DE102019132867A1

DE102019132867A1 - Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers

Info

Publication number: DE102019132867A1
Application number: DE102019132867.5A
Authority: DE
Inventors: Raimund Becher; Patrick Doria
Original assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Current assignee: Endress and Hauser SE and Co KG
Priority date: 2019-12-03
Filing date: 2019-12-03
Publication date: 2021-06-10
Also published as: CN114746734B; CN114746734A; US20230012357A1; US12061127B2; EP4070061A1; WO2021110431A1

Abstract

Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers mit folgenden Verfahrensschritten:
a) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe (2);
b) Bereitstellen eines Grundkörpers (1) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung (23) zur Aufnahme der Sensorbaugruppe (2),
c) Einbringen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers (23);
d) Einschweißen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens;
e) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings (10) zwischen der Sensorbaugruppe (2) und der Ausnehmung (23) des Grundkörpers in einem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23);
f) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23), sodass der Grundkörper (2) mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers.
Differenzdruckmessaufnehmer dienen zur Erfassungen von Differenzdrücken und werden in der industriellen Messtechnik eingesetzt. Dort werden sie beispielsweise zur Füllstandsmessung oder zur Durchflussmessung verwendet. Bei der Füllstandsmessung wird beispielsweise die Differenz zwischen einem unten in einem Behälter wirkenden ersten Druck und einem oberhalb des Füllguts herrschenden zweiten Druck gemessen. Die Differenz ist proportional zu einem füllstands-abhängigen hydrostatischen Druck im Behälter und damit zum Füllstand. Bei der Durchflussmessung wird beispielsweise ein Strömungswiderstand in eine Leitung eingesetzt und mittels eines Differenzdruckmessaufnehmers eine Differenz eines vor dem Widerstand herrschenden ersten Druck und eines hinter dem Widerstand herrschenden zweiten Druck ermittelt. Dieser Differenzdruck ist ein Maß für den Durchfluss durch die Leitung.
In der Druckmesstechnik werden gerne so genannte Halbleiter-Sensoren, z.B. Silizium-Chips mit eindotierten Widerstandselementen, als druckempfindliche Elemente eingesetzt. Entsprechende Differenzdrucksensoren weisen typischer Weise eine Messmembran auf, deren eine Seite im Messbetrieb einem ersten Druck und deren zweite Seite einem zweiten Druck ausgesetzt wird. Die einwirkenden Drücke bewirken eine resultierende Auslenkung der Messmembran, die dem zu messenden Differenzdruck entspricht. Drucksensor-Chips sind in der Regel sehr empfindlich und werden deshalb nicht direkt einem Medium ausgesetzt, dessen Druck aufgenommen werden soll. Stattdessen werden mit einer Flüssigkeit gefüllte Druckmittler vorgeschaltet.
Differenzdruckmessaufnehmer weisen hierzu regelmäßig einen massiven typischer Weise mehrteiligen Messaufnehmerblock als Grundköper auf, auf dem außenseitlich eine erste und eine dieser parallel dazu gegenüberliegend angeordnete zweite Trennmembranen angeordnet sind. Dabei schließt die erste Trennmembran eine erste Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer ersten Druckmesskammer verbunden ist. Entsprechend schließt die zweite Trennmembran eine zweite Druckempfangskammer ab, die über eine Druckübertragungsleitung mit einer zweiten Druckmesskammer verbunden ist. Die erste und die zweite Druckmesskammer sind durch die Messmembran des Differenzdrucksensors voneinander getrennt.
Die Herstellung eines solchen Differenzdruckmessaufnehmers erweist sich als relativ schwierig und ist entsprechend auch relativ teuer, da dieser aus einer Vielzahl von einzelnen Elementen bzw. Baugruppen aufgebaut wird.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Differenzdruckmessaufnehmer vorzuschlagen, der einfacher und/oder günstiger herzustellen ist, als die bekannten Differenzdruckmessaufnehmer.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß Patentanspruch 1 und die Vorrichtung gemäß Patentanspruch 1.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers sieht folgende Verfahrensschritte vor:

a) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Außenkontur, wobei die Sensorbaugruppe zumindest ein Differenzdrucksensor zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck ergebenden Differenzdruckes aufweist;
b) Bereitstellen eines Grundkörpers mit einer darauf angeordneten ersten und einer zweiten Trennmembran, auf deren Außenseiten im Messbetrieb der erster bzw. der zweite Druck einwirkt, wobei der Grundkörper mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung zur Aufnahme der Sensorbaugruppe bereitgestellt wird, wobei eine Innenkontur der Ausnehmung an die Außenkontur der Sensorbaugruppe angepasst ist, sodass die Sensorbaugruppe von außen in die Ausnehmung einführbar ist;
c) Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers, wobei die Sensorbaugruppe mit einer Auflagefläche bis zu einer Anschlagsfläche des Grundkörpers bis zu einer vorbestimmten Tiefe in die Ausnehmung eingeführt wird;
d) Einschweißen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens, derart, dass zumindest die Auflagefläche der Sensorbaugruppe mit der Anschlagsfläche des Grundkörpers durch eine Schweißnaht verschweißt werden;
e) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings zwischen der Sensorbaugruppe und der Ausnehmung des Grundkörpers in einem Mündungsbereich der Ausnehmung;
f) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich der Ausnehmung, sodass der Grundkörper mit Hilfe des Schweißrings umlaufend mit der Sensorbaugruppe verschweißt wird bzw. ist.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Sensorbaugruppe aus einer Glas-Metall-Durchführung mit einem, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten keramischen Sockelscheibe hergestellt wird, wobei vor dem Bereitstellen der Sensorbaugruppe der Differenzdrucksensor auf die Sockelscheibe aufgebracht wurde. Insbesondere kann die Ausführungsform vorsehen, dass die Glas-Metall-Durchführung mit einem umlaufenden Schweißkragen an einem Ende bereitgestellt wird und die Sensorbaugruppe derartig in die Ausnehmung eingebracht wird, dass der Schweißkragen an dem Mündungsbereich der Ausnehmung anliegt, sodass beim axialen Laserschweißen der Grundkörper mit dem Schweißkragen mit Hilfe des Schweißrings umlaufend mit der Sensorbaugruppe verschweißt wird bzw. ist.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass vor dem Bereitstellen des Grundkörpers die erste und/oder zweite Trennmembran auf den Grundkörper angeschweißt werden, wobei die erste Trennmembran auf einer ersten Außenseite des Grundkörpers angeschweißt wird und die zweite Trennmembran zunächst vorzugsweise auf einem Träger angeschweißt wird, der anschließend auf einer der ersten Außenseite gegenüberliegenden zweiten Außenseite des Grundkörper angeschweißt wird.
Wiederum ein weitere Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Sensorbaugruppe eine durch die Auflagefläche gebildete gestufte Außenkontur mit einem äußeren und einem inneren Bereich aufweist, wobei der äußere Bereich einen größeren Durchmesser als der inneren Bereich aufweist und wobei eine zweite radial umlaufende Ausnehmung in den äußeren Bereich der Sensorbaugruppe, vorzugsweise durch Drehen, vor dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers eingebracht wurde, sodass die radial umlaufende Ausnehmung nach dem Einschweißen der Sensorbaugruppe zur Entkopplung der Schweißnaht dient.
Die Erfindung betrifft weiterhin ein Differenzdruckmessaufnehmer, der gemäß einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen hergestellt ist.
Die Erfindung wird anhand der nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

1: einen Schnitt durch einen erfindungsgemäß hergestellten Differenzdruckmessaufnehmer, und
2: einen Schnitt durch einen Deteil des erfindungsgemäß hergestellten Differenzdruckmessaufnehmers.

1 zeigt einen Schnitt durch einen erfindungsgemäß hergestellten Druckmessaufnehmer. Dieser weist einen Grundkörper 1 auf, auf dem eine erste Trennmembran 3 angeordnet ist. Der Grundkörper 1 ist ein im Wesentlichen zylindrischer massiver Block, der vorzugsweise aus einem Metall, insbesondere einem Stahl oder einem Edelstahl besteht. Die Trennmembran 3 schließt eine außenseitlich in den Grundkörper 1 integrierte erste Druckempfangskammer 5 ab.
Auf dem Grundkörper 1 ist auf dessen der ersten Trennmembran 3 gegenüberliegenden Außenseite eine zweite Trennmembran 9 angebracht. Die zweite Trennmembran kann dabei zunächst auf einen, hier im wesentlichen scheibenförmiger Träger 7 aufgebracht worden sein, welcher Träger 7 anschließend an den Grundkörper angeschweißt wird. Die zweite Trennmembran 9 ist auf einer vom Grundkörper abgewandten Außenseite des Trägers angeordnet, die parallel zu der ersten Trennmembran verläuft. Die zweite Trennmembran 9 schließt eine außenseitlich in den Träger 7 integrierte zweite Druckempfangskammer 11 ab. Im Messbetrieb wirkt auf eine vom Träger 7 abgewandte Außenseite der zweiten Trennmembran 9 ein zweiter Druck p2 ein, der in 1 durch einen Pfeil dargestellt ist.
Der erste und der zweite Druck p1, p2 werden dem Differenzdruckmessaufnehmer, wie bei herkömmlichen Differenzdruckmessaufnehmern auch, über in 1 nicht dargestellte Anschlüsse zugeführt. Hierzu eignen sich z.B. zwei mit entsprechenden Prozessanschlüssen ausgestattete Flansche, die auf dem Differenzdruckmessaufnehmer derart montiert werden, dass die jeweiligen Drücke p1, p2 über den Prozessanschluss auf die jeweilige Trennmembran 3, 9 einwirken. Die Flansche werden beispielsweise mittels Bolzenschrauben montiert. Die Integration der ersten Druckempfangskammer 5 in den Grundkörper 1 weist hierbei den Vorteil auf, dass durch diese Konstruktion der Einfluss der Einspannung des Messaufnehmerblocks zwischen den
beiden Anschlüssen auf die Messgenauigkeit reduziert wird, da aufgrund der Reduktion der Anzahl der Bauteile weniger Verspannungen zwischen einzelnen Bauteilen auftreten können.
Der Differenzdruckmessaufnehmer kann optional einen Überlastschutz aufweisen, der eine zwischen dem Grundkörper 1 und dem Träger 7 angeordnete ringscheibenförmige Überlastmembran 13 umfasst. An eine erste dem Grundkörper 1 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 grenzt eine in den Grundkörper 1 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene erste Überlastkammer 15 an, die über eine erste Druckübertragungsleitung 17 mit der ersten Druckempfangskammer 5 verbunden ist. Die erste Druckübertragungsleitung 17 ist eine von der ersten Druckempfangskammer 5 zur ersten Überlastkammer 15 durch den Grundkörper 1 hindurchführende gerade Bohrung. Die gerade Bohrung bietet den Vorteil, dass sie sehr einfach herstellbar ist, und aufgrund der geraden Leitungsführung eine optimale Übertragung des Drucks erzielt werden kann. Ein weiterer Vorteil besteht darin, dass nur sehr wenig Flüssigkeit zur Übertragung des Drucks erforderlich ist.
Ergänzend kann an eine zweite dem Träger 7 zugewandte Seite der Überlastmembran 13 eine in den Träger 7 integrierte von der Überlastmembran 13 abgeschlossene zweite Überlastkammer 19 angrenzen, die über eine zweite Druckübertragungsleitung 21 mit der zweiten Druckempfangskammer 11 verbunden ist. Auch hier ist die zweite Druckübertragungsleitung 21 eine gerade Bohrung, die durch den Träger 7 hindurchfährt, und die zweite Druckempfangskammer 11 mit der zweiten Überlastkammer 19 verbindet. Die oben genannten Vorteile einer geraden Leitungsführung gelten hier genauso.
Im Grundkörper 1 ist eine Ausnehmung 23 vorgesehen, in die eine Sensorbaugruppe von außen einbringbar ist. Die Ausnehmung 23 ist derartig ausgestaltet, dass eine Innenkontur der Ausnehmung zumindest eine Stufe aufweist. Die gestufte Ausnehmung 23 kann beispielsweise durch zwei Bohrungen mit unterschiedlichen Durchmessern in den Grundkörper 1 eingebracht worden sein. Durch die Stufe wird eine Anschlagsfläche 6 ausgebildet, an welcher die Sensorbaugruppe 2 im eingebrachten Zustand anliegt. Durch die Anschlagsfläche 6 wird ferner eine definierte Tiefe vorgegeben bzw. festgelegt, bis zu der die Sensorbaugruppe 2 in die Ausnehmung 23 einführbar ist bzw. geführt werden kann. Die Ausnehmung 23 für die Sensorbaugruppe 2 mündet vorzugsweise in einer Außenfläche des Grundkörpers, deren Ebene senkrecht zu einer Ebene liegt in der die Trennmembrane 3, 9 verlaufen. Im Mündungsbereich 24 kann ferner eine zweite Stufe vorgesehen sein, die zur Aufnahme eines an einem Ende der Sensorbaugruppe umlaufend ausgebildeten Schweißkragens dient.
