DE102018222296A1 - Workpiece processing method and processing device - Google Patents

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Ichiro Yamahata
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Abstract

Ein Werkstückbearbeitungsverfahren beinhaltet einen Kunststoffbeschichtungsschritt des Beschichtens einer vorderen Oberfläche eines Werkstücks mit einem Kunststoff, einen Kunststoffhärtschritt des Aufbringens eines Ultraviolettstrahls auf den zu härtenden beschichteten Kunststoff, einen Kunststoffschleifschritt des Schleifens des gehärteten Kunststoff mit Schleifsteinen, so dass er eben ausgestaltet wird, und einen Werkstückschleifschritt des Haltens der Seite des Werkstücks mit dem eben ausgestalteten Kunststoff an einem Einspanntisch und des Schleifens der hinteren Oberfläche mit Schleifsteinen. Im Kunststoffschleifschritt wird ein Schleifen durchgeführt, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird. Demgemäß ist es möglich, den Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche des Werkstücks beschichtet ist, und die hintere Oberfläche des Werkstücks in der gleichen Vorrichtung zu schleifen.A workpiece processing method includes a plastic coating step of coating a front surface of a workpiece with a plastic, a plastic hardening step of applying an ultraviolet ray to the coated plastic to be cured, a plastic grinding step of grinding the hardened plastic with grindstones so as to be planarized, and a workpiece grinding step of Holding the side of the workpiece with the newly designed plastic on a chuck table and grinding the back surface with grindstones. In the plastic grinding step, grinding is performed while the plastic adhering to the grinding stones is cleaned. Accordingly, it is possible to grind the plastic with which the front surface of the workpiece is coated and the rear surface of the workpiece in the same device.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNGBACKGROUND OF THE INVENTION

Technisches GebietTechnical area

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Werkstückbearbeitungsverfahren und eine Bearbeitungsvorrichtung.The present invention relates to a workpiece machining method and a machining apparatus.

Beschreibung der verwandten TechnikDescription of the Related Art

In einem Herstellungsprozess für ein Halbleiterbauelement werden Straßen (Teilungslinien) in einem Gittermuster an einer vorderen Oberfläche eines Werkstücks ausgebildet und ein Bauelement wie ein integrierter Schaltkreis (IC), ein Large Scale Integration Circuit (LSI) oder dergleichen wird in jedem Bereich, der durch die Straßen unterteilt ist, ausgebildet. Das Werkstück wird durch ein Schleifen der hinteren Oberfläche des Werkstücks auf eine vorgegebene Dicke dünn ausgestaltet. Das Werkstück wird danach entlang der Straßen durch eine Schneidvorrichtung oder dergleichen geteilt, um einzelne Halbleiterbauelementchips herzustellen. Wenn das Werkstück geschliffen wird, um dünn ausgestaltet zu werden, wird die vordere Oberfläche des Werkstücks mit einem Kunststoff beschichtet, um die Bauelemente zu schützen. Um eine Dickenpräzision des beschichteten Kunststoffs zu verbessern, wird ein Schritt des ebenen Ausgestaltens durch ein Schleifen des beschichteten Kunststoffs an der vorderen Oberfläche des Wafers durchgeführt (siehe beispielsweise japanische Offenlegungsschrift Nummer 2009-43931 ).In a manufacturing process for a semiconductor device, streets (division lines) are formed in a lattice pattern on a front surface of a workpiece, and a device such as an integrated circuit (IC), a large scale integration circuit (LSI) or the like is formed in each area formed by the Roads is divided, formed. The workpiece is made thin by grinding the back surface of the workpiece to a predetermined thickness. The workpiece is thereafter split along the streets by a cutter or the like to produce individual semiconductor device chips. When the workpiece is ground to be made thin, the front surface of the workpiece is coated with a plastic to protect the components. In order to improve a thickness precision of the coated plastic, a step of planarizing is performed by grinding the coated plastic on the front surface of the wafer (see, for example Japanese Laid-Open Publication No. 2009-43931 ).

DARSTELLUNG DER ERFINDUNGPRESENTATION OF THE INVENTION

Allerdings wird, nachdem der obige Schritt durchgeführt worden ist, um den beschichteten Kunststoff an der vorderen Oberfläche des Werkstücks zu schleifen, ein Schritt durchgeführt, in dem die hintere Oberfläche des Werkstücks durch eine andere Schleifvorrichtung geschliffen wird, wodurch der Nachteil verursacht wird, dass die Anzahl der Schleifschritte erhöht wird.However, after the above step has been performed to grind the coated plastic on the front surface of the workpiece, a step is performed in which the rear surface of the workpiece is ground by another grinding device, thereby causing the disadvantage that the Number of grinding steps is increased.

Es ist daher ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Werkstückbearbeitungsverfahren und eine Bearbeitungsvorrichtung bereitzustellen, die in der Lage sind, das Werkstück ohne ein Erhöhen der Anzahl der Schleifschritte effizient zu bearbeiten.It is therefore an object of the present invention to provide a workpiece machining method and apparatus that are capable of efficiently machining the workpiece without increasing the number of grinding steps.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Werkstückbearbeitungsverfahren zum Schleifen ein Schleifen eines Kunststoffs, mit dem eine vordere Oberfläche eines Werkstücks beschichtet ist, die ein Bauelement in jedem von mehreren Bereichen, die durch mehrere Teilungslinien, die an der vorderen Oberfläche des Werkstücks in einem Gittermuster ausgebildet sind, aufweist, und zum Schleifen einer hinteren Oberfläche des Werkstücks. Das Werkstückbearbeitungsverfahren beinhaltet einen Kunststoffbeschichtungsschritt des Beschichtens der vorderen Oberfläche des Werkstücks mit dem Kunststoff, einen Kunststoffhärtschritt des Aufbringens eines Ultraviolettstrahls auf den zu härtenden beschichteten Kunststoff, einen Kunststoffschleifschritt des Schleifens des gehärteten Kunststoffs mit Schleifsteinen so dass dieser eben ausgestaltet wird, und einen Werkstückschleifschritt des Haltens der Seite des Werkstücks mit dem eben ausgebildeten Kunststoff an einem Einspanntisch und des Schleifens der hinteren Oberfläche des Werkstücks mit Schleifsteinen. Im Kunststoffschleifschritt wird ein Schleifen durchgeführt, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird.According to one aspect of the present invention, a workpiece processing method for grinding is a grinding of a plastic coated on a front surface of a workpiece, which is a component in each of a plurality of regions defined by a plurality of division lines formed on the front surface of the workpiece in a lattice pattern are formed, and for grinding a rear surface of the workpiece. The workpiece processing method includes a plastic coating step of coating the front surface of the workpiece with the plastic, a plastic hardening step of applying an ultraviolet ray to the coated plastic to be cured, a plastic grinding step of grinding the hardened plastic with grindstones to make it planar, and a workpiece grinding step of holding the side of the workpiece with the newly formed plastic on a chuck table and the grinding of the rear surface of the workpiece with grindstones. In the plastic grinding step, grinding is performed while the plastic adhering to the grinding stones is cleaned.

Bevorzugt wird im Kunststoffschleifschritt Schleifwasser aus einer Schleifdüse zu den Schleifsteinen gestrahlt und der Kunststoff wird mit den Schleifsteinen geschliffen, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird.Preferably, in the plastic grinding step, grinding water is blasted from a grinding nozzle to the grindstones and the plastic is ground with the grindstones while the plastic adhering to the grindstones is cleaned.

Bevorzugt wird, nachdem der Kunststoffschleifschritt durchgeführt worden ist, eine Transfereinheit benutzt, die das Werkstück in den/aus dem Einspanntisch lädt/entlädt und bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch entladenen Werkstücks umgedreht werden, um die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks umzudrehen, und gleiche Schleifsteine werden im Kunststoffschleifschritt und im Werkstückschleifschritt benutzt.Preferably, after the plastic grinding step has been performed, a transfer unit is used which loads / unloads the workpiece into / from the chuck table and causes the front surface and the back surface of the workpiece unloaded from the chuck table to be reversed about the front surface and turn over the rear surface of the workpiece, and like grindstones are used in the plastic grinding step and the workpiece grinding step.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Bearbeitungsvorrichtung bereitgestellt, die beim Bearbeiten des Werkstücks benutzt wird, das ein Bauelement in jedem von mehreren Bereichen aufweist, die durch mehrere Teilungslinien unterteilt sind, die an einer vorderen Oberfläche des Werkstücks in einem Gittermuster ausgebildet sind. Die Bearbeitungsvorrichtung beinhaltet einen Einspanntisch, der das Werkstück hält, eine Schleifeinheit, die Schleifsteine beinhaltet, die eine hintere Oberfläche des Werkstücks, dessen vordere Oberfläche mit einem Kunststoff beschichtet ist, und den Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche beschichtet ist, schleifen, und eine Transfereinheit, die das Werkstück in den/aus dem Einspanntisch lädt/entlädt, und bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch entladenen Werkstücks umgedreht werden.According to another aspect of the present invention, there is provided a machining apparatus used in machining the workpiece having a device in each of a plurality of regions divided by a plurality of division lines formed on a front surface of the workpiece in a lattice pattern. The processing apparatus includes a chuck table that holds the workpiece, a grinding unit that includes grindstones that grind a rear surface of the workpiece whose front surface is coated with a plastic and the plastic with which the front surface is coated, and a grinder Transfer unit that loads / unloads the workpiece into / from the chuck table and causes the front surface and the rear surface of the workpiece unloaded from the chuck table to be reversed.

