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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Herstellen von Halbleiterschaltungen
und insbesondere auf einen virtualisierten generischen Ausrüstungsmodelldaten-
und Steuerrouter für
eine Fabrikautomatisierung.
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Der
Halbleiterherstellungsprozeß besteht aus
einer wesentlichen Anzahl von einmaligen Halbleitermaterialverarbeitungsschritten.
Bei jedem Schritt wird das Material verschiedenen mechanischen,
chemischen oder elektrischen Prozessen ausgesetzt, die die Art des
Halbleitermaterials entweder verändern
oder messen. Jeder dieser Schritte erfordert ein einmaliges und
hochspezialisiertes Materialverarbeitungswerkzeug.
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Bei
jedem bestimmten Fabrikationsherstellungsprozeßschritt werden typischerweise
fünf allgemeine
Aktionen durchgeführt.
Bei der ersten Aktion kommt das Material (z. B. ein Siliziumwafer)
an einem Werkzeug an. An dem Werkzeug wird das Material erfaßt, identifiziert
und heraufgeladen.
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Bei
einer zweiten Aktion wird das Material in eine Prozeßkammer
bewegt. Bei einer dritten Aktion wird das Material verarbeitet.
Bei einer vierten Aktion wird das Material aus der Prozeßkammer
bewegt. Bei einer fünften
Aktion wird das Material von dem Werkzeug heruntergeladen.
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Bei
der ersten, zweiten, vierten und fünften Aktion wird das Material
transportiert und diese Aktionen werden zusammen als die Materialtransportfunktion
bezeichnet. Bei der dritten Aktion wird das Material verarbeitet
und diese Aktion wird als die Materialverarbeitungsfunktion bezeichnet.
Die Materialtransportfunktion und die Materialverarbei tungsfunktion
sind typischerweise in einem einzigen Prozeßwerkzeug integriert.
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Entweder
eine Zellsteuerung oder ein Fabrikhostsystem verwalten die Automatisierung
einer Sammlung von Werkzeugen. Hierin werden der Fabrikhost und
die Zellsteuerung beide als der „Prozeßschritthost" oder „Automatisierungshost" bezeichnet. Für jedes
Werkzeug weist der Prozeßschritthost
typischerweise einen Kommunikationsweg auf und verwaltet ein Prozeßzustandsmodell.
Diese 1-zu-1-Beziehung von Kommunikation, Zustandmodell und des Prozeßschritts
liefert ein leichtes Verfahren zum Verwalten der Automatisierung.
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Es
gibt jedoch Fälle,
bei denen es mehrere physikalische Werkzeuge benötigt werden, um die fünf Aktionen
für einen
einzigen Herstellungsprozeßschritt
durchzuführen.
Der am weitesten verbreitete Fall dafür ist der Materialtestprozeßschritt,
bei dem die fünf
Schritte der Materialverarbeitungsfunktion und der Materialtransportfunktion,
die oben beschrieben sind, typischerweise drei getrennte Werkzeuge sind.
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Beispielsweise
werden das Herauf- und Herunterladen des Materials durch ein automatisiertes Materialtransport-
und -andocksystem erreicht, das typischerweise als ein Ausrüstungsfrontendmodul (EFEM
= Equipment Front End Module) bekannt ist. Die Materialbewegung
in dem Prozeßschritt
wird durch ein Materialhandhabungssystem durchgeführt, das
typischerweise als ein Prober oder ein Handhabungsgerät bekannt
ist. Die Materialverarbeitung für den
Testprozeßschritt
wird durch ein Testsystem durchgeführt.
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Hierin
wird ein Prozeßschritt,
der erfordert, daß diese
mehreren physikalischen Werkzeuge den Schritt durchführen, als
ein nicht-integrierter Materialtransportprozeßschritt bezeichnet. Für einen
nicht-integrierten Materialbewegungsprozeßschritt verwaltet der Prozeßschritthost
nicht nur den Prozeßschritt, sondern
er muß außerdem die
Beziehung zwi schen den mehreren Werkzeugen, die erforderlich sind,
um diesen einzigen Prozeßschritt
durchzuführen,
mikroverwalten. Anders als ein integriertes Materialbewegungswerkzeug
muß der
Prozeßschritthost
für einen einzigen
Prozeßschritt
mehrere einzelne Prozeßzustandsmodelle
und mehrere Kommunikationswege verfolgen.
