DE102019133789A1 - Planar pH measuring electrode and method for producing the same - Google Patents
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- C03C4/18—Compositions for glass with special properties for ion-sensitive glass
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Glaselektrode (1) für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor umfassend:- ein Substrat (10) mit einer ersten Substratfläche (11) und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche (12), wobei sich im Substrat (10) ein Kanal (13) von der ersten Substratfläche (11) zur zweiten Substratfläche (12) erstreckt,- ein Glaselement (20) mit einer ersten Glasfläche (21) und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche (22), wobei die erste Substratfläche (11) und die zweite Glasfläche (22) durch Bonden miteinander verbunden sind, wobei der Kanal (13) mit einem leitfähigen Medium (2) gefüllt ist und eine Ableitelektrode (3) mit dem leitfähigen Medium (2') in elektrischem Kontakt ist.The invention relates to a glass electrode (1) for an electrochemical ion-sensitive sensor comprising: a substrate (10) with a first substrate surface (11) and an opposite second substrate surface (12), a channel (13) of the first substrate surface (11) extends to the second substrate surface (12), - a glass element (20) with a first glass surface (21) and an opposing second glass surface (22), the first substrate surface (11) and the second glass surface (22) are connected to one another by bonding, the channel (13) being filled with a conductive medium (2) and a discharge electrode (3) being in electrical contact with the conductive medium (2 ').
Description
Die Erfindung betrifft eine planare pH-Messelektrode sowie ein Verfahren zur Herstellung derselben.The invention relates to a planar pH measuring electrode and a method for producing the same.
In der Analysemesstechnik, insbesondere im Bereich der Wasserwirtschaft, der Umweltanalytik, im industriellen Bereich, z.B. in der Lebensmitteltechnik, der Biotechnologie und der Pharmazie, sowie für verschiedenste Laboranwendungen sind Messgrößen wie der pH-Wert, die Leitfähigkeit, oder auch die Konzentration von Analyten, wie beispielsweise Ionen oder gelösten Gasen in einem gasförmigen oder flüssigen Messmedium von großer Bedeutung. Diese Messgrößen können beispielsweise mittels elektrochemischer Sensoren erfasst und/oder überwacht werden, wie zum Beispiel potentiometrische, amperometrische, voltammetrische oder coulometrische Sensoren, oder auch Leitfähigkeitssensoren.In analytical measurement technology, especially in the field of water management, environmental analysis, in the industrial field, e.g. in food technology, biotechnology and pharmacy, as well as for a wide variety of laboratory applications, measured variables such as pH value, conductivity, or the concentration of analytes, such as ions or dissolved gases in a gaseous or liquid measuring medium are of great importance. These measured variables can be recorded and / or monitored, for example, by means of electrochemical sensors, such as potentiometric, amperometric, voltammetric or coulometric sensors, or else conductivity sensors.
Zur Messung des pH-Werts wird häufig ein pH-Glassensor mit einem Glasmembran verwendet. Nachteilig bei einem üblichem pH-Glassensor ist jedoch die Bruchanfälligkeit des Glassensors und der für viele Einsatzzwecke ungünstige Formfaktor, d.h. die Größe des Glassensors. Eine Möglichkeit zur Reduzierung der Bruchanfälligkeit eines pH-Glassensors ist eine mechanische Stabilisierung seiner Glasmembran durch eine schlüssige Kontaktierung mittels eines (gemischt-) leitenden Festkörpers.A pH glass sensor with a glass membrane is often used to measure the pH value. However, the disadvantage of a conventional pH glass sensor is the susceptibility of the glass sensor to breakage and the unfavorable form factor for many purposes, i.e. the size of the glass sensor. One way of reducing the susceptibility of a pH glass sensor to breakage is to mechanically stabilize its glass membrane through a close contact using a (mixed) conductive solid.
Vorgehensweisen zur Herstellung solcher Strukturen umfassen Beschichtungen von metallischen und/oder keramischen Trägern bzw. die Metallisierung von pH-Glasmembranen. Solche Beschichtungen sind zum Beispiel „Emaillierungen“, Dickschicht- und Dünnschicht- Beschichtungsverfahren. Die Schwierigkeiten bei diesen Verfahren bestehen unter Anderem in der thermischen Belastung der Glasschichten, welche zu thermomechanischen Schäden, zum Beispiel schlechter Haftung, Rissbildung, Delamination oder Substratkorrosion führen, sowie zur Kristallisation der verwendeten Hochleistungs-pH-Gläser. Zudem kann beim Erhitzen sehr dünner Glasschichten auf hohe Temperaturen eine Tröpfchenbildung des verwendeten Glaselements eintreten.Procedures for producing such structures include coatings of metallic and / or ceramic substrates or the metallization of pH glass membranes. Such coatings are, for example, "enamelling", thick-film and thin-film coating processes. The difficulties with these processes include the thermal stress on the glass layers, which leads to thermomechanical damage, for example poor adhesion, crack formation, delamination or substrate corrosion, as well as to the crystallization of the high-performance pH glasses used. In addition, when very thin layers of glass are heated to high temperatures, droplets can form in the glass element used.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer pH-Glasmembran bereitzustellen, welche die beschriebenen Nachteile des Standes der Technik nicht aufweist.It is therefore an object of the invention to provide a method for producing a pH glass membrane which does not have the disadvantages of the prior art described.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung einer Glaselektrode für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor gemäß Anspruch 1.This object is achieved according to the invention by a method for producing a glass electrode for an electrochemical ion-sensitive sensor according to
Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst folgende Schritte:
- - Bereitstellen eines Substrats mit einer ersten Substratfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche, eines Glaselements mit einer ersten Glasfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche, sowie einer elektrischen Kontaktierungseinheit, wobei das Substrat elektrisch leitfähig ist,
- - Aufeinanderlegen der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche,
- - Erhitzen des Substrats und des Glaselements auf eine vorbestimmte Temperatur, wobei die vorbestimmte Temperatur geringer als eine Glastransformationstemperatur des Glaselements ist,
- - Anlegen einer elektrischen Spannung an das Substrat und das Glaselement, so dass die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche durch Bonden miteinander verbunden werden,
- - Kontaktieren des Substrats mit einer Ableitelektrode.
- - Provision of a substrate with a first substrate surface and an opposing second substrate surface, a glass element with a first glass surface and an opposing second glass surface, and an electrical contacting unit, the substrate being electrically conductive,
- - Laying the first substrate surface and the second glass surface on top of one another,
- Heating the substrate and the glass element to a predetermined temperature, the predetermined temperature being lower than a glass transformation temperature of the glass element,
- - applying an electrical voltage to the substrate and the glass element, so that the first substrate surface and the second glass surface are connected to one another by bonding,
- - Contacting the substrate with a lead electrode.
Anhand des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ermöglicht, eine Glaselektrode herzustellen, welche eine äußerst hohe Stabilität aufweist, geringe Produktionskosten generiert, eine sehr kleine Baugröße ermöglicht und maschinell präzise hergestellt werden kann.The method according to the invention makes it possible to produce a glass electrode which has extremely high stability, generates low production costs, enables a very small overall size and can be precisely produced by machine.
Die oben genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß ebenso gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung einer Glaselektrode für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor gemäß Anspruch 2.The above-mentioned object is also achieved according to the invention by a method for producing a glass electrode for an electrochemical ion-sensitive sensor according to
Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst folgende Schritte:
- - Bereitstellen eines Substrats mit einer ersten Substratfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche, eines Glaselements mit einer ersten Glasfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche, sowie einer elektrischen Kontaktierungseinheit, wobei sich im Substrat mindestens ein an einer festgelegten Position befindlicher Kanal von der ersten Substratfläche zur zweiten Substratfläche erstreckt,
- - Aufeinanderlegen der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche,
- - Erhitzen des Substrats und des Glaselements auf eine vorbestimmte Temperatur, wobei die vorbestimmte Temperatur geringer als eine Glastransformationstemperatur des Glaselements ist,
- - Anlegen einer elektrischen Spannung an die zweite Substratfläche und die erste Glasfläche, so dass die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche durch Bonden miteinander verbunden werden,
- - Füllen des Kanals mit einem elektrisch leitfähigen Medium,
- - Kontaktieren des elektrisch leitfähigen Mediums mit einer Ableitelektrode.
- - Provision of a substrate with a first substrate surface and an opposing second substrate surface, a glass element with a first glass surface and an opposing second glass surface, and an electrical contacting unit, with at least one channel located at a fixed position in the substrate from the first substrate surface to the second substrate surface extends,
- - Laying the first substrate surface and the second glass surface on top of one another,
- Heating the substrate and the glass element to a predetermined temperature, the predetermined temperature being lower than a glass transformation temperature of the glass element,
- - Applying an electrical voltage to the second substrate surface and the first glass surface, so that the first substrate surface and the second glass surface are connected to one another by bonding,
- - Filling the channel with an electrically conductive medium,
- - Contacting the electrically conductive medium with a discharge electrode.
Die oben genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß ebenso gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung einer Glaselektrode für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor gemäß Anspruch 3.The above-mentioned object is also achieved according to the invention by a method for producing a glass electrode for an electrochemical ion-sensitive sensor according to
Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst folgende Schritte:
- - Bereitstellen eines Substrats mit einer ersten Substratfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche, eines Glaselements mit einer ersten Glasfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche, sowie einer elektrischen Kontaktierungseinheit,
- - Aufeinanderlegen der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche,
- - Erhitzen des Substrats und des Glaselements auf eine vorbestimmte Temperatur, wobei die vorbestimmte Temperatur geringer als eine Glastransformationstemperatur des Glaselements ist,
- - Anlegen einer elektrischen Spannung an die zweite Substratfläche und die erste Glasfläche, so dass die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche durch Bonden miteinander verbunden werden,
- - Ausbilden eines Kanals in dem Substrat, so dass sich der Kanal von der ersten Substratfläche bis zur zweiten Substratfläche erstreckt,
- - Füllen des Kanals mit einem elektrisch leitfähigen Medium,
- - Kontaktieren des elektrisch leitfähigen Mediums mit einer Ableitelektrode.
- - Provision of a substrate with a first substrate surface and an opposing second substrate surface, a glass element with a first glass surface and an opposing second glass surface, and an electrical contacting unit,
- - Laying the first substrate surface and the second glass surface on top of one another,
- Heating the substrate and the glass element to a predetermined temperature, the predetermined temperature being lower than a glass transformation temperature of the glass element,
- - applying an electrical voltage to the second substrate surface and the first glass surface, so that the first substrate surface and the second glass surface are connected to one another by bonding,
- - Forming a channel in the substrate, so that the channel extends from the first substrate surface to the second substrate surface,
- - Filling the channel with an electrically conductive medium,
- - Contacting the electrically conductive medium with a discharge electrode.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche eine mittlere Rauheit geringer als 50 nm auf. Vorzugsweise weist die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche eine mittlere Rauheit geringer als 10 nm auf.According to one embodiment of the invention, the first substrate surface and the second glass surface have an average roughness of less than 50 nm. The first substrate surface and the second glass surface preferably have an average roughness of less than 10 nm.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird die mittlere Rauheit durch einen Schritt des Polierens der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche erreicht.According to one embodiment of the invention, the mean roughness is achieved by a step of polishing the first substrate surface and the second glass surface.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung sind die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche parallele Flächen. Vorzugsweise sind die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche parallele planare Flächen.According to one embodiment of the invention, the first substrate surface and the second glass surface are parallel surfaces. The first substrate surface and the second glass surface are preferably parallel planar surfaces.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist die angelegte elektrische Spannung geringer als 5 kV. Vorzugsweise ist die angelegte elektrische Spannung zwischen 100 V und 1000 V. Besonders bevorzugt ist die angelegte elektrische Spannung zwischen 200 V und 500V.According to one embodiment of the invention, the applied electrical voltage is less than 5 kV. The applied electrical voltage is preferably between 100 V and 1000 V. The applied electrical voltage is particularly preferably between 200 V and 500V.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird an der ersten Glasfläche eine negative Spannung angelegt und an der zweiten Substratfläche eine positive Spannung angelegt.According to one embodiment of the invention, a negative voltage is applied to the first glass surface and a positive voltage is applied to the second substrate surface.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist die vorbestimmte Temperatur geringer als die Transformationstemperatur des Glaselements. Vorzugsweise ist die vorbestimmte Temperatur zwischen 200°C und 500°C.According to one embodiment of the invention, the predetermined temperature is lower than the transformation temperature of the glass element. Preferably the predetermined temperature is between 200 ° C and 500 ° C.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung enthält das Glaselement Lithium oder Natrium.According to one embodiment of the invention, the glass element contains lithium or sodium.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist das Glaselement eine Dicke geringer als 1000 µm auf. Vorzugsweise weist das Glaselement eine Dicke eine Dicke zwischen 1 µm und 500 µm auf. Besonders bevorzugt weist das Glaselement eine Dicke zwischen 10 µm und 100 µm auf.According to one embodiment of the invention, the glass element has a thickness of less than 1000 μm. The glass element preferably has a thickness between 1 μm and 500 μm. The glass element particularly preferably has a thickness between 10 μm and 100 μm.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein leitfähiges Polymer, ein kohlenstoffbasiertes Material oder ein anderes leitfähiges anorganisches Material.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a conductive polymer, a carbon-based material or another conductive inorganic material.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein Metall. Vorzugsweise umfasst das leitfähige Medium ein Münzmetall. Besonders bevorzugt umfasst das leitfähige Medium Kupfer.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a metal. Preferably the conductive medium comprises coin metal. The conductive medium particularly preferably comprises copper.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein Fluid. Vorzugsweise umfasst das Fluid eine Salzschmelze, eine ionische Flüssigkeit oder eine Flüssigkeit mit einem Redoxzusatz.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a fluid. The fluid preferably comprises a molten salt, an ionic liquid or a liquid with a redox addition.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist das Substrat leitfähig. Das Substrat umfasst vorzugsweise ein Metall, ein kohlenstoffbasiertes Material, einen Halbleiter oder ein leitfähiges Kompositmaterial.According to one embodiment of the invention, the substrate is conductive. The substrate preferably comprises a metal, a carbon-based material, a semiconductor or a conductive composite material.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung erfolgt vor dem Schritt des Aufeinanderlegens der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche ein Schritt des Reinigens der ersten Substratfläche und der zweiten Glasfläche.According to one embodiment of the invention, a step of cleaning the first substrate surface and the second glass surface takes place before the step of placing the first substrate surface and the second glass surface on top of one another.
Die erfindungsgemäße Aufgabe wird ferner gelöst durch eine Glaselektrode für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor gemäß Anspruch 10.The object according to the invention is also achieved by a glass electrode for an electrochemical ion-sensitive sensor according to
Die erfindungsgemäße Glaselektrode umfasst ein Substrat mit einer ersten Substratfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche und ein Glaselement mit einer ersten Glasfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche. Die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche sind durch Bonden miteinander verbunden. Eine Ableitelektrode ist mit dem Substrat in elektrischem Kontakt.The glass electrode according to the invention comprises a substrate with a first substrate surface and an opposing second substrate surface and a glass element with a first glass surface and an opposing second glass surface. The first substrate surface and the second glass surface are connected to one another by bonding. A lead electrode is in electrical contact with the substrate.
Die erfindungsgemäße Aufgabe wird ebenso gelöst durch eine Glaselektrode für einen elektrochemischen ionensensitiven Sensor gemäß Anspruch 11.The object according to the invention is also achieved by a glass electrode for an electrochemical ion-sensitive sensor according to
Die erfindungsgemäße Glaselektrode umfasst ein Substrat mit einer ersten Substratfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Substratfläche, wobei sich im Substrat ein Kanal von der ersten Substratfläche zur zweiten Substratfläche erstreckt, und ein Glaselement mit einer ersten Glasfläche und einer gegenüberliegenden zweiten Glasfläche. Die erste Substratfläche und die zweite Glasfläche sind durch Bonden miteinander verbunden. Der Kanal ist mit einem leitfähigen Medium gefüllt und eine Ableitelektrode ist mit dem leitfähigen Medium in elektrischem Kontakt.The glass electrode according to the invention comprises a substrate with a first substrate surface and an opposing second substrate surface, a channel in the substrate extending from the first substrate surface to the second substrate surface, and a glass element with a first glass surface and an opposing second glass surface. The first substrate surface and the second glass surface are connected to one another by bonding. The channel is filled with a conductive medium and a discharge electrode is in electrical contact with the conductive medium.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das Glaselement Lithium oder Natrium.According to one embodiment of the invention, the glass element comprises lithium or sodium.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung weist das Glaselement eine Dicke geringer als 1000 µm auf. Vorzugsweise weist das Glaselement eine Dicke zwischen 1 µm und 500 µm auf. Besonders bevorzugt weist das Glaselement eine Dicke zwischen 10 µm und 100 µm auf.According to one embodiment of the invention, the glass element has a thickness of less than 1000 μm. The glass element preferably has a thickness between 1 μm and 500 μm. The glass element particularly preferably has a thickness between 10 μm and 100 μm.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein Metall. Vorzugsweise umfasst das leitfähige Medium ein Münzmetall. Besonders bevorzugt umfasst das leitfähige Medium Kupfer oder Silber.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a metal. Preferably the conductive medium comprises coin metal. The conductive medium particularly preferably comprises copper or silver.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein leitfähiges Polymer, ein kohlenstoffbasiertes Material oder ein anderes leitfähiges anorganisches Material.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a conductive polymer, a carbon-based material or another conductive inorganic material.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das leitfähige Medium ein Fluid. Vorzugsweise umfasst das leitfähige Medium eine Salzschmelze, eine ionische Flüssigkeit oder eine Flüssigkeit mit einem Redoxzusatz.According to one embodiment of the invention, the conductive medium comprises a fluid. The conductive medium preferably comprises a molten salt, an ionic liquid or a liquid with a redox addition.
Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung ist das Substrat leitfähig. Das Substrat umfasst vorzugsweise ein Metall, ein kohlenstoffbasiertes Material, einen Halbleiter oder ein leitfähiges Kompositmaterial.According to one embodiment of the invention, the substrate is conductive. The substrate preferably comprises a metal, a carbon-based material, a semiconductor or a conductive composite material.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Figurenbeschreibung näher erläutert. Es zeigen:
- -
1 : eine schematische Ansicht eines in der Erfindung verwendeten Substrats und Glaselements, - -
2 : eine schematische Darstellung eines Schritts des Herstellungsverfahrens der erfindungsgemäßen Glaselektrode, - -
3 : eine erfindungsgemäße Glaselektrode, - -
4 : eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäße Glaselektrode, - -
5 : eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäße Glaselektrode, - -
6 : eine alternative Ausführungsform der erfindungsgemäße Glaselektrode.
- -
1 : a schematic view of a substrate and glass element used in the invention, - -
2 : a schematic representation of a step in the manufacturing process of the glass electrode according to the invention, - -
3rd : a glass electrode according to the invention, - -
4th : an alternative embodiment of the glass electrode according to the invention, - -
5 : an alternative embodiment of the glass electrode according to the invention, - -
6th : an alternative embodiment of the glass electrode according to the invention.
Die erste Substratfläche
Die erste Substratfläche
Die erste Substratfläche
Das Glaselement
Das Glaselement
Ein Kanal
Der Kanal
Das fluide leitfähige Medium
Auch hier ist die Ableitelektrode
Auch hier ist die Ableitelektrode
Die Ableitelektrode
Im Folgenden wird das Verfahren zur Herstellung einer Glaselektrode
Wie in
Gemäß einer Ausführungsform befindet sich der Kanal
Gemäß einer alternativen Ausführungsform wird ein Substrat
In einem optionalen Schritt wird die erste Substratfläche
In einem optionalen Schritt wird das Glaselement
Wie in
In einem weiteren Schritt werden das Substrat
Als nächster Schritt wird, wie auch in
Falls zu Beginn des Verfahrens ein Substrat
Der Vorteil des Ausbildens eines Kanals
Alternativ zum Schritt des Ausbildens des Kanals
In einem weiteren Schritt wird der Kanal
Anschließend wird das leitfähige Medium
In der in
BezugszeichenlisteList of reference symbols
- 11
- GlaselektrodeGlass electrode
- 2, 2', 2''2, 2 ', 2' '
- leitfähiges Mediumconductive medium
- 33
- AbleitelektrodeLead electrode
- 44th
- Kontaktierungseinheit Contacting unit
- 1010
- SubstratSubstrate
- 1111
- erste Substratflächefirst substrate area
- 1212th
- zweite Substratflächesecond substrate area
- 1313th
- Kanal channel
- 2020th
- GlaselementGlass element
- 2121
- erste Glasflächefirst glass surface
- 2222nd
- zweite Glasfläche second glass surface
- UU
- elektrische Spannungelectrical voltage
Claims (17)
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Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4282079A (en) * | 1980-02-13 | 1981-08-04 | Eastman Kodak Company | Planar glass ion-selective electrode |
US4592824A (en) * | 1985-09-13 | 1986-06-03 | Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique S.A. | Miniature liquid junction reference electrode and an integrated solid state electrochemical sensor including the same |
EP0476980A2 (en) * | 1990-09-17 | 1992-03-25 | Fujitsu Limited | Oxygen electrode |
DE4337418A1 (en) * | 1993-11-03 | 1995-05-04 | Inst Chemo Biosensorik | Silicon technology biosensor element and method for its production |
WO2007070226A1 (en) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Medtronic, Inc. | MONOLITHIC ELECTRODES AND pH TRANSDUCERS |
CN107941876A (en) * | 2017-11-29 | 2018-04-20 | 宁波大学 | Silver/silver chloride reference electrode and preparation method thereof |
DE102018128885A1 (en) * | 2017-12-19 | 2019-06-19 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | glass electrode |
DE102019108890A1 (en) * | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Sensor element for a potentiometric sensor |
-
2019
- 2019-12-10 DE DE102019133789.5A patent/DE102019133789A1/en active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4282079A (en) * | 1980-02-13 | 1981-08-04 | Eastman Kodak Company | Planar glass ion-selective electrode |
US4592824A (en) * | 1985-09-13 | 1986-06-03 | Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique S.A. | Miniature liquid junction reference electrode and an integrated solid state electrochemical sensor including the same |
EP0476980A2 (en) * | 1990-09-17 | 1992-03-25 | Fujitsu Limited | Oxygen electrode |
DE4337418A1 (en) * | 1993-11-03 | 1995-05-04 | Inst Chemo Biosensorik | Silicon technology biosensor element and method for its production |
WO2007070226A1 (en) * | 2005-12-15 | 2007-06-21 | Medtronic, Inc. | MONOLITHIC ELECTRODES AND pH TRANSDUCERS |
CN107941876A (en) * | 2017-11-29 | 2018-04-20 | 宁波大学 | Silver/silver chloride reference electrode and preparation method thereof |
DE102018128885A1 (en) * | 2017-12-19 | 2019-06-19 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | glass electrode |
DE102019108890A1 (en) * | 2018-04-09 | 2019-10-10 | Endress+Hauser Conducta Gmbh+Co. Kg | Sensor element for a potentiometric sensor |
Non-Patent Citations (8)
Title |
---|
Anodic bonding, aus WIKIPEDIA 7.11.2019 URL:https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Anodic_bonding&oldid=925040073 * |
BLASQUEZ, Gabriel; FAVARO, Patrick. Silicon glass anodic bonding under partial vacuum conditions: problems and solutions. Sensors and Actuators A: Physical, 2002, 101. Jg., Nr. 1-2, S. 156-159. * |
FENG, Guangjie, et al. Glass-Copper anodic bonding through activated Sn-0.6 Al solder. Journal of Materials Processing Technology, 2018, 254. Jg., S. 108-113. * |
LEIB, Juergen, et al. Anodic bonding at low voltage using microstructured borosilicate glass thin-films. In: 3rd Electronics System Integration Technology Conference ESTC. IEEE, 2010. S. 1-4. * |
MICRONIT: Wafer Bonding. Stand vom 29.11.2019. URL: http://web.archive.org/web/20191129165746/https://www.micronit.de/technologies/bonding/ [abgerufen am 16.06.2020] * |
PLÖßL, Andreas; KRÄUTER, Gertrud. Wafer direct bonding: tailoring adhesion between brittle materials. Materials Science and Engineering: R: Reports, 1999, 25. Jg., Nr. 1-2, 3.3 Flatness and smoothness * |
VÖLKLEIN, Friedmann ; ZETTERER, Thomas: Praxiswissen Mikrosystemtechnik - Grundlagen, Technologien, Anwendungen. 2., vollst. überarb. und erw. Aufl. Wiesbaden : Vieweg, 2006. (Vieweg Praxiswissen). S. 360-364. - ISBN 3-528-13891-2 * |
WALLIS, George; POMERANTZ, Daniel I. Field assisted glass-metal sealing. Journal of applied physics, 1969, 40. Jg., Nr. 10, S. 3946-3949. * |
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