DE10235033B4

DE10235033B4 - Durchflußmesser

Info

Publication number: DE10235033B4
Application number: DE2002135033
Authority: DE
Inventors: Hans Michael Sonnenberg; Günther HAUENSTEIN
Original assignee: Hydrometer GmbH
Current assignee: Diehl Metering GmbH
Priority date: 2002-07-31
Filing date: 2002-07-31
Publication date: 2006-07-27
Anticipated expiration: 2022-08-01
Also published as: DE10235033A1

Abstract

Durchflußmesser für flüssige oder gasförmige Medien mit einem vom Medium durchströmten, aus mindestens zwei Kanalteilen (2, 3) bestehenden Strömungskanal (1) sowie mit mindestens einem Ultraschallwandler (4, 5) zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallsignalen (6), die den Strömungskanal (1) durchsetzen, wobei die Ultraschallsignale (6) die gesamte Meßstrecke zum einen in und zum anderen entgegen der Strömung des Mediums durchlaufen, dadurch gekennzeichnet, daß der Schallweg der Ultraschallsignale (6) einen Schallweg-Abschnitt (7) aufweist, der die zwei Kanalteile (2, 3) auf direktem Weg, d. h. losgelöst vom Verlauf des Strömungskanals (1), miteinander verbindet, in dem oder als Schallweg-Abschnitt (7) mindestens eine schalldurchlässige Membran (8) vorgesehen ist oder in dem oder als Schallweg-Abschnitt (7) ein nicht-strömender Bereich des Mediums vorgesehen ist.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Durchflußmesser für flüssige oder gasförmige Medien mit einem vom Medium durchströmten, aus mindestens zwei Kanalteilen bestehenden Strömungskanal sowie mit mindestens einem Ultraschallwandler zum Aussenden bzw. Empfangen von Ultraschallsignalen, die den Strömungskanal durchsetzen.

Das aus DE 196 05 164 C 2 bekannte Ultraschall-Strömungsmeßgerät für flüssige und gasförmige Medien weist einen kreisringförmigen Strömungskanal auf, der aus mehreren Kanalteilen besteht, in welchen eine rotierend umlaufende Bewegung des zu messenden Mediums stattfindet. Die Anordnung ist dabei so getroffen, daß eine mehrfache, undefinierte Durchschallung des Strömungskanals stattfindet, wobei die Ultraschallsignale ausschließlich im kreisringförmigen Meßkanal verlaufen. Der Schallweg ist demnach dem Strömungsweg des Mediums angepaßt.

Weiterhin sind auch W- oder U-förmige Schallführungen sowie entsprechend geformte Strömungskanäle bekannt, die aufgrund ihrer Form starke Krümmungen aufweisen, welche aufgrund der dort stattfindenden Verwirbelungen des Mediums bei deren meßtechnischer Erfassung zu einer Beeinträchtigung des Meßergebnisses führen.

Aus DE 196 49 437 C1 ist eine Anordnung zur Messung der Fließgeschwindigkeit eines Mediums bekannt, bei der ein Ultraschallsignal eines Ultraschallkopfes zur Erzeugung zweier Teilsignale auf einen Doppelreflektor richtbar ist. Ein in der Nähe angeordnetes Meßrohr umfaßt zumindest zwei weitere Reflektoren, die zusammen mit dem Doppelreflektor einen geschlossenen Schallweg bilden, der teilweise innerhalb des Meßrohres im Medium verläuft. Der Doppelreflektor sitzt dabei außerhalb der eigentlichen Meßstrecke.

Die DE 42 13 170 C2 offenbart einen Ultraschall-Durchflußmesser für fluide Medien mit einer Ultraschallmeßstrecke in einem vom fluiden Medium durchströmten Meßkanal und als Sender und/oder Empfänger fungierenden Ultraschallwandlern. Der Durchfluß des fluiden Mediums wird aufgrund der Laufzeit oder Phasendifferenz eines Ultraschallsignals ermittelt. Der Meßkanal bildet einen im Querschnitt kreisförmigen Torus, der durch einen Ultraschallwandler eine Querabschottung erfährt, wobei der Eingangskanal zum Zuführen des fluiden Mediums auf der einen Seite und der Ausgangskanal auf der anderen Seite des unterteilenden Ultraschallwandlers quer vom Torus abgeht. Der Ultraschall läuft durchgängig ohne Unterbrechung vom sendenden Ultraschallwandler zum empfangenden Ultraschallwandler, der mit dem sendenden Ultraschallwandler übereinstimmen kann, wobei der Strömungsweg des Mediums mit dem Schallweg übereinstimmt.

