DE102018120645A1 - Stufenkoppler für planare Wellenreiter - Google Patents
Stufenkoppler für planare Wellenreiter Download PDFInfo
- Publication number
- DE102018120645A1 DE102018120645A1 DE102018120645.3A DE102018120645A DE102018120645A1 DE 102018120645 A1 DE102018120645 A1 DE 102018120645A1 DE 102018120645 A DE102018120645 A DE 102018120645A DE 102018120645 A1 DE102018120645 A1 DE 102018120645A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- region
- waveguide
- thickness
- coupling
- optical coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/365—Non-linear optics in an optical waveguide structure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/262—Optical details of coupling light into, or out of, or between fibre ends, e.g. special fibre end shapes or associated optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12004—Combinations of two or more optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/136—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by etching
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/27—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/27—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means
- G02B6/2706—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means as bulk elements, i.e. free space arrangements external to a light guide, e.g. polarising beam splitters
- G02B6/2713—Optical coupling means with polarisation selective and adjusting means as bulk elements, i.e. free space arrangements external to a light guide, e.g. polarising beam splitters cascade of polarisation selective or adjusting operations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/35—Optical coupling means having switching means
- G02B6/3536—Optical coupling means having switching means involving evanescent coupling variation, e.g. by a moving element such as a membrane which changes the effective refractive index
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12133—Functions
- G02B2006/12147—Coupler
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12166—Manufacturing methods
- G02B2006/12176—Etching
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
Ein optischer Koppler kann bereitgestellt sein, um einen Lichtstrahl in einen Wellenleiter zu koppeln. Der optische Koppler kann eine gestufte Struktur aufweisen, sodass Schwierigkeiten während der Herstellung verringert werden, mit der Herstellung assoziierte Ausgaben verringert werden und zusätzlich dazu ein erhöhter Akzeptanzwinkel des optischen Kopplers bereitgestellt wird. Der Wellenleiter kann ein Leitgebiet aufweisen, in dem eine Ummantelungsdicke bezüglich eines Kopplungsgebiets erhöht werden kann, sodass Verluste aufgrund einer evaneszenten Auskopplung im Leitgebiet verringert werden.
Description
- Gebiet der Offenbarung
- Die vorliegende Offenbarung betrifft Systeme und Verfahren zum Koppeln eines Lichtstrahls in einen planaren Wellenleiter.
- Hintergrund
- Gewisse optische Koppler können einen optischen Freiraum-Strahl in einen Wellenleiter koppeln.
- Kurzdarstellung der Offenbarung
- In gewissen Systemen kann ein gleichmäßig spitz zulaufender optischer Koppler verwendet werden, um einen Freiraum-Lichtstrahl in einen Wellenleiter zu koppeln. Der gleichmäßig spitz zulaufende optische Koppler kann schwierig und/oder kostspielig herzustellen sein. Zusätzlich dazu können gleichmäßig spitz zulaufende optische Koppler einen Akzeptanzwinkel des optischen Kopplers beschränken. Die Erfinder haben unter anderem den Bedarf für einen optischen Koppler mit einer gestuften Struktur erkannt, sodass Schwierigkeiten während der Herstellung verringert werden, mit der Herstellung assoziierte Ausgaben verringert werden und zusätzlich dazu ein erhöhter Akzeptanzwinkel des optischen Kopplers bereitgestellt wird. Weitere Merkmale der Offenbarung sind in den angehängten Ansprüchen bereitgestellt, wobei die Merkmale optional miteinander in einer beliebigen Permutation oder Kombination kombiniert werden können, sofern in diesem Dokument anderweitig ausdrücklich nichts anderes angegeben wird.
- Bei einem Aspekt kann die Offenbarung einen planaren Wellenleiter zum Empfangen und Leiten eines Lichtstrahls mit verringerter evaneszenter Kopplung des Lichtstrahls während des Leitens aufweisen. Der planare Wellenleiter kann einen Wellenleiterkern und eine erste und zweite optische Ummantelung aufweisen, sodass der Lichtstrahl entlang einer Länge des Wellenleiters geleitet wird. Der planare Wellenleiter kann auch einen optischen Koppler mit einem ersten Koppelgebiet, das von einem Leitgebiet getrennt ist, aufweisen, wobei der optische Koppler zumindest eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung zumindest eine entsprechende stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist, sodass eine evaneszente Kopplung im Leitgebiet verringert wird, und wobei das erste Koppelgebiet des optischen Kopplers in der Lage sein kann, Licht in den Wellenleiterkern einzukoppeln. Das erste Koppelgebiet des optischen Kopplers kann in der Lage sein, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, einzukoppeln. Der optische Koppler kann eine Reihe von stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen und die erste optische Ummantelung kann entsprechende stufenweise Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen und wobei der optische Koppler dazu ausgebildet sein kann, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, zu koppeln. Der optische Koppler kann eine Reihe von variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen und die erste optische Ummantelung kann entsprechende variierende stufenweise Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen. Die variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke können eine variierende Höhe und Breite einer individuellen der stufenweisen Abnahmen in der Dicke aufweisen und der optische Koppler kann dazu ausgebildet sein, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, bei dem ein Großteil des Nahfeldprofils ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, zu koppeln. Der planare Wellenleiter kann auch mindestens einen Abstandhalter aufweisen, sodass ein Abstand zwischen dem Wellenleiterkern und dem optischen Koppler definiert wird, der ein Einkoppeln eines Teils eines Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, in den Wellenleiterkern bereitstellen kann, und die erste optische Ummantelung kann ein Flüssigkristallmaterial aufweisen. Der planare Wellenleiter kann auch ein festes Füllmaterial aufweisen, das sich zwischen dem Flüssigkristallmaterial und dem optischen Koppler befinden kann. Der optische Koppler kann dazu ausgebildet sein, einen Freiraum-Lichtstrahl mit einem Gaußschen Profil mit einer Effizienz von mindestens 80 % zu koppeln. Der optische Koppler kann ein zweites Koppelgebiet, das vom Leitgebiet getrennt ist, und eine stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen und die erste optische Ummantelung kann eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen, sodass eine Kopplung im zweiten Koppelgebiet erhöht wird, und das zweite Koppelgebiet des optischen Kopplers kann in der Lage sein, einen Teil des Lichtstrahls, der von dem Wellenleiterkern geleitet wird, transversal auszukoppeln. Der optische Koppler kann eine Reihe von variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen und die erste optische Ummantelung kann entsprechende variierende stufenweise Abnahmen in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen. Die variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke können eine variierende Höhe und Breite von individuellen der stufenweisen Zunahmen in der Dicke aufweisen und die variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke können angepasst werden, sodass ein Profil eines ausgekoppelten Teils des Lichtstrahls, der von dem Wellenleiterkern geleitet wird, modifiziert wird.
