DE102019215179A1

DE102019215179A1 - Auswertevorrichtung und Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors

Info

Publication number: DE102019215179A1
Application number: DE102019215179.5A
Authority: DE
Inventors: Matthias Meier; Andrea Visconti
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2019-10-02
Filing date: 2019-10-02
Publication date: 2021-04-08

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Auswertevorrichtung (10) für einen mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensor (14), wobei die Auswertevorrichtung (10) dazu ausgelegt ist, unter Berücksichtigung zumindest eines aktuell zwischen einer ersten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer ersten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1) und eines aktuell zwischen einer zweiten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer zweiten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) ein Messsignal (M) festzulegen, und wobei die Auswertevorrichtung (10) zusätzlich dazu ausgelegt ist, das Messsignal (M) unter Berücksichtigung zumindest des aktuell abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1), des aktuell abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) und mindestens einer abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe (σ) bezüglich einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) festzulegen. Ebenso betrifft die Erfindung einen Sensor (14) und ein Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors (14).

Description

Die Erfindung betrifft eine Auswertevorrichtung für einen mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensor und einen Sensor. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors.
Stand der Technik
Aus dem Stand der Technik, wie beispielsweise der DE 10 2014 202 053 A1 , sind mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildete Sensorvorrichtungen bekannt, wobei die zwei Elektroden-Massen, eine Anbindung der Elektroden-Massen über Federn und den zwei Elektroden-Massen zugeordnete Elektroden bezüglich einer mittig zwischen den Elektroden-Massen verlaufenden Symmetrieachse spiegelsymmetrisch sein sollen.
1 zeigt eine schematische Darstellung zur Erläuterung einer herkömmlichen Vorgehensweise zum Auswerten einer mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildete Sensorvorrichtung gemäß dem Stand der Technik.
Bei der mittels der 1 schematisch wiedergegebenen herkömmlichen Vorgehensweise werden ein erstes Sensorsignal S1 zwischen einer ersten der zwei Elektroden-Massen einer nur schematisch skizzierten Sensorstruktur 2 und einer der ersten Elektroden-Masse zugeordneten ersten Sensor-Elektrode der Sensorstruktur 2 und ein zweites Sensorsignal S2 zwischen einer zweiten der zwei Elektroden-Massen der Sensorstruktur 2 und einer der zweiten Elektroden-Masse zugeordneten zweiten Sensor-Elektrode der Sensorstruktur 2 abgegriffen. Vor einer herkömmlichen Auswerteschaltung 4 zur Differenzbildung wird ein Messsignal M_pa aus dem ersten Sensorsignal S1 und dem zweiten Sensorsignal S2 mittels einer Differenzbildung festgelegt.
Offenbarung der Erfindung
Die Erfindung schafft eine Auswertevorrichtung für einen mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 1, einen Sensor mit den Merkmalen des Anspruchs 6 und ein Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors mit den Merkmalen des Anspruchs 9.
Vorteile der Erfindung
Die vorliegende Erfindung schafft Möglichkeiten zum Reduzieren oder Korrigieren einer Vibrationsempfindlichkeit eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors. Wie unten genauer ausgeführt ist, können mittels der vorliegenden Erfindung Vibrations-bedingte Fehler an einem Messsignal des jeweiligen Sensors herauskorrigiert/herausgefiltert werden. Die vorliegende Erfindung bewirkt damit auch eine Steigerung einer Messgenauigkeit und/oder eine Reduzierung einer Fehlerhäufigkeit des damit zusammenwirkenden Sensors. Der unter Nutzung der vorliegenden Erfindung eingesetzte Sensor kann deshalb vielseitiger eingesetzt werden, insbesondere auch an häufigen und/oder starken Erschütterungen ausgesetzten Orten. Wie nachfolgend genauer erläutert wird, entfällt bei einer Nutzung der vorliegenden Erfindung auch die bisherige Notwendigkeit, bei der Herstellung des jeweiligen Sensors eine Soll-Spiegelsymmetrie seiner Sensorik bezüglich einer Soll-Symmetrieachse (streng) einzuhalten. Eine Nutzung der vorliegenden Erfindung steigert somit nicht nur eine Einsetzbarkeit des jeweiligen Sensors, sondern erleichtert auch dessen Herstellung und reduziert dessen Herstellungskosten.
In einer vorteilhaften Ausführungsform ist die Auswertevorrichtung dazu ausgelegt, ein Summensignal aus dem ersten Sensorsignal S1 und dem zweiten Sensorsignal S2 zu bilden, ein Korrektursignal S_cor zumindest mittels einer Multiplikation des Summensignals mit der abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe oder mit einem Mittelwert mehrerer selbst-festgelegter Größen zu bilden und mittels einer Differenzbildung aus dem ersten Sensorsignal S1, dem zweiten Sensorsignal S2 und dem Korrektursignal S_cor das Messsignal M festzulegen gemäß: M = S1 - S2 - S_cor. Derartige Rechenschritte sind mittels einer vergleichsweise kostengünstigen und relativ wenig Bauraum benötigenden Elektronik ausführbar.
Beispielsweise kann die Auswertevorrichtung eine Speichereinheit umfassen, auf welcher die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors abgespeichert ist. Die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors kann somit global/designspezifisch für den jeweiligen Sensortyp, insbesondere unter Berücksichtigung einer designbedingten Asymmetrie des jeweiligen Sensortyps, ausgeführter/berechneter Simulationen bezüglich des jeweiligen Sensortyps und/oder einer Mittelwertbildung eines experimentell charakterisierten Ensembles festgelegt und auf der Speichereinheit abgespeichert werden. Dies ist auf einfache und kostengünstige Weise ausführbar.
