DE102022123306A1 - Method for producing a curved circuit carrier and curved circuit carriers - Google Patents

Method for producing a curved circuit carrier and curved circuit carriers Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines gekrümmten elektronischen Schaltungsträgers (1) und einen gekrümmten Schaltungsträger, insbesondere eine Ultraschall-Sensoreinrichtung bzw. einen Ultraschallkatheter, wobei der Schaltungsträger (1) ein Substrat (2) mit Leitungsbahnen (3) umfasst, welche zu einer Oberseite des Substrats (2) frei liegende Substrat Pads (4) aufweisen. Um eine besonders einfache Herstellung und zugleich eine exakte Positionierung und Orientierung der auf dem gekrümmten Schaltungsträger angeordneten elektronischen Bauelemente zu ermöglichen, wird auf einer Unterseite des Substrats (2) eine verstärkende Lage (5) befestigt, mindestens ein Schlitz (6a; 6b) in die verstärkende Lage (5) eingebracht und das Substrat (2) entlang des Schlitzes (6a; 6b) gekrümmt.The invention relates to a method for producing a curved electronic circuit carrier (1) and a curved circuit carrier, in particular an ultrasound sensor device or an ultrasound catheter, wherein the circuit carrier (1) comprises a substrate (2) with conductor tracks (3) which form a The top of the substrate (2) has exposed substrate pads (4). In order to enable particularly simple production and at the same time precise positioning and orientation of the electronic components arranged on the curved circuit carrier, a reinforcing layer (5) is attached to an underside of the substrate (2), at least one slot (6a; 6b) in which reinforcing layer (5) is introduced and the substrate (2) is curved along the slot (6a; 6b).

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines gekrümmten elektronischen Schaltungsträgers, insbesondere für eine Ultraschall-Sensoreinrichtung bzw. einen Ultraschallkatheter, nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie einen gekrümmten elektronischen Schaltungsträger.The invention relates to a method for producing a curved electronic circuit carrier, in particular for an ultrasound sensor device or an ultrasound catheter, according to the preamble of claim 1 and to a curved electronic circuit carrier.

Durch Benutzung sind gekrümmte elektronische Schaltungsträger bekannt, welche ein Substrat mit Leitungsbahnen umfassen. Die Leitungsbahnen weisen zu einer Oberseite des Substrats freiliegende Kontaktstellen auf, welche mit elektronischen Bauelementen elektrisch leitend verbunden sind. Durch die Krümmung des elektronischen Schaltungsträgers können die elektronischen Bauelemente jeweils in einem Winkel zueinander und in Umfangsrichtung voneinander beabstandet angeordnet werden.Curved electronic circuit carriers are known through use, which comprise a substrate with conductor tracks. The conductor tracks have exposed contact points on an upper side of the substrate, which are electrically conductively connected to electronic components. Due to the curvature of the electronic circuit carrier, the electronic components can each be arranged at an angle to one another and spaced apart from one another in the circumferential direction.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines gekrümmten elektronischen Schaltungsträgers zu bilden, welches eine besonders einfache Herstellung und zugleich eine exakte Positionierung und Orientierung der darauf angeordneten elektronischen Bauelemente wie Ultraschall-Sensoren ermöglicht.The object of the invention is to provide a method for producing a curved electronic circuit carrier, which enables particularly simple production and at the same time precise positioning and orientation of the electronic components arranged thereon, such as ultrasonic sensors.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass auf eine Unterseite des Substrats eine verstärkende Lage befestigt wird, mindestens ein Schlitz in die verstärkende Lage eingebracht wird und das Substrat entlang des Schlitzes gekrümmt wird. Durch die Ausgestaltung des Schlitzes kann die Krümmungsachse und der Winkel exakt vorgegeben werden, so dass auch nach der Krümmung die elektronischen Bauelemente auf dem gekrümmten Schaltungsträger eine definierte gegenseitige Position und Orientierung aufweisen.This object is achieved in that a reinforcing layer is attached to an underside of the substrate, at least one slot is made in the reinforcing layer and the substrate is curved along the slot. Due to the design of the slot, the axis of curvature and the angle can be specified exactly, so that even after the curvature, the electronic components on the curved circuit carrier have a defined mutual position and orientation.

In einer vorteilhaften Ausführungsform kann das Substrat derart gekrümmt werden, dass die einander gegenüberliegenden Wände des Schlitzes aneinander anliegen. Da der Zwischenwinkel der gegenüberliegenden Wände bei der Herstellung des Schlitzes exakt eingestellt werden kann, ist auch der Winkel der Krümmung bei einer Krümmung bis zur gegenseitigen Anlage der gegenüberliegenden Wände des Schlitzes exakt vorgegeben und einfach reproduzierbar.In an advantageous embodiment, the substrate can be curved in such a way that the opposite walls of the slot rest against one another. Since the intermediate angle of the opposite walls can be set exactly when producing the slot, the angle of the curvature in the event of a curvature until the opposite walls of the slot rest against each other is also precisely specified and easily reproducible.

Der mindestens eine Schlitz kann vorteilhaft einen dreieckigen oder trapezförmigen Querschnitt, insbesondere einen Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes, aufweisen. Hierdurch wird eine verhältnismäßig große gegenseitige Anlagefläche der gegenüberliegenden Wände des Schlitzes nach der Krümmung des Schaltungsträgers ermöglicht. Durch die große Anlagefläche wird eine elastische Verformung im gekrümmten Zustand aufgrund der geringen Flächenpressung verhindert, was ebenfalls eine exakte gegenseitige Positionierung und Orientierung von elektronischen Bauelementen auf dem Schaltungsträger unterstützt. Für den Fall, dass die einander gegenüberliegenden Wände des Schlitzes nach der Krümmung des elektronischen Schaltungsträgers miteinander verklebt werden, sind die Klebekräfte aufgrund der großen Kontaktflächen ebenfalls verhältnismäßig groß.The at least one slot can advantageously have a triangular or trapezoidal cross-section, in particular a cross-section in the form of an isosceles trapezoid. This enables a relatively large mutual contact surface of the opposite walls of the slot after the curvature of the circuit carrier. The large contact surface prevents elastic deformation in the curved state due to the low surface pressure, which also supports precise mutual positioning and orientation of electronic components on the circuit carrier. In the event that the opposite walls of the slot are glued together after the electronic circuit carrier has been curved, the adhesive forces are also relatively large due to the large contact surfaces.

In einer besonders vorteilhaften Ausführungsform können mehrere, insbesondere parallele, Schlitze in das Substrat eingebracht werden. Jeder Schlitz ermöglicht die Krümmung um eine separate Dreh-/Krümmungsachse, so dass hierdurch ein beliebiger Verlauf der Krümmung des elektronischen Schaltungsträgers eingestellt werden kann. Durch mehrere parallele, gleichmäßig beabstandete Schlitze kann beispielsweise im Querschnitt eine teilkreis- oder kreisförmige Krümmung entsprechend einem Zylindermantel bzw. zylinderförmig hergestellt werden. Für den Fall, dass der Verlauf der Schlitze einen Winkel zueinander aufweist, kann der elektronische Schaltungsträger beispielsweise auch in Form eines Konus gekrümmt werden.In a particularly advantageous embodiment, several, in particular parallel, slots can be made in the substrate. Each slot enables curvature around a separate axis of rotation/curvature, so that any desired course of the curvature of the electronic circuit carrier can be set. By means of several parallel, evenly spaced slots, a part-circle or circular curvature can be produced in cross section corresponding to a cylinder jacket or cylindrical. In the event that the course of the slots has an angle to one another, the electronic circuit carrier can also be curved, for example, in the form of a cone.

Vorzugsweise wird der Winkel β zwischen einander gegenüberliegenden Wänden eines Schlitzes (Zwischenwinkel) gewählt in Abhängigkeit von der Anzahl a der Schlitze und dem Winkelbereich γ, welchen der gekrümmte Schaltungsträger aufweisen/überspannen soll, wobei für das Verhältnis die Formel für den Zwischenwinkel sein kann: β = γ / a. Dies gilt vorzugsweise bei parallelen Schlitzen. Werden beispielsweise zehn parallele Schlitze in einem elektronischen Schaltungsträger vorgesehen, welche vorzugsweise den gleichen Abstand zueinander aufweisen, kann eine geschlossene zylindermantelartige Form des gekrümmten elektronischen Schaltungsträgers, welche einem Winkelbereich γ = 360° entspricht, erreicht werden, wenn für den Zwischenwinkel eines jeden Schlitzes gilt β = 360° / 10 = 36°. Mit der genannten Formel können auch die Zwischenwinkel für andere Krümmungen und/oder Winkelbereiche ermittelt werden.The angle β between opposing walls of a slot (intermediate angle) is preferably selected depending on the number a of slots and the angular range γ which the curved circuit carrier should have/spann, whereby the formula for the intermediate angle can be: β =γ/a. This applies preferably to parallel slots. If, for example, ten parallel slots are provided in an electronic circuit carrier, which are preferably at the same distance from one another, a closed cylinder jacket-like shape of the curved electronic circuit carrier, which corresponds to an angular range γ = 360 °, can be achieved if β applies to the intermediate angle of each slot = 360° / 10 = 36°. The formula mentioned can also be used to determine the intermediate angles for other curvatures and/or angular ranges.

Besonders bevorzugt können die Schlitze über ein Sägeblatt, insbesondere ein Kreissägeblatt, oder eine Schleifscheibe in der verstärkenden Lage und/oder dem Substrat gefertigt werden. Das Sägeblatt bzw. die Schleifscheibe weist dabei vorteilhaft an dem Außenumfang eine Schneide oder einen Schleifkörper mit einem dreieckigen oder trapezförmigen Querschnitt auf, insbesondere mit einem Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes, welcher der Kontur des zu fertigenden Schlitzes entspricht. Hierdurch können besonders einfach und wiederholgenau Schlitze mit den gewünschten Zwischenwinkeln hergestellt werden. Die im Querschnitt in einem Winkel zueinander angeordneten Seitenflächen der Schneide bzw. der Schleifscheibe weisen dabei besonders bevorzugt einen Zwischenwinkel δ auf, welcher dem Zwischenwinkel β des Schlitzes bzw. der Schlitze entspricht.Particularly preferably, the slots can be made in the reinforcing layer and/or the substrate using a saw blade, in particular a circular saw blade, or a grinding wheel. The saw blade or the grinding wheel advantageously has a cutting edge or a grinding body on the outer circumference with a triangular or trapezoidal cross-section, in particular with a cross-section in the form of an isosceles trapezoid, which corresponds to the contour of the slot to be produced. This makes it possible to produce slots with the desired intermediate angles particularly easily and with repeatable accuracy. The side surfaces, which are arranged at an angle to one another in cross section The cutting edge or grinding wheel particularly preferably has an intermediate angle δ, which corresponds to the intermediate angle β of the slot or slots.

Auf der Oberseite des Substrats können mehrere elektronische Bauelemente bzw. Halbleiterbauelemente, insbesondere als Flip-Chips mittels Flip-Chip-Montage oder als Halbleiterchips mit Oberseitenkontakten, angeordnet und über die Kontaktstellen mit den Leitungsbahnen verbunden werden. Die Montage der Halbleiterbauelemente, bei welchen es sich insbesondere um Ultraschall erzeugende Strukturen bzw. Ultraschall-Sensoren handeln kann, kann vor oder nach der Aufbringung der verstärkenden Lage auf der Unterseite des Substrats bzw. der Einbringung des mindestens einen Schlitzes erfolgen.On the top side of the substrate, several electronic components or semiconductor components, in particular as flip chips using flip chip assembly or as semiconductor chips with top contacts, can be arranged and connected to the conductor tracks via the contact points. The assembly of the semiconductor components, which can in particular be ultrasound-generating structures or ultrasound sensors, can take place before or after the application of the reinforcing layer to the underside of the substrate or the introduction of the at least one slot.

Um eine exakte Positionierung der Halbleiterbauelemente zu ermöglichen, können die Halbleiterbauelemente in Form einer Matrix, insbesondere in einem Rechtecksmuster, auf dem Substrat angeordnet werden.In order to enable precise positioning of the semiconductor components, the semiconductor components can be arranged on the substrate in the form of a matrix, in particular in a rectangular pattern.

Des Weiteren können die elektronischen Bauelemente bzw. Halbleiterbauelemente auf der Oberseite des Substrats mit einer Schicht unterfüllt und/oder abgedeckt werden. Bei der Schicht kann es sich beispielsweise um ein aushärtbares Harz oder einen anderen Kunststoff handeln. Anschließend können Schlitze beispielsweise mittels eines Sägeprozesses in die elektronischen Bauelemente bzw. die Halbleiterbauelemente und ggf. auch in die Schicht sowie ggf. teilweise auch in das Substrat auf der Oberseite eingebracht werden, wobei die Schlitze in den elektronischen Bauelementen bzw. Halbleiterbauelementen vorzugsweise gegenüberliegend zu den Schlitzen in der verstärkenden Lage positioniert sind. Im Querschnitt durch den Schaltungsträger können dabei jeweils die (Symmetrie-) Achsen eines Schlitzes in der verstärkenden Lage auf der Unterseite des Substrats und des gegenüberliegenden Schlitzes auf der Oberseite des Substrats fluchtend zueinander positioniert sein. Hierdurch wird eine besonders hohe Flexibilität und damit eine einfache Krümmung des elektronischen Schaltungsträgers ermöglicht.Furthermore, the electronic components or semiconductor components on the top side of the substrate can be underfilled and/or covered with a layer. The layer can be, for example, a curable resin or another plastic. Slots can then be made in the electronic components or the semiconductor components and possibly also in the layer and possibly also partially in the substrate on the top side, for example by means of a sawing process, the slots in the electronic components or semiconductor components preferably being opposite to the Slots are positioned in the reinforcing layer. In the cross section through the circuit carrier, the (symmetry) axes of a slot in the reinforcing layer on the underside of the substrate and of the opposite slot on the top of the substrate can be positioned aligned with one another. This enables a particularly high level of flexibility and thus easy curvature of the electronic circuit carrier.

Für eine besonders präzise Positionierung elektronischen Bauelemente bzw. der Halbleiterbauelemente auf der Oberseite des Substrats sowie der Schlitze auf der Ober- und Unterseite des Substrats können in dem Substrat mindestens zwei Referenzmarken vorgesehen werden, welche vorzugsweise sowohl von der Oberseite als auch von der Unterseite des Substrats erkennbar sind. Die Anordnung der Halbleiterbauelemente und der Schlitze auf der Ober- und Unterseite des Substrats können hierbei in Abhängigkeit von den Referenzmarken erfolgen, wodurch die Positionierung erleichtert wird.For particularly precise positioning of electronic components or semiconductor components on the top side of the substrate and of the slots on the top and bottom sides of the substrate, at least two reference marks can be provided in the substrate, which preferably come from both the top side and the bottom side of the substrate are recognizable. The arrangement of the semiconductor components and the slots on the top and bottom of the substrate can be done depending on the reference marks, which makes positioning easier.

Des Weiteren wird auch ein gekrümmter elektronischer Schaltungsträger, insbesondere eine Ultraschall-Sensoreinrichtung bzw. ein Ultraschallkatheter, mit einem Leitungsbahnen umfassenden Substrat beansprucht, wobei die Leitungsbahnen zu einer Oberseite des Substrats freiliegende Substrat Pads / Kontaktstellen aufweisen. Der Schaltungsträger ist entlang von mehreren Schlitzen in einer verstärkenden Lage an der Unterseite des Substrats und ggf. in der Unterseite gekrümmt.Furthermore, a curved electronic circuit carrier, in particular an ultrasound sensor device or an ultrasound catheter, is also claimed with a substrate comprising conductor tracks, the conductor tracks having exposed substrate pads/contact points on an upper side of the substrate. The circuit carrier is curved along several slots in a reinforcing layer on the underside of the substrate and possibly in the underside.

Bei dem gekrümmten elektronischen Schaltungsträger liegen die gegenüberliegenden Wände jedes Schlitzes vorzugsweise aneinander an, wodurch sich eine exakte gegenseitige Positionierung der verschiedenen Abschnitte des Schaltungsträgers ergibt. Zudem kann im Querschnitt auf der Oberseite des Substrats zwischen zwei Schlitzen vorteilhaft jeweils eine Ultraschall erzeugende Struktur bzw. ein Ultraschall-Sensor oder ggf. auch mehrere Ultraschall-Sensoren vorgesehen sein, was eine besonders kompakte Bauform zur Folge hat.In the curved electronic circuit carrier, the opposing walls of each slot preferably abut one another, resulting in precise mutual positioning of the various sections of the circuit carrier. In addition, an ultrasound-generating structure or an ultrasound sensor or possibly several ultrasound sensors can advantageously be provided in the cross section on the top side of the substrate between two slots, which results in a particularly compact design.

Weitere Besonderheiten und Vorzüge der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnungen. Es zeigen:

  • 1 einen Querschnitt durch einen Teil eines Schaltungsträgers in einem ersten Herstellungsschritt;
  • 2 einen Querschnitt durch den Teil eines Schaltungsträgers von 1 in einem zweiten Herstellungsschritt;
  • 3a-c eine Draufsicht, einen Querschnitt und eine Unteransicht auf den Schaltungsträger von 2;
  • 4a eine erste Ausführungsform eines gekrümmten Schaltungsträgers;
  • 4b eine zweite Ausführungsform eines gekrümmten Schaltungsträgers und
  • 5 eine perspektivische Darstellung des gekrümmten Schaltungsträgers von 4a.
Further special features and advantages of the invention result from the following description of preferred exemplary embodiments based on the drawings. Show it:
  • 1 a cross section through a part of a circuit carrier in a first manufacturing step;
  • 2 a cross section through the part of a circuit carrier 1 in a second manufacturing step;
  • 3a -c a top view, a cross section and a bottom view of the circuit board of 2 ;
  • 4a a first embodiment of a curved circuit carrier;
  • 4b a second embodiment of a curved circuit carrier and
  • 5 a perspective view of the curved circuit carrier from 4a .

In 1 ist ein Querschnitt durch einen Teil eines Schaltungsträger 1 in einem ersten Herstellungsschritt gezeigt. Der Schaltungsträger 1 umfasst ein Substrat 2, welches als ebene Platte ausgebildet ist und vorzugsweise aus einem Kunststoff besteht. In dem Substrat 2 sind Leitungsbahnen 3 aus einem elektrisch leitfähigen Material innerhalb einer Schicht oder mehrerer Schichten des Substrats 2 angeordnet, wobei die Leitungsbahnen 3 zu einer Oberseite des Substrats Substrat Pads bzw. eine freiliegende Metalllage aufweisen, von welchen exemplarisch das Substrat Pad 4 beziffert ist. Die Substrat Pads 4 dienen zur späteren elektrischen Verbindung von auf der Oberseite des Substrats 2 angeordneten Kontaktstellen für elektronische Bauelemente, wie in Bezug auf 2 noch näher beschrieben wird.In 1 a cross section through a part of a circuit carrier 1 is shown in a first manufacturing step. The circuit carrier 1 comprises a substrate 2, which is designed as a flat plate and preferably consists of a plastic. In the substrate 2, conductor tracks 3 made of an electrically conductive material are arranged within a layer or several layers of the substrate 2, the conductor tracks 3 having substrate pads or an exposed metal layer on an upper side of the substrate, of which, for example the substrate pad 4 is numbered. The substrate pads 4 serve for the later electrical connection of contact points for electronic components arranged on the top of the substrate 2, as in relation to 2 will be described in more detail.

Auf einer Unterseite des Substrat 2 wurde in einem nicht gezeigten vorhergehenden Herstellungsschritt eine verstärkende Lage 5 befestigt/laminiert, wobei die verstärkende Lage 5 ebenfalls vorzugsweise aus einem Kunststoff gebildet ist.On an underside of the substrate 2, a reinforcing layer 5 was attached/laminated in a previous manufacturing step (not shown), the reinforcing layer 5 also preferably being formed from a plastic.

In dem in 1 gezeigten Herstellungsschritt wurden in die verstärkende Lage 5 und teilweise auch in das Substrat 2 geradlinig verlaufende Schlitze 6a, 6b eingebracht. Wie der Darstellung zu nehmen ist, weisen die Schlitze 6a, 6b einen Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes auf, welches in Richtung des Substrats 2 zeigt. In the in 1 In the manufacturing step shown, straight slots 6a, 6b were introduced into the reinforcing layer 5 and partly also into the substrate 2. As can be seen from the illustration, the slots 6a, 6b have a cross section in the form of an isosceles trapezoid, which points in the direction of the substrate 2.

Wie den 3a und 3c zu nehmen ist, verlaufen die Schlitze 6a, 6b parallel zueinander.Like that 3a and 3c To be taken, the slots 6a, 6b run parallel to each other.

Die Herstellung der Schlitze 6a, 6b erfolgt vorzugsweise über ein hier schematisch im Teilschnitt dargestelltes Sägeblatt 7 beispielhaft in Form eine Kreissägeblatts. Das Sägeblatt 7 weist angrenzend an den Außenumfang eine Schneide 8 mit einem Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes auf, wobei die in einem Winkel zueinander angeordneten Seitenflächen der Schneide 8 einen Zwischenwinkel δ aufweisen, welcher einem Zwischenwinkel β zwischen einander gegenüberliegenden Wänden 9a, 9b des Schlitzes 6a entspricht. Durch die Auswahl eines Sägeblatts 7 mit einer entsprechend ausgebildeten Schneide 8 können besonders einfach und präzise Schlitze 6a, 6b mit den entsprechenden Abmessungen gefertigt werden. In einer nicht gezeigten Ausführungsform können mehrere Sägeblätter vorgesehen sein, welche gleichzeitig relativ zu dem Schaltungsträger 1 bewegt werden und hierbei die Schlitze 6a, 6b durch spanabhebende Bearbeitung bilden.The slots 6a, 6b are preferably produced using a saw blade 7, shown here schematically in partial section, for example in the form of a circular saw blade. The saw blade 7 has, adjacent to the outer circumference, a cutting edge 8 with a cross section in the form of an isosceles trapezoid, the side surfaces of the cutting edge 8, which are arranged at an angle to one another, having an intermediate angle δ, which is an intermediate angle β between opposing walls 9a, 9b of the slot 6a corresponds. By selecting a saw blade 7 with a correspondingly designed cutting edge 8, slots 6a, 6b with the appropriate dimensions can be produced particularly easily and precisely. In an embodiment not shown, several saw blades can be provided, which are simultaneously moved relative to the circuit carrier 1 and thereby form the slots 6a, 6b by machining.

In 2 ist ein Querschnitt durch den Teil des Schaltungsträger 1 von 1 in einem weiteren Herstellungsschritt gezeigt. Hierbei wurden nach der Fertigung der Schlitze 6a, 6b auf der Oberseite des Substrats 2 Kontaktstellen 10 für elektronische Bauelemente 11 angeordnet und mit den Substrat Pads 4 elektrisch leitend verbunden. Die elektronischen Bauelemente 11 können insbesondere als Halbleiterbauelemente wie Chips ausgebildet sein und vorteilhaft mittels Flip-Chip-Montage leitend mit den Kontaktstellen 10 verbunden. Die Aufbringung der elektronischen Bauelemente 11 auf das planare Substrat 2 kann über ein oder mehrere Flip-Chip Matrizen, insbesondere in einem Rechtecksmuster, erfolgen, wobei der elektronische Kontakt der elektronischen Bauelemente beispielsweise über Löten, Kleben oder Sintern umgesetzt werden kann. Anschließend werden die elektronischen Bauelemente 11 mit einer Schicht 15 beispielsweise aus Kunststoff (zum Beispiel Epoxidharz) unterfüllt. In einem nachfolgenden Herstellungsschritt werden Schlitze 12a, 12b beispielsweise durch einen Sägeprozess in den elektronischen Bauelementen 11 (z.B. Halbleiterchips), der Schicht 15 und teilweise in dem Substrat 2 eingebracht, wobei die Schlitze 12a, 12b gegenüberliegend zu den Schlitzen 6a, 6b positioniert sind, wie den identischen, gestrichelt dargestellten Symmetrieachsen zu entnehmen ist. Durch die Schlitze 12a, 12b, 6a, 6b wird der Schaltungsträger 1 in mehrere Abschnitte 13a, 13b, 13c unterteilt. Die Abschnitte 13a, 13b, 13c sind aufgrund der verstärkenden Lage 5 und der Schicht 15 bzw. den elektronischen Bauelementen 11 jeweils für sich formstabil ausgebildet, durch die Verjüngung des Querschnitts aufgrund der Schlitze 6a, 6b, 12a, 12b weist die Verbindung der Abschnitte 13a, 13b, 13c jedoch eine höhere Elastizität aufweist, wodurch die in den 4a, 4b und 5 gezeigte Krümmung des Schaltungsträgers 1 erleichtert wird.In 2 is a cross section through the part of the circuit carrier 1 of 1 shown in a further manufacturing step. Here, after the production of the slots 6a, 6b, contact points 10 for electronic components 11 were arranged on the top of the substrate 2 and connected to the substrate pads 4 in an electrically conductive manner. The electronic components 11 can in particular be designed as semiconductor components such as chips and advantageously conductively connected to the contact points 10 by means of flip-chip mounting. The electronic components 11 can be applied to the planar substrate 2 via one or more flip-chip matrices, in particular in a rectangular pattern, whereby the electronic contact of the electronic components can be implemented, for example, via soldering, gluing or sintering. The electronic components 11 are then filled with a layer 15, for example made of plastic (for example epoxy resin). In a subsequent manufacturing step, slots 12a, 12b are introduced, for example by a sawing process, in the electronic components 11 (e.g. semiconductor chips), the layer 15 and partly in the substrate 2, the slots 12a, 12b being positioned opposite the slots 6a, 6b, as can be seen from the identical symmetry axes shown in dashed lines. The circuit carrier 1 is divided into several sections 13a, 13b, 13c by the slots 12a, 12b, 6a, 6b. The sections 13a, 13b, 13c are each designed to be dimensionally stable due to the reinforcing layer 5 and the layer 15 or the electronic components 11. The tapering of the cross section due to the slots 6a, 6b, 12a, 12b points the connection of the sections 13a , 13b, 13c however has a higher elasticity, which means that the in the 4a , 4b and 5 shown curvature of the circuit carrier 1 is facilitated.

In den 3a, 3b und 3c ist der Schaltungsträger 1 von 2 in weiteren Ansichten gezeigt. Wie dort zu entnehmen ist, sind in dem Substrat 2 drei Referenzmarken 14a, 14b, 14c in Form von Durchgangslöchern vorgesehen, so dass die Referenzmarken 14a, 14b, 14c sowohl von der in 3a gezeigten Oberseite als auch von der in 3c gezeigten Unterseite des Substrats 2 erkennbar sind. Mithilfe der Referenzmarken 14a, 14b, 14c kann die Positionierung der hier nicht gezeigten elektronischen Bauelemente 11 sowie der Schlitze 6a, 6b auf der Unterseite des Substrat 2 und der Schlitze 12a, 12b auf der Oberseite des Substrat 2 besonders einfach und dennoch genau erfolgen. Die Referenzmarken 14a, 14b, 14c erlauben dabei ein exaktes Aufspannen und Umspannen des Substrats 2, wobei auch innerhalb einer Aufspannung sowohl die Positionierung der elektronischen Bauelemente 11, insbesondere in Form einer Matrix bzw. eines Rechteckmusters, als auch die Einbringung der Schlitze 6a, 6b, 12a, 12b erfolgen kann.In the 3a , 3b and 3c is the circuit carrier 1 of 2 shown in further views. As can be seen there, three reference marks 14a, 14b, 14c are provided in the substrate 2 in the form of through holes, so that the reference marks 14a, 14b, 14c both from the in 3a shown top as well as the in 3c shown underside of the substrate 2 can be seen. With the help of the reference marks 14a, 14b, 14c, the positioning of the electronic components 11, not shown here, as well as the slots 6a, 6b on the underside of the substrate 2 and the slots 12a, 12b on the top of the substrate 2 can be carried out particularly easily and yet precisely. The reference marks 14a, 14b, 14c allow the substrate 2 to be clamped and re-clamped precisely, with both the positioning of the electronic components 11, in particular in the form of a matrix or a rectangular pattern, and the introduction of the slots 6a, 6b within one clamping , 12a, 12b can be done.

In 4a ist eine erste Ausführungsform eines gekrümmten Schaltungsträgers 1 ` gezeigt. Hierbei wurden die durch Schlitze getrennten Abschnitte des Schaltungsträgers 1', von welchen hier die Abschnitte 13a, 13b, 13c gekennzeichnet sind, bis zur gegenseitigen Anlage der Wände jedes Schlitzes auf der Unterseite des Substrats 2 gekrümmt/aufgerollt und beispielsweise mittels Kleben gegenseitig fixiert, wodurch sich der gezeigte kreisförmige Querschnitt ergibt. Der Winkel β der Schlitze auf der Unterseite des Substrats 2, von welchen hier die Schlitze 6a, 6b beziffert sind, wurde in Abhängigkeit von der Anzahl a der Schlitze und dem Winkelbereich γ, welchen der gekrümmte Schaltungsträger 1 ` aufweisen soll, nach der Formel für den Zwischenwinkel β = γ / a berechnet. Bei einem kreisförmigen Querschnitt ist der Winkelbereich γ = 360°. Die Anzahl a der Schlitze kann in Abhängigkeit von der Anzahl der elektronischen Bauelemente bzw. Chips erfolgen, welche in Umfangsrichtung verteilt auf dem gekrümmten Schaltungsträger 1 angeordnet werden sollen. Beispielsweise kann auf jedem Abschnitt zwischen den Schlitzen in Umfangsrichtung je ein elektronisches Bauelement bzw. ein Chip vorgesehen sein. Bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel sollen zehn Chips in Umfangsrichtung verteilt angeordnet werden, so dass auch die Anzahl a an Schlitzen gleich 10 ist. Folglich ergibt sich für den Zwischenwinkel β ein Wert von β = 360°/10 = 36°.In 4a a first embodiment of a curved circuit carrier 1' is shown. Here, the sections of the circuit carrier 1 'separated by slots, of which the sections 13a, 13b, 13c are marked here, were curved/rolled up to the mutual contact of the walls of each slot on the underside of the substrate 2 and fixed to one another, for example by means of gluing, whereby the circular cross section shown results. The angle β of the slots on the underside of the substrate 2, of which the slots 6a, 6b are numbered here, was dependent on the number a of slots and the angular range γ, which the curved scarf The cable carrier should have 1 `, calculated according to the formula for the intermediate angle β = γ / a. For a circular cross section, the angular range is γ = 360°. The number a of slots can depend on the number of electronic components or chips that are to be arranged on the curved circuit carrier 1 in a distributed manner in the circumferential direction. For example, an electronic component or chip can be provided on each section between the slots in the circumferential direction. In the exemplary embodiment shown, ten chips should be arranged distributed in the circumferential direction, so that the number a of slots is also equal to 10. Consequently, the intermediate angle β has a value of β = 360°/10 = 36°.

In 4b ist eine alternative Ausführungsform eines gekrümmten Schaltungsträgers 1" gezeigt. Im Unterschied zu dem Ausführungsbeispiel von 4a wird hierbei im Querschnitt nur ein Teilkreis mit einem Winkelbereich γ = 180° überspannt, wobei aufgrund der Anzahl von a = 5 Schlitzen (4 volle Schlitze und 2 halbe Schlitze) sich ebenfalls ein Zwischenwinkel β = 180° / 5 = 36° ergibt.In 4b an alternative embodiment of a curved circuit carrier 1" is shown. In contrast to the embodiment of 4a In the cross section, only a partial circle with an angular range γ = 180° is spanned, whereby due to the number of a = 5 slots (4 full slots and 2 half slots), an intermediate angle β = 180° / 5 = 36° also results.

In 5 ist eine perspektivische Darstellung des gekrümmten Schaltungsträgers 1 ` von 4a in einem Teilbereich gezeigt. Wie der Darstellung zu nehmen ist, sind bei dieser Ausführungsform die hier nicht bezifferten elektronischen Bauelemente ringförmig angeordnet, wobei in Längsrichtung der zylinderförmigen Anordnung des Schaltungsträgers 1' sich weitere ringförmige Abschnitte mit separaten elektronischen Bauelementen anschließen können, von welchen hier die Abschnitte 13a' und 13b' beziffert sind. Hierdurch können nicht nur in Umfangsrichtung elektronische Bauelemente mit definierter Position und Orientierung zueinander angeordnet, sondern auch in Längsrichtung weitere elektronische Bauelemente präzise ringförmig positioniert werden. Durch die Anordnung der elektronischen Bauelemente auf dem planaren Substrat 2 in einer Matrix bzw. in einem Rechtecksmuster und die definierte Krümmung aufgrund der Schlitze 6a, 6b, 12a, 12b sind die elektronischen Bauelemente sehr genau in Form eines Zylindermantels angeordnet. Eine derartige Ausgestaltung ist insbesondere dann von Vorteil, wenn als elektronische Bauelemente für jeden Abschnitt des Schaltungsträgers ein Ultraschall-Sensor oder ggf. mehrere Ultraschall-Sensoren verwendet werden, so dass aufgrund der über den Umfang und in Längsrichtung verteilten Ultraschall-Sensoren ein besonders präziser und kleiner Ultraschallkatheter gebildet werden kann.In 5 is a perspective view of the curved circuit carrier 1' of 4a shown in a partial area. As can be seen from the illustration, in this embodiment the electronic components not numbered here are arranged in a ring, with further annular sections with separate electronic components being able to follow in the longitudinal direction of the cylindrical arrangement of the circuit carrier 1 ', of which here are sections 13a' and 13b ' are quantified. As a result, not only can electronic components be arranged in the circumferential direction with a defined position and orientation relative to one another, but additional electronic components can also be positioned precisely in a ring shape in the longitudinal direction. Due to the arrangement of the electronic components on the planar substrate 2 in a matrix or in a rectangular pattern and the defined curvature due to the slots 6a, 6b, 12a, 12b, the electronic components are arranged very precisely in the form of a cylinder jacket. Such a configuration is particularly advantageous if an ultrasonic sensor or possibly several ultrasonic sensors are used as electronic components for each section of the circuit carrier, so that a particularly precise and small ultrasound catheter can be formed.

Bezugszeichenliste:List of reference symbols:

1, 1', 1''1, 1', 1''
SchaltungsträgerCircuit carrier
22
SubstratSubstrate
33
Leitungsbahnpathway
44
Substrat PadSubstrate pad
55
verstärkende Lagereinforcing position
6a, 6b6a, 6b
Schlitze in verstärkender Lage 5Slots in reinforcing layer 5
77
Sägeblattsaw blade
88th
SchneideCut
9a, 9b9a, 9b
Wände des Schlitzes 6aWalls of the slot 6a
1010
KontaktstellenContact points
1111
Elektronisches BauelementElectronic component
12a, 12b12a, 12b
Schlitze in elektronischen Bauelementen 11Slots in electronic components 11
13a, 13b, 13c, 13a', 13b'13a, 13b, 13c, 13a', 13b'
Abschnitte des Schaltungsträgers 1', 1''Sections of the circuit carrier 1', 1''
14a, 14b, 14c14a, 14b, 14c
ReferenzmarkenReference marks
1515
Schichtlayer
ββ
Zwischenwinkel der Schlitze 6a, 6bIntermediate angle of the slots 6a, 6b
δδ
Zwischenwinkel der Schneide 8Intermediate angle of the cutting edge 8
γγ
WinkelbereichAngle range
aa
Anzahl Schlitze in UmfangsrichtungNumber of slots in the circumferential direction

Claims (15)

Verfahren zur Herstellung eines gekrümmten elektronischen Schaltungsträgers (1; 1'; 1''), insbesondere für eine Ultraschall-Sensoreinrichtung bzw. einen Ultraschallkatheter, wobei der Schaltungsträger (1; 1'; 1 ") ein Substrat (2) mit Leitungsbahnen (3) umfasst, welche zu einer Oberseite des Substrats (2) frei liegende Substrat Pads (4) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass auf einer Unterseite des Substrats (2) eine verstärkende Lage (5) befestigt wird, mindestens ein Schlitz (6a; 6b) in die verstärkende Lage (5) eingebracht wird und das Substrat (2) entlang des Schlitzes (6a; 6b) gekrümmt wird.Method for producing a curved electronic circuit carrier (1; 1';1''), in particular for an ultrasound sensor device or an ultrasound catheter, wherein the circuit carrier (1; 1';1") has a substrate (2) with conductor tracks (3 ), which have substrate pads (4) exposed to an upper side of the substrate (2), characterized in that a reinforcing layer (5) is attached to an underside of the substrate (2), at least one slot (6a; 6b) is introduced into the reinforcing layer (5) and the substrate (2) is curved along the slot (6a; 6b). Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (2) derart gekrümmt wird, dass die einander gegenüberliegenden Wände (9a; 9b) des Schlitzes (6a) aneinander anliegen.Procedure according to Claim 1 , characterized in that the substrate (2) is curved in such a way that the opposing walls (9a; 9b) of the slot (6a) lie against one another. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der mindestens eine Schlitz (6a; 6b) einen dreieckigen oder trapezförmigen Querschnitt, insbesondere einen Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes, aufweist.Procedure according to Claim 1 or 2 , characterized in that the at least one slot (6a; 6b) has a triangular or trapezoidal cross-section, in particular a cross-section in the form of an isosceles trapezoid. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere, insbesondere parallele, Schlitze (6a; 6b) in die verstärkende Lage (5) eingebracht werden.Procedure according to one of the Claims 1 until 3 , characterized in that several, in particular parallel, slots (6a; 6b) are introduced into the reinforcing layer (5). Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, dass der Winkel β zwischen einander gegenüberliegenden Wänden (9a; 9b) eines Schlitzes (6a; 6b) gewählt wird in Abhängigkeit von der Anzahl a der Schlitze (6a; 6b) und dem Winkelbereich γ, welchen der gekrümmte Schaltungsträger (1; 1'; 1'') aufweisen soll, nach der Formel für den Zwischenwinkel β = γ / a.Procedure according to one of the Claims 1 until 4 characterized in that the angle β between opposing walls (9a; 9b) of a slot (6a; 6b) is selected depending on the number a of slots (6a; 6b) and the angular range γ which the curved circuit carrier (1; 1';1'') should have, according to the formula for the intermediate angle β = γ / a. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5 dadurch gekennzeichnet, dass die Schlitze (6a; 6b) über ein Sägeblatt (7) bzw. eine Schleifscheibe in der verstärkenden Lage (5) und/oder in dem Substrat (2) gefertigt werden, wobei das Sägeblatt (7) bzw. die Schleifscheibe angrenzend an den Außenumfang vorzugsweise eine Schneide (8) oder einen Schleifkörper mit einem dreieckigen oder trapezförmigen Querschnitt, insbesondere mit einem Querschnitt in Form eines gleichschenkligen Trapezes, aufweist.Procedure according to one of the Claims 1 until 5 characterized in that the slots (6a; 6b) are made via a saw blade (7) or a grinding wheel in the reinforcing layer (5) and/or in the substrate (2), the saw blade (7) or the grinding wheel preferably has a cutting edge (8) or an abrasive body with a triangular or trapezoidal cross-section, in particular with a cross-section in the form of an isosceles trapezoid, adjacent to the outer circumference. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die im Querschnitt in einem Winkel zueinander angeordneten Seitenflächen der Schneide (8) bzw. der Schleifscheibe einen Zwischenwinkel δ aufweisen, welcher dem Zwischenwinkel β des Schlitzes (6a) entspricht.Procedure according to Claim 6 , characterized in that the side surfaces of the cutting edge (8) or the grinding wheel, which are arranged at an angle to one another in cross section, have an intermediate angle δ, which corresponds to the intermediate angle β of the slot (6a). Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der Oberseite des Substrats (2) mehrere Halbleiterbauelemente (11), insbesondere mittels Flip-Chip-Montage oder als Halbleiterchips mit Oberseitenkontakten, angeordnet und über Kontaktstellen (10) der Halbleiterbauelemente (11) mit den Substrat Pads (4) der Leitungsbahnen (3) verbunden werden.Method according to one of the preceding claims, characterized in that a plurality of semiconductor components (11), in particular by means of flip-chip assembly or as semiconductor chips with top contacts, are arranged on the top side of the substrate (2) and are connected via contact points (10) of the semiconductor components (11). be connected to the substrate pads (4) of the conductor tracks (3). Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterbauelemente (11) in Form einer Matrix, insbesondere in einem Rechtecksmuster, auf dem Substrat (2) angeordnet werden.Procedure according to Claim 8 , characterized in that the semiconductor components (11) are arranged on the substrate (2) in the form of a matrix, in particular in a rectangular pattern. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterbauelemente (11) Ultraschall erzeugende Strukturen umfassen.Procedure according to Claim 8 or 9 , characterized in that the semiconductor components (11) comprise ultrasound-generating structures. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Halbleiterbauelemente (11) mit einer Schicht (15) unterfüllt und/oder abgedeckt werden und/oder in die Haltleiterbauelemente (11) und ggf. in die Schicht (15) Schlitze (12a; 12b) eingebracht werden, wobei die Schlitze (12a; 12b) in den Haltleiterbauelementen (11) bzw. der Schicht (15) vorzugsweise gegenüberliegend zu den Schlitzen (6a; 6b) in der verstärkenden Lage (5) positioniert sind.Procedure according to one of the Claims 8 until 10 , characterized in that the semiconductor components (11) are underfilled and/or covered with a layer (15) and/or slots (12a; 12b) are introduced into the semiconductor components (11) and possibly into the layer (15), whereby the slots (12a; 12b) in the holding conductor components (11) or the layer (15) are preferably positioned opposite the slots (6a; 6b) in the reinforcing layer (5). Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass in dem Substrat (2) mindestens zwei Referenzmarken (14a; 14b; 14c) vorgesehen werden, welche vorzugsweise sowohl von der Oberseite als auch von der Unterseite des Substrats (2) erkennbar sind, und die Positionierung der Halbleiterbauelemente (11), der Schlitze (12a; 12b) auf der Oberseite des Substrats (2) und/oder der Schlitze (6a, 6b) auf der Unterseite des Substrats (2) in Abhängigkeit von den Referenzmarken (14a; 14b; 14c) erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that at least two reference marks (14a; 14b; 14c) are provided in the substrate (2), which are preferably recognizable from both the top and bottom of the substrate (2), and the Positioning of the semiconductor components (11), the slots (12a; 12b) on the top of the substrate (2) and/or the slots (6a, 6b) on the bottom of the substrate (2) depending on the reference marks (14a; 14b; 14c) takes place. Gekrümmter elektronischer Schaltungsträger (1; 1'; 1''), insbesondere Ultraschall-Sensoreinrichtung bzw. Ultraschallkatheter, mit einem Leitungsbahnen (3) umfassenden Substrat (2), wobei die Leitungsbahnen (3) zu einer Oberseite des Substrats (2) frei liegende Substrat Pads (4) aufweisen, dadurch gekennzeichnet, dass der Schaltungsträger (1; 1'; 1'') entlang von mehreren Schlitzen (6a; 6b) in einer verstärkenden Lage (5) an der Unterseite des Substrats (2) gekrümmt ist.Curved electronic circuit carrier (1; 1';1''), in particular an ultrasound sensor device or ultrasound catheter, with a substrate (2) comprising conductor tracks (3), the conductor tracks (3) being exposed to an upper side of the substrate (2). Have substrate pads (4), characterized in that the circuit carrier (1; 1';1'') is curved along a plurality of slots (6a; 6b) in a reinforcing layer (5) on the underside of the substrate (2). Schaltungsträger (1; 1'; 1'') nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die gegenüberliegenden Wände (9a; 9b) jedes Schlitzes (6a; 6b) in der Unterseite des Substrats (2) aneinander anliegen.Circuit carrier (1; 1';1'') according to Claim 13 , characterized in that the opposite walls (9a; 9b) of each slot (6a; 6b) in the underside of the substrate (2) abut one another. Schaltungsträger (1; 1'; 1'') nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass im Querschnitt auf der Oberseite des Substrats (2) zwischen zwei Schlitzen (12a; 12b) jeweils ein Ultraschall-Sensor vorgesehen ist.Circuit carrier (1; 1';1'') according to Claim 14 , characterized in that an ultrasonic sensor is provided in cross section on the top side of the substrate (2) between two slots (12a; 12b).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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