In die Ausnehmung 23 wird die Sensorbaugruppe 2 während der Fertigung eingeführt. Um die Sensorgruppe 2 bis zu der definierten Tiefe einführen zu können, ist die Sensorbaugruppe 2 derartig ausgeführt, dass sie eine im Wesentlichen rotationssymmetrische, zylindrische Außenkontur mit zumindest einer zur Stufe der Ausnehmung 23 entsprechenden Stufe aufweist, sodass die Sensorbaugruppe 2 mit einer durch die Stufe gebildete Auflagefläche 4 auf eine durch die Stufe der Ausnehmung 23 gebildete Anschlagsfläche 6 im eingebauten Zustand aufliegt. Ferner können die Außenkontur der Sensorbaugruppe 2 und die Innenkontur der Ausnehmung 23 derartig aufeinander abgestimmt sein, dass ein - wie in 2 dargestellt - hohlzylindrischer Spalt 14 zwischen der Außen- und Innenkontur im eingebauten Zustand gebildet wird.
Die Sensorbaugruppe 2 wird vorzugsweise durch eine Glas-Metall-Durchführung 32 als Grundelement ausgebildet bzw. hergestellt. Auf die Glas-Metall-Durchführung 32 wird eine, vorzugsweise keramische Sockelscheibe 33 zur Entkopplung von thermischen und/oder internen mechanischen Spannungen aufgebracht. Auf die Sockelscheibe 33 wird ein Differenzdrucksensor 25 zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck ergebenden Differenzdruckes aufgebracht. Der Differenzdrucksensor 25 ist vorzugsweise einer der eingangs beschriebenen Halbleiter-Sensoren, z.B. ein Silizium-Chip-Differenzdrucksensor 25 mit einer Messmembran, in die Widerstandselemente, die als druckempfindliche Elemente dienen, eindotiert sind. Der elektrische Anschluss des Differenzdrucksensors 25 erfolgt über mindestens eine Anschlussleitung 53, 54, die durch die Glas-Metall-Durchführung 32 nach außen geführt ist. Ferner ist zum Schutz des Differenzdrucksensors 25 ein Deckel 16 auf die Glas-Metall-Durchführung 32 aufgebracht. In dem Differenzdrucksensor 25 sind, begrenzt durch die Messmembran, zwei Druckmesskammern 29, 31 ausgebildet, denen der erste bzw. zweite Druck zugeführt ist.
Eine erste Druckmesskammer 29 ist durch eine dritte Druckübertragungsleitung 41 mit der ersten Überlastkammer 15 verbunden. Diese besteht in einer in einer Seitenwand der Ausnehmung 23 mündenden geraden ausschließlich im Grundkörper 1 verlaufenden ersten Bohrung und einer dazu rechtwinkligen zweiten Bohrung, über die die erste Druckmesskammer 29 mit der ersten Überlastkammer 15 hydraulisch nachgeschaltet ist.
Ein durch die Sockelscheibe 33 und die Messmembran 29 abgeschlossener Innenraum des Differenzdrucksensors bildet die zweite Druckmesskammer 31, die durch die Messmembran 27 von der ersten Druckmesskammer 29 abgetrennt ist. Die zweite Druckmesskammer 31 ist über eine Bohrung 43 in der Sensorbaugruppe mit einer vierten Druckübertragungsleitung 45 verbunden, über die die zweite Druckmesskammer 31 mit der zweiten Überlastkammer 19 hydraulisch nachgeschaltet ist
Die Sensorbaugruppe kann ferner einem im eingebauten Zustand dem Mündungsbereich der Ausnehmung hingerichteten Ende eine umlaufenden Schweißkragen aufweisen, der die beiden Schweißnähte (Widerstandsimpulsnaht und axiale Laserschweißnaht) entkoppelt.
Ergänzend kann die Sensorbaugruppe 2, wie in 2 dargestellt, eine außenseitlich umlaufende Entkopplungsausnehmung bzw. -nut 12 aufweisen, die zur Spannungsentkopplung der im eingebauten und verschweißten Zustand zwischen der Anschlagsfläche und der Auflagefläche 4 befindlichen Schweißnaht 8 dient.
Währen der Fertigung des Differenzdruckmessaufnehmers wird zunächst die Sensorbaugruppe 2 in die Ausnehmung 23 des Grundkörpers 1 derartig eingebracht, dass die Sensorbaugruppe mit der Auflagefläche 4 auf der Anschlagsfläche 6 des Grundkörper aufliegt. Ferner ist die Sensorbaugruppe 2 derartig positioniert, dass der Schweißkragen im Mündungsbereich der Ausnehmung anliegt.
Erfindungsgemäß wird nach dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers zunächst mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens die Auflagefläche mit der Anschlagsfläche 6 verschweißt, so dass eine umlaufende Schweißnaht 8 entsteht.
Im nächsten Schritt wird ein Schweißring 10 zwischen die Sensorbaugruppe und die Ausnehmung 23 des Grundkörpers 1 in dem Mündungsbereich 24 eingebracht. Anschließen wird die Sensorbaugruppe 2 im Mündungsbereich 24 mittels eines axialen Laserschweißverfahrens mit dem Grundköper über den Schweißring und ggfl. den Schweißkragen verschweißt. Das axiale Laserschweißverfahren wird dabei derartig durchgeführt/ausgeführt, dass eine Axialnaht mit einer Tiefe größer 1 mm, bevorzug größer 1,5 mm, besonders bevorzugt von ca. 2 mm entsteht.
Abschließend wird der Differenzdruckmessaufnehmer mit der druckübertragenden Flüssigkeit befüllt.
Bezugszeichenliste

1: Grundkörper
2: Sensorbaugruppe
3: Erste Trennmembran
4: Auflagefläche der Sensorbaugruppe
5: Erste Druckempfangskammer
6: Anschlagsfläche des Grundkörpers
7: Träger
8: Schweißnaht zwischen Anschlags- und Auflagefläche
9: Zweite Trennmembran
10: Schweißring
11: Zweite Druckempfangskammer
12: Umlaufende Ausnehmung der Sensorbaugruppe
13: Überlastmembran
14: Hohlzylindrischer Spalt zwischen der Außen- und Innenkontur
15: Erste Überlastkammer
16: Deckel
17: Erste Druckübertragungsleitung
19: Zweite Überlastkammer
21: Zweite Druckübertragungsleitung
23: Ausnehmung des Grundkörpers
24: Mündungsbereich der Ausnehmung
25: Differenzdrucksensor
27: Messmembran
29: Erste Druckmesskammer
31: Zweite Druckmesskammer
32: Glas-Metall-Durchführung
33: Sockelscheibe
34: Schweißkragen
41: Dritte Druckübertragungsleitung
43: Bohrung in Sensorbaugruppe
45: Vierte Druckübertragungsleitung
53, 54: Elektrische Anschlussleitungen
p1: Erster Druck
p2: Zweiter Druck

Claims

Verfahren zum Herstellen eines Differenzdruckmessaufnehmers mit folgenden Verfahrensschritten: g) Bereitstellen einer Sensorbaugruppe (2) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Außenkontur, wobei die Sensorbaugruppe (2) zumindest ein Differenzdrucksensor (25) zum Erfassen eines sich zwischen einem ersten und einem zweiten Druck (p1, p2) ergebenden Differenzdruckes aufweist; h) Bereitstellen eines Grundkörpers (1) mit einer darauf angeordneten ersten und einer zweiten Trennmembran (2, 9), auf deren Außenseiten im Messbetrieb der erster bzw. der zweite Druck (p1, p2) einwirkt, wobei der Grundkörper (1) mit einer im Wesentlichen rotationssymmetrischen Ausnehmung (23) zur Aufnahme der Sensorbaugruppe (2) bereitgestellt wird, wobei eine Innenkontur der Ausnehmung an die Außenkontur der Sensorbaugruppe (2) angepasst ist, sodass die Sensorbaugruppe (2) von außen in die Ausnehmung (23) einführbar ist; i) Einbringen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers (23), wobei die Sensorbaugruppe (2) mit einer Auflagefläche (4) bis zu einer Anschlagsfläche (6) des Grundkörpers (1) bis zu einer vorbestimmten Tiefe in die Ausnehmung (23) eingeführt wird; j) Einschweißen der Sensorbaugruppe (2) in die Ausnehmung des Grundkörpers mittels eines Widerstandsimpulsschweißverfahrens, derart, dass zumindest die Auflagefläche (4) der Sensorbaugruppe mit der Anschlagsfläche (6) des Grundkörpers durch eine Schweißnaht (8) verschweißt werden; k) Einbringen, vorzugsweise durch Einpressen, eines Schweißrings (10) zwischen der Sensorbaugruppe (2) und der Ausnehmung (23) des Grundkörpers in einem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23); I) Axiales Laserschweißen im Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23), sodass der Grundkörper (2) mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Sensorbaugruppe (2) aus einer Glas-Metall-Durchführung (32) mit einem, vorzugsweise zusätzlich aufgebrachten keramischen Sockelscheibe (33) hergestellt wird, wobei vor dem Bereitstellen der Sensorbaugruppe der Differenzdrucksensor auf die Sockelscheibe (33) aufgebracht wurde.
Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Glas-Metall-Durchführung (32) mit einem umlaufenden Schweißkragen (34) an einem Ende bereitgestellt wird und die Sensorbaugruppe (2) derartig in die Ausnehmung (23) eingebracht wird, dass der Schweißkragen (34) an dem Mündungsbereich (24) der Ausnehmung (23) anliegt, sodass beim axialen Laserschweißen der Grundkörper (2) mit dem Schweißkragen mit Hilfe des Schweißrings (10) umlaufend mit der Sensorbaugruppe (2) verschweißt wird bzw. ist.
Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei vor dem Bereitstellen des Grundkörpers (1) die erste und/oder zweite Trennmembran (3, 9) auf den Grundkörper (1) angeschweißt werden, wobei die erste Trennmembran (3) auf einer ersten Außenseite des Grundkörpers (1) angeschweißt wird und die zweite Trennmembran (9) zunächst vorzugsweise auf einem Träger (7) angeschweißt wird, der anschließend auf einer der ersten Außenseite gegenüberliegenden zweiten Außenseite des Grundkörper (1) angeschweißt wird.
Verfahren nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Sensorbaugruppe (2) eine durch die Auflagefläche gebildete gestufte Außenkontur mit einem äußeren und einem inneren Bereich aufweist, wobei der äußere Bereich einen größeren Durchmesser als der inneren Bereich aufweist und wobei eine zweite radial umlaufende Ausnehmung (12) in den äußeren Bereich der Sensorbaugruppe (2), vorzugsweise durch Drehen, vor dem Einbringen der Sensorbaugruppe in die Ausnehmung des Grundkörpers (1) eingebracht wurde, sodass die radial umlaufende Ausnehmung (12) nach dem Einschweißen der Sensorbaugruppe zur Entkopplung der Schweißnaht (8) dient.
Differenzdruckmessaufnehmers hergestellt nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche.