DE102020209542A1 - Sensor for detecting a physical variable - Google Patents

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DE102020209542A1 DE102020209542.6A DE102020209542A DE102020209542A1 DE 102020209542 A1 DE102020209542 A1 DE 102020209542A1 DE 102020209542 A DE102020209542 A DE 102020209542A DE 102020209542 A1 DE102020209542 A1 DE 102020209542A1
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Erfassen einer physikalischen Größe, insbesondere von Feuchtigkeit. Der Sensor weist einen Mold-Körper auf und wenigstens zwei Elektroden, wobei die Elektroden mit dem Mold-Körper verbunden und in einer Ausnehmung des Mold-Körpers angeordnet sind. Erfindungsgemäß weist der Mold-Körper für jede Elektrode wenigstens eine oder nur eine Ausnehmung auf. Die Ausnehmungen sind bevorzugt zueinander beabstandet angeordnet.The invention relates to a sensor for detecting a physical variable, in particular moisture. The sensor has a molded body and at least two electrodes, the electrodes being connected to the molded body and being arranged in a recess of the molded body. According to the invention, the molded body has at least one or only one recess for each electrode. The recesses are preferably arranged at a distance from one another.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung betrifft einen Sensor zum Erfassen einer physikalischen Größe, insbesondere von Feuchtigkeit. Der Sensor weist einen Mold-Körper auf und wenigstens zwei Elektroden, wobei die Elektroden mit dem Mold-Körper verbunden und in einer Ausnehmung des Mold-Körpers angeordnet sind.The invention relates to a sensor for detecting a physical variable, in particular moisture. The sensor has a molded body and at least two electrodes, the electrodes being connected to the molded body and being arranged in a recess of the molded body.

Aus der DE 11 2013 006 033 T5 ist ein aus einem Form-Harz geformter thermischer Sensor mit einer Öffnung und einer Messeinheit bekannt, wobei die Messeinheit durch die Öffnung nach außen freigelegt ist.From the DE 11 2013 006 033 T5 there is known a thermal sensor formed of a mold resin with an opening and a measuring unit, the measuring unit being exposed to the outside through the opening.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of Invention

Erfindungsgemäß weist der Mold-Körper für jede Elektrode wenigstens eine oder nur eine Ausnehmung auf. Die Ausnehmungen sind bevorzugt zueinander beabstandet angeordnet. Vorteilhaft kann so kein elektrisch leitfähiger Fremdkörper, beispielsweise ein Metallspan, die Elektroden überbrücken, insoweit die Elektroden in jeweils voneinander getrennten, jede Elektrode nach außen führenden Ausnehmungen angeordnet sind.According to the invention, the molded body has at least one or only one recess for each electrode. The recesses are preferably arranged at a distance from one another. Advantageously, no electrically conductive foreign body, for example a metal chip, can bridge the electrodes insofar as the electrodes are arranged in recesses that are separate from one another and lead each electrode to the outside.

Der Mold-Körper ist bevorzugt ein Kunststoff-Körper. Weiter bevorzugt weist der Mol-Körper partikelgefülltes Epoxidharz auf. Der Mold-Körper kann so aufwandsgünstig bereitgestellt werden.The molded body is preferably a plastic body. More preferably, the molar body has particle-filled epoxy resin. The mold body can thus be provided in a cost-effective manner.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Elektrode als elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet. Bevorzugt ist die Elektrode durch wenigstens zwei Ausnehmungen für die physikalische Größe, insbesondere für Feuchtigkeit, zugänglich. Die Elektroden, oder Elektrodenabschnitte, welche jeweils durch eine eigene Öffnung in dem Mold-Körper die physikalische Größe zu einem Außenraum außerhalb des Sensors erfassen können, können auf demselben elektrischen Potenzial liegen. Vorteilhaft kann so eine Erfassungssicherheit gebildet sein, dass beispielsweise im Falle einer Verstopfung einer Öffnung die physikalische Größe noch durch die weitere Öffnung erfasst werden kann.In a preferred embodiment, the electrode is designed as an electrically conductive layer. The electrode is preferably accessible through at least two recesses for the physical quantity, in particular for moisture. The electrodes, or electrode sections, which can each detect the physical variable to an exterior space outside of the sensor through their own opening in the mold body, can be at the same electrical potential. Detection reliability can advantageously be formed in this way, for example in the event that an opening is blocked, the physical quantity can still be detected through the further opening.

Die Elektrode ist bevorzugt durch eine elektrisch leitfähige Schicht gebildet, die mit einem Schaltungsträger verbunden ist. Der Schaltungsträger ist beispielsweise eine faserverstärkte Leiterplatte, oder ein keramischer Schaltungsträger, beispielsweise ein LTCC-Schaltungsträger (LTCC = Low-Temperature-Cofired-Ceramics) oder ein HTCC-Schaltungsträger (HTCC = High-Temperature-Cofired-Ceramics).The electrode is preferably formed by an electrically conductive layer that is connected to a circuit carrier. The circuit carrier is, for example, a fiber-reinforced printed circuit board or a ceramic circuit carrier, for example an LTCC circuit carrier (LTCC=low-temperature co-fired ceramics) or an HTCC circuit carrier (HTCC=high-temperature co-fired ceramics).

In einer vorteilhaften Variante des Sensors ist die Elektrode in einer Ausnehmung eines Schaltungsträgers angeordnet. Bevorzugt schließt die Ausnehmung in dem Schaltungsträger an die Ausnehmung in dem Mold-Körper an. Auf diese Weise kann die Elektrode im Schaltungsträger eingeschlossen, insbesondere als innenliegende elektrisch leitfähige Schicht gebildet sein. Die elektrisch leitfähige Schicht ist bevorzugt mit dem Schaltungsträger verbunden. Die Elektrode kann dadurch vorteilhaft als Leiterbahn auf dem Schaltungsträger gebildet sein.In an advantageous variant of the sensor, the electrode is arranged in a recess in a circuit carrier. The recess in the circuit carrier preferably adjoins the recess in the molded body. In this way, the electrode can be enclosed in the circuit carrier, in particular formed as an internal electrically conductive layer. The electrically conductive layer is preferably connected to the circuit carrier. As a result, the electrode can advantageously be formed as a conductor track on the circuit carrier.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Elektrode an einem Grund oder Boden der Ausnehmung angeordnet, wobei eine Tiefe der Ausnehmung zwischen 50 Mikrometer und 10.000 Mikrometer beträgt. Vorteilhaft kann der Sensor so aufwandsgünstig mit zwei Werkzeughälften mittels eines Mold-Verfahrens erzeugt werden, wobei zum Erzeugen der Ausnehmung in eine Werkzeughälfte ein Vorsprungsbereich für die jeweilige Ausnehmung angeformt ist.In a preferred embodiment, the electrode is arranged on a base or floor of the recess, the depth of the recess being between 50 micrometers and 10,000 micrometers. Advantageously, the sensor can thus be produced in a cost-effective manner using two tool halves by means of a molding process, with a projection region for the respective recess being formed onto one tool half to produce the recess.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Sensors beträgt ein Durchmesser der Ausnehmung zwischen 100 Mikrometer und 500 Mikrometer. Vorteilhaft kann so kein Fremdkörper in die Ausnehmung eindringen, welcher größer ausgebildet ist als der Durchmesser der Ausnehmung.In a preferred embodiment of the sensor, the diameter of the recess is between 100 micrometers and 500 micrometers. Advantageously, no foreign body that is larger than the diameter of the recess can penetrate into the recess.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Ausnehmung zylinderförmig ausgebildet. Vorteilhaft kann die Ausnehmung so in einem massiven Mold-Körper durch Bohren, insbesondere mechanischem Bohren oder Laserbohren, erzeugt werden.In a preferred embodiment, the recess is cylindrical. The recess can thus advantageously be produced in a solid molded body by drilling, in particular mechanical drilling or laser drilling.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist die Ausnehmung zu einer Öffnung in dem Mold-Körper hin verjüngt ausgebildet. Vorteilhaft weist die Öffnung so einen kleineren Durchmesser auf, als ein Durchmesser der Elektrodenfläche, welche durch die Öffnung zugänglich ist.In a preferred embodiment, the recess tapers towards an opening in the molded body. The opening thus advantageously has a smaller diameter than a diameter of the electrode surface which is accessible through the opening.

In einer anderen vorteilhaften Ausführungsform ist die Ausnehmung zu der Elektrode hin verjüngt ausgebildet. Die Ausnehmung ist beispielsweise kegelstumpfförmig ausgebildet. Vorteilhaft kann der Sensor, insbesondere das Mold-Gehäuse, so beim Molden einfach aus dem Werkzeug entformt werden.In another advantageous embodiment, the recess tapers towards the electrode. The recess is formed, for example, in the shape of a truncated cone. Advantageously, the sensor, in particular the mold housing, can thus be easily removed from the mold during molding.

In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Ausnehmungen, die zu derselben Elektrode führen, zueinander versetzt angeordnet, bevorzugt bezogen auf eine Gerade zueinander versetzt angeordnet. Vorteilhaft können so Ausnehmungspaare gebildet sein, welche zueinander versetzt angeordnet sind, wobei die Ausnehmungen eines Ausnehmungspaares zu jeweils zueinander verschiedenen Elektroden hinführen.In a preferred embodiment, the recesses that lead to the same electrode are offset from one another, preferably offset from one another in relation to a straight line. Advantageously, pairs of recesses can be formed in this way, which are arranged offset from one another, with the recesses of a pair of recesses leading to electrodes that are different from one another.

Bevorzugt ist der Sensor ausgebildet, eine den Sensor umgebende Feuchtigkeit zu erfassen. Bevorzugt ist der Sensor ausgebildet, dazu eine zwischen den Elektroden gebildete Impedanz, insbesondere eine zwischen den Elektroden gebildete Kapazität und/oder einen zwischen den Elektroden gebildeten ohmschen Widerstand zu erfassen.The sensor is preferably designed to detect moisture surrounding the sensor. The sensor is preferably designed to detect an impedance formed between the electrodes, in particular a capacitance formed between the electrodes and/or an ohmic resistance formed between the electrodes.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Erzeugen einer Ausnehmung in einem elektronischen Bauelement mit einem Mold-Körper. Bei dem Verfahren wird auf ein Substrat mit einer elektrisch leitfähigen Schicht ein fluidlöslicher Formkörper derart aufgebracht, dass wenigstens ein Teil der elektrisch leitfähigen Schicht mittels des Formkörpers bedeckt ist. Der Formkörper wird beispielsweise auf das Substrat aufgeklebt oder aufgedruckt. Das Fluid zum Auflösen des Formkörpers ist beispielsweise eine Flüssigkeit oder ein Gas.The invention also relates to a method for producing a recess in an electronic component with a molded body. In the method, a fluid-soluble shaped body is applied to a substrate with an electrically conductive layer in such a way that at least part of the electrically conductive layer is covered by the shaped body. The shaped body is, for example, glued or printed onto the substrate. The fluid for dissolving the shaped body is, for example, a liquid or a gas.

Bei dem Verfahren wird bevorzugt in einem weiteren Schritt das Substrat zusammen mit dem Formkörper mit Mold-Masse - insbesondere mittels Transfermolden, Hard-Cover-Dispense, Conformal Coating, Injection Molding oder Potting ummoldet, sodass der Formkörper von außen zugänglich ist. Bevorzugt schließt ein Oberflächenbereich des Formkörpers mit einem Oberflächenbereich des Mold-Körpers bündig ab. In einem weiteren Schritt wird der Formkörper mittels eines Lösungsfluids aus dem Mold-Körper herausgelöst oder herausgewaschen, sodass an dessen Ort eine Ausnehmung in dem Mold-Körper erzeugt ist, die bis hin zu der Elektrode reicht.In the method, in a further step, the substrate is preferably encapsulated together with the shaped body with molding compound—in particular by means of transfer molding, hard-cover dispensing, conformal coating, injection molding or potting, so that the shaped body is accessible from the outside. A surface area of the molded body is preferably flush with a surface area of the molded body. In a further step, the molded body is detached or washed out of the molded body by means of a solvent fluid, so that a recess is produced in the molded body at its location, which extends as far as the electrode.

Der Formkörper kann beispielsweise mittels eines wasserlöslichen, oder durch einen alkohollöslichen Kunststoff, ein Harz, beispielsweise mittels Schellack, erzeugt werden. Der Formkörper ist in einer bevorzugten Ausführungsform aus HIPS (HIPS = High-Impact-Poly-Styrene) gebildet. Der Formkörper kann in einer anderen Ausführungsform aus Stärke, insbesondere Maisstärke gebildet sein.The shaped body can be produced, for example, by means of a water-soluble or alcohol-soluble plastic, a resin, for example by means of shellac. In a preferred embodiment, the shaped body is formed from HIPS (HIPS=high-impact polystyrene). In another embodiment, the shaped body can be formed from starch, in particular corn starch.

Der Formkörper wird in einer bevorzugten Ausführungsform mittels eines additiven Fertigungsverfahrens, insbesondere 3D-Druck, auf dem Substrat erzeugt. Der Formkörper kann in einer anderen Ausführungsform - insbesondere mittels eines Bestückungsautomaten - auf das Substrat aufgebracht, bevorzugt aufgeklebt werden.In a preferred embodiment, the shaped body is produced on the substrate by means of an additive manufacturing process, in particular 3D printing. In another embodiment, the shaped body can be applied, preferably glued, to the substrate, in particular by means of an automatic placement machine.

Der Formkörper, insbesondere HIPS-Formkörper kann - insbesondere nach dem Ummolden - beispielsweise mittels eines Terpenten-haltigen Fluids, insbesondere Limonen-haltigen Fluids, oder mittels PVA-Fluid (PVA = Poly-VinylAlkohol) aus der Ausnehmung ausgewaschen werden. Vorteilhaft kann so eine feine Ausnehmungsstruktur in dem Mold-Körper erzeugt werden.The shaped body, in particular HIPS shaped body, can be washed out of the recess, for example by means of a terpentene-containing fluid, in particular limonene-containing fluid, or by means of PVA fluid (PVA=polyvinyl alcohol), especially after remoulding. A fine recess structure can advantageously be produced in the mold body in this way.

Die Erfindung wird nun im Folgenden anhand von Figuren und weiteren Ausführungsbeispielen beschrieben. Weitere vorteilhafte Ausführungsvarianten ergeben sich aus einer Kombination der in den Figuren und in den abhängigen Ansprüchen beschriebenen Merkmale.

  • 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel für einen Sensor mit Elektroden zum Erfassen von Feuchtigkeit, die in ein Moldgehäuse des Sensors wenigstens teilweise eingebettet sind und durch eine Öffnung in dem Moldgehäuse eine den Sensor umgebende Feuchtigkeit erfassen können;
  • 2 zeigt den in 1 gezeigten Sensor in einer Schnittdarstellung;
  • 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für einen Sensor zu Erfassen von Feuchtigkeit, der in das Moldgehäuse eingebettete Elektroden aufweist, wobei Öffnungen bildende Ausnehmungen in dem Moldgehäuse gebildet sind, die jeweils zu der Elektrode führen und wobei die Öffnungen in einer ebenen Erstreckung der Elektrode zueinander versetzt, insbesondere im Zick-Zack angeordnet sind.
The invention is now described below with reference to figures and further exemplary embodiments. Further advantageous embodiment variants result from a combination of the features described in the figures and in the dependent claims.
  • 1 shows an exemplary embodiment of a sensor with electrodes for detecting moisture, which are at least partially embedded in a molded housing of the sensor and can detect moisture surrounding the sensor through an opening in the molded housing;
  • 2 shows the in 1 sensor shown in a sectional view;
  • 3 shows an exemplary embodiment of a sensor for detecting moisture, which has electrodes embedded in the mold housing, with openings forming recesses being formed in the mold housing, which each lead to the electrode and with the openings being offset from one another in a planar extent of the electrode, in particular in are arranged zigzag.

1 zeigt - schematisch - ein Ausführungsbeispiel für einen Sensor 1. Der Sensor 1 ist in diesem Ausführungsbeispiel ausgebildet, den Sensor umgebende Feuchtigkeit zu erfassen. Der Sensor 1 weist eine Verarbeitungseinheit 2, insbesondere einen Mikrocontroller, einen Mikroprozessor, einen ASIC (ASIC = Application-Specific-Integrated-Circuit), oder ein System-in-Package auf. Der Sensor 1 weist auch zwei Elektroden zum Erfassen der Feuchtigkeit auf, nämlich eine Elektrode 3 und eine Elektrode 4. Die Elektroden 3 und 4 sind in diesem Ausführungsbeispiel zueinander beabstandet angeordnet. Der Sensor 1 weist auch ein Mold-Gehäuse 5, zuvor auch Moldkörper genannt auf, welches insbesondere durch ein Kunststoffgehäuse gebildet ist. 1 shows - schematically - an embodiment of a sensor 1. In this embodiment, the sensor 1 is designed to detect the moisture surrounding the sensor. The sensor 1 has a processing unit 2, in particular a microcontroller, a microprocessor, an ASIC (ASIC=Application Specific Integrated Circuit), or a system-in-package. The sensor 1 also has two electrodes for detecting moisture, namely an electrode 3 and an electrode 4. In this exemplary embodiment, the electrodes 3 and 4 are arranged at a distance from one another. The sensor 1 also has a molded housing 5, previously also called a molded body, which is formed in particular by a plastic housing.

Die Elektroden 3 und 4 sind gemeinsam mit der Verarbeitungseinheit 2 in dem Mold-Gehäuse 5 eingebettet. Die Elektroden 3 und 4 sind jeweils durch eine elektrisch leitfähige Schicht gebildet, wobei die elektrisch leitfähige Schicht auf einem Schaltungsträger 16 angeordnet, und mit dem Schaltungsträger 16 verbunden ist.The electrodes 3 and 4 are embedded in the mold housing 5 together with the processing unit 2 . The electrodes 3 and 4 are each formed by an electrically conductive layer, the electrically conductive layer being arranged on a circuit carrier 16 and being connected to the circuit carrier 16 .

Die Elektroden 3 und 4 sind jeweils durch Ausnehmungen in dem Mold-Gehäuse 5 von außen zugänglich, und können so eine Feuchtigkeit außerhalb des Mold-Gehäuses 5 erfassen. Der Sensor 1 ist beispielsweise ein Impedanzsensor, welcher eine zwischen den Elektroden 3 und 4 gebildete Impedanz, insbesondere Kapazität und/oder einen ohmschen Widerstand erfassen kann. Die Ausnehmungen bilden so eine Öffnung in dem Mold-Gehäuse 5, durch welche die Elektroden 3 und 4 von außen zugänglich sind. Die Elektrode 3 ist durch drei jeweils entlang einer Geraden 12 zueinander beabstandet angeordnete Ausnehmungen 6, 7 und 8 von außen zugänglich. Die Elektrode 4 ist durch drei, jeweils entlang einer Geraden 13 zueinander beabstandet angeordnete, Ausnehmungen 9, 10 und 11 von außen zugänglich.The electrodes 3 and 4 are each accessible from the outside through recesses in the mold housing 5 and can thus detect moisture outside of the mold housing 5 . The sensor 1 is an impedance sensor, for example, which can detect an impedance formed between the electrodes 3 and 4, in particular a capacitance and/or an ohmic resistance. The recesses form an opening in the mold housing 5 through which the electrodes 3 and 4 of are accessible outside. The electrode 3 is accessible from the outside through three recesses 6 , 7 and 8 which are spaced apart from one another along a straight line 12 . The electrode 4 is accessible from the outside through three recesses 9 , 10 and 11 , each spaced apart from one another along a straight line 13 .

Die Geraden 12 und 13 sind mittels eines Abstands 14 - insbesondere in einer ebenen Erstreckung des Schaltungsträgers 16 - voneinander beabstandet.The straight lines 12 and 13 are spaced apart from one another by a distance 14--in particular in a planar extension of the circuit carrier 16.

Die Ausnehmungen, welche zu der ersten Elektrode 3 hinführen, sind somit entlang einer Reihe angeordnet, welche von der Reihe der Ausnehmungen, gebildet durch die Ausnehmungen 9, 10 und 11, welche zu der weiteren Elektrode 4 hinführen, durch denselben Abstand 14 beabstandet sind.The recesses leading to the first electrode 3 are thus arranged along a row spaced by the same distance 14 from the row of recesses formed by the recesses 9, 10 and 11 leading to the further electrode 4.

Die Verarbeitungseinheit 2 ist eingangsseitig mit den Elektroden 3 und 4 verbunden. Die Verarbeitungseinheit 2 ist ausgebildet, die von den Elektroden durch die Ausnehmungen außerhalb des Sensors 1 erfasste Feuchtigkeit, insbesondere kapazitiv und/oder mittels ohmscher Widerstandsmessung, zu erfassen und ein Sensorsignal zu erzeugen, das die erfasste physikalische Größe, in diesem Ausführungsbeispiel die Feuchtigkeit repräsentiert. Der Sensor 1 weist auch elektrische Anschlüsse auf, von denen ein Anschluss 15 beispielhaft bezeichnet ist. Der Sensor 1 kann das Sensorsignal, insbesondere Feuchtigkeitssignal, beispielsweise an dem Anschluss 15, bereitstellen.The processing unit 2 is connected to the electrodes 3 and 4 on the input side. The processing unit 2 is designed to detect the moisture detected by the electrodes through the recesses outside of the sensor 1, in particular capacitively and/or by means of an ohmic resistance measurement, and to generate a sensor signal that represents the detected physical quantity, in this exemplary embodiment the moisture. The sensor 1 also has electrical connections, of which a connection 15 is designated as an example. The sensor 1 can provide the sensor signal, in particular the moisture signal, for example at the connection 15 .

Der Sensor 1 kann somit die den Sensor 1 umgebende Feuchtigkeit, insbesondere Luftfeuchtigkeit, oder Flüssigkeit, durch sechs Ausnehmungen durch das Mold-Gehäuse 5 hindurch erfassen, wobei jede der Ausnehmungen zu einer der Elektroden hinführt.The sensor 1 can thus detect the moisture surrounding the sensor 1, in particular atmospheric moisture, or liquid, through six recesses through the mold housing 5, with each of the recesses leading to one of the electrodes.

2 zeigt den in 1 bereits dargestellten Sensor 1 in einer Schnittdarstellung. Die Elektroden 3 und 4 sind jeweils als elektrisch leitfähige Schicht auf dem Schaltungsträger 16 ausgebildet. Der Schaltungsträger 16 ist beispielsweise durch eine Leiterplatte gebildet. 2 zeigt die Ausnehmungen 8 und 11, welche jeweils mittels des Abstands 14 zueinander beabstandet sind, und wobei jede der Ausnehmungen 8 und 11 zu zueinander verschiedenen Elektroden, nämlich den Elektroden 3 beziehungsweise zur Elektrode 4 hinführen. 2 shows the in 1 already shown sensor 1 in a sectional view. The electrodes 3 and 4 are each formed as an electrically conductive layer on the circuit carrier 16 . The circuit carrier 16 is formed, for example, by a printed circuit board. 2 12 shows the recesses 8 and 11, which are each spaced apart from one another by means of the distance 14, and wherein each of the recesses 8 and 11 lead to mutually different electrodes, namely the electrodes 3 and the electrode 4, respectively.

Die Ausnehmungen 8 und 11 sind in diesem Ausführungsbeispiel jeweils stumpfkegelförmig ausgebildet, wobei die Ausnehmungen jeweils von der Elektrode wegführend verjüngt ausgebildet sind. Vorteilhaft kann die feuchtigkeitserfassende Elektrodenfläche der Elektrode 3 beziehungsweise der Elektrode 4 so größer ausgebildet sein, als die Öffnung in dem Mold-Gehäuse 5, durch welche die Elektrode von außen zugänglich ist.In this exemplary embodiment, the recesses 8 and 11 are each designed in the shape of a truncated cone, with the recesses each being designed to taper away from the electrode. Advantageously, the moisture-sensing electrode surface of the electrode 3 or of the electrode 4 can be made larger than the opening in the mold housing 5 through which the electrode is accessible from the outside.

Die Ausnehmungen 8 und 11 können durch ein Verfahren erzeugt werden, bei dem auf den Schaltungsträger 16, insbesondere die Elektrode 3 und/oder 4 ein der Form der Ausnehmung entsprechender - in 2 gestrichelt angedeuteter - Formkörper 17 -beispielsweise mittels eines additiven Fertigungsverfahrens - aufgebracht wird. In einem weiteren Schritt kann der Schaltungsträger mit Moldmasse ummoldet werden. Der Formkörper 17 kann in einem weiteren Schritt aus dem Moldkörper entfernt, insbesondere ausgewaschen oder ausgeschmolzen werden. Vorteilhaft kann die Ausnehmung so einen Konus aufweisen, der nach außen hin verjüngt gebildet ist. Der Konus bildet so einen Hinterschnitt, der mittels eines zweiteiligen Spritzgusswerkzeugs nicht erzeugt werden könnte.The recesses 8 and 11 can be produced by a method in which the circuit carrier 16, in particular the electrode 3 and/or 4, is provided with a 2 Shaped body 17, indicated by dashed lines, is applied, for example by means of an additive manufacturing process. In a further step, the circuit carrier can be overmolded with molding compound. The molded body 17 can be removed from the molded body in a further step, in particular washed out or melted out. Advantageously, the recess can thus have a cone that tapers outwards. The cone thus forms an undercut that could not be produced using a two-part injection molding tool.

Das Moldgehäuse 5 mit den zu den Elektroden hin nach innen erweiterten Ausnehmungen 8 und 11kann in einer anderen Ausführungsform mittels eines additiven Fertigungsverfahrens, beispielsweise 3D-Druck erzeugt werden. Der Moldkörper ist in dieser Ausführungsform beispielsweise aus Polylactat gebildet.In another embodiment, the molded housing 5 with the recesses 8 and 11 widened inwards towards the electrodes can be produced by means of an additive manufacturing process, for example 3D printing. In this embodiment, the molded body is formed from polylactate, for example.

3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für einen Sensor 20. Der Sensor 20 weist ein Mold-Gehäuse 21, insbesondere Kunststoffgehäuse, beispielsweise Epoxidharz-Gehäuse, auf. Der Sensor 20 weist auch eine Verarbeitungseinheit 22 auf, welche beispielsweise durch einen ASIC, einen Mikrocontroller oder einen Mikroprozessor gebildet ist. Die Verarbeitungseinheit 22 ist eingangsseitig mit zwei zueinander beabstandet angeordneten Elektroden 23 und 24 verbunden. Die Elektroden 23 und 24 sind jeweils durch eine elektrisch leitfähige Schicht gebildet. Die Verarbeitungseinheit 22 und die Elektroden 23 und 24 können beispielsweise gemeinsam auf einem Schaltungsträger angeordnet sein. Die Verarbeitungseinheit 22 und die Elektroden 23 und 24 sind jeweils in das Mold-Gehäuse 21 eingebettet. Die Elektroden 23 und 24 sind so von einer äußeren Oberfläche des Mold-Gehäuses 21 beabstandet. 3 shows an exemplary embodiment of a sensor 20. The sensor 20 has a molded housing 21, in particular a plastic housing, for example an epoxy resin housing. The sensor 20 also has a processing unit 22 which is formed, for example, by an ASIC, a microcontroller or a microprocessor. The processing unit 22 is connected on the input side to two electrodes 23 and 24 which are spaced apart from one another. The electrodes 23 and 24 are each formed by an electrically conductive layer. The processing unit 22 and the electrodes 23 and 24 can, for example, be arranged together on a circuit carrier. The processing unit 22 and the electrodes 23 and 24 are embedded in the mold case 21, respectively. The electrodes 23 and 24 are thus spaced from an outer surface of the mold housing 21 .

Die Verarbeitungseinheit 22 ist beispielsweise ausgebildet, ein Testsignal zum Erfassen der physikalischen Größe zu erzeugen und an die Elektroden zu senden und die Physikalische Größe in Abhängigkeit des Testsignals erfassen. Vorteilhaft kann so ein Digitalanschluss des Mikrocontrollers unmittelbar mit den Elektroden verbunden sein. Eine solche Testanordnung ist beispielsweise in der DE 10 2017 222 845 A1 Oder Anmelderin beschrieben.The processing unit 22 is designed, for example, to generate a test signal for detecting the physical variable and to send it to the electrodes and to detect the physical variable as a function of the test signal. In this way, a digital connection of the microcontroller can advantageously be connected directly to the electrodes. Such a test arrangement is, for example, in DE 10 2017 222 845 A1 Or applicant described.

Das Mold-Gehäuse 21 weist für jede der Elektroden 23 und 24 wenigstens zwei, in diesem Ausführungsbeispiel vier Ausnehmungen auf, durch welche die Elektroden von außen zugänglich sind, und so eine Feuchtigkeit außerhalb des Mold-Gehäuses 21 erfassen können.For each of the electrodes 23 and 24 , the mold housing 21 has at least two, in this exemplary embodiment four, recesses through which the electrodes are accessible from the outside and can thus detect moisture outside of the mold housing 21 .

Die Ausnehmungen, welche jeweils zu derselben Elektrode hinführen, sind in diesem Ausführungsbeispiel entlang einer Längserstreckung 31 - anders als in 1 - zueinander versetzt angeordnet.The recesses, which each lead to the same electrode, are in this embodiment along a longitudinal extension 31 - unlike in 1 - arranged offset to each other.

Die Ausnehmungen, die zu derselben Elektrode hinführen, sind auf diese Weise entlang der Längserstreckung 31 zueinander versetzt, insbesondere im Zick-Zack angeordnet. In diesem Ausführungsbeispiel führt eine Ausnehmung 26 zu der Elektrode 24, und eine dieser gegenüberliegende Ausnehmung 25 zu der Elektrode 23.The recesses leading to the same electrode are in this way offset to one another along the longitudinal extent 31, in particular arranged in a zigzag pattern. In this exemplary embodiment, a recess 26 leads to the electrode 24, and a recess 25 opposite this leads to the electrode 23.

Eine weitere Ausnehmung 28, welche zu der Elektrode 24 führt, und von der Elektrode 26 entlang der Längserstreckung 31 beabstandet ist, ist zu einer Ausnehmung 27 gegenüberliegend angeordnet, wobei die Ausnehmung 27 zu der weiteren Elektrode 23 führt.A further recess 28 which leads to the electrode 24 and is spaced apart from the electrode 26 along the longitudinal extent 31 is arranged opposite a recess 27 , the recess 27 leading to the further electrode 23 .

Die Ausnehmungen 28 und 27, welche einander gegenüberliegen, sind mittels eines Abstandes 30 voneinander beabstandet. Die Ausnehmungen 26 und 25, welche einander gegenüberliegen, sind mittels eines Abstands 29 voneinander beabstandet. Die Abstände 29 und 30 sind in diesem Ausführungsbeispiel gleich ausgebildet. Zueinander entlang der Längserstreckung 31 beabstandete Ausnehmungen, welche zu derselben Elektrode führen, liegen jeweils einer entsprechenden Ausnehmung gegenüber, die zu der weiteren Elektrode hinführt, wobei einander gegenüberliegende Ausnehmungen, die zu verschiedenen Elektroden hinführen, jeweils gleich voneinander beabstandet sind. Vorteilhaft kann durch eine solche Zick-Zack-förmige Anordnung der Ausnehmungen eine Erfassungssicherheit gebildet sein, wenn ein Teil der Ausnehmungen - beispielsweise durch Verschmutzung - verstopft ist. Verstopfungen, die entlang einer geometrischen Linie auf die entlang der geometrischen Linie angeordneten Ausnehmungen wirken, können somit nicht sämtliche Ausnehmungen verstopfen, die zu derselben Elektrode führen.The recesses 28 and 27 which face each other are spaced apart by a distance 30 from each other. The recesses 26 and 25, which face each other, are spaced apart from each other by a distance 29. FIG. The distances 29 and 30 are the same in this embodiment. Recesses spaced apart from one another along the longitudinal extent 31 leading to the same electrode each face a corresponding recess leading to the further electrode, with opposite recesses leading to different electrodes being equally spaced from one another. Advantageously, such a zigzag arrangement of the recesses can provide detection reliability if some of the recesses are clogged, for example due to dirt. Blockages that act on the recesses arranged along the geometric line along a geometric line can therefore not block all of the recesses that lead to the same electrode.

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Zitierte PatentliteraturPatent Literature Cited

  • DE 112013006033 T5 [0002]DE 112013006033 T5 [0002]
  • DE 102017222845 A1 [0033]DE 102017222845 A1 [0033]

Claims (11)

Sensor (1, 20) zum Erfassen von Feuchtigkeit, wobei der Sensor (1, 20) einen Moldkörper (5, 21) aufweist und wenigstens zwei Elektroden (3, 4, 23, 24), die mit dem Moldkörper (5, 21) verbunden und in einer Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) des Moldkörpers (5, 21) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der Moldkörper (5, 21) für jede Elektrode (3, 4, 23, 24) wenigstens oder nur eine Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) aufweist, wobei die Ausnehmungen (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) zueinander beabstandet (13) angeordnet sind.Sensor (1, 20) for detecting moisture, the sensor (1, 20) having a molded body (5, 21) and at least two electrodes (3, 4, 23, 24) which are connected to the molded body (5, 21) connected and in a recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) of the molded body (5, 21) are arranged, characterized in that the molded body (5, 21) for each electrode (3, 4, 23, 24) has at least or only one recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28), the recesses (6, 7, 8, 9, 10 , 11, 25, 26, 27, 28) spaced (13) from each other. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (3, 4, 23, 24) als elektrisch leitfähige Schicht ausgebildet ist, wobei die Elektrode (3, 4, 23, 24) durch wenigstens zwei Ausnehmungen von außen für Feuchtigkeit zugänglich ist.sensor after claim 1 , characterized in that the electrode (3, 4, 23, 24) is designed as an electrically conductive layer, the electrode (3, 4, 23, 24) being accessible to moisture from the outside through at least two recesses. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (3, 4, 23, 24) in einer Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) eines Schaltungsträgers (16) angeordnet ist.sensor after claim 1 or 2 , characterized in that the electrode (3, 4, 23, 24) is arranged in a recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) of a circuit carrier (16). Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektrode (3, 4, 23, 24) am einem Grund der Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) angeordnet ist und eine Tiefe der Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) zwischen 50 Mikrometer und 10000 Mikrometer beträgt.Sensor according to one of the preceding claims, characterized in that the electrode (3, 4, 23, 24) is arranged on a base of the recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28). and a depth of the recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) is between 50 microns and 10,000 microns. Sensor (1, 20) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Durchmesser der Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) zwischen 100 Mikrometer und 500 Mikrometer beträgt.Sensor (1, 20) according to one of the preceding claims, characterized in that a diameter of the recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) is between 100 micrometers and 500 micrometers. Sensor (1, 20) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) zylinderförmig ausgebildet ist.Sensor (1, 20) according to one of the preceding claims, characterized in that the recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) is cylindrical. Sensor (1, 20) nach einem der vorhergehenden Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) zu einer Öffnung in dem Moldkörper (5, 21) hin verjüngt ausgebildet ist.Sensor (1, 20) according to any one of the preceding Claims 1 until 5 , characterized in that the recess (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) to an opening in the mold body (5, 21) is tapered. Sensor (1, 20) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) die zu verschiedenen Elektroden (3, 4, 23, 24) führen denselben Abstand (29, 30) zueinander aufweisen.Sensor (1, 20) according to one of the preceding claims, characterized in that the recesses (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) leading to different electrodes (3, 4, 23, 24) have the same distance (29, 30) to each other. Sensor (1, 20) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmungen (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) die zu derselben Elektrode (3, 4, 23, 24) führen zueinander versetzt angeordnet sind.Sensor (1, 20) according to one of the preceding claims, characterized in that the recesses (6, 7, 8, 9, 10, 11, 25, 26, 27, 28) leading to the same electrode (3, 4, 23, 24) lead to each other are offset. Verfahren zum Erzeugen einer Ausnehmung in einem elektronischen Bauelement (1, 20) mit einem Moldkörper (5, 21), bei dem auf ein Substrat (16) mit einer elektrisch leitfähigen Schicht (3, 4, 23, 24) ein fluidlöslicher Formkörper (17) derart aufgebracht wird, dass wenigstens ein Teil der elektrisch leitfähigen Schicht (3, 4, 23, 24) mittels des Formkörpers (17) bedeckt ist, und das Substrat (16) zusammen mit dem Formkörper (17) mit Moldmasse (5, 21) ummoldet wird, so dass der Formkörper (17) von außen zugänglich ist, und der Formkörper (17) insbesondere mittels eines Lösungsfluids aus dem Moldkörper herausgelöst oder herausgewaschen wird, so dass an dessen Ort eine Ausnehmung (8, 11) in dem Moldkörper (5, 21) erzeugt ist, die bis hin zu der Elektrode (3, 4, 23, 24) reicht.Method for producing a recess in an electronic component (1, 20) with a molded body (5, 21), in which a fluid-soluble shaped body (17) is applied to a substrate (16) with an electrically conductive layer (3, 4, 23, 24) in such a way that at least part of the electrically conductive layer (3, 4, 23, 24) is of the shaped body (17) is covered, and the substrate (16) together with the shaped body (17) is molded around with molding compound (5, 21), so that the shaped body (17) is accessible from the outside, and the molded body (17) is detached or washed out of the molded body, in particular by means of a solvent fluid, so that a recess (8, 11) is produced in the molded body (5, 21) at its location, which extends as far as the electrode (3, 4, 23, 24) is enough. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper aus High-Impact-Poly-Styrol gebildet ist.procedure after claim 10 , characterized in that the molded body is formed from high-impact polystyrene.
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