- Bei einem Aspekt kann die Offenbarung ein Verfahren zum Koppeln eines Freiraum-Lichtstrahls zu einem planaren Wellenleiter aufweisen. Das Verfahren kann Einkoppeln von Licht in einen Kern in einem ersten Gebiet des planaren Wellenleiters über einen optischen Koppler und eine erste Ummantelung mit einer ersten Dicke aufweisen. Das Verfahren kann auch Leiten des eingekoppelten Lichts durch ein zweites Gebiet des planaren Wellenleiters aufweisen, in dem die erste Ummantelung eine zweite Dicke größer als die erste Dicke aufweist, wobei sich mindestens eine Stufe zwischen der ersten Dicke und der zweiten Dicke in der ersten Ummantelung zwischen dem ersten und zweiten Gebiet des Wellenleiters befinden kann. Das Verfahren kann auch Auskoppeln von Licht vom Kern in einem dritten Gebiet des Wellenleiters, das durch das zweite Gebiet des Wellenleiters vom ersten Gebiet des Wellenleiters getrennt sein kann, über einen optischen Koppler aufweisen und die erste Ummantelung kann eine dritte Dicke aufweisen, die geringer als die zweite Dicke ist, wobei sich eine Stufe zwischen der zweiten Dicke und der dritten Dicke in der ersten Ummantelung zwischen dem zweiten und dritten Gebiet des Wellenleiters befinden kann. Das Verfahren kann auch Bereitstellen eines Abstandhalters aufweisen, wie etwa um einen Abstand zwischen einem Kern des planaren Wellenleiters und einem optischen Koppler im ersten Gebiet des Wellenleiters mechanisch zu definieren, sodass eine evaneszente Kopplung im ersten Gebiet des Wellenleiters bereitgestellt wird, und wobei die erste Ummantelung ein Flüssigkristallmaterial aufweisen kann. Das Verfahren kann auch Bereitstellen eines festen Füllmaterials aufweisen, das sich zwischen dem Flüssigkristallmaterial und dem optischen Koppler befindet. Das Verfahren kann auch Bereitstellen eines optischen Kopplers mit einer gestuften Struktur, die eine Reihe von stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters aufweisen kann, und Bereitstellen einer ersten optischen Ummantelung mit einer entsprechenden gestuften Struktur einschließlich einer Reihe von stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters aufweisen. Ein Abstand zwischen dem Kern des planaren Wellenleiters und der Länge des dritten Gebiets des Wellenleiters kann eine Größe und ein Profil des ausgekoppelten Teils des geleiteten Lichtstrahls bestimmen.
- Bei einem Aspekt kann die Offenbarung ein Verfahren zur Herstellung eines planaren Wellenleiters aufweisen. Das Verfahren kann Bereitstellen eines optisch transparenten Substrats aufweisen. Das Verfahren kann auch Ätzen eines Teils des optisch transparenten Substrats aufweisen, sodass mindestens eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen einem ersten Koppelgebiet und einem Leitgebiet ausgebildet wird. Das Verfahren kann auch Ablagern einer ersten optischen Ummantelung, die mindestens eine entsprechende stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen kann, auf die Oberfläche des optisch transparenten Substrats aufweisen. Das Verfahren kann auch Ablagern eines Kernmaterials aufweisen, das auf die Oberfläche der ersten optischen Ummantelung gestapelt wird. Das Verfahren kann auch Ablagern einer zweiten optischen Ummantelung aufweisen, die auf die Oberfläche des Kernmaterials gestapelt wird. Das Verfahren kann auch Bereitstellen von mindestens einem Abstandhalter, sodass ein Abstand zwischen einem Kern des planaren Wellenleiters und dem optischen Koppler im ersten Koppelgebiet bestimmt wird, und Bereitstellen eines Flüssigkristallmaterials, das angrenzend zu dem mindestens einen Abstandhalter sein kann, aufweisen. Das Verfahren kann auch Ätzen eines Teils des optisch transparenten Substrats, sodass eine Reihe von variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen einem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet ausgebildet wird, und Ablagern einer ersten optischen Ummantelung mit einer Reihe von stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweisen.
- Figurenliste
- Die vorliegende Offenbarung wird nun beispielhaft mit Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, in denen gilt:
-
1 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter. -
2A veranschaulicht ein Beispiel für simulierte Ergebnisse der Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter. -
2B veranschaulicht ein Beispiel für simulierte Ergebnisse der Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter. -
3A veranschaulicht ein Beispiel für stimulierte Ergebnisse der Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter. -
3B veranschaulicht Beispiele für Nahfeld-Leistungsdichteprofile in einem Wellenleiter. -
4 veranschaulicht ein Beispiel für eine Fernfeld-Leistungsdichte eines ausgekoppelten Lichtstrahls. -
5A-5B veranschaulichen Beispiele für ein Einkopplungsgebiet. -
6 veranschaulicht ein Beispiel für ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil in einem Wellenleiter. -
7 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter. -
8 veranschaulicht ein Verfahren zur Herstellung eines planaren optischen Wellenleiters. -
9 veranschaulicht ein Verfahren zur Verwendung eines planaren optischen Wellenleiters. -
10 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter. - Ausführliche Beschreibung
- Optische Koppler können einen Lichtstrahl in einen Wellenleiter koppeln. Gewisse optische Koppler können ein gleichmäßig spitz zulaufendes Gebiet aufweisen, das einen Lichtstrahl in einen Wellenleiter koppeln kann. Das gleichmäßig spitz zulaufende Gebiet kann jedoch schwierig und/oder kostspielig herzustellen sein. Im Folgenden ist ein optischer Koppler mit einer gestuften Struktur beschrieben, sodass Schwierigkeiten während der Herstellung verringert werden, mit der Herstellung assoziierte Ausgaben verringert werden und zusätzlich dazu ein erhöhter Akzeptanzwinkel des optischen Kopplers bereitgestellt wird.
-
1 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter100 . Der optische Wellenleiter100 kann einen optischen Koppler104 , eine erste optische Ummantelung108 , einen Wellenleiterkern112 und eine zweite optische Ummantelung116 aufweisen. Der optische Koppler104 , die erste optische Ummantelung108 , der Wellenleiterkern112 und die zweite optische Ummantelung116 können einen Stapel bilden, wie in1 veranschaulicht. Der planare optische Wellenleiter100 kann ein Einkopplungsgebiet120 , ein Leitgebiet124 und ein Auskopplungsgebiet128 aufweisen. Im Einkopplungsgebiet120 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D1 ) derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung eines Lichtstrahls vom optischen Koppler104 zum Wellenleiterkern112 ermöglicht wird. Eine evaneszente Kopplungsstärke kann durch den Ausdruck112 abklingt. Eine evaneszente Kopplung kann auftreten, wenn ein evaneszentes Ende des Lichtstrahls in den optischen Koppler104 eindringt. Die evaneszente Kopplung des Lichtstrahls vom Wellenleiterkern112 zum optischen Koppler104 kann sich erhöhen, wenn das evaneszente Ende des Lichtstrahls weiter in den optischen Koppler104 eindringt. Eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 kann verwendet werden, um eine Menge an evaneszenter Kopplung zwischen dem Wellenleiter112 und dem optischen Koppler104 anzupassen. Ein Erhöhen einer Dicke der ersten optischen Ummantelung108 kann zum Beispiel die evaneszente Kopplung zwischen dem Wellenleiterkern112 und dem optischen Koppler104 verringern und ein Verringern einer Dicke der ersten optischen Ummantelung108 kann die evaneszente Kopplung zwischen dem Wellenleiterkern112 und dem optischen Koppler104 erhöhen. Der optische Koppler kann eine Facette105 aufweisen, sodass ein Lichtstrahl