Aus DE 100 35 241 A1 ist ein Durchflußmesser für flüssige oder gasförmige Medien mit einer durchströmten Meßkammer bekannt, wobei ein Einlaß- und ein Auslaßkanal sowie zwei Ultraschallwandler zum Aussenden bzw. Empfangen von Ultraschallsignalen vorgesehen sind, die die Strömung in der Meßkammer durchsetzen. Durch entsprechende Anordnung zumindest des Einlaßkanals in der Meßkammer bildet sich ein Strömungswirbel des zu messenden Mediums aus. An der Kammerwand ist mindestens ein Reflektor vorgesehen, der das Ultraschallsignal in Richtung oder gegen die Richtung des Strömungswirbels durch die Meßkammer leitet.

Der aus US 4 850 220 bekannte Durchflußmesser für ein flüssiges Medium weist einen aus zwei Kanalteilen bestehenden Strömungskanal auf, in dessen Verlauf eine Hämodialyse-Einrichtung zwischengeschaltet ist. Am jeweiligen Ende der Kanalteile ist jeweils ein Ultraschallwandler angeordnet. Das jeweils ausgesendete Ultraschallsignal durchläuft dabei einmal das Medium in Strömungsrichtung und einmal entgegen der Strömungsrichtung.

Die in der DE 30 36 457 C3 offenbarte Ultraschall-Meßanordnung zur Differenzial-Durchflußmessung wird insbesondere bei der Kraftstoffverbrauchsmessung in Kraftfahrzeugen eingesetzt. Von einem ersten Ultraschallwandler zu einem zweiten Ultraschallwandler durchlaufen Ultraschallwellen nacheinander in einem Rohrsystem gleich lange Wege in einer ersten Ultraschallausbreitungsrichtung in Richtung mit einer Vorlaufströmung und gegen eine Rücklaufströmung und in einer zweiten Ultraschallausbreitungsrichtung in Richtung mit der Rücklaufströmung und gegen die Vorlaufströmung. Demnach durchlaufen die Ultraschallwellen auf dem Weg vom ersten zum zweiten Ultraschallwandler das Medium sowohl in Strömungsrichtung als auch entgegen der Strömungsrichtung.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Durchflußmesser mit einer verbesserten Schallführung der Ultraschallsignale zu schaffen, womit eine genauere Messung durchführbar ist.

Diese Aufgabe wird durch die gesamte Lehre des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 15.

Bei dem erfindungsgemäßen Durchflußmesser ist es vorgesehen, daß der Schallweg der Ultraschallsignale einen Schallweg-Abschnitt aufweist, der die mindestens zwei Kanalteile des Strömungskanals auf direktem Weg, d. h. losgelöst vom Verlauf des Strömungskanals, miteinander verbindet, in dem oder als Schallweg-Abschnitt mindestens eine schalldurchlässige Membran vorgesehen ist oder in dem oder als Schallweg-Abschnitt ein nicht strömender Bereich des Mediums vorgesehen ist. Der Strömungsweg des Mediums und der Schallweg sind im Bereich des Schallweg-Abschnittes voneinander unabhängig. Dadurch ist zumindest bereichsweise eine doppelte oder mehrfache Durchschallung des Strömungskanals möglich, wobei die Ein- und Ausströmbereiche, die an den Strömungskanal angrenzen, mitgenutzt werden können. Die damit erzielte verlängerte Meßstrecke sorgt für ein im Vergleich zum Stand der Technik verbessertes bzw. genaueres Meßergebnis. Mit der Erfindung ist es möglich, den Ein- und Auslaufbereich des Durchflußmessers schalltechnisch zu verbinden, ohne den Strömungsverlauf des Mediums zu verändern. Durch die Verlängerung der Meßstrecke kann die Gesamteinheit des Durchflußmessers kleinere Dimensionen annehmen, ohne die Meßqualität zu beeinträchtigen.

Die Erfindung hat außerdem den Vorteil, daß eine technisch günstigere Anordnung der Ultraschallwandler z. B. an den Außenwänden, wo eine gute Anschlußmöglichkeit besteht, möglich ist.

Die Membran erlaubt eine Weiterleitung des Ultraschallsignals, verhindert jedoch eine Durchströmung des Mediums. Damit ist der Schallweg der Ultraschallsignale und der Strömungsweg des Mediums voneinander unabhängig.

Der alternativ zur schalldurchlässigen Membran vorgesehene nicht-strömende Bereich des Mediums hat dieselbe Aufgabe bzw. Funktion wie die Membran und verhindert eine Rückströmung des Mediums.

Ist in dem Schallweg-Abschnitt eine Membran vorgesehen, kann diese einen Durchbruch aufweisen, durch welchen keine oder nur unwesentliche Rückströmungen des Mediums stattfinden. Generell gilt, also sowohl beim nicht-strömenden Bereich des Mediums als auch bei der Membran mit dem Durchbruch, daß im unterkritischen und/oder im überkritischen Reynoldsbereich keine oder nur geringe Rückströmungen stattfinden.

Der Durchmesser des Durchbruches ist vorteilhafterweise mindestens so groß wie der intensive Schallkeulendurchmesser und/oder höchstens so groß wie der dreifache intensive Schallkeulendurchmesser, damit der wesentliche Anteil des Ultraschallsignals ungehindert durch den Durchbruch weitergeleitet wird.

Eine gezielte Verhinderung der Rückströmung kann auch durch entsprechend angeordnete Strömungsabrißkanten herbeigeführt werden. In einer weiteren Ausführungsvariante ist es möglich, daß die gezielte Verhinderung der Rückströmung durch in dem Strömungskanal verteilte Injektionskanäle durchgeführt wird.

Wie bereits erwähnt, können zumindest über einen Teilbereich des Strömungskanals zwei Teilschallwege verlaufen, womit eine Verlängerung der Meßstrecke und damit eine Verbesserung des Meßergebnisses erreicht wird. Die Ultraschallsignale der Teilschallwege können durchaus von denselben Ultraschallschallwandlern stammen bzw. von denselben Ultraschallwandlern empfangen werden. Es ist demnach keine erhöhte Anzahl an Ultraschallwandlern erforderlich. Ferner ist eine doppelte oder mehrfache Durchschallung des Strömungskanals möglich, bevor der ausgesendete Ultraschall auf den empfangenden Ultraschallwandler trifft.

Zweckmäßigerweise sollten die Teilschallwege einen unterschiedlichen Winkel und/oder einen seitlichen und/oder räumlichen Versatz zueinander aufweisen, damit die beiden Signale unterscheidbar sind. Außerdem ist eine Überlagerung der Teilschallwege zu vermeiden, damit keine Interferenzen der Schallsignale und keine Verfälschung des Meßergebnisses stattfindet.

Vorteilhafterweise kann der Schallweg-Abschnitt im Bereich von nebeneinander bzw. in der Nähe angeordneten Ein- und Auslaßkanälen angeordnet sein. Mittels einer solchen Konstruktion wird der Strömungsweg des Mediums nicht beeinflußt, der Ultraschall dagegen tritt wieder in den Einlaßbereich der Strömung ein und kann so über 360 Grad hinaus die Meßstrecke überrunden.

Vorteilhafterweise kann die Schallführung ausschließlich über die Außenwand des Strömungskanals bzw. an der Außenwand des Strömungskanals angeordnete Schallführungselemente, insbesondere Spiegel, erfolgen. Eine solche definierte Weiterleitung der Ultraschallsignale sorgt für eine äußerst präzise Schallführung und damit eine hohe Meßgenauigkeit. Indem keine Innenwand-Reflexion stattfindet, werden parasitäre Echos oder Interferenzen vermieden und damit eine Verfälschung der Laufzeit der Ultraschallsignale und folglich der Messung verhindert.

