DE102021119382A1 - Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße - Google Patents

Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße Download PDF

Info

Publication number
DE102021119382A1
DE102021119382A1 DE102021119382.6A DE102021119382A DE102021119382A1 DE 102021119382 A1 DE102021119382 A1 DE 102021119382A1 DE 102021119382 A DE102021119382 A DE 102021119382A DE 102021119382 A1 DE102021119382 A1 DE 102021119382A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring device
medium
measuring
viewing window
membrane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE102021119382.6A
Other languages
English (en)
Inventor
Lorenz Halbinger
Werner Hoch
Guido Knoll
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IFM Electronic GmbH
Original Assignee
IFM Electronic GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IFM Electronic GmbH filed Critical IFM Electronic GmbH
Priority to DE102021119382.6A priority Critical patent/DE102021119382A1/de
Publication of DE102021119382A1 publication Critical patent/DE102021119382A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/85Investigating moving fluids or granular solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0051Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
    • G01L9/0052Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
    • G01L9/0055Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J5/00Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
    • G01J5/02Constructional details
    • G01J5/08Optical arrangements
    • G01J5/0875Windows; Arrangements for fastening thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter (2) befindlichen Mediums (3), mit einer Sendeeinheit (10) zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und mit einem Sichtfenster (11), das aus einem transparenten Material besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit (10) ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das zu messende Medium (3) zu richten,wobei das Sichtfenster (11) eine auslenkbare Messmembran (11a) für eine Druckmessung umfasst, deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite einen elektromechanischen Wandler (12) aufweist, der eine vom auf die Messmembran (10a) einwirkenden Druck p abhängige Durchbiegung der Messmembran (10a) in eine elektrische Größe umwandelt.

Description

  • Die Erfindung betrifft Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter befindlichen Mediums.
  • Messgeräte der vorgenannten Art werden in der Automatisierungstechnik dazu eingesetzt, die Eigenschaften eines Fluids, bspw. hinsichtlich Druck, Temperatur, Durchfluss, Füllstand oder Trübung zu überwachen. Häufig ist es notwendig, mehrere dieser Eigenschaften am selben Ort zu erfassen, so dass verschiedene Messgeräte einzeln in unmittelbarer Nähe zueinander angeordnet werden müssen. Es hat sich daher ein Bedarf ergeben, in einem Messgerät - häufig als Kombisensor bezeichnet - gleich eine weitere Größe mit zu erfassen. Ein typisches Beispiel dafür ist die Integration eines Temperatursensors in einem Druckmessgerät, wie es aus der DE 102019115962 A1 bekannt ist. Hier wird die Erwärmung der mit dem Medium in Kontakt stehenden Messmembran des Druckmessgeräts erfasst und damit die Temperatur des Mediums gemessen.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, auch für andere Kombinationen von zu erfassenden Messgrößen eines Fluids ein einziges Messgerät anzugeben.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Messgerät mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
  • Erfindungsgemäß wird ein Sichtfenster des Messgeräts, das vorzugsweise für die Trübungsmessung und/oder die berührungslose Temperaturmessung des Fluids in Form eines Infrarot-Thermometers eingerichtet ist, um eine auslenkbare Messmembran für eine Druckmessung erweitert.
  • Kern der Erfindung ist, das ohnehin vorhandene Sichtfenster für die Trübungs- bzw. Temperaturmessung gleichzeitig auch als Messmembran für eine Druckmessung zu verwenden. Damit kann mit einem erfindungsgemäßen Trübungs- oder berührungslosen Temperatursensor auch der Druck desselben Mediums gemessen werden, ohne dass zum Medium hin eine Veränderung am Sensor nötig wird.
  • Vorteilhafterweise erfolgt die Erfassung der Membrandurchbiegung mit Hilfe von Halbleiter-Dehnungsmessstreifen, die sehr empfindlich auf geringste Dehnungen und Stauchungen der Membran reagieren, so dass eine außermittige Anordnung, im äußeren Randbereich des Sichtfensters, möglich ist und dadurch der optische Zugang für die Trübungs- bzw. Temperaturmessung nicht behindert wird. Besonders interessant sind hierbei Halbleiter-Bauelemente mit integrierter Vollbrücke, die ausschließlich in der Stauchzone der Membran aufgebracht werden können. Grundsätzlich von der Erfindung mit umfasst sind jedoch auch Metall-Dehnungsmesstreifen.
  • Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
  • Es zeigen schematisch:
    • 1 eine Anordnung aus einem erfindungsgemäßen Messgerät und einem Messrohr und
    • 2 eine vergrößerte Ansicht der Messspitze des Messgeräts aus 1.
  • Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.
  • 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Messgerät 1, das mit einem als Messrohr ausgeführten Behälter 2 verbunden ist. In dem Messrohr 2 befindet sich das zu messende Medium 3 in Form eines Fluids.
  • Das Messgerät 1 besteht im Wesentlichen aus einem Gehäuse und einem Prozessanschluss, welcher zum einen die Sensoreinheit beinhaltet und andererseits die mechanische Verbindung des Messgeräts 1 mit dem Messrohr 2 ermöglicht. Im Gehäuse befindet sich eine Auswerteelektronik, die zur Auswertung und Aufbereitung der von der Sensoreinheit gelieferten Messsignale vorgesehen ist, welche dann über einen Steckeranschluss abgegriffen und bspw. an eine SPS weitergeleitet werden können.
  • Vorzugsweise ist das Messgerät 1 zum Messen der Trübung oder als InfrarotThermometer zum berührungslosen Messen der Temperatur des Mediums 3 eingerichtet. Als Sensoreinheit umfasst das Messgerät 1 also weiterhin eine Sendeeinheit 10 zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und eine entsprechende Empfangseinheit 10a.
  • In 2 ist der in 1 mit „A“ bezeichnete Bereich vergrößert und stark schematisiert dargestellt. Für die Erfindung wesentlich ist das Sichtfenster 11, das aus einem transparenten Material, vorzugsweise Saphir, besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit 10 ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das Medium 3 zu richten.
  • Erfindungsgemäß umfasst das Sichtfenster 11 eine auslenkbare Messmembran 11a für eine Druckmessung. Auf der vom Medium 3 abgewandten Seite des Sichtfensters 11 bzw. der Messmembran 10a ist ein elektromechanischer Wandler 12 angeordnet, der eine Durchbiegung der Messmembran 10a, resultierend aus dem auf die Messmembran 10a einwirkenden Druck p, in eine elektrische Größe umwandelt.
  • Vorzugsweise ist der elektromechanischer Wandler 12 als Halbleiter-Dehnungsmessstreifen aus einem Halbleitersubstrat und wenigstens einer piezoresistiven Widerstandsbahn ausgeführt, da dieser sehr empfindlich auf geringste Dehnungen und Stauchungen der Membran reagiert. Entsprechend kann der Raum für die Messmembran 11a innerhalb des Sichtfensters 11 sehr klein ausfallen.
  • Aufgrund der hohen Empfindlichkeit des Halbleiter-Dehnungsmessstreifens 12 kann er außermittig, im äußeren Randbereich des Sichtfensters 11 angeordnet werden. Im äußeren Randbereich bedeutet hierbei insbesondere in der äußeren Hälfte des Sichtfensters 11 angeordnet. Durch eine derartige Anordnung des elektromechanischen Wandlers 12 wird der optische Zugang der Sende- und Empfangseinheit 10, 10a nicht behindert.
  • Bezugszeichenliste
  • 1
    Messgerät für die Prozessmesstechnik
    2
    Behälter, Messrohr
    3
    Medium
    10
    Sendeeinheit
    10a
    Empfangseinheit
    11
    Sichtfenster
    11a
    Messmembran
    12
    elektromechanischer Wandler
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 102019115962 A1 [0002]

Claims (7)

  1. Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter (2) befindlichen Mediums (3), mit einer Sendeeinheit (10) zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und mit einem Sichtfenster (11), das aus einem transparenten Material besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit (10) ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das zu messende Medium (3) zu richten, wobei das Sichtfenster (11) eine auslenkbare Messmembran (11a) für eine Druckmessung umfasst, deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite einen elektromechanischen Wandler (12) aufweist, der eine vom auf die Messmembran (10a) einwirkenden Druck p abhängige Durchbiegung der Messmembran (10a) in eine elektrische Größe umwandelt.
  2. Messgerät nach Anspruch 1, wobei der elektromechanische Wandler (12) als Halbleiter-Dehnungsmessstreifen ausgeführt ist.
  3. Messgerät nach Anspruch 1 oder 2, wobei der elektromechanische Wandler (12) aus einem Halbleitersubstrat und wenigstens einer piezoresistiven Widerstandsbahn ausgebildet ist.
  4. Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Sichtfenster (11) aus Saphir besteht.
  5. Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Messgerät (1) zum Messen der Trübung des Mediums (3) eingerichtet ist.
  6. Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Messgerät (1) zum berührungslosen Messen der Temperatur des Mediums (3) eingerichtet ist.
  7. Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der elektromechanische Wandler (12) außermittig, im äußeren Randbereich des Sichtfensters (11) angeordnet ist.
DE102021119382.6A 2021-07-27 2021-07-27 Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße Ceased DE102021119382A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102021119382.6A DE102021119382A1 (de) 2021-07-27 2021-07-27 Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102021119382.6A DE102021119382A1 (de) 2021-07-27 2021-07-27 Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102021119382A1 true DE102021119382A1 (de) 2023-02-02

Family

ID=84890231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102021119382.6A Ceased DE102021119382A1 (de) 2021-07-27 2021-07-27 Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102021119382A1 (de)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5526112A (en) 1993-03-05 1996-06-11 Sahagen; Armen N. Probe for monitoring a fluid medium
DE102015104217A1 (de) 2015-03-20 2016-09-22 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Messsystem zum Bestimmen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit
DE102019115962A1 (de) 2019-06-12 2020-12-17 Ifm Electronic Gmbh Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5526112A (en) 1993-03-05 1996-06-11 Sahagen; Armen N. Probe for monitoring a fluid medium
DE102015104217A1 (de) 2015-03-20 2016-09-22 Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG Messsystem zum Bestimmen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit
DE102019115962A1 (de) 2019-06-12 2020-12-17 Ifm Electronic Gmbh Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3705901C2 (de) Druckmeßwandler
DE102008020862B3 (de) Messumformer zur Prozessinstrumentierung und Verfahren zur Überwachung des Zustands dessen Sensors
DE102015113237A1 (de) Temperaturmessgerät zur Messung der Temperatur eines in einem Behälter befindlichen Mediums
DE102013110059A1 (de) Differenzdruckmessanordnung mit Wirkdruckleitungen und Verfahren zum Erkennen von verstopften Wirkdruckleitungen
DE102009046692A1 (de) Druck-Messeinrichtung
EP2784462A1 (de) Kapazitive Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums
DE102009030180A1 (de) Wasserstoffsensor
DE102009002662A1 (de) Kapazitiver Drucksensor als Kombinationssensor zur Erfassung weiterer Messgrößen
DE102016124775A1 (de) Druckmessaufnehmer mit hydraulischem Druckmittler
DE102018007884A1 (de) Sensor zur komparativen Druckmessung
DE102019115962A1 (de) Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung
DE102021119382A1 (de) Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße
DE102009027592A1 (de) Drucksensor mit interferometrischem Wandler und Druckmessgerät mit einem solchen Drucksensor
DE102018116309A1 (de) Thermometer mit Diagnosefunktion
EP3754329B1 (de) Wasserstoffsensor und verfahren zu dessen herstellung, messvorrichtung und verfahren zum messen einer wasserstoffkonzentration
DE102013210349A1 (de) Optische Druckmessvorrichtung und optisches Druckmessverfahren
DE3608633A1 (de) Drucksensor
DE102017200414A1 (de) Messgerät für die Prozess- und Automatisierungstechnik
DE102014016712A1 (de) Gasmesschip, transportables Chipmesssystem und Verfahren zum Betrieb eines transportablen Chipmesssystems
DE102018100716B3 (de) Druckmessgerät
DE102021119384A1 (de) Radarfüllstandmessgerät mit Druckmessfunktion
DE102019216460B4 (de) Temperaturfühler mit Prüfkanal und Verfahren zur Fehlerermittlung an Temperaturfühlern
DE10255279A1 (de) Messumformer mit Lecküberwachung
EP3232174A1 (de) Drucksensor
DE102015121455A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Druckbestimmung und Vorrichtung hierzu

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R016 Response to examination communication
R002 Refusal decision in examination/registration proceedings
R003 Refusal decision now final