zur Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bereitgestellt wird. Einen Winkel der Facette, θp, kann derart ausgewählt werden, dass ein Lichtstrahl bereitgestellt wird, der einen Einfallswinkel über den kritischen Winkel hinaus aufweist, der durch die Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bestimmt wird (z. B. zwischen 0,1 und 10 Grad über den kritischen Winkel hinaus). Ein Einfallswinkel des Lichtstrahls kann eine Abklinglänge eines evaneszenten Endes des Lichtstrahls bestimmen. Bei einem Beispiel kann der optische Koppler104 ein Beugungsgitter anstelle der Facette105 aufweisen, wobei das Beugungsgitter einen Lichtstrahl zur Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 mit einem Einfallswinkel über den kritischen Winkel hinaus, der durch die Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bestimmt wird, bereitstellen kann (z. B. zwischen 0,1 und 10 Grad über den kritischen Winkel hinaus). Im Leitgebiet124 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D2 ) derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung des Lichtstrahls vom Wellenleiterkern112 zum optischen Koppler104 verringert oder verhindert wird. Die Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D2 ) kann derart ausgewählt werden, dass Verluste im Leitgebiet124 zu weniger als 1 dB/cm beschränkt werden. Bei einem Beispiel kann die Dicke der ersten optischen Ummantelung108 im Leitgebiet124 im Bereich von 2 µm bis 10 µm liegen. Die Änderung in der Dicke in der ersten optischen Ummantelung108 zwischen dem Einkopplungsgebiet120 und dem Leitgebiet124 kann eine stufenartige Struktur132 aufweisen. Eine Steigung der stufenartigen Struktur132 kann mindestens 100 zu 1 betragen. Im Auskopplungsgebiet128 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D3 ) derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung eines Lichtstrahls vom Wellenleiterkern112 zum optischen Koppler104 ermöglicht wird. Die Änderung in der Dicke in der ersten optischen Ummantelung108 zwischen dem Auskopplungsgebiet128 und dem Leitgebiet124 kann eine stufenartige Struktur136 aufweisen. Eine Steigung der stufenartigen Struktur136 kann mindestens 100 zu 1 betragen. Die erste optische Ummantelung108 kann angrenzend zum Wellenleiterkern112 liegen und sich über diesem befinden, wie in1 veranschaulicht. Die zweite optische Ummantelung kann angrenzend zum Wellenleiterkern112 liegen und sich unter diesem befinden, wie in1 veranschaulicht. Der optische Koppler104 kann angrenzend zur ersten optischen Ummantelung108 liegen und sich über dieser befinden. Der optische Koppler104 kann ein Siliziummaterial aufweisen. Die erste optische Ummantelung108 kann ein Glasmaterial, ein kristallines Material oder ein Kunststoffmaterial aufweisen. Die zweite optische Ummantelung116 kann ein Glasmaterial, ein kristallines Material, ein Kunststoffmaterial oder ein Flüssigkristallmaterial aufweisen. Während des Betriebs kann ein Freiraum-Lichtstrahl124 auf die Facette105 des optischen Kopplers104 einfallen. Der Freiraum-Lichtstrahl124 kann auf die Facette105 mit einem Winkel nahe dem Brewster-Winkel einfallen. Der Lichtstrahl kann dann durch den optischen Koppler104 zu einem Teil des optischen Kopplers nahe der Grenze zwischen dem Koppelgebiet120 und dem Leitgebiet124 laufen. Ein Teil des Lichtstrahls, der eine Überlappung mit einem exponentiellen Nahfeldprofil aufweist, kann dann zum Wellenleiterkern112 gekoppelt werden. Der Ausdruck Nahfeld kann sich auf ein Gebiet innerhalb einer Rayleigh-Länge (zR) einer Grenzfläche beziehen, wobei die Rayleigh-Länge durch den Ausdruck124 kann dann durch das Leitgebiet124 geleitet werden. Nahe einer Grenze zwischen dem Leitgebiet124 und dem Auskopplungsgebiet128 kann ein Teil des Freiraum-Lichtstrahls vom Wellenleiterkern zum optischen Koppler104 ausgekoppelt werden. Nachdem er durch den optischen Koppler104 gelaufen ist, kann der ausgekoppelte Teil des Lichtstrahls an einer Facette106 aus dem optischen Koppler104 austreten. -
2A veranschaulicht ein Beispiel für simulierte Ergebnisse einer Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter, wie etwa dem in1 dargestellten planaren optischen Wellenleiter100 . Die Kopplungseffizienz kann mit einer Dicke der ersten optischen Ummantelung108 variieren. In dem Beispiel kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung in einem Bereich von etwa 0,5 µm zu etwa 1,2 µm variiert werden. In dem in2 veranschaulichten Beispiel kann die Kopplungseffizienz ein lokales Maximum von ungefähr 80 % aufweisen, bei dem die Dicke der ersten optischen Ummantelung etwa 0,8 µm betragen kann. In einem Beispiel kann ein Brechungsindex des optischen Kopplers104 größer sein als ein Brechungsindex der ersten optischen Ummantelung108 und ein Brechungsindex des Wellenleiterkerns108 kann größer sein als ein Brechungsindex der ersten optischen Ummantelung108 . -
2B veranschaulicht ein Beispiel für simulierte Ergebnisse einer Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter, wie etwa dem in1 dargestellten planaren optischen Wellenleiter100 . Die Kopplungseffizienz kann mit einem Einfallswinkel des Lichtstrahls124 variieren. Die Kopplungseffizienz kann maximiert werden, wenn der Einfallswinkel des Lichtstrahls124 über dem kritischen Winkel zwischen der ersten optischen Ummantelung108 und dem Wellenleiterkern112 hinaus liegt (z. B. zwischen 0,1 und 20 Grad über den kritischen Winkel hinaus). Ein Akzeptanzwinkel des Wellenleiters kann ungefähr 0,2 Grad sein, wie in2B veranschaulicht. -
3A veranschaulicht ein Beispiel für stimulierte Ergebnisse einer Kopplungseffizienz in einem Wellenleiter, wie etwa dem in1 dargestellten planaren optischen Wellenleiter100 . Die Kopplungseffizienz kann mit einer Position des Lichtstrahls124 entlang einer Längsrichtung des Wellenleiters variieren. Die Kopplungseffizienz kann maximiert werden, wenn eine Position des Lichtstrahls proximal zu einer Grenze zwischen dem Einkopplungsgebiet120 und dem Leitgebiet124 ist. Die in3A veranschaulichte volle Breite bei halbem Maximum der Kopplungseffizienz kann ungefähr fünf Strahltaillen entsprechen. -
3B veranschaulicht ein Beispiel für ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil308 eines ausgekoppelten Lichtstrahls und ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil304 eines eingekoppelten Lichtstrahls an der Grenzfläche zwischen dem Einkopplungsgebiet120 und dem Leitgebiet124 . Das Nahfeld-Leistungsdichteprofil308 des ausgekoppelten Lichtstrahls kann ein exponentielles Profil kombiniert mit einem Stufenprofil aufweisen, wie in3B veranschaulicht. Die Stufe im Nahfeld-Leistungsdichteprofil308 kann einer Grenze zwischen dem Leitgebiet124 und dem Einkopplungsgebiet120 entsprechen. Nach der Ausbreitung zum Fernfeld kann sich das Nahfeld-Leistungsdichteprofil308 in ein Lorentzsches Profil transformieren. Das Nahfeld-Leistungsdichteprofil304 des eingekoppelten Lichtstrahls kann ein Gaußsches Profil aufweisen. Eine optimale Kopplungseffizienz eines Lichtstrahls mit einem Gaußschen Profil kann auftreten, wenn der Gaußsche Lichtstrahl nahe einer Grenze des Einkopplungsgebiets120 und des Wellenleiterkerns124 einfällt. Eine optimale Kopplungseffizienz kann zum Beispiel einer Situation entsprechen, bei der eine Mitte des Gaußschen Lichtstrahls ungefähr eine Strahltaille weg von einer Grenze des Einkopplungsgebiets120 und des Wellenleiterkerns124 ist. Bei einem Beispiel kann eine optimale Kopplungseffizienz auftreten, wenn eine Überlappung zwischen dem Nahfeld-Leistungsdichteprofil308 des ausgekoppelten Lichtstrahls und dem Nahfeld-Leistungsdichteprofil304 des eingekoppelten Lichtstrahls an der Grenzfläche zwischen dem Einkopplungsgebiet120 und dem Leitgebiet124 maximiert wird. Eine Überlappung zwischen den Nahfeld-Leistungsdichteprofilen kann wie folgt ausgedrückt werden: - Wobei η eine Einkopplungseffizienz repräsentieren kann, wie etwa die in
2A dargestellte Einkopplungseffizienz, Ω eine elektrische Feldverteilung in einem ausgekoppelten Strahl entlang der Grenzfläche repräsentieren kann, wobei Phaseninformationen erhalten werden, und Vin die elektrische Feldverteilung entlang der Grenzfläche für den einfallenden Lichtstrahl repräsentieren kann, wobei wiederum die Phaseninformationen erhalten werden. Die Klammern ( < | > ) repräsentieren Überlappungsintegrale. -
4 veranschaulicht ein Beispiel für eine Fernfeld-Leistungsdichte eines ausgekoppelten Lichtstrahls, wie etwa der, der aus dem Auskopplungsgebiet128 ausgekoppelt werden kann, wie in1 veranschaulicht. Die Fernfeld-Leistungsdichte kann ein Lorentzsches Profil aufweisen. Bei einem Beispiel kann das Lorentzsche Fernfeldprofil einem exponentiellen Nahfeldprofil entsprechen. -
5A veranschaulicht ein Beispiel für ein Einkopplungsgebiet, wie etwa das in1 dargestellte Einkopplungsgebiet120 . In5A kann die stufenartige Struktur132 eine erste Terrasse140 mit einer Höheh1 und eine zweite Terrasse142 mit einer Höheh2 aufweisen. Die Höhe der Terrassen kann derart ausgewählt werden, dass ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil mit einer größeren Überlappung mit einem Gaußschen Profil als eine stufenartige Struktur mit einer einzigen Stufe, wie etwa die in1 dargestellte einzelne Stufe, bereitgestellt wird. Bei einem Beispiel kann die Höhe jeder Terrasse durch den Ausdruck124 repräsentieren kann, noptischerKoppler einen Brechungsindex des optischen Kopplers104 repräsentieren kann und neff einen effektiven Brechungsindex eines Lichtstrahls, der am Kern des planaren optischen Wellenleiters100 herabgeleitet wird, repräsentieren kann. Bei einem Beispiel kann die Höhe jeder Terrasse so ausgewählt werden, dass sie kleiner als eine Lichtwellenlänge ist, wie etwa um ein Fresnel-artiges Element zu bilden. Um zum Beispiel in einem Fresnel-Regime zu arbeiten, kann eine Höhe von jeder der Terrassen im Bereich von 10 nm bis 400 nm bei einer Betriebswellenlänge von 1,5 µm liegen. Im Fresnel-Regime kann jede der Terrassen eine unterschiedliche Höhe aufweisen (z. B. kann die Höhe der Terrassen um so viel wie 400 nm von Terrasse zu Terrasse variieren). In dem in5A dargestellten Beispiel kann ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil eines ausgekoppelten Lichtstrahls eine Reihe von exponentiellen Gebieten aufweisen, wie in6 veranschaulicht. Bei einem Beispiel kann die Kopplungseffizienz einer einzigen Terrasse ungefähr 80 % betragen und eine Kopplungseffizienz von zwei Terrassen kann ungefähr 90 % betragen. Bei einem Beispiel kann die Höhe jeder Terrasse bestimmt werden, indem ein gleichmäßiges spitz zulaufendes Profil mit einer Reihe von Terrassen, die jeweils eine Höhe kleiner als eine Wellenlänge des Lichtstrahls aufweisen, approximiert wird (z. B. können Terrassen eine Höhe im Bereich von 20 nm bis 500 nm aufweisen). -
5B veranschaulicht ein Beispiel für ein Einkopplungsgebiet, wie etwa das in1 dargestellte Einkopplungsgebiet120 . In5B kann die stufenartige Struktur132 eine erste Terrasse140 mit einer Höheh1 , eine zweite Terrasse142 mit einer Höheh2 und eine dritte Terrasse144 mit einer Höheh3 aufweisen. Die Höhe der Terrassen kann derart ausgewählt werden, dass ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil mit einer größeren Überlappung mit einem Gaußschen Profil als eine stufenartige Struktur mit zwei Terrassen, wie etwa die in5A dargestellten zwei Terrassen, bereitgestellt wird. Die Höhe jeder Terrasse kann durch den oben unter Bezugnahme auf5A beschriebenen Ausdruck bestimmt werden. In dem in5B dargestellten Beispiel kann ein Nahfeld-Leistungsdichteprofil eines ausgekoppelten Lichtstrahls eine Reihe von exponentiellen Gebieten aufweisen. Bei einem Beispiel kann die Kopplungseffizienz einer einzigen Terrasse ungefähr 80 % betragen, eine Kopplungseffizienz von zwei Terrassen kann ungefähr 90 % betragen und eine Kopplungseffizienz von drei Terrassen kann größer als 90 % sein. -
7 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter700 . Der planare optische Wellenleiter700 kann einen optischen Koppler104 , eine erste optische Ummantelung108 , einen Wellenleiterkern112 und eine zweite optische Ummantelung116 aufweisen. Der optische Koppler104 , die erste optische Ummantelung108 , der Wellenleiterkern112 und die zweite optische Ummantelung116 können einen Stapel bilden, wie in7 veranschaulicht. Die erste optische Ummantelung108 kann ein flüssiges Material, wie etwa ein Flüssigkristallmaterial, aufweisen. Der optische Wellenleiter700 kann Abstandhalter109 aufweisen, die eine Dicke des flüssigen Materials im planaren optischen Wellenleiter700 definieren können. Bei einem Beispiel können die Abstandhalter109 einen integralen Teil des optischen Kopplers104 bilden. Beispielsweise können sich Säulen oder Stand-Offs vom optischen Koppler104 zu einer Oberfläche des Wellenleiterkerns112 erstrecken. Der optische Wellenleiter700 kann auch Dichtungen aufweisen, die ein Lecken des flüssigen Materials aus dem planaren optischen Wellenleiter700 verringern können. Bei einem Beispiel, bei dem die erste optische Ummantelung108 eine Flüssigkeit aufweisen kann, kann die erste optische Ummantelung108 ein festes Füllmaterial109 aufweisen, das sich über dem flüssigen Material befindet, wie in7 veranschaulicht, sodass unerwünschte Randeffekte verringert werden, die auftreten können, wenn das flüssige Material eine Ecke oder einen Rand umgibt. Unerwünschte Randeffekte können falsch ausgerichtete Flüssigkristallmoleküle aufweisen (z. B. Flüssigkristallmoleküle, die in unerwünschte Richtungen ausgerichtet sind). Derartig falsch ausgerichtete Flüssigkristallmoleküle können unerwünschterweise eine Streuung des Lichtstrahls verursachen. Der planare optische Wellenleiter700 kann ein Einkopplungsgebiet120 , ein Leitgebiet124 und ein Auskopplungsgebiet128 aufweisen. Im Einkopplungsgebiet120 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D1 ) durch eine Breite der Abstandhalter109 bestimmt werden. Bei einem Beispiel können die Abstandhalter109 Glasperlen oder Glaskugeln aufweisen. Die Breite der Abstandhalter kann derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung eines Lichtstrahls vom optischen Koppler104 zum Wellenleiterkern112 ermöglicht wird. Der optische Koppler kann eine Facette105 aufweisen, sodass ein Lichtstrahl zur Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bereitgestellt wird. Ein Winkel der Facette, θp, kann derart ausgewählt werden, dass ein Lichtstrahl bereitgestellt wird, der einen Einfallswinkel über den kritischen Winkel hinaus aufweist, der durch die Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bestimmt wird (z. B. zwischen 0,1 und 10 Grad über den kritischen Winkel hinaus). Bei einem Beispiel kann der optische Koppler104 ein Beugungsgitter anstelle der Facette105 aufweisen, wobei das Beugungsgitter einen Lichtstrahl zur Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 mit einem Einfallswinkel über den kritischen Winkel hinaus, der durch die Grenzfläche zwischen dem optischen Koppler104 und der ersten optischen Ummantelung108 bestimmt wird, bereitstellen kann (z. B. zwischen 0,1 und 10 Grad über den kritischen Winkel hinaus). Im Leitgebiet124 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D2 ) derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung des Lichtstrahls vom Wellenleiterkern112 zum optischen Koppler104 verringert oder verhindert wird. Die Änderung in der Dicke in der ersten optischen Ummantelung108 zwischen dem Einkopplungsgebiet120 und dem Leitgebiet124 kann eine stufenartige Struktur132 aufweisen. Im Auskopplungsgebiet128 kann eine Dicke der ersten optischen Ummantelung108 (D3 ) derart ausgewählt werden, dass eine evaneszente Kopplung eines Lichtstrahls vom Wellenleiterkern112 zum optischen Koppler104 ermöglicht wird. Die Änderung in der Dicke in der ersten optischen Ummantelung108 zwischen dem Auskopplungsgebiet128 und dem Leitgebiet124 kann eine stufenartige Struktur136 aufweisen. - Während des Betriebs kann ein Freiraum-Lichtstrahl
124 auf die Facette105 des optischen Kopplers104 einfallen. Der Freiraum-Lichtstrahl124 kann auf die Facette105 mit einem Winkel nahe dem Brewster-Winkel einfallen. Der Lichtstrahl kann dann durch den optischen Koppler104 zu einem Teil des optischen Kopplers nahe der Grenze zwischen dem Koppelgebiet120 und dem Leitgebiet124 laufen. Ein Teil des Lichtstrahls, der eine Überlappung mit einem exponentiellen Nahfeldprofil aufweist, kann dann zum Wellenleiterkern112 gekoppelt werden. Der gekoppelte Teil des Lichtstrahls124 kann dann durch das Leitgebiet124 geleitet werden. Nahe einer Grenze zwischen dem Leitgebiet124 und dem Auskopplungsgebiet128 kann ein Teil des Freiraum-Lichtstrahls vom Wellenleiterkern zum optischen Koppler104 ausgekoppelt werden. Nachdem er durch den optischen Koppler104 gelaufen ist, kann der ausgekoppelte Teil des Lichtstrahls an einer Facette106 aus dem optischen Koppler104 austreten. Mindestens eine Elektrode kann unter der zweiten optischen Ummantelung116 enthalten sein. Eine Spannung kann an die mindestens eine Elektrode angelegt werden, sodass ein Brechungsindex des Flüssigkristallmaterials in der ersten optischen Ummantelung108 moduliert wird. -
8 veranschaulicht ein Verfahren zur Herstellung eines planaren optischen Wellenleiters, wie etwa des planaren optischen Wellenleiters100 oder700 . Ein optisch transparentes Substrat kann bereitgestellt werden (Schritt810 ). Das Substrat kann dann geätzt werden, sodass ein optischer Koppler bereitgestellt wird, wie etwa der optische Koppler104 (Schritt820 ). Eine erste optische Ummantelung, wie etwa die erste optische Ummantelung108 , kann dann bereitgestellt werden (Schritt830 ). Bei einem Beispiel kann die erste optische Ummantelung auf den optischen Koppler abgelagert werden. Die erste optische Ummantelung kann ein optisch transparentes Material aufweisen. Die abgelagerte optische Ummantelung kann dann geätzt werden, um eine Dicke der ersten optischen Ummantelung anzupassen. Ein Kernmaterial, wie etwa der Wellenleiterkern112 , kann dann bereitgestellt werden (Schritt840 ). Bei einem Beispiel kann der Wellenleiterkern auf die erste optische Ummantelung abgelagert werden. Der Wellenleiterkern kann ein optisch transparentes Material aufweisen. Eine zweite optische Ummantelung, wie etwa die zweite optische Ummantelung116 , kann dann bereitgestellt werden (Schritt850 ). Bei einem Beispiel kann die zweite optische Ummantelung auf den Wellenleiterkern abgelagert werden. Die zweite optische Ummantelung kann ein optisch transparentes Material aufweisen. Bei einem Beispiel kann die zweite optische Ummantelung als ein Substrat bereitgestellt werden und ein Wellenleiterkern kann auf die zweite optische Ummantelung abgelagert werden. Abstandhalter, wie etwa die in7 dargestellten Abstandhalter109 , können dann am Wellenleiterkern angebracht werden und ein flüssiges Material, wie etwa ein Flüssigkristallmaterial, kann dann in einem Gebiet zwischen den Abstandhaltern bereitgestellt werden. Der optische Koppler kann dann auf die Abstandhalter gestapelt werden, um einen Wellenleiter zu bilden, wie etwa den wie in7 dargestellten Wellenleiter700 . -
9 veranschaulicht ein Verfahren zum Koppeln eines Freiraum-Lichtstrahls zu einem planaren Wellenleiter. Licht kann in einen Wellenleiterkern in einem ersten Gebiet des planaren Wellenleiters über einen optischen Koppler und eine erste Ummantelung mit einer ersten Dicke gekoppelt werden (Schritt910 ). Das gekoppelte Licht kann dann durch ein zweites Gebiet des planaren Wellenleiters geleitet werden, in dem die erste Ummantelung eine zweite Dicke größer als die erste Dicke aufweisen kann, und mindestens eine Stufe zwischen der ersten Dicke und der zweiten Dicke kann sich in der ersten Ummantelung zwischen dem ersten und zweiten Gebiet des Wellenleiters befinden (Schritt920 ). Licht kann dann vom Wellenleiterkern in einem dritten Gebiet des Wellenleiters, das durch das zweite Gebiet des Wellenleiters vom ersten Gebiet des Wellenleiters getrennt sein kann, über einen optischen Koppler ausgekoppelt werden und die erste Ummantelung kann eine dritte Dicke aufweisen, die geringer als die zweite Dicke sein kann, und eine Stufe zwischen der zweiten Dicke und der dritten Dicke kann sich in der ersten Ummantelung zwischen dem zweiten und dritten Gebiet des Wellenleiters befinden. Ein Abstandhalter kann bereitgestellt sein, um einen Abstand zwischen einem Kern des planaren Wellenleiters und einem optischen Koppler im ersten Gebiet des Wellenleiters mechanisch zu definieren, sodass eine evaneszente Kopplung im ersten Gebiet des Wellenleiters bereitgestellt wird. Die erste Ummantelung kann ein Flüssigkristallmaterial beinhalten. Ein festes Füllmaterial kann sich zwischen dem Flüssigkristallmaterial und dem optischen Koppler befinden. Ein optischer Koppler kann bereitgestellt sein, der eine gestufte Struktur einschließlich einer Reihe von stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters aufweist. Eine erste optische Ummantelung kann bereitgestellt sein, die eine entsprechende gestufte Struktur einschließlich einer Reihe von stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters aufweist. Ein Abstand zwischen dem Kern des planaren Wellenleiters und der Länge des dritten Gebiets des Wellenleiters kann eine Größe und ein Profil des ausgekoppelten Teils des geleiteten Lichtstrahls bestimmen. -
10 veranschaulicht ein Beispiel für einen planaren optischen Wellenleiter1000 , bei dem eine Breite der ersten optischen Ummantelung108 im ersten Gebiet120 und im dritten Gebiet128 des Wellenleiters1000 abgeschrägt sein kann. - Jeder der hierin beschriebenen nicht beschränkenden Aspekte kann für sich alleine stehen oder kann mit verschiedenen Permutationen oder Kombinationen mit einem oder mehreren der anderen Beispiele kombiniert werden. Die obige ausführliche Beschreibung weist Bezugnahmen auf die begleitenden Zeichnungen auf, die einen Teil der ausführlichen Beschreibung bilden. Die Zeichnungen zeigen spezielle Ausführungsformen, in denen die Erfindung umgesetzt werden kann, als Veranschaulichung. Diese Ausführungsformen werden vorliegend auch als „Beispiele“ bezeichnet. Derartige Beispiele können Elemente zusätzlich zu jenen gezeigten oder beschriebenen aufweisen. Jedoch beabsichtigt der vorliegende Erfinder auch Beispiele, bei denen lediglich jene gezeigten oder beschriebenen Elemente bereitgestellt sind. Zudem beabsichtigt der vorliegende Erfinder auch Beispiele, die eine beliebige Kombination oder Permutation jener gezeigten oder beschriebenen Elemente (oder eines oder mehrerer Aspekte davon) verwenden, entweder mit Bezug auf ein bestimmtes Beispiel (oder einen oder mehrere Aspekte davon) oder mit Bezug auf andere Beispiele (oder einen oder mehrere Aspekte davon), die vorliegend gezeigt oder beschrieben sind. In dem Fall inkonsistenter Verwendungen zwischen diesem Dokument und beliebigen anderen Dokumenten, die durch Bezugnahme aufgenommen sind, gilt die Verwendung in diesem Dokument.
- In diesem Dokument werden die Ausdrücke „ein“, „eine“ oder „einer“ so verwendet, wie in Patentdokumenten üblich ist, ein/eine/einen oder mehr als eine/einen aufweisend, unabhängig von beliebigen anderen Instanzen oder Verwendungen von „wenigstens einem“ oder „einem oder mehr“. In diesem Dokument wird der Ausdruck „oder“ verwendet, um auf ein nicht ausschließendes oder zu verweisen, so dass „A oder B“ „A, aber nicht B“, „B, aber nicht A“ und „A und B“ umfasst, sofern nichts Anderes angegeben ist. In diesem Dokument werden die Ausdrücke „einschließlich“ und „bei dem“ als die Äquivalente der jeweiligen Ausdrücke „aufweisend“ und „wobei“ in einfachem Deutsch verwendet. Außerdem sind die Ausdrücke „einschließlich“ und „aufweisend“ in den folgenden Ansprüchen offene Ausdrücke, das heißt, ein System, eine Vorrichtung, ein Artikel, eine Zusammensetzung, eine Formulierung oder ein Prozess, der/die/das Elemente zusätzlich zu jenen aufgelisteten nach einem solchen Begriff in einem Anspruch aufweist, wird immer noch als in den Schutzumfang dieses Anspruchs fallend erachtet. Zudem werden in den folgenden Ansprüchen die Begriffe „erster“, „zweiter“ und „dritter“ usw. lediglich als Kennzeichnungen verwendet, und sollen keine numerischen Anforderungen hinsichtlich ihrer Objekte auferlegen.
- Hier beschriebene Verfahrensbeispiele können zumindest teilweise maschinen- oder computerimplementiert sein. Manche Beispiele können ein computerlesbares Medium oder ein maschinenlesbares Medium aufweisen, das mit Anweisungen codiert ist, die dazu funktionsfähig sind, eine elektronische Einrichtung zum Durchführen von Verfahren, wie in den obigen Beispielen beschrieben, zu konfigurieren. Eine Implementierung derartiger Verfahren können Code, wie etwa Microcode, Assemblersprachencode, Code einer höheren Programmiersprache oder dergleichen aufweisen. Ein derartiger Code kann computerlesbare Anweisungen zum Durchführen verschiedener Verfahren aufweisen. Der Code kann Teile von Computerprogrammprodukten bilden. Ferner kann der Code bei einem Beispiel greifbar auf einem oder mehreren flüchtigen, nichtflüchtigen greifbaren computerlesbaren Medien gespeichert werden, wie etwa während einer Ausführung oder zu anderen Zeiten. Beispiele für diese greifbaren computerlesbaren Medien können unter anderem Festplatten, entfernbare Magnetplatten, entfernbare optische Platten (z. B. Compact-Disks und Digital-Video-Disks), magnetische Kassetten, Speicherkarten oder -sticks, Direktzugriffsspeicher (RAMs), Nurlesespeicher (ROMs) und dergleichen aufweisen.
- Die obige Beschreibung soll veranschaulichend und nicht beschränkend sein. Zum Beispiel können die oben beschriebenen Beispiele (oder ein oder mehrere Aspekte davon) in Kombination miteinander verwendet werden. Andere Ausführungsformen können, wie etwa von einem Durchschnittsfachmann bei der Durchsicht der obigen Beschreibung verwendet werden. Die Zusammenfassung ist so bereitgestellt, dass sie 37 C.F.R. §1.72(b) entspricht, um dem Leser zu ermöglichen, das Wesen der technischen Offenbarung schnell herauszufinden. Sie ist mit dem Verständnis vorgelegt, dass sie nicht verwendet wird, um den Schutzumfang oder die Bedeutung der Ansprüche zu interpretieren oder zu beschränken. Auch können bei der obigen Ausführlichen Beschreibung verschiedene Merkmale zusammen gruppiert werden, um die Offenbarung zu straffen. Dies sollte nicht als die Absicht interpretiert werden, dass ein nicht beanspruchtes offenbartes Merkmal für einen beliebigen Anspruch wesentlich ist. Vielmehr kann der Erfindungsgegenstand in weniger als allen Merkmalen einer bestimmten offenbarten Ausführungsform liegen. Dementsprechend sind die folgenden Ansprüche in die Ausführliche Beschreibung als Beispiele oder Ausführungsformen aufgenommen, wobei jeder Anspruch für sich alleine als eine getrennte Ausführungsform steht, und es ist beabsichtigt, dass solche Ausführungsformen miteinander in verschiedenen Kombinationen und Permutationen kombiniert werden können. Der Schutzumfang der Erfindung sollte unter Bezugnahme auf die angehängten Ansprüche zusammen mit dem vollen Schutzumfang von Äquivalenten, zu welchen solche Ansprüche berechtigen, bestimmt werden.
- Gemäß einem Aspekt kann ein optischer Koppler bereitgestellt sein, um einen Lichtstrahl in einen Wellenleiter zu koppeln. Der optische Koppler kann eine gestufte Struktur aufweisen, sodass Schwierigkeiten während der Herstellung verringert werden, mit der Herstellung assoziierte Ausgaben verringert werden und zusätzlich dazu ein erhöhter Akzeptanzwinkel des optischen Kopplers bereitgestellt wird. Der Wellenleiter kann ein Leitgebiet aufweisen, in dem eine Ummantelungsdicke bezüglich eines Kopplungsgebiets erhöht werden kann, sodass Verluste aufgrund einer evaneszenten Auskopplung im Leitgebiet verringert werden.
Claims (20)
- Planarer Wellenleiter zum Empfangen und Leiten eines Lichtstrahls mit verringerter evaneszenter Kopplung des Lichtstrahls während des Leitens, wobei der planare Wellenleiter Folgendes aufweist: einen Wellenleiterkern und eine erste und zweite optische Ummantelung, sodass der Lichtstrahl entlang einer Länge des Wellenleiters geleitet wird; einen optischen Koppler mit einem ersten Koppelgebiet, das von einem Leitgebiet getrennt ist, wobei der optische Koppler zumindest eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung zumindest eine entsprechende stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist, sodass eine evaneszente Kopplung im Leitgebiet verringert wird, und wobei das erste Koppelgebiet des optischen Kopplers in der Lage ist, Licht in den Wellenleiterkern einzukoppeln.
- Planarer Wellenleiter nach
Anspruch 1 , wobei das erste Koppelgebiet des optischen Kopplers in der Lage ist, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, einzukoppeln. - Planarer Wellenleiter nach einem vorangegangenen Anspruch, wobei der optische Koppler eine Reihe von stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung entsprechende stufenweise Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und wobei der optische Koppler dazu ausgebildet ist, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, zu koppeln.
- Planarer Wellenleiter nach einem vorangegangenen Anspruch, wobei der optische Koppler eine Reihe von variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung entsprechende variierendes stufenweise Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist.
- Planarer Wellenleiter nach
Anspruch 4 , wobei die variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke eine variierende Höhe und Breite einer individuellen der stufenweisen Abnahmen in der Dicke aufweisen und wobei der optische Koppler dazu ausgebildet ist, einen Teil des Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, bei dem ein Großteil des Nahfeldprofils ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, zu koppeln. - Planarer Wellenleiter nach einem vorangegangenen Anspruch, ferner aufweisend mindestens einen Abstandhalter, um einen Abstand zwischen dem Wellenleiterkern und dem optischen Koppler zu definieren, der ein Einkoppeln eines Teils eines Lichtstrahls, der ein Nahfeldprofil aufweist, das ein exponentielles Nahfeldprofil überlappt, in den Wellenleiterkern bereitstellt, und wobei die erste optische Ummantelung ein Flüssigkristallmaterial aufweist.
- Planarer Wellenleiter nach
Anspruch 6 , aufweisend ein festes Füllmaterial, das sich zwischen dem Flüssigkristallmaterial und dem optischen Koppler befindet. - Planarer Wellenleiter nach einem vorangegangenen Anspruch, wobei der optische Koppler dazu ausgebildet ist, einen Freiraum-Lichtstrahl mit einem Gaußschen Profil mit einer Effizienz von mindestens 80 % zu koppeln.
- Planarer Wellenleiter nach einem vorangegangenen Anspruch, wobei der optische Koppler ein zweites Koppelgebiet, das vom Leitgebiet getrennt ist, und eine stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist, sodass eine Kopplung im zweiten Koppelgebiet erhöht wird, und wobei das zweite Koppelgebiet des optischen Kopplers in der Lage ist, einen Teil des Lichtstrahls, der von dem Wellenleiterkern geleitet wird, transversal auszukoppeln.
- Planarer Wellenleiter nach
Anspruch 9 , wobei der optische Koppler eine Reihe von variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist und die erste optische Ummantelung entsprechende variierende stufenweise Abnahmen in der Dicke zwischen dem zweiten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist. - Planarer Wellenleiter nach
Anspruch 10 , wobei die variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke eine variierende Höhe und Breite von individuellen der stufenweisen Zunahmen in der Dicke aufweisen und wobei die variierenden stufenweisen Zunahmen in der Dicke angepasst werden können, sodass ein Profil eines ausgekoppelten Teils des Lichtstrahls, der von dem Wellenleiterkern geleitet wird, modifiziert wird. - Verfahren zum Koppeln eines Freiraum-Lichtstrahls zu einem planaren Wellenleiter, wobei das Verfahren Folgendes aufweist: Einkoppeln von Licht in einen Kern in einem ersten Gebiet des planaren Wellenleiters über einen optischen Koppler und eine erste Ummantelung mit einer ersten Dicke; und Leiten des eingekoppelten Lichts durch ein zweites Gebiet des planaren Wellenleiters, in dem die erste Ummantelung eine zweite Dicke größer als die erste Dicke aufweist, wobei sich mindestens eine Stufe zwischen der ersten Dicke und der zweiten Dicke in der ersten Ummantelung zwischen dem ersten und zweiten Gebiet des Wellenleiters befindet.
- Verfahren nach
Anspruch 12 , aufweisend Auskoppeln von Licht vom Kern in einem dritten Gebiet des Wellenleiters, das durch das zweite Gebiet des Wellenleiters vom ersten Gebiet des Wellenleiters getrennt ist, über einen optischen Koppler und die erste Ummantelung eine dritte Dicke aufweist, die geringer als die zweite Dicke ist, wobei sich eine Stufe zwischen der zweiten Dicke und der dritten Dicke in der ersten Ummantelung zwischen dem zweiten und dritten Gebiet des Wellenleiters befindet. - Verfahren nach
Anspruch 12 oder13 , aufweisend Bereitstellen eines Abstandhalters, um einen Abstand zwischen einem Kern des planaren Wellenleiters und einem optischen Koppler im ersten Gebiet des Wellenleiters mechanisch zu definieren, sodass eine evaneszente Kopplung im ersten Gebiet des Wellenleiters bereitgestellt wird, und wobei die erste Ummantelung ein Flüssigkristallmaterial aufweist. - Verfahren nach
Anspruch 14 , aufweisend Bereitstellen eines festen Füllmaterials, das sich zwischen dem Flüssigkristallmaterial und dem optischen Koppler befindet. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 12 bis15 , aufweisend Bereitstellen eines optischen Kopplers mit einer gestuften Struktur, die eine Reihe von stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters aufweist, und Bereitstellen einer ersten optischen Ummantelung mit einer entsprechenden gestuften Struktur einschließlich einer Reihe von stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Gebiet des Wellenleiters und dem zweiten Gebiet des Wellenleiters. - Verfahren nach einem der
Ansprüche 14 bis16 , wobei ein Abstand zwischen dem Kern des planaren Wellenleiters und der Länge des dritten Gebiets des Wellenleiters eine Größe und ein Profil des ausgekoppelten Teils des geleiteten Lichtstrahls bestimmen kann. - Verfahren zur Herstellung eines planaren Wellenleiters, wobei das Verfahren Folgendes aufweist: Bereitstellen eines optisch transparenten Substrats; Ätzen eines Teils des optisch transparenten Substrats, sodass mindestens eine stufenweise Abnahme in der Dicke zwischen einem ersten Koppelgebiet und einem Leitgebiet ausgebildet wird; Ablagern einer ersten optischen Ummantelung, die mindestens eine entsprechende stufenweise Zunahme in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet aufweist, auf die Oberfläche des optisch transparenten Substrats; Ablagern eines Kernmaterials, das auf die Oberfläche der ersten optischen Ummantelung gestapelt wird; Ablagern einer zweiten optischen Ummantelung, die auf die Oberfläche des Kernmaterials gestapelt wird.
- Verfahren nach
Anspruch 18 , aufweisend Bereitstellen von mindestens einem Abstandhalter, sodass ein Abstand zwischen einem Kern des planaren Wellenleiters und dem optischen Koppler im ersten Koppelgebiet bestimmt wird, und Bereitstellen eines Flüssigkristallmaterials angrenzend zu dem mindestens einen Abstandhalter. - Verfahren nach
Anspruch 18 oder19 , aufweisend Ätzen eines Teils des optisch transparenten Substrats, sodass eine Reihe von variierenden stufenweisen Abnahmen in der Dicke zwischen einem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet ausgebildet wird, und Ablagern einer ersten optischen Ummantelung mit einer Reihe von stufenweisen Zunahmen in der Dicke zwischen dem ersten Koppelgebiet und dem Leitgebiet.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US15/685,605 | 2017-08-24 | ||
US15/685,605 US9983355B1 (en) | 2017-08-24 | 2017-08-24 | Step couplers for planar waveguides |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102018120645A1 true DE102018120645A1 (de) | 2019-02-28 |
DE102018120645B4 DE102018120645B4 (de) | 2022-03-17 |
Family
ID=62165810
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102018120645.3A Active DE102018120645B4 (de) | 2017-08-24 | 2018-08-23 | Planarer Wellenleiter sowie Verfahren zu dessen Betrieb und Herstellung |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9983355B1 (de) |
JP (1) | JP6789268B2 (de) |
CN (1) | CN109425928B (de) |
DE (1) | DE102018120645B4 (de) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20190204711A1 (en) * | 2018-01-03 | 2019-07-04 | The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical coupler having multiple thin-film layers with spatially varying optical thicknesses |
JP2019197126A (ja) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | 日本電信電話株式会社 | 光デバイスおよび光結合方法 |
US11169426B2 (en) * | 2019-03-19 | 2021-11-09 | Analog Devices, Inc. | Liquid crystal waveguide with sub-aperture light coupling |
US11714243B2 (en) * | 2020-12-18 | 2023-08-01 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Device for communication |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3112939A1 (de) | 1981-03-31 | 1982-10-07 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Prismenkoppler zur ein- und/oder auskopplung von strahlung in oder aus einem optischen wellenleiter |
GB2146788B (en) | 1983-09-20 | 1986-09-24 | Stc Plc | Prism coupling to flat waveguides |
US5208882A (en) * | 1991-11-14 | 1993-05-04 | Eastman Kodak Company | Hybrid thin film optical waveguide structure having a grating coupler and a tapered waveguide film |
KR100227778B1 (ko) * | 1996-12-23 | 1999-11-01 | 정선종 | 비선형 격자 결합기의 구조 |
US7020364B2 (en) | 2003-03-31 | 2006-03-28 | Sioptical Inc. | Permanent light coupling arrangement and method for use with thin silicon optical waveguides |
CN1788217A (zh) | 2003-04-28 | 2006-06-14 | 斯欧普迪克尔股份有限公司 | 在透镜耦合soi基光学系统中降低波长敏感度的装置 |
US8860897B1 (en) | 2004-01-22 | 2014-10-14 | Vescent Photonics, Inc. | Liquid crystal waveguide having electric field orientated for controlling light |
US8989523B2 (en) | 2004-01-22 | 2015-03-24 | Vescent Photonics, Inc. | Liquid crystal waveguide for dynamically controlling polarized light |
US7720116B2 (en) | 2004-01-22 | 2010-05-18 | Vescent Photonics, Inc. | Tunable laser having liquid crystal waveguide |
US8463080B1 (en) | 2004-01-22 | 2013-06-11 | Vescent Photonics, Inc. | Liquid crystal waveguide having two or more control voltages for controlling polarized light |
US20050271325A1 (en) | 2004-01-22 | 2005-12-08 | Anderson Michael H | Liquid crystal waveguide having refractive shapes for dynamically controlling light |
CN1922519B (zh) * | 2004-08-23 | 2010-12-01 | 莫莱克斯公司 | 用于改善光纤和集成平面波导管之间的光耦合效率的系统和锥形波导管及其制造方法 |
US9366938B1 (en) | 2009-02-17 | 2016-06-14 | Vescent Photonics, Inc. | Electro-optic beam deflector device |
US9239432B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-01-19 | Micron Technology, Inc. | Photonics grating coupler and method of manufacture |
-
2017
- 2017-08-24 US US15/685,605 patent/US9983355B1/en active Active
-
2018
- 2018-08-23 JP JP2018156111A patent/JP6789268B2/ja active Active
- 2018-08-23 DE DE102018120645.3A patent/DE102018120645B4/de active Active
- 2018-08-24 CN CN201810970268.6A patent/CN109425928B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019040187A (ja) | 2019-03-14 |
JP6789268B2 (ja) | 2020-11-25 |
CN109425928B (zh) | 2021-04-09 |
CN109425928A (zh) | 2019-03-05 |
US9983355B1 (en) | 2018-05-29 |
DE102018120645B4 (de) | 2022-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102018120645B4 (de) | Planarer Wellenleiter sowie Verfahren zu dessen Betrieb und Herstellung | |
EP0187198B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer integriert - optischen Anordnung | |
DE112008000648B4 (de) | Faseroptischer Sensor | |
DE60127730T2 (de) | Photonenkristall-Wellenleiter | |
DE69627088T2 (de) | Antireflektierende Oberfläche mit vorgegebener Rauheit, insbesondere für Armaturenbrett von Motorfahrzeugen | |
EP0282878A2 (de) | Anordnung für ein integriert-optisches Spektrometer und Verfahren zur Herstellung eines solchen Spektrometers | |
DE102012214440B3 (de) | Planaroptisches Element, Sensorelement und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE102018117763B4 (de) | Strahllenkvorrichtung zum Verstellen eines Winkels und Verfahren zum Lenken eines Lichtstrahls | |
DE2751058A1 (de) | Optische anzeigeeinrichtung und verfahren zur herstellung einer optischen anzeigeeinrichtung | |
DE19700520A1 (de) | Halbleiter-Fotodetektorvorrichtung | |
DE4216675A1 (de) | Rippen-wellenleiter, welcher fuer die ankopplung an optische fasern optimiert ist und verfahren zur bestimmung desselben | |
EP0464869A1 (de) | Monolithisch integrierter WDM-Demultiplexmodul und ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Moduls | |
DE112007000664T5 (de) | Zweidimensionaler photonischer Kristall | |
EP3545347B1 (de) | Optoelektronische bauelemente und verfahren zum herstellen eines optoelektronischen bauelementes | |
DE69032140T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Beugungsgitters für optische Elemente | |
DE102013210438B4 (de) | Quantenkaskadenlaser | |
DE2329209A1 (de) | Kopplungsvorrichtung fuer einen optischen wellenleiter und verfahren zu ihrer herstellung | |
EP0238964B1 (de) | Kantenfilter für die integrierte Optik | |
DE112018007107B4 (de) | Optische integrierte Halbleitervorrichtung | |
DE3238547A1 (de) | Wellenlaengenfilter | |
DE112020002692T5 (de) | Biegsamer lichtwellenleiter mit einer asymmetrischen optischen verlustleistungskurve und verbessertem grenzwert der optischen verlustleistung | |
DE102020130337B4 (de) | Single-etch-gitterkoppler mit breiter bandbreite mit individuell abgestimmten gitterabschnitten | |
DE4423187A1 (de) | Abstimmbare optische Anordnung | |
DE102019108400A1 (de) | Optischer Polymerkoppler | |
DE102011080328B4 (de) | Wellenleiter und Verbindungselement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: ANALOG DEVICES, INC., WILMINGTON, US Free format text: FORMER OWNER: ANALOG DEVICES, INC., NORWOOD, MA, US |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: WITTE, WELLER & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final |