Zweckmäßigerweise kann der Strömungskanal spiral- und/oder wendelförmig oder ring- oder Ω-förmig oder U- oder W-förmig ausgebildet sein. Bei sämtlichen der genannten Strömungskanäle ist der Einlaßbereich neben dem Auslaßbereich angeordnet, so daß dazwischen der Schallweg-Abschnitt angeordnet werden kann, der die zwei Kanalteile schalltechnisch miteinander verbindet.

Zweckmäßigerweise werden bei einem insbesondere U- oder W-förmigen Strömungskanal nur die geraden Anteile des Strömungskanals von den Ultraschallsignalen erfaßt. Auf diese Weise werden die Strömungsumlenkungsstellen, welche große Inhomogenitäten aufweisen und hohe Verwirbelungen des strömenden Mediums erzeugen, nicht erfaßt. Dabei können die Ultraschallwandler parallel an der Gehäuseoberseite angeordnet sein, wodurch eine einfache Anschlußmöglichkeit geschaffen wird. Im Ein- und Auslaßbereich können sodann Schallführungselemente, insbesondere Spiegel angeordnet sein, welche dafür sorgen, daß die Ultraschallsignale durch den Schallweg-Abschnitt, der die zwei Kanalteile schalltechnisch verbindet, gelenkt werden.

Im Folgenden werden vorteilhafte Ausführungsvarianten der Membran näher erläutert. Zweckmäßigerweise ist die Membran dünnwandig und höchstens so dick wie die Wellenlänge der Ultraschallsignale, um diese optimal weiterzuleiten und beim Durchlaufen durch die Membran nicht zu verändern.

Mit Vorteil hat die Membran auch eine dem Medium zumindest ähnliche Impedanz, um keine Reflexion der Ultraschallsignale, sondern ein freies Durchlaufen der Ultraschallsignale zu bewirken.

Die Oberflächen der Membran stehen nicht senkrecht bzw. schräg zum Schallweg. Die Ausrichtung der Flächen ist so gestaltet, daß reflektierte Schallanteile nicht mehr den oder die empfangenden Wandler erreichen können. Die reflektierten Schallanteile können so in Bereiche eintreten, die für die Messung nicht relevant sind.

In einer vorteilhaften Ausführungsvariante ist es auch möglich, daß zwischen zwei Membranen ein Schallleitbereich vorgesehen ist, der den Ultraschall lediglich weiterleitet, jedoch nicht zur Messung beiträgt. Bei einer entsprechenden Konstruktion des Strömungskanals kann eine zweite oder auch weitere Membran sowie ein Schallleitbereich notwendig sein, um den Schall wieder in den nächsten Meßstreckenabschnitt einzukoppeln.

Ist der Schallweg-Abschnitt bzw. die schallleitende Membran mittig zwischen den Ultraschallwandlern angeordnet, so ergibt sich ein langer reflektierter Schallweg, der nicht mit dem ausgesendeten Meßschall überlagert wird und damit das Meßergebnis nicht negativ beeinflußt.

Die Erfindung ist anhand von vorteilhaften Ausführungsbeispielen in den Zeichnungsfiguren näher erläutert. Diese zeigen:
1 eine prinzipielle Darstellung eines spiralförmigen Strömungskanals in Draufsicht sowie
2 eine prinzipielle Darstellung eines U-förmigen Strömungskanals in Draufsicht.
Der in den Figuren dargestellte Strömungskanal 1 des Durchflußmessers für flüssige oder gasförmige Medien wird von dem jeweiligen Medium durchströmt und besteht aus zwei Kanalteilen 2, 3. Außerdem sind jeweils zwei Ultraschallwandler 4, 5 zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallsignalen 6 dargestellt, die den Strömungskanal 1 durchsetzen, wobei die Ultraschallsignale 6 die gesamte Meßstrecke zum einen in und zum anderen entgegen der Strömung des Mediums durchlaufen. Der Schallweg der Ultraschallsignale 6 weist einen Schallweg-Abschnitt 7 auf, der die zwei Kanalteile 2, 3 auf direktem Weg, d. h. losgelöst vom Verlauf des Strömungskanals 1, miteinander verbindet.
Als Schallweg-Abschnitt 7 ist in der jeweiligen Ausführungsvariante eine schalldurchlässige Membran 8 vorgesehen. Die Membran 8 sorgt also dafür, daß die Strömung des Mediums nicht verändert wird, der Schallweg jedoch einen anderen Verlauf nehmen kann. Dies ist bei der Ausführungsvariante gemäß 1 mit dem Vorteil verbunden, daß zumindest über einen Teilbereich des Strömungskanals 1 eine doppelte Durchschallung ermöglicht wird, was zu einer Verlängerung der Meßstrecke und damit zu einer Verbesserung der Messung führt, wobei die Dimensionen des Strömungskanals 1 gleich bleiben. Außerdem können durch die Anordnung gemäß 1 auch die Ein- und Auslaßbereiche mitgenutzt werden.
Gemäß der Ausführungsvariante in 2, bei welcher ein U-förmiger Strömungskanal 1 vorgesehen ist, ermöglicht die Anordnung der Membran 8 eine technisch günstigere Anordnung der Ultraschallwandler 4, 5. Die Ultraschallwandler 4, 5 sind dort an der Gehäuseoberseite 9 angebracht, wo eine bessere und einfachere Anschlußmöglichkeit besteht.
Anstatt der Membran 8 kann auch ein nicht-strömender Bereich des Mediums vorgesehen sein, der den Strömungsverlauf nicht beeinflußt, jedoch für die Ultraschallsignale 6 durchlässig ist. Diese Alternative ist jedoch nicht in den Zeichnungsfiguren dargestellt.
Die Membran 8 kann mindestens einen Durchbruch aufweisen, durch welchen keine oder nur unwesentliche Rückströmungen des Mediums stattfinden, die Ultraschallsignale 6 jedoch ungehindert weitergeleitet werden. Der Durchmesser eines solchen Durchbruches ist dabei mindestens so groß wie der intensive Schallkeulendurchmesser und/oder höchstens so groß wie der dreifache intensive Schallkeulendurchmesser.
Im Folgenden wird wieder auf die 1 Bezug genommen. Damit die Ultraschallsignale 6, die den Strömungskanal 1 doppelt durchlaufen, unterscheidbar sind, weisen die dazugehörigen Teilschallwege 10, 11 einen unterschiedlichen Winkel zueinander auf. Anstatt des in der 1 dargestellten unterschiedlichen Winkels der Teilschallwege 10, 11 können diese auch einen seitlichen und/oder räumlichen Versatz zueinander aufweisen, um eine Überlagerung der jeweiligen Ultraschallsignale zu verhindern.
Die Membran 8 ist im Bereich von nahe zueinander angeordneten und von unterhalb der Meßstrecke angeordneten Einlaßkanal 12 und Auslaßkanal 13 angeordnet. Dadurch wird der Strömungsweg des Mediums nicht beeinflußt, der Ultraschall kann dagegen in den Einlaßbereich eintreten und auf diese Weise auch diesen Bereich meßtechnisch erfassen.
Die Schallführung erfolgt in beiden Ausführungsbeispielen ausschließlich über an der Außenwand des Strömungskanals 1 angeordnete Spiegel 14, womit eine exakte Führung der Ultraschallsignale 6 und damit eine exakte Messung erreicht wird.
Im Folgenden wird auf 2 Bezug genommen. Dort werden ausschließlich die geraden Anteile des Strömungskanals 1 von den Ultraschallsignalen 6 erfaßt, so daß große Umlenkungsstellen, welche große Turbulenzen und Inhomogenitäten aufweisen, nicht schalltechnisch erfaßt werden. Im Einlaß- und Auslaßbereich des U-förmigen Strömungskanals 1 sind Spiegel 14 angeordnet, welche die Ultraschallsignale 6 durch die Membran 8 leiten und für den gewünschten Verlauf des Schallweges sorgen.
Die Membran 8 ist höchstens so dick wie die Wellenlänge der Ultraschallsignale 6, damit die Ultraschallsignale 6 nicht verändert werden.
Die Membran 8 hat eine dem zu messenden Medium zumindest ähnliche Impedanz, so daß die Ultraschallsignale 6 durch die Membran 8 wie durch das Medium weitergeleitet werden, ohne reflektiert oder gedämpft zu werden.
Die Membran 8 ist nicht senkrecht bzw. schräg zum Schallweg der Ultraschallsignale 6 angeordnet, damit eventuell an der Membran 8 reflektierte Schallanteile abgelenkt werden, sich nicht mit dem Hauptschall überlagern und nicht mehr den empfangenden Ultraschallwandler 4, 5 erreichen können.

