DE102021123832A1

DE102021123832A1 - Mehrschichtsystem, Bauteil sowie Verfahren zur Herstellung eines solchen Mehrschichtsystems oder Bauteils

Info

Publication number: DE102021123832A1
Application number: DE102021123832.3A
Authority: DE
Inventors: Ricardo Henrique Brugnara; Nazlim Bagcivan; Edgar Schulz; Markus Schmalwasser
Original assignee: Schaeffler Technologies AG and Co KG
Current assignee: Schaeffler Technologies AG and Co KG
Priority date: 2020-10-07
Filing date: 2021-09-15
Publication date: 2022-04-07
Also published as: CN116324034A; US20230407464A1; WO2022073541A1; JP2023535411A; JP7508691B2; EP4225972A1; KR20230019457A

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1'''), umfassend zumindest eine Korrosionsschutzschicht (2) und eine Verschleißschutzschicht (3), wobei die Korrosionsschutzschicht (2) durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst, und die Verschleißschutzschicht (3) durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht gebildet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Bauteil (8) mit einem solchen Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1''') sowie ein Verfahren zur Herstellung des Mehrschichtsystems (1, 1', 1 '', 1''') oder des Bauteils (8).

Description

Die Erfindung betrifft ein Mehrschichtsystem, umfassend zumindest eine Korrosionsschutzschicht und eine Verschleißschutzschicht. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Bauteil umfassend ein metallisches Substrat mit einer Oberfläche und ein Mehrschichtsystem. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Mehrschichtsystems oder Bauteils.
Als Korrosions- und Verschleißschutzschichten sind in der Automobilindustrie derzeit Hartchromschichten im Einsatz, die die verwendeten Stähle vor Korrosion und mechanischem Verschleiß schützen. Zur Herstellung solcher Hartchromschichten sind üblicherweise Chrom(VI)-haltige Elektrolytbäder im Einsatz, die inzwischen unter Umweltgesichtspunkten als bedenklich eingestuft sind und deren Verwendung verstärkt legislativen Beschränkungen unterliegt. Es besteht demnach ein Bedürfnis, die Hartchromschicht durch eine umweltfreundlicher herstellbare Beschichtung zu ersetzen.
Es sind auch bereits Mehrschichtsysteme umfassend zumindest eine Korrosionsschutzschicht und eine Verschleißschutzschicht aus der DE 10 2013 209 030 A1 bekannt. Hier ist ein Korrosionsschutz für ein metallisches Bauteil beschrieben, welcher mindestens eine Verschleißschutzschicht in Form einer chemisch, galvanisch oder mittels PVD/PACVD-Verfahren gebildeten Schicht umfasst, die auf dem metallischen Bauteil gebildet ist. Auf der Verschleißschutzschicht ist mindestens eine Korrosionsschutzschicht, die mittels eines ALD-Verfahrens (ALD = atomic layer deposition) gebildet ist, angeordnet. Das ALD-Verfahren ist allerdings für ein Massengeschäft in der Automobilindustrie wenig geeignet.
Die DE 10 2004 044 919 A beschreibt eine dekorative Beschichtung zum Schutzreines Substrates vor Korrosion, Verschleiß und Oxidation auf Basis von Refraktärmetall-Magnesium-Nitriden sowie Verfahren zu deren Herstellung.
Es ist Aufgabe der Erfindung, ein alternatives Mehrschichtsystem bereitzustellen, das einen noch zuverlässigeren Korrosions- und Verschleißschutz bietet und in großen Stückzahlen gefertigt werden kann. Weiterhin ist es Aufgabe der Erfindung, ein Bauteil mit einem derartigen Mehrschichtsystem bereitzustellen und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Mehrschichtsystems oder Bauteils anzugeben.
Die Aufgabe wird für ein Mehrschichtsystem, umfassend zumindest eine Korrosionsschutzschicht und eine Verschleißschutzschicht, dadurch gelöst, dass die Korrosionsschutzschicht durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst, und dass die Verschleißschutzschicht durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht gebildet ist.
Das Mehrschichtsystem gewährleistet einen effektiven Korrosions- und Verschleißschutz für metallische Substrate. Es ist sowohl mechanischem als auch korrosivem Angriff aufgrund der die Korrosionsschutzschicht unmittelbar oder mittelbar schützenden und die mechanische Belastung tragenden Verschleißschutzschicht gewachsen. Die Verschleißschutzschicht weist dabei vorzugsweise reibmindernde Eigenschaften gegenüber einem in Reibkontakt dazu stehenden Kontaktpartner in einem tribologischen System auf.
Das Mehrschichtsystem ist zudem in hohen Stückzahlen bei geringen Herstellungskosten produzierbar und somit für eine Anwendung in der Automobilindustrie geeignet.
Die Korrosionsschutzschicht weist insbesondere 10 bis 40 at.-% Titan und/oder 15 bis 50 at.-% Magnesium auf. Die Konzentration des mindestens einen Seltenerdmetalls in der Korrosionsschutzschicht liegt bevorzugt im Bereich von 0,1 bis 15 at.-%.
Bevorzugt ist das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid zur Ausbildung der Korrosionsschutzschicht weiterhin umfassend mindestens ein Metall aus der Gruppe umfassend Aluminium, Chrom, Zirkon, Hafnium, ausgebildet. Deren Konzentration in der Korrosionsschutzschicht liegt vorzugsweise im Bereich von 10 bis 40 at.-%.
Besonders bevorzugt umfasst das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid als Seltenerdmetall Gadolinium oder Cer oder Lanthan oder eine Mischung aus zwei oder drei der genannten Elemente.
Die Korrosionsschutzschicht ist insbesondere umfassend TiMgGdN oder TiMgGdCN oder TiMgCeN oder TiMgCeCN oder TiMgLaN oder TiMgLaCN ausgebildet.
Korrosionsschutzschichten und ihr Korrosionsverhalten auf Basis von Metallnitriden wie TiMgREN (RE = rare earth, Seltene Erden) sind in der Publikation „Corrosion and wear protection of mild steel substrates by innovative PVD coatings“, Holger Hoche, Casper Pusch, Matthias Oechsner, Surface & Coatings Technology 391 (2020), beschrieben worden, siehe unter:

https://doi. org/10.1016/j.surfcoat.2020.125659

Es hat sich als vorteilhaft erwiesen, wenn die Korrosionsschutzschicht auf ihrer der Verschleißschutzschicht abgewandten Seite an eine metallische Haftvermittlerschicht angrenzt. Insbesondere ist die metallische Haftvermittlerschicht aus Chrom oder Titan oder Zirkon oder Magnesium oder Gadolinium oder einer Mischung aus zwei oder drei der genannten Metalle gebildet. Die Haftvermittlerschicht dient der besseren mechanischen Anbindung des Mehrschichtsystems an ein metallisches Substrat.
Die Korrosionsschutzschicht grenzt auf ihrer der Verschleißschutzschicht zugewandten Seite vorzugsweise an eine Zwischenschicht an, die aus einem Silizium-dotierten Metallnitrid oder einem Metallkarbonitrid, insbesondere Silizium-dotierten Metallkarbonitrid, gebildet ist. Die Zwischenschicht dient der besseren mechanischen Anbindung der Korrosionsschutzschicht die Verschleißschutzschicht.
Die Verschleißschutzschicht in Form mindestens einer diamantähnlichen metallfreien Kohlenstoffschicht (= DLC - diamond like coating) umfasst bevorzugt mindestens eine Schicht vom Typ a-C oder a-C:H oder ta-C oder ta-C:Si oder ta-C:H:O:Si oder a-C:H:Si oder a-C:H:O:Si oder a-C:H:N oder eine Kombination mindestens zweier solcher Kohlenstoffschichten. Dabei können mehrere Kohlenstoffschichten gleicher Zusammensetzung aufeinander gebildet werden oder aber Kohlenstoffschichten unterschiedlicher Zusammensetzung einander abwechseln oder nacheinander folgen, um eine Verschleißschutzschicht auszubilden.
Die Korrosionsschutzschicht weist vorzugsweise eine Dicke im Bereich von 0,5 bis 10 µm, insbesondere im Bereich von 0,5 bis 5 µm auf. Die Verschleißschutzschicht weist bevorzugt eine Dicke im Bereich von 0,1 bis 10 µm, insbesondere im Bereich von 0,1 bis 5 µm auf.
Die Aufgabe wird weiterhin durch ein Bauteil gelöst umfassend ein metallisches Substrat mit einer Oberfläche und ein erfindungsgemäßes Mehrschichtsystem, wobei das Mehrschichtsystem zumindest partiell auf der Oberfläche des Substrats ausgebildet ist derart, dass die Verschleißschutzschicht eine dem Substrat abgewandte Deckschicht ausbildet. Die Reihenfolge wäre damit ausgehen vom metallischen Substrat:

- optionale metallische Haftvermittlerschicht
- Korrosionsschutzschicht
- optionale Zwischenschicht
- Verschleißschutzschicht (= Deckschicht)

Das metallische Substrat ist insbesondere aus Stahl gebildet. Besonders bevorzugt sind dabei die Stahlsorten 100Cr6, 42CrMo4 oder 16MnCr5.
Die Verschleißschutzschicht weist dabei vorzugsweise reibmindernde Eigenschaften gegenüber einem in Reibkontakt dazu stehenden Kontaktpartner auf.

Besonders bevorzugt sind folgende Mehrschichtsysteme auf metallischen Substraten, insbesondere aus Stahl, die hier lediglich beispielhaft genannt werden sollen: Mehrschichtsystem 1:

Haftverm ittlerschicht:	keine
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H

Mehrschichtsystem 2:

Haftverm ittlerschicht:	keine
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 3

Haftverm ittlerschicht:	TiMg
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H

Mehrschichtsystem 4:

Haftverm ittlerschicht:	Titanium
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdN
Zwischenschicht:	TiSiN
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 5:

Haftverm ittlerschicht:	Titanium
Korrosionsschutzschicht:	TiMgCrGdN
Zwischenschicht:	CrSiN
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 6:

Haftverm ittlerschicht:	keine
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 7:

Haftverm ittlerschicht:	TiMg
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 8:

Haftverm ittlerschicht:	TiMg
Korrosionsschutzschicht:	TiMgLaCN oder TiMgCeCN oder TiMgLaN oder TiMgCeN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 9:

Haftverm ittlerschicht:	TiMgGd
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	mindestens eine Schicht vom Typ a-C:H und/oder a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 10:

Haftverm ittlerschicht:	TiMgGd
Korrosionsschutzschicht 1:	TiMgGdN
Korrosionsschutzschicht 2:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	mindestens eine Schicht vom Typ a-C:H und/oder a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 11:

Haftverm ittlerschicht:	TiMgGd
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	mindestens eine Schicht vom Typ a-C:H und/oder a-C:H:Si

Mehrschichtsystem 12:

Haftverm ittlerschicht:	TiMgGd
Korrosionsschutzschicht:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	keine
Verschleißschutzschicht:	mindestens eine Schicht vom Typ ta-C:Si und/oder ta-C:H:O:Si

Mehrschichtsystem 13:

Haftverm ittlerschicht:	TiMgGd
Korrosionsschutzschicht 1:	TiMgGdN
Korrosionsschutzschicht 2:	TiMgGdCN
Zwischenschicht:	TiCN oder TiSiCN
Verschleißschutzschicht:	mindestens eine Schicht vom Typ ta-C:Si und/oder ta-C:H:O:Si

Bei dem erfindungsgemäßen Bauteil handelt es sich insbesondere um ein Wälzlagerbauteil oder ein Gleitlagerbauteil oder Bauteile, die in tribologischem Kontakt in Zusammenhang mit korrosiven Medien eingesetzt werden. Als korrosive Medien werden hier insbesondere wasserbasierte Schmiermittel, wässrige Medien und im Betrieb gealterte Schmiermittel auf Kohlenwasserstoffbasis angesehen.
Die Aufgabe wird weiterhin durch ein Verfahren zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mehrschichtsystems oder eines erfindungsgemäßen Bauteils gelöst, wobei das Mehrschichtsystem mittels eines PVD-Verfahrens und/oder eines PACVD-Verfahrens ausgebildet wird. Diese Verfahren sind zum Einsatz für eine Massenproduktion auch im automobilen Umfeld kostengünstig einsetzbar.
Die 1 bis 6 sollen die Erfindung beispielhaft erläutern. So zeigt

1 ein erstes Mehrschichtsystem umfassend eine Korrosionsschutzschicht und eine Verschleißschutzschicht;
2 ein zweites Mehrschichtsystem umfassend eine Korrosionsschutzschicht, eine Zwischenschicht und eine Verschleißschutzschicht;
3 ein drittes Mehrschichtsystem umfassend eine Haftvermittlerschicht, eine Korrosionsschutzschicht, eine Zwischenschicht und eine Verschleißschutzschicht;
4 ein viertes Mehrschichtsystem umfassend eine Haftvermittlerschicht, eine Korrosionsschutzschicht und eine Verschleißschutzschicht;
5 ein Bauteil mit einem Mehrschichtsystem gemäß 3; und
6 ein Bauteil in Form eines Wälzlagerringes.

1 zeigt ein erstes Mehrschichtsystem 1 im Schnittbild senkrecht zur Schichtebene umfassend eine Korrosionsschutzschicht 2 und eine Verschleißschutzschicht 3. Die Korrosionsschutzschicht 2 ist durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst. Die Verschleißschutzschicht 3 ist durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht (DLC) gebildet.
2 zeigt ein zweites Mehrschichtsystem 1' im Schnittbild senkrecht zur Schichtebene umfassend eine Korrosionsschutzschicht 2, eine Zwischenschicht 4 und eine Verschleißschutzschicht 3. Die Korrosionsschutzschicht 2 ist durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst. Die Verschleißschutzschicht 3 ist durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht (DLC) gebildet. Die Zwischenschicht 4 ist aus einem Silizium-dotierten Metallnitrid oder einem Metallkarbonitrid, insbesondere einem Silizium-dotierten Metallkarbonitrid, gebildet.
3 zeigt ein drittes Mehrschichtsystem 1 '' im Schnittbild senkrecht zur Schichtebene umfassend eine Haftvermittlerschicht 5, eine Korrosionsschutzschicht 2, eine Zwischenschicht 4 und eine Verschleißschutzschicht 3. Die Korrosionsschutzschicht 2 ist durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst. Die Verschleißschutzschicht 3 ist durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht (DLC) gebildet. Die Zwischenschicht 4 ist aus einem Silizium-dotierten Metallnitrid oder einem Metallkarbonitrid, insbesondere einem Silizium-dotierten Metallkarbonitrid gebildet. Die metallische Haftvermittlerschicht 5 ist bevorzugt aus Chrom oder Titan oder Zirkon oder Magnesium oder Gadolinium oder einer Mischung aus zwei oder drei der genannten Metalle gebildet. Insbesondere ist die Haftvermittlerschicht 5 hier aus TiMg gebildet.
4 zeigt ein viertes Mehrschichtsystem 1 ‚‘‘ im Schnittbild senkrecht zur Schichtebene umfassend eine Haftvermittlerschicht 5, eine Korrosionsschutzschicht 2 und eine Verschleißschutzschicht 3. Die Korrosionsschutzschicht 2 ist durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst. Die Verschleißschutzschicht 3 ist durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht (DLC) gebildet. Die metallische Haftvermittlerschicht 5 ist bevorzugt aus Chrom oder Titan oder Zirkon oder Magnesium oder Gadolinium oder einer Mischung aus zwei oder drei der genannten Metalle gebildet.
5 zeigt ein Bauteil 8 im Schnittbild senkrecht zur Schichtebene des Mehrschichtsystems umfassend ein metallisches Substrat 6 mit einer Oberfläche 6a und dem dritten Mehrschichtsystem 1 '' gemäß 3, wobei das dritte Mehrschichtsystem 1 '' partiell auf der Oberfläche 6a des Substrats 6 ausgebildet ist derart, dass die Verschleißschutzschicht 3 eine dem Substrat 6 abgewandte Deckschicht 7 ausbildet.
6 zeigt ein Bauteil 8 in Form eines Wälzlagerringes in einer dreidimensionalen Darstellung. Das Bauteil 8 umfasst ein ringförmiges metallisches Substrat 6, welches an seiner zylindrischen Mantelfläche und seinen Stirnflächen mit einem Mehrschichtsystem 1 gemäß 1 bedeckt ist. Dabei können alternativ natürlich auch andere erfindungsgemäße Mehrschichtsysteme zum Einsatz kommen.
Weiterhin kann das Mehrschichtsystem ein Substrat vollständig bedecken oder nur in bestimmten Bereichen oberflächlich bedecken, je nach vorliegendem korrosivem Angriff und den konkreten Verschleißbedingungen.
Bezugszeichenliste

1, 1 ', 1 '', 1''': Mehrschichtsystem
2: Korrosionsschutzschicht
3: Verschleißschutzschicht
4: Zwischenschicht
5: Haftvermittlerschicht
6: Substrat
6a: Oberfläche
7: Deckschicht
8: Bauteil

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102013209030 A1 [0003]
DE 102004044919 A [0004]

Claims

Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1'''), umfassend zumindest eine Korrosionsschutzschicht (2) und eine Verschleißschutzschicht (3), wobei die Korrosionsschutzschicht (2) durch ein Metallnitrid oder ein Metallkarbonitrid gebildet ist, welches als Metall zumindest Titan und Magnesium enthält, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Seltenerdmetall umfasst, und die Verschleißschutzschicht (3) durch mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht gebildet ist.
Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1''') nach Anspruch 1, wobei das Metallnitrid oder das Metallkarbonitrid weiterhin mindestens ein Metall aus der Gruppe umfassend Aluminium, Chrom, Zirkon, Hafnium, ausgebildet ist.
Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1''') nach einem der Ansprüche 1 oder 2, wobei als Seltenerdmetall Gadolinium oder Cer oder Lanthan oder eine Mischung aus zwei oder drei der genannten Elemente vorhanden ist.
Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1 ‚‘‘) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Korrosionsschutzschicht (2) umfassend TiMgGdN oder TiMgGdCN oder TiMgCeN oder TiMgCeCN oder TiMgLaN oder TiMgLaCN ausgebildet ist.
Mehrschichtsystem (1 '', 1 ''') nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Korrosionsschutzschicht (2) auf ihrer der Verschleißschutzschicht (3) abgewandten Seite an eine metallische Haftvermittlerschicht (5) angrenzt.
Mehrschichtsystem (1 '', 1''') nach Anspruch 5, wobei die metallische Haftvermittlerschicht (5) aus Chrom oder Titan oder Zirkon oder Magnesium oder Gadolinium oder einer Mischung aus zwei oder drei der genannten Metalle gebildet ist.
Mehrschichtsystem (1', 1 '') nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Korrosionsschutzschicht (2) auf ihrer der Verschleißschutzschicht (3) zugewandten Seite an eine Zwischenschicht (4) angrenzt, die aus einem Silizium-dotierten Metallnitrid oder einem Silizium-dotierten Metallkarbonitrid gebildet ist.
Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1 ''') nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die Verschleißschutzschicht (3) mindestens eine diamantähnliche metallfreie Kohlenstoffschicht vom Typ a-C oder a-C:H oder ta-C oder ta-C:Si oder ta-C:H:O:Si oder a-C:H:Si oder a-C:H:O:Si oder a-C:H:N oder eine Kombination mindestens zweier solcher Kohlenstoffschichten umfasst.
Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1 ‚‘‘) nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei die Korrosionsschutzschicht (2) eine Dicke im Bereich von 0,5 bis 10 µm aufweist und/oder wobei die Verschleißschutzschicht (3) eine Dicke im Bereich von 0,1 bis 10 µm aufweist.
Bauteil (8) umfassend ein metallisches Substrat (6) mit einer Oberfläche (6a) und ein Mehrschichtsystem (1, 1', 1", 1 ‚‘‘) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei das Mehrschichtsystem (1, 1', 1", 1 ‚‘‘) zumindest partiell auf der Oberfläche (6a) ausgebildet ist derart, dass die Verschleißschutzschicht (3) eine dem Substrat (6) abgewandte Deckschicht (7) ausbildet.
Bauteil (8) nach Anspruch 10, wobei es sich um ein Wälzlagerbauteil oder ein Gleitlagerbauteil oder ein Bauteil, das in einem tribologischen Kontakt und weiterhin in Kontakt zu einem korrosiven Medium eingesetzt wird, handelt.
Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtsystems (1, 1', 1 '', 1''') nach einem der Ansprüche 1 bis 9 oder eines Bauteils (8) nach einem der Ansprüche 10 oder 11, wobei das Mehrschichtsystem (1, 1', 1 '', 1'''‘) mittels eines PVD-Verfahrens und/oder eines PACVD-Verfahrens ausgebildet wird.