DE102021119382A1 - Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße - Google Patents
Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße Download PDFInfo
- Publication number
- DE102021119382A1 DE102021119382A1 DE102021119382.6A DE102021119382A DE102021119382A1 DE 102021119382 A1 DE102021119382 A1 DE 102021119382A1 DE 102021119382 A DE102021119382 A DE 102021119382A DE 102021119382 A1 DE102021119382 A1 DE 102021119382A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring device
- medium
- measuring
- viewing window
- membrane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N (2r,3r,4s,5r)-2-[6-[[2-(3,5-dimethoxyphenyl)-2-(2-methylphenyl)ethyl]amino]purin-9-yl]-5-(hydroxymethyl)oxolane-3,4-diol Chemical compound COC1=CC(OC)=CC(C(CNC=2C=3N=CN(C=3N=CN=2)[C@H]2[C@@H]([C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)C=2C(=CC=CC=2)C)=C1 BUHVIAUBTBOHAG-FOYDDCNASA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0875—Windows; Arrangements for fastening thereof
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter (2) befindlichen Mediums (3), mit einer Sendeeinheit (10) zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und mit einem Sichtfenster (11), das aus einem transparenten Material besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit (10) ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das zu messende Medium (3) zu richten,wobei das Sichtfenster (11) eine auslenkbare Messmembran (11a) für eine Druckmessung umfasst, deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite einen elektromechanischen Wandler (12) aufweist, der eine vom auf die Messmembran (10a) einwirkenden Druck p abhängige Durchbiegung der Messmembran (10a) in eine elektrische Größe umwandelt.
Description
- Die Erfindung betrifft Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter befindlichen Mediums.
- Messgeräte der vorgenannten Art werden in der Automatisierungstechnik dazu eingesetzt, die Eigenschaften eines Fluids, bspw. hinsichtlich Druck, Temperatur, Durchfluss, Füllstand oder Trübung zu überwachen. Häufig ist es notwendig, mehrere dieser Eigenschaften am selben Ort zu erfassen, so dass verschiedene Messgeräte einzeln in unmittelbarer Nähe zueinander angeordnet werden müssen. Es hat sich daher ein Bedarf ergeben, in einem Messgerät - häufig als Kombisensor bezeichnet - gleich eine weitere Größe mit zu erfassen. Ein typisches Beispiel dafür ist die Integration eines Temperatursensors in einem Druckmessgerät, wie es aus der
DE 102019115962 A1 bekannt ist. Hier wird die Erwärmung der mit dem Medium in Kontakt stehenden Messmembran des Druckmessgeräts erfasst und damit die Temperatur des Mediums gemessen. - Aufgabe der Erfindung ist es, auch für andere Kombinationen von zu erfassenden Messgrößen eines Fluids ein einziges Messgerät anzugeben.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Messgerät mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
- Erfindungsgemäß wird ein Sichtfenster des Messgeräts, das vorzugsweise für die Trübungsmessung und/oder die berührungslose Temperaturmessung des Fluids in Form eines Infrarot-Thermometers eingerichtet ist, um eine auslenkbare Messmembran für eine Druckmessung erweitert.
- Kern der Erfindung ist, das ohnehin vorhandene Sichtfenster für die Trübungs- bzw. Temperaturmessung gleichzeitig auch als Messmembran für eine Druckmessung zu verwenden. Damit kann mit einem erfindungsgemäßen Trübungs- oder berührungslosen Temperatursensor auch der Druck desselben Mediums gemessen werden, ohne dass zum Medium hin eine Veränderung am Sensor nötig wird.
- Vorteilhafterweise erfolgt die Erfassung der Membrandurchbiegung mit Hilfe von Halbleiter-Dehnungsmessstreifen, die sehr empfindlich auf geringste Dehnungen und Stauchungen der Membran reagieren, so dass eine außermittige Anordnung, im äußeren Randbereich des Sichtfensters, möglich ist und dadurch der optische Zugang für die Trübungs- bzw. Temperaturmessung nicht behindert wird. Besonders interessant sind hierbei Halbleiter-Bauelemente mit integrierter Vollbrücke, die ausschließlich in der Stauchzone der Membran aufgebracht werden können. Grundsätzlich von der Erfindung mit umfasst sind jedoch auch Metall-Dehnungsmesstreifen.
- Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.
- Es zeigen schematisch:
-
1 eine Anordnung aus einem erfindungsgemäßen Messgerät und einem Messrohr und -
2 eine vergrößerte Ansicht der Messspitze des Messgeräts aus1 . - Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.
-
1 zeigt ein erfindungsgemäßes Messgerät 1, das mit einem als Messrohr ausgeführten Behälter 2 verbunden ist. In dem Messrohr 2 befindet sich das zu messende Medium 3 in Form eines Fluids. - Das Messgerät 1 besteht im Wesentlichen aus einem Gehäuse und einem Prozessanschluss, welcher zum einen die Sensoreinheit beinhaltet und andererseits die mechanische Verbindung des Messgeräts 1 mit dem Messrohr 2 ermöglicht. Im Gehäuse befindet sich eine Auswerteelektronik, die zur Auswertung und Aufbereitung der von der Sensoreinheit gelieferten Messsignale vorgesehen ist, welche dann über einen Steckeranschluss abgegriffen und bspw. an eine SPS weitergeleitet werden können.
- Vorzugsweise ist das Messgerät 1 zum Messen der Trübung oder als InfrarotThermometer zum berührungslosen Messen der Temperatur des Mediums 3 eingerichtet. Als Sensoreinheit umfasst das Messgerät 1 also weiterhin eine Sendeeinheit 10 zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und eine entsprechende Empfangseinheit 10a.
- In
2 ist der in1 mit „A“ bezeichnete Bereich vergrößert und stark schematisiert dargestellt. Für die Erfindung wesentlich ist das Sichtfenster 11, das aus einem transparenten Material, vorzugsweise Saphir, besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit 10 ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das Medium 3 zu richten. - Erfindungsgemäß umfasst das Sichtfenster 11 eine auslenkbare Messmembran 11a für eine Druckmessung. Auf der vom Medium 3 abgewandten Seite des Sichtfensters 11 bzw. der Messmembran 10a ist ein elektromechanischer Wandler 12 angeordnet, der eine Durchbiegung der Messmembran 10a, resultierend aus dem auf die Messmembran 10a einwirkenden Druck p, in eine elektrische Größe umwandelt.
- Vorzugsweise ist der elektromechanischer Wandler 12 als Halbleiter-Dehnungsmessstreifen aus einem Halbleitersubstrat und wenigstens einer piezoresistiven Widerstandsbahn ausgeführt, da dieser sehr empfindlich auf geringste Dehnungen und Stauchungen der Membran reagiert. Entsprechend kann der Raum für die Messmembran 11a innerhalb des Sichtfensters 11 sehr klein ausfallen.
- Aufgrund der hohen Empfindlichkeit des Halbleiter-Dehnungsmessstreifens 12 kann er außermittig, im äußeren Randbereich des Sichtfensters 11 angeordnet werden. Im äußeren Randbereich bedeutet hierbei insbesondere in der äußeren Hälfte des Sichtfensters 11 angeordnet. Durch eine derartige Anordnung des elektromechanischen Wandlers 12 wird der optische Zugang der Sende- und Empfangseinheit 10, 10a nicht behindert.
- Bezugszeichenliste
-
- 1
- Messgerät für die Prozessmesstechnik
- 2
- Behälter, Messrohr
- 3
- Medium
- 10
- Sendeeinheit
- 10a
- Empfangseinheit
- 11
- Sichtfenster
- 11a
- Messmembran
- 12
- elektromechanischer Wandler
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- DE 102019115962 A1 [0002]
Claims (7)
- Messgerät für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer physikalischen oder chemischen Eigenschaft eines in einem Behälter (2) befindlichen Mediums (3), mit einer Sendeeinheit (10) zum Aussenden von Licht oder Wärmestrahlung und mit einem Sichtfenster (11), das aus einem transparenten Material besteht und dazu geeignet ist, das von der Sendeeinheit (10) ausgesendete Licht bzw. die Wärmestrahlung auf das zu messende Medium (3) zu richten, wobei das Sichtfenster (11) eine auslenkbare Messmembran (11a) für eine Druckmessung umfasst, deren erste Seite zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite einen elektromechanischen Wandler (12) aufweist, der eine vom auf die Messmembran (10a) einwirkenden Druck p abhängige Durchbiegung der Messmembran (10a) in eine elektrische Größe umwandelt.
- Messgerät nach
Anspruch 1 , wobei der elektromechanische Wandler (12) als Halbleiter-Dehnungsmessstreifen ausgeführt ist. - Messgerät nach
Anspruch 1 oder2 , wobei der elektromechanische Wandler (12) aus einem Halbleitersubstrat und wenigstens einer piezoresistiven Widerstandsbahn ausgebildet ist. - Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Sichtfenster (11) aus Saphir besteht.
- Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Messgerät (1) zum Messen der Trübung des Mediums (3) eingerichtet ist.
- Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Messgerät (1) zum berührungslosen Messen der Temperatur des Mediums (3) eingerichtet ist.
- Messgerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der elektromechanische Wandler (12) außermittig, im äußeren Randbereich des Sichtfensters (11) angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102021119382.6A DE102021119382A1 (de) | 2021-07-27 | 2021-07-27 | Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102021119382.6A DE102021119382A1 (de) | 2021-07-27 | 2021-07-27 | Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102021119382A1 true DE102021119382A1 (de) | 2023-02-02 |
Family
ID=84890231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102021119382.6A Ceased DE102021119382A1 (de) | 2021-07-27 | 2021-07-27 | Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102021119382A1 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5526112A (en) | 1993-03-05 | 1996-06-11 | Sahagen; Armen N. | Probe for monitoring a fluid medium |
DE102015104217A1 (de) | 2015-03-20 | 2016-09-22 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Messsystem zum Bestimmen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit |
DE102019115962A1 (de) | 2019-06-12 | 2020-12-17 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung |
-
2021
- 2021-07-27 DE DE102021119382.6A patent/DE102021119382A1/de not_active Ceased
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5526112A (en) | 1993-03-05 | 1996-06-11 | Sahagen; Armen N. | Probe for monitoring a fluid medium |
DE102015104217A1 (de) | 2015-03-20 | 2016-09-22 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Messsystem zum Bestimmen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit |
DE102019115962A1 (de) | 2019-06-12 | 2020-12-17 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3705901C2 (de) | Druckmeßwandler | |
DE102008020862B3 (de) | Messumformer zur Prozessinstrumentierung und Verfahren zur Überwachung des Zustands dessen Sensors | |
DE102015113237A1 (de) | Temperaturmessgerät zur Messung der Temperatur eines in einem Behälter befindlichen Mediums | |
DE102013110059A1 (de) | Differenzdruckmessanordnung mit Wirkdruckleitungen und Verfahren zum Erkennen von verstopften Wirkdruckleitungen | |
DE102009046692A1 (de) | Druck-Messeinrichtung | |
EP2784462A1 (de) | Kapazitive Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums | |
DE102009030180A1 (de) | Wasserstoffsensor | |
DE102009002662A1 (de) | Kapazitiver Drucksensor als Kombinationssensor zur Erfassung weiterer Messgrößen | |
DE102016124775A1 (de) | Druckmessaufnehmer mit hydraulischem Druckmittler | |
DE102018007884A1 (de) | Sensor zur komparativen Druckmessung | |
DE102019115962A1 (de) | Kapazitives Druckmessgerät mit Mittel zur Temperaturerfassung | |
DE102021119382A1 (de) | Messgerat für die Prozessmesstechnik zur Erfassung einer weiteren Messgröße | |
DE102009027592A1 (de) | Drucksensor mit interferometrischem Wandler und Druckmessgerät mit einem solchen Drucksensor | |
DE102018116309A1 (de) | Thermometer mit Diagnosefunktion | |
EP3754329B1 (de) | Wasserstoffsensor und verfahren zu dessen herstellung, messvorrichtung und verfahren zum messen einer wasserstoffkonzentration | |
DE102013210349A1 (de) | Optische Druckmessvorrichtung und optisches Druckmessverfahren | |
DE3608633A1 (de) | Drucksensor | |
DE102017200414A1 (de) | Messgerät für die Prozess- und Automatisierungstechnik | |
DE102014016712A1 (de) | Gasmesschip, transportables Chipmesssystem und Verfahren zum Betrieb eines transportablen Chipmesssystems | |
DE102018100716B3 (de) | Druckmessgerät | |
DE102021119384A1 (de) | Radarfüllstandmessgerät mit Druckmessfunktion | |
DE102019216460B4 (de) | Temperaturfühler mit Prüfkanal und Verfahren zur Fehlerermittlung an Temperaturfühlern | |
DE10255279A1 (de) | Messumformer mit Lecküberwachung | |
EP3232174A1 (de) | Drucksensor | |
DE102015121455A1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur Druckbestimmung und Vorrichtung hierzu |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R002 | Refusal decision in examination/registration proceedings | ||
R003 | Refusal decision now final |