumman Litef GmbH
Original Assignee
Litef GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Litef GmbH filed Critical Litef GmbH
Priority to DE10245526A priority Critical patent/DE10245526B4/en
Priority to PCT/EP2003/008441 priority patent/WO2004034112A1/en
Priority to EP03807765A priority patent/EP1546785B1/en
Priority to DE50306218T priority patent/DE50306218D1/en
Priority to US10/529,571 priority patent/US20060056772A1/en
Publication of DE10245526A1 publication Critical patent/DE10245526A1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE10245526B4 publication Critical patent/DE10245526B4/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4249Packages, e.g. shape, construction, internal or external details comprising arrays of active devices and fibres
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4206Optical features

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

Spektral breitbandige Lichtquelle hoher Lichtleistung für faseroptische Anwendungen,
gekennzeichnet durch
– ein auf einem Substrat, insbesondere einem Wafer oder Chip angeordnetes monolithisches Linear-Array von benachbarten oberflächenemittierenden LEDs (3);
– eine vor dem monolithischen LED-Linear-Array auf der Abstrahlseite in vorgegebenem Abstand angeordnetes Mikrooptik-Array (4) mit den LED-Elementen individuell zugeordneten optischen Funktionen derart, dass die Abstrahlung der einzelnen LEDs auf eine zur Optimierung der in eine optische Faser einkoppelbaren Lichtleistung auf eine vor der Einkoppelstelle der Faser angeordnete Optik-Einheit (5) gebündelt wird.
Spectral broadband light source of high light output for fiber optic applications,
marked by
A monolithic linear array of adjacent surface-emitting LEDs (3) arranged on a substrate, in particular a wafer or chip;
- A front of the monolithic LED linear array on the emission side at a predetermined distance arranged micro-optics array (4) with the LED elements individually assigned optical functions such that the emission of the individual LEDs on one for the optimization of einkoppelbaren in an optical fiber Light power is focused on a front of the coupling point of the fiber optic unit (5).

Figure 00000001
Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft eine Lichtquelle spektraler Breitbandigkeit mit hoher Lichtleistung für faseroptische Anwendungen, insbesondere für den Einsatz in faseroptischen Interferometern oder faseroptischen Gyroskopen (FOGs).The The invention relates to a light source spectral broadband with high light output for Fiber optic applications, especially for use in fiber optic Interferometers or fiber optic gyroscopes (FOGs).

Bisher werden in faseroptischen Sensoren, insbesondere in FOGs, Superlumineszenz-Dioden als Lichtquelle verwendet, um die beiden zentralen Anforderungen von spektraler Breitbandigkeit einerseits und ausreichender in die Faser einzukoppelnder Lichtleistung andererseits zu garantieren. Solche Lichtquellen sind Spezialbauteile, die aufgrund ihrer geringen Stückzahl vergleichsweise sehr teuer sind. Handelsübliche, billige Alternativen wären lichtemittierende Dioden (LEDs) oder Laserdioden (LDs). LEDs erfüllen das Leistungskriterium nicht, LDs andererseits weisen nicht die zu fordernden spektralen Eigenschaften auf.So far are in fiber optic sensors, especially in FOGs, super luminescence diodes as Light source used to meet the two key requirements of spectral broadband, on the one hand, and sufficient in the fiber, on the other on the other hand to guarantee the light power to be coupled in. Such light sources are special components that are comparatively due to their small number are very expensive. Commercial, cheap alternatives would be light emitting diodes (LEDs) or laser diodes (LDs). LEDs fulfill this Performance criterion not, LDs on the other hand, do not have to be challenged spectral properties.

In der Druckschrift US 5,617,492 A ist eine optische Anordnung zum Einkoppeln mehrerer Lichtstrahlen in eine Lichtleitfaser beschrieben, wobei jeder Lichtstrahl durch eine eigene Lichtquelle erzeugt wird. Die Lichtquellen sind in Form von Halbleiterlasern realisiert. Die Fokussierung der einzelnen Lichtstrahlen auf die Lichtleitfaser erfolgt mittels einer Linse. In den Druckschriften US 4,826,269 A sowie US 2002/0090172 A1 sind ähnliche Einrichtungen beschrieben.In the publication US 5,617,492 A An optical arrangement for coupling a plurality of light beams into an optical fiber is described, wherein each light beam is generated by a separate light source. The light sources are realized in the form of semiconductor lasers. The focusing of the individual light beams on the optical fiber by means of a lens. In the pamphlets US 4,826,269 A and US 2002/0090172 A1, similar devices are described.