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Um
für die
Automatisierung der Halbleiterherstellungsprozesse einen gemeinsamen
Rahmen zu liefern, verlassen sich Halbleiterhersteller auf mechanische
Standards und Softwarestandards, die durch mehrere industrieweite
Konsortien entwickelt wurden. Diese automatisierten Herstellungsprozesse umfassen
sowohl die einzigen Prozeßschrittwerkzeuge
als auch die Herstellungsprozeßzellen,
die aus mehreren einzigen Prozeßwerkzeugen
unter der Anweisung des Prozeßschritthostcomputers
bestehen. Die große
Mehrheit dieser Automatisierungsstandards wird durch das Halbleiterausrüstungsherstellungsinstitut
(SEMI = Semiconductor Equipment Manufacturers Institute) herausgegeben.
Die fundamentalen Kommunikationsstandards, die den die Kommunikation
zwischen dem Prozeßschritthost
und dem Werkzeug und das Verhalten derselben regulieren, sind die
SEMI-E4-, E5-, E30- und E39-Standards.
Diese Standards sind allgemein als die SEMI SECS/GEM-Standards bekannt.
SEMI liefert außerdem
einen zusätzlichen
Standard, E87, der für
die Verwaltung von Materialträgern
sorgt, die verwendet werden, um Material zwischen Prozeßschritten
und Prozeßwerkzeugen
zu transportieren.
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Ein
spezieller Aspekt von SEMI E30 und E87 ist es, daß sie es
erfordern, daß das
Prozeßwerkzeug ein
Ausrüstungsprozeßzustandsmodell
liefert und beibehält.
Dieses Modell ermöglicht
es, daß die
Automatisierungsfunktion das physikalische und logische Verhalten
des Prozeßwerkzeuges
verfolgt und versteht. Durch Beachten des Verhaltensprozeßzustandmodells
des Prozeßwerkzeuges
kann die Automatisierungsfunktion verstehen, was das Prozeßwerkzeug
tut, und wofür
es wirksam ist und in der Lage ist, als nächstes zu tun. SEMI E30 und
E87 erfordern außerdem,
daß der
Prozeß Steuer-,
Tor- und Kommunikationszustandsmodelle liefert und beibehält.
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In
dem spezifischen Fall von 300 mm Halbleiterfabrikationsanlagen (fabs
= fabrication facilities) wird die Anwendung des relevanten SEMI
und anderer Standards ferner durch das „CIM Global Joint Guidance
für 300
mm Halbleiterfabriken" (GJG),
ausgegeben von International Sematech (ISMT) und der „Japan
300 mm Semiconductor Technology Conference (J300)" beschrieben.
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Die
GJG liefern eine wichtige spezifische Anforderung für die Herstellungsprozeßautomatisierung,
die eine kritische Bedeutung für
nicht-integrierte Materialhandhabungsprozeßschrittimplementierungen hat.
GJG CIM Guidelines Revision 5, Abschnitt 1, Paragraph 1.1 legt fest:
Eine
einzelne physikalische Kommunikationsverbindung muß die Produktionsausrüstung mit
dem Host verbinden. Eine einzelne physikalische Kommunikationsverbindung
bedeutet, daß das
Ausrüstungsfrontendmodul
(EFEM) durch die Produktausrüstung
integriert ist, und nicht direkt mit dem Host verbunden ist.
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Bezüglich des
Materialtestprozeßschrittes bedeutet
die oben zitierte Anforderung, daß die Trägerverwaltungsfähigkeiten
des EFEM, die Materialbewegungsfähigkeiten
des Probers und die Materialverarbeitungsfähigkeiten des Testsystems alle über eine
einzelne integrierte Kommunikationsverbindung gesteuert und zu dem
Prozeßschritthost
kommuniziert werden müssen.
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Der
nicht-integrierte Materialprozeßschritt erfordert
einen viel höheren
Steuerpegel und bewirkt Probleme, wenn versucht wird, die Anforderungen der
SEMI- und GJG-Standards zu erfüllen,
die den Prozeßschritt
regulieren. Die allgemeinen Implementierungen der SEMI-Standards
nehmen an, daß ein einziges
Werkzeug den Prozeßschritt
durchführt,
und daß die
Materialbewegungsfunktion und die Materialverarbeitungsfunktion
alle durch dieses einzelne Werkzeug durchgeführt werden. Der GJG erfordert, daß beide
Funktionen über
eine einzelne Kommmunikationsverbindung mit dem Prozeßschritt
verbunden sind.
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Die
EP 1 072 967 A2 bezieht
sich beispielsweise auf computerintegrierte Fertigungstechniken mit
einem verteilten Werksystemrahmen, der einen Werkautomatisierungslebenszyklus
umfasst, der Lebenszyklusaktivitäten
für SW-Entwicklung
und Integration, Installierung und Verwaltung, Werkmodellierung,
Herstellungsplanung, Herstellungssteuerung, Überwachung und Verfolgung und
Analysieren von Herstellungsergebnissen aufweist. Der Werklebenszyklus
weist Rahmenkomponenten auf. Der verteilte Werksystemrahmen umfasst
auch Anwendungskomponenten und SW-Baublöcke. Die Rahmenkomponenten
sind zum Verwalten der Anwendungskomponenten angepasst, während die
Anwendungskomponenten verwendet werden, um Anweisungen zum Verwalten
eines Prozesses, wie z. B. Waferherstellung, zu liefern. Die Baublöcke sind
zum Bilden oder Modifizieren von Rahmen- und Anwendungskomponenten
angepasst. Der verteilte Werksystemrahmen liefert computerimplementierte
Verfahren zum Integrieren von Verarbeitungssystemen und erleichtert Prozess-
und Ausrüstungsveränderungen.
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Die
US-5,657,252 A bezieht sich beispielsweise auf eine dynamisch konfigurierbare
Ausrüstungsintegrationsarchitektur.
Diese zeichnet automatisch an einem Hostcomputer Statistiken von
einem Betrieb einer Werksausrüstung
auf, die von einem GEM-Schnittstellenserver empfangen werden. Das Format
von relevanten Nachrichten, die ausgewählte Berichte enthalten, ist
in einer Konfigurationsdatei beschrieben. Berichte werden durch
das Ausführen eines
Stichprobenplans freigegeben. Nachrichten, die die ausgewählten Berichte
enthalten, die von dem GEM-Schnitt-stellenserver empfangen werden,
werden unter Verwendung der Konfigurationsdatei in ein Script übersetzt.
Ein Interpretieren des Scripts bewirkt, dass Statistiken, die in
den Berichten enthalten sind, in eine Ausgangsdatei geschrieben
werden, die in einer Sekundärspeicherung
an dem Hostcomputer gespeichert ist.
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Die
US-5,469,361 A bezieht sich beispielsweise auf ein allgemeines Zellsteuerverfahren
und eine -vorrichtung für
ein computerintegriertes Herstellungssystem. Das Verfahren nimmt
Herstellungsoperationsbefehle an, um eine ausgewählte Herstellungsoperation
an einem ausgewählten
Herstellungswerkzeug durchzuführen.
Die Folge von allgemeinen Schritten, die durch das Herstellungswerkzeug
durchzuführen
sind, wird bestimmt, um die ausgewählte Herstellungsoperation
zu implementieren. Jeder Schritt wird verwendet, um Operationsanweisungen
für die
Werkzeugsteuerung zu erzeugen. Die Folge von allgemeinen Schritten
wird bevorzugt unter Verwendung einer Datenbank erzeugt, die einen
Eintrag für
jede Herstellungsoperation aufweist. Jeder Eintrag umfasst Parameter,
die für
jedes Werkzeug spezifisch sind, und eine Anzeige einer Folge von durchzuführenden
Schritten. Wenn ein Herstellungsoperationsbefehl empfangen wird,
wird der Befehl mit einem Datenbankeintrag zusammengepasst, und
die Parameter und Folgen, die diesem Eintrag zugeordnet sind, werden
verwendet, um eine Reihe von Routinen oder Modulen aufzurufen. Zugeordnete
Parameter werden jeder Routine zum Erzeugen der Operationsanweisungen
für das
bestimmte Werkzeug geliefert. Die Routinen oder Module, die durch
die Datenbank aufgerufen werden, sind unabhängig voneinander. Dementsprechend
kann eine bestimmte Routine ohne Weiteres aktualisiert werden, oder
eine neue Routine kann ohne Weiteres hinzugefügt werden. Neue Schnittstellen
mit neuen Werkzeugen können
durch ein Erzeugen von ein oder mehr Routinen und ein Liefern neuer
Daten in der bestehenden Datenbankstruktur geliefert werden. Ein
Lernmechanismus kann bereitgestellt werden, um zu ermöglichen, dass
der allgemeinen Zellsteuerung beigebracht wird, während des
Betriebs, wie neue Anweisungen zu handhaben sind.
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Es
ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Konzept
für eine
Kommunikation zwischen einem Automatisierungshost und einer Mehrzahl
von Werkzeugen, die verwendet werden, um einen Verarbeitungsschritt
durchzuführen
zu schaffen.
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Diese
Aufgabe wird durch eine Schnittstelle gemäß Anspruch 1 und ein Verfahren
gemäß Anspruch
12 gelöst.
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Gemäß dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung wird eine Schnittstelle zwischen einem
Automatisierungshost und einer Mehrzahl von Werkzeugen verwendet,
um einen Verarbeitungsschritt durchzuführen. Die Schnittstelle umfaßt eine
einzige Kommunikations- und Prozeßverhaltensverbindungsschnittstelle
zu dem Automatisierungshost. Die Schnittstelle umfaßt außerdem eine
Mehrzahl von virtuellen Hostschnittstellen. Jede virtuelle Hostschnittstelle
von der Mehrzahl von virtuellen Hostschnittstellen liefert eine
Kommunikations- und Prozeßverhaltensschnittstelle
zu einem der Werkzeuge bei der Mehrzahl von Werkzeugen. Der Automatisierungshost
kann den Betrieb aller Werkzeuge in der Mehrzahl von Werkzeugen über die
einzelne Kommunikations- und Prozeßverhaltensverbindungsschnittstelle
steuern und koordinieren.
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Bevorzugte
Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend Bezug nehmend auf
die beiliegenden Zeichnungen näher
erläutert.
Es zeigen:
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1 einen
Fabrikautomatisierungshost, der mit einem Prozeßschrittwerkzeug und eine Zellsteuerung
in einer Prozeßschrittzelle
interagiert;
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2 die
Aufnahme eines nicht-integrierten Materialtransportprozeßschrittes
in einen automatisierten Herstellungsprozeß;
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3 einen
generischen Ausrüstungsmodell-Router
(GEM-Router; GEM
= generic equipment model), der mit dem Fabrikautomatisierungshost 40 und
einer Mehrzahl von Werkzeugen gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung interagiert; und
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4 ein
vereinfachtes Blockdiagramm eines GEM-Routers gemäß einem
bevorzugten Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
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1 zeigt
einen Fabrikautomatisierungshost 10, der mit einem Prozeßschritt-1-Werkzeug 11 und
einer Zellsteuerung 13 in einer Prozeßschrittzelle 12 interagiert.
Der Fabrikautomatisierungshost 10 verwaltet die Automatisierung
des Prozeßschritt-1-Werkzeugs 11.
Die Zellsteuerung 13 in der Prozeßschrittzelle 12 verwaltet
die Automatisierung eines Prozeßschritt-2-Werkzeugs 14 und
eines Prozeßschritt-3-Werkzeugs 15.
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2 zeigt
die Aufnahme eines nicht-integrierten Materialtransportprozeßschritts
in einen automatisierten Herstellungsprozeß. Ein Fabrikautomatisierungshost 20 interagiert
mit einem Werkzeug 26, einem Werkzeug 27 und einem
Werkzeug 28 in einem Prozeßschritt (1) 21 und
einer Zellsteuerung 23 in einer Prozeßschrittzelle 22.
Der Fabrikautomatisierungshost 20 verwaltet die Automatisierung
der Werkzeuge 26, 27 und 28 in dem Prozeßschritt
(1) 21. Die Zellsteuerung 23 in der Prozeßschrittzelle 22 verwaltet
die Automatisierung eines Werkzeugs 29, eines Werkzeugs 30 und
eines Werkzeugs 31 in einem Prozeßschritt (2) 24 und
einem Prozeßschritt-3-Werkzeug 25.
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Beispielsweise
werden das Werkzeug 26 und das Werkzeug 29 verwendet,
um die Materialverarbeitungsfunktion durchzuführen. Die Materialtransportfunktionen
werden durch das Werkzeug 27 und das Werkzeug 30 durchgeführt, die
den Prober darstellen, und das Werkzeug 28, und das Werkzeug 31, die
das EFEM darstellen.
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Wie
es in 4 gezeigt ist, kann ein virtualisierter generischer
Ausrüstungsmodelldaten-
und Steuerrouter für
eine Fabrikautomatisierung (GEM-Router) verwendet werden, um einen
Mechanismus zum Vereinigen der Kommunikations- und Prozeßzustandsmodellfunktionen
von mehreren Prozeßwerkzeugen
in einen einzigen Prozeßschrittkommunikationsweg
zu einem Prozeßschritthost
zu liefern. Ein GEM-Router implementiert eine virtuelle GEM-Schnittstelle.
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Das
Verwenden eines GEM-Routers ermöglicht
es, daß ein
nicht-integrierter Materialtransportprozeßschritt an dem Prozeßschritthost
als ein einzelner integrierter Materialtransportprozeßschritt
erscheint.
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Beispielsweise
zeigt 3 einen Fabrikautomatisierungshost 40,
der mit einem GEM-Router 52 und einer Zellsteuerung 43 in
einer Prozeßschrittzelle 42 interagiert.
Der GEM-Router 52 interagiert mit einem Werkzeug 46,
einem Werkzeug 47 und einem Werkzeug 48 in einem
Prozeßschritt
(1) 41. Die Zellsteuerung 43 interagiert mit einem
GEM-Router 53 und
einem Prozeßschritt-3-Werkzeug 45.
Der GEM-Router 53 interagiert
mit einem Werkzeug 49, einem Werkzeug 50 und einem
Werkzeug 51 in dem Prozeßschritt (2) 44.
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Beispielsweise
werden das Werkzeug 46 und das Werkzeug 49 verwendet,
um die Materialverarbeitungsfunktion durchzuführen. Die Materialtransportfunktionen
werden durch das Werkzeug 47 und das Werkzeug 50,
die den Prober darstellen, und das Werkzeug 48 und das
Werkzeug 51, die den oder das EFEM darstellen, durchgeführt.
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Bei
einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung wird eine generische Ausrüstungsmodell-(GEM-)Schnittstelle
verwendet, um mit Werkzeugen in einem Prozeßschritt zu interagieren. Andere
Ausführungsbeispiele
der Erfindung sind jedoch nicht auf die Verwendung einer GEM-Verbindung beschränkt. Wie
es für
einen Durchschnittfachmann auf diesem Gebiet verständlich ist,
können
eine Datensteuerung und ein Routing von Nicht-GEM-basierten Kommunikationsautomatisierungsszenarios
unter Verwendung der hierin beschriebenen vorliegenden Erfindung
erreicht werden.
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Außerdem kann
Software, die einen GEM-Router implementiert, an einer Anzahl von
unterschiedlichen Stellen positioniert sein. Beispielsweise kann
sich die GEM-Routerfunktion auf einer lokalen Steuerung eines Prozeßschrittwerkzeugs,
auf einer Zellsteuerung oder auf einem Fabrikhost befinden.
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4 zeigt
ein Blockdiagramm eines GEM-Routers 61. Der GEM-Router 61 verbindet über eine
Fabrikautomatisierungsgrenze zu einem realen GEM-Host 60.
Um die Verbindung zu implementieren, existiert immer ein ständiger virtueller
GEM-Klient 62 in dem GEM-Router 61.
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Mit
dem ständigen
virtuellen GEM-Klienten 62 ist eine GEM-Ausführungseinrichtung 63 verbunden.
Die GEM-Ausführungseinrichtung 63 handhabt angeforderte
Zustandsänderungen
und liefert Szenarioinformationen für eine virtuelle GEM-Hosterzeugung.
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Eine
Zustandsmaschinenszenariobestimmungseinrichtung 64 nimmt
Informationen, die von dem realen GEM-Host 60 stammen,
und identifiziert die Anzahl und die Art der virtuellen GEM-Hosts,
die durch eine GEM-Temporär-Verbindungs-Erstellungseinrichtung 66 erzeugt
werden müssen.
Virtuelle GEM-Hostverbindungen werden auf der Basis der Prozeßanfor derungen
erstellt, die von dem Fabrikautomatisierungssystem übertragen
werden.
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Eine
virtuelle GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 überträgt Aktionen,
Ereignisse und Berichte, die von den virtuellen GEM-Hosts kommen
(in 4 durch einen virtuellen GEM-Host (1) 67,
einen virtuellen GEM-Host (2) 68 und einen virtuellen GEM-Host
(n) 69 dargestellt), bevor sie zu dem ständigen virtuellen
GEM-Klient 62 und weiter zu dem realen GEM-Host 60 weitergeleitet
werden.
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Der
virtuelle GEM-Host (1) 67 interagiert mit einem realen
GEM-Klient 75 in einer Maschine (1) 71. Der virtuelle
GEM-Host (2) 68 interagiert
mit einem realen GEM-Klient 76 in einer Maschine (2) 73. Der
virtuelle GEM-Host (n) 69 interagiert mit einem realen
GEM-Klient 77 in einer Maschine (n) 73. Ein maschinenspezifischer
Host 70 interagiert mit einem maschinenspezifischen Klient 78 in
einer Maschine 74. Beispielsweise ist jede Maschine ein
Prozeßschrittwerkzeug.
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Der
GEM-Router 61 erstellt eine Kommunikation mit jedem einzelnen
Prozeßschrittwerkzeug. Für jedes
Werkzeug erstellt die Temporär-GEM-Verbindungserstellungseinrichtung 66 eine
virtuelle GEM-Hostverbindung. Die Existenz eines Hosts über dem
GEM-Router 71 ist für
jedes Prozeßschrittwerkzeug
transparent.
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Die
spezifischen GEM-Fähigkeiten
jedes Werkzeugs werden zu dem Verbindungszeitpunkt bestimmt, und
eine ständige
Beschreibung dieser Fähigkeiten
ist in dem GEM-Router 61 gespeichert. Diese Fähigkeiten
umfassen Prozeßalarm-
und Steuer-Zustandsmodelle, Prozeß- und Werkzeugvariable und
einen gültiges
SECS-Mitteilungssatz.
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Der
GEM-Router 61 erstellt eine Kommunikation mit dem realen
GEM-Host 60 als einen einzigen Kommunikationspunkt für den realen
GEM-Host 60. Da der reale GEM-Host 60 ein Prozeßschritthost ist,
erstellt der GEM-Router 61 die Kommuni kation als einen
einzigen Kommunikationspunkt für
den Prozeßschritt.
Das Vorliegen der mehreren einzelnen Werkzeuge ist für den realen
GEM-Host 60 transparent.
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Jede
Mitteilung von dem realen GEM-Host 60 wird durch den ständigen virtuellen
GEM-Klienten 62 empfangen und wird analysiert. Auf der
Basis dieser Analyse wird die Mitteilung in mehrere einzelne Mitteilungen
unterteilt, und dann über
die temporäre virtuelle
GEM-Hostverbindung zu jedem realen GEM-Klient jedes einzelnen Prozeßschrittwerkzeugs weitergeleitet.
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Falls
eine Hostmitteilung eine Anforderung für Informationen ist, kann die
virtuelle GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 zusätzliche
Informationen von anderen Prozeßschrittwerkzeugen
sammeln, über
deren temporäre
virtuelle GEM-Hostverbindungen. Sobald die virtuelle GEM-Host-Konzentrationseinrichtung 65 ausreichend
Informationen hat, um die Hostanforderung zu lösen, baut die virtuelle GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 eine
gültige GEM-Mitteilung auf, um
dem realen GEM-Host 61 zu antworten.
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Jede
Mitteilung von einer realen GEM-Klientfunktion eines individuellen
Prozeßschrittwerkzeugs wird
durch die geeignete temporäre
virtuelle GEM-Hostverbindung empfangen und analysiert. Auf der Basis
dieser Analyse kann die GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 zusätzlich Informationen
von anderen Prozeßschrittwerkzeugen
sammeln, über deren
temporäre
virtuelle GEM-Hostverbindungen. Sobald die GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 zufriedengestellt
ist, baut sie eine einzelne Mitteilung auf und leitet diese zu dem
Prozeßschritt-GEM-Host weiter.
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Auf
diese Weise vereinigt die GEM-Hostkonzentrationseinrichtung 65 die
Kommunikationsmitteilungssätze
einer Sammlung von einzelnen Prozeßwerkzeugen in einen einzigen
Kommunikationsmitteilungssatz für
die Sammlung von Werkzeugen.
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Jede
Mitteilung von dem realen GEM-Host 60 oder jedem Prozeßschrittwerkzeug
kann eine Änderung
bei dem Prozeßzustandsmodell
des Prozeßschrittes
bewirken. Das Prozeßzustandsmodell
des Prozeßschrittes
ist eine Vereinigung aller Prozeßzustandsmodelle jedes einzelnen
Prozeßschrittwerkzeugs.
Die Zustandsmaschinenszenariobestimmungseinrichtung 64 verfolgt
die Änderungen
bei jedem Prozeßzustandsmodell
jedes einzelnen Prozeßschrittwerkzeuges,
und behält
ein vereinigtes Prozeßzustandsmodell
für den
gesamten Prozeßschritt bei.
Die gleichen Aktionen werden für Änderungen bei
den Steuerzustandsmodellen und den Torzustandsmodellen durchgeführt.
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Die
Zustandsmaschinenszenariobestimmungseinrichtung 64 vereinigt
die Prozeßzustandsmodelle
einer Sammlung von einzelnen Prozeßwerkzeugen in ein einziges
Prozeßzustandsmodell
für die Sammlung
von Werkzeugen. Gleichartig dazu vereinigt die Zustandsmaschinenszenariobestimmungseinrichtung 64 die
Steuerzustandsmodelle einer Sammlung von einzelnen Prozeßwerkzeugen
in ein einziges Steuerzustandsmodell für die Sammlung von Werkzeugen.
Gleichartig dazu vereinigt die Zustandsmaschinenszenariobestimmungseinrichtung 64 die
Torzustandsmodelle einer Sammlung von einzelnen Prozeßwerkzeugen
in ein einziges Torzustandsmodell für die Sammlung von Werkzeugen.
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Der
GEM-Router 61 ermöglicht
es, daß der Prozeßvariablensatz
und die variablen Identifikationsnummern einer Sammlung von einzelnen
Prozeßwerkzeugen
in einen einzigen Prozeßvariablensatz
und einen variablen Identifikationszahlenbereich für die Sammlung
von Werkzeugen vereinigt wird.