Bevorzugt wird eine Kunststoffdicke des Kunststoffs nach einem Schleifen mit den Schleifsteinen gemessen und die hintere Oberfläche des Werkstücks wird mit einer vorgegebenen Dicke dünn ausgestaltet.Preferably, a plastic thickness of the plastic after grinding with the grindstones is measured, and the back surface of the workpiece is made thin with a predetermined thickness.

Bevorzugt beinhaltet die Bearbeitungsvorrichtung ferner eine Reinigungsdüse, die Reinigungswasser zu den Schleifsteinen strahlt, und der Kunststoff wird mit den Schleifsteinen geschliffen, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird. Preferably, the processing apparatus further includes a cleaning nozzle that irradiates cleaning water to the grindstones, and the plastic is ground with the grindstones while the plastic adhering to the grindstones is cleaned.

Bevorzugt werden die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks durch die Transfereinheit umgedreht und ein Schleifen des Kunststoffs und ein Schleifen der hinteren Oberfläche des Werkstücks werden durch Benutzen der gleichen Schleifsteine durchgeführt.Preferably, the front surface and the back surface of the workpiece are reversed by the transfer unit, and grinding of the plastic and grinding of the back surface of the workpiece are performed by using the same grindstones.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, den Kunststoff, mit dem die vordere Seite des Werkstücks beschichtet ist, und die Rückseite des Werkstücks in der gleichen Vorrichtung zu schleifen. Somit wird gemäß der vorliegenden Erfindung die Anzahl an Schleifschritten nicht erhöht, und daher kann ein Bearbeiten des Werkstücks effektiv durchgeführt werden.According to the present invention, it is possible to grind the plastic with which the front side of the workpiece is coated and the back side of the workpiece in the same device. Thus, according to the present invention, the number of grinding steps is not increased, and therefore machining of the workpiece can be performed effectively.

Im Kunststoffschleifschritt wird das Reinigungswasser von der Reinigungsdüse zu den Schleifsteinen gestrahlt und der Kunststoff wird geschliffen, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird; kein Kunststoff verbleibt an den Schleifsteinen, nachdem der Kunststoffschleifschritt beendet ist. Demgemäß ist es möglich, das Werkstück vorteilhaft eben auszugestalten, selbst wenn der Werkstückschleifschritt durch ein Benutzen der gleichen Schleifsteine durchgeführt wird.In the plastic grinding step, the cleaning water is blasted from the cleaning nozzle to the grindstones, and the plastic is ground while the plastic adhering to the grindstones is cleaned; no plastic remains on the grindstones after the plastic grinding step is completed. Accordingly, it is possible to advantageously make the work flat even if the work grinding step is performed by using the same grinding stones.

Nachdem der Kunststoffschleifschritt durchgeführt worden ist, ist es möglich, die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks durch die Transfereinheit, die das Werkstück in den/aus dem Einspanntisch lädt/entlädt, und bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch entladenen Werkstücks umgedreht werden, umzudrehen. Demgemäß ist es möglich, im Kunststoffschleifschritt und im Werkstückschleifschritt die gleichen Schleifsteine zu benutzen, und dadurch eine Bearbeitungseffizienz zu verbessern.After the plastic grinding step has been performed, it is possible for the front surface and the back surface of the workpiece to be discharged through the transfer unit that loads / unloads the workpiece into / out of the chuck table and causes the front surface and the rear surface of the workpiece to be discharged the workpiece unloaded from the chuck table are turned over to turn over. Accordingly, it is possible to use the same grindstones in the plastic grinding step and the workpiece grinding step, thereby improving a processing efficiency.

Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art, diese zu realisieren, werden ersichtlicher und die Erfindung selbst wird am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und der angehängten Ansprüche unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, verstanden.The above and other objects, features and advantages of the present invention and the manner of realizing the same will become more apparent and the invention itself best be understood by a reading of the following description and the appended claims with reference to the attached drawings, which is a preferred embodiment of the invention, understood.

Figurenlistelist of figures

  • 1 ist eine Perspektivansicht, die eine Ausgestaltung einer Bearbeitungsvorrichtung darstellt; 1 Fig. 10 is a perspective view illustrating an embodiment of a processing apparatus;
  • 2 ist eine teilweise Querschnittseitenansicht, die eine Ausgestaltung sowohl eines Schleifmittels als auch einer Reinigungsdüse darstellt; und 2 Fig. 10 is a partial cross-sectional side view illustrating an embodiment of both an abrasive and a cleaning nozzle; and
  • 3 ist eine Perspektivansicht, die einen Kunststoffbeschichtungsschritt darstellt; 3 Fig. 10 is a perspective view illustrating a plastic coating step;
  • 4 ist eine Perspektivansicht, die einen Kunststoffhärtschritt darstellt; 4 Fig. 10 is a perspective view illustrating a plastic hardening step;
  • 5 ist eine teilweise Querschnittseitenansicht, die einen Kunststoffschleifschritt darstellt; 5 Fig. 16 is a partial cross-sectional side view illustrating a plastic grinding step;
  • 6 ist eine schematische Ansicht zum Erläutern eines Bearbeitungspunktes und eines Nicht-Bearbeitungspunktes von Schleifsteinen im Kunststoffschleifschritt; und 6 Fig. 12 is a schematic view for explaining a machining point and a non-machining point of grindstones in the plastic grinding step; and
  • 7 ist eine teilweise Querschnittseitenansicht, die einen Werkstückschleifschritt darstellt. 7 Fig. 16 is a partial cross-sectional side view illustrating a workpiece grinding step.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMDETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT

Bearbeitungsvorrichtungprocessing device

Eine in 1 dargestellte Bearbeitungsvorrichtung 1 ist ein Beispiel für eine Schleifvorrichtung, die zum Schleifbearbeiten eines Werkstücks W benutzt wird. Das Werkstück W ist ein Beispiel eines Werkstücks mit einer kreisförmigen Scheibenform und ein Bauelement D ist in jedem von mehreren Bereichen ausgebildet, die durch mehrere Teilungslinien S, die an einer vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W in einem Gittermuster ausgebildet sind, unterteilt sind. Eine hintere Oberfläche Wb, die der vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W gegenüberliegt, wird als eine zu bearbeitende Oberfläche benutzt, an der eine Schleifbearbeitung durchgeführt wird. Das in der vorliegenden Ausführungsform dargestellte Werkstück W beinhaltet beispielsweise einen Siliziumwafer.An in 1 illustrated processing device 1 is an example of a grinding apparatus used for grinding a workpiece W. The workpiece W is an example of a workpiece having a circular disk shape, and a device D is formed in each of a plurality of regions divided by a plurality of dividing lines S formed on a front surface Wa of the workpiece W in a lattice pattern. A rear surface Wb facing the front surface Wa of the workpiece W is used as a surface to be worked on which grinding is performed. The workpiece W shown in the present embodiment includes, for example, a silicon wafer.