Der Erfindung liegt damit die Aufgabe zugrunde, eine spektral breitbandige Lichtquelle hoher Lichtleistung für faseroptische Anwendungen zur Verfügung zu stellen, die sich in einem wirtschaftlichen automatischen Massenherstellungsprozess und damit in großen Stückzahlen preisgünstig herstellen lässt.Of the Invention is therefore the object of a spectrally broadband Light source of high light output for fiber optic applications to disposal put in an economic automatic mass production process and so in big numbers inexpensive can be produced.

Eine spektral breitbandige Lichtquelle mit vergleichsweise hoher Lichtleistung für faseroptische Anwendungen, insbesondere für faseroptische Sensoren, ist erfindungsgemäß gekennzeichnet durch ein auf einem Substrat, insbesondere einem Wafer oder Chip angeordnetes monolithisches Linear-Array von benachbarten oberflächenemittierenden LEDs, eine vor dem monolithischen LED-Linear-Array auf der Abstrahlseite in vorgegebenem Abstand angeordnete Mikrooptik mit den LED-Elementen individuell zugeordneten optischen Funktionen derart, dass die Abstrahlung der einzelnen LEDs auf eine zur Optimierung der in eine optische Faser einkoppelbaren Lichtleistung auf eine vor der Einkoppeistelle der Faser angeordnete Optik-Einheit gebündelt wird.A Spectrally broadband light source with comparatively high light output for fiber optic applications, especially for Fiber-optic sensors, is characterized according to the invention by a on a substrate, in particular a wafer or chip arranged monolithic linear array of adjacent surface emitting LEDs, one in front of the monolithic LED linear array on the emission side in given Distance arranged micro-optics with the LED elements individually assigned optical functions such that the radiation of the individual LEDs on one to optimize in an optical fiber coupled light power on a front of the Einkoppeistelle the Fiber arranged optics unit is bundled.

Vorzugsweise ist die Optik-Einheit als eine an einem Lichteinstrahlende der Faser angeordnete Kugellinse ausgebildet.Preferably For example, the optical unit is one at a light irradiation end of the fiber arranged ball lens formed.

Außer für faseroptische Sensoren eignet sich die Erfindung auch vorteilhaft für bestimmte Anwendungen in der Messtechnik, insbesondere in der Telekommunikation, d. h. überall dort, wo eine spektrale Breitbandigkeit benötigt wird, z. B. bei der Vermessung/Einmessung von WDM- oder DWDM-Systemen.Except for fiber optic Sensors, the invention is also advantageous for certain Applications in metrology, especially in telecommunications, d. H. all over where a spectral broadband is needed, eg. B. in the measurement / measurement of WDM or DWDM systems.

Der Erfindungsgedanke besteht also in der geeigneten Kombination von mehreren grundsätzlich zur Verfügung stehenden Techniken und Elementen, nämlich

  • – leistungsstarken LEDs,
  • – präzisen Mikrooptiken zur Strahlbündelung der von den einzelnen LEDs abgegebenen Lichter, und
  • – einer geeigneten weiteren Optik zur optimierten Einkoppelung der gebündelten Lichtleistung in eine optische Faser.
The concept of the invention thus consists in the suitable combination of several fundamentally available techniques and elements, namely
  • - powerful LEDs,
  • Precise micro-optics for beam focusing the lights emitted by the individual LEDs, and
  • - A suitable further optics for optimized coupling of the bundled light power in an optical fiber.

Die eigentliche Lichtquelle ist ein Array, vorzugsweise ein Linsen-Array in Kombination mit leistungsstarken, oberflächenemittierenden LEDs. Mit diesen lässt sich das Kriterium der spektralen Breitbandigkeit erfüllen. Solche LEDs können auf dem gemeinsamen Wafer komplett getestet werden. Das Array besteht aus in geringem Abstand benachbarten LEDs auf dem Wafer, deren jeweilige Anzahl durch die nachfolgenden optischen Einheiten zur Strahlablenkung und Fokussierung sowie durch die erforderliche Lichtleistung bestimmt wird.The actual light source is an array, preferably a lens array in combination with high-performance, surface-emitting LEDs. With these let yourself fulfill the criterion of spectral broadband. Such LEDs can open completely tested on the common wafer. The array exists from closely spaced adjacent LEDs on the wafer, their respective ones Number by the following optical units for beam deflection and focusing and determined by the required light output becomes.

Auf dem monolithischen LED-Array wird eine spezielle Mikrooptik angebracht. Diese besteht aus einem Array einzelner optischer Funktionen, um die mehr oder weniger räumliche Abstrahlung der einzelnen LEDs auf dem Chip in eine jeweils parallele Abstrahlung zu bündeln. Durch diese Summierung der individuellen Lichtleistungen der einzelnen LEDs wird das Kriterium der erwünschten hohen Lichtleistung erfüllt. Durch die Verwendung neuester Verfahren aus den Bereichen der Mikrooptik erreicht man komplexe optische Funktionalität bei gleichzeitig sehr guter Anpassung an das LED-Array. Die Bündelung erfolgt dabei sehr präzise in Anpassung auf die einzelnen LEDs des Arrays und wird gegebenenfalls für jede dieser LEDs des Arrays hinsichtlich der Abstrahlrichtung optimiert. Diese Anforderungen lassen sich mit einer Mikrooptik sehr gut, nämlich monolithisch in einem einzigen Modul realisieren. Eine weitere Optikeinheit, z. B. eine auf der Faser stirnseitig angebrachte Kugellinse dient zur Strahlbündelung und zur Optimierung der Einkopplung in die Faser.On The monolithic LED array is fitted with a special micro-optic. This consists of an array of individual optical functions to the more or less spatial Radiating the individual LEDs on the chip into a parallel one Bundling radiation. By this summation of the individual light outputs of the individual LEDs will be the criterion of the desired high light output. By using the latest techniques in the field of micro-optics one reaches complex optical functionality with at the same time very good Adaptation to the LED array. The bundling takes place very much precise in adaptation to the individual LEDs of the array and is optionally for every of these LEDs of the array with respect to the direction of radiation optimized. These requirements can be very well with a micro-optics, namely monolithic realize in a single module. Another optical unit, z. B. serves a frontally mounted on the fiber ball lens for beam focusing and for optimizing the coupling into the fiber.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend unter Bezug auf die Zeichnung der 1 (einzige Figur) in Einzelheiten erläutert.An embodiment of the invention will be described below with reference to the drawing of 1 (single figure) explained in detail.

Auf einem Substrat 1, insbesondere einem geeigneten Wafer oder Chip-Substrat ist entlang einer Bezuglinie oder Kante 7 ein Linear-Array von vorzugsweise gleich beabstandeten leistungsstarken und oberflächenemittierenden LEDs ausgebildet, die alle unmittelbar auf dem Wafer mit bekannten Testverfahren komplett getestet werden können. In Abstrahlrichtung der LEDs 3 befindet sich in einem geringen Abstand ein Linsen-Array 4 einer Mikrooptik, deren einzelne Elemente 4 jeweils auf eine der LEDs 3 ausgerichtet sind. Die Optikelemente des Linsen-Arrays 4 ihrerseits sind so gestaltet und ausgerichtet, dass die Lichtstrahlen der einzelnen LED-Elemente 3 auf eine Sammeloptik 5 fokussiert werden, die vorzugsweise eine vor oder auf einer optischen Faser 6 angeordnete Sammeloptik 5, beispielsweise eine Kugellinse ist.On a substrate 1 , in particular a suitable wafer or chip substrate, is along a datum line or edge 7 formed a linear array of preferably equally spaced high-performance and surface-emitting LEDs, all of which can be tested completely directly on the wafer with known test methods. In emission direction of the LEDs 3 is located at a small distance a lens array 4 a micro-optics, their individual elements 4 each on one of the LEDs 3 are aligned. The optical elements of the lens array 4 in turn are designed and aligned so that the light rays of the individual LED elements 3 on a collection optics 5 be focused, preferably one before or on an optical fiber 6 arranged collection optics 5 , For example, is a ball lens.

Mit der Erfindung werden folgende wesentliche Vorteile erreicht:

  • 1. Wesentliche Bearbeitungs- und Testschritte können als Batch-Processing durchgeführt werden. Dies führt zu deutlich geringeren Herstellungskosten, insbesondere bei der Chip-Herstellung und im Vergleich zu den Herstellungskosten für eine einzelne Superlumineszenzdiode mit vergleichbaren Eigenschaften.
  • 2. Die Herstellung des Chips mit dem LED-Linear-Array und dem Linsen-Array erfolgt mit bekannten Prozessen einer Massenfertigung.
  • 3. Die Chips können vergleichsweise einfach an den jeweils aktuellen Stand der Technik angepasst werden, um ein Wachstumspotential dieser neuen Technik einfach zu nutzen, die im Prinzip von einer Mehrzahl von Chip-Herstellern heute beherrscht wird.
The following essential advantages are achieved with the invention:
  • 1. Essential processing and test steps can be performed as batch processing. This leads to significantly lower production costs, in particular in the chip production and compared to the production costs for a single superluminescent diode with comparable properties.
  • 2. The production of the chip with the LED linear array and the lens array is done with known processes of mass production.
  • 3. The chips can be relatively easily adapted to the current state of the art in order to easily exploit a growth potential of this new technology, which is in principle dominated by a plurality of chip manufacturers today.

Claims (2)

Spektral breitbandige Lichtquelle hoher Lichtleistung für faseroptische Anwendungen, gekennzeichnet durch – ein auf einem Substrat, insbesondere einem Wafer oder Chip angeordnetes monolithisches Linear-Array von benachbarten oberflächenemittierenden LEDs (3); – eine vor dem monolithischen LED-Linear-Array auf der Abstrahlseite in vorgegebenem Abstand angeordnetes Mikrooptik-Array (4) mit den LED-Elementen individuell zugeordneten optischen Funktionen derart, dass die Abstrahlung der einzelnen LEDs auf eine zur Optimierung der in eine optische Faser einkoppelbaren Lichtleistung auf eine vor der Einkoppelstelle der Faser angeordnete Optik-Einheit (5) gebündelt wird.Spectral broadband light source of high light output for fiber optic applications, characterized by - a monolithic linear array of adjacent surface emitting LEDs arranged on a substrate, in particular a wafer or chip ( 3 ); A micro-optics array arranged in front of the monolithic LED linear array on the emission side at a predetermined distance ( 4 ) with the LED elements individually assigned optical functions such that the emission of the individual LEDs to a for optimizing the einkoppelbaren in an optical fiber light power to a front of the coupling point of the fiber optic unit ( 5 ) is bundled. Spektral breitbandige Lichtquelle nach Anspruch 1, dadurch gekenzeichnet, dass die Optik-Einheit (5) als eine an einem Lichteinstrahlende der Faser (6) angeordnete Sammeloptik, insbesondere als Kugellinse ausgebildet ist.Spectral broadband light source according to claim 1, characterized in that the optical unit ( 5 ) as one at a light irradiation end of the fiber ( 6 ) arranged collection optics, in particular as a ball lens is formed.
DE10245526A 2002-09-30 2002-09-30 Spectral broadband light source of high light output Expired - Fee Related DE10245526B4 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10245526A DE10245526B4 (en) 2002-09-30 2002-09-30 Spectral broadband light source of high light output
PCT/EP2003/008441 WO2004034112A1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 Spectral broadband and a high efficiency light source
EP03807765A EP1546785B1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 Spectral broadband and a high efficiency light source
DE50306218T DE50306218D1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 SPECTRAL BROADBAND LIGHT SOURCE HIGH LIGHTING PERFORMANCE
US10/529,571 US20060056772A1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 Spectral broadband and a high efficiency light source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10245526A DE10245526B4 (en) 2002-09-30 2002-09-30 Spectral broadband light source of high light output

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10245526A1 DE10245526A1 (en) 2004-04-15
DE10245526B4 true DE10245526B4 (en) 2005-05-12

Family

ID=32009977

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE10245526A Expired - Fee Related DE10245526B4 (en) 2002-09-30 2002-09-30 Spectral broadband light source of high light output
DE50306218T Expired - Fee Related DE50306218D1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 SPECTRAL BROADBAND LIGHT SOURCE HIGH LIGHTING PERFORMANCE

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE50306218T Expired - Fee Related DE50306218D1 (en) 2002-09-30 2003-07-30 SPECTRAL BROADBAND LIGHT SOURCE HIGH LIGHTING PERFORMANCE

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20060056772A1 (en)
EP (1) EP1546785B1 (en)
DE (2) DE10245526B4 (en)
WO (1) WO2004034112A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526761A (en) * 2015-08-26 2017-03-22 弗莱克斯电子有限责任公司 LED and laser light coupling device and method of use

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10250912B4 (en) * 2002-10-31 2006-04-27 Osram Opto Semiconductors Gmbh coupling device
WO2006032160A1 (en) 2004-09-21 2006-03-30 Volpi Ag Illumination source
DE102005022175A1 (en) * 2005-05-13 2006-12-21 Carl Zeiss Jena Gmbh Multispectral lighting unit
DE102007027615B4 (en) * 2007-06-12 2012-02-16 Schott Ag Device for coupling light into a fiber optic light guide
US9941965B2 (en) * 2015-07-15 2018-04-10 Flextronics Ap, Llc Laser and optical charging and communications device and method of use
US9970746B2 (en) 2015-08-26 2018-05-15 Flextronics Ap, Llc Diffusive optical fiber sensor and communication device and method of use

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4826269A (en) * 1987-10-16 1989-05-02 Spectra Diode Laboratories, Inc. Diode laser arrangement forming bright image
US5617492A (en) * 1996-02-06 1997-04-01 The Regents Of The University Of California Fiber optic coupling of a microlens conditioned, stacked semiconductor laser diode array
US20020090172A1 (en) * 2000-11-06 2002-07-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Multiplex laser light source and exposure apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US90172A (en) * 1869-05-18 Improvement in horse-stall floors
US12047A (en) * 1854-12-05 Ester
US4185891A (en) * 1977-11-30 1980-01-29 Grumman Aerospace Corporation Laser diode collimation optics
JPH04255280A (en) * 1991-02-07 1992-09-10 Nippon Steel Corp Semiconductor laser excitation solid-state laser device
US5268978A (en) * 1992-12-18 1993-12-07 Polaroid Corporation Optical fiber laser and geometric coupler
US5513201A (en) * 1993-04-30 1996-04-30 Nippon Steel Corporation Optical path rotating device used with linear array laser diode and laser apparatus applied therewith
CA2196186A1 (en) * 1994-07-29 1996-02-15 John R. Lewis Device for optically converting a plurality of beams
JP3228098B2 (en) * 1995-11-01 2001-11-12 横河電機株式会社 Light source
US6577332B2 (en) * 1997-09-12 2003-06-10 Ricoh Company, Ltd. Optical apparatus and method of manufacturing optical apparatus
US6654151B1 (en) * 1999-06-25 2003-11-25 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Image projector

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4826269A (en) * 1987-10-16 1989-05-02 Spectra Diode Laboratories, Inc. Diode laser arrangement forming bright image
US5617492A (en) * 1996-02-06 1997-04-01 The Regents Of The University Of California Fiber optic coupling of a microlens conditioned, stacked semiconductor laser diode array
US20020090172A1 (en) * 2000-11-06 2002-07-11 Fuji Photo Film Co., Ltd. Multiplex laser light source and exposure apparatus

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526761A (en) * 2015-08-26 2017-03-22 弗莱克斯电子有限责任公司 LED and laser light coupling device and method of use

Also Published As

Publication number Publication date
EP1546785A1 (en) 2005-06-29
US20060056772A1 (en) 2006-03-16
DE50306218D1 (en) 2007-02-15
EP1546785B1 (en) 2007-01-03
DE10245526A1 (en) 2004-04-15
WO2004034112A1 (en) 2004-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0114053B1 (en) Device for determining the angle of incidence of optical radiation
EP2881031B1 (en) Endoscope, exoscope or microscope and method for illuminating a field of operation of an endoscope, exoscope or microscope
DE69736133T2 (en) DIRECT HIGH-PERFORMANCE LASER DIODE SYSTEM WITH HIGH EFFICIENCY AND APPROPRIATE METHOD
EP2306073A3 (en) Light module for a lighting device of a motor vehicle
DE102011107895A1 (en) Optoelectronic module with lens system
TW200746274A (en) Laser irradiation device, laser irradiation method, and method for manufacturing modified object
DE10245526B4 (en) Spectral broadband light source of high light output
WO2007033687A1 (en) Apparatus for shaving a person’s hair by means of laser radiation
EP0115267B1 (en) Imaging system
DE102016124612A1 (en) Segmented optics for a lighting module for angle-selective lighting
DE10356384A1 (en) Lighting system of light emitting diodes is used to illuminate tip of cutting tool in measuring system
DE112018004438T5 (en) OPTICAL MODULE
DE102017200709A1 (en) Optical arrangement for beam merging
DE10001679A1 (en) Optical coupling arrangement
DE102009049057B4 (en) LED module, method of operating this LED module and lighting device with this LED module
DE102018214803B4 (en) Device for coupling electromagnetic waves into a chip
EP3752886B1 (en) Image sensor, position sensor device, lithography system and method for operating an image sensor
DE102014204691A1 (en) Image pickup device, in particular for vehicle measurement
WO2013068168A1 (en) Laser-phosphor device with laser array
DE102016121438A1 (en) Headlight, in particular headlight of a motor vehicle
EP0903823A3 (en) Laser element incorporating a laser array and method of fabrication
WO2017102169A1 (en) Lighting system and vehicle headlight
DE60101452T2 (en) ONE-PIECE OPTICAL ELEMENT FOR LIGHT TRANSMISSION AND MULTI-CHANNEL OPTICAL MODULE WITH THESE ELEMENTS
DE10024132A1 (en) Arrangement for detecting fluorescent light from several specimen points has distance between specimen points and associated detection elements chosen to be as small as possible
DE4203727A1 (en) Light guide esp. for high-resolution optical LED-type print head - has fibre=optic cross=section converter providing required resolution and separation, arranged opposite focussing elements

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee