DE102022121313A1 - Calibration standard and method for calibrating a form measuring machine - Google Patents
Calibration standard and method for calibrating a form measuring machine Download PDFInfo
- Publication number
- DE102022121313A1 DE102022121313A1 DE102022121313.7A DE102022121313A DE102022121313A1 DE 102022121313 A1 DE102022121313 A1 DE 102022121313A1 DE 102022121313 A DE102022121313 A DE 102022121313A DE 102022121313 A1 DE102022121313 A1 DE 102022121313A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- calibration standard
- outer peripheral
- recess
- angle
- shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/002—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
- G01B11/005—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
Ein Kalibrierungsstandard umfasst einen Außenumfangsteil mit einer säulenförmigen Außenumfangsfläche, einen Aussparungsteil, der mit einer vorbestimmten Aussparungsgröße von der säulenförmigen Außenumfangsfläche ausgespart ist, und einen sanft gekrümmten Flächenteil, der den Außenumfangsteil und den Aussparungsteil verbindet und eine gekrümmte Form, die zu außerhalb des Kalibrierungsstandards vorsteht, aufweist. Ein Verfahren zum Kalibrieren einer Formmessmaschine umfasst: Emittieren von Messlicht von einem Fühler der Formmessmaschine zu dem Kalibrierungsstandard und Erfassen von reflektiertem Licht von dem Kalibrierungsstandard unter Verwendung des Fühlers; und Durchführen einer Vergrößerungskalibrierung basierend auf dem Erfassungsergebnis des reflektierten Lichts sowie auf dem Außendurchmesser und der Aussparungsgröße des Kalibrierungsstandards. A calibration standard includes an outer peripheral part having a columnar outer peripheral surface, a recess part recessed with a predetermined recess size from the columnar outer peripheral surface, and a gently curved surface part connecting the outer peripheral part and the recess part and a curved shape protruding to the outside of the calibration standard, having. A method of calibrating a form measuring machine includes: emitting measurement light from a probe of the form measuring machine to the calibration standard and detecting reflected light from the calibration standard using the probe; and performing magnification calibration based on the reflected light detection result and the outside diameter and the notch size of the calibration standard.
Description
HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION
Erfindungsfeldfield of invention
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Kalibrierungsstandard und ein Verfahren zum Kalibrieren einer Formmessmaschine sowie insbesondere einen Kalibrierungsstandard für die Verwendung bei der Kalibrierung einer Formmessmaschine, die eine Form eines Werkstücks misst, und ein Verfahren zum Kalibrieren der Formmessmaschine.The present invention relates to a calibration standard and a method for calibrating a form measuring machine, and more particularly to a calibration standard for use in calibrating a form measuring machine that measures a shape of a workpiece and a method for calibrating the form measuring machine.
Stand der TechnikState of the art
Es sind Formmessmaschinen bekannt, die eine Form (wie etwa die Rundheit) eines Werkstücks messen, indem sie einen Fühler und das Werkstück um eine Drehachse relativ zueinander drehen. Zum Beispiel gibt die offengelegte japanische Patentanmeldung Nr.
Patentliteratur 1: offengelegte japanische Patentanmeldung Nr.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGSUMMARY OF THE INVENTION
Die oben beschriebene Formmessmaschine muss einen als Vergrößerungskalibrierung bezeichneten Prozess durchführen, der das Messen einer Form eines Kalibrierungsstandards unter Verwendung eines Fühlers, der mit einem berührungslosen optischen Sensor ausgestattet ist, und das Assoziieren eines Ausgabesignals des Fühlers mit einer tatsächlich kalibrierten Verschiebungsgröße umfasst (siehe zum Beispiel den japanischen Industriestandard
Wie in
Wie in
In
Weil das Masterelement M0 liniensymmetrisch in Bezug auf die X-Achse ist, wird im Folgenden nur die obere Seite der X-Achse (0° ≤ θ < 180°) beschrieben und wird auf eine Beschreibung der unteren Seite der X-Achse (180° ≤ θ < 360°) verzichtet.
Wie in dem Ausdruck (1) angegeben, wird in dem Fall von θ ≥ θd, d.h. wenn das Messlicht B1 auf die laterale Fläche der Säule einfällt, θ = 0 erhalten. Im Fall von θ < θd dagegen, d.h. wenn das Messlicht B1 auf den D-Aussparungsteil D0 einfällt, ändert sich der Einfallswinkel φ(θ).As indicated in the expression (1), in the case of θ≧θ d , that is, when the measurement light B1 is incident on the lateral surface of the pillar, θ=0 is obtained. On the other hand, in the case of θ<θ d , that is, when the measurement light B1 is incident on the D notch portion D0, the incident angle φ(θ) changes.
Dabei muss für eine korrekte Messung der Form des Masterelements M0 eine ausreichende Lichtmenge des reflektierten Lichts B2 sichergestellt werden. Deshalb ist ein kleinerer Einfallswinkel φ(θ) zu bevorzugen. Wenn zum Beispiel die Blendenzahl des optischen Sensors des Fühlers 30 NA ist, wird vorzugsweise φ(θ) ≤ arcsin (NA) gesetzt.At this time, in order to correctly measure the shape of the master element M0, it is necessary to ensure a sufficient light quantity of the reflected light B2. Therefore, a smaller angle of incidence φ(θ) is preferable. For example, when the f-number of the optical sensor of the
Wenn der Einfallswinkel φ(θ) größer ist, wird innerhalb der Komponenten des reflektierten Lichts B2, das durch den D-Aussparungsteil D0 reflektiert oder gestreut wird, eine in der Richtung des optischen Sensors des Fühlers 30 zurückkehrende Komponente vermindert. Das bedeutet, dass die Lichtmenge des reflektierten Lichts B2, die für das Messen der Form des Masterelements M0 verwendet werden kann, vermindert wird. Der Einfallswinkel φ(θ) wird insbesondere an und in der Nähe des Endteils D0E des D-Aussparungsteils D0 größer, und die Lichtmenge des reflektierten Lichts B2, die für das Messen der Form verwendet werden kann, vermindert sich stärker. Deshalb ist insbesondere an und in der Nähe des Endteils D0E des D-Aussparungsteils D0 die Erzeugung von Rauschdaten aufgrund einer Verminderung der Lichtmenge des reflektierten Lichts B2 wahrscheinlich. Wenn das Erfassungsergebnis des Masterelements M0 derartige Rauschdaten enthält, tritt ein Fehler in der Aussparungsgröße d des Masterelements M0 auf, wodurch die Durchführung einer hochpräzisen Vergrößerungskalibrierung erschwert wird.When the incident angle φ(θ) is larger, among the components of the reflected light B2 reflected or scattered by the D notch portion D0, a component returning toward the optical sensor direction of the
Wie in
Die Erfindung nimmt auf die vorstehend geschilderten Umstände Bezug, wobei es eine Aufgabe der Erfindung ist, einen Kalibrierungsstandard, der eine hochpräzise Kalibrierung (Vergrößerungskalibrierung) einer Formmessmaschine durchführen kann, und ein Verfahren zum Kalibrieren der Formmessmaschine vorzusehen.The invention is in view of the above circumstances, and an object of the invention is to provide a calibration standard capable of performing high-precision calibration (magnification calibration) of a form measuring machine and a method of calibrating the form measuring machine.
Um die oben genannte Aufgabe zu erfüllen, wird ein Kalibrierungsstandard gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung für die Verwendung bei der Kalibrierung einer Formmessmaschine vorgesehen. Der Kalibrierungsstandard umfasst: einen Außenumfangsteil mit einer säulenförmigen Außenumfangsfläche; einen Aussparungsteil, der mit einer vorbestimmten Aussparungsgröße von der säulenförmigen Außenumfangsfläche ausgespart ist; und einen sanft gekrümmten Flächenteil, der den Außenumfangsteil und den Aussparungsteil verbindet und eine gekrümmte Oberflächenform, die zu außerhalb des Kalibrierungsstandards vorsteht, aufweist.In order to achieve the above object, according to a first aspect of the present invention, there is provided a calibration standard for use in calibrating a form measuring machine. The calibration standard includes: an outer peripheral part having a columnar outer peripheral surface; a recess portion recessed with a predetermined recess size from the columnar outer peripheral surface; and a gently curved surface part connecting the outer peripheral part and the recess part and having a curved surface shape protruding to outside of the calibration standard.
Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft den Kalibrierungsstandard gemäß dem ersten Aspekt, wobei der Aussparungsteil mit einer planaren Form an einem Teil der säulenförmigen Außenumfangsfläche ausgebildet ist und der sanft gekrümmte Teil eine Form entlang eines Kreises, der der säulenförmigen Außenumfangsfläche und dem planar geformten Aussparungsteil eingeschrieben ist, aufweist.A second aspect of the present invention relates to the calibration standard according to the first aspect, wherein the recess part is formed with a planar shape on part of the columnar outer peripheral surface and the gently curved part is a shape along a circle inscribed in the columnar outer peripheral surface and the planar-shaped recess part is, has.
Ein dritter Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft den Kalibrierungsstandard gemäß dem ersten Aspekt, wobei der Aussparungsteil an einem Teil der säulenförmigen Außenumfangsfläche derart ausgebildet ist, dass er eine lineare Form parallel zu einer Mittenachse des Kalibrierungsstandards aufweist, und der sanft gekrümmte Flächenteil eine gekrümmte Flächenform aufweist, die derart geformt ist, dass die Distanz von einer Mitte des Kalibrierungsstandards linear in Bezug auf einen Winkel einer senkrechten Linie, die sich von der Mitte des Kalibrierungsstandards zu dem Aussparungsteil erstreckt, variiert.A third aspect of the present invention relates to the calibration standard according to the first aspect, wherein the recess part is formed on a part of the columnar outer peripheral surface in such a way that it has a linear shape parallel to a central axis of the calibration standard, and the gently curved surface part has a curved surface shape, which is shaped in such a way that the distance from a center of the calibration standard varies linearly with respect to an angle of a perpendicular line extending from the center of the calibration standard to the recess part.
Ein vierter Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft den Kalibrierungsstandard gemäß dem ersten Aspekt, wobei der Aussparungsteil mit einer planaren Form an einem Teil der säulenförmigen Außenumfangsfläche ausgebildet ist und der sanft gekrümmte Flächenteil eine gekrümmte Flächenform aufweist, die derart geformt ist, dass eine Distanz von einer Mitte des Kalibrierungsstandards linear in Bezug auf einen Winkel einer senkrechten Linie, die sich von der Mitte des Kalibrierungsstandards zu dem Aussparungsteil erstreckt, variiert.A fourth aspect of the present invention relates to the calibration standard according to the first aspect, wherein the recess part is formed in a planar shape on a part of the columnar outer peripheral surface and the gently curved surface part has a curved surface shape shaped such that a distance from a center of the calibration standard varies linearly with respect to an angle of a perpendicular line extending from the center of the calibration standard to the recess part.
Ein Verfahren zum Kalibrieren einer Formmessmaschine gemäß einem fünften Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst: Emittieren eines Messlichts von einem Fühler einer Formmessmaschine zu dem Kalibrierungsstandard gemäß einem der ersten bis vierten Aspekte und Erfassen eines reflektierten Lichts von dem Kalibrierungsstandard unter Verwendung des Fühlers; und Durchführen einer Vergrößerungskalibrierung basierend auf dem Erfassungsergebnis des reflektierten Lichts sowie auf einem Außendurchmesser und einer Aussparungsgröße des Kalibrierungsstandards.A method of calibrating a form measuring machine according to a fifth aspect of the present invention includes: emitting a measurement light from a probe of a form measuring machine to the calibration standard according to any one of the first to fourth aspects and detecting a reflected light from the calibration standard using the probe; and performing magnification calibration based on the reflected light detection result and an outer diameter and a notch size of the calibration standard.
Gemäß der vorliegenden Erfindung kann das Vorsehen des sanft gekrümmten Flächenteils an der lateralen Fläche des säulenförmigen Kalibrierungsstandards die Lichtmenge des reflektierten Lichts während der Messung des Aussparungsteils sicherstellen und erlaubt somit eine hochpräzise Vergrößerungskalibrierung.According to the present invention, the provision of the gently curved surface part on the lateral surface of the columnar calibration standard can ensure the light amount of the reflected light during the measurement of the recess part, and thus allows high-precision magnification calibration.
Figurenlistecharacter list
-
1 ist eine Vorderansicht einer Formmessmaschine.1 Fig. 14 is a front view of a form measuring machine. -
2 ist ein Blockdiagramm, das ein Steuersystem der Formmessmaschine zeigt.2 Fig. 12 is a block diagram showing a control system of the form measuring machine. -
3 ist eine Draufsicht (Ansicht von oben) eines Kalibrierungsstandards (Flick-Standard oder Flick-Master) gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.3 12 is a top view (top view) of a calibration standard (flick standard or flick master) according to a first embodiment of the present invention. -
4 ist eine Draufsicht (Ansicht von oben) des Kalibrierungsstandards (Flick-Standard oder Flick-Master) gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.4 12 is a top view (top view) of the calibration standard (Flick-Standard or Flick-Master) according to the first embodiment of the present invention. -
5 ist eine teilweise vergrößerte Draufsicht, die eine sanfte Kurve gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.5 12 is a partially enlarged plan view showing a smooth curve according to the first embodiment of the present invention. -
6 ist ein Kurvendiagramm, das ein Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ) in dem Kalibrierungsstandard gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.6 14 is a graph showing an example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ) in the calibration standard according to the first embodiment of the present invention. -
7 ist ein Kurvendiagramm, das Beispiele für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ) wiedergeben, wobei die Länge eines D-Aussparungsteils variiert.7 Fig. 14 is a graph showing examples of the calculation result for the angle of incidence φ(θ) where the length of a D notch part varies. -
8 ist eine Draufsicht (Ansicht von oben) eines Kalibrierungsstandards (Flick-Standard oder Flick-Master) gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. 12 is a top view (top view) of a calibration standard (flick standard or flick master) according to a second embodiment of the present invention.8th -
9 ist eine teilweise vergrößerte Draufsicht, die eine sanfte Kurve gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.9 12 is a partially enlarged plan view showing a smooth curve according to the second embodiment of the present invention. -
10 ist ein Kurvendiagramm, das ein Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ) in dem Kalibrierungsstandard gemäß der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.10 14 is a graph showing an example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ) in the calibration standard according to the second embodiment of the present invention. -
11 ist eine Draufsicht (Ansicht von oben) eines Kalibrierungsstandards (Flick-Standard oder Flick-Master) gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.11 12 is a top view (top view) of a calibration standard (flick standard or flick master) according to a third embodiment of the present invention. -
12 ist ein Kurvendiagramm, das ein Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ) in dem Kalibrierungsstandard gemäß der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.12 14 is a graph showing an example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ) in the calibration standard according to the third embodiment of the present invention. -
13 ist eine Draufsicht (Ansicht von oben) für das Beschreiben einer Vergrößerungskalibrierung unter Verwendung eines Kalibrierungsstandards (Flick-Standard oder Flick-Master).13 Fig. 12 is a plan view (top view) for describing magnification calibration using a calibration standard (Flick-Standard or Flick-Master). -
14 ist ein Kurvendiagramm, das eine Beziehung zwischen einem Winkel θ eines Messlichts relativ zu einer X-Achse und einem Einfallswinkel φ des auf eine Fläche des Kalibrierungsstandards einfallenden Messlichts zeigt.14 14 is a graph showing a relationship between an angle θ of a measurement light relative to an X-axis and an incident angle φ of the measurement light incident on a surface of the calibration standard.
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORMENDETAILED DESCRIPTION OF EMBODIMENTS
Im Folgenden werden Ausführungsformen eines Kalibrierungsstandards und eines Verfahrens zum Kalibrieren einer Formmessmaschine gemäß der vorliegenden Erfindung basierend auf den beigefügten Zeichnungen beschrieben.In the following, embodiments of a calibration standard and a method for calibrating a form measuring machine according to the present invention will be described based on the accompanying drawings.
[Erste Ausführungsform][First embodiment]
(Formmessmaschine)(form measuring machine)
Zuerst wird die Konfiguration einer Formmessmaschine schematisch mit Bezug auf
Die in
Wie in
Der Bühnendrehmechanismus (hochpräziser Drehmechanismus) 14 ist ein Drehmechanismus für das Drehen des Werkstücks W um eine Drehachse C. Der Bühnendrehmechanismus 14 dreht die weiter unten beschriebene Bühne 18 präzise um eine Drehachse C, die parallel zu der Z-Richtung ist. Der Bühnendrehmechanismus 14 umfasst einen Rotor 16, der drehbar an der Körperbasis 12 vorgesehen ist. Die Bühne 18 wird an der oberen Fläche des Rotors 16 gehalten. Der Bühnendrehmechanismus 14 umfasst einen Motor (nicht gezeigt), der den Rotor 16 hochpräzise um die Drehachse C dreht, und einen Codierer (nicht gezeigt), der einen Drehwinkel des Rotors 16 erfasst.The stage rotating mechanism (high-precision rotating mechanism) 14 is a rotating mechanism for rotating the workpiece W around a rotation axis C. The
Das Werkstück W kann an der Bühne 18 montiert werden. Die Bühne 18 kann das Werkstück W direkt halten und fixieren oder kann das Werkstück W über eine Werkstückhalterung (nicht gezeigt) halten und fixieren.The workpiece W can be mounted on the
Die Bühne 18 wird an einer Haltefläche (oberen Fläche) des Rotors 16 gehalten und ist konfiguriert für eine Drehung um die Drehachse C zusammen mit dem Rotor 16. Auf diese Weise kann das an der Bühne 18 gehaltene und fixierte Werkstück W zusammen mit der Bühne 18 um die Drehachse C gedreht werden. Es ist zu beachten, dass die Bühne 18 und der Rotor 16 Beispiele für den „Bühnendrehmechanismus“ sind.The
Die Bühne 18 umfasst einen Linearbewegungsmechanismus und einen Kippmechanismus (beide nicht gezeigt). Der Linearbewegungsmechanismus bewegt die Bühne 18 in der X-Richtung und in der Y-Richtung, indem er den Motor (nicht gezeigt) betreibt, um die Position der Bühne 18 in einer XY-Ebene (horizontalen Ebene) orthogonal zu der Drehachse C einzustellen. Der Kippmechanismus dreht die Bühne 18 in der X-Richtung und in der Y-Richtung, indem er den Motor (nicht gezeigt) betreibt, um den Kippwinkel der Bühne 18 in Bezug auf die XY-Ebene einzustellen.The
An der Körperbasis 12 ist eine Säule 20, die sich parallel zu der Z-Richtung erstreckt, in einem stehenden Zustand vorgesehen. Die Säule 20 weist einen unteren Endteil auf, der an der oberen Fläche der Körperbasis 12 fixiert ist.On the
Der Schlitten 22 wird durch die Säule 20 derart gehalten, dass er in der Z-Richtung bewegt werden kann. Der Schlitten 22 ist derart konfiguriert, dass er durch den Antrieb eines Motors (nicht gezeigt) in der Z-Richtung bewegt werden kann.The
Der Arm 24 wird durch den Schlitten 22 derart gehalten, dass er in den XY-Richtungen bewegt werden kann. Der Arm 24 ist derart konfiguriert, dass er in der horizontalen Richtung (in den XY-Richtungen) jeweils durch den Linearbewegungsmechanismus 70 und einen Scheiteleinstellungsmechanismus 72 bewegt werden kann (siehe
Die lateralen Flächen des Arms 24 und der Säule 20 weisen Skalen auf, die jeweils entlang der X-Richtung und der Z-Richtung vorgesehen sind. Die Steuereinrichtung 50 kann die Position des Fühlers 30 in den XZ-Richtungen erfassen, indem sie die Graduierung der Skalen unter Verwendung eines Sensors (nicht gezeigt) liest.The lateral faces of the
Der Verschiebungssensor 26 wird durch den Arm 24 über die Detektorantriebsmechanismen 28 gehalten. Der Verschiebungsdetektor 26 weist den Fühler 30 auf. Der Fühler 30 erfasst die Form der Oberfläche des Werkstücks W (der äußeren Fläche oder der inneren Fläche eines Lochs H) in dem Werkstück W). Der Fühler 30 ist in dieser Ausführungsform ein berührungsloser Fühler, der die Oberflächenform des Werkstücks W erfassen kann, ohne die Oberfläche des Werkstücks W zu berühren.The
Hinsichtlich des Typs des berührungslosen Fühlers 30 werden hier keine besonderen Vorgaben gemacht, solange der Fühler die Oberflächenform erfassen kann, ohne die Oberfläche des Werkstücks W zu berühren. Zum Beispiel kann der berührungslose Fühler eine von verschiedenen Techniken wie etwa eine Laserinterferometrie, eine Weißinterferometrie, eine Spectral-Domain-Optische-Kohärenztomographie (SD-OCT) oder eine Swept-Source-Optische-Kohärenztomographie (SS-OCT) verwenden.No particular specification is made here as to the type of
Der Detektorantriebsmechanismus 28 ist zwischen dem Arm 24 und dem Verschiebungsdetektor 26 angeordnet. Der Detektorantriebsmechanismus 28 umfasst einen Linearbewegungsmechanismus und einen Kippmechanismus (beide nicht gezeigt). Der Linearbewegungsmechanismus bewegt den Verschiebungsdetektor 26 in der X-Richtung und der Y-Richtung, indem er den Motor (nicht gezeigt) betreibt, um die Position des Fühlers 30 in einer XY-Ebene (horizontalen Ebene) orthogonal zu der Drehachse C einzustellen. Der Kippmechanismus dreht den Verschiebungsdetektor 26 in der X-Richtung und der Y-Richtung, indem er den Motor (nicht gezeigt) betreibt, um den Kippwinkel der Probe 30 in Bezug auf die XY-Ebene einzustellen. Auf diese Weise kann eine relative Ausrichtung (Fühlerausrichtung) zwischen dem Fühler 30 und der Drehachse C vorgenommen werden, indem die Position und der Kippwinkel des Fühlers 30 in der horizontalen Richtung (X- und Y-Richtungen) durch den Detektorantriebsmechanismus 28 (Linearbewegungsmechanismus und Kippmechanismus) eingestellt wird.The
Der Detektorantriebsmechanismus 28 umfasst weiterhin eine Antriebsquelle (zum Beispiel einen Motor usw.), um den Fühler 30 um eine Drehachse (Fühlerdrehachse) AX zu drehen. Der Detektorantriebsmechanismus 28 ist ein Beispiel für den „Fühlerdrehmechanismus“.The
Die Steuereinrichtung 50 steuert den Betrieb jedes Teils der Formmessmaschine 10 (einschließlich einer Messoperation der Oberflächenform des Werkstücks W und einer weiter unten beschriebenen Fühlerausrichtungsoperation). Die Steuereinrichtung 50 wird durch einen Universalcomputer wie etwa einen PC oder einen Mikrocomputer implementiert. Die Steuereinrichtung 50 umfasst eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), einen Nur-Lese-Speicher (ROM), einen Direktzugriffspeicher (RAM), eine Speichereinrichtung (zum Beispiel ein Festplattenlaufwerk (HDD) oder eine Solid-State-Laufwerk (SSD) usw.) und eine Ein-/Ausgabe-Schnittstelle. In der Steuereinrichtung 50 werden verschiedene Programme wie etwa in der Speichereinrichtung gespeicherte Steuerprogramme in den RAM geladen. Wenn die CPU die in den RAM geladenen Programme ausführt, wird die Funktion jedes Teils der Formmessmaschine 10 implementiert und werden verschiedene Rechenverarbeitungen oder Steuerverarbeitungen über die Ein-/Ausgabe-Schnittstelle durchgeführt.The
Die Steuereinrichtung 50 umfasst eine Bedieneinheit 52 (zum Beispiel eine Tastatur und eine Maus), die eine Bedieneingabe von einem Benutzer empfängt, eine Bedienungsbenutzerschnittstelle (UI) und eine Anzeige 54 zum Anzeigen der Erfassungsergebnisse.The
Wie in
Der Verschiebungsberechner 56 berechnet eine Verschiebung des Werkstücks W basierend auf dem durch den Verschiebungsdetektor 26 erfassten Erfassungsergebnis zu der Verschiebung der Oberfläche des Werkstücks W und misst die Form der Oberfläche des Werkstücks W (zum Beispiel die Außenform des Werkstücks W oder die Rundheit des Lochs H usw.).The
Die Antriebssteuereinrichtung 58 steuert den Linearbewegungsmechanismus 70, den Scheiteleinstellungsmechanismus 72, den Detektorantriebsmechanismus 28 und den Bühnendrehmechanismus 14, um die relative Position des Werkstücks W und des Fühlers 30 einzustellen.The
(Verfahren für eine Vergrößerungskalibrierung)(Procedure for a magnification calibration)
Im Folgenden wird ein Verfahren für eine Vergrößerungskalibrierung der Formmessmaschine 10 beschrieben.
Bei einer Vergrößerungskalibrierung der Formmessmaschine 10 wird zuerst ein Masterelement M1 derart an der Bühne 18 montiert, dass seine Mitte C1 (Mittenachse einer Säule) mit der Drehachse C der Bühne 18 ausgerichtet ist (siehe
(Kalibrierungsstandard)(calibration standard)
Im Folgenden wird das Masterelement M1 beschrieben.The master element M1 is described below.
Wie in
In der folgenden Beschreibung wird ein zweidimensionales Polarkoordinatensystem verwendet, das die Mitte C1 des Masterelements M1 (die Mittenachse der Säule) als einen Ursprung und eine senkrechte Linie, die sich von der Mitte C1 des Masterelements M1 zu dem D-Aussparungsteil D1 als eine X-Achse erstreckt, aufweist.In the following description, a two-dimensional polar coordinate system is used that takes the center C1 of the master element M1 (the central axis of the pillar) as an origin and a perpendicular line extending from the center C1 of the master element M1 to the D recess part D1 as an X Axis extends, has.
Weil das Masterelement M1 liniensymmetrisch in Bezug auf die X-Achse ist, wird im Folgenden nur die sanfte Kurve E1 auf der oberen Seite der X-Achse (0° ≤ θ < 180°) beschrieben und wird auf eine Beschreibung der sanften Kurve E1 auf der unteren Seite der X-Achse (180° ≤ θ < 360°) verzichtet.Because the master element M1 is line-symmetrical with respect to the X-axis, only the smooth curve E1 on the upper side of the X-axis (0°≦θ<180°) will be described below, and a description of the smooth curve E1 will be referred to the lower side of the X-axis (180° ≤ θ < 360°) is omitted.
Wie in
Wenn die Koordinaten der Mitte C10 des eingeschriebenen Kreises IC1 (x0, y0) sind und der Radius r ist, wird der eingeschriebene Kreis IC1 durch den folgenden Ausdruck (2) ausgedrückt.
Der Radius r des eingeschriebenen Kreises IC1 wird unter Verwendung von bekannten Variablen wie folgt ausgedrückt. Weil der eingeschriebene Kreis IC1 dem D-Aussparungsteil D1 eingeschrieben wird, können die folgenden Ausdrücke (3) und (4) erhalten werden.
In dem Ausdruck (4) gibt L eine Y-Koordinate des inneren Kontaktpunkts P2, an dem der eingeschriebene Kreis IC1 dem D-Aussparungsteil D1 eingeschrieben ist, an. Dabei kann L optional gesetzt werden. Wenn zum Beispiel L auf die Hälfte der Länge (LD) des virtuellen D-Aussparungsteils D1 (durch Strichlinien wiedergegebener Teil) gesetzt ist, kann der Effekt der sanften Kurve E1 erhalten werden, während eine ausreichende Länge des D-Aussparungsteils D1 sichergestellt wird.In the expression (4), L indicates a Y-coordinate of the inner contact point P2 where the inscribed circle IC1 is inscribed in the D recess part D1. L can be set optionally. For example, when L is set to half the length (L D ) of the virtual D notch part D1 (part indicated by dashed lines), the effect of the smooth curve E1 can be obtained while ensuring a sufficient length of the D notch part D1.
Weil der eingeschriebene Kreis IC1 der lateralen Fläche S1 des Masterelements M1 eingeschrieben ist, kann der folgende Ausdruck (5) erhalten werden.
Wenn der Ausdruck (5) für r unter Verwendung der Ausdrücke (3) und (4) aufgelöst wird, kann der folgende Ausdruck (6) erhalten werden.
Dann wird die Distanz R(θ) zwischen der Mitte C10 des eingeschriebenen Kreises IC1 und einem Punkt auf der sanften Kurve E1 mit bekannten Variablen wie folgt ausgedrückt.Then, the distance R(θ) between the center C10 of the inscribed circle IC1 and a point on the smooth curve E1 is expressed with known variables as follows.
Zuerst wird gemäß
Wenn der Ausdruck (7) umgewandelt wird, kann der folgende Ausdruck (8) erhalten werden.
Wenn der Ausdruck (8) für R(θ) aufgelöst wird, kann der folgende Ausdruck (9) erhalten werden.
Wenn r in dem Ausdruck (6) zu dem Ausdruck (9) zugewiesen wird, kann R(θ) mit nur den bekannten Variablen (R, d, L, x0 und yo) und θ berechnet werden.When r in expression (6) is assigned to expression (9), R(θ) can be calculated with only the known variables (R, d, L, x 0 and yo) and θ.
Weiterhin gibt in
Wie in
(Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ))(Example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ))
Wie in
Außerdem kann die sanfte Kurve E1 des Masterelements M1 in dieser Ausführungsform einfach hergestellt werden, weil sie eine kreisrunde Form aufweist. Und weil kein Wendepunkt in der Form der lateralen Fläche eines Teils der sanften Kurve E1 des Masterelements M1 vorhanden ist, ist eine gemessene Wellenform stabil und kann die Form des Masterelements M1 mit einer hohen Präzision gemessen werden.In addition, in this embodiment, the smooth curve E1 of the master element M1 can be easily manufactured because it has a circular shape. And because there is no inflection point in the shape of the lateral face of a part of the gentle curve E1 of the master element M1, a measured waveform is stable and the shape of the master element M1 can be measured with a high precision.
Gemäß dieser Ausführungsform kann die Länge (2L) des D-Aussparungsteils D1 optional eingestellt werden, sodass eine optimale Geometrie in Abhängigkeit von der Blendenzahl NA des Fühlers 30 verwendet werden kann.According to this embodiment, the length (2L) of the D notch part D1 can be optionally adjusted so that an optimal geometry depending on the F number NA of the
In
Je länger in
Deshalb kann in dieser Ausführungsform die Länge (2L) des D-Aussparungsteils D1 in Entsprechung zu der Blendenzahl NA des Fühlers 30 optimiert werden. Zum Beispiel kann, wie durch die Kurve F1-3 angegeben, durch eine Vergrößerung der Länge (2L) des D-Aussparungsteils D1 der D-Aussparungsteil D1 (linearer Teil) verlängert werden. Dadurch kann die gemessene Wellenform stabilisiert werden. Dagegen reduziert, wie durch die Kurve F1-1 angegeben, eine Verkürzung der Länge (2L) des D-Aussparungsteils D1 den maximalen Wert von θ(θ). Eine hochpräzise Messung wird also auch dann möglich, wenn die Blendenzahl NA des Fühlers 30 klein ist.Therefore, in this embodiment, the length (2L) of the D notch part D1 corresponding to the F number NA of the
[Zweite Ausführungsform][Second embodiment]
Im Folgenden wird eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform durch die Form eines Masterelements M2. Weil die Formmessmaschine 10 in der zweiten Ausführungsform und die Konfigurationsmethode hierfür denjenigen der ersten Ausführungsform ähnlich sind, wird hier auf eine Beschreibung derselben verzichtet.A second embodiment of the present invention will be described below. The second embodiment differs from the first embodiment in the shape of a master element M2. Since the
(Kalibrierungsstandard)(calibration standard)
Wie in
Wie in
In der folgenden Beschreibung wird ein zweidimensionales Polarkoordinatensystem verwendet, das die Mitte C2 des Masterelements M2 (die Mittenachse der Säule) als einen Ursprung und eine Linie, die sich durch den Kreuzungspunkt PI mit der lateralen Fläche E2 des Masterelements M2 erstrecket, als die X-Achse aufweist.In the following description, a two-dimensional polar coordinate system is used that takes the center C2 of the master element M2 (the central axis of the column) as an origin and a line extending through the intersection point PI with the lateral face E2 of the master element M2 as the X- axis.
Weil das Masterelement M2 wie in
An dem Masterelement M2 wird die Distanz R(θ) von der Mitte C2 zu der Oberfläche des Masterelements M2 durch den folgenden Ausdruck (11) ausgedrückt. Wie in dem Ausdruck (11) gezeigt, weist die laterale Fläche S2 (θ ≥ θ0) eine Säulenform mit einem Radius R auf, während die laterale Fläche E2 (θ < θ0) eine gekrümmte Flächenform aufweist, die linear in Bezug auf einen Winkel θ variiert. Im Folgenden wird hinsichtlich der lateralen Fläche E2 (θ < θ0) ein Teil über der X-Achse als eine lineare Variationskurve E2(+) bezeichnet und wird ein Teil unter der X-Achse als eine lineare Variationskurve E2(-) bezeichnet.
In dem Ausdruck (11) gibt der Winkel θ0 einen Winkel (Wechselwinkel) eines Punkts P5 an, der eine Grenze zwischen der säulenförmigen lateralen Fläche S2 des Masterelements M2 und der linearen Variationskurve E2(+) ist.In the expression (11), the angle θ 0 indicates an angle (alternating angle) of a point P5 that is a boundary between the columnar lateral surface S2 of the master element M2 and the linear variation curve E2(+).
Wie in
Der Ausdruck (0 ≤ θ < θ0) der linearen Variationskurve E2(+) in dem Ausdruck (11) wird dem Ausdruck (12) zugewiesen, um den folgenden Ausdruck (13) zu erhalten.
Aus dem Ausdruck (13) wird der folgende Ausdruck (14) erhalten.
Gemäß dem Ausdruck (14) ist der Einfallswinkel φ(θ) unabhängig von θ konstant.According to expression (14), the angle of incidence φ(θ) is constant regardless of θ.
(Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ))(Example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ))
Wie in
Weiterhin ist in dieser Ausführungsform, wie in dem Ausdruck (14) gezeigt, der Einfallswinkel φ(θ) des Messlichts B1 unabhängig von θ im Wesentlichen konstant. Deshalb kann der Reflexionswinkel des Messlichts B1 konstant und klein vorgesehen werden. Deshalb kann eine Messung mit einer hohen und gleichmäßigen Qualität durchgeführt werden.Furthermore, in this embodiment, as shown in expression (14), the incident angle φ(θ) of the measurement light B1 is substantially constant regardless of θ. Therefore, the reflection angle of the measurement light B1 can be made constant and small. Therefore, measurement can be performed with high and uniform quality.
[Dritte Ausführungsform][Third Embodiment]
Im Folgenden wird eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die dritte Ausführungsform unterscheidet sich von den ersten und zweiten Ausführungsformen durch die Form des Masterelements M3. Weil die Formmessmaschine 10 in der dritten Ausführungsform und die Konfigurationsmethode für diese denjenigen der ersten Ausführungsform ähnlich sind, wird hier auf eine Beschreibung derselben verzichtet.A third embodiment of the present invention will be described below. The third embodiment differs from the first and second embodiments in the shape of the master element M3. Because the
(Kalibrierungsstandard)(calibration standard)
Wie in
In der folgenden Beschreibung wird ein zweidimensionales Polarkoordinatensystem verwendet, das die Mitte C3 des Masterelements M3 (die Mittenachse der Säule) als einen Ursprung und eine senkrechte Linie, die sich von der Mitte C3 des Masterelements M3 zu dem D-Aussparungsteil D3 erstreckt, als eine X-Achse aufweist.In the following description, a two-dimensional polar coordinate system is used that takes the center C3 of the master element M3 (the central axis of the pillar) as an origin and a perpendicular line extending from the center C3 of the master element M3 to the D recess part D3 as a Having X-axis.
Weil das Masterelement M3 wie in
An dem Masterelement M3 wird eine Distanz R(θ) von der Mitte C3 zu der Oberfläche des Masterelements M3 durch den folgenden Ausdruck (15) ausgedrückt. Wie in dem Ausdruck (15) gezeigt, weist die laterale Fläche S3 (θ ≥ θ0) eine Säulenform mit einem Radius R auf, während der D-Aussparungsteil D3 (θ < θ1) eine planare Form aufweist. Eine laterale Fläche E3 (θ1 ≤ θ < θ0) zwischen der säulenförmigen lateralen Fläche S3 und dem D-Aussparungsteil D3 des Masterelements M3 weist eine gekrümmte Form auf, die linear in Bezug auf den Winkel θ variiert. Im Folgenden wird in der lateralen Fläche E3 (θ1 ≤ θ < θ0) ein Teil über der X-Achse als eine lineare Variationskurve E3(+) bezeichnet und wird ein Teil unter der X-Achse als eine lineare Variationskurve E3(-) bezeichnet.
In dem Ausdruck (15) gibt der Winkel θ0 einen Winkel (Wechselwinkel) eines Punkts P7, der eine Grenze zwischen der säulenförmigen lateralen Fläche S3 und der linearen Variationskurve E3(+) des Masterelements M3 ist, wieder und gibt der Winkel θ1 einen Winkel (Wechselwinkel) eines Punkts P8, der eine Grenze zwischen der linearen Variationskurve E3(+) und dem D-Aussparungsteil D3 ist, wieder.In the expression (15), the angle θ 0 represents an angle (alternating angle) of a point P7 that is a boundary between the columnar lateral surface S3 and the linear variation curve E3(+) of the master element M3, and the angle θ 1 represents one angle (alternating angle) of a point P8 which is a boundary between the linear variation curve E3(+) and the D notch part D3.
Dabei ist θ1 ein anderer Winkel als null, der die Bedingung des folgenden Ausdrucks (16) erfüllt.
Wenn der Ausdruck (16) annähernd gelöst wird, wird der folgende Ausdruck (17) erhalten.
(Beispiel für das Berechnungsergebnis für den Einfallswinkel φ(θ))(Example of the calculation result for the angle of incidence φ(θ))
Die Kurve F3 in
Wie in
[Modifikation][Modification]
In den oben beschriebenen Ausführungsformen wird ein Teil eines Kreises (E1) oder die lineare Variationskurve (E2 und E3) als ein Beispiel für die sanfte Kurve verwendet. Die sanfte Kurve ist jedoch nicht auf diese Beispiele beschränkt. Zum Beispiel können auch allgemein bekannte Formen wie etwa eine Klothoide oder eine Funktion der n-ten Ordnung (wobei n eine natürliche Zahl größer oder gleich 2 ist; zum Beispiel eine kubische Kurve) oder eine vorstehende Kurve außerhalb der Masterelemente M1 bis M3 verwendet werden. Außerdem können eine oder mehrere Linien eine pseudo-sanfte Kurve bilden.In the above-described embodiments, a part of a circle (E1) or the linear variation curve (E2 and E3) is used as an example of the smooth curve. However, the smooth curve is not limited to these examples. For example, well-known shapes such as a clothoid or a function of the nth order (where n is a natural number greater than or equal to 2; for example, a cubic curve) or a protruding curve outside the master elements M1 to M3 can also be used. In addition, one or more lines can form a pseudo-smooth curve.
In den oben beschriebenen Ausführungsformen wurde ein Beispiel beschrieben, in dem ein D-Aussparungsteil D1, ein Aussparungsteil D2 und ein D-Aussparungsteil D3 an den lateralen Flächen jeweils der Masterelemente M1 bis M3 ausgebildet sind. Es können aber auch zwei oder mehr D-Aussparungsteile D1, zwei oder mehr Aussparungsteile D2 und/oder zwei oder mehr D- Aussparungsteile D3 ausgebildet sein.In the above-described embodiments, an example has been described in which a D recess part D1, a recess part D2, and a D recess part D3 are formed on the lateral surfaces of the master elements M1 to M3, respectively. However, two or more D recess parts D1, two or more recess parts D2 and/or two or more D recess parts D3 can also be formed.
BezugszeichenlisteReference List
- 1010
- Formmessmaschine;form measuring machine;
- 1212
- Körperbasis;body base;
- 1414
- Bühnendrehmechanismus;stage rotating mechanism;
- 1616
- Rotor;Rotor;
- 1818
- Bühne;Stage;
- 2020
- Säule;Pillar;
- 2222
- Schlitten;Sleds;
- 2424
- Arm;Poor;
- 2626
- Verschiebungsdetektor;displacement detector;
- 2828
- Detektorantriebsmechanismus;detector drive mechanism;
- 3030
- Fühler;Sensor;
- 3232
- Kamera;Camera;
- 3434
- Kameraklammer;camera clamp;
- 5050
- Steuereinrichtung;control device;
- 5252
- Bedieneinheit;operating unit;
- 5454
- Anzeige;Advertisement;
- 5656
- Verschiebungsberechner;displacement calculator;
- 5858
- Antriebssteuereinrichtung;drive control device;
- 6060
- Bildaufnahmesteuereinrichtung;image pickup controller;
- 7070
- Linearbewegungsmechanismus;linear motion mechanism;
- 7272
- Scheiteleinstellungsmechanismus;crown adjustment mechanism;
- M1 bis M3M1 to M3
- Kalibrierungsstandard (Flick-Standard oder Flick-Master).Calibration standard (Flick-Standard or Flick-Master).
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDED IN DESCRIPTION
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of documents cited by the applicant was generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.
Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited
- JP 2010014656 [0002, 0003]JP 2010014656 [0002, 0003]
Zitierte Nicht-PatentliteraturNon-patent Literature Cited
- JIS B7451:1997 [0004]JIS B7451:1997 [0004]
Claims (5)
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021-136336 | 2021-08-24 | ||
JP2021136336A JP2023030916A (en) | 2021-08-24 | 2021-08-24 | Standards for calibration and method for calibrating shape measuring instrument |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102022121313A1 true DE102022121313A1 (en) | 2023-03-02 |
Family
ID=85175359
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102022121313.7A Pending DE102022121313A1 (en) | 2021-08-24 | 2022-08-23 | Calibration standard and method for calibrating a form measuring machine |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023030916A (en) |
DE (1) | DE102022121313A1 (en) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010014656A (en) | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Mitaka Koki Co Ltd | Noncontact side-surface shape measuring apparatus |
-
2021
- 2021-08-24 JP JP2021136336A patent/JP2023030916A/en active Pending
-
2022
- 2022-08-23 DE DE102022121313.7A patent/DE102022121313A1/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010014656A (en) | 2008-07-07 | 2010-01-21 | Mitaka Koki Co Ltd | Noncontact side-surface shape measuring apparatus |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JIS B7451:1997 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023030916A (en) | 2023-03-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3049758B1 (en) | Reduction of errors of a rotating device used during the determination of co-ordinates of a workpiece or during the machining of a workpiece | |
EP2834595B1 (en) | Method and apparatus for reducing errors of a rotating device when determining coordinates of a workpiece or when machining a workpiece | |
DE60315050T2 (en) | DEVICE AND METHOD FOR MEASURING, COMPENSATING AND TESTING A NUMERICALLY CONTROLLED TOOL HEAD AND / OR TABLE | |
EP2776785B1 (en) | Preparing a tactile probing coordinate measuring machine for operation | |
EP3004796B1 (en) | Device and method for calibrating a coordinate-measuring device | |
EP3033596A1 (en) | Reducing errors of a rotary device, in particular for the determination of coordinates of a workpiece or the machining of a workpiece | |
DE102018221628B4 (en) | Spatial accuracy correction method and apparatus | |
DE102005018787A1 (en) | Measurement of the shape of spherical and almost spherical optical surfaces | |
EP3088130B1 (en) | Method for contactless evaluation of the surface properties of a ball raceway of a ball screw drive | |
DE102017001750A1 (en) | Inner wall measuring instrument and offset amount calculation method | |
EP2263062B1 (en) | Device and method for measuring the topography of surfaces of articles | |
DE112015004528B4 (en) | Form measuring device and form measuring method | |
DE102019100054A1 (en) | Lens measuring machine and lens measuring method | |
DE102022121313A1 (en) | Calibration standard and method for calibrating a form measuring machine | |
DE102020005478A1 (en) | X-RAY CT MEASURING EQUIPMENT | |
DE102013208397A1 (en) | Coordinate measuring machine with an additional, non-contact measuring surface measuring device | |
DE102007036815B4 (en) | Method for determining the systematic error caused by the substrate topology and a coordinate measuring machine in the measurement of positions of edges of structures of a substrate | |
DE102019209589A1 (en) | CONTROL METHOD OF A MEASURING DEVICE OF SURFACE PROPERTIES | |
DE102015205566A1 (en) | Calibration of a tactile button attached to a moving part of a CMM | |
EP1893941B1 (en) | Method and device for determining geometric parameters of a conical object to be measured | |
DE102010001833A1 (en) | Form measuring device, shape measuring method and program | |
DE102017205519A1 (en) | Measuring probe and measuring probe system | |
JP7360593B2 (en) | calibration unit | |
EP3833930B1 (en) | Device and method for geometrically measuring an object | |
DE102022102287A1 (en) | Form measuring instrument and method of aligning the form measuring instrument |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed |