DE102020130270A1 - Surface property estimation system - Google Patents

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Abstract

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem umfasst: einen Sensor, der Informationen entsprechend einer Oberflächenbedingung eines Werkstücks ausgibt; und eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung, die eine ebene Oberflächeneigenschaft des Werkstücks auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten, die durch den Sensor erfasst werden, erzeugt. Die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung umfasst: eine Basisdatenbeschaffungseinheit, die als Basisdaten die Zeitabfolgedaten für jeden von vorbestimmten Winkeln beschafft, wenn eine Messposition auf einer Oberfläche des Werkstücks spiralförmig bewegt wird; eine Umfangsrattererzeugungseinheit, die Umfangsrattern bei axialen Positionen des Werkstücks auf der Grundlage der Vielzahl der Basisdaten erzeugt; und eine Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit, die ein ebenes Rattern erzeugt, indem die Vielzahl von Umfangsrattern bei den unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks als die Vielzahl von Umfangsrattern bei dem gleichen Winkel des Werkstücks betrachtet wird.A surface property estimation system includes: a sensor that outputs information corresponding to a surface condition of a workpiece; and a surface property generation device that generates a planar surface property of the workpiece based on timing data acquired by the sensor. The surface property generation device includes: a basic data acquisition unit that acquires, as basic data, the time series data for each of predetermined angles when a measurement position on a surface of the workpiece is spirally moved; a circumferential rattle generation unit that generates circumferential rattle at axial positions of the workpiece based on the plurality of the basic data; and a plane rattle generation unit that generates plane rattle by considering the plurality of circumferential rattles at the different angles of the workpiece as the plurality of circumferential rattles at the same angle of the workpiece.

Description

TECHNISCHES GEBIETTECHNICAL AREA

Die vorliegende Offenbarung betrifft ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem.The present disclosure relates to a surface property estimation system.

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

Schleifen wird beispielsweise ausgeführt, indem ein Werkzeug, das sich mit hoher Geschwindigkeit dreht, und ein sich drehendes Werkstück in Kontakt miteinander gebracht werden. Wenn eine Ratterschwingung in einem Fall auftritt in dem das Werkzeug gedreht wird, um das Werkstück zu bearbeiten, kann eine Genauigkeit einer bearbeiteten Oberfläche abnehmen oder eine übermäßige Last kann auf das Werkzeug wirken. In dem verwandten Stand der Technik ist ein Verfahren zum Erfassen eines Auftretens einer Ratterschwingung während einer Bearbeitung, indem eine Oberflächenbedingung des Werkstücks nach einem Schleifen überprüft wird, verwendet worden. Die Oberflächenbedingung des Werkstücks wird durch ein Kreisförmigkeitsabweichungsmessinstrument nach Abschluss des Schleifens gemessen. Da eine Schleifvorrichtung und ein Oberflächenbedingungsmessinstrument voneinander getrennt sind, kann es, auch wenn das Auftreten der Ratterschwingung bei einer Werkstückoberfläche erkannt wird, eine Zeitverzögerung geben, bevor die Erkennung zu Bearbeitungsbedingungen oder dergleichen rückgekoppelt wird.For example, grinding is carried out by bringing a tool rotating at high speed and a rotating workpiece into contact with each other. When chatter occurs in a case where the tool is rotated to machine the workpiece, accuracy of a machined surface may decrease or an excessive load may be applied to the tool. In the related art, a method of detecting occurrence of chatter vibration during machining by checking a surface condition of the workpiece after grinding has been used. The surface condition of the workpiece is measured by a circularity deviation measuring instrument after the grinding is completed. Since a grinding device and a surface condition measuring instrument are separate from each other, even if the occurrence of chatter vibration is detected on a workpiece surface, there may be a time lag before the detection is fed back to machining conditions or the like.

Um ein derartiges Problem zu lösen, ist ein Verfahren wie in der JP 2000 - 233 368 A zum Ausführen einer während der Bearbeitung ausgeführten Erfassung eines Auftretens einer Ratterschwingung vorgeschlagen worden. Eine Ratterschwingungserfassungseinrichtung misst beispielsweise eine Schwingungsbeschleunigung und einen Schwingungsversatz einer Schleifvorrichtung oder eines zu bearbeitenden Objekts, wobei sie bestimmt, dass eine Ratterschwingung aufgetreten ist, wenn eine Schwingung, die einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet, erfasst wird. Durch eine Erzeugung einer Ratterschwingung bei der Schleifvorrichtung können, wenn eine Ratterschwingung erfasst wird, Bearbeitungsbedingungen verändert werden, um die Ratterschwingung zu dämpfen.To solve such a problem, a method is as in FIG JP 2000 - 233 368 A for carrying out detection of occurrence of chatter vibration carried out during machining. A chatter vibration detection device measures, for example, a vibration acceleration and a vibration displacement of a grinding device or an object to be processed, and determines that a chatter vibration has occurred when a vibration that exceeds a predetermined threshold value is detected. By generating chatter vibration in the grinding apparatus, when chatter vibration is detected, machining conditions can be changed to attenuate the chatter vibration.

Obwohl entsprechend dem Ratterschwingungsverfahren der JP 2000 - 233 368 A bekannt sein kann, ob ein Rattern aufgetreten ist, ist es wünschenswert, Oberflächeneigenschaften einer Oberfläche eines Werkstücks über einem bestimmten Bereich zu kennen, um eine Verarbeitung des Werkstücks, einen Abnutzungszustands eines Schleifrads und dergleichen genauer zu erkennen. Es ist jedoch zeitaufwendig, die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks zu messen, wobei es schwierig ist, die Oberflächeneigenschaften insbesondere während der Bearbeitung zu erhalten.Although according to the chatter vibration method of the JP 2000 - 233 368 A For example, since it can be known whether chatter has occurred, it is desirable to know surface properties of a surface of a workpiece over a certain area in order to more accurately recognize processing of the workpiece, a state of wear of a grinding wheel, and the like. However, it is time consuming to measure the surface properties of the workpiece, and it is difficult to obtain the surface properties, especially during machining.

KURZZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNGBRIEF SUMMARY OF THE INVENTION

Die vorliegende Offenbarung stellt ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem bereit, das konfiguriert ist, eine Oberflächeneigenschaft eines Werkstücks während einer Schleifbearbeitung rasch zu schätzen.The present disclosure provides a surface property estimation system configured to quickly estimate a surface property of a workpiece during a grinding operation.

Gemäß einer Ausgestaltung der vorliegenden Offenbarung umfasst ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem: einen Sensor, der konfiguriert ist, Informationen entsprechend einer Oberflächenbedingung eines Werkstücks, das durch ein Schleifrad in einer Schleifvorrichtung geschliffen wird, auszugeben, wobei der Sensor zumindest einen Parameter aus einer Beschleunigung aufgrund einer Schwingung eines Kontaktelements in Kontakt mit einer Oberfläche des Werkstücks, die durch eine Drehung des Werkstücks verursacht wird, einem Versatz aufgrund der Schwingung des Kontaktelements und einem Versatz von einer Referenzposition zu der Oberfläche des Werkstücks in einem Fall, bei dem es nicht mit der Oberfläche des Werkstücks in Kontakt angeordnet ist, erfasst, wobei die Beschleunigung, der Versatz aufgrund der Schwingung und der Versatz von der Referenzposition durch eine Drehung des Werkstücks verursacht werden; und eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung, die konfiguriert ist, eine Ebene-Oberfläche-Eigenschaft des Werkstücks auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten zu erzeugen, die auf einen erfassten Wert bezogen sind, der durch den Sensor erfasst wird, wenn eine Messposition auf der Oberfläche des Werkstücks zumindest in einer Umfangsrichtung des Werkstücks bewegt wird. Die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung umfasst: eine Basisdatenbeschaffungseinheit, die konfiguriert ist, als eine Vielzahl von Basisdaten die Zeitabfolgedaten in Bezug auf eine Spiralposition für jeden von vorbestimmten Winkeln um eine Drehachse des Werkstücks herum zu beschaffen, wenn die Messposition auf der Oberfläche des Werkstücks spiralförmig bewegt wird; eine Umfangsrattererzeugungseinheit, die konfiguriert ist, Umfangsrattern bei unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks und bei unterschiedlichen axialen Positionen des Werkstücks auf der Grundlage der Vielzahl von Basisdaten in Bezug auf die Spiralposition für jeden der vorbestimmten Winkel zu erzeugen; und eine Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit, die konfiguriert ist, ein ebenes Rattern zu erzeugen, das gebildet wird, eine Vielzahl von Umfangsrattern axial Seite an Seite anzuordnen, indem die Vielzahl von Umfangsrattern bei den unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks als die Vielzahl von Umfangsrattern bei dem gleichen Winkel des Werkstücks betrachtet wird.According to an aspect of the present disclosure, a surface property estimation system includes: a sensor configured to output information corresponding to a surface condition of a workpiece that is ground by a grinding wheel in a grinding device, the sensor at least one parameter from acceleration due to vibration of a contact member in contact with a surface of the workpiece caused by rotation of the workpiece, an offset due to the vibration of the contact member, and an offset from a reference position to the surface of the workpiece in a case where it is not in contact with the surface of the workpiece is arranged, detected, wherein the acceleration, the displacement due to the vibration and the displacement from the reference position are caused by a rotation of the workpiece; and a surface property generation device configured to generate a plane-surface property of the workpiece based on time series data related to a detected value detected by the sensor when a measurement position on the surface of the workpiece is at least one Circumferential direction of the workpiece is moved. The surface property generation device includes: a basic data acquisition unit configured to acquire, as a plurality of basic data, the time series data related to a spiral position for each of predetermined angles around a rotation axis of the workpiece when the measurement position is spirally moved on the surface of the workpiece; a circumferential rattle generation unit configured to generate circumferential rattle at different angles of the workpiece and at different axial positions of the workpiece based on the plurality of basic data related to the spiral position for each of the predetermined angles; and a plane rattle generation unit configured to generate a plane rattle formed to axially arrange a plurality of circumferential rattles side by side by generating the plurality of circumferential rattles at the different angles of the workpiece than the plurality of circumferential rattles in the the same angle of the workpiece is considered.

Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem gemäß der vorliegenden Offenbarung kann die Oberflächeneigenschaft des Werkstücks während der Bearbeitung des Schleifens rasch schätzen.The surface property estimation system according to the present disclosure can quickly estimate the surface property of the workpiece during processing of grinding.

FigurenlisteFigure list

  • 1 zeigt eine Draufsicht, die eine Konfiguration einer Schleifvorrichtung 100 zeigt. 1 FIG. 10 is a plan view showing a configuration of a grinding apparatus 100.
  • 2 zeigt eine Querschnittsdarstellung, die die Umgebung einer Größenbestimmungsvorrichtung 14 der Schleifvorrichtung 100 zeigt. 2 FIG. 13 is a cross-sectional view showing the vicinity of a sizing device 14 of the grinding apparatus 100.
  • 3 zeigt ein Flussdiagramm, das einen Schleifvorgang der Schleifvorrichtung 100 zeigt. 3 FIG. 13 is a flowchart showing a grinding process of the grinding apparatus 100.
  • 4 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 1 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 4th FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 1 according to the present disclosure.
  • 5 zeigt ein konzeptionelles Diagramm, das eine Kontaktposition zeigt, wo ein Werkstück W in Kontakt mit der Größenbestimmungsvorrichtung 14 gemäß einem ersten Beispiel ist. 5 FIG. 13 is a conceptual diagram showing a contact position where a workpiece W is in contact with the sizing device 14 according to a first example.
  • 6 zeigt einen Graphen, der ein Beispiel von erfassten Daten zeigt, die in einer Spiralform erhalten werden. 6th Fig. 13 is a graph showing an example of acquired data obtained in a spiral shape.
  • 7 zeigt einen Graphen, der ein Beispiel von ersten Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D121 zeigt. 7th FIG. 13 is a graph showing an example of first acceleration chatter FFT data D121.
  • 8 zeigt ein konzeptionelles Diagramm, das einen Vorgang zur Ausbildung von Oberflächenunregelmäßigkeiten einer Oberfläche des Werkstücks W zeigt. 8th FIG. 13 is a conceptual diagram showing a process of forming surface irregularities of a surface of the workpiece W. FIG.
  • 9 zeigt einen Graphen, der ein Beispiel von ersten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D141 zeigt. 9 FIG. 13 is a graph showing an example of first acceleration chatter reversal FFT data D141.
  • 10 zeigt einen Graphen, der ein Beispiel von ersten Versatz-Ratter-FFT-Daten D142 zeigt. 10 FIG. 13 is a graph showing an example of first offset chatter FFT data D142.
  • 11A zeigt eine Datenbearbeitung, die in einer Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 ausgeführt wird. 11A FIG. 13 shows data processing carried out in a plane chatter generation unit 23.
  • 11B zeigt die Datenbearbeitung, die in der Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 ausgeführt wird. 11B FIG. 13 shows the data processing performed in the plane chatter generation unit 23.
  • 12 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 2 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 12th FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 2 according to the present disclosure.
  • 13 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 3 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 13th FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 3 according to the present disclosure.
  • 14 zeigt eine dreidimensionale Abbildung, die durch das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 3 erzeugt wird. 14th FIG. 13 shows a three-dimensional map generated by the surface property estimation system 3.
  • 15 zeigt eine Querschnittsdarstellung, die die Umgebung der Größenbestimmungsvorrichtung 14 einer Schleifvorrichtung 101 zeigt. 15th FIG. 13 is a cross-sectional view showing the vicinity of the sizing device 14 of a grinding device 101.
  • 16 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 4 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 16 FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 4 according to the present disclosure.
  • 17 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration einer ersten Ratterverstärkungskompensationseinheit zeigt. 17th Fig. 13 is a block diagram showing a configuration of a first chatter gain compensation unit.
  • 18 zeigt eine Querschnittsdarstellung, die die Umgebung eines Lasersensors 18 einer Schleifvorrichtung 102 zeigt. 18th FIG. 13 is a cross-sectional view showing the vicinity of a laser sensor 18 of a grinding device 102.
  • 19 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 5 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 19th FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 5 according to the present disclosure.
  • 20 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 6 gemäß der vorliegenden Offenbarung zeigt. 20th FIG. 12 is a block diagram showing a configuration of a surface property estimation system 6 according to the present disclosure.

BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSBEISPIELEDESCRIPTION OF THE EXEMPLARY EMBODIMENTS

(Erstes Beispiel)(First example)

Nachstehend wird ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem gemäß der vorliegenden Offenbarung unter Bezugnahme auf die 1 bis 11 beschrieben. Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 gemäß einem ersten Beispiel schätzt Oberflächeneigenschaften eines Werkstücks W in einer Schleifvorrichtung 100, die das Werkstück W schleift, während sie das Werkstück W und ein Schleifrad 12 dreht. Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 umfasst eine Größenbestimmungsvorrichtung 14, die eine Außendurchmessermessvorrichtung ist, die in der Schleifvorrichtung 100 bereitgestellt ist, einen Beschleunigungssensor 15 und eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 200.A surface property estimation system according to the present disclosure is described below with reference to FIG 1 to 11 described. A surface property estimation system 1 according to a first example estimates surface properties of a workpiece W. in a grinding device 100 that the workpiece W. while she grinds the workpiece W. and a grinding wheel 12th turns. The surface property estimation system 1 comprises a sizing device 14th , which is an outer diameter measuring device incorporated in the grinding apparatus 100 is provided an acceleration sensor 15th and a surface property generating device 200 .

(Konfiguration der Schleifvorrichtung)(Configuration of the grinding device)

Wie es in den 1 und 2 gezeigt ist, umfasst die Schleifvorrichtung 100 einen Unterbau 11, das Schleifrad 12, eine Schleifbasis 121, einen Spindelstock 131, einen Reitstock 132, einen Spindelstocktisch 133 und die Größenbestimmungsvorrichtung 14. Zwei Drehachsenrichtungsenden des Werkstücks W werden durch den Spindelstock 131 und den Reitstock 132 gehalten und gedreht. Die Schleifvorrichtung 100 formt eine Form des Werkstücks W, indem das Schleifrad 12 gegen einen Außenumfang des sich drehenden Werkstücks W angestoßen wird und der Außenumfang des Werkstücks W geschliffen wird.Like it in the 1 and 2 shown comprises the grinding device 100 a substructure 11 , the grinding wheel 12th , a grinding base 121 , a headstock 131 , a tailstock 132 , a headstock table 133 and the sizing device 14th . Two rotation axis direction ends of the workpiece W. are through the headstock 131 and the tailstock 132 held and rotated. The grinding device 100 forms a form of the Workpiece W. by the grinding wheel 12th against an outer periphery of the rotating workpiece W. is hit and the outer circumference of the workpiece W. is sanded.

Das Schleifrad 12 wird durch die Schleifbasis 121 gehalten, um um eine Achse, die parallel zu einer Z-Achse ist, drehbar zu sein. Ein Schleifbasisführungsabschnitt 122 ist an dem Unterbau 11 fixiert, wobei die Schleifbasis 121 durch den Schleifbasisführungsabschnitt 122 gehalten wird, um in einer X-Achsenrichtung bewegbar zu sein. Eine Drehantriebskraft wird an das Schleifrad 12 von einem Schleifsteindrehungsmotor 123 angelegt, wobei das Schleifrad 12 um eine Drehachse herum gedreht wird. Die Schleifbasis 121 bewegt sich in der X-Achsenrichtung derart, dass das Schleifrad 12 sich dem Werkstück W annähert, das in der X-Achsenrichtung davon entfernt ist, um das Werkstück W zu schleifen.The grinding wheel 12th is made by the grinding base 121 held to be rotatable about an axis that is parallel to a Z-axis. A grinding base guide section 122 is on the substructure 11 fixed, with the grinding base 121 through the grinding base guide section 122 is held to be movable in an X-axis direction. A rotational driving force is applied to the grinding wheel 12th from a grindstone rotation motor 123 applied, with the grinding wheel 12th is rotated around an axis of rotation. The grinding base 121 moves in the X-axis direction such that the grinding wheel 12th the workpiece W. that is away from it in the X-axis direction approximates to the workpiece W. to grind.

Ein Spindelstocktischführungsabschnitt 134 ist bei einer Position fixiert, die in der X-Achsenrichtung von dem Schleifbasisführungsabschnitt 122 auf dem Unterbau 11 beabstandet ist. Der Spindelstocktischführungsabschnitt 134 hält den Spindelstocktisch 133, um es dem Spindelstocktisch 133 zu ermöglichen, sich in einer Z-Achsenrichtung zu bewegen. Der Spindelstock 131 und der Reitstock 132 sind angeordnet, um einander auf dem Spindelstocktisch 133 gegenüberzuliegen. Zwei Enden des Werkstücks W werden durch den Spindelstock 131 und den Reitstock 132 drehbar gehalten, wobei eine Drehantriebskraft von einem Spindelstockdrehungsmotor 135 angelegt wird, um das Werkstück W zu drehen.A headstock table guide section 134 is fixed at a position that is in the X-axis direction from the grinding base guide portion 122 on the substructure 11 is spaced. The headstock table guide section 134 holds the headstock table 133 to it the headstock table 133 to be able to move in a Z-axis direction. The headstock 131 and the tailstock 132 are arranged around each other on the headstock table 133 face to face. Two ends of the workpiece W. are through the headstock 131 and the tailstock 132 rotatably supported with a rotational driving force from a headstock rotation motor 135 is applied to the workpiece W. to turn.

Die Größenbestimmungsvorrichtung 14, die eine Außendurchmessermessvorrichtung ist, umfasst ein Paar von Messelementen 141, die Kontaktabschnitte in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W sind, und ein Paar von Armen 142, die die Messelemente 141 halten. Die Messelemente 141 stoßen gegen die Oberfläche des Werkstücks W bei zwei Punkten an, die eine Drehungsmitte des Werkstücks W dazwischen einpferchen. Die Größenbestimmungsvorrichtung 14 erfasst einen Außendurchmesser des Werkstücks, indem ein mechanischer Versatz der Messelemente 141 in ein elektrisches Signal umgewandelt wird. Die Größenbestimmungsvorrichtung 14 wird durch eine Axialrichtungsbewegungsvorrichtung 143 gehalten und ist in einer axialen Richtung des Werkstücks W, das heißt in der Z-Achsenrichtung bewegbar. Eine Bewegung der Größenbestimmungsvorrichtung 14 in der Z-Achsenrichtung wird durch eine Axialrichtungsbewegungssteuerungseinheit 144 gesteuert. Eine lineare Messlehre eines Kontakttyps beziehungsweise ein lineares Messinstrument eines Kontakttyps, ein Lasersensor eines kontaktfreien Typs, ein optischer Sensor, ein Sensor eines Wirbelstromtyps oder dergleichen kann ebenso als die Außendurchmessermessvorrichtung zusätzlich zu der Größenbestimmungsvorrichtung 14 verwendet werden.The sizing device 14th , which is an outer diameter measuring device, includes a pair of measuring elements 141 , the contact portions in contact with the surface of the workpiece W. are, and a pair of arms 142 who have favourited the measuring elements 141 hold. The measuring elements 141 bump against the surface of the workpiece W. at two points that are a center of rotation of the workpiece W. pound in between. The sizing device 14th detects an outside diameter of the workpiece by a mechanical offset of the measuring elements 141 is converted into an electrical signal. The sizing device 14th is by an axial direction moving device 143 is held and is in an axial direction of the workpiece W. , that is, movable in the Z-axis direction. Movement of the sizing device 14th in the Z-axis direction is controlled by an axial direction movement control unit 144 controlled. A contact type linear gauge, a non-contact type laser sensor, an optical sensor, an eddy current type sensor, or the like can also be used as the outer diameter measuring device in addition to the sizing device 14th be used.

Die Schleifvorrichtung 100 schleift das Werkstück W durch einen in 3 gezeigten Vorgang. Ein Schleifvorgang wird auf der Grundlage von Unterschieden in einer Schleifsteinzufuhrrate aufgeteilt und wird in einer Reihenfolge eines Grobschleifvorgangs S1, eines Präzisionsschleifvorgangs S2, eines Feinschleifvorgangs S3 und eines Ausfunkenvorgangs S4 ausgeführt. Die Schleifsteinzufuhrrate jedes Vorgangs erfüllt, dass der Grobschleifvorgang S1 > der Präzisionsschleifvorgang S2 > der Feinschleifvorgang S3 > der Ausfunkenvorgang S4 gilt. In dem Grobschleifvorgang S1 wird eine grobe Form des Werkstücks W gebildet. In dem nachfolgenden Präzisionsschleifvorgang S2 und dem Feinschleifvorgang S3 wird eine Oberflächenform des Werkstücks W justiert, während die Schleifsteinzufuhrrate verringert wird. In dem abschließenden Ausfunkenvorgang S4 wird die Oberfläche des Werkstücks W fertiggestellt und das Werkstück W wird vollendet.The grinding device 100 grinds the workpiece W. through an in 3 process shown. A grinding process is divided based on differences in a grindstone supply rate, and is performed in an order of a rough grinding process S1 , a precision grinding process S2 , a fine grinding process S3 and a spark-out process S4 executed. The grindstone feed rate of each operation meets that of the rough grinding operation S1 > the precision grinding process S2 > the fine grinding process S3 > the sparking process S4 applies. In the rough grinding process S1 becomes a rough shape of the workpiece W. educated. In the subsequent precision grinding process S2 and the fine grinding process S3 becomes a surface shape of the workpiece W. adjusts while the grindstone feed rate is decreased. In the final spark-out process S4 becomes the surface of the workpiece W. finished and the workpiece W. will be completed.

Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 gemäß der vorliegenden Offenbarung schätzt vorzugsweise Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W nach dem Ausfunkenvorgang S4, bei dem das Schleifen vollendet ist. Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 gemäß der vorliegenden Offenbarung schätzt die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W während einer Bearbeitung. Während einer Bearbeitung bezieht sich auf eine Zeitdauer, bis das Werkstück W von der Schleifvorrichtung 100 entfernt wird, wobei ebenso eine Zeitdauer nach dem Ausfunkenvorgang S4 beinhaltet ist. Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 schätzt vorzugsweise die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W in einem Zustand, bei dem eine Drehung des Werkstücks W zu der Zeit des Schleifens nach dem Abschluss des Schleifens des Werkstücks W aufrechterhalten wird.The surface property estimation system 1 in accordance with the present disclosure, preferably estimates surface properties of the workpiece W. after the sparking process S4 where the grinding is completed. The surface property estimation system 1 in accordance with the present disclosure estimates the surface properties of the workpiece W. during processing. During machining refers to a period of time until the workpiece W. from the grinding device 100 is removed, also a period of time after the spark-out process S4 is included. The surface property estimation system 1 preferably estimates the surface properties of the workpiece W. in a state in which rotation of the workpiece W. at the time of grinding after the completion of grinding the workpiece W. is maintained.

(Konfiguration der Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung)(Configuration of the surface property generation device)

4 zeigt eine Konfiguration des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 1, das eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 200 umfasst. Die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 200 umfasst eine Basisdatenbeschaffungseinheit 21, eine Umfangsratternerzeugungseinheit 22, eine Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 und eine Positionskorrektureinheit 24. Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 umfasst einen Beschleunigungssensor 15, der bei einer des Paars von Größenbestimmungsvorrichtungen 14 angebracht ist. Zuerst beschafft, wie es in 5 gezeigt ist, die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 200 gemäß dem ersten Beispiel erfasste Daten, indem eine Messposition, bei der eine Beschleunigung einer Schwingung auf der Oberfläche des Werkstücks W durch den Beschleunigungssensor 15 gemessen wird, spiralförmig bewegt wird. In diesem Fall ist die Messposition eine Position, bei der das Messelement 141 der Größenbestimmungsvorrichtung 14 in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W kommt. Die erfassten Daten, die in der Spiralform erhalten werden, werden für jeden vorbestimmten Winkel in Bezug auf die Drehachse des Werkstücks W aufgeteilt, wobei sie durch die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 als Basisdaten D11 bei unterschiedlichen Winkeln und unterschiedlichen Axialrichtungspositionen des Werkstücks W beschafft werden. Die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 erzeugt ein Umfangsrattern für jede Axialrichtungsposition. Nachdem ein ebenes Rattern durch die Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 erzeugt worden ist, führt die Positionskorrektureinheit 24 eine Korrektur derart aus, dass Ratterphasen bei Endpunkten des Umfangsrattern miteinander übereinstimmen. 4th Fig. 10 shows a configuration of the surface property estimation system 1 , which is a surface property generating device 200 includes. The surface property generating device 200 includes a basic data acquisition unit 21 , a circumferential rattle generation unit 22nd , a plane chatter generating unit 23 and a position correction unit 24 . The surface property estimation system 1 includes an accelerometer 15th at one of the pair of sizing devices 14th is appropriate. First procured as it is in 5 shown is the surface property generating device 200 according to the first example acquired data by a measurement position at which a Acceleration of a vibration on the surface of the workpiece W. through the accelerometer 15th is measured, is moved in a spiral. In this case, the measuring position is a position where the measuring element 141 the sizing device 14th in contact with the surface of the workpiece W. comes. The acquired data, which is obtained in the spiral shape, is made for every predetermined angle with respect to the axis of rotation of the workpiece W. divided by the basic data collection unit 21 as basic data D11 at different angles and different axial direction positions of the workpiece W. be procured. The circumferential rattle generating unit 22nd generates a circumferential rattle for each axial direction position. After a plane rattle by the plane rattle generating unit 23 has been generated, the position correction unit performs 24 a correction in such a way that chatter phases coincide with one another at end points of the circumferential chatter.

(Basisdatenbeschaffungseinheit)(Basic data acquisition unit)

Die Basisdaten D11 sind Zeitabfolgedaten, die eine Beschleunigung oder einen Versatz betreffen. Die Basisdaten D11, die eine Beschleunigung betreffen, werden als Beschleunigungsbasisdaten D11 bezeichnet, und die Basisdaten D11, die einen Versatz betreffen, werden als Versatzbasisdaten D112 bezeichnet. Die Basisdaten D11 werden im Allgemeinen als Daten auf der Grundlage einer Zeitachse beschafft, wobei sie ebenso von einer Zeit und einer Drehzahl des Werkstücks W in Daten, die auf einem Drehwinkel des Werkstücks W beruhen, umgewandelt werden können.The basic data D11 is time series data relating to an acceleration or an offset. The basic data D11 relating to acceleration are used as acceleration base data D11 and the basic data D11 relating to an offset are referred to as the offset base data D112 designated. The basic data D11 are generally acquired as data based on a time axis, and they are also of a time and a rotational speed of the workpiece W. in data based on an angle of rotation of the workpiece W. based, can be transformed.

Die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 beschafft die Beschleunigungsbasisdaten D11 auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten, die Beschleunigungsdaten betreffen, die ein erfasster Wert des Beschleunigungssensors 15 sind. Der Beschleunigungssensor 15 ist bei einer des Paars von Größenbestimmungsvorrichtungen 14 angebracht und ist indirekt in Kontakt mit dem sich drehenden Werkstück W über die Größenbestimmungsvorrichtung 14. Das heißt, die Größenbestimmungsvorrichtung 14 fungiert als ein Kontaktelement des Beschleunigungssensors 15. Der Beschleunigungssensor 15 beschafft Beschleunigungsdaten einer Schwingung der Größenbestimmungsvorrichtung 14, die in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W ist, während einer Drehung und gibt die Beschleunigungsdaten als Informationen über eine Oberflächenbedingung des Werkstücks W aus. In einem Fall, in dem ein Sensor eines kontaktfreien Typs als die Außendurchmessermessvorrichtung verwendet wird, kann der Beschleunigungssensor 15 mit einem Kontaktelement derart versehen sein, dass zumindest ein Teil des Beschleunigungssensors 15 in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W ist.The basic data collection unit 21 obtains the acceleration base data D11 based on time series data relating to acceleration data that is a detected value of the acceleration sensor 15th are. The accelerometer 15th is with one of the pair of sizing devices 14th attached and is in indirect contact with the rotating workpiece W. via the sizing device 14th . That is, the sizing device 14th acts as a contact element of the acceleration sensor 15th . The accelerometer 15th acquires acceleration data of a vibration of the sizing device 14th that are in contact with the surface of the workpiece W. is during rotation and gives the acceleration data as information on a surface condition of the workpiece W. out. In a case where a non-contact type sensor is used as the outer diameter measuring device, the acceleration sensor may 15th be provided with a contact element such that at least part of the acceleration sensor 15th in contact with the surface of the workpiece W. is.

Wie es in 5 gezeigt ist, beschafft die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 als Basisdaten Zeitabfolgedaten in Bezug auf eine Spiralposition für jeden vorbestimmten Winkel in Bezug auf die Drehachse des Werkstücks, wenn die Messposition auf der Oberfläche des Werkstücks W durch den Beschleunigungssensor 15 spiralförmig bewegt wird. Das heißt, in einem Zustand, in dem das Werkstück W gedreht wird, wird das Messelemente 141 der Größenbestimmungsvorrichtung 14 in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W gebracht, wobei die Größenbestimmungsvorrichtung 14 in der axialen Richtung des Werkstücks W durch die Axialrichtungsbewegungsvorrichtung 143 bewegt wird. Auf diese Weise wird eine Kontaktposition zwischen der Größenbestimmungsvorrichtung 14 und dem Werkstück W entlang einer spiralförmigen Verlaufskurve auf der Oberfläche des Werkstücks W bewegt, wobei die Messposition ebenso in der gleichen Art und Weise entlang der spiralförmigen Verlaufskurve durch den Beschleunigungssensor 15 bewegt wird. Eine Bewegungsgeschwindigkeit der Größenbestimmungsvorrichtung 14 in der axialen Richtung des Werkstücks W ist vorzugsweise etwa 1 mm pro Umdrehung des Werkstücks W. Die Bewegungsgeschwindigkeit der Größenbestimmungsvorrichtung 14 kann durch die Axialrichtungsbewegungssteuerungseinheit 144 gesteuert werden.Like it in 5 is shown, the basic data acquisition unit acquires 21 as basic data, time series data with respect to a spiral position for every predetermined angle with respect to the rotation axis of the workpiece when the measurement position is on the surface of the workpiece W. through the accelerometer 15th is moved in a spiral. That is, in a state in which the workpiece W. is rotated, the measuring element becomes 141 the sizing device 14th in contact with the surface of the workpiece W. brought, the sizing device 14th in the axial direction of the workpiece W. by the axial direction moving device 143 is moved. In this way, a contact position between the sizing device becomes 14th and the workpiece W. along a spiral course curve on the surface of the workpiece W. moved, the measuring position also in the same way along the spiral course curve by the acceleration sensor 15th is moved. A moving speed of the sizing device 14th in the axial direction of the workpiece W. is preferably about 1 mm per revolution of the workpiece W. . The speed of movement of the sizing device 14th can by the axial direction movement control unit 144 being controlled.

Wenn die erfassten Daten in der Spiralform beschafft werden, beschafft die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 kontinuierlich Daten, während die Größenbestimmungsvorrichtung 14 in der axialen Richtung bewegt wird. Zu dieser Zeit ist es zu bevorzugen, dass die Axialrichtungsbewegungssteuerungseinheit 144 eine Axialrichtungslänge des Werkstücks W, die für eine Datenbeschaffung erforderlich ist, berechnet und eine relative Position zwischen der Größenbestimmungsvorrichtung 14 und dem Werkstück W in einer Position, bei der ein Axialrichtungsbewegungsbetrag der spiralförmigen Bewegung der Messposition auf dem Werkstück W sichergestellt werden kann, betätigt.When the acquired data is acquired in the spiral form, the basic data acquisition unit acquires 21 continuously data while the sizing device 14th is moved in the axial direction. At this time, it is preferable that the axial direction movement control unit 144 an axial direction length of the workpiece W. required for data acquisition and a relative position between the sizing device 14th and the workpiece W. in a position where an axial direction movement amount of the spiral movement of the measurement position on the workpiece W. can be ensured, actuated.

Die erfassten Daten, die in der Spiralform beschafft werden, werden als eine Abfolge von kontinuierlichen erfassten Daten beschafft, wie es in 6 gezeigt ist. Die Daten werden für jede Region, die die durch gestrichelte Linien in 6 angegeben ist, derart aufgeteilt, dass ein zugehöriger Winkel in Bezug auf die Drehachse des Werkstücks W der jeweils vorbestimmte Winkel ist. Die aufgeteilten erfassten Daten werden als die Basisdaten D11 bei jeder Axialrichtungsposition des Werkstücks W beschafft. Indem die spiralförmigen erfassten Daten in einer Umfangsrichtung aufteilt werden, kann eine Vielzahl von Datenteilen, die eine bestimmte Breite in der axialen Richtung des Werkstücks W aufweisen, erhalten werden. Der vorbestimmte Winkel, durch den die erfassten Daten aufgeteilt werden, ist vorzugsweise kleiner oder gleich 90 Grad, mehr bevorzugt kleiner oder gleich 45 Grad und noch mehr bevorzugt kleiner oder gleich 30 Grad. Eine Untergrenze des vorbestimmten Winkels ist nicht spezifisch begrenzt, wobei es zu bevorzugen ist, die Oberfläche des Werkstücks W in Sektionen aufzuteilen, die eine Umfangsrichtungslänge aufweisen, die ausreichend ist, um eine Periode der Drehfrequenz des Schleifrads 12 zu erfassen. Außerdem ist es zu bevorzugen, 200 bis 300 Datenpunkte in jeder der aufgeteilten Sektionen zu beschaffen.The acquired data acquired in the spiral form is acquired as a sequence of continuous acquired data, as shown in FIG 6th is shown. The data are presented for each region covered by the dashed lines in 6th is specified, divided in such a way that an associated angle with respect to the axis of rotation of the workpiece W. is the respectively predetermined angle. The split recorded data is called the basic data D11 at each axial direction position of the workpiece W. procured. By dividing the spirally captured data in a circumferential direction, a plurality of pieces of data having a certain width in the axial direction of the workpiece can be made W. have, are obtained. The predetermined angle by which the captured data is divided is preferably less than or equal to equal to 90 degrees, more preferably less than or equal to 45 degrees and even more preferably less than or equal to 30 degrees. A lower limit of the predetermined angle is not specifically limited, but it is preferable to be the surface of the workpiece W. to be divided into sections having a circumferential length sufficient to cover one period of the rotational frequency of the grinding wheel 12th capture. It is also preferable to get 200 to 300 data points in each of the divided sections.

(Umfangsrichtungsratternerzeugungseinheit)(Circumferential direction rattle generation unit)

Jede Region, die für jeden vorbestimmten Winkel aufgeteilt ist, ist eine Region, die eine Umfangslänge auf der Oberfläche des Werkstücks W aufweist. Die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 erzeugt ein Umfangsrattern bei jeder Axialrichtungsposition auf der Grundlage einer Vielzahl von Basisdatenteilen D1, die für jede Region beschafft werden, die die Umfangsrichtungslänge aufweist. Da die erfassten Daten jeder aufteilten Region ein Teil der Spiralform sind, weisen die erfassten Daten eine Umfangsrichtungslänge und eine Axialrichtungslänge auf. Da jedoch die Axialrichtungslänge in ausreichendem Maße im Vergleich zu der Umfangsrichtungslänge klein ist, kann die Axialrichtungslänge als Punkte auf dem gleichen Umfang betrachtet werden, solange das Umfangsrattern erzeugt werden kann.Each region divided for every predetermined angle is a region having a circumferential length on the surface of the workpiece W. having. The circumferential rattle generating unit 22nd generates circumferential rattle at each axial direction position based on a plurality of pieces of basic data D1 that are obtained for each region having the circumferential direction length. Since the acquired data of each divided region is part of the spiral shape, the acquired data has a circumferential direction length and an axial direction length. However, since the axial direction length is sufficiently small compared to the circumferential direction length, the axial direction length can be regarded as points on the same circumference as long as the circumferential chatter can be generated.

Das Verfahren zum Erzeugen des Umfangsratterns auf der Grundlage der Basisdaten D11 ist nicht spezifisch begrenzt. Die Zeitabfolgedaten, die eine Beschleunigung betreffen, die der erfasste Wert sind, der durch den Beschleunigungssensor 15 erfasst wird, können in Zeitabfolgedaten umgewandelt werden, die einen Versatz betreffen, oder sie können direkt verwendet werden, oder die erfassten Daten können verschiedenen Bearbeitungstypen unterzogen werden, um das Umfangsrattern zu erhalten. Die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 umfasst vorzugsweise eine erste Ratterfiltervorrichtung, die auf der Grundlage der Basisdaten D11 eine spezifische Frequenzkomponente extrahiert, die eine Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifrads 12 entspricht, um ein erstes Umfangsrichtungsrattern zu erzeugen. Das erste Umfangsrichtungsrattern ist eine Ratterschwingung, die durch eine Drehung des Schleifrads 12 verursacht wird, unter Ratterschwingungen in der Umfangsrichtung. Die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 gemäß dem ersten Beispiel umfasst eine erste Ratterfiltervorrichtung 22a, die durch eine erste Ratter-FFT-Analyseeinheit 221, eine erste Ratterextrahiereinheit 222, eine erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 und eine erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224 gebildet wird. die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 führt eine FFT-Analyse bei den erfassten Daten aus, sie extrahiert die spezifische Frequenzkomponente und sie führt eine Umkehr-FFT-Analyse aus, um das erste Umfangsrichtungsrattern zu erzeugen.The method of generating the circumferential rattle based on the basic data D11 is not specifically limited. The time series data relating to acceleration that is the detected value obtained by the acceleration sensor 15th detected can be converted into time series data relating to an offset, or used directly, or the detected data can be subjected to various types of processing to obtain the circumferential chatter. The circumferential rattle generating unit 22nd preferably comprises a first chatter filter device based on the basic data D11 extracts a specific frequency component that is a rotational frequency frequency component that is the rotational frequency of the grinding wheel 12th to generate a first circumferential directional chatter. The first circumferential direction rattle is a chatter vibration caused by rotation of the grinding wheel 12th is caused, with chatter vibrations in the circumferential direction. The circumferential rattle generating unit 22nd according to the first example comprises a first chatter filter device 22a by a first chatter FFT analysis unit 221 , a first rat extraction unit 222 , a first chatter-reversal FFT analysis unit 223 and a first chatter offset conversion unit 224 is formed. the circumferential rattle generating unit 22nd performs FFT analysis on the acquired data, it extracts the specific frequency component, and it performs reverse FFT analysis to generate the first circumferential directional chatter.

(Erste Ratter-FFT-Analyseeinheit)(First chatter FFT analysis unit)

Die erste Ratter-FFT-Analyseeinheit 221 führt eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Basisdaten D11 aus, und erzeugt erste Ratter-FFT-Daten D12. Erste Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D121, bei denen eine horizontale Achse eine Frequenz angibt, während eine vertikale Achse eine Beschleunigung angibt, werden aus den Beschleunigungsbasisdaten D11 erzeugt, die die Basisdaten D11 sind, die eine Beschleunigung betreffen, wie es in 7 gezeigt ist. Unterdessen werden erste Versatz-Ratter-FFT-Daten D122, bei denen die horizontale Achse eine Frequenz angibt, während die vertikale Achse einen Versatz angibt, von den Versatzbasisdaten D112 erzeugt.The first chatter FFT analysis unit 221 performs an FFT analysis based on the basic data D11 and generates first chatter FFT data D12 . First acceleration chatter FFT data D121 , in which a horizontal axis indicates a frequency and a vertical axis indicates an acceleration, are made from the acceleration base data D11 which generates the basic data D11 which concern an acceleration, as it is in 7th is shown. Meanwhile, the first offset chatter FFT data D122 , where the horizontal axis indicates a frequency while the vertical axis indicates an offset, from the offset base data D112 generated.

(Erste Ratterextrahiereinheit)(First rat extraction unit)

Die erste Ratterextrahiereinheit 222 extrahiert aus den ersten Ratter-FFT-Daten D12 die spezifische Frequenzkomponente, die die Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifrads 12 entspricht. Wie die ersten Ratter-FFT-Daten D12 gibt in ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten D13, die durch die erste Ratterextrahiereinheit 22 extrahiert werden, die horizontale Achse eine Frequenz an, während die vertikale Achse eine Beschleunigung oder einen Versatz angibt. Nummerische Werte, die zu einer spezifischen Frequenz unterschiedlich sind, sind jedoch ausgenommen. Hierbei wird die spezifische Frequenzkomponente aus den ersten Beschleunigung-Ratter-FFT-Daten D121 extrahiert, um erste extrahierte Beschleunigungsratter-FFT-Daten D131 zu erzeugen. Die spezifische Frequenzkomponente ist eine Frequenzkomponente, die gleich zu der Drehfrequenz des Schleifrads 12 ist oder ein ganzzahliges Vielfaches der Drehfrequenz des Schleifrads 12 ist. Die Schleifvorrichtung 100 schleift das Werkstück W, während sie das Schleifrad 12 dreht. Folglich erscheint eine Oberflächenform des Schleifrads 12 auf der Oberfläche des Werkstücks W bei jeder Drehung des Schleifrads 12. Wie es beispielsweise in 8 gezeigt ist, wird in einem Fall, in dem es ein großes herausragendes Schleifkorn a auf einer Oberfläche des Schleifrads 12 gibt, ein in hohem Maße herausgekratzter vertiefter Abschnitt auf der Oberfläche des Werkstücks W bei einer Position gebildet, bei der das Schleifkorn a anstößt. Derartige vertiefte Abschnitte werden bei gleichen Intervallen in einer Drehrichtung gebildet, wobei jedes Intervall zwischen den vertieften Abschnitten mit einem Drehungszyklus des Schleifrads 12 übereinstimmt. Indem die spezifische Frequenzkomponente in der ersten Ratterextrahiereinheit 222 extrahiert wird, kann eine Ratterschwingung, die durch die Oberflächenbedingung oder einen unausgeglichenen Zustand des Schleifrads 12 verursacht wird, extrahiert werden.The first rat extraction unit 222 extracted from the first chatter FFT data D12 the specific frequency component which is the rotational frequency frequency component that of the rotational frequency of the grinding wheel 12th corresponds to. Like the first chatter FFT data D12 gives in first extracted chatter FFT data D13 by the first rat extraction unit 22nd extracted, the horizontal axis indicates a frequency, while the vertical axis indicates an acceleration or an offset. However, numerical values that differ from a specific frequency are excluded. Here, the specific frequency component is obtained from the first acceleration chatter FFT data D121 extracted to first extracted acceleration chatter FFT data D131 to create. The specific frequency component is a frequency component that is equal to the rotational frequency of the grinding wheel 12th is or an integer multiple of the rotational frequency of the grinding wheel 12th is. The grinding device 100 grinds the workpiece W. while doing the grinding wheel 12th turns. As a result, a surface shape of the grinding wheel appears 12th on the surface of the workpiece W. with every rotation of the grinding wheel 12th . As it is for example in 8th is shown in a case where there is a large protruding abrasive grain a on a surface of the grinding wheel 12th there is a deeply scratched-out recessed portion on the surface of the workpiece W. formed at a position where the abrasive grain a abuts. Such recessed portions are formed at equal intervals in a rotating direction, each interval between the recessed portions with a cycle of rotation of the grinding wheel 12th matches. By the specific frequency component in the first rat extraction unit 222 is extracted, a chatter vibration caused by the surface condition or a unbalanced condition of the grinding wheel 12th caused to be extracted.

(Erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit)(First chatter-reversal FFT analysis unit)

Die erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit führt eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten D13 aus, die durch die erste Ratterextrahiereinheit 22 erzeugt werden, wobei sie die erste Ratter-Umkehr-FFT-Daten D14 erzeugt. Die erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 erzeugt erste Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D141 auf der Grundlage der ersten extrahierten Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D131. 9 zeigt ein Beispiel der ersten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D141. Die ersten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D141 sind Daten, bei denen die vertikale Ache eine Beschleunigung angibt, während die horizontale Achse eine Zeitabfolge angibt. Hierbei wird ein Drehwinkel des Werkstücks, der aus der Drehfrequenz des Werkstücks W und der Zeit erhalten wird, als die horizontale Achse eingestellt.The first chatter reverse FFT analysis unit performs reverse FFT analysis based on the first extracted chatter FFT data D13 from that by the first rat extraction unit 22nd being generated using the first chatter-reverse FFT data D14 generated. The first chatter-reversal FFT analysis unit 223 generates first acceleration chatter reversal FFT data D141 based on the first extracted acceleration chatter FFT data D131 . 9 Fig. 10 shows an example of the first acceleration chatter reversal FFT data D141 . The first acceleration chatter reversal FFT data D141 is data in which the vertical axis indicates an acceleration while the horizontal axis indicates a time series. Here, an angle of rotation of the workpiece is derived from the rotational frequency of the workpiece W. and the time obtained is set as the horizontal axis.

(Erste Ratterversatzumwandlungseinheit)(First chatter offset conversion unit)

Die erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224 wandelt irgendwelche der Basisdaten D11, der ersten Ratter-FFT-Daten D12, der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten D13 und der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Daten D14, die eine Beschleunigung betreffen, in irgendwelche entsprechenden Daten der Basisdaten D11, der ersten Ratter-FFT-Daten D12, der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten D13 und der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Daten D14, die einen Versatz betreffen, um. Die erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224 gemäß dem ersten Beispiel wandelt die ersten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D141, die durch die erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 erzeugt werden, in erste Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142 um. In der ersten Ratterversatzumwandlungseinheit 224 können Daten, die eine Beschleunigung betreffen, in Daten, die einen Versatz betreffen, umgewandelt werden, indem die Daten, die eine Beschleunigung betreffen, zweimal integriert werden. 10 zeigt ein Beispiel der ersten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142. Die ersten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142 sind Daten, bei denen die vertikale Achse einen Versatz angibt, während die horizontale Achse eine Zeitabfolge angibt. Hierbei wird der Drehwinkel des Werkstücks, der aus der Drehfrequenz des Werkstücks W und einer Zeit erhalten wird, als die horizontale Achse eingestellt.The first chatter offset conversion unit 224 converts any of the basic data D11 , the first chatter FFT data D12 , the first extracted chatter FFT data D13 and the first chatter-reverse FFT data D14 relating to acceleration into any corresponding data of the basic data D11 , the first chatter FFT data D12 , the first extracted chatter FFT data D13 and the first chatter-reverse FFT data D14 that concern an offset to. The first chatter offset conversion unit 224 according to the first example converts the first acceleration-chatter-reversal FFT data D141 by the first chatter-reversal FFT analysis unit 223 into first offset-chatter-reverse FFT data D142 around. In the first chatter offset conversion unit 224 For example, data concerning acceleration can be converted into data concerning displacement by integrating the data concerning acceleration twice. 10 Fig. 10 shows an example of the first offset-chatter-reverse FFT data D142 . The first offset-chatter-reverse FFT data D142 is data in which the vertical axis indicates an offset while the horizontal axis indicates a time series. Here, the angle of rotation of the workpiece is derived from the rotational frequency of the workpiece W. and a time is obtained as the horizontal axis is set.

Die Umfangsrattererzeugungseinheit 22 erzeugt die ersten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142 als das erste Umfangsrichtungsrattern des Werkstücks W durch eine Bearbeitung der ersten Ratter-FFT-Analyseeinheit 221, der ersten Ratterextrahiereinheit 222, der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 und der ersten Ratterversatzumwandlungseinheit 224.The circumferential rattle generation unit 22nd generates the first offset-chatter-reverse FFT data D142 as the first circumferential direction chatter of the workpiece W. by processing the first chatter FFT analysis unit 221 , the first rat extraction unit 222 , the first chatter-reversal FFT analysis unit 223 and the first chatter offset converting unit 224 .

(Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit)(Plane chatter generating unit)

Eine Vielzahl von Umfangsrattern, die durch die Umfangsratternerzeugungseinheit 22 erzeugt werden, wird für Winkel, die zueinander unterschiedlich sind, des Werkstücks W in Bezug auf die Drehachse erzeugt. Das heißt, wie es in 11A gezeigt ist, Umfangsrattern bei benachbarten Axialrichtungspositionen werden bei Positionen beschafft, die voneinander in der Umfangsrichtung des Werkstücks W abweichen. Eine Ratterschwingung in der Umfangsrichtung des Werkstücks W wird üblicherweise durch eine Drehung des Schleifrads 12 erzeugt und wird wiederholt auf der Oberfläche des Werkstücks W bei jedem Drehfrequenzzyklus des Schleifrads 12 wiederholt beobachtet. Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem gemäß der vorliegenden Offenbarung betrachtet Ratterschwingungen auf dem gleichen Umfang des Werkstücks W als periodisch wiederholte Ratterschwingungen, um Oberflächeneigenschaften zu schätzen. Das heißt, Umfangsrattern bei jeder Axialrichtungsposition, die für jeweils unterschiedliche Winkel beschafft werden, werden so betrachtet, dass sie Umfangsrattern bei dem gleichen Winkel des Werkstücks W sind. Die Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 erzeugt eine Abfolge von ebenen Rattern, indem Umfangsrattern in der Umfangsrichtung (Richtung eines Pfeils in 11A) bewegt werden und die Umfangsrattern parallel angeordnet werden, wie es in 11B gezeigt ist.A plurality of circumferential rattle generated by the circumferential rattle generating unit 22nd is generated for angles that are different from each other, of the workpiece W. generated in relation to the axis of rotation. That is, as it is in 11A As shown, circumferential chatter at adjacent axial direction positions is obtained at positions opposite from each other in the circumferential direction of the workpiece W. differ. A chatter vibration in the circumferential direction of the workpiece W. is usually done by turning the grinding wheel 12th is generated and repeated on the surface of the workpiece W. at every cycle of rotation frequency of the grinding wheel 12th observed repeatedly. The surface property estimation system according to the present disclosure considers chatter vibrations on the same perimeter of the workpiece W. as periodically repeated chatter vibrations to estimate surface properties. That is, circumferential chatter at each axial direction position obtained for each different angle are considered to be circumferential chatter at the same angle of the workpiece W. are. The plane chatter generating unit 23 generates a sequence of plane chatter by generating circumferential chatter in the circumferential direction (direction of an arrow in 11A) are moved and the circumferential chatter are arranged in parallel, as shown in 11B is shown.

(Positionskorrektureinheit)(Position correction unit)

Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 gemäß der vorliegenden Offenbarung teilt die erfassten Daten, die in der Spiralform erhalten werden, für jede Axialrichtungsposition des Werkstücks W auf, um das ebene Rattern zu erzeugen. Wenn die kontinuierlich erfassten Daten aufgeteilt werden, kann die Aufteilung bei einer Position ausgeführt werden, die von einer Periode der Ratterschwingung abweicht. Wenn das ebene Rattern auf der Grundlage derartiger Daten erzeugt wird, können die Umfangsrattern bei einer jeweiligen Axialrichtungsposition in einigen Fällen in Bezug auf die axiale Richtung des Werkstücks W nicht erfolgreich verbunden werden. Beispielsweise stimmen, wenn der unausgeglichene Zustand des Schleifrads 12, der ein Hauptfaktor der Umfangsratterschwingung ist, als ein Beispiel verwendet wird, Phasen der Umfangsrattern miteinander in einer Region überein, die einer Breite des Schleifrads 12 in der axialen Richtung des Werkstücks W entspricht. Das heißt, ein Rattersignalverlauf weist eine Kontinuität bei benachbarten Axialrichtungspositionen auf, sodass Spitzen und Spitzen sowie Täler und Täler in der axialen Richtung zueinander benachbart sind. Um eine derartige Kontinuität zu reproduzieren, umfasst das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 vorzugsweise die Positionskorrektureinheit 24, die eine relative Umfangsrichtungsposition der Umfangsrattern derart korrigiert, dass Ratterphasen von Endpunkten einer Vielzahl von Umfangsrattern miteinander übereinstimmen. Indem die relative Position der Umfangsrattern durch die Positionskorrektureinheit 24 korrigiert wird, kann eine Verbindung zwischen den Umfangsrattern bei jeder axialen Richtung in Bezug auf die axiale Richtung des Werkstücks W glatt werden.The surface property estimation system 1 according to the present disclosure, divides the acquired data obtained in the spiral shape for each axial direction position of the workpiece W. to create the flat rattle. When the continuously acquired data is divided, the division can be carried out at a position deviating from a period of the chatter vibration. When the plane rattle is generated based on such data, the circumferential rattle at each axial direction position may in some cases with respect to the axial direction of the workpiece W. cannot be connected successfully. For example, correct if the unbalanced condition of the grinding wheel 12th , which is a major factor of the circumferential rattle vibration, is used as an example, phases of the circumferential rattles coincide with each other in a region corresponding to a width of the grinding wheel 12th in the axial direction of the workpiece W. corresponds to. That is, a chatter waveform has continuity at adjacent axial direction positions such that peaks and peaks and valleys and valleys in the axial direction are adjacent to each other. In order to reproduce such continuity, the surface property estimation system includes 1 preferably the position correction unit 24 that corrects a relative circumferential direction position of the circumferential rattles so that rattle phases of end points of a plurality of circumferential rattles coincide with each other. By the relative position of the circumferential rattle by the position correction unit 24 is corrected, a connection between the circumferential rattles at each axial direction with respect to the axial direction of the workpiece can be corrected W. become smooth.

(Bildausgabeeinheit)(Image output unit)

Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 1 umfasst vorzugsweise eine Bildausgabeeinheit 30, die die Oberflächeneigenschaften, die durch die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 200 erzeugt werden, als ein Bild ausgibt. Die Bildausgabeeinheit 30 gibt das korrigierte ebene Rattern als eine dreidimensionale Abbildung aus.The surface property estimation system 1 preferably comprises an image output unit 30th that is the surface properties generated by the surface property generation device 200 can be generated as an image. The image output unit 30th outputs the corrected planar rattle as a three-dimensional map.

(Modifikation)(Modification)

In dem ersten Beispiel ist die erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224 nach der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 angeordnet, wobei die Datenbearbeitung in der Reihenfolge der Basisdatenbeschaffungseinheit 21, der ersten Ratter-FFT-Analyseeinheit 221, der ersten Ratterextrahiereinheit 222, der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 und der ersten Ratterversatzumwandlungseinheit 224 ausgeführt wird. Eine Reihenfolge, in der die erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224 in der Umfangsrattererzeugungseinheit 22 angeordnet ist, ist nicht spezifisch begrenzt.In the first example, the first is a chatter offset conversion unit 224 after the first chatter-reversal FFT analysis unit 223 arranged, the data processing in the order of the basic data acquisition unit 21 , the first chatter FFT analysis unit 221 , the first rat extraction unit 222 , the first chatter-reversal FFT analysis unit 223 and the first chatter offset converting unit 224 is performed. An order in which the first chatter offset conversion unit 224 in the circumferential rattle generation unit 22nd is not specifically limited.

(Zweites Beispiel)(Second example)

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 2 gemäß einem zweiten Beispiel wird unter Bezugnahme auf 12 beschrieben. 12 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 2 zeigt. Eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 201 des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 2 umfasst eine Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25, die Außendurchmesserdaten des Werkstücks W beschafft, und eine Außendurchmessersynthetisiereinheit 26, die ein ebenes Rattern und die Außendurchmesserdaten synthetisiert.A surface property estimation system 2 according to a second example, reference is made to FIG 12th described. 12th Fig. 13 is a block diagram showing a configuration of the surface property estimation system 2 shows. A surface property generating device 201 of the surface property estimation system 2 comprises an outer diameter data acquisition unit 25th , the outside diameter data of the workpiece W. procured, and an outer diameter synthesizing unit 26th which synthesizes a plane chatter and the outer diameter data.

(Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit)(Outside diameter data acquisition unit)

Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 beschafft die Außendurchmesserdaten des Werkstücks W auf der Grundlage eines Signals von der Größenbestimmungsvorrichtung 14. Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 kann die erfassten Daten, die durch die Größenbestimmungsvorrichtung 14 erfasst werden, als die Außendurchmesserdaten direkt verwenden, oder sie kann verschiedene Typen von Bearbeitungen bei den erfassten Daten ausführen, um die Außendurchmesserdaten zu erhalten. Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 umfasst vorzugsweise eine Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung 25a, die spezifische Frequenzdomänenkomponenten auf der Grundlage der erfassten Daten extrahiert. Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 gemäß dem zweiten Beispiel umfasst die Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung 25a, die durch eine Außendurchmesserbasisdatenbeschaffungseinheit 251, eine Außendurchmesser-FFT-Analyseeinheit 252, eine Außendurchmesserextrahiereinheit 253 und eine Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 254 gebildet wird. Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 führt eine FFT-Analyse bei den erfassten Daten aus, sie extrahiert die spezifische Frequenzkomponente und sie führt eine Umkehr-FFT-Analyse aus, um die Außendurchmesserdaten zu erzeugen.The outside diameter data acquisition unit 25th obtains the outside diameter data of the workpiece W. based on a signal from the sizing device 14th . The outside diameter data acquisition unit 25th can use the captured data obtained by the sizing device 14th than using the outer diameter data directly, or it may perform various types of processing on the acquired data to obtain the outer diameter data. The outside diameter data acquisition unit 25th preferably comprises an outside diameter data filter device 25a that extracts specific frequency domain components based on the acquired data. The outside diameter data acquisition unit 25th according to the second example, the outer diameter comprises data filtering device 25a obtained by an outer diameter basic data acquisition unit 251 , an outside diameter FFT analysis unit 252 , an outer diameter extraction unit 253 and an outside diameter inverse FFT analysis unit 254 is formed. The outside diameter data acquisition unit 25th performs FFT analysis on the acquired data, it extracts the specific frequency component, and it performs reverse FFT analysis to generate the outside diameter data.

Die Außendurchmesserbasisdatenbeschaffungseinheit 251 beschafft Außendurchmesserbasisdaten D21 auf der Grundlage des Signals von der Größenbestimmungsvorrichtung 14. Die Außendurchmesserbasisdaten D21 sind Zeitabfolgedaten, in denen die vertikale Achse einen Außendurchmesserversatz angibt.The outside diameter basic data acquisition unit 251 procures outside diameter basic data D21 based on the signal from the sizing device 14th . The outside diameter basic data D21 is time series data in which the vertical axis indicates an outside diameter offset.

Die Außendurchmesser-FFT-Analyseeinheit 252 führt eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Außendurchmesserbasisdaten D21 aus und erzeugt Außendurchmesser-FFT-Daten D22. In den Außendurchmesser-FFT-Daten D22 gibt die vertikale Achse einen Außendurchmesserversatz an, während die horizontale Achse eine Frequenz angibt.The outside diameter FFT analysis unit 252 performs an FFT analysis based on the outer diameter base data D21 and generates outside diameter FFT data D22 . In the outside diameter FFT data D22 the vertical axis indicates an outside diameter offset, while the horizontal axis indicates a frequency.

Die Außendurchmesserextrahiereinheit 253 extrahiert die spezifischen Frequenzdomänenkomponenten auf der Grundlage der Außendurchmesser-FFT-Daten D22 und erzeugt extrahierte Außendurchmesser-FFT-Daten D23. Die Außendurchmesserextrahiereinheit 253 schließt eine Einzelspitzen-pro-Umdrehung-Komponente der Außendurchmesser-FFT-Daten D22 aus. Die Einzelspitze-pro-Umdrehung-Komponente bezieht sich auf eine Komponente, die einer Drehfrequenz des Werkstücks W entspricht. Wenn die Drehachse des Werkstücks W abweicht, wird die Einzelspitze-pro-Umdrehung-Komponente stark erfasst. Als die Außendurchmesserdaten ist es ausreichend, wenn eine Axialrichtungsaußendurchmesseränderung des Werkstücks W erhalten werden kann. Folglich wird die Einzelspitze-pro-Umdrehung-Komponente hier ausgeschlossen. Die Außendurchmesserextrahiereinheit 253 extrahiert ebenso eine Niedrigfrequenzkomponente der Außendurchmesser-FFT-Daten D22. Eine Schwingung, die durch das Umfangsrattern des Werkstücks W verursacht wird, wird auf einer Hochfrequenzseite der Außendurchmesser-FFT-Daten D22 erfasst. Da das Umfangsrattern durch die Umfangsrattererzeugungseinheit 22 erzeugt wird, ist das Umfangsrattern für die Außendurchmesserdaten nicht erforderlich. Ein Bereich der Niedrigfrequenzkomponente, die hier extrahiert wird, kann in geeigneter Weise auf der Grundlage der Drehfrequenz des Schleifrads 12 und des Werkstücks W bestimmt werden, wobei sie beispielsweise 50 Hz oder weniger sein kann. Die Außendurchmesserextrahiereinheit 253 kann die Axialrichtungsaußendurchmesseränderung des Werkstücks W extrahieren, indem die Niedrigfrequenzkomponente, die die Einzelspitze-pro-Umdrehung-Komponente ausschließt, als die spezifische Frequenzdomänenkomponente extrahiert wird.The outer diameter extraction unit 253 extracts the specific frequency domain components based on the outside diameter FFT data D22 and generates extracted outside diameter FFT data D23 . The outer diameter extraction unit 253 includes a peak-per-revolution component of the outside diameter FFT data D22 out. The single point-per-revolution component refers to a component that corresponds to a rotational frequency of the workpiece W. corresponds to. When the axis of rotation of the workpiece W. deviates, the single point-per-revolution component is strongly recorded. As the outside diameter data, it is sufficient if there is an axial direction outside diameter change of the workpiece W. can be obtained. As a result, the single point-per-revolution component is excluded here. The outer diameter extraction unit 253 also extracts a low frequency component of the outside diameter FFT data D22 . A Vibration caused by the peripheral chatter of the workpiece W. is caused on a high frequency side of the outer diameter FFT data D22 detected. Since the circumferential rattle by the circumferential rattle generation unit 22nd is generated, the circumferential chatter is not required for the outer diameter data. A range of the low frequency component extracted here can be appropriately selected based on the rotational frequency of the grinding wheel 12th and the workpiece W. can be determined, for example, it can be 50 Hz or less. The outer diameter extraction unit 253 can change the axial direction outside diameter change of the workpiece W. extract by extracting the low frequency component excluding the single peak per revolution component as the specific frequency domain component.

Die Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 254 führt eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der extrahierten Außendurchmesser FFT-Daten D23 aus, die durch die Außendurchmesserextrahiereinheit 253 erzeugt werden, und erzeugt Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Daten D24. Die Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Daten D24, sind Daten, bei denen die vertikale Achse einen Außendurchmesserversatz angibt, während die horizontale Achse eine Zeitabfolge angibt. Hierbei wird eine Axialrichtungsposition des Werkstücks W, die aus der Bewegungsgeschwindigkeit der Größenbestimmungsvorrichtung 14 in der axialen Richtung des Werkstücks W und einer Zeit erhalten wird, als die horizontale Achse eingestellt.The outside diameter reverse FFT analysis unit 254 performs an inverse FFT analysis based on the extracted outside diameter FFT data D23 made by the outer diameter extractor unit 253 and generates outside diameter reverse FFT data D24 . The outside diameter reverse FFT data D24 , is data in which the vertical axis indicates an outer diameter offset while the horizontal axis indicates a time series. Here, an axial direction position of the workpiece becomes W. obtained from the moving speed of the sizing device 14th in the axial direction of the workpiece W. and a time is obtained as the horizontal axis is set.

Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 beschafft die Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Daten D24 als die Außendurchmesserdaten durch eine Bearbeitung der Außendurchmesserbasisdatenbeschaffungseinheit 251, der Außendurchmesser-FFT-Analyseeinheit 252, der Außendurchmesserextrahiereinheit 253 und der Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 254.The outside diameter data acquisition unit 25th acquires the outside diameter reverse FFT data D24 as the outer diameter data by processing the outer diameter basic data acquisition unit 251 , the outer diameter FFT analysis unit 252 , the outer diameter extraction unit 253 and the outside diameter inverse FFT analysis unit 254 .

(Außendurchmesserkombiniereinheit)(Outer diameter combining unit)

Die Außendurchmessersynthetisiereinheit 26 synthetisiert die Außendurchmesserdaten mit einem Umfangsrattern oder einem ebenen Rattern. Das heißt, eine Umfangsrichtungsoberflächenformänderung des Werkstücks W und eine Axialrichtungsoberflächenformänderung werden synthetisiert, um ein Datenteil zu bilden. Durch ein Synthetisieren der Außendurchmesserdaten durch die Außendurchmessersynthetisiereinheit 26 können die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W genauer geschätzt werden.The outer diameter synthesizing unit 26th synthesizes the outer diameter data with a circumferential rattle or a plane rattle. That is, a circumferential direction surface shape change of the workpiece W. and an axial direction surface shape change are synthesized to form a data part. By synthesizing the outside diameter data by the outside diameter synthesizing unit 26th can change the surface properties of the workpiece W. more accurately estimated.

Es kann entweder eine Datenbearbeitung der Außendurchmessersynthetisiereinheit 26 oder eine Datenbearbeitung der Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 zuerst ausgeführt werden. Wie es in 12 gezeigt ist, führt das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 2 gemäß dem zweiten Beispiel zuerst die Bearbeitung der Außendurchmessersynthetisiereinheit 26 aus. Das heißt, nachdem das Umfangsrattern und die Außendurchmesserdaten synthetisiert worden sind, um ein synthetisiertes Umfangsrattern zu bilden, werden die synthetisierten Umfangsrattern parallel angeordnet, um ein synthetisiertes ebenes Rattern zu erzeugen. Als eine Modifikation kann die Bearbeitung der Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit 23 zuerst ausgeführt werden. In diesem Fall wird, nachdem das ebene Rattern erzeugt worden ist, indem die Umfangsrattern parallel angeordnet werden, die Außendurchmesserdaten mit dem ebenen Rattern synthetisiert, um das synthetisierte ebene Rattern zu erzeugen.Either data processing of the outer diameter synthesizing unit can be performed 26th or data processing of the plane chatter generating unit 23 run first. Like it in 12th is shown performs the surface property estimation system 2 according to the second example, first the machining of the outer diameter synthesizing unit 26th out. That is, after the circumferential rattle and the outer diameter data are synthesized to form a synthesized circumferential rattle, the synthesized circumferential rattles are arranged in parallel to generate a synthesized plane rattle. As a modification, the processing of the plane chatter generating unit 23 run first. In this case, after the plane rattle is generated by arranging the circumferential rattles in parallel, the outer diameter data is synthesized with the plane rattle to generate the synthesized plane rattle.

(Drittes Beispiel)(Third example)

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 3 gemäß einem dritten Beispiel wird unter Bezugnahme auf 13 beschrieben. 13 zeigt ein Blockschaltbild, das eine Konfiguration des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 3 zeigt. Eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 202 des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 3 umfasst eine zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27, die einen Versatz durch eine zweite Ratterschwingung erzeugt, und eine Verschiebungsbearbeitungseinheit 28, die den Versatz, der durch die zweite Ratterschwingung verursacht wird, verschiebt.A surface property estimation system 3 according to a third example, reference is made to FIG 13th described. 13th Fig. 13 is a block diagram showing a configuration of the surface property estimation system 3 shows. A surface property generating device 202 of the surface property estimation system 3 comprises a second chatter offset generating unit 27 that generates an offset by a second chatter vibration, and a displacement processing unit 28 , which shifts the offset caused by the second chatter oscillation.

(Zweite Ratterversatzerzeugungseinheit)(Second chatter offset generating unit)

Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 umfasst eine zweite Ratterfiltervorrichtung 27a und erzeugt auf der Grundlage der Basisdaten D11 eine zweiten Ratterversatz durch eine Schwingung, die zu einer Ratterschwingung unterschiedlich ist, die durch die Drehfrequenz des Schleifrads auf der Oberfläche verursacht wird. Ein Verfahren zum Erzeugen des zweiten Ratterversatzes ist nicht spezifisch begrenzt. Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 gemäß dem dritten Beispiel führt eine FFT-Analyse bei den Basisdaten D11 aus, sie extrahiert eine zweite Ratterfrequenzkomponente und sie führt eine Umkehr-FFT-Analyse aus, um den zweiten Ratterversatz zu erzeugen. Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 umfasst eine zweite Ratter-FFT-Analyseeinheit 271, eine zweite Ratterextrahiereinheit 272, eine zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 und eine zweite Ratterversatzumwandlungseinheit 274.The second chatter offset generating unit 27 comprises a second chatter filter device 27a and generated on the basis of the basic data D11 a second chatter offset by a vibration different from a chatter vibration caused by the frequency of rotation of the grinding wheel on the surface. A method for generating the second chatter offset is not specifically limited. The second chatter offset generating unit 27 according to the third example, an FFT analysis is carried out on the basic data D11 off, it extracts a second chatter frequency component and it performs inverse FFT analysis to generate the second chatter offset. The second chatter offset generating unit 27 comprises a second chatter FFT analysis unit 271 , a second rat extraction unit 272 , a second chatter-reversal FFT analysis unit 273 and a second chatter offset conversion unit 274 .

(Zweite Ratter-FFT-Analyseeinheit)(Second chatter FFT analysis unit)

Die zweite Ratter-FFT-Analyseeinheit 271 führt eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Basisdaten D11 aus und erzeugt die Ratter-FFT-Daten D12. Zweite Beschleunigungsratter-FFT-Daten D321, bei denen eine horizontale Achse eine Frequenz angibt, während eine vertikale Achse eine Beschleunigung angibt, werden aus den Beschleunigungsbasisdaten D111 erzeugt, die die Basisdaten D11 sind, die eine Beschleunigung betreffen. Unterdessen werden zweite Versatz-Ratter-FFT-Daten D322, bei denen die horizontale Achse eine Frequenz angibt, während die vertikale Achse einen Versatz angibt, aus den Versatzbasisdaten D112 erzeugt. Die zweite Ratter-FFT-Analyseeinheit 271 führt die gleiche Verarbeitung aus wie die der ersten Ratter-FFT-Analyseeinheit 221 der Umfangsrattererzeugungseinheit 22, wobei die gleiche Konfiguration verwendet werden kann.The second chatter FFT analysis unit 271 performs an FFT analysis based on the basic data D11 and generates the chatter FFT Data D12 . Second acceleration chatter FFT data D321 , in which a horizontal axis indicates a frequency and a vertical axis indicates an acceleration, are made from the acceleration base data D111 which generates the basic data D11 that concern an acceleration. Meanwhile, the second offset chatter becomes FFT data D322 , where the horizontal axis indicates a frequency and the vertical axis indicates an offset, from the offset base data D112 generated. The second chatter FFT analysis unit 271 performs the same processing as that of the first chatter FFT analysis unit 221 the circumferential chatter generating unit 22nd , the same configuration can be used.

(Zweite Ratterextrahiereinheit)(Second rat extraction unit)

Die zweite Ratterextrahiereinheit 272 extrahiert aus den zweiten Ratter-FFT-Daten D32 eine zweite Ratterfrequenzkomponente, die von der Drehfrequenz-Frequenzkomponente, die der Drehfrequenz des Schleifrads 12 entspricht, unterschiedlich ist. Wie die zweiten Ratter-FFT-Daten D32 gibt in den zweiten extrahierten Ratter-FFT-Daten D33, die durch die zweite Ratterextrahiereinheit 272 extrahiert werden, die horizontale Achse eine Frequenz an, während die vertikale Achse eine Beschleunigung oder einen Versatz angibt. Nummerische Werte, die zu der zweiten Ratterfrequenz unterschiedlich sind, werden jedoch ausgeschlossen. Hierbei wird die zweite Ratterfrequenzkomponente aus den zweiten Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D321 extrahiert, um zweite extrahierte Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D331 zu erzeugen. Die zweite Ratterfrequenzkomponente ist eine Schwingung, die die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W zusätzlich zu der Drehfrequenz-Frequenzkomponente, die der Drehfrequenz des Schleifrads 12 entspricht, beeinflusst. Spezifisch können eine Drehung des Spindelstockdrehungsmotors 135, eine Drehung eines Servomotors, der eine Bewegung der Schleifbasis 121 und des Spindelstocktisches 133 steuert, eine Schwingung, die von außen angelegt wird, ein selbsterregtes Rattern und dergleichen beispielhaft genannt werden. Die zweite Ratterfrequenzkomponente kann beispielsweise auf der Grundlage der Drehfrequenz einer Hauptwelle oder der Drehfrequenz des Servomotors extrahiert werden, oder eine Komponente, die einen vorbestimmten Schwellenwert überschreitet, die zu der Drehfrequenz-Frequenzkomponente unterschiedlich ist, kann als die zweite Ratterfrequenzkomponente extrahiert werden.The second rat extraction unit 272 extracted from the second chatter FFT data D32 a second chatter frequency component derived from the rotational frequency frequency component that is the rotational frequency of the grinding wheel 12th is different. Like the second chatter FFT data D32 gives in the second extracted chatter FFT data D33 by the second rat extraction unit 272 extracted, the horizontal axis indicates a frequency, while the vertical axis indicates an acceleration or an offset. However, numerical values that are different from the second chatter frequency are excluded. Here, the second chatter frequency component is derived from the second acceleration chatter FFT data D321 extracted to second extracted acceleration chatter FFT data D331 to create. The second chatter frequency component is a vibration that affects the surface properties of the workpiece W. in addition to the rotational frequency frequency component that is the rotational frequency of the grinding wheel 12th corresponds, influences. Specifically, one rotation of the headstock rotation motor 135 , one rotation of a servo motor that causes movement of the grinding base 121 and the headstock table 133 controls, vibration applied from the outside, self-excited rattle, and the like can be exemplified. The second chatter frequency component may be extracted based on, for example, the rotational frequency of a main shaft or the rotational frequency of the servo motor, or a component exceeding a predetermined threshold different from the rotational frequency frequency component may be extracted as the second chatter frequency component.

(Zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit)(Second chatter-reversal FFT analysis unit)

Die zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 führt eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der zweiten extrahierten Ratter-FFT-Daten D33 aus, die durch die zweite Ratterextrahiereinheit 272 erzeugt werden, wobei sie zweite Ratter-Umkehr-FFT-Daten D34 erzeugt. Die zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 erzeugt zweite Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D341 auf der Grundlage der zweiten extrahierten Beschleunigungs-Ratter-FFT-Daten D331. Die zweiten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D341 sind Daten, bei denen die vertikale Achse eine Beschleunigung angibt, während die horizontale Achse eine Zeitabfolge angibt. Hierbei wird der Drehwinkel des Werkstücks, der aus der Drehfrequenz des Werkstücks W und der Zeit erhalten wird, als die horizontale Achse eingestellt. Die zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 führt die gleiche Verarbeitung wie die der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 der Umfangsrattererzeugungseinheit 22 aus, wobei die gleiche Konfiguration verwendet werden kann.The second chatter-reversal FFT analysis unit 273 performs an inverse FFT analysis based on the second extracted chatter FFT data D33 from that by the second rat extraction unit 272 being generated using second chatter-reverse FFT data D34 generated. The second chatter-reversal FFT analysis unit 273 generates second acceleration chatter reverse FFT data D341 based on the second extracted acceleration chatter FFT data D331 . The second acceleration chatter reverse FFT data D341 is data in which the vertical axis indicates acceleration while the horizontal axis indicates time series. Here, the angle of rotation of the workpiece is derived from the rotational frequency of the workpiece W. and the time obtained is set as the horizontal axis. The second chatter-reversal FFT analysis unit 273 performs the same processing as that of the first chatter-reverse FFT analysis unit 223 the circumferential chatter generating unit 22nd and the same configuration can be used.

(Zweite Ratterversatzumwandlungseinheit)(Second chatter offset conversion unit)

Die zweite Ratterversatzumwandlungseinheit 274 wandelt irgendwelche der Basisdaten D11, der zweiten Ratter-FFT-Daten D32, der zweiten extrahierten Ratter-FFT-Daten D33 und der zweiten Ratter-Umkehr-FFT-Daten D34, die eine Beschleunigung betreffen, in irgendwelche entsprechenden Daten aus den Basisdaten D11, den zweiten Ratter-FFT-Daten D32, den zweiten extrahierten Ratter-FFT-Daten D33 und den zweiten Ratter-Umkehr-FFT-Daten D34, die einen Versatz betreffen, um. Die zweite Ratterversatzumwandlungseinheit 274 gemäß dem dritten Beispiel wandelt die zweiten Beschleunigungs-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D341, die durch die zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 erzeugt werden, in zweite Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D342 um. In der zweiten Ratterversatzumwandlungseinheit 274 können Daten, die eine Beschleunigung betreffen, in Daten, die einen Versatz betreffen, umgewandelt werden, indem die Daten, die eine Beschleunigung betreffen, zweimal integriert werden. Die zweiten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D342 sind Daten, bei denen die vertikale Achse eine Versatz angibt, während die horizontale Achse eine Zeitabfolge angibt. Hierbei wird der Drehwinkel des Werkstücks, der aus der Drehfrequenz des Werkstücks W und der Zeit erhalten wird, als die horizontale Achse eingestellt. Die zweite Ratterversatzumwandlungseinheit 274 führt die gleiche Verarbeitung aus wie die der ersten Ratterversatzumwandlungseinheit 224 der Umfangsrattererzeugungseinheit 22, wobei die gleiche Konfiguration verwendet werden kann.The second chatter offset conversion unit 274 converts any of the basic data D11 , the second chatter FFT data D32 , the second extracted chatter FFT data D33 and the second chatter-reverse FFT data D34 relating to acceleration into any corresponding data from the basic data D11 , the second chatter FFT data D32 , the second extracted chatter FFT data D33 and the second chatter-reverse FFT data D34 that concern an offset to. The second chatter offset conversion unit 274 according to the third example, converts the second acceleration-chatter-reversal FFT data D341 by the second chatter-reversal FFT analysis unit 273 is generated into second offset-chatter-reverse FFT data D342 around. In the second chatter offset conversion unit 274 For example, data concerning acceleration can be converted into data concerning displacement by integrating the data concerning acceleration twice. The second offset chatter reverse FFT data D342 is data in which the vertical axis indicates an offset while the horizontal axis indicates a time series. Here, the angle of rotation of the workpiece is derived from the rotational frequency of the workpiece W. and the time obtained is set as the horizontal axis. The second chatter offset conversion unit 274 performs the same processing as that of the first chatter offset converting unit 224 the circumferential chatter generating unit 22nd , the same configuration can be used.

Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 erzeugt die zweiten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D342 als einen Versatz, der durch eine Schwingung verursacht wird, die zu der ersten Ratterschwingung unterschiedlich ist, durch eine Bearbeitung der zweiten Ratter-FFT-Analyseeinheit 271, der zweiten Ratterextrahiereinheit 272, der zweiten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 273 und der zweiten Ratterversatzumwandlungseinheit 274.The second chatter offset generating unit 27 generates the second offset-chatter-reverse FFT data D342 as an offset caused by a vibration different from the first chatter vibration by processing of the second chatter FFT analysis unit 271 , the second rat extraction unit 272 , the second chatter-reversal FFT analysis unit 273 and the second chatter offset converting unit 274 .

(Verschiebungsverarbeitungseinheit)(Displacement processing unit)

Die Verschiebungsverarbeitungseinheit 28 verschiebt den Versatz, der durch die Schwingung verursacht wird, die zu dem ersten Rattern unterschiedlich ist, das durch die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 erzeugt wird, auf die Oberflächeneigenschaften in einem gesamten Bereich. Der Versatz, der durch die Schwingung verursacht wird, die zu dem ersten Rattern unterschiedlich ist, ist die zweite Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D342, die in der zweiten Ratterversatzerzeugungseinheit 27 erzeugt werden. Indem die zweiten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D342 verschoben werden, können die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W genauer geschätzt werden.The displacement processing unit 28 shifts the displacement caused by the vibration different from the first rattle generated by the second rattle displacement generating unit 27 is generated on the surface properties in an entire area. The offset caused by the vibration different from the first rattle is the second offset-chatter-reverse FFT data D342 generated in the second chatter offset generation unit 27 be generated. By taking the second offset-chatter-reverse FFT data D342 can be shifted, the surface properties of the workpiece W. more accurately estimated.

(Auswertungsbeispiel)(Evaluation example)

Die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W sind durch eine Verwendung des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 3 gemäß dem dritten Beispiel geschätzt worden. Eine dreidimensionale Abbildung, die die geschätzten Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W zeigt, ist in 14 gezeigt. Durch eine Verwendung eines Oberflächeneigenschaftsschätzsystems gemäß der vorliegenden Offenbarung können die Oberflächeneigenschaften des Werkstücks W während der Bearbeitung visualisiert werden, wie es in 14 gezeigt ist.The surface properties of the workpiece W. are by using the surface property estimation system 3 has been estimated according to the third example. A three-dimensional map showing the estimated surface properties of the workpiece W. shows is in 14th shown. By using a surface property estimation system in accordance with the present disclosure, the surface properties of the workpiece W. can be visualized during processing, as in 14th is shown.

(Viertes Beispiel)(Fourth example)

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 4 gemäß einem vierten Beispiel wird unter Bezugnahme auf die 15 bis 17 beschrieben. Wie es in 15 gezeigt ist, umfasst das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 4 gemäß dem vierten Beispiel einen Versatzsensor anstelle des Beschleunigungssensors 15.A surface property estimation system 4th according to a fourth example, with reference to FIG 15th to 17th described. Like it in 15th shown includes the surface property estimation system 4th according to the fourth example, an offset sensor instead of the acceleration sensor 15th .

Beispielsweise kann ein lineares Messinstrument eines Kontakttyps 16 oder die Größenbestimmungsvorrichtung 14, ein Lasersensor eines kontaktfreien Typs, ein optischer Sensor oder ein Sensor eines Wirbelstromtyps ebenso als der Versatzsensor verwendet werden. Das lineare Messinstrument des Kontakttyps 16, die Größenbestimmungsvorrichtung 14 oder dergleichen weist ein Kontaktelement auf, das in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks W ist, wobei es einen Versatz einer Schwingung des Kontaktelements, die durch die Drehung des Werkstücks W verursacht wird, erfasst. Der Lasersensor des kontaktfreien Typs, der optische Sensor, der Sensor des Wirbelstromtyps oder dergleichen ist in einer kontaktfreien Art und Weise bei der Oberfläche des Werkstücks W angeordnet und erfasst einen Versatz von einer Referenzposition zu der Oberfläche des Werkstücks W, die durch die Drehung des Werkstücks W verursacht wird. Der Versatz der Schwingung des Kontaktelements, der durch den Sensor des Kontakttyps erfasst wird, und der Versatz, der durch den Sensor des kontaktfreien Typs erfasst wird, werden als Informationen über die Oberflächenbedingung des Werkstücks W ausgebeben, die einen Versatz von Oberflächenunregelmäßigkeiten des Werkstücks W angeben. Der gleiche Versatzsensor wie der der Außendurchmessermessvorrichtung kann in Kombination verwendet werden. Beispielsweise ist es, wenn die Größenbestimmungsvorrichtung 14, die in der Schleifvorrichtung bereitgestellt ist, als der Versatzsensor verwendet wird, nicht erforderlich, einen anderen Versatzsensor, wie beispielsweise das lineare Messinstrument 16, bereitzustellen. Das lineare Messinstrument 16 umfasst ein Messelement 161, das ein Kontaktabschnitt in Kontakt mit dem Werkstück W ist, und einen Arm 162, der das Messelement 161 hält. Das lineare Messinstrument 16 erfasst Versatzdaten über die Oberfläche des Werkstücks W in einem Zustand, in dem das Messelement 161 in Kontakt mit dem Werkstück W während einer Drehung ist.For example, a linear measuring instrument of a contact type 16 or the sizing device 14th , a non-contact type laser sensor, an optical sensor, or an eddy current type sensor can also be used as the displacement sensor. The contact type linear measuring instrument 16 , the sizing device 14th or the like has a contact element which is in contact with the surface of the workpiece W. is, there being an offset of an oscillation of the contact element caused by the rotation of the workpiece W. caused is recorded. The non-contact type laser sensor, the optical sensor, the eddy current type sensor, or the like is on the surface of the workpiece in a non-contact manner W. arranged and detects an offset from a reference position to the surface of the workpiece W. caused by the rotation of the workpiece W. caused. The displacement of the vibration of the contact element detected by the contact type sensor and the displacement detected by the non-contact type sensor are used as information on the surface condition of the workpiece W. output that an offset of surface irregularities of the workpiece W. specify. The same displacement sensor as that of the outer diameter measuring device can be used in combination. For example, it is when the sizing device 14th provided in the grinding apparatus is used as the displacement sensor, does not require another displacement sensor such as the linear measuring instrument 16 to provide. The linear measuring instrument 16 comprises a measuring element 161 that is a contact portion in contact with the workpiece W. is, and one arm 162 who is the measuring element 161 holds. The linear measuring instrument 16 captures offset data over the surface of the workpiece W. in a state in which the measuring element 161 in contact with the workpiece W. is during a turn.

Das lineare Messinstrument 16 wird durch eine Axialrichtungsbewegungsvorrichtung 163 gehalten und ist in der axialen Richtung des Werkstück W, das heißt in der Z-Achsenrichtung bewegbar. Die Bewegung des linearen Messinstruments 16 in der Z-Achsenrichtung wird durch eine Axialrichtungsbewegungsteuerungseinheit 164 gesteuert.The linear measuring instrument 16 is by an axial direction moving device 163 held and is in the axial direction of the workpiece W. , that is, movable in the Z-axis direction. The movement of the linear meter 16 in the Z-axis direction is controlled by an axial direction movement control unit 164 controlled.

Die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 beschafft die Versatzbasisdaten D112 auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten, die einen Versatz betreffen, der ein erfasster Wert des linearen Messinstruments 16 ist. Die erste Ratter-FFT-Analyseeinheit 221 erzeugt die ersten Versatzratter-FFT-Daten D122 auf der Grundlage der Versatzbasisdaten D112. Die erste Ratterextrahiereinheit 222 erzeugt erste extrahierte Versatz-Ratter-FFT-Daten D132 aus den ersten Versatz-Ratter-FFT-Daten D122. Die erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit 223 erzeugt die ersten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142 auf der Grundlage der ersten extrahierten Versatz-Ratter-FFT-Daten D132. Das lineare Messinstrument 16 kann die Basisdaten D11, die einen Versatz betreffen, beschaffen. Folglich ist die erste Ratterversatzumwandlungseinheit 224, die verschiedene Typen von Daten, die eine Beschleunigung betreffen, in verschiedene Typen von Daten, die einen Versatz betreffen, umwandelt, nicht erforderlich. Das gleiche trifft ebenso auf die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 zu.The basic data collection unit 21 acquires the offset base data D112 based on time series data concerning an offset that is a detected value of the linear measuring instrument 16 is. The first chatter FFT analysis unit 221 generates the first displacement chatter FFT data D122 based on the offset base data D112 . The first rat extraction unit 222 generates first extracted offset chatter FFT data D132 from the first offset chatter FFT data D122 . The first chatter-reversal FFT analysis unit 223 generates the first offset-chatter-reverse FFT data D142 based on the first extracted offset chatter FFT data D132 . The linear measuring instrument 16 can do the basic data D11 relating to an offset. Hence, the first is the chatter offset conversion unit 224 that converts various types of data relating to acceleration to various types of data relating to offset is not required. The same applies to the second chatter offset generation unit as well 27 to.

Eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 203 gemäß dem vierten Beispiel umfasst vorzugsweise die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit 225. Wenn ein Signal der Versatzdaten, die durch den Versatzsensor erfasst werden, eine spezifische Frequenz überschreitet, neigt eine zugehörige Signalstärke dazu, abgeschwächt zu werden. Die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 kompensiert die Signalstärke für jede Frequenz auf der Grundlage einer Beziehung zwischen einer Frequenz und einer Signalstärke, die im Voraus gespeichert wird, wobei sie einen Ausgabepegel konstant hält. In dem vorliegenden Beispiel führt die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 eine Verstärkungskompensation bei den ersten extrahierten Versatz-Ratter-FFT-Daten D132 aus, die durch die erste Ratterextrahiereinheit 222 erzeugt werden. Die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 kann ebenso vorgeschaltet zu der ersten Ratterextrahiereinheit 222 angeordnet sein. Das heißt, die ersten Versatzratter-FFT-Daten D122, die durch die erste Ratter-FFT-Analyseeinheit 221 erzeugt werden, können ebenso der Verstärkungskompensation unterzogen werden.A surface property generating device 203 according to the fourth example preferably comprises the first chatter gain compensation unit 225 . When a signal of the displacement data detected by the displacement sensor exceeds a specific frequency, an associated signal strength tends to be weakened. The first chatter gain compensation unit 225 compensates for the signal strength for each frequency based on a relationship between a frequency and a signal strength stored in advance while keeping an output level constant. In the present example, the first chatter gain compensation unit performs 225 gain compensation on the first extracted offset chatter FFT data D132 from that by the first rat extraction unit 222 be generated. The first chatter gain compensation unit 225 can also be connected upstream of the first rat extraction unit 222 be arranged. That is, the first displacement chatter FFT data D122 by the first chatter FFT analysis unit 221 can also be subjected to gain compensation.

17 zeigt Einzelheiten eines Vorderteils und eines Hinterteils der ersten Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 gemäß 16. Die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 umfasst eine Verstärkungsspeichereinheit 225a, die die Beziehung zwischen Frequenz und Signalstärke speichert, sowie eine Justiereinheit 225b, die die Verstärkungskompensation auf der Grundlage der Beziehung zwischen Frequenz und Signalstärke ausführt. Die Beziehung zwischen Frequenz und Signalstärke wird im Voraus in der Verstärkungsspeichereinheit 225a gespeichert. Wenn die ersten extrahierten Versatz-Ratter-FFT-Daten D132 in die Justiereinheit 225b eingegeben werden, wird die Beziehung zwischen Frequenz und Signalstärke von der Verstärkungsspeichereinheit 225a abgerufen. Die Justiereinheit 225b führt eine Verstärkungskompensation bei den ersten extrahierten Versatz-Ratter-FFT-Daten D132 auf der Grundlage der Beziehung zwischen Frequenz und Signalstärke aus und gibt das zugehörige Ergebnis aus. 17th Fig. 13 shows details of a front part and a rear part of the first chatter gain compensation unit 225 according to 16 . The first chatter gain compensation unit 225 comprises a gain storage unit 225a that stores the relationship between frequency and signal strength, and an adjustment unit 225b that performs gain compensation based on the relationship between frequency and signal strength. The relationship between frequency and signal strength is stored in advance in the gain storage unit 225a saved. When the first extracted offset chatter FFT data D132 into the adjustment unit 225b are input, the relationship between frequency and signal strength is obtained from the gain storage unit 225a retrieved. The adjustment unit 225b performs gain compensation on the first extracted offset chatter FFT data D132 based on the relationship between frequency and signal strength and outputs the associated result.

Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 umfasst vorzugsweise eine zweite Ratterverstärkungskompensationseinheit 275, die die gleiche Konfiguration wie die der ersten Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 aufweist. Die zweite Ratterverstärkungskompensationseinheit 275 führt die gleiche Verarbeitung wie die der ersten Ratterverstärkungskompensationseinheit 225 aus, wobei die gleiche Konfiguration verwendet werden kann.The second chatter offset generating unit 27 preferably comprises a second chatter gain compensation unit 275 which have the same configuration as that of the first chatter gain compensation unit 225 having. The second chatter gain compensation unit 275 performs the same processing as that of the first chatter gain compensation unit 225 and the same configuration can be used.

Wenn der Beschleunigungssensor 15 wie in dem ersten Beispiel verwendet wird, kann der Beschleunigungssensor 15 rasch auf Oberflächenformänderungen reagieren, wobei er eine hervorragende Rattererfassungsgenauigkeit aufweist, wenn ein Versatz pro Stunde groß ist. Demgegenüber ist, wenn der Versatzsensor wie in dem vierten Beispiel verwendet wird, die Rattererfassungsgenauigkeit hervorragend, wenn der Versatz pro Stunde klein ist. Indem die Verstärkungskompensation in einem Fall, bei dem der Versatzsensor verwendet wird, ausgeführt wird, kann das Rattern ebenso genau erfasst werden, auch wenn der Versatz pro Stunde groß ist.When the accelerometer 15th as used in the first example, the accelerometer 15th respond quickly to surface shape changes, exhibiting excellent chatter detection accuracy when an offset per hour is large. In contrast, when the displacement sensor is used as in the fourth example, the chatter detection accuracy is excellent when the displacement per hour is small. By performing the gain compensation in a case where the displacement sensor is used, the chatter can also be accurately detected even when the displacement per hour is large.

(Fünftes Beispiel)(Fifth example)

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 5 gemäß einem fünften Beispiel wird unter Bezugnahme auf die 18 und 19 beschrieben. Wie es in 18 gezeigt ist, umfasst eine Schleifvorrichtung 102 gemäß dem fünften Beispiel einen Lasersensor eines kontaktfreien Typs 18 als den Versatzsensor, wobei der Lasersensor 18 ebenso als die Außendurchmessermessvorrichtung dient. Wie es in 19 gezeigt ist, umfassen in einer Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 205 gemäß dem fünften Beispiel die Umfangsrattererzeugungseinheit 22, die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 und die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 jeweils Filtervorrichtungen 22a, 25a und 27a, die keine FFT-Umwandlung und Umkehr-FFT-Umwandlung ausführen.A surface property estimation system 5 according to a fifth example, with reference to FIG 18th and 19th described. Like it in 18th shown comprises a grinding device 102 according to the fifth example, a non-contact type laser sensor 18th than the displacement sensor, where the laser sensor 18th also serves as the outer diameter measuring device. Like it in 19th shown include in a surface property generating device 205 according to the fifth example, the circumferential rattle generation unit 22nd , the outside diameter data acquisition unit 25th and the second chatter offset generating unit 27 each filter device 22a , 25a and 27a that do not do FFT conversion and reverse FFT conversion.

Der Lasersensor 18 umfasst eine Laserbestrahlungseinheit 181, die die Oberfläche des Werkstücks W mit einem Laser bestrahlt, und eine Erfassungseinheit 182, die den Laser, der durch die Oberfläche des Werkstücks W reflektiert wird, erfasst. Der Lasersensor 18 ist in einer kontaktfreien Art und Weise angeordnet, bestrahlt die Oberfläche des Werkstücks W mit dem Laser und empfängt den reflektierten Laser, um eine Entfernung von einer Referenzposition, bei der der Lasersensor 18 angeordnet ist, zu dem Werkstück W zu messen. Durch ein Messen der Entfernung von der Referenzposition zu dem Werkstück W kann ein Versatz, der durch die Drehung des Werkstücks W verursacht wird, das heißt ein Versatz der Oberflächenunregelmäßigkeiten des Werkstücks W erfasst werden. Der Lasersensor 18 kann ebenso den Außendurchmesser des Werkstücks W zur gleichen Zeit messen. Der Lasersensor 18 wird durch eine Axialrichtungsbewegungsvorrichtung 183 gehalten und ist in der axialen Richtung des Werkstücks W, das heißt in der Z-Achsenrichtung bewegbar. Eine Bewegung des Lasersensors 18 in der Z-Achsenrichtung wird durch eine Axialrichtungsbewegungssteuerungseinheit 184 gesteuert.The laser sensor 18th comprises a laser irradiation unit 181 covering the surface of the workpiece W. irradiated with a laser, and a detection unit 182 that have the laser going through the surface of the workpiece W. is reflected. The laser sensor 18th is arranged in a non-contact manner, irradiates the surface of the workpiece W. with the laser and receives the reflected laser to move a distance from a reference position at which the laser sensor is located 18th is arranged to the workpiece W. to eat. By measuring the distance from the reference position to the workpiece W. can be an offset caused by the rotation of the workpiece W. is caused, that is, an offset of the surface irregularities of the workpiece W. are recorded. The laser sensor 18th can also be the outer diameter of the workpiece W. measure at the same time. The laser sensor 18th is by an axial direction moving device 183 held and is in the axial direction of the workpiece W. , that is, movable in the Z-axis direction. A movement of the laser sensor 18th in the Z-axis direction is controlled by an axial direction movement control unit 184 controlled.

Die Basisdatenbeschaffungseinheit 21 beschafft die Versatzbasisdaten D112 auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten, die einen Versatz betreffen, die ein erfasster Wert des Lasersensors 18 sind. Die Umfangsrattererzeugungseinheit 22 umfasst die erste Ratterfiltervorrichtung 22a und extrahiert auf der Grundlage der Versatzbasisdaten D112 eine spezifische Frequenzkomponente, die die Drehfrequenz-Frequenzkomponente entsprechend der Drehfrequenz des Schleifrads 12 ist. Die erste Ratterfiltervorrichtung 22a kann die gleiche Vorrichtung wie in den ersten bis vierten Beispielen sein. Die erste Ratterfiltervorrichtung 22a ist hier jedoch eine Vorrichtung, die nicht durch die FFT-Umwandlung und die Umkehr-FFT-Umwandlung geht. Spezifisch ist die erste Ratterfiltervorrichtung 22a eine Vorrichtung, die eine gewünschte Frequenzdomänenkomponente aus den Versatzbasisdaten D112 durch verschiedene Bearbeitungstypen, wie beispielsweise einem Bandpassfilter und einem Gauß-Filter, extrahiert. Die erste Ratterfiltervorrichtung 22a ist bereitgestellt, wobei erste extrahierte Versatz-Ratter-Daten D152 auf der Grundlage der Versatzbasisdaten D112 ohne Ausführung der FFT-Umwandlung beschafft werden können. Ein Signalverlauf der ersten extrahierten Versatzratterdaten D152 ist im Wesentlichen der gleiche wie ein Signalverlauf der ersten Versatz-Ratter-Umkehr-FFT-Daten D142.The basic data collection unit 21 acquires the offset base data D112 based on time series data concerning an offset that is a detected value of the laser sensor 18th are. The circumferential rattle generation unit 22nd comprises the first chatter filter device 22a and extracted based on the offset base data D112 a specific frequency component that is the rotational frequency frequency component corresponding to the rotational frequency of the grinding wheel 12th is. The first chatter filter device 22a may be the same device as in the first to fourth examples. The first chatter filter device 22a however, here is a device that does not go through the FFT conversion and the inverse FFT conversion. The first chatter filter device is specific 22a a device that extracts a desired frequency domain component from the offset base data D112 extracted by various types of processing such as a band pass filter and a Gaussian filter. The first chatter filter device 22a is provided with first extracted offset chatter data D152 based on the offset base data D112 can be obtained without performing the FFT conversion. A waveform of the first extracted displacement chatter data D152 is substantially the same as a waveform of the first offset-chatter-reverse FFT data D142 .

Die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit 27 umfasst die zweite Ratterfiltervorrichtung 27a, die die gleiche Konfiguration wie die erste Ratterfiltervorrichtung 22a der Umfangsrattererzeugungseinheit 22 aufweist. In der gleichen Art und Weise wie die erste Ratterfiltervorrichtung 22a erzeugt die zweite Ratterfiltervorrichtung 27a zweite extrahierte Versatzratterdaten D352 auf der Grundlage der Versatzbasisdaten D112 ohne eine Ausführung der FFT-Umwandlung. Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 umfasst ebenso die Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung 25a, die die gleiche Konfiguration wie die erste Ratterfiltervorrichtung 22a der Umfangsrattererzeugungseinheit 22 aufweist. Die Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung 25a erzeugt extrahierte Außendurchmesserdaten D25 auf der Grundlage der Außendurchmesserbasisdaten D21, die durch den Lasersensor 18 beschafft werden. Wenn die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung 204 eine derartige Konfiguration aufweist, ist es einfach, verschiedene Datentypen zu bearbeiten.The second chatter offset generating unit 27 comprises the second chatter filter device 27a having the same configuration as the first chatter filter device 22a the circumferential chatter generating unit 22nd having. In the same way as the first chatter filter device 22a generates the second chatter filter device 27a second extracted displacement chatter data D352 based on the offset base data D112 without performing the FFT conversion. The outside diameter data acquisition unit 25th also includes the outer diameter data filter device 25a having the same configuration as the first chatter filter device 22a the circumferential chatter generating unit 22nd having. The outside diameter data filter device 25a generates extracted outside diameter data D25 based on the outside diameter base data D21 by the laser sensor 18th be procured. When the surface property generating device 204 has such a configuration, it is easy to handle various types of data.

(Sechstes Beispiel)(Sixth example)

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 6 gemäß einem sechsten Beispiel wird unter Bezugnahme auf 20 beschrieben. Zusätzlich zu dem Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 5 gemäß dem fünften Beispiel umfasst die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 des Oberflächeneigenschaftsschätzsystems 6 gemäß dem sechsten Beispiel eine Kreisförmigkeitsabweichungsbeschaffungseinheit 255, die eine Abweichung von einer Kreisform des Werkstücks W beschafft.A surface property estimation system 6th according to a sixth example, reference is made to FIG 20th described. In addition to the surface property estimation system 5 according to the fifth example, the outer diameter comprises a data acquisition unit 25th of the surface property estimation system 6th according to the sixth example, a circularity deviation obtaining unit 255 showing a deviation from a circular shape of the workpiece W. procured.

Das Oberflächeneigenschaftsschätzsystem 6 beschafft die Außendurchmesserdaten des Werkstücks W bei zufälligen Positionen des Werkstücks W bei der gleichen Position in der axialen Richtung des Werkstücks W wie die Abweichung von einer Kreisform des Werkstücks W. Das heißt, die Außendurchmesserdaten des Werkstücks W werden in einem Zustand beschafft, bei dem eine Außendurchmessermessposition auf der Oberfläche des Werkstücks W nicht durch die Außendurchmessermessvorrichtung in der axialen Richtung bewegt wird. Ein Querschnitt, der orthogonal zu der axialen Richtung des Werkstücks W ist, kann zu einer kreisförmigen Form aufgrund einer Abweichung während eines Anbringens an die Schleifvorrichtung oder dergleichen zusätzlich zu einem Fall, bei dem der Querschnitt durch einen Entwurf nicht kreisförmig ist, deformiert sein. Die Kreisförmigkeitsabweichungsbeschaffungseinheit 255 beschafft die Störung und reflektiert die Störung in einer Schätzung der Oberflächeneigenschaft. Da die Abweichung von einer kreisförmigen Form des Werkstücks W als im Wesentlichen die gleiche bei jeder Position in der axialen Richtung betrachtet werden kann, ist es ausreichend, die Abweichung von einer kreisförmigen Form bei einem Punkt in der axialen Richtung des Werkstücks W zu messen. Ein Zeitpunkt einer Beschaffung der Abweichung von der kreisförmigen Form ist nicht spezifisch begrenzt, wobei es einfach ist, einen Umfang des Außenumfangs des Werkstücks W zu messen, ohne eine relative Position zwischen dem Werkstück W und der Außendurchmessermessvorrichtung zu bewegen, bevor die Basisdaten beschafft werden, während die Außendurchmessermessposition durch die Außendurchmessermessvorrichtung in der Spiralform auf der Oberfläche des Werkstücks W bewegt wird.The surface property estimation system 6th obtains the outside diameter data of the workpiece W. at random positions of the workpiece W. at the same position in the axial direction of the workpiece W. like the deviation from a circular shape of the workpiece W. . That is, the outside diameter data of the workpiece W. are obtained in a state that an outer diameter measuring position is on the surface of the workpiece W. is not moved in the axial direction by the outer diameter measuring device. A cross section that is orthogonal to the axial direction of the workpiece W. may be deformed into a circular shape due to a deviation during attachment to the grinding jig or the like, in addition to a case where the cross section is not circular by design. The circularity variance acquisition unit 255 procures the disturbance and reflects the disturbance in an estimate of the surface property. Because the deviation from a circular shape of the workpiece W. can be regarded as substantially the same at each position in the axial direction, it is sufficient to determine the deviation from a circular shape at one point in the axial direction of the workpiece W. to eat. A timing of obtaining the deviation from the circular shape is not specifically limited, and it is easy to determine a circumference of the outer circumference of the workpiece W. to measure without a relative position between the workpiece W. and move the outer diameter measuring device, before acquiring the basic data, while the outer diameter measuring position by the outer diameter measuring device is in the spiral shape on the surface of the workpiece W. is moved.

Die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit 25 subtrahiert die Abweichung von einer kreisförmigen Form, die durch die Kreisförmigkeitsabweichungsbeschaffungseinheit 255 beschafft wird, von den extrahierten Außendurchmesserdaten D25, die beschafft werden, während der Außenumfang des Werkstücks W spiralförmig bewegt wird, wobei sie ein zugehöriges Ergebnis als die Außendurchmesserdaten erhält. Auf diese Weise ist es möglich, die Oberflächeneigenschaften genauer zu schätzen.The outside diameter data acquisition unit 25th subtracts the deviation from a circular shape determined by the circularity deviation obtaining unit 255 is obtained from the extracted outside diameter data D25 that are procured while the outer circumference of the workpiece W. is moved spirally, obtaining an associated result as the outer diameter data. In this way it is possible to estimate the surface properties more precisely.

Ein Oberflächeneigenschaftsschätzsystem umfasst: einen Sensor, der Informationen entsprechend einer Oberflächenbedingung eines Werkstücks ausgibt; und eine Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung, die eine ebene Oberflächeneigenschaft des Werkstücks auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten, die durch den Sensor erfasst werden, erzeugt. Die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung umfasst: eine Basisdatenbeschaffungseinheit, die als Basisdaten die Zeitabfolgedaten für jeden von vorbestimmten Winkeln beschafft, wenn eine Messposition auf einer Oberfläche des Werkstücks spiralförmig bewegt wird; eine Umfangsrattererzeugungseinheit, die Umfangsrattern bei axialen Positionen des Werkstücks auf der Grundlage der Vielzahl der Basisdaten erzeugt; und eine Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit, die ein ebenes Rattern erzeugt, indem die Vielzahl von Umfangsrattern bei den unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks als die Vielzahl von Umfangsrattern bei dem gleichen Winkel des Werkstücks betrachtet wird.A surface property estimation system includes: a sensor that outputs information corresponding to a surface condition of a workpiece; and a surface property generation device that generates a planar surface property of the workpiece based on timing data acquired by the sensor. The surface property generation device includes: a basic data acquisition unit that acquires, as basic data, the time series data for each of predetermined angles when a measurement position on a surface of the workpiece is spirally moved; a Circumferential rattle generating unit that generates circumferential rattle at axial positions of the workpiece based on the plurality of the basic data; and a plane rattle generation unit that generates plane rattle by considering the plurality of circumferential rattles at the different angles of the workpiece as the plurality of circumferential rattles at the same angle of the workpiece.

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Claims (18)

Oberflächeneigenschaftsschätzsystem mit: einem Sensor, der konfiguriert ist, Informationen entsprechend einer Oberflächenbedingung eines Werkstücks auszugeben, das durch ein Schleifrad in einer Schleifvorrichtung geschliffen wird, wobei der Sensor zumindest einen Parameter aus einer Beschleunigung aufgrund einer Schwingung eines Kontaktelements in Kontakt mit einer Oberfläche des Werkstücks, die durch eine Drehung des Werkstücks verursacht wird, einem Versatz aufgrund der Schwingung des Kontaktelements und einem Versatz von einer Referenzposition zu der Oberfläche des Werkstücks in einem Fall, in dem er nicht in Kontakt mit der Oberfläche des Werkstücks angeordnet ist, erfasst, wobei die Beschleunigung, der Versatz aufgrund der Schwingung und der Versatz von der Referenzposition durch eine Drehung des Werkstücks verursacht werden; und einer Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung, die konfiguriert ist, eine ebene Oberflächeneigenschaft des Werkstücks auf der Grundlage von Zeitabfolgedaten zu erzeugen, die einen erfassten Wert betreffen, der durch den Sensor erfasst wird, wenn eine Messposition auf der Oberfläche des Werkstücks zumindest in einer Umfangsrichtung des Werkstücks bewegt wird, wobei die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung umfasst: eine Basisdatenbeschaffungseinheit, die konfiguriert ist, als eine Vielzahl von Basisdaten die Zeitabfolgedaten in Bezug auf eine Spiralposition für jeden von vorbestimmten Winkeln um eine Drehachse des Werkstücks herum zu beschaffen, wenn die Messposition auf der Oberfläche des Werkstücks spiralförmig bewegt wird; eine Umfangsrattererzeugungseinheit, die konfiguriert ist, Umfangsrattern bei unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks und bei unterschiedlichen axialen Positionen des Werkstücks auf der Grundlage der Vielzahl von Basisdaten in Bezug auf die Spiralposition für jeden der vorbestimmten Winkel zu erzeugen; und eine Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit, die konfiguriert ist, ein ebenes Rattern zu erzeugen, das gebildet wird, um eine Vielzahl von Umfangsrattern axial Seite an Seite anzuordnen, indem die Vielzahl von Umfangsrattern bei den unterschiedlichen Winkeln des Werkstücks als die Vielzahl von Umfangsrattern bei dem gleichen Winkel des Werkstücks betrachtet wird.Surface property estimation system with: a sensor that is configured to output information corresponding to a surface condition of a workpiece that is ground by a grinding wheel in a grinding device, the sensor at least one parameter from an acceleration due to a vibration of a contact element in contact with a surface of the workpiece, which is by a Rotation of the workpiece is caused, an offset due to the vibration of the contact member and an offset from a reference position to the surface of the workpiece in a case where it is not placed in contact with the surface of the workpiece, the acceleration, the offset due to the vibration and the displacement from the reference position caused by rotation of the workpiece; and a surface property generation device configured to generate a planar surface property of the workpiece based on timing data relating to a detected value detected by the sensor when a measurement position on the surface of the workpiece is moved at least in a circumferential direction of the workpiece, wherein the surface property generating device comprises: a basic data acquisition unit configured to acquire, as a plurality of basic data, the time series data related to a spiral position for each of predetermined angles around a rotation axis of the workpiece when the measurement position is spirally moved on the surface of the workpiece; a circumferential rattle generation unit configured to generate circumferential rattle at different angles of the workpiece and at different axial positions of the workpiece based on the plurality of basic data related to the spiral position for each of the predetermined angles; and a plane rattle generation unit configured to generate a plane rattle formed to axially arrange a plurality of circumferential rattles side by side by generating the plurality of circumferential rattles at the different angles of the workpiece than the plurality of circumferential rattles in the same angle of the workpiece is considered. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 1, wobei die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung ferner umfasst: eine Positionskorrektureinheit, die konfiguriert ist, eine umfänglich relative Position der Vielzahl von Umfangsrattern derart zu korrigieren, dass Ratterphasen bei Endpunkten der Vielzahl von Umfangsrattern miteinander in dem ebenen Rattern, das durch die Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit erzeugt wird, übereinstimmen.Surface property estimation system according to Claim 1 wherein the surface property generation device further comprises: a position correction unit configured to correct a circumferentially relative position of the plurality of circumferential rattles such that chatter phases at end points of the plurality of circumferential rattles with each other in the plane rattle generated by the plane rattle generation unit , to match. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit: einer Außendurchmessermessvorrichtung, die konfiguriert ist, einen Außendurchmesser des Werkstücks zu messen, wobei die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung umfasst: eine Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit, die konfiguriert ist, Außendurchmesserdaten des Werkstücks durch die Außendurchmessermessvorrichtung zu beschaffen, wenn die Basisdaten beschafft sind; und eine Außendurchmessersynthetisiereinheit, die konfiguriert ist, ein synthetisiertes ebenes Rattern zu erzeugen, das gebildet wird, um die Außendurchmesserdaten mit dem ebenen Rattern zu synthetisieren.Surface property estimation system according to Claim 1 or 2 further comprising: an outer diameter measuring device configured to measure an outer diameter of the workpiece, the surface property generation device comprising: an outer diameter data acquisition unit configured to acquire outer diameter data of the workpiece by the outer diameter measuring device when the basic data is acquired; and an outer diameter synthesizing unit configured to generate a synthesized plane rattle formed to synthesize the outer diameter data with the plane rattle. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 1 oder 2, ferner mit: einer Außendurchmessermessvorrichtung, die konfiguriert ist, einen Außendurchmesser des Werkstücks zu messen, wobei die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung ferner umfasst: eine Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit, die konfiguriert ist, Außendurchmesserdaten des Werkstücks durch die Außendurchmessermessvorrichtung zu beschaffen, wenn die Basisdaten beschafft sind; und eine Außendurchmessersynthetisiereinheit, die konfiguriert ist, synthetisierte Umfangsrattern zu erzeugen, die gebildet werden, um die Außendurchmesserdaten mit dem Umfangsrattern zu synthetisieren, und wobei die Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit ein synthetisiertes ebenes Rattern erzeugt, das gebildet wird, um die Vielzahl von synthetisieren Umfangsrattern nach einem Synthetisieren axial Seite an Seite anzuordnen.Surface property estimation system according to Claim 1 or 2 further comprising: an outer diameter measuring device configured to measure an outer diameter of the workpiece, the surface property generation device further comprising: an outer diameter data acquisition unit configured to acquire outer diameter data of the workpiece by the outer diameter measuring device when the basic data is acquired; and an outer diameter synthesizing unit configured to generate synthesized circumferential rattles formed to synthesize the outer diameter data with the circumferential rattle, and wherein the plane rattle generating unit generates a synthesized plane rattle that is formed around the plurality of synthesized circumferential rattles axially side-by-side after synthesizing. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Umfangsrattererzeugungseinheit ferner umfasst: eine erste Umfangsrattererzeugungseinheit, die konfiguriert ist, als die Umfangsrattern ein Rattern aufgrund einer Drehfrequenz des Schleifrads auf der Oberfläche des Werkstücks zu erzeugen; eine zweite Ratterversatzerzeugungseinheit, die konfiguriert ist, einen Versatz durch eine Schwingung, die zu dem Rattern aufgrund der Drehfrequenz des Schleifrads auf der Oberfläche des Werkstücks unterschiedlich ist, auf der Grundlage der Vielzahl von Basisdaten in Bezug auf die Spiralposition für jeden der vorbestimmten Winkel zu erzeugen; und eine zweite Ratterverschiebungsverarbeitungseinheit, die konfiguriert ist, in dem ebenen Rattern, das durch die Ebenes-Rattern-Erzeugungseinheit erzeugt wird, den Versatz durch die Schwingung, die zu dem Rattern aufgrund der Drehfrequenz des Schleifrads unterschiedlich ist, in einem gesamten Bereich der Oberflächeneigenschaft zu verschieben, wobei der Versatz durch die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit erzeugt wird.Surface property estimation system according to one of the Claims 1 to 4th wherein the circumferential rattle generation unit further comprises: a first circumferential rattle generation unit configured to generate, as the circumferential rattle, a rattle due to a rotational frequency of the grinding wheel on the surface of the workpiece; a second chatter displacement generating unit configured to generate displacement by vibration different from the chatter due to the rotational frequency of the grinding wheel on the surface of the workpiece, based on the plurality of basic data related to the spiral position for each of the predetermined angles ; and a second chatter displacement processing unit configured to, in the plane chatter, generated by the plane rattle generating unit to shift the displacement by the vibration different from the rattle due to the rotational frequency of the grinding wheel in a whole range of the surface property, the displacement being generated by the second chatter displacement generating unit. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 5, ferner mit: einer Bildausgabeeinheit, die konfiguriert ist, die Oberflächeneigenschaft, die durch die Oberflächeneigenschaftserzeugungsvorrichtung erzeugt wird, als ein Bild auszugeben.Surface property estimation system according to one of the Claims 1 to 5 Further comprising: an image output unit configured to output the surface property generated by the surface property generation device as an image. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Sensor ein Sensor ist, der konfiguriert ist, die Zeitabfolgedaten zu erfassen, die die Beschleunigung betreffen, wobei die Basisdatenbeschaffungseinheit die Basisdaten beschafft, die die Zeitabfolgedaten sind, die die Beschleunigung betreffen, die durch den Sensor erfasst werden, und wobei die Umfangsrattererzeugungseinheit eine erste Ratterfiltervorrichtung umfasst, die konfiguriert ist, auf der Grundlage der Basisdaten eine spezifische Frequenzkomponente zu extrahieren, die eine Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifenrads entspricht, um das Umfangsrattern bei einer Position in einer axialen Richtung des Werkstücks zu erzeugen.Surface property estimation system according to one of the Claims 1 to 6th wherein the sensor is a sensor configured to acquire the time series data relating to the acceleration, the basic data acquisition unit acquiring the basic data being the time series data relating to the acceleration acquired by the sensor, and the circumferential rattle generating unit a first chatter filter device configured to extract, based on the basic data, a specific frequency component that is a rotational frequency frequency component corresponding to the rotational frequency of the grinding wheel to generate the circumferential chatter at a position in an axial direction of the workpiece. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 7, wobei die erste Ratterfiltervorrichtung umfasst: eine erste Ratter-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Basisdaten auszuführen, um erste Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; eine erste Ratterextrahiereinheit, die konfiguriert ist, auf der Grundlage der ersten Ratter-FFT-Daten die spezifische Frequenzkomponente zu extrahieren, die die Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifrads entspricht, um erste extrahierte Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; eine erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten auszuführen, um erste Ratter-Umkehr-FFT-Daten zu erzeugen; und eine erste Ratterversatzumwandlungseinheit, die konfiguriert ist, irgendwelche aus den Basisdaten, die die Beschleunigung betreffen, den ersten Ratter-FFT-Daten, den ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten und den ersten Ratter-Umkehr-FFT-Daten in Daten umzuwandeln, die irgendwelchen aus den Basisdaten, die den Versatz betreffen, den ersten Ratter-FFT-Daten, den ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten, den ersten Rattert-Umkehr-FFP-Daten entsprechen.Surface property estimation system according to Claim 7 wherein the first chatter filter device comprises: a first chatter FFT analysis unit configured to perform FFT analysis based on the basic data to generate first chatter FFT data; a first chatter extraction unit configured to extract, based on the first chatter FFT data, the specific frequency component that is the rotation frequency frequency component corresponding to the rotation frequency of the grinding wheel to generate first extracted chatter FFT data; a first chatter reverse FFT analysis unit configured to perform reverse FFT analysis based on the first extracted chatter FFT data to generate first chatter reverse FFT data; and a first chatter offset converting unit configured to convert any of the basic data relating to acceleration, the first chatter FFT data, the first extracted chatter FFT data, and the first chatter reverse FFT data into data relating to the corresponds to any of the basic data relating to the offset, the first chatter FFT data, the first extracted chatter FFT data, the first chatter reverse FFP data. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei der Sensor ein Sensor ist, der konfiguriert ist, die Zeitabfolgedaten, die den Versatz betreffen, zu erfassen, wobei die Basisdatenbeschaffungseinheit die Basisdaten beschafft, die die Zeitabfolgedaten sind, die den Versatz betreffen, der durch den Sensor erfasst wird, und wobei die Umfangsrattererzeugungseinheit eine erste Ratterfiltervorrichtung umfasst, die konfiguriert ist, auf der Grundlage der Basisdaten eine spezifische Frequenzkomponente zu extrahieren, die eine Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifenrads entspricht, um das Umfangsrattern bei einer Position in einer axialen Richtung des Werkstücks zu erzeugen.Surface property estimation system according to one of the Claims 1 to 6th , wherein the sensor is a sensor configured to acquire the time series data relating to the offset, the basic data acquisition unit acquiring the basic data being the time series data relating to the offset detected by the sensor, and the A circumferential rattle generation unit comprises a first chatter filter device configured to extract, based on the basic data, a specific frequency component that is a rotation frequency frequency component corresponding to the rotation frequency of the grinding wheel to generate the circumferential rattle at a position in an axial direction of the workpiece. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 9, ferner mit: einer Außendurchmessermessvorrichtung, die konfiguriert ist, einen Außendurchmesser des Werkstücks zu messen, wobei der Sensor der gleiche wie die Außendurchmessermessvorrichtung ist.Surface property estimation system according to Claim 9 , further comprising: an outer diameter measuring device configured to measure an outer diameter of the workpiece, wherein the sensor is the same as the outer diameter measuring device. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 9 oder 10, wobei die erste Ratterfiltervorrichtung umfasst: eine erste Ratter-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Basisdaten auszuführen, um erste Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; eine erste Ratterextrahiereinheit, die konfiguriert ist, auf der Grundlage der ersten Ratter-FFT-Daten die spezifische Frequenzkomponente zu extrahieren, die die Drehfrequenz-Frequenzkomponente ist, die der Drehfrequenz des Schleifenrads entspricht, um erste extrahierte Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; eine erste Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten auszuführen, um erste Ratter-Umkehr-FFT-Daten zu erzeugen; und eine erste Ratterverstärkungskompensationseinheit, die konfiguriert ist, eine Kompensation einer Signalstärke für jede Frequenz in Bezug auf die ersten Ratter-FFT-Daten, die in der ersten Ratterextrahiereinheit verwendet werden, oder der ersten extrahierten Ratter-FFT-Daten, die in der ersten Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit verwendet werden, auszuführen.Surface property estimation system according to Claim 9 or 10 wherein the first chatter filter device comprises: a first chatter FFT analysis unit configured to perform FFT analysis based on the basic data to generate first chatter FFT data; a first chatter extraction unit configured to extract, based on the first chatter FFT data, the specific frequency component that is the rotation frequency frequency component corresponding to the rotation frequency of the loop wheel to generate first extracted chatter FFT data; a first chatter reverse FFT analysis unit configured to perform reverse FFT analysis based on the first extracted chatter FFT data to generate first chatter reverse FFT data; and a first chatter gain compensation unit configured to compensate for a signal strength for each frequency with respect to the first chatter FFT data used in the first chatter extraction unit or the first extracted chatter FFT data included in the first chatter - Reverse FFT analysis unit can be used to run. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 11, wobei die erste Ratterverstärkungskompensationseinheit umfasst: eine Verstärkungsspeichereinheit, die konfiguriert ist, eine Beziehung zwischen der Frequenz und der Signalstärke zu speichern; und eine Justiereinheit, die konfiguriert ist, eine Verstärkungskompensation auf der Grundlage der Beziehung zwischen der Frequenz und der Signalstärke auszuführen.Surface property estimation system according to Claim 11 wherein the first chatter gain compensation unit comprises: a gain storage unit configured to include a Store relationship between frequency and signal strength; and an adjustment unit configured to perform gain compensation based on the relationship between the frequency and the signal strength. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 3 oder 4, wobei die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit umfasst: eine Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung, die konfiguriert ist, eine spezifische Frequenzdomänenkomponente auf der Grundlage der Zeitabfolgedaten, die den Außendurchmesser des Werkstücks betreffen, der durch die Außendurchmessermessvorrichtung erfasst wird, zu extrahieren.Surface property estimation system according to Claim 3 or 4th wherein the outer diameter data acquisition unit comprises: an outer diameter data filter device configured to extract a specific frequency domain component based on the time series data concerning the outer diameter of the workpiece detected by the outer diameter measuring device. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 13, wobei die Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung umfasst: eine Außendurchmesserbasisdatenbeschaffungseinheit, die konfiguriert ist, Außendurchmesserbasisdaten zu beschaffen, die die Zeitabfolgedaten sind, die den Außendurchmesser des Werkstücks betreffen, der durch die Außendurchmessermessvorrichtung erfasst wird; eine Außendurchmesser-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Außendurchmesserbasisdaten auszuführen, um Außendurchmesser-FFT-Daten zu erzeugen; eine Außendurchmesserextrahiereinheit, die konfiguriert ist, die spezifische Frequenzdomänenkomponente zu extrahieren, um extrahierte Außendurchmesser-FFT-Daten auf der Grundlage der Außendurchmesser-FFT-Daten zu erzeugen; und eine Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine Umkehr-FFT-Analyse auszuführen, um Außendurchmesser-Umkehr-FFT-Daten auf der Grundlage der extrahierten Außendurchmesser-FFT-Daten zu erzeugen.Surface property estimation system according to Claim 13 wherein the outer diameter data filter device comprises: an outer diameter basic data acquisition unit configured to acquire outer diameter basic data that is the time series data concerning the outer diameter of the workpiece acquired by the outer diameter measuring device; an outside diameter FFT analysis unit configured to perform FFT analysis based on the outside diameter base data to generate outside diameter FFT data; an outer diameter extraction unit configured to extract the specific frequency domain component to generate extracted outer diameter FFT data based on the outer diameter FFT data; and an outer diameter inverse FFT analysis unit configured to perform an inverse FFT analysis to generate outer diameter inverse FFT data based on the extracted outer diameter FFT data. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 14, wobei die Außendurchmesserextrahiereinheit eine Niedrigfrequenzkomponente, die eine Einzelspitze-pro-Umdrehung-Komponente ausschließt, extrahiert.Surface property estimation system according to Claim 14 wherein the outer diameter extraction unit extracts a low frequency component excluding a single point-per-revolution component. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 5, wobei die zweite Ratterversatzerzeugungseinheit umfasst: eine zweite Ratter-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine FFT-Analyse auf der Grundlage der Basisdaten auszuführen, um zweite Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; eine zweite Ratterextrahiereinheit, die konfiguriert ist, auf der Grundlage der zweiten Ratter-FFT-Daten eine zweite Ratterfrequenzkomponente, die zu einer Drehfrequenz-Frequenzkomponente unterschiedlich ist, die der Drehfrequenz des Schleifrads entspricht, zu extrahieren, um zweite extrahierte Ratter-FFT-Daten zu erzeugen; und eine zweite Ratter-Umkehr-FFT-Analyseeinheit, die konfiguriert ist, eine Umkehr-FFT-Analyse auf der Grundlage der zweiten extrahierten Ratter-FFT-Daten auszuführen, um zweite Ratter-Umkehr-FFT-Daten zu erzeugen.Surface property estimation system according to Claim 5 wherein the second chatter offset generation unit comprises: a second chatter FFT analysis unit configured to perform FFT analysis based on the basic data to generate second chatter FFT data; a second chatter extraction unit configured to extract, based on the second chatter FFT data, a second chatter frequency component different from a rotation frequency frequency component corresponding to the rotation frequency of the grinding wheel to obtain second extracted chatter FFT data produce; and a second chatter reverse FFT analysis unit configured to perform reverse FFT analysis based on the second extracted chatter FFT data to generate second chatter reverse FFT data. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 3 oder 4, wobei die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit eine Kreisförmigkeitsabweichungsbeschaffungseinheit umfasst, die konfiguriert ist, eine Abweichung von einer kreisförmigen Form des Werkstücks zu beschaffen.Surface property estimation system according to Claim 3 or 4th wherein the outer diameter data acquisition unit includes a circularity deviation acquisition unit configured to acquire a deviation from a circular shape of the workpiece. Oberflächeneigenschaftsschätzsystem nach Anspruch 17, wobei die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit eine Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung umfasst, die konfiguriert ist, eine spezifische Frequenzdomänenkomponente auf der Grundlage der Zeitabfolgedaten, die den Außendurchmesser des Werkstücks betreffen, der durch die Außendurchmessermessvorrichtung erfasst wird, zu extrahieren, und wobei die Außendurchmesserdatenbeschaffungseinheit die Abweichung von der kreisförmigen Form von extrahierten Außendurchmesserdaten subtrahiert, die durch die Außendurchmesserdatenfiltervorrichtung extrahiert werden.Surface property estimation system according to Claim 17 wherein the outer diameter data acquisition unit comprises an outer diameter data filter device configured to extract a specific frequency domain component based on the time series data concerning the outer diameter of the workpiece detected by the outer diameter measuring device, and the outer diameter data acquisition unit extracted the deviation from the circular shape from Subtracts outside diameter data extracted by the outside diameter data filter device.
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