Die Bearbeitungsvorrichtung 1 weist eine Vorrichtungsbasis 2 auf, die sich in einer Y-Achsen-Richtung erstreckt, und an einer vorderen Seite der Y-Achsen-Richtung der Vorrichtungsbasis 2 sind eine Kassette 4a und eine Kassette 4b angeordnet. Die Kassette 4a nimmt das Werkstück W vor einem Schleifen auf und die Kassette 4b nimmt das Werkstück W nach einem Schleifen auf. In der Nähe der Kassetten 4a und 4b sind Lade-/Entlademittel 5 angeordnet, die das Werkstück W vor einem Schleifen aus der Kassette 4a entladen und das Werkstück W nach einem Schleifen in die Kassette 4b laden. In einem beweglichen Bereich des Lade-/Entlademittels 5 sind ein Positionierungsmittel 6 und ein Reinigungsmittel 7 angeordnet. Das Positionierungsmittel 6 positioniert das Werkstück W vor einem Schleifen an einer vorgegebenen Position und das Reinigungsmittel 7 reinigt das Werkstück W nach einem Bearbeiten.The processing device 1 has a device base 2 extending in a Y-axis direction and on a front side of the Y-axis direction of the device base 2 are a cassette 4a and a cassette 4b arranged. The cassette 4a takes the workpiece W before grinding on and the cassette 4b takes the workpiece W after a sanding up. Near the cassettes 4a and 4b are loading / unloading means 5 arranged the the workpiece W before grinding out of the cassette 4a unload and the workpiece W after grinding into the cassette 4b load. In a movable area of the loading / unloading 5 are a positioning agent 6 and a cleaning supplies 7 arranged. The positioning means 6 positions the workpiece W before grinding at a predetermined position and the cleaning agent 7 cleans the workpiece W after editing.

Die Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhaltet einen Einspanntisch 8, ein Kunststoffbeschichtungsmittel 10, ein Kunststoffhärtmittel 20, eine Transfereinheit 30, eine Schleifeinheit 40 und ein Anhebmittel 50. Der Einspanntisch 8 hält das Werkstück W. Das Kunststoffbeschichtungsmittel 10 beschichtet die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W mit einem Kunststoff. Das Kunststoffhärtmittel 20 härtet den beschichteten Kunststoff an der vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W. Die Transfereinheit 30 lädt/entlädt das Werkstück W in den/aus dem Einspanntisch 8 und dreht die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks W, das aus dem Einspanntisch 8 entladen wird, um. Die Schleifeinheit 40 beinhaltet Schleifsteine 46, welche die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W, dessen vordere Oberfläche Wa mit einem Kunststoff beschichtet ist, und den Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche Wa beschichtet ist, schleifen. Das Anhebmittel 50 hebt die Schleifeinheit 40 in einer vertikalen Richtung (Z-Achsen-Richtung) an und senkt sie ab.The processing device 1 includes a chuck table 8th , a plastic coating agent 10 , a plastic curing agent 20 , a transfer unit 30 , a grinding unit 40 and a lifting agent 50 , The chuck table 8th Holds the workpiece W , The plastic coating agent 10 Coats the front surface Wa of the workpiece W with a plastic. The plastic curing agent 20 Cures the coated plastic on the front surface Wa of the workpiece W , The transfer unit 30 Loads / unloads the workpiece W in / out of the chuck table 8th and rotates the front surface and the rear surface of the workpiece W coming out of the chuck table 8th is discharged to. The grinding unit 40 includes whetstones 46 which the rear surface wb of the workpiece W, the front surface thereof Wa coated with a plastic, and the plastic, with which the front surface Wa coated, grind. The raising agent 50 lifts the grinding unit 40 in a vertical direction (Z-axis direction) and lowers them.

Eine obere Oberfläche des Einspanntischs 8 dient als eine Haltoberfläche 8a, die das Werkstück W ansaugt und hält, und die Halteoberfläche 8a ist mit einer Ansaugquelle verbunden. Der Umfang des Einspanntischs 8 ist mit einer Abdeckung 9 bedeckt. Ein Bewegungsmittel, das bewirkt, dass sich der Einspanntisch 8 in der Y-Achsen-Richtung bewegt, ist unterhalb des Einspanntischs 8 verbunden. Beachte, dass, auch wenn es nicht dargestellt ist, die Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8 bei einer praktischen Benutzung eine geneigte Oberfläche ist, die in Richtung einer äußeren Umfangsrichtung der Halteoberfläche 8a nach unten geneigt ist, wobei ihr mittlerer Bereich als ein oberster Teil dient.An upper surface of the chuck table 8th serves as a support surface 8a that the workpiece W sucks and holds, and the holding surface 8a is connected to a suction source. The circumference of the chuck table 8th is with a cover 9 covered. A means of movement that causes the chuck table 8th moved in the Y-axis direction is below the chuck table 8th connected. Note that, although not shown, the retaining surface 8a of the chuck table 8th in a practical use, an inclined surface is in the direction of an outer circumferential direction of the holding surface 8a is inclined downwards, with its central area serves as a top part.

Das Kunststoffbeschichtungsmittel 10 beinhaltet einen Drehtisch 11, der das Werkstück W auf drehbare Weise hält, und eine Kunststoffdüse 12, die einen Kunststoff auf das am Drehtisch 11 gehaltene Werkstück W tropft. Eine obere Oberfläche des Drehtischs 11 dient als eine Halteoberfläche 11a, die das Werkstück W ansaugt und hält, und die Halteoberfläche 11a ist mit einer Ansaugquelle verbunden. Ein Drehmittel (in 3 dargestelltes Drehmittel 13), das den Drehtisch 11 dreht, und ein Bewegungsmittel, das bewirkt, dass sich der Drehtisch 11 in der Y-Achsen-Richtung bewegt, sind unterhalb des Drehtischs 11 verbunden. Die Kunststoffdüse 12 ist an einem Ende eines Arms 120 angeordnet. Am anderen Ende des Arms 120 ist eine Drehachse 121 verbunden, sodass sich der Arm 120 horizontal um die Drehachse 121 drehen kann. Ein Drehen des Arms 120 ermöglicht es der Kunststoffdüse 12, sich in einer radialen Richtung oberhalb des Drehtischs 11 zu bewegen.The plastic coating agent 10 includes a turntable 11 that the workpiece W keeps in a rotatable manner, and a plastic nozzle 12 putting a plastic on the turntable 11 held workpiece W drips. An upper surface of the turntable 11 serves as a holding surface 11a that the workpiece W sucks and holds, and the holding surface 11a is connected to a suction source. A rotating means (in 3 illustrated rotating means 13 ), which is the turntable 11 turns, and a moving means that causes the turntable 11 Moved in the Y-axis direction are below the turntable 11 connected. The plastic nozzle 12 is at one end of an arm 120 arranged. At the other end of the arm 120 is a rotation axis 121 connected, so that the arm 120 horizontally around the axis of rotation 121 can turn. A turning of the arm 120 allows the plastic nozzle 12 extending in a radial direction above the turntable 11 to move.

Das Kunststoffhärtmittel 20 beinhaltet eine Prozesskammer 200, die an einer Position neben dem Kunststoffbeschichtungsmittel 10 angeordnet ist und die einen inneren Raum aufweist, um den an der vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichteten Kunststoff einer Ultraviolettstrahlenbestrahlung zu unterziehen. Die Prozesskammer 200 weist beispielsweise mehrere Ultraviolettleuchten in sich auf. Eine Öffnung 201, die es dem Drehtisch 11 erlaubt, durchzutreten, ist vor (an einer in der Y-Achsen-Richtung vorderen Seite) der Prozesskammer 200 ausgebildet.The plastic curing agent 20 includes a process chamber 200 at a position next to the plastic coating agent 10 is arranged and which has an inner space to that at the front surface Wa of the workpiece W coated plastic to an ultraviolet ray irradiation. The process chamber 200 has, for example, several ultraviolet lights in it. An opening 201 It's the turntable 11 allowed to pass is before (at a front side in the Y-axis direction) of the process chamber 200 educated.

Die in der vorliegenden Ausführungsform dargestellte Transfereinheit 30 beinhaltet eine erste Transfereinheit 31, eine zweite Transfereinheit 32 und eine vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33. Die erste Transfereinheit 31 lädt das Werkstück, das durch das Positionierungsmittel 6 an einer vorgegebenen Position positioniert wird, in den Einspanntisch 8 und den Drehtisch 11. Die zweite Transfereinheit 32 entlädt das Werkstück W aus dem Einspanntisch 8, nachdem ein Schleifen durchgeführt worden ist. Die vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33 bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks W umgedreht werden.The transfer unit shown in the present embodiment 30 includes a first transfer unit 31 , a second transfer unit 32 and a front surface / rear surface reversing transfer unit 33 , The first transfer unit 31 loads the workpiece through the positioning means 6 is positioned at a predetermined position in the chuck table 8th and the turntable 11 , The second transfer unit 32 unloads the workpiece W from the chuck table 8th after a grinding has been performed. The front surface / rear surface reversing transfer unit 33 causes the front surface and the rear surface of the workpiece W be turned around.

Die erste Transfereinheit 31 beinhaltet ein Transferpad 310, das in der Nähe des Positionierungsmittels 6 angeordnet ist und das Werkstück W hält, einen Arm 311, der das Transferpad 310 trägt, einen Bewegungsmechanismus, der einen Schaftabschnitt 312 aufweist, der den Arm 311 nach oben und nach unten bewegt, während sich der Arm 311 in der horizontalen Richtung dreht, und einen Motor, der mit einem Ende des Schaftabschnitts 312 verbunden ist. Wenn sich der Schaftabschnitt 312 in der Z-Achsen-Richtung nach oben und nach unten bewegt, ist es möglich, das Transferpad 310 zusammen mit dem Arm 311 in der Z-Achsen-Richtung nach oben und nach unten zu bewegen. Zusätzlich dreht sich der Arm 311, wenn sich der Schaftabschnitt 312 dreht, in der horizontalen Richtung, sodass sich das Transferpad 310 in der horizontalen Richtung drehen kann.The first transfer unit 31 includes a transfer pad 310 that is near the positioning means 6 is arranged and the workpiece W holds, an arm 311 that the transferpad 310 carries, a movement mechanism, a shaft section 312 that has the arm 311 moved up and down while the arm 311 rotating in the horizontal direction, and a motor connected to one end of the shaft portion 312 connected is. When the shaft section 312 Moving up and down in the Z-axis direction, it is possible to use the transfer pad 310 together with the arm 311 to move up and down in the Z-axis direction. In addition, the arm rotates 311 when the shaft section 312 turns, in the horizontal direction, so that the transferpad 310 can turn in the horizontal direction.

Die zweite Transfereinheit 32 beinhaltet ein Transferpad 320, das neben der ersten Transfereinheit 31 angeordnet ist und das Werkstück W hält, einen Arm 321, der das Transferpad 320 trägt, und einen Bewegungsmechanismus, der einen Wellenabschnitt 322 aufweist, der den Arm 321 nach oben und nach unten bewegt, während sich der Arm 321 in der horizontalen Richtung dreht, und einen Motor, der mit einem Ende des Wellenabschnitts 322 verbunden ist. Wenn sich der Wellenabschnitt 322 in der Z-Achsen-Richtung nach oben und nach unten bewegt, ist es möglich, das Transferpad 320 zusammen mit dem Arm 321 in der Z-Achsen-Richtung nach oben und nach unten zu bewegen. Zusätzlich dreht sich der Arm 321, wenn sich der Wellenabschnitt 322 dreht, in der horizontalen Richtung, sodass sich das Transferpad 320 in der horizontalen Richtung drehen kann.The second transfer unit 32 includes a transfer pad 320 next to the first transfer unit 31 is arranged and the workpiece W holds, an arm 321 that the transferpad 320 carries, and a movement mechanism, a shaft section 322 that has the arm 321 moved up and down while the arm 321 rotating in the horizontal direction, and a motor connected to one end of the shaft section 322 connected is. When the shaft section 322 It's moving up and down in the Z-axis direction possible, the transferpad 320 together with the arm 321 to move up and down in the Z-axis direction. In addition, the arm rotates 321 when the shaft section 322 turns, in the horizontal direction, so that the transferpad 320 can turn in the horizontal direction.

Die vordere-Oberfläche/hintere-Oberfläche-UmdrehTransfereinheit 33 beinhaltet mindestens ein Transferpad 330, das in der Nähe des Reinigungsmittels 7 angeordnet ist und das Werkstück W hält, einen horizontalen Tragabschnitt 321, der das Transferpad 330 horizontal trägt, und einen Umdrehmechanismus 332, der eine vordere Oberfläche und eine hintere Oberfläche des Transferpads 330 im horizontalen Tragabschnitt 331 umdreht. Auch wenn es nicht illustriert ist, beinhaltet der Umdrehmechanismus 332 eine Drehwelle, die ein Wellenzentrum parallel zum horizontalen Tragabschnitt 331 in der horizontalen Richtung aufweist. In der vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33 wird das Transferpad 330 im horizontalen Tragabschnitt 331 gedreht, wobei das Transferpad 330 das Werkstück W hält, und somit ist es möglich, die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks W umzudrehen. Es ist auch bei der vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33, ähnlich zur ersten Transfereinheit 31 und zur zweiten Transfereinheit 32, möglich, den horizontalen Tragabschnitt 331 nach oben und nach unten zu bewegen, während sich der horizontale Tragabschnitt 331 in der horizontalen Richtung dreht. Beachte, dass eine Ausgestaltung und eine Anordnungsposition der in der vorliegenden Ausführungsform dargestellten vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33 nur eine Form sind und geeignet geändert werden können.The front surface / rear surface reversal transfer unit 33 includes at least one transfer pad 330 that is near the detergent 7 is arranged and the workpiece W holds, a horizontal support section 321 that the transferpad 330 carries horizontally, and a reversing mechanism 332 which has a front surface and a rear surface of the transfer pad 330 in the horizontal support section 331 turns. Although not illustrated, the reversing mechanism includes 332 a rotary shaft, which is a shaft center parallel to the horizontal support section 331 in the horizontal direction. In the front surface / rear surface turn transfer unit 33 becomes the transferpad 330 in the horizontal support section 331 rotated, with the transfer pad 330 the workpiece W holds, and thus it is possible, the front surface and the rear surface of the workpiece W turning around. It is also with the front surface / rear surface reversing transfer unit 33 , similar to the first transfer unit 31 and the second transfer unit 32 , possible, the horizontal support section 331 to move up and down while the horizontal support section 331 turns in the horizontal direction. Note that a configuration and an arrangement position of the front surface / rear surface rotation transfer unit shown in the present embodiment 33 are just a shape and can be changed appropriately.

Eine Säule 3 ist an einem hinteren Abschnitt der Vorrichtungsbasis 2 in der Y-Achsen-Richtung errichtet. Die Schleifeinheit 40 wird vor der Säule 3 vom Anhebmittel 50 angehoben getragen. Das Anhebmittel 50 beinhaltet eine Kugelgewindespindel 51, die sich in der Z-Achsen-Richtung erstreckt, einen Motor 52, der mit einem Ende der Kugelgewindespindel 51 verbunden ist, ein Paar Führungsschienen 53, das sich parallel zur Kugelgewindespindel 51 erstreckt, und einen Anhebabschnitt 54, der in sich eine Mutter aufweist, die in die Kugelgewindespindel 51 geschraubt ist und einen Seitenabschnitt aufweist, der in Gleitkontakt mit den Führungsschienen 53 steht. Dann bewegt der Motor 52 die Kugelgewindespindel 51 drehbar, was es der Schleifeinheit 40 erlaubt, sich mit dem Anhebabschnitt 54 entlang dem Paar Führungsschienen 53 anzuheben und abzusenken.A column 3 is at a rear portion of the device base 2 built in the Y-axis direction. The grinding unit 40 will be in front of the pillar 3 from the raising agent 50 worn raised. The raising agent 50 includes a ball screw 51 extending in the Z-axis direction, a motor 52 that with one end of the ball screw 51 connected, a pair of guide rails 53 , which is parallel to the ball screw spindle 51 extends, and a lifting portion 54 which has in it a nut which is in the ball screw 51 is screwed and has a side portion in sliding contact with the guide rails 53 stands. Then the engine moves 52 the ball screw 51 rotatable what it is the grinding unit 40 allowed to engage with the lifting section 54 along the pair of guide rails 53 raise and lower.

Die Schleifeinheit 40 beinhaltet eine Spindel 41, die ein Wellenzentrum in der Z-Achsen-Richtung aufweist, wie in 2 dargestellt ist, ein Spindelgehäuse 42, das einen äußeren Umfang der Spindel 41 umgibt, einen Motor 43, der an einem Ende der Spindel 41 angebracht ist, eine Schleifscheibe 45, die über eine Anbringung 44an einem unteren Ende der Spindel 41 angebracht ist, und mehrere Schleifsteine 46, die in einer ringförmigen Form an einem unteren Abschnitt der Schleifscheibe 45 befestigt angebracht sind. Der Motor 43 dreht die Spindel 41 und demgemäß ist es möglich, die Schleifscheibe 45 mit einer vorgegebenen Drehgeschwindigkeit zu drehen.The grinding unit 40 includes a spindle 41 having a shaft center in the Z-axis direction, as in FIG 2 is shown, a spindle housing 42 that has an outer circumference of the spindle 41 surrounds a motor 43 which is at one end of the spindle 41 attached, a grinding wheel 45 attached via an attachment 44 to a lower end of the spindle 41 attached, and several grindstones 46 in an annular shape at a lower portion of the grinding wheel 45 attached attached. The motor 43 turns the spindle 41 and accordingly, it is possible to use the grinding wheel 45 to rotate at a predetermined rotational speed.

