DE10206478A1 - Device and method for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an optical component - Google Patents
Device and method for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an optical componentInfo
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Abstract
Eine Vorrichtung dient zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke (d bzw. D) eines optischen Bauteils (1) durch eine mittels Spannung verursachte elastische Deformation. Das optische Bauteil (1) ist an einem wenigstens annähernd senkrecht zur optischen Achse (6) angeordneten Umfang wenigstens annähernd ganz von wenigstens einem Spannelement (2, 7, 8) umfaßt. Das wenigstens eine Spannelement (2, 7, 8) ist durch wenigstens einen Aktuator (5, 10) betätigbar. DOLLAR A Bei einem Verfahren hierzu wird das optische Bauteil (1) mittels einer Druckspannung beaufschlagt, wobei die elastische Deformation über eine Veränderung der Druckspannung variiert wird.A device is used to change the stress birefringence and / or the thickness (d or D) of an optical component (1) by means of an elastic deformation caused by stress. The optical component (1) is at least approximately completely surrounded by at least one clamping element (2, 7, 8) on an at least approximately perpendicular to the optical axis (6). The at least one tensioning element (2, 7, 8) can be actuated by at least one actuator (5, 10). DOLLAR A In a method for this, the optical component (1) is acted upon by a compressive stress, the elastic deformation being varied by changing the compressive stress.
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines optischen Bauteils durch eine mittels Spannung verursachte ela stische Deformation.The invention relates to an apparatus and a method for Change in voltage birefringence and / or the thickness of a optical component by an ela caused by voltage static deformation.
Aus der allgemeinen Fachliteratur (z. B. Bergmann Schäfer; Band 3 - Optik; 9. Auflage 1993; deGryther; Kapitel 4, Punkt 13 "Induzierte Doppelbrechung in isotropen Stoffen") ist es be kannt, daß über den Eintrag von Druck oder Zugspannungen, wel che jeweils zumindest kleine plastische Deformationen des Mate rials bewirken, die Spannungsdoppelbrechung von elektromagneti schen Wellen, beispielsweise Licht, in dem Material entspre chend verändert werden kann.From the general specialist literature (e.g. Bergmann Schäfer; volume 3 - optics; 9th edition 1993; deGryther; Chapter 4, point 13 "Induced birefringence in isotropic substances") it is knows that the entry of pressure or tensile stress, wel che at least small plastic deformations of the mate rials cause the voltage birefringence of electromagnetic waves, such as light, correspond to the material can be changed accordingly.
Eine technische Anwendung im Bereich der Hochleistungsoptik, beispielsweise bei der Herstellung von optischen Elementen für Belichtungsobjektive in der Halbleiter-Lithographie, findet diese grundlegende Technik in der DE 196 37 563 A1, welche eine DUXT-taugliche Viertelwellenplatte oder ähnliches beschreibt. Diese wird als Planplatte unter Spannungsdoppelbrechung ausge führt. Die Planplatte besteht dabei aus hochwertigem Quarzglas und wird durch geeignete Konstruktionen, beispielsweise Hebel anordnungen, mit mehreren parallelen Zugvorrichtungen torsions frei und gleichmäßig, auf Zug beansprucht.A technical application in the field of high-performance optics, for example in the manufacture of optical elements for Exposure lenses in semiconductor lithography this basic technique in DE 196 37 563 A1, which a DUXT-compatible quarter-wave plate or the like describes. This is made as a plane plate with stress birefringence leads. The faceplate consists of high quality quartz glass and is by suitable constructions, such as levers arrangements with several parallel pulling devices torsion free and even, under tension.
Die Anordnung ist dabei jedoch vergleichsweise aufwendig, da über entsprechend komplexe Konstruktionen für einen gleichmäßi gen Eintrag der Zugspannungen in das optische Element, hier die Planplatte, gesorgt werden muß.However, the arrangement is comparatively complex since about correspondingly complex constructions for a uniform gene entry of the tensile stresses in the optical element, here the Flat plate, must be taken care of.
Zum allgemeinen Stand der Technik wird auf die US 6,141,148, US 3,600,611 und US 3,867,014 verwiesen.The general prior art is based on US 6,141,148, US 3,600,611 and US 3,867,014.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines optischen Bauteils zu schaffen, welche vergleichs weise einfach aufgebaut ist und mit einem sehr geringen Platz bedarf auszukommen vermag.It is therefore an object of the invention, a device and a Procedure for changing the voltage birefringence and / or the To create thickness of an optical component, which comparative is simply constructed and with a very small space needs to get by.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß das op tische Bauteil an einem wenigstens annähernd senkrecht zur op tischen Achse angeordneten Umfang wenigstens annähernd ganz von wenigstens einem Spannelement umfaßt ist, wobei das wenigstens eine Spannelement durch wenigstens einen Aktuator betätigbar ist.According to the invention, this object is achieved in that the op table component on an at least approximately perpendicular to the op table axis arranged circumference at least approximately entirely at least one clamping element is included, the at least a tensioning element can be actuated by at least one actuator is.
Das optische Bauteil, welches beispielsweise eine Abschlußplat te, eine Linse oder gegebenenfalls auch ein Spiegel sein kann, wird von dem wenigstens einen Spannelement wenigstens annähernd ganz umfaßt, so daß es zu einem sehr gleichmäßigen Eintrag von Druckspannung in das optische Bauteil kommen kann. Über den we nigstens einen Aktuator ist das Spannelement betätigbar, um die auf das optische Bauteil aufgebrachte Druckspannung zu erhöhen oder gegebenenfalls auch zu erniedrigen.The optical component, which, for example, an end plate te, a lens or possibly also a mirror, is at least approximately from the at least one clamping element completely embraced so that there is a very even entry of Compressive stress can come into the optical component. About the we at least one actuator, the tensioning element can be actuated in order to to increase compressive stress applied to the optical component or possibly also to lower it.
Es kann dabei also über das Spannelement eine im bestimmungsge mäßen Betrieb des optischen Bauteils aufgebrachte Vorspannung realisiert werden, so daß über den Aktuator und eine Änderung der eingetragenen Spannung eine Veränderung der Spannungsdop pelbrechung und/oder der Dicke des optischen Bauteils sowohl durch eine Erhöhung der Druckspannung als auch durch eine Er niedrigung der Druckspannung möglich wird. Da das Spannelement das optische Bauteil wenigstens ganz umfaßt, kann, wie bereits oben erwähnt, ein sehr gleichmäßiger Eintrag der Spannung in das optische Bauteil erfolgen. Dadurch ergibt sich eine sehr gleichmäßige und kontrolliert variierbare Änderung der Span nungsdoppelbrechung und/oder der Dicke des optischen Bauteils.It can thus be a determinationsge about the clamping element during operation of the optical component be realized so that about the actuator and a change a change in the voltage double of the voltage entered refraction and / or the thickness of the optical component both by increasing the compressive stress as well as by an Er lowering the compressive stress is possible. Because the tensioning element the optical component at least completely, as already can mentioned above, a very even entry of tension in the optical component. This results in a very uniform and controlled variable change of the chip birefringence and / or the thickness of the optical component.
Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn es sich um ein rota tionssymetrisches Bauteil, wie z. B. eine Linse, handelt, wobei radial wirkende Druckspannungen durch das Spannelement aufge bracht werden können.This is especially the case if it is a rota tion symmetrical component, such as. B. a lens radially acting compressive stresses exerted by the clamping element can be brought.
Die Spannungsänderungen in dem optischen Bauteil werden immer minimale elastische Deformationen des optischen Bauteils verur sachen, welche letztendlich auch nach den an sich bekannten Vorgängen für eine Veränderung des Brechungsindex und damit der Spannungsdoppelbrechung verantwortlich sind.The voltage changes in the optical component are always cause minimal elastic deformation of the optical component things that ultimately also according to the known Processes for a change in the refractive index and thus the Voltage birefringence are responsible.
Bei einem höheren Eintrag von Spannung läßt sich außerdem, ins besondere bei einer planparallelen Platte, beispielsweise einem Spiegel oder einer Abschlußplatte, eine Veränderung der Dicke des optischen Bauteils erzielen. Über diese sicherlich minimale Änderung der Dicke lassen sich im Bereich der Hochleistungsop tik jedoch entsprechende Fehlerkorrekturen vornehmen, da sich die Lauflänge des Lichts in dem Bauteil entsprechend verändert bzw. bei einem Spiegel die Lage der Spiegeloberfläche manipu liert werden kann.With a higher voltage input, ins especially with a plane-parallel plate, for example one Mirror or an end plate, a change in thickness of the optical component. About this surely minimal The thickness can be changed in the high-performance op However, make appropriate error corrections, as the length of the light in the component changed accordingly or manipulate the position of the mirror surface for a mirror can be lated.
In einer besonders günstigen Ausgestaltung der Erfindung ist das wenigstens eine Spannelement als ein offener Spannring aus gebildet, welcher das optische Bauteil an seinem Umfang so um faßt, daß der nicht von dem Spannring umfaßte Teil des Umfangs kleiner als das 0,2fache des gesamten Umfangs ist.In a particularly favorable embodiment of the invention the at least one clamping element as an open clamping ring formed which so around the optical component on its circumference summarizes that the part of the circumference not covered by the clamping ring is less than 0.2 times the entire circumference.
Mit diesem, das optische Bauteil umgebenden, offenen Spannring ist eine Variante der erfindungsgemäßen Vorrichtung geschaffen, welche sich insbesondere bei runden oder ovalen optischen Bau teilen anbietet, welche von dem offenen Spannring entsprechend an dem senkrecht zur optischen Achse ausgerichteten Umfang um faßt werden. Durch das eine Spannelement, welches dann mit ei nem einzigen Aktuator betätigbar ist, entsteht ein sehr einfa cher und robuster Aufbau, welcher darüber hinaus noch sehr leicht und platzsparend ausgeführt werden kann. Insbesondere die Vorteile hinsichtlich der Einsparung an Bauraum können als entscheidende Vorteile angesehen werden, da beispielsweise bei Objektiven in der Halbleiter-Lithographie, der verfügbare Bau raum häufig sehr knapp ist und daher ideal ausgenutzt werden muß. With this open clamping ring surrounding the optical component a variant of the device according to the invention is created, which is particularly the case with round or oval optical construction offers to share which of the open clamping ring accordingly on the circumference aligned perpendicular to the optical axis be grasped. Through the one clamping element, which then with egg nem single actuator is actuated, a very simple Safe and robust construction, which is also very can be carried out easily and in a space-saving manner. In particular the advantages in terms of saving space can be as decisive advantages are seen, for example, at Lenses in semiconductor lithography, the available construction space is often very scarce and therefore ideally used got to.
Eine verfahrensgemäße Lösung der oben genannten Aufgabe ist da durch gekennzeichnet, daß das optische Bauteil mittels radial wirkender Druckspannungen beaufschlagt wird, wobei die elasti sche Deformation über eine Veränderung der Druckspannung vari iert wird.A procedural solution to the above problem is there characterized in that the optical component by means of radial acting compressive stresses is applied, the elasti cal deformation via a change in compressive stress is.
Dadurch, daß hier Druckspannungen anstatt Zugspannungen zur Ma nipulation eingesetzt werden, kann eine gefährliche Belastung des Materials des mit der Spannung beaufschlagten optischen Bauteils weitgehend vermieden werden. Da für die entsprechenden optischen Bauteile auch häufig kristalline oder morphe Materia lien eingesetzt werden, da diese hinsichtlich der Bearbeitbar keit ihrer Oberfläche ideale Eigenschaften aufweisen sollten, müssen häufig Kompromisse hinsichtlich der Zugfestigkeit ge macht werden. Eine entsprechende Beaufschlagung dieser Elemente mit Zugspannungen kann daher zu entsprechenden Problemen führen und, insbesondere wenn die Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke als aktives Regeln mit vielen Millionen Re gelzyklen erfolgt, kommt es zu einer nicht unerhebliche Bela stung des Materials. Durch den Eintrag von Druckspannung oder gegebenenfalls auch das Lösen einer zuvor in der Neutralstel lung des optischen Bauteils auf dieses aufgebrachten Druckspan nung können diese Belastungen minimiert werden, da die oben ge nannten Materialien zur Aufnahme von Druckspannungen weitaus besser geeignet sind als zum Kompensieren von an ihnen anlie genden Zugspannungen.The fact that compressive stresses instead of tensile stresses to the Ma nipulation can be a dangerous burden of the material of the optical voltage applied Component are largely avoided. As for the corresponding optical components also often crystalline or morphous materia lien can be used because these are editable surface should have ideal properties, often have to compromise on tensile strength be made. Appropriate exposure to these elements with tensile stresses can therefore lead to corresponding problems and, especially if the change in voltage birefringence and / or the thickness as active rules with many millions of re gel cycles, there is a not inconsiderable load material. By entering compressive stress or if necessary, also loosen one previously in the neutral position tion of the optical component on this applied chip These loads can be minimized as the above named materials for absorbing compressive stresses are more suitable than to compensate for them tensile stresses.
Durch den sehr gleichmäßigen Eintrag dieser Druckspannungen wird die Belastung des Materials weiter minimiert, so daß ein sicheres und zuverlässiges System entsteht.Through the very even entry of these compressive stresses the load on the material is further minimized, so that a safe and reliable system is created.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den restlichen Unteransprüchen und den anhand der Zeichnung nachfolgend dargestellten Ausführungsbeispielen.Further advantageous embodiments of the invention result from the remaining subclaims and from the drawing The embodiments shown below.
Es zeigt: It shows:
Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Vorrichtung zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines op tischen Bauteils; Figure 1 is a plan view of a device for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an op-shaped component.
Fig. 2 einen schematischen Querschnitt gemäß der Linie II-II in Fig. 1; Figure 2 is a schematic cross section along the line II-II in Fig. 1.
Fig. 3 eine alternative Ausführungsform einer Vorrichtung zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines optischen Bauteils; Fig. 3 shows an alternative embodiment of a device for changing the stress birefringence and / or the thickness of an optical component;
Fig. 4 eine weitere alternative Ausführungsform einer Vor richtung zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke eines optischen Bauteils; und Fig. 4 shows a further alternative embodiment of a device before altering the stress birefringence and / or the thickness of an optical component; and
Fig. 5 eine weitere Ausführungsform mit einem fluidischem Spannelement. Fig. 5 shows a further embodiment with a fluidic clamping element.
Fig. 1 zeigt ein optisches Bauteil 1, welches von einem Spann element 2, welches hier als offener Spannring 2 ausgebildet ist, umfaßt wird. Der Spannring 2 weist eine Öffnung 3 in sei nem Umfang auf, so daß der von dem Spannring 2 umfaßte Teil des Umfangs des optischen Bauteils 1 kleiner als das 0,2fache des gesamten Umfangs des optischen Bauteils 1 ist. Im Bereich die ser Öffnung 3 sind zwei Laschen 4 angebracht, an welchen wenig stens ein Aktuator 5, welcher hier durch zwei Doppelpfeile 5 angedeutet ist, angreift. Fig. 1 shows an optical component 1 , which is comprised of a clamping element 2 , which is designed here as an open clamping ring 2 . The clamping ring 2 has an opening 3 in its circumference, so that the part of the circumference of the optical component 1 encompassed by the clamping ring 2 is smaller than 0.2 times the total circumference of the optical component 1 . In the area of the water opening 3 two tabs 4 are attached, on which little least an actuator 5 , which is indicated here by two double arrows 5 , engages.
Idealerweise ist bei einem realen Aufbau ein Aktuator 5 im Be reich der Öffnung 3 angeordnet, welcher die beiden Laschen 4 des Spannelements derart bewegt, daß sich die Größe der Öffnung 3 und damit der von dem Spannring 2 umfaßte Teil des Umfangs des optischen Bauteils 1 durch den Aktuator 5 verändern läßt. Als Aktuatoren 5 für einen derartigen Aufbau sind sämtliche gängigen Formen von Aktuatoren 5 einsetzbar, als da wären pneu matische oder hydraulische Kraftelemente, Spindel/Motorkombina tionen, Hitzdrahtelemente, welche durch eine Veränderung der Temperatur in den Drähten eine Verlängerung oder Verkürzung der Drähte und damit eine entsprechende Zugspannung verursachen, Federbandelemente, welche die auf sie aufgebrachten Querkräfte in Längskräfte umsetzen, Piezoaktuatoren oder dergleichen.Ideally, an actuator 5 in the loading area of the opening 3 is arranged in a real construction, which moves the two tabs 4 of the clamping element in such a way that the size of the opening 3 and thus the part of the circumference of the optical component 1 encompassed by the clamping ring 2 can change the actuator 5 . As actuators 5 for such a construction, all common forms of actuators 5 can be used, as if there were pneumatic or hydraulic force elements, spindle / motor combinations, hot-wire elements which, by changing the temperature in the wires, lengthen or shorten the wires and thus one cause corresponding tension, spring band elements, which convert the transverse forces applied to them into longitudinal forces, piezo actuators or the like.
Durch eine entsprechende Betätigung der Aktuatoren 5, dies kann beispielsweise aktiv erfolgen, so daß praktisch ein Regelkreis aufgebaut wird, welcher entsprechende Bildfehler oder Abwei chungen über die Aktuatoren zu korrigieren vermag, verändern sich die Druckspannung in dem optischen Bauteil 1. Durch diese Veränderung der Spannung in dem Bauteil 1 kommt es zu einer Än derung der Spannungsdoppelbrechung aufgrund von minimal elasti schen Deformationen, welche unter anderem den Brechungsindex des optischen Bauteils 1 zumindest lokal verändern.By corresponding actuation of the actuators 5 , this can be done actively, for example, so that a control loop is practically built up, which can correct corresponding image errors or deviations via the actuators, the compressive stress in the optical component 1 changes . This change in the voltage in the component 1 leads to a change in the stress birefringence due to minimal elastic deformations which, inter alia, change the refractive index of the optical component 1 at least locally.
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt gemäß der Linie II-II in Fig. 1. In dem optischen Bauteil 1 und dem Spannring 2 soll hier insbesondere auf die Dicke d des optischen Bauteils 1 eingegan gen werden. Wird über den in Fig. 2 nicht erkennbaren Aktuator 5 und den Spannring 2 die entsprechende Druckspannung in das optische Element 1 eingetragen, so kommt es zu einer Verände rung der Dicke d des optischen Bauteils 1, hier in der Art, daß sich die punktiert angedeutete Dicke D einstellen wird. Man ge winnt über die oben beschriebene Vorrichtung also zusätzlich einen Aktuator zur Beeinflussung der Dicke. Dies kann insbeson dere bei Abschlußplatten, λ/4-Platten oder dergleichen interes sant sein, da hier die Lauflänge des Lichts in dem mit einem entsprechenden Brechungsindex behafteten Material veränderbar ist. Grundsätzlich ließe sich natürlich auch die Passe des op tischen Bauteils 1 beeinflussen, so daß auch ein Einsatz bei Linsen oder anderen nicht planparallelen Bauteilen 1 denkbar und sinnvoll wäre. Fig. 2 shows a cross section along the line II-II in Fig. 1. In the optical component 1 and the clamping ring 2 , in particular the thickness d of the optical component 1 is to be entered here. If the corresponding compressive stress is entered into the optical element 1 via the actuator 5 , which is not recognizable in FIG. 2, and the clamping ring 2 , there is a change in the thickness d of the optical component 1 , here in such a way that the dotted line is indicated Thickness D will set. One also wins an actuator for influencing the thickness via the device described above. This can be particularly interesting for end plates, λ / 4 plates or the like, since here the length of the light can be changed in the material with a corresponding refractive index. In principle, of course, the yoke of the optical component 1 could also be influenced, so that use with lenses or other non-plane-parallel components 1 would also be conceivable and useful.
Als weitere Alternative wäre hier auch die Verwendung bei auf einer Seite verspiegelten optischen Bauteilen 1, da über die Veränderung der Dicke d bzw. D auch eine Veränderung der Posi tion der Oberfläche des optischen Bauteils 1 axial zu seiner optischen Achse 6 erreicht werden kann. Another alternative would be to use optical components 1 mirrored on one side, since changing the thickness d or D can also achieve a change in the position of the surface of the optical component 1 axially to its optical axis 6 .
Fig. 3 zeigt eine alternative Ausführungsform der Vorrichtung zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke d bzw. D des optischen Bauteils 1. Dabei sind mehrere Spann elemente 7 vorgesehen, welche hier in der Art von mehreren Spannbacken ausgebildet sind. Die Spannelemente 7 umgeben dabei ebenfalls den Umfang des optischen Bauteils 1 wenigstens annä hernd ganz, so daß auch hier ein sehr gleichmäßiger Eintrag der gewünschten Druckspannung in das optische Bauteil 1 erfolgen kann. In dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel weist jedes der Spannelemente 7 einen eigenen Aktuator 5 auf, welcher auch hier wieder durch einen Doppelpfeil angedeutet ist. Bei entsprechender Ansteuerung dieser Aktuatoren 5 läßt sich auch hier eine geeignete gleichmäßige Eintragung der Druckspannung in das optische Bauteil 1 erreichen. Fig. 3 shows an alternative embodiment of the device for changing the stress birefringence and / or the thickness d and D of the optical component 1. Several clamping elements 7 are provided, which are designed here in the manner of several clamping jaws. The clamping elements 7 also surround the circumference of the optical component 1 at least approximately completely, so that here too, the desired compressive stress can be introduced very uniformly into the optical component 1 . In the embodiment shown in FIG. 3, each of the tensioning elements 7 has its own actuator 5 , which is again indicated by a double arrow. With appropriate actuation of these actuators 5 , a suitable uniform entry of the compressive stress into the optical component 1 can also be achieved here.
Grundlegend ist es selbstverständlich denkbar, daß jeweils meh rere oder gegebenenfalls auch alle der Spannelemente 7 über ei nen Aktuator 5 angesteuert werden. Hierfür wäre dann ein ent sprechendes Getriebeelement, ein Hebelgetriebe oder dergleichen möglich, welches die Einleitung der Druckspannung gleichmäßig weitergibt.Basically, it is of course conceivable that each meh rere or optionally all of the clamping elements 7 are controlled via egg NEN actuator 5 . This would then be a corresponding gear element, a lever gear or the like, which passes the initiation of the compressive stress evenly.
Grundsätzlich könnten hier auch die Spannelemente 7 beispiels weise von einem Hitzdraht umgeben werden, welcher dann als ge schlossener Ring um die Spannelemente 7 ausgebildet werden könnte und durch eine Veränderung seiner Temperatur zu einem Eintrag der erforderlichen Spannungen nutzbar ist.Basically, the tensioning elements 7 could, for example, be surrounded by a hot wire, which could then be formed as a closed ring around the tensioning elements 7 and can be used by changing its temperature to input the required voltages.
Fig. 4 zeigt eine weitere alternative Ausführungsform der Vor richtung zur Änderung der Spannungsdoppelbrechung und/oder der Dicke d bzw. D des optischen Bauteils 1. Fig. 4 shows a further alternative embodiment of the front of the direction of the change of stress birefringence and / or the thickness d and D shows the optical component 1.
Neben den aus Fig. 3 bekannten Spannelementen 7, welche hier aufgrund der veränderten Form des optischen Bauteils 1 in einer etwas anderen Art angeordnet sind, ist hier zusätzlich ein Spannring 2' eingesetzt, welcher prinzipiell analog zu dem in Fig. 1 beschriebenen Spannring 2 funktioniert und ebenfalls über den wenigstens einen Aktuator 5, beispielsweise im Bereich der Öffnung 3' des Spannrings 2' verfügt. Der Spannring 2' ist hier jedoch prinzipiell das Getriebeelement, welches die von dem Aktuator 5 aufgebrachte Spannung gleichmäßig auf die ein zelnen Spannelemente 7 überträgt und somit auch für einen ver gleichsweise gleichmäßigen Eintrag der Spannung in die dafür vergleichsweise ungeeignete Form des optischen Bauteils 1 sorgt.In addition to the clamping elements 7 known from FIG. 3, which are arranged here in a somewhat different way due to the changed shape of the optical component 1 , a clamping ring 2 ′ is also used here, which in principle functions analogously to the clamping ring 2 described in FIG. 1 and also has at least one actuator 5 , for example in the region of the opening 3 'of the clamping ring 2 '. The clamping ring 2 ', however, is here in principle the gear element which transmits the voltage applied by the actuator 5 evenly to the individual clamping elements 7 and thus also ensures a relatively uniform entry of the voltage into the comparatively unsuitable form of the optical component 1 .
In der Fig. 5 ist eine weitere alternative Ausführungsform dargestellt, wobei eine radiale Druckspannung über eine ring förmige Druckkammer um das optische Bauteil 1, nämlich eine Linse, als Spannelement 8 erzeugt wird. Die Druckkammer 8 ist mit einem Anschluß 9 zu einer Druckquelle 10 versehen. Durch die Druckquelle 10 werden entsprechend gleichmäßig über den Um fang verteilt angeordnete Druckkräfte in Form eines Flächen druckes auf das optische Element ausgeübt. Dabei kann auch auf einfache Weise die Druckspannung aktiv geregelt werden.In FIG. 5, a further alternative embodiment is shown, wherein a radial compressive stress on a ring-shaped pressure chamber to the optical component 1, namely a lens, is generated as a clamping element 8. The pressure chamber 8 is provided with a connection 9 to a pressure source 10 . By the pressure source 10 correspondingly evenly distributed over the order arranged compressive forces in the form of a surface pressure are exerted on the optical element. The compressive stress can also be actively regulated in a simple manner.
Als Druckquelle 10 kann sowohl eine hydraulische als auch eine pneumatische Druckquelle verwendet werden.Both a hydraulic and a pneumatic pressure source can be used as the pressure source 10 .
Claims (15)
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|---|---|---|---|
| DE10206478A DE10206478A1 (en) | 2001-04-10 | 2002-02-16 | Device and method for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an optical component |
| US10/117,942 US6937394B2 (en) | 2001-04-10 | 2002-04-08 | Device and method for changing the stress-induced birefringence and/or the thickness of an optical component |
Applications Claiming Priority (2)
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|---|---|---|---|
| DE10117884 | 2001-04-10 | ||
| DE10206478A DE10206478A1 (en) | 2001-04-10 | 2002-02-16 | Device and method for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an optical component |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| DE10206478A Withdrawn DE10206478A1 (en) | 2001-04-10 | 2002-02-16 | Device and method for changing the voltage birefringence and / or the thickness of an optical component |
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2002
- 2002-02-16 DE DE10206478A patent/DE10206478A1/en not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: CARL ZEISS SMT AG, 73447 OBERKOCHEN, DE |
|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |