DE102009031690A1 - Optical arrangement, has blade springs connected together by connection section such that springs are linked together during radial force effect on contact point, where connection section is moved relative to frame - Google Patents
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Abstract
Description
Die Erfindung betrifft eine optische Anordnung, mit einem optischen Element, das eine optische Achse definiert, und mit einer Fassung, ander das optische Element festgelegt ist, wobei das optische Element an der Fassung über zumindest ein in Bezug auf die optische Achse radial nachgiebiges Lager festgelegt ist, wobei das Lager eine Blattfederanordnung aufweist, die eine erste Blattfeder und zumindest eine zweite Blattfeder aufweist, die sich im Wesentlichen in einer Tangentialrichtung in Bezug auf die optische Achse des optischen Elements erstrecken, wobei die Blattfederanordnung mit dem optischen Element über zumindest eine Kontaktstelle verbunden ist.The The invention relates to an optical arrangement with an optical system Element defining an optical axis and with a socket, on which the optical element is fixed, the optical element on the version over at least one with respect to the optical axis radially yielding bearing is fixed, wherein the bearing has a leaf spring arrangement, which has a first leaf spring and at least one second leaf spring, which are essentially in a tangential direction with respect to extend the optical axis of the optical element, wherein the Leaf spring assembly connected to the optical element via at least one contact point is.
Eine solche optische Anordnung ist allgemein durch seine Verwendung bekannt.A such optical arrangement is generally known through its use.
Eine optische Anordnung der eingangs genannten Art kann insbesondere ein optisches Element aufweisen, das verhältnismäßig klein ist, das beispielsweise eine kleine Linse mit kreisförmigem oder eckigem Umfang ist. Unter einem ”kleinen” optischen Element, beispielsweise einer ”kleinen” Linse, wird hier verstanden, dass im Falle eines kreisförmigen optischen Elements der Durchmesser beispielsweise im Bereich von etwa 5 mm bis etwa 30 mm liegt.A Optical arrangement of the type mentioned in particular have an optical element that is relatively small, for example a small lens with circular or angular extent. Under a "small" optical element, for example a "small" lens, will here understood that in the case of a circular optical element of Diameter, for example, in the range of about 5 mm to about 30 mm is located.
In optischen Systemen, in denen eine optische Anordnung der eingangs genannten Art verwendet werden kann, werden zur Korrektur von Abbildungsfehlern zuweilen sogenannte Dubletten eingesetzt, worunter zwei Linsen zu verstehen sind, die einen sehr kleinen Luftabstand von beispielsweise weniger als 1 mm aufweisen, wobei der Luftabstand typischerweise im Bereich von 10 μm bis etwa 100 μm liegt. Diese Dublettenlinsen haben einen großen Einfluss auf die gesamten Bildfehler des optischen Systems.In optical systems in which an optical arrangement of the mentioned type can be used to correct aberrations sometimes called doublets used, including two lenses to understand that a very small air clearance of, for example, less than 1 mm, the air gap typically in the range of 10 μm to about 100 microns lies. These doublet lenses have a big impact on the whole Image defect of the optical system.
Neben einer guten Material- und Oberflächenqualität, die die optischen Elemente aufweisen sollten, sollte aber auch durch die Fassung möglichst keine Beeinträchtigung der korrekten Position und der Oberflächenform induziert werden, und insbesondere sollte auch eine spannungsinduzierte Doppelbrechung vermieden werden.Next a good material and surface quality that the should have optical elements, but should also by the If possible no version impairment the correct position and the surface shape are induced, and in particular, stress-induced birefringence should also be used be avoided.
Die Anforderungen an die lagestabile Position des optischen Elements, an die Beibehaltung der Oberflächenform und an die Vermeidung von spannungsinduzierter Doppelbrechung sind teilweise schwierig miteinander zu vereinen. Für eine lagestabile Positionierung ist eine stabile Verbindung zwischen dem optischen Element und der Fassung erforderlich, jedoch kann eine stabile Verbindung des optischen Elements mit der Fassung im optischen Element Spannungen induzieren, die die Oberflächenform verändern und Doppelbrechung erzeugen. Diese zueinander gegenläufigen Effekte verstärken sich weiterhin dann, wenn sich das optische Element während des Betriebs aufgrund von Absorption erwärmt. Durch die Erwärmung dehnt sich das optische Element aus, wodurch ebenfalls Spannungen in dem optischen Element erzeugt werden können, die die optischen Eigenschaften des optischen Elements beeinträchtigen.The Requirements for the positionally stable position of the optical element, to the retention of the surface shape and to avoid stress-induced birefringence sometimes difficult to unite. For a positionally stable positioning is a stable connection between the optical element and the However, a stable connection of the optical can be required Elements with the socket in the optical element induce voltages, the the surface shape change and produce birefringence. These mutually contradictory effects strengthen themselves continue when the optical element due during operation heated by absorption. By the warming the optical element expands, which also causes stress can be generated in the optical element, the optical properties of the optical element.
Herkömmliche optische Anordnungen weisen eine Fassung auf, die beispielsweise als Ring ausgebildet ist, und an der ein ringförmiger Absatz ausgebildet ist, auf den das optische Element mit seinem Außenumfang axial aufgelegt wird. Zwischen dem Außenumfang des optischen Elements und dem eigentlichen Körper der Fassung verbleibt ein Spalt frei, der mit einem Klebstoff ausgefüllt wird, um das optische Element mit der Fassung zu fügen. Bedingt durch die Umgebungsbedingungen im Objektiv (Luftfeuchte, kurzwelliges Licht) ändert sich das Volumen des Klebers, und das Kräftegleichgewicht zwischen der Fassung und der Linse wird verändert, woraus Änderungen in der Linsenform und -position entstehen können.conventional Optical arrangements have a socket, for example is formed as a ring, and on which an annular shoulder is formed, on which the optical element is placed axially with its outer circumference. Between the outer circumference the optical element and the actual body of the socket remains a gap which is filled with an adhesive to the optical element to add with the version. Due to the ambient conditions in the lens (humidity, shortwave light) changes the volume of the adhesive, and the balance of power between the Frame and the lens is changed, which changes can arise in the lens shape and position.
Gegenüber diesen herkömmlichen optischen Anordnungen sind auch optische Anordnungen bekannt, bei denen das optische Element an der Fassung über zumindest ein, üblicherweise drei, in Umfangsrichtung um das optische Element verteilt angeordnete und in Bezug auf die optische Achse des optischen Elements radial nachgiebige Lager festgelegt ist. Jedes der Lager weist dabei eine Blattfederanordnung auf, die eine erste Blattfeder und zumindest eine zweite Blattfeder aufweist, wobei die erste Blattfeder und die zumindest eine zweite Blattfeder sich beidseits einer Kontaktstelle, über die die Blattfederanordnung mit dem optischen Element verbunden ist, weg erstrecken und mit ihren Enden mit der Fassung verbunden sind. Eine solche Blattfederanordnung wird auch als doppelseitige Blattfeder bezeichnet.Opposite these usual Optical arrangements are also known optical arrangements, in which the optical element on the socket over at least one, usually three, distributed circumferentially around the optical element and radially with respect to the optical axis of the optical element compliant bearing is set. Each of the bearings has one Leaf spring assembly, which has a first leaf spring and at least one second leaf spring, wherein the first leaf spring and the at least a second leaf spring on both sides of a contact point, over the the leaf spring assembly is connected to the optical element, extend away and are connected at their ends to the socket. Such a leaf spring arrangement is also called a double-sided leaf spring designated.
Die Ausgestaltung eines radial nachgiebigen Lagers mit einer doppelseitigen Blattfeder lässt sich jedoch für sehr kleine Linsen, beispielsweise Linsen in dem oben angegebenen Durchmesserbereich, nicht ohne Weiteres verwenden. Da die Dicke der doppelseitigen Blattfedern fertigungstechnisch auf etwa 0,2 bis etwa 0,3 mm beschränkt ist, andererseits aber die maximal mögliche Länge der doppelseitigen Blattfedern durch die zwei benachbarten Blattfederanordnungen der jeweils beiden anderen Lager eingegrenzt wird, kann mit einer solchen doppelseitigen Blattfederanordnung keine ausreichende radiale Nachgiebigkeit der Lager erreicht werden, d. h. die doppelseitigen Blattfedern können nicht ”weich” genug gemacht werden, um bei einer wärmebedingten Ausdehnung des optischen Elements zu vermeiden, dass die Lager auf das optische Element eine Druckkraft ausüben, die Doppelbrechung induzieren und außerdem das optische Element verformen kann.However, the configuration of a radially compliant bearing with a double-sided leaf spring can not readily be used for very small lenses, for example lenses in the above-indicated diameter range. Since the thickness of the double-sided leaf springs manufacturing technology is limited to about 0.2 to about 0.3 mm, but on the other hand, the maximum possible length of the double-sided leaf springs is limited by the two adjacent leaf spring assemblies of the other two other camps, with such a double-sided leaf spring assembly no sufficient radial compliance of the bearings can be achieved, ie the double-sided leaf springs can not be made "soft" enough to heat conditional expansion of the optical element to prevent the bearings on the optical element exert a compressive force that can induce birefringence and also deform the optical element.
Für kleine optische Elemente wurde daher weiterhin vorgeschlagen, die zuvor genannten doppelseitigen Blattfedern durch einseitige Blattfedern zu ersetzen, d. h. von der Kontaktstelle erstreckt sich in Tangentialrichtung in Bezug auf die optische Achse nur eine Blattfeder zu einer Seite weg und ist nur an einem Ende mit der Fassung verbunden. Das zuvor genannte Raumproblem besteht bei dieser Ausgestaltung der Blattfederanordnungen nicht mehr, d. h. die einzelne Blattfeder kann im Vergleich zu den beiden Blattfedern der doppelseitigen Blattfeder länger sein, wodurch sie weicher ist als eine doppelseitige Blattfeder.For small Therefore, optical elements have been proposed previously mentioned double-sided leaf springs by one-sided leaf springs replace, d. H. from the contact point extends in the tangential direction with respect to the optical axis, only one leaf spring to one side away and is only connected at one end with the socket. The aforementioned Space problem exists in this embodiment of the leaf spring arrangements not anymore, d. H. the single leaf spring can be compared to the be longer for both leaf springs of the double-sided leaf spring, which makes it softer than a double-sided leaf spring.
Jedoch hat auch die Ausgestaltung der Blattfederanordnung mit nur einer einseitigen Blattfeder Nachteile. Ein wesentlicher Nachteil besteht darin, dass bei einer thermisch bedingten Ausdehnung des optischen Elements relativ zur Fassung die Fügestelle zwischen der Blattfeder und dem optischen Element mit einem Biegemoment beaufschlagt wird, das zur Abschälung der Klebung oder der Lötung führen kann. Dadurch ist die Lagestabilität des optischen Elements nicht gewährleistet. Somit ist auch diese Art der Festlegung des optischen Elements an der Fassung über Blattfederanordnungen, die einseitige Blattfedern aufweisen, hinsichtlich der o. g. Anforderungen nicht zufriedenstellend.however also has the configuration of the leaf spring arrangement with only one one-sided leaf spring disadvantages. A significant disadvantage exists in that with a thermal expansion of the optical Elements relative to the socket the joint between the leaf spring and the optical element is subjected to a bending moment, that for peeling gluing or soldering can lead. This is the positional stability of the optical element is not guaranteed. Thus, this type of fixing of the optical element is also on the version over Leaf spring assemblies having unilateral leaf springs, in terms the o. g. Requirements unsatisfactory.
Der Erfindung liegt vor diesem Hintergrund die Aufgabe zugrunde, eine optische Anordnung der eingangs genannten Art dahingehend weiterzubilden, dass das optische Element an der Fassung so festgelegt ist, dass einerseits Spannungen in dem optischen Element möglichst vermieden werden, und andererseits das optische Element an der Fassung möglichst lagestabil gehalten ist.Of the The invention is based on the object, a further develop the optical arrangement of the type mentioned above, that the optical element is fixed to the socket so that On the one hand stresses in the optical element are avoided as possible, and on the other hand the optical element kept as stable as possible on the socket is.
Diese Aufgabe wird gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung hinsichtlich der eingangs genannten optischen Anordnung dadurch gelöst, dass die erste Blattfeder und die zumindest eine zweite Blattfeder ausgehend von der Kontaktstelle in Reihe hintereinander angeordnet und über einen relativ zur Fassung beweglichen Verbindungsabschnitt miteinander verbunden sind, derart, dass bei einer radial von der optischen Achse weg gerichteten Krafteinwirkung auf die Kontaktstelle die erste Blattfeder und die zumindest eine zweite Blattfeder gegensinnig zueinander ausgelenkt werden.These Task is done according to a first aspect of the invention with regard to the aforementioned solved by optical arrangement that the first leaf spring and the at least one second leaf spring arranged starting from the contact point in series one behind the other and over a relative to the frame movable connecting portion with each other are connected, such that at a radial from the optical Axis directed away from the force on the contact point first leaf spring and the at least one second leaf spring in opposite directions be deflected to each other.
Die erfindungsgemäße optische Anordnung gemäß dem ersten Aspekt weist zum Festlegen des optischen Elements an der Fassung zumindest ein in Bezug auf die optische Achse radial nachgiebiges Lager auf, das eine Blattfederanordnung aufweist, die im Unterschied zu den bekannten optischen Anordnungen nicht in Form einer doppelseitigen Blattfeder ausgebildet ist, sondern bei der die zumindest zwei Blattfedern in Reihe hintereinander angeordnet und über einen beweglichen Verbindungsabschnitt miteinander verbunden sind. Auf diese Weise wird eine in radialer Richtung sehr nachgiebige, d. h. ”weiche” Lagerung des optischen Elements an der Fassung erreicht, ohne dass die zumindest zwei Blattfedern hierzu eine große Länge aufweisen müssen, so dass sich die erfindungsgemäße optische Anordnung insbesondere für kleine optische Elemente, beispielsweise kleine Linsen, sehr gut eignet. Da die Blattfederanordnung in der erfindungsgemäßen Ausgestaltung nur an einer Stelle mit der Fassung verbunden ist, ist sie erheblich weicher als eine doppelseitige Blattfeder der bekannten optischen Anordnung, bei der beide Blattfedern an einem Ende mit der Fassung verbunden sind.The according to the invention optical Arrangement according to the first Aspect refers to fixing the optical element to the socket at least one with respect to the optical axis radially yielding bearing auf, which has a leaf spring assembly which, unlike the known optical arrangements not in the form of a double-sided Leaf spring is formed, but at the at least two leaf springs arranged in series one behind the other and via a movable connecting portion with each other are connected. In this way, a radial in the radial direction yielding, d. H. "Soft" storage the optical element reaches the socket without the at least two leaf springs must have a great length for this purpose, so that the inventive optical Arrangement in particular for small optical elements, such as small lenses, very good suitable. As the leaf spring assembly in the embodiment of the invention only connected to the socket in one place, it is significant softer than a double-sided leaf spring of the known optical Arrangement in which both leaf springs at one end with the socket are connected.
Die Anordnung der ersten Blattfeder und der zumindest einen zweiten Blattfeder ist dabei so getroffen, dass bei einer radial von der optischen Achse weg gerichteten Krafteinwirkung auf den Kontaktfuß die erste Blattfeder und die zumindest eine zweite Blattfeder gegensinnig zueinander ausgelenkt werden.The Arrangement of the first leaf spring and the at least one second Leaf spring is made so that at a radial of the optical axis directed downward force on the contact foot the first Leaf spring and the at least one second leaf spring in opposite directions be deflected to each other.
Gegenüber den bekannten Blattfederanordnungen, die nur eine einseitige Blattfeder aufweisen, und die entsprechend zu resultierenden Biegemomenten in der Kontaktstelle mit dem optischen Element Anlass geben, werden bei der erfindungsgemäßen optischen Anordnung derartige Biegemomente vermieden, weil durch die zueinander gegensinnige Auslenkung der ersten Blattfeder und der zumindest einen zweiten Blattfeder bei einer radial von der optischen Achse weg gerichteten Krafteinwirkung auf die Kontaktstelle sich keine resultierende Rotationsbewegung der Kontaktstelle ergibt.Compared to the known leaf spring arrangements, the only one-sided leaf spring have, and the resulting corresponding bending moments be in the contact point with the optical element occasion in the optical inventive Arrangement of such bending moments avoided because of each other opposing deflection of the first leaf spring and the at least one second leaf spring at a radially away from the optical axis directed force on the contact point is not resulting Rotational movement of the contact point results.
In einer bevorzugten Ausgestaltung ist der Verbindungsabschnitt steifer ausgebildet als die erste und die zumindest eine zweite Blattfeder.In In a preferred embodiment, the connecting portion is stiffer formed as the first and the at least one second leaf spring.
Hierbei ist von Vorteil, dass die Gelenkigkeit der Blattfederanordnung auf die Gelenkigkeit der ersten und zumindest einen zweiten Blattfeder beschränkt ist, wodurch die radiale Beweglichkeit des so gebildeten Lagers wohl definiert ist. Der Verbindungsabschnitt erhöht außerdem die tangentiale Steifigkeit der Blattfederanordnung.in this connection is advantageous in that the articulation of the leaf spring assembly on the flexibility of the first and at least one second leaf spring limited is, whereby the radial mobility of the bearing thus formed well defined. The connecting portion also increases the tangential rigidity the leaf spring assembly.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung erstreckt sich der Verbindungsabschnitt in Bezug auf eine Radiale durch die Kontaktstelle quer zur Radialen beidseits der Kontaktstelle.In In a further preferred embodiment, the connecting portion extends with respect to a radial through the contact point transverse to the radial on both sides of the contact point.
Durch diese Maßnahme entsteht eine in tangentialer Richtung kurzbauende und in Bezug auf die Kontaktstelle im Wesentlichen symmetrische Ausgestaltung der Blattfederanordnung, so dass sich im Fall, dass das optische Element über beispielsweise drei derartige Lager an der Fassung festgelegt ist, die einzelnen Blattfederanordnun gen der Lager auch bei einem sehr kleinen optischen Element nicht gegenseitig stören.By This measure arises in a tangential direction kurzbauende and in relation on the contact point substantially symmetrical configuration the leaf spring arrangement, so that in the case that the optical Element over for example, three such bearings are fixed to the socket, the individual Blattfederanordnun conditions of the camp even at a very small optical element does not interfere with each other.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung weist die erste Blattfeder die Kontaktstelle auf und befindet sich eine Gelenkstelle der ersten Blattfeder an der Verbindungsstelle mit dem Verbindungsabschnitt.In a further preferred embodiment, the first leaf spring the contact point on and is a hinge point of the first Leaf spring at the junction with the connecting portion.
Dabei erstreckt sich die zweite Blattfeder vorzugsweise zwischen dem Verbindungsabschnitt und der Fassung, wobei sich eine Gelenkstelle der zweiten Blattfeder an einer Verbindungsstelle der zweiten Blattfeder mit der Fassung befindet.there Preferably, the second leaf spring extends between the connecting portion and the socket, wherein a hinge point of the second leaf spring at a junction of the second leaf spring with the socket located.
Die beiden vorgenannten Ausgestaltungen stellen in Kombination miteinander eine konstruktiv sehr einfache Realisierung der Blattfederanordnung eines Lagers dar, das eine radial weiche Lagerung des optischen Elements bei gleichzeitig hoher Lagestabilität ermöglicht.The both aforementioned embodiments provide in combination with each other a structurally very simple realization of the leaf spring assembly of a Bearing, which is a radially soft storage of the optical element at the same time allowing high positional stability.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist die erste und/oder die zumindest eine zweite Blattfeder kürzer als der Verbindungsabschnitt.In In another preferred embodiment, the first and / or the at least one second leaf spring shorter than the connecting portion.
Hierbei ist von Vorteil, dass die Wärmeleitfähigkeit der Blattfederanordnung verbessert ist, so dass Wärme vom optischen Element über die Blattfederanordnung verbessert abgeführt werden kann. Lediglich die zumindest zwei kurzen Blattfedern stellen einen verringerten Wärmeleitungsquerschnitt zur Verfügung, während der Querschnitt des Verbindungsabschnittes demgegenüber groß gewählt werden kann, wodurch sich insgesamt eine gute Wärmeleitfähigkeit der Blattfederanordnung ergibt.in this connection is advantageous in that the thermal conductivity the leaf spring arrangement is improved so that heat from the optical element over the leaf spring assembly can be removed improved. Only the at least two short leaf springs provide a reduced Heat conduction section to disposal, while the cross section of the connecting portion are chosen to be large can, resulting in a total good thermal conductivity of the leaf spring assembly results.
Die erste und/oder die zumindest eine zweite Blattfeder der erfindungsgemäßen optischen Anordnung können unterschiedlich lang sein, wobei die erste Blattfeder beispielsweise länger sein kann als die zumindest eine zweite Blattfeder, die mit der Fassung verbunden ist.The first and / or the at least one second leaf spring of the optical according to the invention Arrangement can be different lengths, the first leaf spring, for example longer can be as the at least one second leaf spring, with the Version is connected.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die o. g. Aufgabe hinsichtlich der eingangs genannten optischen Anordnung dadurch gelöst, dass eine Spannungsentlastungseinrichtung für die Blattfederanordnung vorhanden ist, die die von der Blattfederanordnung auf den Kontaktfuß ausgeübte radiale Druckkraft zumindest reduziert.According to one Another aspect of the invention is the o. g. Task regarding the above-mentioned optical arrangement achieved in that a stress relief device for the leaf spring assembly available is that exerted by the leaf spring assembly on the contact foot radial At least reduced pressure.
Dieser Aspekt der vorliegenden Erfindung geht von dem Gedanken aus, dass auch eine relativ harte Blattfederanordnung zur radial beweglichen Lagerung des optischen Elements an der Fassung vorgesehen werden kann, die jedoch durch eine zusätzliche Spannungsentlastungseinrichtung so beeinflusst wird, dass die von der Blattfederanordnung auf die Kontaktstelle ausgeübte radiale Druckkraft reduziert wird.This Aspect of the present invention is based on the idea that also a relatively hard leaf spring arrangement for radially movable Storage of the optical element are provided on the socket can, however, by an additional Strain relief device is influenced so that the of the leaf spring assembly on the contact point exerted radial Compressive force is reduced.
Gemäß diesem Aspekt der Erfindung kann somit auch eine herkömmliche Blattfederanordnung verwendet werden, die als doppelseitige Blattfeder ausgebildet ist, die jedoch im Fall eines sehr kleinen optischen Elements wegen des zur Verfügung stehenden geringen Raumes mit kurzen Blattfedern und somit relativ hart ausgebildet sein müsste. Um hier die radiale Nachgiebigkeit zu erhöhen und somit Spannungen im optischen Element zu reduzieren oder zu vermeiden, ist entsprechend die Spannungsentlastungseinrichtung für die Blattfederanordnung vorgesehen, die die Kontaktstelle, über die die Blattfederanordnung mit dem optischen Element verbunden ist, entlastet.According to this Aspect of the invention can thus also be used a conventional leaf spring assembly which is designed as a double-sided leaf spring, however in the case of a very small optical element because of the available small space with short leaf springs and thus relatively hard would have to be. Here to increase the radial compliance and thus stresses in the To reduce or avoid optical element is appropriate the stress relief device is provided for the leaf spring arrangement, the the contact point, about the leaf spring assembly connected to the optical element is relieved.
Es versteht sich, dass der erfindungsgemäße erste Aspekt und der erfindungsgemäße zweite Aspekt auch miteinander kombiniert werden können, wenn dies für eine in Betracht gezogene optische Anordnung sinnvoll und vorteilhaft ist.It it is understood that the first aspect of the invention and the second aspect of the invention can also be combined with each other if this is for an in Considered optical arrangement is useful and advantageous.
In einer bevorzugten gemäß dem zweiten Aspekt übt die Spannungsentlastungseinrichtung eine radial von der optischen Achse weg gerichtete Zugkraft auf die Blattfederanordnung aus.In According to a preferred aspect of the second aspect, the stress relief device applies a radially directed away from the optical axis tensile force on the leaf spring assembly out.
Die von der Spannungsentlastungseinrichtung von der optischen Achse weg gerichtete radiale Zugkraft wirkt einer Vorspannung der Blattfederanordnung, die auf die Kontaktstelle eine zur optischen Achse hin gerichtete Druckkraft ausübt, entsprechend entgegen und entlastet somit die Kontaktstelle.The from the stress relief device from the optical axis directed radial tensile force acts a bias of the leaf spring assembly, which directed towards the contact point to the optical axis Exerting compressive force, accordingly counteracts and thus relieves the contact point.
In diesem Zusammenhang ist bevorzugt, wenn die Spannungsentlastungseinrichtung zumindest ein mit der Fassung verbundenes elastisches Element, beispielsweise eine Zugfeder, aufweist, das an der Blattfederanordnung angreift, um deren Spannung zu reduzieren.In This relationship is preferred when the stress relief device at least one associated with the socket elastic element, for example a tension spring, which acts on the leaf spring assembly, to reduce their tension.
Die Verwendung eines elastischen Elements, beispielsweise einer Zugfeder, stellt eine technisch einfache und damit vorteilhafte Realisierung einer auf Zug arbeitenden Spannungsentlastungseinrichtung dar.The Use of an elastic element, for example a tension spring, represents a technically simple and thus advantageous realization a working on train stress relief device.
Dabei ist es weiterhin bevorzugt, wenn die Spannungsentlastungseinrichtung eine Blattfederanordnung aufweist, die nicht mit dem optischen Element verbunden ist, und die sich spannt, wenn die mit dem optischen Element verbundene Blattfederanordnung entspannt wird.It is further preferred that the stress relief device comprises a leaf spring assembly which is not connected to the optical element, and which stretches when with the leaf spring assembly connected to the optical element is relaxed.
Diese Maßnahme hat den Vorteil, dass über die weitere Blattfederanordnung und das zumindest eine elastische Element ein Kräftegleichgewicht eingestellt werden kann, so dass die von dem elastischen Element auf die Blattfederanordnung, die mit dem optischen Element verbunden ist, ausgeübte Zugkraft gerade ausreichend ist, um die Kontaktstelle gegenüber zur optischen Achse hin wirkenden Druckkräften zu entlasten, ohne jedoch auf die Kontaktstelle eine von der optischen Achse weg gerichtete überschießende Zugkraft auszuüben.These measure has the advantage of being over the another leaf spring arrangement and the at least one elastic element a balance of power can be adjusted so that of the elastic element on the leaf spring assembly, which is connected to the optical element is exercised traction is just enough to the contact point opposite the Relieve the optical axis acting compressive forces, but without on the contact point directed away from the optical axis excess traction exercise.
Alternativ zu einer mit Zugkraft arbeitenden Spannungsentlastungseinrichtung kann gemäß einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung die Spannungsentlastungseinrichtung eine in Tangentialrichtung wirkende Stauchkraft auf die Blattfederanordnung ausüben, die eine Wölbung der Blattfederanordnung in radialer Richtung von der optischen Achse weg bewirkt.alternative to a tensile stress relief device can according to another preferred embodiment, the stress relief device a acting in the tangential direction compressive force on the leaf spring assembly, the a vault the leaf spring assembly in the radial direction from the optical axis away causes.
In diesem Fall kann auf die zuvor erwähnte zumindest eine Zugfeder verzichtet werden. Ein Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass durch die Wölbung der Blattfederanordnung von der optischen Achse weg nicht nur die radiale Vorspannkraft von dem optischen Element weggenommen wird, sondern sich darüber hinaus die effektive radiale Steifigkeit der Blattfederanordnung verringert, da die tangential auf die Blattfederanordnung wirkende Druckkraft eine weitere Wölbung der Blattfederanordnung von der optischen Achse weg unterstützt, wenn sich das optische Element ausdehnt. Die Federhärte der Blattfederanordnung wird somit vorteilhafterweise verringert.In In this case, the aforementioned at least one tension spring be waived. An advantage of this embodiment is that through the vault the leaf spring assembly away from the optical axis not only the radial biasing force is removed from the optical element, but about it In addition, the effective radial stiffness of the leaf spring assembly decreases, since the force acting tangentially on the leaf spring assembly pressure force another vault the leaf spring assembly supported away from the optical axis when the optical element expands. The spring stiffness of the leaf spring arrangement is thus advantageously reduced.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung erstrecken sich die erste Blattfederanordnung und die zumindest eine zweite Blattfeder von der Kontaktstelle aus zu beiden Seiten der Kontaktstelle von dieser weg.In In a further preferred embodiment, the first extend Leaf spring assembly and the at least one second leaf spring of the contact point on both sides of the contact point of this path.
In dieser Ausgestaltung weist die Blattfederanordnung eine herkömmliche doppelseitige Blattfeder auf, jedoch ohne die eingangs beschriebenen Nachteile der herkömmlichen doppelseitigen Blattfedern. Die Ausgestaltung der Blattfederanordnung als doppelseitige Blattfeder hat den Vorteil, dass auf die Kontaktstelle mit dem optischen Element bei einer radialen Ausdehnung des optischen Elements keine Biegemomente ausgeübt werden, die zu einer Ablösung der Blattfederanordnung vom optischen Element an der Kontaktstelle führen können.In This configuration, the leaf spring assembly, a conventional Double-sided leaf spring, but without the disadvantages described above the conventional one double-sided leaf springs. The embodiment of the leaf spring arrangement As a double-sided leaf spring has the advantage that on the contact point with the optical element at a radial extension of the optical Elements no bending moments are exercised, leading to a replacement of the Can lead leaf spring assembly of the optical element at the contact point.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung steht die Blattfederanordnung mit dem optischen Element an der Kontaktstelle direkt in Berührung und ist beidseits der Kontaktstelle stoffschlüssig mit dem optischen Element gefügt.In Another preferred embodiment is the leaf spring assembly with the optical element at the contact point in direct contact and is on both sides of the contact point cohesively with the optical element together.
Als stoffschlüssige Fügung können eine Klebung oder eine Lötung verwendet werden.When cohesive coincidence can a bond or a soldering be used.
Diese Maßnahme, die sowohl bei dem ersten als auch bei dem zweiten Aspekt der Erfindung eingesetzt werden kann, hat den Vorteil einer weiteren Spannungsentkopplung zwischen dem optischen Element und der Fassung.These Measure, that in both the first and second aspects of the invention can be used, has the advantage of another voltage decoupling between the optical element and the socket.
Die Verbindung zwischen dem optischen Element und der Fassung ist bei dieser Ausgestaltung stets durch den Kontakt von optischem Element und metallischem Lager hergestellt, und die stoffschlüssige Verbindung, die durch Kleben oder Löten hergestellt werden kann, dient nur zur Sicherstellung der Aufrechterhaltung des Kontaktes. Dadurch wirken sich Volumenänderungen des Fügematerials (Klebstoff oder Lot) nur zu einem ganz geringen Anteil auf das optische Element aus. Da die radiale Steifigkeit der Blattfederanordnung wesentlich geringer ist als die tangentiale Steifigkeit, wird das optische Element sich radial nicht verschieben, selbst wenn sich das Fügematerial so stark ausdehnt, dass der unmittelbare Kontakt zwischen dem optischen Element und der Fassung aufgehoben wird. Ein Klebstoff als Fügematerial schrumpft beim Aushärten, so dass eine Vorspannung entsteht, die eine Wärmeausdehnung teilweise kompensiert. Auch Lot als Fügematerial schrumpft beim Übergang von der flüssigen in die feste Phase und erzeugt eine Vorspannung. Da gemäß der zuvor genannten Ausgestaltung die Fügestelle direkt auf beiden Seiten neben der Kontaktstelle vorgesehen ist, werden auch durch die Vorspannung der Blattfederanordnung entstehende Spannungen im optischen Element auf den kleinen Bereich um die Kontaktstelle herum begrenzt, so dass sich Spannungen nicht über den optisch genutzten Bereich des optischen Elements erstrecken.The Connection between the optical element and the socket is included this configuration always by the contact of optical element and produced metallic bearing, and the cohesive connection, which are made by gluing or soldering can only be used to ensure continuity of contact. As a result, volume changes of the joining material (adhesive or Lot) only to a very small extent on the optical element out. As the radial stiffness of the leaf spring assembly essential less than the tangential stiffness, becomes the optical element do not move radially, even if the joining material extends so much that the direct contact between the optical Element and the socket is removed. An adhesive as a joining material shrinks when curing, so that a bias arises that partially compensates for thermal expansion. Also solder as joining material shrinks at the transition from the liquid in the solid phase and generates a bias voltage. As according to the previously said embodiment, the joint is provided directly on both sides next to the contact point, are also caused by the bias of the leaf spring assembly voltages in the optical element on the small area around the contact point limited so that voltages do not exceed the optically used range of the optical element.
In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung, die sowohl bei dem ersten als auch bei dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann, ist das optische Element an der Fassung über drei in Bezug auf die optische Achse radial nachgiebige Lager festgelegt, wobei die Lager über den Umfang des optischen Elements um die optische Achse, vorzugsweise um 120° zueinander, verteilt sind.In a further preferred embodiment, both in the first as used in the second aspect of the present invention can be, the optical element on the frame is over three fixed radially yielding bearings with respect to the optical axis, bearing over the circumference of the optical element about the optical axis, preferably distributed by 120 ° to each other are.
Während es im Rahmen dieser Ausgestaltung liegt, dass die drei Lager mit dem optischen Element durch stoffschlüssige Fügung verbunden sind, ist es jedoch ebenso möglich, das optische Element über die zumindest drei Kontaktstellen durch radiale Klemmung mit der Fassung zu verbinden, wobei die radiale Klemmkraft durch die drei Blattfederanordnungen aufgebracht wird.While it in the context of this embodiment is that the three camps with the optical element are connected by cohesive joining, it is but equally possible the optical element over the at least three contact points by radial clamping with the To connect socket, wherein the radial clamping force by the three Leaf spring assemblies is applied.
Diese Ausgestaltung wird auch ohne die kennzeichnenden Merkmale der unabhängigen Ansprüche als eigenständige Erfindung angesehen.These Embodiment is also without the characterizing features of the independent claims as independent Considered invention.
In diesem Fall sind die drei Blattfederanordnungen gezielt durch eine Vorspannung beaufschlagt, die das optische Element in korrekter Position zentriert an der Fassung festlegt. Diese Ausgestaltung ist insbesondere dann von Vorteil, wenn die optische Anordnung in einem optischen System verwendet wird, das mit Licht in sehr hohen Leistungsbereichen von beispielsweise 1 kW und mehr betrieben wird. Klebstoffe sind gegenüber solchen Lichtleistungen, insbesondere im kurzwelligen Bereich, nicht hinreichend beständig, so dass eine Festlegung des optischen Elements an der Fassung durch Klemmung vorteilhaft sein kann.In In this case, the three leaf spring assemblies are targeted by a Bias applied to the optical element in the correct Position centered on the socket sets. This embodiment is particularly advantageous if the optical arrangement in an optical system that uses light in very high Power ranges of, for example, 1 kW and more is operated. Adhesives are opposite such light powers, especially in the short-wave range, not sufficiently stable, so that a fixing of the optical element to the socket by Clamping can be advantageous.
Im Falle einer solchen radialen Klemmung ist es weiterhin bevorzugt, wenn das jeweilige Lager mit dem optischen Element an zumindest zwei Kontaktpunkten in Berührung steht, die an Flächen liegen, die zur bezüglich der optischen Achse Radialen schräg gerichtet sind.in the Case of such a radial clamping, it is further preferred if the respective bearing with the optical element at least two contact points in contact stands, on surfaces lying to the re the optical axis radials are directed obliquely.
Die in dieser Ausgestaltung von dem jeweiligen Lager auf das optische Element ausgeübten Druckkräfte wirken somit vorteilhafterweise nicht nur in radialer Richtung, sondern auch schräg zur Radialen, wodurch auch Kräfte tangential zum Umfang des optischen Elements aufgenommen werden können. Dazu müssen sich die an den zumindest zwei Kontaktpunkten wirkenden Druckkräfte, die von der Blattfederanordnung auf das optische Element ausgeübt werden, in einem Punkt schneiden, der in der Blattfederebene liegt.The in this embodiment of the respective bearing on the optical Element exerted pressure forces act thus advantageously not only in the radial direction, but also oblique to the radial, which also forces be received tangentially to the circumference of the optical element can. To have to the pressure forces acting on the at least two contact points, the be exerted by the leaf spring assembly on the optical element, cut at a point that lies in the leaf spring plane.
Die zumindest zwei Kontaktpunkte am optischen Element können beispielsweise durch V-förmige Einkerbungen am Umfangsrand des optischen Elements auf einfache Weise realisiert werden, während die Lager beispielsweise Kontaktfüße mit einer runden Außenkontur mit entsprechend an die V-förmigen Einkerbungen angepasstem Radius aufweisen.The For example, at least two contact points on the optical element through V-shaped Notches on the peripheral edge of the optical element to simple Way be realized while the bearings, for example, contact feet with a round outer contour with according to the V-shaped Indentations have adapted radius.
Weitere Vorteile und Merkmale ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung und der beigefügten Zeichnung.Further Advantages and features will become apparent from the following description and the attached Drawing.
Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It It is understood that the above and below to be explained features not only in the specified combination, but also in other combinations or alone, without to leave the scope of the present invention.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in Bezug auf diese noch näher beschrieben. Es zeigen:embodiments The invention are illustrated in the drawings and in relation even closer to this described. Show it:
In
In
Das
optische Element
Die
Lager
Die
Blattfederanordnung
Die
Blattfedern
In
Je
länger
die einzelnen Blattfedern
Diese
Anforderung an die Blattfederanordnungen
Gemäß
Hierdurch
werden auch bei kleiner Größe des optischen
Elements
Die
Ausgestaltung gemäß
Bei
den doppelseitigen Blattfedern der Blattfederanordnungen
Nachfolgend
werden erfindungsgemäße optische
Anordnungen mit Bezug auf
Mit
Bezug auf
Die
Blattfederanordnung
Die
erste Blattfeder
Die
Anordnung aus der ersten Blattfeder
Dies
ist in
In
der linken Teilfigur in
Damit
besitzt die Blattfederanordnung
Die
Blattfederanordnung
Wenn
die erste Blattfeder
Der
Verbindungsabschnitt
Des
Weiteren erstreckt sich der Verbindungsabschnitt
In
Mit
Bezug auf
In
Gemäß diesem
Aspekt der Erfindung kann als Blattfederanordnung somit eine solche
verwendet werden, wie sie auch in
In
Die
optische Anordnung
Das
Lager
In
Im
Falle einer Ausdehnung des optischen Elements
Gemäß diesem
Aspekt der Erfindung kann somit als Blattfederanordnung auch eine
doppelseitige Blattfeder gemäß
Die
Spannungsentlastungseinrichtung
Eine
gegenüber
der optischen Anordnung
Auch
bei dieser optischen Anordnung
Bei
der optischen Anordnung
Es
versteht sich, das bei den Ausführungsbeispielen
gemäß
In
Die
Beschreibung beschränkt
sich dabei auf die Kontaktstelle
Der
Kontaktfuß an
der Kontaktstelle
Anstelle
einer stoffschlüssigen
Verbindung des optischen Elements mit dem zugehörigen Lager kann das optische
Element an der Fassung auch über
drei in Bezug auf die optische Achse radial nachgiebige Lager durch
radiale Klemmung festgelegt sein, wie mit Bezug auf
In
Da
die Lager
Das
Lager
Die
Blattfedern
Am
Umfang des optischen Elements
Hierdurch
kann die Blattfederanordnung
Das
optische Element
Damit
die Blattfederanordnung
In
Die
optische Anordnung
Das
optische Element
Die
optische Anordnung
Die
Lager
Die
Lager
Die
Blattfedern
Die
Lager
Wie
in der vergrößerten Darstellung
von
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE200910031690 DE102009031690A1 (en) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | Optical arrangement, has blade springs connected together by connection section such that springs are linked together during radial force effect on contact point, where connection section is moved relative to frame |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE102009031690A1 true DE102009031690A1 (en) | 2010-09-23 |
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Country Status (1)
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DE (1) | DE102009031690A1 (en) |
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