An einer unteren Seite der Schleifeinheit 40 ist eine Reinigungsdüse 60 vorgesehen, die Schleifwasser in Richtung der Schleifsteine 46 strahlt. Eine Strahlöffnung 60a ist an einem oberen Ende der Reinigungsdüse 60 ausgebildet und weist zu einer unteren Oberflächenseite der Schleifsteine 46. Mit der Reinigungsdüse 60 ist eine Zufuhrquelle 61 zum Zuführen des Schleifwassers verbunden. Die so ausgestaltete Reinigungsdüse 60 wird benutzt, um einen Kunststoff, der an den Schleifsteinen 46 haftet, mit Wasser wegzuspülen, wenn der Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche Wa des in 1 dargestellten Werkstücks W beschichtet ist, mit den Schleifsteinen 46 geschliffen wird. Auch wenn sie nicht besonders beschränkt ist, befindet sich eine Anordnungsposition der Reinigungsdüse 60 bevorzugt direkt unterhalb der Schleifsteine 46 und an anderen Positionen als den Bearbeitungspunkten der Schleifsteine 46 (Abschnitte, an denen die Schleifsteine 46 tatsächlich in Kontakt mit dem Kunststoff und dem Werkstück W kommen).At a lower side of the grinding unit 40 is a cleaning nozzle 60 provided the grinding water in the direction of the grindstones 46 shine. A beam opening 60a is at an upper end of the cleaning nozzle 60 formed and points to a lower surface side of the grinding stones 46 , With the cleaning nozzle 60 is a source of supply 61 connected to supply the grinding water. The cleaning nozzle designed in this way 60 is used to make a plastic attached to the grindstones 46 adheres to rinse off with water if the plastic, with the front surface Wa of in 1 represented workpiece W coated with the grindstones 46 is sanded. Although not particularly limited, there is an arrangement position of the cleaning nozzle 60 preferably directly below the grindstones 46 and at positions other than the machining points of the grindstones 46 (Sections where the grindstones 46 actually in contact with the plastic and the workpiece W come).

Die Bearbeitungsvorrichtung 1 beinhaltet ein Messmittel 70, das eine Kunststoffdicke des Kunststoffs nach einem Schleifen mit den Schleifsteinen 46 misst, und ein Steuerungsmittel, dass die Schleifeinheit 40 und das Anhebmittel 50 auf der Basis von Daten über die vom Messmittel gemessene Kunststoffdicke des Kunststoffs steuert. Das in der Figur dargestellte Messmittel 70 beinhaltet beispielweise eine kontaktlose optische Messvorrichtung, aber dies ist nicht beschränkend. Alternativ kann das Messmittel 70 eine Kontaktmessvorrichtung beinhalten. Somit ist es gemäß der Bearbeitungsvorrichtung 1 der vorliegenden Erfindung möglich, die Kunststoffdicke des Kunststoffs nach einem Schleifen mit den Schleifsteinen 46 zu messen und die hintere Oberfläche des Werkstücks W dann mit einer vorgegebenen Dicke dünn auszugestalten und demgemäß kann das Werkstück W mit einer höheren Präzision bearbeitet werden.The processing device 1 includes a measuring device 70 Making a plastic thickness of the plastic after sanding with the grindstones 46 measures, and a control means that the grinding unit 40 and the lifting means 50 based on data on the plastic thickness of the plastic measured by the measuring means. The measuring device shown in the figure 70 For example, it includes a contactless optical measuring device, but this is not limiting. Alternatively, the measuring means 70 include a contact measuring device. Thus, it is according to the processing apparatus 1 of the present invention, the plastic thickness of the plastic after grinding with the grinding stones 46 to measure and the back surface of the workpiece W then to make thin with a predetermined thickness, and accordingly, the workpiece W be processed with a higher precision.

Da die Schleifvorrichtung 1 der vorliegenden Erfindung den Einspanntisch 8, der das Werkstück W hält, die Schleifeinheit 40, die die Schleifsteine 46 enthält, welche die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W, dessen vordere Oberfläche Wa mit einem Kunststoff beschichtet ist und den beschichteten Kunststoff an der vorderen Oberfläche Wa schleifen, und die Transfereinheit 30 beinhaltet, die das Werkstück W in den/aus dem Einspanntisch 8 lädt/entlädt und bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch 8 entladenen Werkstücks W umgedreht werden, ist es daher möglich, ein Schleifen des Kunststoffs, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, durchzuführen und die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W in der gleichen Vorrichtung zu schleifen. Demgemäß ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, das Werkstück W effizient zu bearbeiten, ohne die Anzahl an Schleifschritten zu erhöhen.As the grinding device 1 the present invention, the chuck table 8th that the workpiece W stops, the grinding unit 40 that the grindstones 46 contains which the back surface wb of the workpiece W, the front surface thereof Wa coated with a plastic and the coated plastic on the front surface Wa grind, and the transfer unit 30 that includes the workpiece W in / out of the chuck table 8th loads / unloads and causes the front surface and the rear surface of the chuck table 8th unloaded workpiece W are reversed, it is therefore possible to sand the plastic, with which the front surface Wa of the workpiece W is coated, and the rear surface Wb of the workpiece W grind in the same device. Accordingly, it is possible according to the present invention, the workpiece W to work efficiently without increasing the number of grinding steps.

Wenn der Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W ist, mit den Schleifsteinen 46 geschliffen wird, wird Schleifwasser aus der Reinigungsdüse 60 zu den Schleifsteinen 46 gestrahlt, und ein Schleifen wird durchgeführt, während der an den Schleifsteinen 46 haftende Kunststoff abgereinigt wird. Demgemäß verbleibt, auch wenn der Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, geschliffen wird, um eben ausgebildet zu werden, kein Kunststoff an den Schleifsteinen 46. Somit ist es möglich, die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W unter Benutzung der gleichen Schleifsteine 46 zu schleifen.If the plastic, with the front surface Wa of the workpiece W is, with the grindstones 46 Grinding water is removed from the cleaning nozzle 60 to the grindstones 46 blasted, and a grinding is performed while on the grindstones 46 adhesive plastic is cleaned. Accordingly, even if the plastic with which the front surface remains Wa of the workpiece W is coated, ground to be formed flat, no plastic on the grindstones 46 , Thus, it is possible the rear surface wb of the workpiece W using the same grindstones 46 to grind.

WerkstückbearbeitungsverfahrenWorkpiece machining process

Als nächstes erfolgt eine Beschreibung, die ein Werkstückbearbeitungsverfahren des Durchführens eines Schleifens des Kunststoffs, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, und eines Schleifens der hinteren Oberfläche Wb des Werkstücks W betrifft. In der vorliegenden Ausführungsform wird das Werkstückbearbeitungsverfahren unter Verwendung der obigen Bearbeitungsvorrichtung 1 durchgeführt. Die Kassette 4a der Bearbeitungsvorrichtung 1 nimmt vor einem Bearbeiten mehrere der Werkstücke auf. Das Lade-/Entlademittel 5 nimmt das Werksstück W vor einem Bearbeiten aus der Kassette 4a heraus und überträgt das Werkstück W zum Positionierungsmittel 6, um das Werkstück W an einer vorgegebenen Position zu positionieren.Next, a description will be given of a workpiece machining method of performing grinding of the resin with which the front surface Wa of the workpiece W coated, and a grinding of the rear surface wb of the workpiece W concerns. In the present embodiment, the workpiece machining method is performed using the above machining apparatus 1 carried out. The cassette 4a the processing device 1 picks up several of the workpieces before processing. The loading / unloading agent 5 takes the work piece W before editing from the cassette 4a out and transfers the workpiece W to the positioning means 6 to the workpiece W to position at a predetermined position.

KunststoffbeschichtungsschrittPlastic coating step

Die erste Transfereinheit 31 entlädt das Werkstück W, das vom Positionierungsmittel 6 an der vorgegebenen Position positioniert worden ist, vom Positionierungsmittel 6, und platziert, wie in 3 dargestellt, die hintere Oberfläche Wb des Werksstücks W an der Halteoberfläche 11a des Drehtischs 11, sodass die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W nach oben zeigt, sodass sie freiliegt. Dann wird das Werkstück W durch einen Saugeffekt der nicht dargestellten Ansaugquelle an der Halteoberfläche 11a des Drehtischs 11 angesaugt und gehalten, und dann wird der Drehtisch 11 durch das Drehmittel 13 beispielsweise in der Richtung eines Pfeils A gedreht.The first transfer unit 31 discharges the workpiece W, that of the positioning means 6 has been positioned at the predetermined position, from the positioning means 6 , and placed as in 3 shown, the rear surface Wb of the workpiece W at the holding surface 11a of the turntable 11 so that the front surface Wa of the workpiece W pointing up so it is exposed. Then the workpiece becomes W by a suction effect of the suction source, not shown, on the holding surface 11a of the turntable 11 sucked and held, and then the turntable 11 through the turning means 13 for example, rotated in the direction of an arrow A.

Die Kunststoffdüse 12 dreht sich in Bezug auf die Halteoberfläche 11a des Drehtischs 11 in der horizontalen Richtung und ein Spitzenende der Kunststoffdüse 12 wird an einer oberen Seite in einem Mittenbereich der vorderen Oberfläche Wa des am Drehtisch 11 gehaltenen Werkstücks W positioniert, um eine vorgegebene Menge eines Kunststoffs 100 in Richtung der Mittenregion zu tropfen. Eine durch eine Drehung des Drehtischs 11 erzeugte Zentrifugalkraft bewirkt dann, dass der Kunststoff 100 vom Mittenbereich der vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W zu einer äußeren Umfangsseite davon fließt, sodass er sich gleichmäßig über die gesamte vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W verteilt. Auf diese Weise wird die gesamte vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W mit dem Kunststoff 100 beschichtet. Bevorzugt kann als der Kunststoff 100 beispielsweise ein ultraviolett-härtbarer Kunststoff benutzt werden.The plastic nozzle 12 turns in relation to the holding surface 11a of the turntable 11 in the horizontal direction and a tip end of the plastic nozzle 12 is at an upper side in a central area of the front surface Wa at the turntable 11 held workpiece W positioned to a predetermined amount of a plastic 100 to drip towards the center region. One by turning the turntable 11 generated centrifugal force then causes the plastic 100 from the center area of the front surface Wa of the workpiece W flows to an outer peripheral side thereof so as to be uniform over the entire front surface Wa of the workpiece W distributed. In this way, the entire front surface Wa of the workpiece W with the plastic 100 coated. Preferably, as the plastic 100 For example, an ultraviolet-curable plastic can be used.

KunststoffhärtschrittKunststoffhärtschritt

Der in 1 dargestellte Drehtisch 11 wird dazu gebracht, durch die Öffnung 201 der Prozesskammer 200 des Kunststoffhärtmittels 20 durchzutreten, um in das Innere der Prozesskammer 200 einzutreten. Danach emittieren die mehreren Ultraviolettleuchten, die in der Prozesskammer 200 angeordnet sind, einen Ultraviolettstrahl in Richtung des Kunststoffs 100. Der Kunststoff 100 wird aufgrund eines externen Stimulus durch den Ultraviolettstrahl gehärtet, und wie in 4 gezeigt, wird der gehärtete Kunststoff 100 über die gesamte vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W ausgebildet.The in 1 illustrated turntable 11 is brought to through the opening 201 the process chamber 200 of the plastic curing agent 20 go through to the inside of the process chamber 200 enter. After that, emit the several ultraviolet lights that are in the process chamber 200 are arranged, an ultraviolet ray in the direction of the plastic 100 , Plastic 100 is cured due to an external stimulus by the ultraviolet ray, and as in 4 shown is the hardened plastic 100 over the entire front surface Wa of the workpiece W educated.

KunststoffschleifschrittPlastic grinding step

Nachdem der Kunststoffhärtschritt durchgeführt worden ist, wird der Drehtisch 11 aus der in 1 dargestellten Prozesskammer 200 zurückgezogen. Die erste Transfereinheit 31 entlädt das Werkstück W vom Drehtisch 11 und platziert, wie in 5 gezeigt, die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W an der Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8, sodass ein Kunststoff 100a, mit dem die vordere Oberfläche Wa beschichtet ist, nach oben zeigt, sodass er freiliegt. Nachdem das Werkstück W durch einen Ansaugeffekt der nicht dargestellten Ansaugquelle an der Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8 angesaugt und gehalten wird, wird der Einspanntisch 8 beispielswiese in der Richtung des Pfeils A gedreht, und unter die Schleifeinheit 40 bewegt. Die Schleifeinheit 40 dreht die Schleifscheibe 45 beispielsweise in der Richtung des Pfeils A und senkt die Schleifscheibe 45 mit einer vorgegebenen Schleifzufuhrgeschwindigkeit ab, und drückt dadurch den Kunststoff 100a mit den sich drehenden Schleifsteinen 46, um den Kunststoff 100a zu schleifen, sodass er eben ausgestaltet wird. Indessen können durch ein Neigen des Einspanntischs 8 oder der Spindel 41 mit einem vorgegebenen Winkel alle Schleifoberflächen der Schleifsteine 46 und die Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8 so eingestellt werden, dass sie im Vorhinein parallel zueinander sind.After the plastic hardening step has been carried out, the turntable becomes 11 from the in 1 represented process chamber 200 withdrawn. The first transfer unit 31 unloads the workpiece W from the turntable 11 and placed as in 5 shown the back surface wb of the workpiece W at the holding surface 8a of the chuck table 8th so a plastic 100a with which the front surface Wa coated, facing up so that it is exposed. After the workpiece W by a suction effect of the suction source, not shown, on the holding surface 8a of the chuck table 8th is sucked and held, the clamping table 8th for example, rotated in the direction of arrow A, and below the grinding unit 40 emotional. The grinding unit 40 turns the grinding wheel 45 For example, in the direction of arrow A and lowers the grinding wheel 45 at a predetermined grinding feed speed, thereby pushing the plastic 100a with the turning ones grindstones 46 to the plastic 100a to grind, so that it is just designed. Meanwhile, by tilting the chuck table 8th or the spindle 41 with a given angle all sanding surfaces of the grindstones 46 and the holding surface 8a of the chuck table 8th be set so that they are parallel to each other in advance.

Im Kunststoffschleifschritt wird ein Schleifen des Kunststoffs 100 durchgeführt, während die Schleifsteine 46 durch ein Strahlen des Reinigungswassers 62 aus der Strahlöffnung 60a der Reinigungsdüse 60 zu den Schleifsteinen 46 gereinigt werden. In diesem Fall ist, wie in 6 dargestellt, von den Rotationstrajektorien der Schleifsteine 46, die sich in der Richtung des Pfeils A drehen, ein Bearbeitungsbereich, der eine kreisförmige Bogenform aufweist, ein Bearbeitungspunkt P1, an dem die Schleifsteine 46 tatsächlich in Kontakt mit dem Kunststoff 100a kommen, um ein Schleifen durchzuführen, wohingegen ein Nicht-Bearbeitungsbereich, der außerhalb des Einspanntischs 8 positioniert ist und in dem die Schleifsteine 46 nicht in Kontakt mit dem Kunststoff 100a kommen, ein Nicht-Bearbeitungspunkt P2 ist. Während eines Schleifens des Kunststoffs 100a werden die Schleifsteine 46, während die Schleifsteine 46 immer durch eine Mitte Wo des Werkstücks W durchtreten, am Bearbeitungspunkt P1 in Kontakt mit dem Kunststoff 100a gebracht, um ein Schleifen des Kunststoffs 100a aufrechtzuerhalten.The plastic grinding step involves grinding the plastic 100 performed while the whetstones 46 by a blasting of the cleaning water 62 from the jet opening 60a the cleaning nozzle 60 to the grindstones 46 getting cleaned. In this case, as in 6 represented by the rotation trajectories of the grindstones 46 which rotate in the direction of the arrow A, a machining area having a circular arc shape, a machining point P1 on which the grindstones 46 actually in contact with the plastic 100a come to perform a grinding, whereas a non-processing area outside the chuck table 8th is positioned and where the grindstones 46 not in contact with the plastic 100a come, a non-edit point P2 is. During a grinding of the plastic 100a become the whetstones 46 while the grindstones 46 always through a middle where of the workpiece W pass through, at the edit point P1 in contact with the plastic 100a brought to a grinding of the plastic 100a maintain.