Bevorzugter Weise ist die Auswertevorrichtung zusätzlich dazu ausgelegt, die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors selbst festzulegen. Dazu kann auf der Auswertevorrichtung mindestens eine Formel hinterlegt sein, mittels welcher eine teilespezifische (und deshalb genaue) Festlegung der mindestens einen Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors anhand mindestens einer an dem Sensor gemessenen Sensorgröße, wie z.B. einer Quadratur des Sensors/Drehratensensors, ausführbar ist. Ein weiterer Vorteil der hier beschriebenen Ausführungsform der Auswertevorrichtung besteht darin, dass sie Möglichkeiten zum automatischen/autonomen Charakterisieren der Vibrationsempfindlichkeit des ausgebildeten Sensors ohne einen von einer Person auszuführenden Arbeitsschritt schafft. Die Charakterisierung der Vibrationsempfindlichkeit kann auch während eines Betriebs des jeweiligen Sensors innerhalb seiner gesamten Lebensdauer ausgeführt werden.
Insbesondere kann mittels der Auswertevorrichtung eine Betreibereinrichtung des Sensors dazu aktivierbar sein, ein Test-Spannungssignal gleichzeitig zwischen der ersten Elektroden-Masse und einer in einer ersten Raumrichtung zu der ersten Elektroden-Masse angeordneten ersten Test-Elektrode des Sensors und zwischen der zweiten Elektroden-Masse und einer in der ersten Raumrichtung zu der zweiten Elektroden-Masse angeordneten zweiten Test-Elektrode des Sensors derart anzulegen, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen mittels des Test-Spannungssignals in Auslenkbewegungen versetzbar sind, und wobei die Auswertevorrichtung dazu ausgelegt ist, unter Berücksichtigung zumindest des aktuell zwischen der in ihre erste Auslenkbewegung versetzten ersten Elektroden-Masse und der ersten Sensor-Elektrode abgegriffenen ersten Sensorsignals und des aktuell zwischen der in ihre zweite Auslenkbewegung versetzten zweiten Elektroden-Masse und der zweiten Sensor-Elektrode abgegriffenen zweiten Sensorsignals mittels einer Differenzbildung die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors festzulegen. Die hier beschriebene Ausführungsform schafft Möglichkeiten zum Charakterisieren einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors ohne die Verwendung einer mechanischen Vibriervorrichtung zum Versetzen des jeweiligen Sensors in Vibrationen. Deshalb ist es bei einer Nutzung der hier beschriebenen Ausführungsform auch nicht notwendig, den zu charakterisierenden Sensor auf einer Haftfläche der mechanischen Vibriervorrichtung zu befestigen, beispielsweise indem der Sensor auf einer Trägerstruktur/Leiterplatte festgelötet wird und die Trägerstruktur/Leiterplatte anschließend auf der Haftfläche festgeklebt oder festgelötet wird. Des Weiteren müssen bei einer Nutzung der vorliegenden Erfindung auch nicht die Ungenauigkeiten bei der Charakterisierung des Sensors in Kauf genommen werden, welche bei einem Festklemmen des Sensors auf der Haftfläche der mechanischen Vibriervorrichtung auftreten. Die hier beschriebene Ausführungsform schafft damit Möglichkeiten zum Charakterisieren einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors, welche relativ kostengünstig und mit einem vergleichsweise geringen Arbeitsaufwand ausführbar ist und trotzdem verlässliche Größen liefert. Während herkömmlicherweise die Probleme und Nachteile einer Nutzung einer mechanischen Vibriervorrichtung, wie beispielsweise eines mechanischen Vibrators oder eines mechanischen „Shakers“, zum Untersuchen einer Vibrationsempfindlichkeit eines Sensors so groß sind, dass derartige Untersuchungen kaum ausgeführt werden, vereinfacht die hier beschriebene Ausführungsform eine Charakterisierung einer Vibrationsempfindlichkeit von Sensoren und trägt damit zur häufigeren Untersuchung von Sensoren bezüglich dieser wichtigen Eigenschaft bei.
Die vorausgehend beschriebenen Vorteile sind auch realisiert bei einem Sensor mit einer derartigen Auswertevorrichtung. Der Sensor kann beispielsweise ein Drehratensensor oder ein Magnetfeldsensor sein. Die hier genannten Sensortypen sich jedoch nur beispielhaft zu interpretieren.
Des Weiteren schafft auch ein Ausführen eines korrespondierenden Verfahrens zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors die oben beschriebenen Vorteile. Das Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors kann gemäß den oben erläuterten Ausführungsformen der Auswertevorrichtung weitergebildet werden.
Figurenliste
Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand der Figuren erläutert. Es zeigen:

1 eine schematische Darstellung zur Erläuterung einer herkömmlichen Vorgehensweise zum Auswerten einer mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildete Sensorvorrichtung gemäß dem Stand der Technik;
2 eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors;
3 eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors;
4 eine schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors; und
5 ein Flussdiagramm zum Erläutern einer Ausführungsform des Verfahrens zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors.

Ausführungsformen der Erfindung
2 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors.
Die im Weiteren beschriebene Auswertevorrichtung 10 ist zum Auswerten einer nur schematisch skizzierten Sensorik 12 eines Sensors 14 ausgelegt. Die Auswertevorrichtung 10 kann eine in ein (nicht dargestelltes) Gehäuse des Sensors 14 integrierte Untereinheit des Sensors 14 sein. Alternativ kann die Auswertevorrichtung 10 jedoch auch dann mit dem Sensor 14 auf die im Weiteren beschriebene Weise zusammenwirken, wenn die Auswertevorrichtung 10 als eine „eigene Vorrichtung“ außerhalb des Gehäuses des Sensors 14 ausgebildet ist.
Die Sensorik 12 des Sensors 14 weist zwei verstellbare Elektroden-Massen auf, welche in 2 jedoch nicht bildlich dargestellt sind. Unter den zwei verstellbaren Elektroden-Massen sind bezüglich eines (nicht dargestellten) Gehäuses des Sensors 14 verstellbare Massen, an welchen jeweils mindestens eine Elektrodenfläche angeordnet oder ausgebildet ist, zu verstehen. Die zwei Elektroden-Massen können auch als seismische Massen des Sensors 14 bezeichnet werden.
Der Sensor 14 ist vorzugsweise zum Detektieren/Messen einer physikalischen Kraft oder einer physikalischen Größe ausgelegt. Der Sensor 14 kann beispielsweise ein Drehratensensor oder ein Magnetfeldsensor sein. Der Sensor 14 kann insbesondere ein mikromechanischer Sensor sein. Es wird hier jedoch ausdrücklich darauf hingewiesen, dass eine Verwendbarkeit der Auswertevorrichtung 10 nicht auf einen bestimmten Sensortyp des Sensors 14 beschränkt ist.
Die Auswertevorrichtung 10 ist dazu ausgelegt, unter Berücksichtigung zumindest eines aktuell zwischen einer ersten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer ersten Sensor-Elektrode des Sensors 14/seiner Sensorik 12 abgegriffenen ersten Sensorsignals S1 und eines aktuell zwischen einer zweiten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer zweiten Sensor-Elektrode des Sensors14/seiner Sensorik 12 abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 ein Messsignal M festzulegen. Das Messsignal M kann insbesondere der mittels des Sensors 14 zu detektierenden/messenden physikalischen Kraft oder Größe entsprechen. Außerdem ist die Auswertevorrichtung 10 dazu ausgelegt, das Messsignal M unter Berücksichtigung zumindest des aktuell abgegriffenen ersten Sensorsignals S1, des aktuell abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 und mindestens einer Größe σ bezüglich einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 festzulegen.
Die vorteilhafte Ausbildung der Auswertevorrichtung 10 bewirkt damit eine Verbesserung einer Vibrationsunempfindlichkeit des Messsignals M/des Sensors 14. Der mit der Auswertevorrichtung 10 zusammenwirkende Sensor 14 kann damit vielseitiger eingesetzt werden, insbesondere auch an häufigen und/oder starken Erschütterungen ausgesetzten Orten. Die Einsetzbarkeit des Sensors 14 kann deshalb mittels der Auswertevorrichtung 10 gesteigert werden. Außerdem bewirkt die Auswertevorrichtung 10 mittels der Verbesserung der Vibrationsunempfindlichkeit des Messsignals M eine Steigerung einer Messgenauigkeit der als Messsignal M festgelegten physikalischen Kraft oder Größe, bzw. eine Reduzierung einer Fehlerhäufigkeit der als Messsignal M festgelegten physikalischen Kraft oder Größe.
Beispielsweise kann die Auswertevorrichtung 10 eine (nicht dargestellte) Speichereinheit umfassen, auf welcher die mindestens eine Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 abgespeichert ist. Wie unten genauer erläutert ist, kann die Auswertevorrichtung 10 auch dazu ausgelegt sein, die mindestens eine Größe σ selbst festzulegen.
In dem Beispiel der 2 ist die Auswertevorrichtung 10 dazu ausgelegt, zuerst mittels einer Rechnereinheit R1 ein Summensignal S_CM aus dem ersten Sensorsignal S1 und dem zweiten Sensorsignal S2 zu bilden. Anschließend ist die Auswertevorrichtung 10 dazu ausgelegt, ein Korrektursignal S_cor zumindest mittels einer Multiplikation des Summensignals S_CM mit der abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe σ oder mit einem Mittelwert mehrerer selbst-festgelegter Größen σ zu bilden und mittels einer Differenzbildung aus dem ersten Sensorsignal S1, dem zweiten Sensorsignal S2 und dem Korrektursignal S_cor das Messsignal M festzulegen gemäß: M = S1 - S2 - S_cor.
Beispielhaft geschieht dies bei der Auswertevorrichtung 10 der 2, indem mittels einer weiteren Rechnereinheit R2 ein erstes Korrektursignal S_cor1 und ein zweites Korrektursignal S_cor2 gebildet werden. Mittels einer von einer Rechnereinheit R3 ausgeführten Subtraktion wird aus dem ersten Sensorsignal S1 und dem ersten Korrektursignal S_cor1 ein korrigiertes erstes Sensorsignal S1_cor gebildet. Entsprechend wird mittels einer von einer Rechnereinheit R4 ausgeführten Subtraktion aus dem zweiten Sensorsignal S2 und dem zweiten Korrektursignal S_cor2 ein korrigiertes zweites Sensorsignal S2_cor gebildet. Eine mittels einer Rechnereinheit R5 ausgeführte Differenzbildung erzeugt dann aus dem korrigierten ersten Sensorsignal S1_cor und dem korrigierten zweiten Sensorsignal S2_cor das Messsignal M, für welches gilt: $M = S 1 - S 2 - \frac{1}{2} σ (S 1 + S 2) .$
Im Unterschied zu dem gemäß dem oben erläuterten Stand der Technik festgelegten Messsignal M_pa (M_pa = S1 - S2) weist das mittels der Auswertevorrichtung 10 festgelegte Messsignal M eine Korrektur von vibrationsbedingten Änderungen einer Differenz S1 - S2 der Sensorsignale S1 und S2 auf. Dies führt zur Gewährleistung der vorausgehend genannten Vorteile.
3 zeigt eine schematische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors.
Auch der mit der Auswertevorrichtung 10 der 3 zusammenwirkende Sensor 14 kann zum Detektieren/Messen einer physikalischen Kraft oder einer physikalischen Größe eingesetzt werden. Der Sensor 14 kann beispielsweise ein Drehratensensor oder ein Magnetfeldsensor sein. Insbesondere kann der Sensor 14 eine Sensierrichtung 16 aufweisen, bezüglich welcher die physikalische Kraft oder die physikalische Größe detektierbar/messbar ist. Beispielsweise können als physikalische Kraft eine in die Sensierrichtung 16 gerichtete Corioliskraft oder eine in die Sensierrichtung 16 gerichtete Lorenzkraft detektierbar/messbar sein. Eine entsprechende Drehrate oder Magnetfeldkomponente können ebenso als die physikalische Größe detektierbar/messbar sein. Es wird hier jedoch ausdrücklich darauf hingewiesen, dass eine Verwendbarkeit der Auswertevorrichtung 10 nicht auf einen bestimmten Sensortyp des Sensors 14 beschränkt ist.
Der Sensor 14 kann auch ein mikromechanischer Sensor sein. Der Sensor 14 weist als seine zwei Elektroden-Massen 12a und 12b eine erste Elektroden-Masse 12a und eine zweite Elektroden-Masse 12b auf.
Als vorteilhafte Weiterbildung ist bei der hier beschriebenen Ausführungsform die Auswertevorrichtung 10 zusätzlich dazu ausgelegt, die mindestens eine Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 festzulegen. Insbesondere ist mittels der Auswertevorrichtung 10 eine Betreibereinrichtung 18 des Sensors 14 dazu aktivierbar, ein Test-Spannungssignal V_Test gleichzeitig zwischen der ersten Elektroden-Masse 12a und einer in einer ersten Raumrichtung x zu der ersten Elektroden-Masse 12a angeordneten ersten Test-Elektrode 20a des Sensors 14 und zwischen der zweiten Elektroden-Masse 12b und einer in der ersten Raumrichtung x zu der zweiten Elektroden-Masse 12b angeordneten zweiten Test-Elektrode 20b des Sensors 14 anzulegen. Die Auswertevorrichtung 10 gibt dazu beispielsweise ein Aktivierungssignal 22 an die Betreibereinrichtung 18 aus. Unter der Betreibereinrichtung 18 des Sensors 14 kann insbesondere eine Strom- oder Spannungsquelle des Sensors 14 verstanden werden. Vorzugsweise entspricht die erste Raumrichtung x der Sensierrichtung 16 des Sensors 14.
Das Test-Spannungssignal V_Test ist derart gleichzeitig zwischen der ersten Elektroden-Masse 12a und der ersten Test-Elektrode 20a und zwischen der zweiten Elektroden-Masse 12b und der zweiten Test-Elektrode 20b anlegbar, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b mittels des Test-Spannungsignals V_Test in Auslenkbewegungen 24a und 24b versetzbar sind/versetzt werden. Vorzugsweise sind die zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b mittels einer (in 2 nicht skizzierten) Anbindung derart in dem Sensor 14 angeordnet, dass die zwei Elektroden-Massen 12a und 12b zumindest mit einer entlang der ersten Raumrichtung x ausgerichteten Bewegungskomponente in Bezug zu dem Gehäuse des Sensors 14 verstellbar sind. Die mittels des Test-Spannungssignals V_Test bewirkten Auslenkbewegungen 24a und 24b der zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b können insbesondere in die erste Raumrichtung x gerichtet sein.
Die Auswertevorrichtung 10 ist somit dazu ausgelegt, Auslenkbewegungen 24a und 24b der zwei verstellbaren Elektroden-Massen zu bewirken, welche Vibrations-bedingten Bewegungen der Elektroden-Massen 12a und 12b bei einer Vibration des Sensors 14 entlang der ersten Raumrichtung x entsprechen. Damit erfordert das Auslösen der den Vibrations-bewirkten Bewegungen entsprechenden Auslenkbewegungen 24a und 24b der Elektroden-Massen 12a und 12b des mit der Vorrichtdung 10 zusammenwirkenden Sensors 14 keine Verwendung einer mechanischen Vibriervorrichtung, wie beispielsweise eines mechanischen Vibrators oder eines mechanischen „Shakers“. Deshalb entfallen bei einer Nutzung der Auswertevorrichtung 10 auch die herkömmlicherweise bei der Verwendung einer mechanischen Vibriervorrichtung auftretenden Probleme und Nachteile. Das Test-Spannungssignal V_Test kann somit als eine „elektronische Anregung“ bezeichnet werden, welche herkömmliche mechanische Vibrationsanregungen oder herkömmliche „mechanische Vibrationsstimuli“ unnötig macht. Das Test-Spannungssignal V_Test kann insbesondere ein harmonisch variierendes Spannungssignal sein. Eine Frequenz des Test-Spannungssignals V_Test kann beispielsweise in einem Bereich von 20 kHz (Kilohertz) bis 30 kHz (Kilohertz) liegen.
Die Auswertevorrichtung 10 ist auch dazu ausgelegt, unter Berücksichtigung zumindest des aktuell zwischen der in ihre erste Auslenkbewegung 24a versetzten ersten Elektroden-Masse 12a und der zugeordneten (nicht skizzierten) ersten Sensor-Elektrode abgegriffenen ersten Sensorsignals S1 und des aktuell zwischen der in ihre zweite Auslenkbewegung 24b versetzten zweiten Elektroden-Masse 12b und der zugeordneten (nicht dargestellten) zweiten Sensor-Elektrode abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 mittels einer Differenzbildung die mindestens eine Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 festzulegen. Sofern die erste Raumrichtung x der Sensierrichtung 16 des Sensors 14 entspricht, sind die Sensor-Elektroden in der Regel bereits an dem Sensor 14 vorhanden, um Positionsänderungen der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b in der Sensierrichtung 16 mittels der Sensor-Elektroden zu detektieren/messen.
Herkömmlicherweise wird häufig versucht, die Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14, insbesondere bezüglich Vibrationen des Sensors 14 entlang der ersten Raumrichtung x/seiner Sensierrichtung 16, gering zu halten, indem versucht wird, die zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b, ihre Anbindung und die ihnen zugeordneten Elektroden 20a und 20b (einschließlich ihrer Sensor-Elektroden) bezüglich einer entlang oder parallel zu der ersten Raumrichtung x/der Sensierrichtung 16 ausgerichteten Soll-Spiegelsymmetrieebene 26 spiegelsymmetrisch auszubilden. Auf diese Weise wird gemäß dem Stand der Technik häufig versucht, den Sensor 14 derart baulich auszubilden, dass von einer Vibration des Sensors 14 entlang der ersten Raumrichtung x/seiner Sensierrichtung 16 bewirkte Änderungen des ersten Sensorsignals S1 und des zweiten Sensorsignals S2 mittels einer Differenzbildung automatisch herauskorrigiert/herausgefiltert werden.
Die hier beschriebene Auswertevorrichtung 10 ist somit dazu ausgelegt, Auslenkbewegungen 24a und 24b der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b, welche den bei einer Vibration des Sensors 14 entlang der ersten Raumrichtung x/seiner Sensierrichtung 16 auftretenden Vibrations-bedingten Bewegungen der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b entsprechenden, auszulösen und gleichzeitig zu ermitteln, wie verlässlich von den Auslenkbewegungen 24a und 24b bewirkte Änderungen des ersten Sensorsignals S1 und des zweiten Sensorsignals S2 mittels einer Differenzbildung herausgefiltert werden. Damit eignet sich die Auswertevorrichtung 10 vorteilhaft zur verlässlichen Festlegung der mindestens einen die Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 wiedergebenden Größe σ.
Optionaler Weise kann die Betreibereinrichtung 18 mittels der Auswertevorrichtung 10 auch dazu aktivierbar sein, Betreibersignale zwischen der ersten Elektroden-Masse 12a und zumindest einer zugeordneten (nicht skizzierten) ersten Stator-Elektrode und zwischen der zweiten Elektroden-Masse 12b und zumindest einer zugeordneten (nicht dargestellten) zweiten Stator-Elektrode anzulegen. Die anlegbaren Betreibersignale können insbesondere periodisch variierende Spannungssignale sein. Außerdem können die zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b mittels ihrer Anbindung derart in dem Sensor 14 angeordnet sein, dass die zwei Elektroden-Massen 12a und 12b zumindest mit einer entlang einer geneigt oder senkrecht zu der ersten Raumrichtung x ausgerichteten zweiten Raumrichtung y ausgerichteten Bewegungskomponente in Bezug zu dem Gehäuse des Sensors 14 verstellbar sind. Bevorzugter Weise sind in diesem Fall zumindest ein erstes periodisch variierendes Betreibersignal zwischen der ersten Elektroden-Masse 12a und der ersten Stator-Elektrode und ein im Vergleich mit dem ersten Betreibersignal um 180°-phasenverschobenes zweites periodisch variierendes Betreibersignal zwischen der zweiten Elektroden-Masse 12b und der zweiten Stator-Elektrode derart anlegbar, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b in Schwingbewegungen 28a und 28b versetzbar sind/versetzt werden, deren Projektionen auf die zweite Raumrichtung y harmonische Schwingungen sind. Insbesondere können die Schwingbewegungen 28a und 28b der Elektroden-Massen 12a und 12b harmonische Schwingungen entlang der zweiten Raumrichtung y sein. Vorzugsweise ist eine auf diese Weise bewirkte ersten Schwingbewegung 28a der ersten Elektroden-Masse 12a um 180° phasenverschoben zu einer gleichzeitig bewirkten zweiten Schwingbewegung 28b der zweiten Elektroden-Masse 12b. Außerdem können die Schwingbewegungen 28a und 28b der Elektroden-Massen 12a und 12b (nahezu) spiegelsymmetrisch bezüglich der Soll-Spiegelsymmetrieebene 26 sein.
Derartige Schwingbewegungen 28a und 28b der Elektroden-Massen 12a und 12b werden von einer Vielzahl von Sensortypen zum Detektieren/Messen einer physikalischen Größe, wie beispielsweise einer Drehrate oder einer Magnetfeldstärke, bzw. einer physikalischen Kraft, wie insbesondere einer Corioliskraft oder einer Lorentzkraft, verwendet. Da die jeweilige Kraft senkrecht zu den Schwingbewegungen 28a und 28b der Elektroden-Massen 12a und 12b ausgerichtet ist, sind auch kraftinduzierte Auslenkungen 30a und 30b der Elektroden-Massen 12a und 12b senkrecht zu den Schwingbewegungen 28a und 28b der Elektroden-Massen 12a und 12b gerichtet. Vorzugsweise ist die zweite Raumrichtung y deshalb senkrecht zu der Sensierrichtung 16 des Sensors 14 ausgerichtet. Ebenso ist es vorteilhaft, wenn die kraftinduzierten Auslenkungen 30a und 30b der Elektroden-Massen 12a und 12b entlang der Sensierrichtung 16 des Sensors 14 ausgerichtet sind. Außerdem bewirkt die Phasenverschiebung von (ungefähr) 180° zwischen der ersten Schwingbewegung 28a der ersten Elektroden-Masse 12a und der zweiten Schwingbewegung 28b der zweiten Elektroden-Masse 12b, dass die kraftinduzierten Auslenkungen 30a und 30b der Elektroden-Massen 12a und 12b entgegengerichtet sind. Die kraftinduzierten Auslenkungen 30a und 30b der Elektroden-Massen 12a und 12b bewirken in diesem Fall Änderungen des ersten Sensorsignals S1 und des zweiten Sensorsignals S2, welche (im Wesentlichen) mittels einer Differenzbildung ausgewertet werden.
Bei einer Frequenz f_Drive der harmonisch variierenden Betreibersignale kann das Test-Spannungssignal V_Test insbesondere eine Frequenz f_Drive + f_Test haben. Ein mittels einer Differenzbildung aus den Sensorsignalen S1 und S2 gewonnenes Differenzsignal kann anschließend mit der Frequenz f_Drive von der Auswertevorrichtung 10 demoduliert werden, wodurch ein von dem Test-Spannungssignal V_Test bewirkter Offset mit der Frequenz f_Test gewonnen wird. Eine Amplitude des Offsets korreliert zu der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14, so dass die mindestens eine Größe σ unter Berücksichtigung der Amplitude mittels der Auswertevorrichtung 10 problemlos festlegbar ist.
Die Anbindung der zwei verstellbaren Elektroden-Massen 12a und 12b kann insbesondere derart ausgebildet sein, dass jede der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b unabhängig von der anderen Elektroden-Masse 12a oder 12b verstellbar ist. Zur Anbindung der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b kann der Sensor 14 beispielsweise mindestens eine Feder aufweisen. Da Techniken zur Anbindung der zwei Elektroden-Massen 12a und 12b jedoch aus dem Stand der Technik bekannt sind, wird hier nicht genauer darauf eingegangen.
Die Auswertevorrichtung 10 kann nach zumindest einmaliger Festlegung der Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors 14 das Messsignal M des Sensors 14 unter Berücksichtigung zumindest des später zwischen der ersten Elektroden-Masse 12a und der ersten Sensor-Elektrode abgegriffenen ersten Sensorsignals S1, des später zwischen der zweiten Elektroden-Masse 12b und der zweiten Sensor-Elektrode abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 und der mindestens einen festgelegten Größe σ festlegen. Bezüglich der Möglichkeiten zum Festlegen des Messsignals M wird auf die oberen Erläuterungen verwiesen.
Mittels der vorteilhaften Festlegung des Messsignals M können bei einer gewünschten Ausbildung der Elektroden-Massen 12a und 12b, ihrer Anbindung und ihrer Elektroden (vollständig) spiegelsymmetrisch bezüglich der Soll-Spiegelsymmetrieebene 26 in der Regel auftretende Abweichungen/Fehler verlässlich kompensiert/korrigiert werden. Eine „tatsächliche Vibrationsempfindlichkeit“ des Sensors 14 ist auf diese Weise, selbst wenn die Elektroden-Massen 12a und 12b, ihre Anbindung und ihre Elektroden nicht (vollständig) spiegelsymmetrisch bezüglich der Soll-Spiegelsymmetrieebene 26 sind, reduzierbar. Die vorteilhafte Festlegung des Messsignals M macht somit die herkömmlicher Weise häufig notwendige Einhaltung von strengen Vorgaben zur (vollständig) spiegelsymmetrischen Ausbildung der Elektroden-Massen 12a und 12b, ihrer Anbindung und ihrer Elektroden bezüglich der Soll-Spiegelsymmetrieebene 26 unnötig. Eine Nutzung der zur vorausgehend beschriebenen vorteilhaften Festlegung des Messsignals M ausgebildeten Auswertevorrichtung 10 erleichtert deshalb auch die Herstellung des Sensors 14, wodurch dessen Herstellungskosten reduziert werden.
4 zeigt eine schematische Darstellung einer dritten Ausführungsform der Auswertevorrichtung, bzw. eines damit zusammenwirkenden Sensors.
Der in 4 schematisch wiedergegebene Sensor 14 weist eine seiner ersten Elektroden-Masse 12a zugeordnete erste Kompensationselektrode 32a und eine seiner zweiten Elektroden-Masse 12b zugeordnete zweite Kompensationselektrode 32b auf. Aus dem Stand der Technik, wie beispielsweise der DE 10 2009 000 475 A1 , sind Verfahren zur Quadraturkompensation unter Verwendung derartiger Kompensationselektroden 32a und 32b bekannt, bei welchen durch Anlegen einer ersten Quadraturspannung zwischen der ersten Kompensationselektrode 32a und der ersten Elektroden-Masse 12a eine erste Kompensationskraft und durch gleichzeitiges Anlegen einer zweiten Quadraturspannung zwischen der zweiten Kompensationselektrode 32b und der zweiten Elektroden-Masse 12b eine zweite Kompensationskraft erzeugt werden. Die Kompensationselektroden 32a und 32b können auch als Quadratur-Elektroden (Quadrature Electrodes) bezeichnet werden. Derartige Kompensationselektroden 32a und 32b überlappen sich in der Regel zumindest teilweise mit den zugeordneten Elektroden-Massen 12a und 12b.
Wie in 3 erkennbar ist, können die erste Kompensationselektrode 32a als erste Test-Elektrode 32a und die zweite Kompensationselektrode 32b als die zweite Test-Elektrode 32b genutzt werden. Da die Kompensationselektroden 32a und 32b sich zumindest teilweise mit den zugeordneten Elektroden-Massen 12a und 12b überlappen, erfüllen sie die „Voraussetzungen“ von Test-Elektroden 32a und 32b verlässlich. Unter den Test-Elektroden 32a und 32b müssen somit keine lediglich für den vorausgehend beschriebenen Verwendungszweck zum Anlegen des Test-Spannungssignals V_Test genutzte Elektroden verstanden werden.
Bezüglich weiterer Merkmale und Eigenschaften der Auswertevorrichtung 10/des Sensors 14 der 4 wird auf die vorausgehende Ausführungsform verwiesen.
Die in den 3 und 4 wiedergegebenen Sensoren 14 können aufgrund ihrer verbesserten Vibrationsempfindlichkeit vielseitiger eingesetzt werden. Beispielsweise kann ein derartiger Sensor 14 als (mikromechanischer) Magnetfeldsensor (bzw. als Gyroskop) für neue Verwendungstechniken, wie z.B. „lndoor“-Navigationstechnologien, „erweiterte Realität“-Verfahren (Augmented Reality), Drohnen, in/an einem mechanischen Motor oder in/an einem Lautsprecher (Speaker) eingesetzt werden.
5 zeigt ein Flussdiagramm zum Erläutern einer Ausführungsform des Verfahrens zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen ausgebildeten Sensors.
Das im Weiteren beschriebene Verfahren kann mit einem der oben erläuterten Sensoren ausgeführt werden. Es wird jedoch darauf hingewiesen, dass eine Ausführbarkeit des Verfahrens nicht auf diese Sensortypen beschränkt ist.
Das Verfahren weist zumindest einen Verfahrensschritt St1 auf, in welchem ein Messsignal M des Sensors unter Berücksichtigung zumindest eines aktuell zwischen einer ersten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer ersten Sensor-Elektrode des Sensors abgegriffenen ersten Sensorsignals S1, eines aktuell zwischen einer zweiten Elektroden-Masse der zwei Elektroden-Massen und einer zweiten Sensor-Elektrode des Sensors abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 und mindestens einer abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe σ bezüglich einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors festgelegt wird. Das Ausführen des hier beschriebenen Verfahrens bewirkt somit die oben schon erläuterten Vorteile.
Zum Festlegen des Messsignals können z.B. die folgenden Teilschritte St1a bis Stic ausgeführt werden: Bilden eines Summensignal aus dem ersten Sensorsignal S1 und dem zweiten Sensorsignal S2 (Teilschritt Stla), Bilden eines Korrektursignals S_cor zumindest mittels einer Multiplikation des Summensignals mit der abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe σ oder mit einem Mittelwert mehrerer selbst-festgelegter Größen σ (Teilschritt Stlb) und Festlegen des Messsignals M mittels einer Differenzbildung aus dem ersten Sensorsignal S1, dem zweiten Sensorsignal S2 und dem Korrektursignal (S_cor ) gemäß: M = S1 - S2 - S_cor (Teilschritt Stic).
Als vorteilhafte Weiterbildung kann vor dem Verfahrensschritt St1 (d.h. vor dem Festlegen des Messsignals M) noch ein Verfahrensschritt St0 mindestens einmalig ausgeführt werden, wobei in dem Verfahrensschritt St0 die Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors bestimmt wird. Als Verfahrensschritt St0 können beispielsweise die im Weiteren beschriebenen Teilschritte St0a und St0b ausgeführt werden:

In einem Teilschritt St0a wird ein Test-Spannungssignal gleichzeitig zwischen der ersten der Elektroden-Masse und einer in einer ersten Raumrichtung zu der ersten Elektroden-Masse angeordneten ersten Test-Elektrode des Sensors und zwischen der zweiten Elektroden-Masse und einer in der ersten Raumrichtung zu der zweiten Elektroden-Masse angeordneten zweiten Test-Elektrode des Sensors derart angelegt, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen mittels des Test-Spannungssignals in Auslenkbewegungen versetzt werden. Optionaler Weise können in dem Verfahrensschritt St0a auch Betreibersignale zwischen der ersten Elektroden-Masse und zumindest einer zugeordneten ersten Stator-Elektrode und zwischen der zweiten Elektroden-Masse und zumindest einer zugeordneten zweiten Stator-Elektrode angelegt werden. Die Betreibersignale können insbesondere periodisch variierende Betreibersignale sein. Vorzugsweise werden zumindest ein erstes periodisch variierendes Betreibersignal zwischen der ersten Elektroden-Masse und der ersten Stator-Elektrode und ein im Vergleich mit dem ersten Betreibersignal um 180°-phasenverschobenes zweites periodisch variierendes Betreibersignal zwischen der zweiten Elektroden-Masse und der zweiten Stator-Elektrode derart angelegt, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen in Schwingbewegungen versetzt werden, deren Projektionen auf eine geneigt oder senkrecht zu der ersten Raumrichtung ausgerichtete zweite Raumrichtung harmonische Schwingungen sind.

In einem weiteren Teilschritt St0b wird die Größe σ bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors unter Berücksichtigung zumindest des aktuell zwischen der in ihre erste Auslenkbewegung versetzten ersten Elektroden-Masse und der ersten Sensor-Elektrode abgegriffenen ersten Sensorsignals S1 und des aktuell zwischen der in ihre zweite Auslenkbewegung versetzten zweiten Elektroden-Masse und der zweiten Sensor-Elektrode abgegriffenen zweiten Sensorsignals S2 mittels einer Differenzbildung festgelegt. Wie oben bereits erklärt ist, gibt die auf diese Weise festgelegte Größe σ die Vibrationsempfindlichkeit des Sensors verlässlich wieder.
Alternativ oder ergänzend kann der Verfahrensschritt St0 auch einen (nicht skizzierten) Teilschritt umfassen, in welchem die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors global/designspezifisch für den jeweiligen Sensortyp bestimmt wird. Dies kann beispielsweise mittels eines entsprechenden Rechnerprogramms unter Berücksichtigung einer designbedingten Asymmetrie des jeweiligen Sensortyps geschehen. Ebenso können auch Simulationen/
Computersimulationen für den jeweiligen Sensortyp ausgeführt werden, um auf diese Weise die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors global/designspezifisch zu bestimmen. Des Weiteren besteht auch die Möglichkeit, die mindestens eine Größe bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors zu bestimmen, indem mit einem Ensemble aus mehreren Sensoren des jeweiligen Sensortyps Experimente ausgeführt werden und anschließend die mindestens eine Größe mittels einer Mittelwertbildung der Messdaten der Experimente festgelegt wird. Alle hier aufgezählten Teilschritte sind auf einfache und kostengünstige Weise ausführbar.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

DE 102014202053 A1 [0002]
DE 102009000475 A1 [0040]

Claims

Auswertevorrichtung (10) für einen mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen (12a, 12b) ausgebildeten Sensor (14), wobei die Auswertevorrichtung (10) dazu ausgelegt ist, unter Berücksichtigung zumindest eines aktuell zwischen einer ersten Elektroden-Masse (12a) der zwei Elektroden-Massen (12a, 12b) und einer ersten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1) und eines aktuell zwischen einer zweiten Elektroden-Masse (12b) der zwei Elektroden-Massen (12a, 12b) und einer zweiten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) ein Messsignal (M) festzulegen; dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertevorrichtung (10) zusätzlich dazu ausgelegt ist, das Messsignal (M) unter Berücksichtigung zumindest des aktuell abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1), des aktuell abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) und mindestens einer abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe (σ) bezüglich einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) festzulegen.
Auswertevorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Auswertevorrichtung (10) dazu ausgelegt ist, ein Summensignal (S_CM) aus dem ersten Sensorsignal (S1) und dem zweiten Sensorsignal (S2) zu bilden, ein Korrektursignal (S_cor) zumindest mittels einer Multiplikation des Summensignals (S_CM) mit der abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe (σ) oder mit einem Mittelwert mehrerer selbst-festgelegter Größen (σ) zu bilden und mittels einer Differenzbildung aus dem ersten Sensorsignal (S1), dem zweiten Sensorsignal (S2) und dem Korrektursignal (S_cor) das Messsignal (M) festzulegen gemäß: M = S1 - S2 - S_cor.
Auswertevorrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Auswertevorrichtung (10) eine Speichereinheit umfasst, auf welcher die mindestens eine Größe (σ) bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) abgespeichert ist.
Auswertevorrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei die Auswertevorrichtung (10) zusätzlich dazu ausgelegt ist, die mindestens eine Größe (σ) bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) selbst festzulegen.
Auswertevorrichtung (10) nach Anspruch 4, wobei mittels der Auswertevorrichtung (10) eine Betreibereinrichtung (18) des Sensors (14) dazu aktivierbar ist, ein Test-Spannungssignal (V_Test) gleichzeitig zwischen der ersten Elektroden-Masse (12a) und einer in einer ersten Raumrichtung (x) zu der ersten Elektroden-Masse (12a) angeordneten ersten Test-Elektrode (20a, 32a) des Sensors (14) und zwischen der zweiten Elektroden-Masse (12b) und einer in der ersten Raumrichtung (x) zu der zweiten Elektroden-Masse (12b) angeordneten zweiten Test-Elektrode (20b, 32b) des Sensors (14) derart anzulegen, dass die zwei verstellbaren Elektroden-Massen (12a, 12b) mittels des Test-Spannungssignals (V_Test) in Auslenkbewegungen (24a, 24b) versetzbar sind, und wobei die Auswertevorrichtung (10) dazu ausgelegt ist, unter Berücksichtigung zumindest des aktuell zwischen der in ihre erste Auslenkbewegung (24a) versetzten ersten Elektroden-Masse (12a) und der ersten Sensor-Elektrode abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1) und des aktuell zwischen der in ihre zweite Auslenkbewegung (24b) versetzten zweiten Elektroden-Masse (12b) und der zweiten Sensor-Elektrode abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) mittels einer Differenzbildung die mindestens eine Größe (σ) bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) festzulegen.
Sensor (14) mit: einer Auswertevorrichtung (10) zumindest nach einem der Ansprüche 1 bis 4; den zwei verstellbaren Elektroden-Massen (12a, 12b); und der der ersten Elektroden-Masse (12a) zugeordneten ersten Sensor-Elektrode und der der zweiten Elektroden-Masse (12b) zugeordneten zweiten Sensor-Elektrode.
Sensor (14) nach Anspruch 6, zusätzlich mit: der in der ersten Raumrichtung (x) zu der ersten Elektroden-Masse (12a) angeordneten ersten Test-Elektrode (20a, 32a) und der in der ersten Raumrichtung (x) zu der zweiten Elektroden-Masse (12b) angeordneten zweiten Test-Elektrode (20b, 32b); und der Betreibereinrichtung (18), welche mittels der Auswertevorrichtung (10) nach Anspruch 5 zumindest dazu aktivierbar ist, das Test-Spannungssignal (V_Test) gleichzeitig zwischen der ersten Elektroden-Masse (12a) und der ersten Test-Elektrode (20a, 32a) und zwischen der zweiten Elektroden-Masse (12b) und der zweiten Test-Elektrode (20b, 32b) anzulegen; wobei die zwei verstellbaren Elektroden-Massen (12a, 12b) mittels des Test-Spannungssignals (V_Test) in Auslenkbewegungen (24a, 24b) versetzbar sind.
Sensor (14) nach Anspruch 6 oder 7, wobei der Sensor (14) ein Drehratensensor oder ein Magnetfeldsensor ist.
Verfahren zum Betreiben eines mit zwei verstellbaren Elektroden-Massen (12a, 12b) ausgebildeten Sensors (14), mit dem Schritt: Festlegen eines Messsignals (M) des Sensors (14) unter Berücksichtigung zumindest eines aktuell zwischen einer ersten Elektroden-Masse (12a) der zwei Elektroden-Massen (12a, 12b) und einer ersten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1) und eines aktuell zwischen einer zweiten Elektroden-Masse (12b) der zwei Elektroden-Massen (12a, 12b) und einer zweiten Sensor-Elektrode des Sensors (14) abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2); dadurch gekennzeichnet, dass das Messsignal (M) unter Berücksichtigung zumindest des aktuell abgegriffenen ersten Sensorsignals (S1), des aktuell abgegriffenen zweiten Sensorsignals (S2) und mindestens einer abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe (σ) bezüglich einer Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) festgelegt wird (St1).
Verfahren nach Anspruch 9, mit den zum Festlegen des Messsignals (M) ausgeführten Teilschritten: - Bilden eines Summensignal (S_CM) aus dem ersten Sensorsignal (S1) und dem zweiten Sensorsignal (S2)(Stla); - Bilden eines Korrektursignals (S_cor) zumindest mittels einer Multiplikation des Summensignals (S_CM) mit der abgespeicherten oder selbst-festgelegten Größe (σ) oder mit einem Mittelwert mehrerer selbst-festgelegter Größen (σ)(St1b); und - Festlegen des Messsignals (M) mittels einer Differenzbildung aus dem ersten Sensorsignal (S1), dem zweiten Sensorsignal (S2) und dem Korrektursignal (S_cor) gemäß: M = S1 - S2 - S_cor (Stic).
Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, wobei die mindestens eine Größe (σ) bezüglich der Vibrationsempfindlichkeit des Sensors (14) vor dem Festlegen des Messsignals (M) festzulegt wird.