1: Strömungskanal
2: Kanalteil
3: Kanalteil
4: Ultraschallwandler
5: Ultraschallwandler
6: Ultraschallsignale
7: Schallweg-Abschnitt
8: Membran
9: Gehäuseoberseite
10: Teilschallweg
11: Teilschallweg
12: Einlaßkanal
13: Auslaßkanal
14: Spiegel

Claims

Durchflußmesser für flüssige oder gasförmige Medien mit einem vom Medium durchströmten, aus mindestens zwei Kanalteilen (2, 3) bestehenden Strömungskanal (1) sowie mit mindestens einem Ultraschallwandler (4, 5) zum Aussenden und Empfangen von Ultraschallsignalen (6), die den Strömungskanal (1) durchsetzen, wobei die Ultraschallsignale (6) die gesamte Meßstrecke zum einen in und zum anderen entgegen der Strömung des Mediums durchlaufen, dadurch gekennzeichnet, daß der Schallweg der Ultraschallsignale (6) einen Schallweg-Abschnitt (7) aufweist, der die zwei Kanalteile (2, 3) auf direktem Weg, d. h. losgelöst vom Verlauf des Strömungskanals (1), miteinander verbindet, in dem oder als Schallweg-Abschnitt (7) mindestens eine schalldurchlässige Membran (8) vorgesehen ist oder in dem oder als Schallweg-Abschnitt (7) ein nicht-strömender Bereich des Mediums vorgesehen ist.
Durchflußmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (8) einen Durchbruch aufweist, durch welchen keine oder nur unwesentliche Rückströmungen des Mediums stattfinden.
Durchflußmesser nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser des Durchbruches mindestens so groß wie der intensive Schallkeulendurchmesser und/oder höchstens so groß wie der dreifache intensive Schallkeulendurchmesser ist.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest über einen Teilbereich des Strömungskanals (1) zwei Teilschallwege (10, 11) verlaufen.
Durchflußmesser nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilschallwege (10, 11) einen unterschiedlichen Winkel zueinander aufweisen.
Durchflußmesser nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilschallwege (10, 11) einen seitlichen oder räumlichen Versatz zueinander aufweisen.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Schallweg-Abschnitt (7) im Bereich von nebeneinander angeordneten Ein- (12) und Auslaßkanälen (13) angeordnet ist.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Schallführung ausschließlich über die Außenwand des Strömungskanals (1) bzw. an der Außenwand des Strömungskanals (1) angeordnete Schallführungselemente, insbesondere Spiegel (14) erfolgt.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Strömungskanal (1) spiral- und/oder wendelförmig oder ring- oder Ω-förmig oder U- oder W-förmig ausgebildet ist.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß nur die geraden Anteile des Strömungskanals (1), insbesondere eines U-oder W-förmigen Strömungskanals, von den Ultraschallsignalen (6) erfaßt werden.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Anprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Einlaß- (12) und Auslaßbereich (13) Schallführungselemente, insbesondere Spiegel (14), angeordnet sind.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (8) höchstens so dick ist wie die Wellenlänge der Ultraschallsignale (6).
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (8) eine dem Medium zumindest ähnliche Impedanz hat.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Membran (8) nicht senkrecht bzw. schräg zum Schallweg angeordnet ist.
Durchflußmesser nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen zwei Membranen (8) ein Schallleitbereich vorgesehen ist.