Wenn die sich drehenden Schleifsteine 46 durch den Bearbeitungspunkt P1 durchtreten und den Nicht-Bearbeitungspunkt P2 erreichen, haftet der Kunststoff 100a an den Schleifsteinen 46, die zum Nicht-Bearbeitungspunkt P2 bewegt worden sind. Insbesondere befinden sich, wie in einer teilweise vergrößerten Ansicht von 5 gezeigt, die Schleifsteine 46, die nicht in Kontakt mit dem Kunststoff 100 stehen, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, in einem Zustand, in dem der Kunststoff 100a haftet. Um diesen Kunststoff 100a zu entfernen, wird während eines Schleifens des Kunststoffs 100 die Zufuhrquelle 61 konstant bedient, um das Schleifwasser 62 von der Strahlöffnung 60a der Reinigungsdüse 60 zu den Schleifsteinen 46 zu strahlen, und dadurch den an den Schleifsteinen 46 haftenden Kunststoff 100a abzuwaschen. Eine Position der Reinigungsdüse 60 ist nicht besonders beschränkt, aber die Reinigungsdüse kann an jedem Ort des Nicht-Bearbeitungspunkts P2 angeordnet sein.When the rotating whetstones 46 through the edit point P1 pass through and the non-edit point P2 reach, the plastic adheres 100a at the grindstones 46 that's the non-edit point P2 have been moved. In particular, as in a partially enlarged view of FIG 5 shown the grindstones 46 that are not in contact with the plastic 100 Stand with the front surface Wa of the workpiece W is coated, in a state in which the plastic 100a liable. To this plastic 100a Remove is during a grinding of the plastic 100 the supply source 61 Constantly served to the grinding water 62 from the jet opening 60a the cleaning nozzle 60 to the grindstones 46 to radiate, and thereby to the grindstones 46 adhesive plastic 100a wash away. A position of the cleaning nozzle 60 is not particularly limited, but the cleaning nozzle can be anywhere in the non-processing point P2 be arranged.

Nach dem Schleifen des Kunststoffs 100a, so dass er eben ausgestaltet wird, wird das in 1 dargestellte Messmittel 70 benutzt, um eine Kunststoffdicke des Kunststoffs 100a, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, zu messen. Gemäß einem Messergebnis des Messmittels 70 wird, wenn die erhaltene Kunststoffdicke des gemessenen Kunststoffs 100a eine vorgegebene Dicke ist, der Kunststoffschleifschritt beendet und es wird mit dem später beschriebenen Werkstückschleifschritt fortgefahren. Indessen kann der Kunststoff 100a, wenn die Kunststoffdicke des gemessenen Kunststoffs 100a die vorgegebene Dicke nicht erreicht, nochmal mit den Schleifsteinen 46 geschliffen werden, um die vorgegebene Dicke zu erreichen.After sanding the plastic 100a so that it is just designed, that will be in 1 illustrated measuring means 70 used to make a plastic thickness of the plastic 100a with which the front surface Wa of the workpiece W coated, measure. According to a measurement result of the measuring means 70 when the obtained plastic thickness of the measured plastic 100a is a predetermined thickness, the plastic grinding step is finished, and the work grinding step described later is continued. Meanwhile, the plastic can 100a if the plastic thickness of the measured plastic 100a the given thickness is not reached, again with the grindstones 46 be ground to achieve the predetermined thickness.

WerkstückschleifschrittWorkpiece grinding step

Die in 1 dargestellte zweite Transfereinheit 32 überträgt das Werkstück W vom Einspanntisch 8 zum Reinigungsmittel 7. Nachdem das Werkstück W vom Reinigungsmittel 7 gereinigt worden ist, hält die vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33 die Seite des Werkstücks W, die mit dem Kunststoff 100a an der vorderen Oberfläche Wa beschichtet worden ist, mit dem Transferpad 330 und dreht die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks W durch Umdrehen des horizontalen Tragabschnitts 331 um, wodurch sie bewirkt, dass die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W nach oben zeigt. In einem solchen Zustand übernimmt die zweite Übertragungseinheit 32 das Werkstück W von der vordere-Oberfläche-/hintere-Oberfläche-Umdrehtransfereinheit 33, um das Werkstück W zu halten.In the 1 shown second transfer unit 32 transfers the workpiece W from the chuck table 8th to the detergent 7 , After the workpiece W from the detergent 7 has been cleaned, holds the front surface / rear surface reversing transfer unit 33 the side of the workpiece W, which is the plastic 100a on the front surface Wa has been coated with the transfer pad 330 and rotates the front surface and the rear surface of the workpiece W by turning the horizontal support section 331 around, thereby causing the rear surface wb of the workpiece W pointing upwards. In such a state, the second transmission unit takes over 32 the workpiece W from the front surface / rear surface reversing transfer unit 33 to the workpiece W to keep.

Die zweite Transfereinheit 32 platziert, wie in 7 gezeigt, die Seite des Werkstücks W, die mit dem Kunststoff 100a an der vorderen Oberfläche Wa beschichtet ist, an der Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8, sodass die hintere Oberfläche Wb nach oben zeigt, sodass sie freiliegt. Nachdem das Werkstück W an der Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8 durch einen Ansaugeffekt der nicht dargestellten Ansaugquelle angesaugt und gehalten wird, wird der Einspanntisch 8 unter die Schleifeinheit 40 bewegt, während sich der Einspanntisch 8 beispielsweise in der Richtung des Pfeils A dreht.The second transfer unit 32 placed as in 7 shown the side of the workpiece W, with the plastic 100a on the front surface Wa coated on the retaining surface 8a of the chuck table 8th so that the back surface wb pointing up so it is exposed. After the workpiece W at the holding surface 8a of the chuck table 8th is sucked and held by a suction effect of the suction source, not shown, is the chuck table 8th under the grinding unit 40 moves while the chuck table 8th for example, in the direction of the arrow A rotates.

Im Werkstückschleifschritt werden die gleichen Schleifsteine 46 wie diejenigen im Kunststoffschleifschritt benutzt, um die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W zu schleifen. Insbesondere wird, nachdem die Seite des Werkstücks W, die mit dem Kunststoff 100a an der vorderen Oberfläche Wa beschichtet ist, an der Halteoberfläche 8a des Einspanntischs 8 angesaugt und gehalten wird, der Einspanntisch 8 unterhalb der Schleifeinheit 40 bewegt, während sich der Einspanntisch 8 beispielsweise in der Richtung des Pfeils A dreht. Die Schleifeinheit 40 senkt die Schleifscheibe 45 mit einer vorgegebenen Schleifzufuhrgeschwindigkeit ab, während sich die Schleifscheibe 45 beispielsweise in der Richtung des Pfeils A dreht. Dann schleift die Schleifeinheit 40 die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W, indem sie die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W mit den sich drehenden Schleifsteinen 46 drückt, bis die Dicke des Werkstücks W die vorgegebene Dicke erreicht. Da an den Schleifsteinen 46 kein Kunststoff verbleibt, ist es möglich, das Werkstück W vorteilhaft dünn auszugestalten.In the workpiece grinding step, the same grindstones are used 46 like those used in the plastic sanding step to the back surface wb of the workpiece W to grind. In particular, after the side of the workpiece W, with the plastic 100a on the front surface Wa coated on the retaining surface 8a of the chuck table 8th is sucked in and held, the clamping table 8th below the grinding unit 40 moves while the chuck table 8th for example, in the direction of the arrow A rotates. The grinding unit 40 lowers the grinding wheel 45 at a given grinding feed rate while the grinding wheel 45 for example, in the direction of the arrow A rotates. Then the grinding unit grinds 40 the back surface wb of the workpiece W, by the rear surface wb of the workpiece W With the rotating grindstones 46 presses until the thickness of the workpiece W reaches the predetermined thickness. Because of the grindstones 46 no plastic remains, it is possible the workpiece W advantageous to design thin.

Somit beinhaltet das Werkstückbearbeitungsverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung einen Kunststoffbeschichtungsschritt des Beschichtens der vorderen Oberfläche Wa des Werkstücks W mit dem Kunststoff 100, einen Kunststoffhärtschritt des Aufbringens eines Ultraviolettstrahls auf den zu härtenden beschichteten Kunststoff 100, einen Kunststoffschleifschritt des Schleifens des gehärteten Kunststoffs 100a mit den Schleifsteinen 46, so dass er eben ausgestaltet wird, und einen Werkstückschleifschritt des Haltens der Seite des Werkstücks W mit dem eben ausgestalteten Kunststoff 100a am Einspanntisch 8 und des Schleifens der hinteren Oberfläche Wb des Werkstücks W mit den Schleifsteinen 46. Der Kunststoffschleifschritt ist so ausgestaltet, dass ein Schleifen durchgeführt wird, während der an den Schleifsteinen 46 haftende Kunststoff 100a gereinigt wird. Demgemäß ist es möglich, den Kunststoff 100a, mit dem die vordere Oberfläche Wa des Werkstücks W beschichtet ist, und die hintere Oberfläche Wb des Werkstücks W in der gleichen Vorrichtung zu schleifen. Daher ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, das Werkstück W effizient zu bearbeiten, ohne die Anzahl an Schleifschritten zu erhöhen.Thus, the workpiece machining method according to the present invention includes a plastic coating step of coating the front surface Wa of the workpiece W with the plastic 100 a plastic hardening step of applying an ultraviolet ray to the coated plastic to be cured 100 , a plastic grinding step of grinding the cured plastic 100a with the grindstones 46 so that it is just made, and a workpiece grinding step of holding the side of the workpiece W with the newly designed plastic 100a at the chuck table 8th and grinding the back surface wb of the workpiece W with the grindstones 46 , The plastic grinding step is designed so that grinding is performed while on the grinding stones 46 adhesive plastic 100a is cleaned. Accordingly, it is possible to use the plastic 100a with which the front surface Wa of the workpiece W coated, and the rear surface wb of the workpiece W grind in the same device. Therefore, it is possible according to the present invention, the workpiece W to work efficiently without increasing the number of grinding steps.

Im Kunststoffschleifschritt wird das Schleifwasser 62 auch von der Reinigungsdüse 60 zu den Schleifsteinen 46 gestrahlt, und ein Schleifen des Kunststoffs 100a wird durchgeführt, während der an den Schleifsteinen 46 haftende Kunststoff 100a abgereinigt wird. Demgemäß verbleibt der Kunststoff 100a nicht an den Schleifsteinen 46, nachdem der Kunststoffschleifschritt beendet ist. Daher ist es möglich, den Werkstückschleifschritt durch ein Benutzen der gleichen Schleifsteine 46 durchzuführen und dadurch eine Bearbeitungseffizienz zu verbessern.In the plastic grinding step, the grinding water 62 also from the cleaning nozzle 60 to the grindstones 46 blasted, and a sanding of the plastic 100a is performed while on the grindstones 46 adhesive plastic 100a is cleaned. Accordingly, the plastic remains 100a not on the grindstones 46 after the plastic grinding step is completed. Therefore, it is possible to use the workpiece grinding step by using the same grinding stones 46 perform and thereby improve a processing efficiency.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angehängten Patentansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalent des Schutzbereichs der Ansprüche fallen, sind daher von der Erfindung umfasst.The present invention is not limited to the details of the preferred embodiment described above. The scope of the invention is defined by the appended claims, and all changes and modifications that fall within the equivalent of the scope of the claims are therefore included in the invention.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • JP 2009043931 [0002]JP 2009043931 [0002]

Claims (7)

Werkstückbearbeitungsverfahren zum Schleifen eines Kunststoffs, mit dem eine vordere Oberfläche eines Werkstücks beschichtet ist, das ein Bauelement in jedem von mehreren Bereichen aufweist, die durch mehrere Teilungslinien unterteilt sind, die an der vorderen Oberfläche des Werkstücks in einem Gittermuster ausgebildet sind, und des Schleifens einer hinteren Oberfläche des Werkstücks, wobei das Verfahren umfasst: einen Kunststoffbeschichtungsschritt des Beschichtens der vorderen Oberfläche des Werkstücks mit dem Kunststoff; einen Kunststoffhärtschritt des Aufbringens eines Ultraviolettstrahls auf den zu härtenden beschichteten Kunststoff; einen Kunststoffschleifschritt des Schleifens des gehärteten Kunststoffs mit Schleifsteinen, so dass dieser eben ausgestaltet wird; und einen Werkstückschleifschritt des Haltens der Seite des Werkstücks mit dem eben ausgebildeten Kunststoff an einen Haltetisch und des Schleifens der hinteren Oberfläche des Werkstücks mit Schleifsteinen, wobei im Kunststoffschleifschritt ein Schleifen durchgeführt wird, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird.A workpiece processing method of grinding a plastic coated with a front surface of a workpiece having a device in each of a plurality of regions divided by a plurality of division lines formed on the front surface of the workpiece in a lattice pattern and grinding a workpiece rear surface of the workpiece, the method comprising: a plastic coating step of coating the front surface of the workpiece with the plastic; a plastic curing step of applying an ultraviolet ray to the coated plastic to be cured; a plastic grinding step of grinding the hardened plastic with grindstones to make it planar; and a workpiece grinding step of holding the side of the workpiece with the newly formed plastic to a holding table and grinding the rear surface of the workpiece with grindstones; wherein grinding is performed in the plastic grinding step while the plastic adhered to the grinding stones is cleaned. Werkstückbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1, wobei im Kunststoffschleifschritt Wasser aus einer Reinigungsdüse zu den Schleifsteinen gestrahlt wird, und der Kunststoff mit den Schleifsteinen geschliffen wird, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird.Workpiece processing after Claim 1 wherein in the plastic grinding step, water is blasted from a cleaning nozzle to the grindstones, and the plastic is ground with the grindstones while the plastic adhering to the grindstones is cleaned. Werkstückbearbeitungsverfahren nach Anspruch 1 oder 2, wobei, nachdem der Kunststoffschleifschritt durchgeführt worden ist, eine Transfereinheit, die das Werkstück in den/aus dem Einspanntisch lädt/entlädt, und die bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch entladenen Werkstücks umgedreht werden, benutzt wird, um die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks umzudrehen, und im Kunststoffschleifschritt und dem Werkstückschleifschritt gleiche Schleifsteine benutzt werden.Workpiece processing after Claim 1 or 2 wherein, after the plastic grinding step has been performed, using a transfer unit that loads / unloads the workpiece into / from the chuck table and causes the front surface and the rear surface of the workpiece unloaded from the chuck table to be inverted, to turn over the front surface and the back surface of the workpiece, and use same grindstones in the plastic grinding step and the workpiece grinding step. Bearbeitungsverfahren, das beim Bearbeiten eines Werkstücks benutzt wird, das ein Bauelement in jedem von mehreren Bereichen aufweist, die durch mehrere Teilungslinien unterteilt sind, die an einer vorderen Oberfläche des Werkstücks in einem Gittermuster ausgebildet sind, wobei die Bearbeitungsvorrichtung aufweist: einen Einspanntisch, der das Werkstück hält; eine Schleifeinheit, die Schleifsteine beinhaltet, die eine hintere Oberfläche des Werkstücks, dessen vordere Oberfläche mit einem Kunststoff beschichtet ist, und den Kunststoff, mit dem die vordere Oberfläche beschichtet ist, schleifen; und eine Transfereinheit, die das Werkstück in den/aus dem Einspanntisch lädt/entlädt, und bewirkt, dass die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des aus dem Einspanntisch entladenen Werkstücks umgedreht werden.A machining method used in machining a workpiece having a device in each of a plurality of regions divided by a plurality of division lines formed on a front surface of the workpiece in a lattice pattern, the machining device comprising: a chuck table holding the workpiece; a grinding unit including grindstones which grind a rear surface of the workpiece whose front surface is coated with a plastic and the plastic with which the front surface is coated; and a transfer unit that loads / unloads the workpiece into / from the chuck table and causes the front surface and the rear surface of the workpiece unloaded from the chuck table to be reversed. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4, wobei eine Kunststoffdicke des Kunststoffs nach einem Schleifen mit den Schleifsteinen gemessen wird, und die hintere Oberfläche des Werkstücks mit einer vorgegebenen Dicke dünn ausgestaltet wird.Processing device after Claim 4 wherein a plastic thickness of the plastic is measured after grinding with the grindstones, and the rear surface of the workpiece is made thin with a predetermined thickness. Bearbeitungsvorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, ferner aufweisend: eine Reinigungsdüse, die Schleifwasser auf die Schleifsteine strahlt, wobei der Kunststoff mit den Schleifsteinen geschliffen wird, während der an den Schleifsteinen haftende Kunststoff gereinigt wird.Processing device after Claim 4 or 5 , further comprising: a cleaning nozzle that irradiates grinding water onto the grindstones, grinding the plastic with the grindstones while cleaning the plastic adhering to the grindstones. Bearbeitungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, wobei die vordere Oberfläche und die hintere Oberfläche des Werkstücks durch die Transfereinheit umgedreht werden, und ein Schleifen des Kunststoffs und ein Schleifen der hinteren Oberfläche des Werkstücks unter Benutzung der gleichen Schleifsteine durchgeführt wird.Processing device according to one of Claims 4 to 6 wherein the front surface and the back surface of the workpiece are reversed by the transfer unit, and grinding of the plastic and grinding of the back surface of the workpiece is performed using the same grindstones.
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